JP4268627B2 - Film inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、被検査物の被膜状態を検査するための被膜検査装置及びそれに用いるパレットに関するものである。   The present invention relates to a film inspection apparatus for inspecting a film state of an object to be inspected and a pallet used therefor.

従来、この技術の分野における被膜検査装置は、例えば、下記特許文献1に開示されている。この公報に記載の装置は、ワイヤーを検査対象としており、そのワイヤーのカラー画像を撮像して、ワイヤー被覆の除去状態の検査をおこなうためのものである。
特開2000−46651号公報
Conventionally, a coating inspection apparatus in the field of this technology is disclosed, for example, in Patent Document 1 below. The apparatus described in this publication uses a wire as an inspection target, and takes a color image of the wire to inspect the removal state of the wire coating.
JP 2000-46651 A

しかしながら、前述した従来の装置を用いたカラー画像による検査では、被膜とワイヤー芯線との色合い(特に色彩)が近い場合に、被膜と芯線とを確実に区別することが困難であった。   However, in the color image inspection using the above-described conventional apparatus, it is difficult to reliably distinguish between the coating and the core wire when the color (especially the color) between the coating and the wire core is close.

そこで、本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、検査精度の向上が図られた被膜検査装置及びそれに用いるパレットを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a coating film inspection apparatus and a pallet used therefor in which the inspection accuracy is improved.

本発明に係る被膜検査装置は、被検査物の検査領域を撮像して、前記被検査物の芯線に被覆された被膜の状態を検査する被膜検査装置であって、被検査物が収容され、被検査物の検査領域に対応する部分に貫通孔が設けられたパレットと、被検査物の検査領域に励起光を照射する光源と、光源の励起光が照射された状態の被検査物を撮像する撮像装置と、撮像装置によって取得した被検査物の画像の処理をおこない、被検査物の被膜状態の合否を判定する画像処理装置とを備える。   A film inspection apparatus according to the present invention is a film inspection apparatus that images an inspection region of an object to be inspected and inspects a state of a film coated on a core wire of the object to be inspected, and the object to be inspected is accommodated therein. Imaging a pallet with a through-hole in the part corresponding to the inspection area of the inspection object, a light source that irradiates the inspection area of the inspection object with excitation light, and the inspection object that is irradiated with the excitation light of the light source And an image processing apparatus that processes an image of the inspection object acquired by the imaging apparatus and determines whether the film state of the inspection object is acceptable.

この被膜検査装置においては、光源から被検査物に励起光が照射された状態で撮像装置による被検査物の撮像をおこなうことができる。そのため、被検査物の被膜と芯線との色合いが近い場合であっても十分に識別することができ、従来より高い検査精度で被膜状態の検査をおこなうことが可能である。また、発明者らの実験により、被検査物の被膜を剥離する工程で生じる被膜カスやゴミがあると、そのようなカス等が検査精度の低下を招くことが判明した。そこで、検査領域に貫通孔を設けたパレットに被検査物を収容して検査に供することで、そのようなカス等が貫通孔内に落下し、検査時におけるカス等による影響が低減してより高い検査精度での被膜状態の検査が実現される。   In this film inspection apparatus, the inspection object can be imaged by the imaging apparatus in a state where the inspection object is irradiated with the excitation light from the light source. Therefore, even when the film of the object to be inspected and the color of the core wire are close to each other, they can be sufficiently identified, and it is possible to inspect the state of the film with higher inspection accuracy than before. In addition, it has been found by experiments by the inventors that if there is a coating residue or dust generated in the process of peeling the coating on the object to be inspected, such residue or the like causes a decrease in inspection accuracy. Therefore, by storing the object to be inspected in a pallet with a through hole in the inspection area and using it for inspection, such debris falls into the through hole, and the influence of debris during inspection is reduced. Inspection of the coating state with high inspection accuracy is realized.

また、撮像装置との間に、パレットが挟まれるように配置された発光手段をさらに備える態様であってもよい。この場合、パレットに設けられた貫通孔を透過した発光手段の光によって被検査物が照らし出されるため芯線の輪郭がより明確になると共に、被膜カス等の誤検出が抑えられるため、さらなる検査精度の向上が図られる。   Moreover, the aspect further provided with the light emission means arrange | positioned so that a pallet may be pinched | interposed between imaging devices may be sufficient. In this case, the object to be inspected is illuminated by the light of the light emitting means that has passed through the through-hole provided in the pallet, so that the outline of the core wire becomes clearer and false detection of film residue etc. is suppressed, so that further inspection accuracy can be achieved. Is improved.

さらに、発光手段が自発的に発光する態様であってもよく、発光手段が光源の励起光に反応して発光する態様であってもよい。   Further, the light emitting means may emit light spontaneously, or the light emitting means may emit light in response to the excitation light of the light source.

本発明に係るパレットは、被検査物の検査領域を撮像して、前記被検査物の芯線に被覆された被膜の状態を検査する被膜検査装置に用いられ、被検査物が収容され、被検査物の検査領域に対応する部分に貫通孔が設けられている。   The pallet according to the present invention is used in a film inspection apparatus that images an inspection area of an inspection object and inspects the state of the film coated on the core wire of the inspection object, and the inspection object is accommodated and inspected. A through hole is provided in a portion corresponding to the inspection area of the object.

このパレットに被検査物を収容して検査に供することで、被膜カス等が貫通孔内に落下し、検査時におけるカス等による影響が低減して高い検査精度での被膜状態の検査が実現される。   By storing the object to be inspected in this pallet and subjecting it to inspection, film residue etc. will fall into the through hole, and the influence of residue etc. during inspection will be reduced and inspection of the film state with high inspection accuracy will be realized. The

本発明によれば、検査精度の向上が図られた被膜検査装置及びそれに用いるパレットが提供される。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the coating film test | inspection apparatus with which the improvement of the test | inspection precision was aimed at and the pallet used for it are provided.

以下、添付図面を参照して本発明を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments that are considered to be the best in carrying out the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same or equivalent element, and the description is abbreviate | omitted when description overlaps.

図1は、本発明の実施形態に係る被膜検査装置を示した概略構成図である。この被膜検査装置10は、被検査物であるコイル部品30の被膜剥離状態の良否を検査するための装置であり、図1に示すように、被検査物30を搭載するステージ12と、被検査物30を撮像するカメラ14と、被検査物30に励起光を照射するUV光源16と、カメラ14によって取得した被検査物30の画像の処理をおこない被検査物30の被膜状態の合否を判定する画像処理装置18と、画像処理装置18の処理結果を出力するモニター20と、各種制御処理をおこなう検査装置制御機器22とを備えている。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a film inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. This film inspection apparatus 10 is an apparatus for inspecting the quality of the film peeling state of the coil component 30 that is an object to be inspected. As shown in FIG. 1, the stage 12 on which the object 30 is mounted, and the object to be inspected The camera 14 that images the object 30, the UV light source 16 that irradiates the object 30 with excitation light, and the image of the object 30 acquired by the camera 14 are processed to determine whether the film state of the object 30 is acceptable or not. An image processing apparatus 18 for performing the processing, a monitor 20 for outputting the processing results of the image processing apparatus 18, and an inspection apparatus control device 22 for performing various control processes.

ステージ12上には、複数の被検査物30を収容するパレット24が載置されている。そして、パレット24には、後述する被検査物30の寸法に対応する四角形断面の収容穴24aが複数設けられており、且つ、その収容穴24aそれぞれの底面からパレット24の裏面まで貫通する長楕円形状断面の1対の貫通孔24bが設けられている。   On the stage 12, a pallet 24 for accommodating a plurality of objects to be inspected 30 is placed. The pallet 24 is provided with a plurality of storage holes 24a having a rectangular cross section corresponding to the dimensions of the inspection object 30 described later, and an oblong shape penetrating from the bottom surface of each of the storage holes 24a to the back surface of the pallet 24. A pair of through holes 24b having a cross section is provided.

パレット24の収容穴24aには被検査物30が収容されており、被検査物30上面の検査領域Fが収容穴24aから露出している。そして、被検査物30の検査領域Fを撮像するカメラ14が、その光軸がパレット24に直交するように配置されている。このカメラ14とパレット24に収容された被検査物30との間の光路上には、フィルターブロック28が介在しており、このフィルターブロック28は図2に示すような構造を有している。すなわち、フィルターブロック28は、UV光源16からのランプ光(励起光)を被検査物30に向けて選択的に反射し、且つ、その励起光に反応して発光する被検査物30の蛍光を選択的に透過するダイクロイックミラー28aと、UV光源16とダイクロイックミラー28aとの間の光路上に位置し、上記励起光を選択的に(例えば、波長410〜420nmの光のみ)透過する光フィルター28bと、カメラ14とダイクロイックミラー28aとの間の光路上に位置し、上記蛍光を選択的に(例えば、波長475nm周辺の光のみ)透過する光フィルター28cとによって構成されている。   The inspection object 30 is accommodated in the accommodation hole 24a of the pallet 24, and the inspection area F on the upper surface of the inspection object 30 is exposed from the accommodation hole 24a. A camera 14 that images the inspection area F of the inspection object 30 is arranged so that its optical axis is orthogonal to the pallet 24. A filter block 28 is interposed on the optical path between the camera 14 and the inspected object 30 accommodated in the pallet 24. The filter block 28 has a structure as shown in FIG. That is, the filter block 28 selectively reflects the lamp light (excitation light) from the UV light source 16 toward the inspection object 30 and emits fluorescence of the inspection object 30 that emits light in response to the excitation light. A dichroic mirror 28a that selectively transmits, and an optical filter 28b that is located on the optical path between the UV light source 16 and the dichroic mirror 28a and selectively transmits the excitation light (for example, only light having a wavelength of 410 to 420 nm). And an optical filter 28c that is located on the optical path between the camera 14 and the dichroic mirror 28a and selectively transmits the fluorescence (for example, only light around the wavelength of 475 nm).

従って、上述したカメラ14、UV光源16及びフィルターブロック28の協働により、カメラ14の光軸と同一方向から被検査物30に対して励起光が照射され、被検査物30の蛍光像が撮像される。   Accordingly, by the cooperation of the camera 14, the UV light source 16, and the filter block 28 described above, excitation light is irradiated to the inspection object 30 from the same direction as the optical axis of the camera 14, and a fluorescent image of the inspection object 30 is captured. Is done.

図1に戻って、ステージ12とパレット24との間には発光シート26が敷設されている。すなわち、発光シート26は、発光シート26とカメラ14との間にパレット24が挟まれるように配置されている。この発光シート26は、UV光源16からの上記励起光に反応して蛍光を発するものであり、例えば蛍光増白剤入りの紙やシリコンシート等が用いられる。そのため、パレット24に対して励起光を照射した場合には、パレット24の貫通孔24b部分において露出した発光シート26が蛍光を発する。   Returning to FIG. 1, a light emitting sheet 26 is laid between the stage 12 and the pallet 24. That is, the light emitting sheet 26 is disposed so that the pallet 24 is sandwiched between the light emitting sheet 26 and the camera 14. The light emitting sheet 26 emits fluorescence in response to the excitation light from the UV light source 16, and for example, a paper or a silicon sheet containing a fluorescent whitening agent is used. Therefore, when the pallet 24 is irradiated with excitation light, the light emitting sheet 26 exposed in the through hole 24b portion of the pallet 24 emits fluorescence.

次に、被膜検査装置10の検査対象である被検査物30について、図3を参照しつつ詳しく説明する。   Next, the inspection object 30 to be inspected by the film inspection apparatus 10 will be described in detail with reference to FIG.

被検査物30は、コモンモードフィルタとして利用されるコイル部品の中間製品であって、H字形状のドラムコア32と、ドラムコア32の中央部に巻かれた被膜34aと芯線34bとからなる2本の巻線34と、ドラムコア32の四隅に配置されるように両鍔部に取り付けられ、巻線34の各端部が接続される4つの端子金具36とを有している。   The object to be inspected 30 is an intermediate product of coil components used as a common mode filter, and is composed of an H-shaped drum core 32, a coating 34 a wound around the center of the drum core 32, and a core wire 34 b. The winding 34 has four terminal fittings 36 attached to both flanges so as to be arranged at the four corners of the drum core 32 and to which each end of the winding 34 is connected.

この被検査物30は、各端子金具36の第1の片部36aを巻線34の各端部を挟むように折り曲げてレーザ溶接して最終製品となる前段階にあり、そのために各端子金具36の第2の片部36bで各巻線端部が仮固定されると共に各巻線端部の被膜34aが部分的に除去され、銅製の芯線34bがむき出しになった状態となっている。巻線34の被膜34aは、上述したUV光源16からの励起光に反応して蛍光を発する材料(例えば、ポリアミドイミド、ポリイミド等)により構成されている。そして、巻線34の端部と端子金具36との接続部分(継線部分)を含む領域が、本実施形態における検査領域Fとなっている。   This inspected object 30 is in a stage prior to becoming the final product by bending the first piece 36a of each terminal fitting 36 so as to sandwich each end of the winding 34 and laser welding. Each winding end portion is temporarily fixed by the second piece 36b of 36, and the coating 34a of each winding end portion is partially removed, and the copper core wire 34b is exposed. The coating 34a of the winding 34 is made of a material that emits fluorescence in response to the excitation light from the UV light source 16 (for example, polyamideimide, polyimide, etc.). And the area | region including the connection part (connection part) of the edge part of the coil | winding 34 and the terminal metal fitting 36 is the test | inspection area | region F in this embodiment.

続いて、上記検査領域Fにおける各要素の位置関係を図4を参照しつつ説明する。ここで図4は、カメラ14側からの視点で検査領域を見たときの図(平面図)である。図4に示すように、巻線34端部において被膜34aが除去された芯線部分34bは、その先端側が端子金具36からはみ出して空中に突き出ている。そして、パレット24の設けられた長楕円形状断面の貫通孔24bは、収容穴24aに収容される被検査物30のコア長手方向に沿って、2つの検査領域Fの間を結ぶように延びている。そのため、検査領域Fでは、巻線34の芯線部分34bの突き出た位置に貫通孔24bがあり、突き出た芯線部分34bの下側では発光シート26が露出している。   Next, the positional relationship of each element in the inspection area F will be described with reference to FIG. Here, FIG. 4 is a view (plan view) when the inspection region is viewed from the viewpoint from the camera 14 side. As shown in FIG. 4, the core wire portion 34 b from which the coating 34 a has been removed at the end of the winding 34 protrudes from the terminal fitting 36 and protrudes into the air. The oblong cross-sectional through hole 24b provided with the pallet 24 extends along the core longitudinal direction of the inspection object 30 accommodated in the accommodation hole 24a so as to connect the two inspection regions F. Yes. Therefore, in the inspection region F, the through hole 24b is present at the position where the core portion 34b of the winding 34 protrudes, and the light emitting sheet 26 is exposed below the protruding core portion 34b.

そして、この芯線部分34bとその周囲の被膜34aとの状態が、上述した被膜検査装置10によって検査される。   Then, the state of the core wire portion 34b and the surrounding coating 34a is inspected by the coating inspection apparatus 10 described above.

ここで、被検査物30の最終製品であるコイル部品を作製する手順について説明する。コイル部品の作製は、以下の第1工程〜第6工程の手順に沿っておこなわれる。
第1工程:ドラムコア32の両鍔部に端子金具を装着する。
第2工程:ドラムコア32の中央部に巻線34を巻回する。
第3工程:巻線端部を端子金具36の第2の片部36bで挟んで仮固定する。
第4工程:巻線端部の被膜34aを例えばYAGレーザ等で剥離除去し、被膜状態の良否を検査する。
第5工程:巻線端部を端子金具36の第1の片部36aで挟んで仮固定する。
第6工程:巻線端部と端子金具36とをレーザ溶接する。
Here, a procedure for producing a coil component which is a final product of the inspection object 30 will be described. The coil component is manufactured in accordance with the following first to sixth steps.
1st process: A terminal metal fitting is mounted | worn to the both collar parts of the drum core 32. FIG.
Second step: Winding the winding 34 around the center of the drum core 32.
Third step: The winding end is temporarily fixed by being sandwiched between the second pieces 36b of the terminal fitting 36.
Fourth step: The coating 34a at the winding end is peeled off with, for example, a YAG laser, and the quality of the coating is inspected.
Fifth step: The winding end is temporarily fixed by being sandwiched by the first piece 36a of the terminal fitting 36.
Sixth step: The winding end and the terminal fitting 36 are laser-welded.

そして、上述した被膜検査装置10は、上記第4工程において、巻線端部の被膜34aがきちんと除去されているかどうかの検査に利用される。図5は、第4工程におけるパレット24の駆動状態を示した図であり、(a)はパレット24に収容された各被検査物30を検査する際の駆動状態、(b)はパレット24から不良の被検査物30を排出する際の駆動状態を示している。   The film inspection apparatus 10 described above is used for inspection whether or not the film 34a at the winding end is properly removed in the fourth step. FIGS. 5A and 5B are diagrams showing a driving state of the pallet 24 in the fourth step. FIG. 5A is a driving state when inspecting each inspection object 30 accommodated in the pallet 24, and FIG. The driving state when discharging the defective inspection object 30 is shown.

被膜検査装置10により被検査物30を検査する際は、図5(a)に示すように、1つの被検査物30の4つの検査領域F(F1〜F4)を周回状に順に検査する。そして、1つの被検査物30の検査が完了すると、パレット24を図示しない駆動装置によってY軸及びX軸に沿って駆動し、カメラ14をパレット24上で相対的に走査して、パレット24の全ての被検査物30の検査をおこなう。このとき、検査結果が不良であった被検査物30の位置情報が、図1に示した検査装置制御機器22に送られて記憶される。   When the inspection object 30 is inspected by the film inspection apparatus 10, the four inspection regions F (F1 to F4) of one inspection object 30 are sequentially inspected in a circular manner as shown in FIG. When the inspection of one inspection object 30 is completed, the pallet 24 is driven along the Y axis and the X axis by a driving device (not shown), and the camera 14 is relatively scanned on the pallet 24 to All the inspection objects 30 are inspected. At this time, the position information of the inspection object 30 whose inspection result is defective is sent to and stored in the inspection apparatus control device 22 shown in FIG.

そして、パレット24から不良の被検査物30を排出する際は、図5(b)に示すように、検査装置制御機器22に記憶されている位置情報に基づき、X軸とY軸に沿って移動可能な吸着ノズルNが不良の被検査物30を吸着して、傍らに配置された排出トレイTまで運ぶ。そして、Y軸に並ぶ複数の被検査物30の列の排出が完了すると、吸着ノズルNをX軸に沿って駆動して次の列まで移動させ、同様にしてパレット24にある不良の被検査物30全ての排出をおこなう。   Then, when discharging the defective inspection object 30 from the pallet 24, as shown in FIG. 5B, based on the position information stored in the inspection apparatus control device 22, along the X axis and the Y axis. The movable suction nozzle N sucks the object to be inspected 30 and carries it to the discharge tray T arranged beside it. When the discharge of the row of the plurality of objects 30 to be inspected on the Y axis is completed, the suction nozzle N is driven along the X axis to move to the next row. Drain all 30 items.

上記第4工程における検査では、被検査物30の検査領域Fがカメラ14によって撮像されて、図6に示すような状態でモニター20に出力される。ここで、図6(a)は良品の被検査物30の検査領域Fを示した画像(蛍光像)であり、図6(b)は不良品の被検査物30の検査領域Fを示した画像(蛍光像)である。   In the inspection in the fourth step, the inspection area F of the inspection object 30 is imaged by the camera 14 and output to the monitor 20 in a state as shown in FIG. Here, FIG. 6A is an image (fluorescence image) showing the inspection area F of the non-defective inspection object 30, and FIG. 6B shows the inspection area F of the defective inspection object 30. It is an image (fluorescent image).

図6からわかるとおり、カメラ14によって被検査物30の検査領域Fを撮像した場合には、被検査物30に照射されるUV光のために、貫通孔24bから露出する発光シート26及び巻線34の被膜34aが発光する。そのため、発光領域と非発光領域との境界位置を基準にすることで、図7に示すような検査領域Fにおける各種測定をおこなうことができる。   As can be seen from FIG. 6, when the inspection area F of the inspection object 30 is imaged by the camera 14, the light emitting sheet 26 and the winding exposed from the through hole 24 b due to the UV light applied to the inspection object 30. The 34 coating 34a emits light. Therefore, various measurements in the inspection region F as shown in FIG. 7 can be performed by using the boundary position between the light emitting region and the non-light emitting region as a reference.

例えば、図6(a)より、芯線34bの先端位置(P1)及び被膜34aと芯線34bとの境界位置(P2)が検出可能であるため、図7に示す芯線34bの全長L(すなわち、巻線34の被膜剥離長さ)がわかる。また、芯線34bの左右両側の位置(P1,P3)が検出可能であるため、図7に示す芯線34bの幅Wがわかる。さらに、芯線34bの先端位置(P1)及び端子金具36の先端位置(P4)が検出可能であるため、図7に示す芯線34bの突出距離Dがわかる。さらに、端子金具36を基準とした芯線34bの傾きを検出することも可能である。なお、これらの測定処理は、被膜検査装置10の画像処理装置18によっておこなわれる。   For example, since the tip position (P1) of the core wire 34b and the boundary position (P2) between the coating 34a and the core wire 34b can be detected from FIG. 6 (a), the total length L of the core wire 34b shown in FIG. The coating peeling length of the line 34 is known. Further, since the positions (P1, P3) on both the left and right sides of the core wire 34b can be detected, the width W of the core wire 34b shown in FIG. 7 is known. Furthermore, since the tip position (P1) of the core wire 34b and the tip position (P4) of the terminal fitting 36 can be detected, the protruding distance D of the core wire 34b shown in FIG. 7 is known. Further, it is possible to detect the inclination of the core wire 34b with the terminal fitting 36 as a reference. Note that these measurement processes are performed by the image processing apparatus 18 of the film inspection apparatus 10.

上述した第4工程の剥離処理では、予め剥離する長さを設定した状態でレーザ剥離をおこなう。そのため、その際に設定した剥離長さと芯線34bの長さLとを比較して、剥離長さに比べて芯線長さLが短い場合には、図6(b)に示すように、本来剥離されるべき芯線34b部分に被膜34aが残存しており、剥離が十分でない(すなわち、被検査物30が不良)と判定される。若しくは、芯線34bの長さにかかわらず、剥離されるべき芯線34b部分に被膜34aが残存していることが視認できる場合にも、やはり不良と判定される。   In the peeling process in the fourth step described above, laser peeling is performed in a state where the length to be peeled is set in advance. Therefore, the separation length set at that time is compared with the length L of the core wire 34b, and when the core wire length L is shorter than the separation length, as shown in FIG. It is determined that the coating 34a remains in the core wire 34b portion to be formed, and the peeling is not sufficient (that is, the inspection object 30 is defective). Alternatively, even when it can be visually confirmed that the coating 34a remains in the portion of the core wire 34b to be peeled regardless of the length of the core wire 34b, it is also determined to be defective.

以上で詳細に説明したとおり、被膜検査装置10を用いた第4工程の際には、UV光源16から被検査物30に励起光が照射された状態で、カメラ14による被検査物30の撮像がおこなわれる。そのため、被検査物30の被膜34aと芯線34bとの色合いが近い場合であっても、その色合いに影響されることなく、被膜34aと芯線34bとを十分に識別することができる。従って、被膜検査装置10では、カラー画像を用いて検査する従来装置より高い検査精度で被膜状態の検査をおこなうことが可能となっている。   As described in detail above, in the fourth step using the film inspection apparatus 10, imaging of the inspection object 30 by the camera 14 is performed in a state where excitation light is irradiated from the UV light source 16 to the inspection object 30. Is done. Therefore, even when the color of the coating 34a and the core wire 34b of the inspection object 30 are close, the coating 34a and the core wire 34b can be sufficiently identified without being affected by the color. Therefore, the film inspection apparatus 10 can inspect the state of the film with higher inspection accuracy than the conventional apparatus that inspects using a color image.

また、発明者らの実験により、被検査物30の被膜34aを剥離する工程で生じる被膜カスやゴミがあると、そのようなカス等が検査精度の低下を招くことが判明した。そのため、被膜検査装置10に用いるパレット24では、検査領域Fに対応する領域に貫通孔24bが設けられている。従って、被検査物30の検査の際には被膜カス等は貫通孔24b内に落下しており、検査時におけるカス等による影響が低減してより高い検査精度での被膜状態の検査が実現されている。   In addition, it has been found by experiments by the inventors that when there is a coating residue or dust generated in the process of peeling the coating 34a of the inspection object 30, such residue or the like causes a decrease in inspection accuracy. Therefore, in the pallet 24 used in the coating film inspection apparatus 10, a through hole 24 b is provided in an area corresponding to the inspection area F. Accordingly, when the inspection object 30 is inspected, the coating residue etc. is dropped into the through hole 24b, and the influence of the residue during the inspection is reduced, and the inspection of the coating state with higher inspection accuracy is realized. ing.

特に、パレット24の下に発光シート26を敷設することで、貫通孔24bを透過した発光シート26の光により被検査物30が照らし出され、被検査物30や芯線34bの輪郭がより明確になると共に、図6に示すように検査領域Fの背景が光るため被膜カスの誤検出が避けられ、さらなる検査精度の向上を図ることができる。なお、発光シート26は、UV光源16からの励起光に反応して発光するものに限らず、自発的に発光するものであってもよいが、励起光に反応するものであれば別途光源を準備する必要がない点で好ましい。   In particular, by laying the light emitting sheet 26 under the pallet 24, the inspection object 30 is illuminated by the light of the light emitting sheet 26 that has passed through the through hole 24b, and the outlines of the inspection object 30 and the core wire 34b are clearer. In addition, as shown in FIG. 6, since the background of the inspection region F shines, erroneous detection of film residue can be avoided, and the inspection accuracy can be further improved. The light emitting sheet 26 is not limited to emitting light in response to excitation light from the UV light source 16, but may emit light spontaneously. However, if it reacts to excitation light, a separate light source is used. This is preferable in that it does not require preparation.

本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、光源はUV光源に限らず、蛍光撮像に適した波長の光を出射する光源であれば、公知の他の光源に変更することができる。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, the light source is not limited to a UV light source, and can be changed to another known light source as long as it emits light having a wavelength suitable for fluorescence imaging.

本発明の実施形態に係る被膜検査装置を示した概略構成図である。It is a schematic structure figure showing a coat inspection device concerning an embodiment of the present invention. 図1に示したフィルターブロックの構造を示した図である。It is the figure which showed the structure of the filter block shown in FIG. 本発明の実施形態に係る被検査物を示した概略斜視図である。It is the schematic perspective view which showed the to-be-inspected object which concerns on embodiment of this invention. 図3の被検査物の検査領域を示した図である。It is the figure which showed the test | inspection area | region of the to-be-inspected object of FIG. パレットの駆動状態を示した図である。It is the figure which showed the drive state of the pallet. カメラによって撮像された被検査物の検査領域の画像である。It is an image of the inspection area of the inspection object imaged by the camera. 検査領域の画像を用いた各種測定を示した図である。It is the figure which showed various measurements using the image of a test | inspection area | region.

符号の説明Explanation of symbols

10…被膜検査装置、14…カメラ、16…UV光源、18…画像処理装置、24…パレット、24b…貫通孔、30…被検査物、34…巻線、34a…被膜、34b…芯線、36…端子金具、F,F1〜F4…検査領域。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Film inspection apparatus, 14 ... Camera, 16 ... UV light source, 18 ... Image processing apparatus, 24 ... Pallet, 24b ... Through-hole, 30 ... Inspection object, 34 ... Winding, 34a ... Coating, 34b ... Core wire, 36 ... terminal fittings, F, F1 to F4 ... inspection areas.

Claims (4)

被検査物の検査領域を撮像して、前記被検査物の芯線に被覆された被膜の状態を検査する被膜検査装置であって、
前記被検査物が収容され、前記被検査物の前記検査領域に対応する部分に貫通孔が設けられたパレットと、
前記被検査物の前記検査領域に励起光を照射する光源と、
前記光源の励起光が照射された状態の前記被検査物を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置によって取得した前記被検査物の画像の処理をおこない、前記被検査物の被膜状態の合否を判定する画像処理装置と
を備える、被膜検査装置。
A film inspection apparatus that images the inspection area of an inspection object and inspects the state of the film coated on the core wire of the inspection object,
A pallet in which the inspection object is accommodated and a through hole is provided in a portion corresponding to the inspection area of the inspection object;
A light source for irradiating the inspection area of the inspection object with excitation light;
An imaging device that images the inspection object in a state irradiated with excitation light of the light source;
A film inspection apparatus comprising: an image processing apparatus that performs processing of an image of the inspection object acquired by the imaging apparatus and determines whether or not the film state of the inspection object is acceptable.
前記撮像装置との間に、前記パレットが挟まれるように配置された発光手段をさらに備える、請求項1に記載の被膜検査装置。   The film inspection apparatus according to claim 1, further comprising a light emitting unit arranged so that the pallet is sandwiched between the imaging apparatus. 前記発光手段が自発的に発光する、請求項2に記載の被膜検査装置。   The film inspection apparatus according to claim 2, wherein the light emitting means emits light spontaneously. 前記発光手段が前記光源の励起光に反応して発光する、請求項2に記載の被膜検査装置。
The film inspection apparatus according to claim 2, wherein the light emitting means emits light in response to excitation light of the light source.
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