JP4260724B2 - 電気モータの騒音放出を判定するための測定方法及び測定装置 - Google Patents

電気モータの騒音放出を判定するための測定方法及び測定装置 Download PDF

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Description

本発明は、電気モータの騒音放出を判定するための測定方法に関する。
さらに、本発明は、特に本発明に係る方法を実施可能である、電気モータの騒音レベルの測定装置に関する。
周囲に対して防音状態で閉じられた騒音キャビネット(無響室)の中で電気モータの騒音放出を測定することは、公知である。騒音キャビネットの中での音圧測定は、非常にコストがかかり、高い時間コストとも結び付いている。
従って、本発明の課題は、簡単かつ正確な方法により音圧を調べることができる、電気モータの騒音放出を判定するための測定方法を提供することである。
この課題は、本発明によれば、回転している電気モータの振動励起をレーザ振動計装置により測定し、測定された振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行うことによって解決される。
検査されるべき電気モータに作用するレーザビームは、電気モータの共振特性には影響を及ぼさない。それにより、振動励起を高い再現性で測定することができ、ひいては、騒音レベル、即ち、音圧との優れた相関関係を得ることができる。特に、検査されるべき電気モータを挟み込む必要がないので、検査されるべき電気モータを相応の測定装置に支持させても、検査されるべき電気モータの振動挙動は僅かな影響しか受けない。
レーザ振動計装置に対する、検査されるべき電気モータの位置決めは、簡単な方法により行うことができる。レーザ振動計装置を通して検出される、検査されるべき電気モータの振動振幅を分析することができ、相関パラメータを通じて騒音レベルを求めることができる。この場合、このような相関関係付けを、総騒音レベルに対して行うか、又は、検査されるべき電気モータの音響周波数スペクトルの個々の周波数成分に対して行うことが可能である。
レーザ振動計装置のレーザビームを通じて、検査されるべき電気モータを的確に走査することができる。特に、音響レベルに対する優れた相関関係が成り立つ一つ又は複数の部位で、振動励起を測定することができる。
レーザ振動計は、測定物体に作用するレーザ光と、測定物体により反射されたレーザ光との間の周波数のずれに繋がるドップラー効果に基づいて、測定物体の振動振幅を判定するものである。レーザ振動計装置は、例えばドイツ特許出願公開第19522272A1号明細書に記載されている。
このように、特に少ない時間コストで電気モータをその騒音放出に関して測定することができ、正確な結果を高い再現性で得ることができる。
特に、仕様との比較を可能にするために、電気モータの定格回転数で振動励起が測定される。
電気モータの一つ又は複数の所定の部位において振動励起が測定されると、極めて好ましい。例えば、多くの型式の電気モータにおいて、振動励起を通じて騒音レベルを判定するのに単一の測定部位で足りることが示されており、振動振幅もやはりレーザ振動計により測定される。そうすると、この所定の測定部位だけをレーザビームで走査すれば足りるので、検査されるべき電気モータをその騒音放出に関して迅速に測定することができる。
波腹が形成される可能性がある電気モータの一つ又は複数の測定部位において振動励起が測定されると、好都合である。波腹とは、振幅の絶対的な最大値又は相対的な最大値であり得る。このような測定部位は、音圧との相関関係に関して代表的であり、即ち、高い相関関係が成立している。
一つ又は複数の測定部位を決定するために、検査されるべき電気モータは、一つ又は特に複数のそれと同型の電気モータが走査されることが意図され得る。特に、このような走査によって波腹を判定することができる。同型の複数の電気モータが走査されれば、優れた統計的な信頼度で一つ又は複数の測定部位を決定することができる。
この場合、一つ又は複数の電気モータの表面が格子状に分割され、格子面における振動励起がレーザ振動計装置によって調べられることが意図され得る。それにより、一つ又は複数の測定部位を的確に探索することができる。
騒音レベルに対して高い相関関係があることによって一つ又は複数の測定部位が決定されると、極めて好ましい。特に、例えば事前に騒音キャビネットの中で求めておいた既知の騒音レベルを有する同型の電気モータを利用する。次いで、この電気モータを走査し、騒音レベルに対する相関パラメータを求める。さらに、最も高い相関関係を有している一つ又は複数の点を探索する。これらの点が、ひいては一つ又は複数の測定部位を定義することになる。そして、これらの測定部位を対応して規定し、検査時にレーザビームがちょうど所定の測定部位に向けられるように、検査されるべき電気モータとレーザ振動計装置とを相互に位置決めする。
この場合、一つ又は複数の測定部位が振動励起のオクターブ分析の一環として判定されることが意図され得る。例えば周波数スペクトルが判定され、さらにこの周波数スペクトルから、一つ又は複数の測定部位を決定するために、例えば第3オクターブ部分又はそれ以上のオクターブ部分といった高いオクターブ部分だけを引用する。それにより、一つ又は複数の測定部位を決定するために、例えば不釣合いや切換ノイズ等に起因する低周波部分を排除することができる。
振動励起と騒音レベルとの間の相関パラメータを求めるために、騒音レベルが既知である同型の一連の電気モータで振動励起を判定すると、極めて好ましい。それにより、同型の電気モータの個数が十分に多く選択されていれば、相関パラメータを求めるための高い統計的な信頼度を実現することができる。それにより、振動振幅の判定を通じて音圧を高い再現性で求めることができる。
これらの電気モータは、特に、騒音レベルが特定のレベル範囲内に収まるように選択される。このレベル範囲は、少なくとも2倍の標準偏差の範囲を含んでいるのが好ましい。実際問題としては、この範囲が4シグマ範囲であると、即ち、標準偏差の4倍を含んでいると、好都合であることが判明している。そうすれば、さまざまな音圧の十分な選択が存在しているので、振動振幅の対応する値の範囲も存在していることになる。それにより、相関パラメータ及び特に相関直線(回帰直線)を高い相関関係で判定することができる。
特に、騒音レベルが既知である同型の電気モータでの、このような相関関係の判定の一環として、検査されるべき電気モータにおいて後に測定が行われる一つ又は複数の所定の測定部位も決定される。
振動励起の周波数スペクトルが判定されると極めて好ましく、このことは、例えばレーザ振動計装置から供給されるデータの高速フーリエ変換を通じて行うことができる。このときの周波数スペクトルは、特に定格回転数で動作する電気モータの振動周波数のスペクトルである。そうすれば、振幅が個々の周波数で周波数依存的な限界値を下回っているかどうかもチェックすることができる。
特に、周波数スペクトルは、少なくとも20kHzまで判定され、そのようにして良好な全体像が得られる。
原則として、総音圧(全体音圧)を判定して、周波数依存的な音圧を判定することができる。そして、総音圧が限界値を下回っているかどうか、又は、上回っているかどうかをチェックすることができ、また、音圧が個々の周波数で周波数依存的な限界値を下回っているかどうか、又は、上回っているかどうかを調べることができる。そのようにして、特に、検査されるべき電気モータが特定の突出した周波数においても対応する限界値を下回っているかどうか、又は、上回っているかどうかをチェックできるようにするために、周波数依存的な限界値が設定される。
特に、電気モータの振動励起に対する周囲の影響を小さく抑制するために、検査されるべき電気モータは、振動減衰された状態で支持される。
さらに、本発明の課題は、簡単かつ再現可能な方法により騒音レベルを判定することができる、電気モータの騒音レベルの測定装置を提供することである。
本発明によれば、検査されるべき電気モータのための軸受装置が設けられており、その軸受装置により電気モータを自在に支持可能であり、レーザ振動計装置が設けられており、検査されるべき電気モータの振動励起をそのレーザ振動計装置により判定可能であり、評価装置が設けられており、その評価装置により振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行うことが可能であることによって、この課題は解決される。
本発明に係る装置は、本発明に係る方法を実施するのに適している。このような装置の利点は、既に本発明に係る方法との関連において説明した通りである。
その他の有利な実施の形態も、同じく既に本発明に係る方法との関連において説明した通りである。
特に、軸受装置は、検査されるべき電気モータを振動減衰された状態で支持可能であるように構成される。それにより、検査されるべき電気モータの共振挙動に対する周囲の影響を小さく抑制することができる。
そのために、軸受装置は、一つ又は複数の緩衝部材を含んでおり、その一つ又は複数の緩衝部材に、検査されるべき電気モータを載置することが可能であり、即ち、支持することができることが意図され得る。それにより、周囲からの振動の分離を実現することができる。
レーザ振動計装置は、様々な部位において振動励起を判定するために、電気モータの表面をスキャニングすることができるスキャン装置として構成され得る。
追加的又は代替的に、レーザ振動計装置が可動に保持される保持装置が設けられ得る。音圧と振動励起との高い相関関係が存在している一つ又は少数の所定の測定部位が決定されていれば、原則として、検査されるべき電気モータについて、振動励起をその測定部位又はそれら少数の測定部位でのみ判定するだけで足りる。そうすると、レーザ振動計装置による電気モータのスキャニングは不必要になる。即ち、一つ又は複数の測定部位が既知であれば、騒音レベルを求めるのに1点レーザ振動計があれば足りる。そうすると、あとはレーザ振動計装置のレーザビームが所定の測定部位に作用するように配慮するだけでよい。このような作用を調整できるようにするために、レーザ振動計装置と、検査されるべき電気モータのための軸受装置との間の相対運動が意図され得る。
有利な実施の形態についての以下の説明は、図面と関連させながら本発明を詳細に説明するためのものである。
図1において全体として符号12が付されている、検査されるべき電気モータ10の振動放出を判定するための本発明に係る測定装置の実施の一形態は、レーザ振動計装置18のための保持装置16が配置されたベースプレート14を含んでいる。レーザ振動計装置18は、検査されるべき電気モータ10の表面22に向けてレーザビーム20を発射する。反射されたレーザビームは、レーザ振動計装置18によって記録される。
レーザ振動計装置18を通じて、電気モータ10の振動励起を定量的に測定することができる。この測定原理は、ドップラー効果に依拠するものである。そのため、レーザ振動計は、レーザドップラー振動計とも称される。走査されるべき測定部位24において、レーザ振動計装置18により、検査されるべき電気モータ10の振動周波数スペクトルを調べることができる。
検査されるべき電気モータ10に作用するレーザビーム20は、20μm程度の典型的なビーム幅を有している。
振動測定のためのレーザ振動計は、例えば、ドイツ特許出願公開第19522272A1号明細書に記載されている。
図1に示す実施の形態では、保持装置16は、ベースプレート14の上側で高さ方向に延在する保持フレーム26を含んでいる。保持フレーム26には、レーザ振動計装置18を支持するキャリッジ28が載置されている。このキャリッジ28は、ベースプレート14の平面に平行な運動方向30、及び、これを横切る向きに位置する、同じくベースプレート14の平面に平行な運動方向32に、可動に構成されるのが好ましい。
キャリッジ28を運動方向30及び32に位置決めすることにより、検査されるべき電気モータ10の所定の測定部位24にレーザビーム20を向けることができる。原則として、レーザ振動計装置18は、表面領域を1回のスキャン工程で走査することができるレーザスキャニング振動計装置であることが意図され得る。本発明に係る方法では、この代替案として、詳細に後述するように、キャリッジ28を固定したまま放出されたレーザビーム20が、ベースプレート14に対して固定された、検査されるべき電気モータ10の測定部位24に向けられるように構成、配置された1点レーザ振動計装置を用いることもできる。
検査されるべき電気モータ10のために、全体として符号34が付された軸受装置が設けられており、この軸受装置によりベースプレート14及び保持装置16に対して、即ち、レーザ振動計装置18に対しても、検査されるべき電気モータ10を所定の位置において支持可能である。この軸受装置34は、検査されるべき電気モータ10を引っ張って固定することなく挿入可能な収容部36を含んでいる。収容部36を備えている軸受装置34は、電気モータ10の振動励起に対する支持の影響が最低限に抑制されるように構成されている。特に、検査されるべき電気モータ10は、例えばゴム材料により製作される緩衝部材38の上に載置される。この緩衝部材38は、検査されるべき電気モータ10を振動に関して軸受装置34から分離し、それに伴って測定装置12からも分離する。
振動の分離の向上に役立てるために、収容部36自体がコラム40に載置されることが意図され得る。
電気モータ10の電気接触のために、電気接続部材44を有する接触装置42が設けられている。電気接続部材44は、検査されるべき電気モータ10の対応する接続部材46に合わせて適合化されている。
接触装置42は、電気モータ10の表面22との最低限の接触で、電気接続部材44を上方又は下方から電気モータ10に接続可能であるように構成されている。本発明に係る測定装置12の図1に示す実施の形態では、接触装置42は、電気接続部材44を対応する接続回線と共に保持する昇降回転ユニット48を含んでいる。この昇降回転ユニットは、軸を中心として回転可能であり、この軸に沿ったスライドも可能である。それにより、電気接続部材44を上方から、検査されるべき電気モータ10の接続部材46に載置することができる。
測定装置12により、一つ又は少数の所定の測定部位24において、レーザドップラー測定を通じて振動励起が判定される。本発明によれば、この振動励起について、検査されるべき電気モータ10の騒音放出との相関関係付けが行われる。この相関関係付けは、評価装置50により行われる。このような測定と相関関係付けを実施できるようにするためには、一つの測定部位24又は少数の測定部位24を決定して相関パラメータを求めるための予備作業が必要である。
これは次のような手順で行うことができる。
騒音放出が既知である一連の同型の電気モータを選択する。その騒音レベル(音圧)を、例えば騒音キャビネットの中で測定する。これらの電気モータの個数は、統計的に意味のある情報を導き出せるように選択する。例えば、50個の電気モータを選択する。
そして、本来の測定系として、このような個数の測定モータから部分量を選択する。それらの電気モータは、騒音レベルが一定の騒音レベル範囲内にあるものである。この所定の騒音レベル範囲は、平均の騒音レベルの標準偏差を通じて統計的に定義するのが好ましい。例えば、騒音レベルが標準偏差の4倍の範囲内にある電気モータを選択する(4シグマ範囲)。図3に示す相関直線を求めるためには、20個の電気モータが選択されている。
次いで、それらの選択された一連の電気モータを測定装置12により測定する。このとき、それぞれの電気モータ52は、図2に模式的に示すように、例えばスキャニングをするレーザ振動計装置18により走査される(仮想的な)格子54を用いて測定される。格子点56において、特に定格回転数で回転している電気モータ52の動作時に、それぞれ振動励起がレーザ計測装置により測定される。
そして、比較的高い振動振幅が生じている測定部位24を判定し、即ち、振動振幅の絶対的な最大値又は少なくとも相対的な最大値が生起する波腹を探索する。
選択した一連の電気モータ52について、このような測定を実施する。そして、大きな(相対的な)振動振幅が生じている一つの測定部位24又は少数の測定部位24を、電気モータの総数について決定する。さらに、その一つの測定部位24又は少数の測定部位24を、検査されるべき電気モータ10の騒音放出を判定するために利用する。
例えば、良好に生起された波腹が図2の格子点58に位置していれば、この格子点が、検査されるべき電気モータ10の測定部位24を規定する。
これに応じて軸受装置34とレーザ振動計装置18とを互いに相対的に位置決めし、検査されるべき電気モータ10が収容部36に収容されたときにレーザビーム20が所定の測定部位24に向くようにする。
格子点58を決定するために同型の電気モータ52の表面をスキャニングするのが好ましく、従って、スキャニングをするレーザ振動計装置が好ましいが、このような一つの測定部位24又は少数の測定部位24を見出した後は、1点レーザ振動計装置18を使用すれば十分である。例えば、一つの測定部位24又は複数の測定部位24を決定するために別個の装置が設けられているとよく、検査されるべき電気モータ10の騒音放出を求めるには、1点レーザ振動計装置18を使用する。あるいは、レーザ振動計装置18が、一つの測定部位24又は少数の測定部位24の決定後に、検査されるべき電気モータ10の騒音放出を判定するときに、オフになるスキャニング機能性を有しているとよい。
測定部位24(格子点58に相当)における振動励起が、図3に模式的に示すように、騒音レベルが既知である一連の電気モータ52について相関関係付けがなされる。図3では、測定部位24においてそれぞれの電気モータ52についてレーザ振動計装置18により求められた振動振幅が、Y軸に単位dB(A)でプロットされている。X軸には、電気モータ52について既知である音圧が単位dB(A)でプロットされている。測定点60は、それぞれ一つの電気モータ52に対応している。
測定点60について、相関係数Rが0.9258である方程式y=0.8519x−76.261を有する相関直線62(回帰直線)を決定した。
相関直線の判定を通じて、相関パラメータ(即ち、この直線の勾配及び切片)を求める。そして、これらのパラメータをさらに評価装置50で利用して、レーザ振動計装置により測定された振動振幅から騒音レベルを(無接触式に)判定することができる。
このとき、原則として、一連の電気モータ52の各々の格子点56について相関直線が判定されることが意図されているとよく、例えば300個の格子点が意図される。そして、これらの一連の電気モータ52の各々の格子点について相関係数Rを求める。振動励起が騒音レベルと最も良く相関関係にある特別な一つの測定部位24(又は複数の少数の測定部位24)は、特に、相関係数Rが最大になるところで生じ、即ち、相関係数Rが1に最も近いところで生じる。
実際問題としては、良好な相関関係を得るためには少なくとも波腹を見出せば足りることが示されている。
振動励起の振幅を判定するために、例えば、高速フーリエ変換で周波数スペクトルを求めるのが好ましい。この場合、一つの測定部位24又は複数の測定部位24を決定するためにオクターブ評価が意図されるのが好ましく、例えば第3オクターブが利用される。それにより、不釣合いや切換ノイズといった低周波の影響が、一つの測定部位24又は複数の測定部位24の決定に影響を及ぼすことがなくなる。
特定の型式の電気モータについて、一連の電気モータ52によって相関関係を決定した後に、一つの測定部位24又は少数の測定部位24が既知となる。さらに、相関パラメータが既知なので、本発明によれば、検査されるべき同型の電気モータ10において、レーザ振動計装置18により測定可能な測定部位24での振動振幅と、騒音レベル(音圧)との相関関係付けを行うことが可能である。このように、検査されるべき電気モータ10の騒音放出を無接触式に求めることができ、測定部位24が一つ又は少数なので、迅速に結果を得ることができる。それにより、多数の(同型の)電気モータ10を簡単、迅速、かつ、再現可能な方法により検査することができる。
図4には、所定の測定部位24における測定から割り出された、種々の電気モータについての周波数スペクトルが図示されている。これらの周波数スペクトルは、高速フーリエ変換によって測定データから求めたものである。
周波数スペクトル64が、他の周波数スペクトルと著しく異なっている様子が分かる。周波数スペクトル64を有する電気モータは、高すぎる騒音放出を有している。
周波数が低いとき、特に、周波数ゼロのときに有限の振幅を有しているスペクトルも、図4に見ることができる。このことは、該当する電気モータの不釣合いに起因している。このようなスペクトル割合は、音圧の判定から排除される。
約5000Hzの周波数(及びその整数倍)のとき、多数の電気モータで周波数スペクトルに変化が認められる。これは、切換ノイズ(スイッチングノイズ)に起因している。
測定された周波数スペクトルから、電気モータが所定の仕様を満たしているかどうかの基準を導き出すことが可能である。この場合、周波数が音響周波数であることに留意しなければならない。電気モータ自体は、騒音を検出するときには定格回転数で回転している。
例えば、電気モータについて、音圧が42dB(A)以下でなければならないことが規定され得る。これに相当する限界曲線66が図3に描き込まれている。それにより、測定部位24における振動振幅の限界値68も得られる。
限界曲線66(カットオフレベル)を通じて、電気モータの個々の周波数について仕様を満たす限界値又は限界値領域を決定することが可能である。これと同じ方法により、電気モータの個々の周波数について、騒音仕様を満たさない(最小)限界値曲線を決定することも可能である。
それにより、個々の周波数について限界値領域を決定して、要求される仕様を電気モータが満たしているかどうかを簡単な方法により周波数分析して決定することができる。
本発明に係る方法では、レーザ振動計装置18を通じて、検査されるべき電気モータ10の特定の測定部位24における振動振幅が検出され、同型の電気モータで事前に求めておいた相関パラメータを用いて騒音レベルが算出される。
この場合、総騒音レベル(全体騒音レベル)だけでなく、個々の周波数成分(プロミネントトーン)についての騒音レベルも判定することができる。
本発明によれば、騒音レベルを高い再現性及び高い精度で無接触式に判定することができる。検査されるべき電気モータ10の共振特性は、測定によって僅かな影響しか受けない。
電気モータの騒音放出を判定するための測定装置の実施の一形態を示す模式的な外観図である。 測定部位を決定するために格子が被せられた、検査されるべき電気モータを示す平面図である。 同型の一連の電気モータについての所定の測定部位における振動振幅と音圧との比較、及び、相関直線(回帰直線)とその方程式である。 一連の電気モータについての所定の測定部位における周波数スペクトルである。
符号の説明
10 電気モータ
12 測定装置
14 ベースプレート
16 保持装置
18 レーザ振動計装置
20 レーザビーム
22 表面
24 測定部位
26 保持フレーム
28 キャリッジ
30 運動方向
32 運動方向
34 軸受装置
36 収容部
38 緩衝部材
40 コラム
42 接触装置
44 電気接続部材
46 接続部材
48 昇降回転ユニット
50 評価装置
52 電気モータ
54 格子
56 格子点
58 格子点
60 測定点
62 相関曲線
64 周波数スペクトル
66 限界曲線
68 限界値

Claims (18)

  1. 電気モータの騒音放出を判定するための測定方法において、
    騒音放出を判定すべき電気モータと同型で騒音レベルが既知の電気モータの表面を格子状に分割して、各格子に対応して設定された複数の測定点部位にレーザ振動計装置からレーザを照射して振動振幅を検出し、前記振動振幅が波腹となる測定点部位での振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行って、振動励起と騒音レベルとの相関パラメータを検出決定し、
    前記騒音放出を判定すべき前記電気モータについて、前記相関パラメータを用いて振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行うことを特徴とする測定方法。
  2. 電気モータの定格回転数のときに振動励起を測定することを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
  3. 騒音レベルに対する高い相関関係が成立するように一つの測定部位又は複数の測定部位を決定することを特徴とする請求項1または2に記載の測定方法。
  4. 振動励起のオクターブ分析の一環として一つの測定部位又は複数の測定部位を決定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の測定方法。
  5. 振動励起と騒音レベルとの間の相関パラメータを決定するために、騒音レベルが既知である一連の同型の電気モータにより振動励起を判定することを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の測定方法。
  6. 騒音レベルが一定のレベル範囲内に収まるように騒音レベルが既知である一連の同型の電気モータを選択することを特徴とする請求項に記載の測定方法。
  7. 一定のレベル範囲が標準偏差の少なくとも2倍の範囲を含んでいることを特徴とする請求項6に記載の測定方法。
  8. 振動励起を判定するための一つの測定部位又は複数の測定部位を一連の同型の電気モータにより決定することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一項に記載の測定方法。
  9. 振動励起の周波数スペクトルを求めることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の測定方法。
  10. 周波数スペクトルを少なくとも20kHzまで求めることを特徴とする請求項に記載の測定方法。
  11. 個々の周波数について振動振幅の限界値又は限界値範囲を設定することを特徴とする請求項9又は10に記載の測定方法。
  12. 検査されるべき電気モータが自在に支持されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の測定方法。
  13. 検査されるべき電気モータが振動減衰された状態で支持されることを特徴とする請求項12に記載の測定方法。
  14. 電気モータ(10)の騒音レベルの測定装置において、
    検査されるべき電気モータを自在に支持可能である、検査されるべき電気モータ(10)のための軸受装置(34)と、
    検査されるべき電気モータ(10)の所定の測定部位における振動励起を測定可能であるレーザ振動計装置(18)と、
    騒音放出を判定すべき電気モータと同型で騒音レベルが既知の電気モータの表面を格子状に分割して、各格子に対応して設定された複数の測定点部位にレーザ振動計装置からレーザを照射して振動振幅を検出し、前記振動振幅が波腹となる測定点部位での振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行って、振動励起と騒音レベルとの相関パラメータを検出し、前記騒音放出を判定すべき前記電気モータについて、前記相関パラメータを用いて振動励起と騒音レベルとの相関関係付けを行う評価装置(50)とを備えていることを特徴とする測定装置。
  15. 検査されるべき電気モータ(10)を振動減衰された状態で支持可能であるように軸受装置(34)が構成されていることを特徴とする請求項14に記載の測定装置。
  16. 軸受装置(34)が一つ又は複数の緩衝部材(38)を含んでおり、その上に検査されるべき電気モータ(10)を載置することが可能であることを特徴とする請求項15に記載の測定装置。
  17. レーザ振動計装置(18)がスキャン装置として構成されていることを特徴とする請求項14乃至16のいずれか一項に記載の装置。
  18. レーザ振動計装置(18)が可動に保持された保持装置(16)が設けられていることを特徴とする請求項14乃至17のいずれか一項に記載の装置。
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