JP4253884B2 - Sheet substrate dividing method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はシート状基板の分割方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来におけるシート状基板の分割方法としては、実願昭54−168293号(実開昭56−86109号)の明細書および図面の内容を撮影したマイクロフィルムに開示されたものが知られている。
【0003】
図2はセラミック基板からなるシート状基板の斜視図を示したもので、1はシート状基板で、このシート状基板1には縦・横の分割溝aを設けている。
【0004】
図3は従来のシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図である。図3において、2はコンベアベルト駆動軸3とコンベアベルト張力調整軸4に保持されているコンベアベルトである。5はコンベアベルト2の上面に位置して押さえベルト張力調整軸6と押さえベルト駆動軸7に保持されている押さえベルトである。8はコンベアベルト2の内面に当接している第1の分割用ローラーで、この第1の分割用ローラー8はコンベアベルト2の内面に当接している第2の分割用ローラー9より高い位置に配設されている。10は押さえベルト5の内面に当接し、かつ第1の分割用ローラー8と第2の分割用ローラー9間に配設されている第3の分割用ローラーである。
【0005】
以上のように構成された従来のシート状基板の分割方法を示す分割装置において、以下にシート状基板の分割方法について説明する。
【0006】
まず、コンベアベルト2の上面に分割溝aが下面になるようにシート状基板1を載置する。
【0007】
次に、コンベアベルト2が矢印方向に走行しシート状基板1はコンベアベルト2と押さえベルト5により挟持され、そしてコンベアベルト2の内面に当接した第1,第2の分割用ローラー8,9と、押さえベルト5の内面に当接し、かつシート状基板1に歪みを十分に与えることができる高さに配設した第3の分割用ローラー10との間を通過することによりシート状基板1は分割される。
【0008】
最後に、分割された短冊状基板1aはコンベアベルト2と押さえベルト5に挟持されながら搬送され、そして押さえベルト5が離れた時から、分割された短冊状基板1aがコンベアベルト2に置かれた状態が得られる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のシート状基板の分割方法においては、シート状基板1の幅より分割用のコンベアベルト2と押さえベルト5の幅が広いため、コンベアベルト2と押さえベルト5で挟持されて分割された短冊状基板1aから押さえベルト5が離れた時、分割された短冊状基板1aがコンベアベルト2の上のみに整列されずに、押さえベルト5の方に送られてしまうものが出るという不具合を有していた。
【0010】
また分割された短冊状基板1aをコンベアベルト2から他の所へ移設する方法としては、コンベアベルト2の上に置かれた前記短冊状基板1aを吸着して他の所へ移設する方法と、分割された短冊状基板1aをコンベアベルト2からそのまま落下させる方法が考えられるが、前者の場合は、分割された短冊状基板1aを吸着する方法であるため、吸着の安定性の面で正確さに欠けるものであり、一方、後者の場合は、コンベアベルト2からそのまま落下させた短冊状基板1aを収納するだけであるため、そこからの自動化において十分なものとは言えず、そのため、分割された短冊状基板1aを自動化の行いやすい状態に整列させることが要求されていた。
【0011】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができるシート状基板の分割方法を提供することを目的とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のシート状基板の分割方法は、シート状基板を上面に載置して第1の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第1の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第1の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第1の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第2の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第2の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第1の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが180度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程とを備え、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第1の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしたもので、この分割方法によれば、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、かつ分割された短冊状基板を第1の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、シート状基板を上面に載置して第1の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第1の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第1の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第1の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第2の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第2の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第1の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが180度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程とを備え、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第1の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしたもので、この分割方法によれば、第1の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが180度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板は搬送用フィルムの上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、また、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第1の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板を第1の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるという作用を有するものである。
【0014】
請求項2に記載の発明は、特に、搬送用フィルムの幅をシート状基板の幅よりも狭くしたもので、この分割方法によれば、搬送用フィルムの幅がシート状基板の幅より狭くなっているため、搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する場合、この移載をスムーズに行わせることができるという作用を有するものである。
【0015】
請求項3に記載の発明は、特に、搬送用フィルムをポリエチレンテレフタレートフィルムで構成したもので、この分割方法によれば、搬送用フィルムをポリエチレンテレフタレートフィルムで構成しているため、大きな抗張力を有し、かつ強靭である搬送用フィルムを得ることができ、そして破損しにくいという作用を有するものである。
【0016】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0017】
図1は本発明の一実施の形態におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図である。図1において、11は第1のローラー12を介して分割溝16を有するシート状基板13を搬送する第1の搬送用ベルトである。14は第1の搬送用ベルト11のほぼ終端の上方に配設された上下左右に移動するユニットで、このユニット14には吸着パッド15を保持し、かつこの吸着パッド15は第1の搬送用ベルト11の上面に載置されたシート状基板13を吸着し、後述する第1の分割用ベルト17に移載させるものである。17は第1の搬送用ベルト11のほぼ終端の直近に位置して第1の搬送用ベルト11とほぼ同じ高さに配設された第1の分割用ベルトで、この第1の分割用ベルト17は第2のローラー18と第3のローラー19に張架され、第3のローラー19が回転駆動することにより走行するものである。この場合、第2,第3のローラー18,19の間には第1の分割用ベルト17の内面に当接するように小径ローラー20を配設しており、そしてこの小径ローラー20はシート状基板13を短冊状基板21に分割するときに寄与するものである。また前記第1の分割用ベルト17の幅はシート状基板13の幅よりも広くしているものである。22は第1の分割用ベルト17の上方に位置して配設された第2の分割用ベルトで、この第2の分割用ベルト22は第4,第5のローラー23,24に張架されているものである。そしてこの第2の分割用ベルト22は大径ローラー25が回転駆動することにより走行するものである。
【0018】
また前記大径ローラー25は第4,第5のローラー23,24間に位置して第2の分割用ベルト22の内面に当接し、かつ第1の分割用ベルト17の内面に当接している小径ローラー20よりも上方に位置してシート状基板13を短冊状基板21に分割するときに寄与するものである。そしてまた、前記第2の分割用ベルト22の幅はシート状基板13の幅よりも広くしているものである。26は第1,第2の分割用ベルト17,22間を走行する搬送用フィルムで、この搬送用フィルム26は第1の分割用ベルト17との間にシート状基板13を挟持してシート状基板13を短冊状基板21に分割した後、第3のローラー19が180度回転することにより、第1の分割用ベルト17と搬送用フィルム26との間に挟持された短冊状基板21は反転し、そしてこの短冊状基板21は第2のローラー18の近傍まで搬送されるものである。
【0019】
また前記搬送用フィルム26はポリエチレンテレフタレートフィルムで構成され、かつその幅はシート状基板13の幅よりも狭くしているものである。27は第2のローラー18の近傍で、かつ第1の分割用ベルト17の下端に位置して搬送用フィルム26の両脇に配設された吸着ブロックで、この吸着ブロック27は短冊状基板21を吸着して第2のローラー18の下端の近傍から搬送用フィルム26の上面の所定の位置まで移動させるものである。28は搬送用フィルム26の両脇に位置して搬送用フィルム26とほぼ同じ高さに配設された一対の第2の搬送用ベルトであり、前記搬送用フィルム26の上面に載置された短冊状基板21は搬送用フィルム26が移動するにつれ第2の搬送用ベルト28に移し替えられるものである。
【0020】
以上のように構成されたシート状基板の分割方法を示す分割装置において、以下にシート状基板の分割整列方法について説明する。
【0021】
まず、第1の搬送用ベルト11の上面にシート状基板13を載置して吸着パッド15の下部まで移動させる。
【0022】
次に、吸着パッド15でシート状基板13を吸着して第1の搬送用ベルト11から第1の分割用ベルト17の上面にシート状基板13を移動させる。
【0023】
次に、第1の分割用ベルト17は第3のローラー19が回転することにより走行しているもので、第1,第2の分割用ベルト17,22の間を走行する搬送用フィルム26と第1の分割用ベルト17でシート状基板13を挟持しながら第1の分割用ベルト17の内面に当接する小径ローラー20と第2の分割用ベルト22の内面に当接する大径ローラー25間をシート状基板13が通過するときにシート状基板13に歪みが与えられ分割溝の部分で短冊状基板21に分割される。
【0024】
次に、第2の分割用ベルト22が第1の分割用ベルト17から離れ、そして第1の分割用ベルト17の上面で短冊状基板21は搬送用フィルム26により挟持され、第3のローラー19が180度回転することにより、第1の分割用ベルト17と搬送用フィルム26との間に挟持された短冊状基板21は反転し、そして短冊状基板21は搬送用フィルム26の上面に配置され、さらに第1の分割用ベルト17とにより挟持される。
【0025】
次に、第1の分割用ベルト17と搬送用フィルム26が共に走行し、第2のローラー18の下端の近傍に配設されている吸着ブロック27により短冊状基板21を吸着し、そして搬送用フィルム26の上面の所定の位置まで搬送用フィルム26と同じ速度で吸着ブロック27を移動させる。この移動時において、第1の分割用ベルト17は搬送用フィルム26から離れるものである。
【0026】
最後に、搬送用フィルム26が走行すると、搬送用フィルム26の上面に位置する短冊状基板21は搬送用フィルム26の両脇に搬送用フィルム26とほぼ同じ高さに配設された一対の第2の搬送用ベルト28に移し替えられるもので、これにより、分割された短冊状基板21を自動化の行い易い状態に整列させることができるものである。
【0027】
上記した本発明の一実施の形態においては、第1の分割用ベルト17と搬送用フィルム26とで分割された短冊状基板21を挟持しながら第3のローラー19が180度回転することにより前記分割された短冊状基板21を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルム26の上面に載置された短冊状基板21から前記第1の分割用ベルト17を離した後短冊状基板21を第2の搬送用ベルト28に移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板21は搬送用フィルム26の上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板21を自動化の行い易い状態に整列させることができるものである。
【0028】
また本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム26の幅をシート状基板13の幅より狭くしているため、搬送用フィルム26の上面に載置された短冊状基板21を第2の搬送用ベルト28に移載する場合、この移載をスムーズに行わせることができるものである。
【0029】
そしてまた本発明の一実施の形態においては、第1の分割用ベルト17および第2の分割用ベルト22の幅をシート状基板13の幅より広くしているため、第1の分割用ベルト17と第2の分割用ベルト22との間でシート状基板13を分割する場合、シート状基板13が分割方向と直角方向に割れにくくなるものである。
【0030】
さらに本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム26の上面に載置された短冊状基板21から第1の分割用ベルト17を離した後短冊状基板21を第2の搬送用ベルト28に移載する工程において、搬送用フィルム26の両脇に吸着ブロック27を配設し、この吸着ブロック27により、少なくとも第1の分割用ベルト17が短冊状基板21から離れる位置まで短冊状基板21の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板21を第1の分割用ベルト17から安定した状態で離すことができるものである。
【0031】
さらにまた本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム26をポリエチレンテレフタレートフィルムで構成しているため、大きな抗張力を有し、かつ強靭である搬送用フィルム26を得ることができ、かつ破損しにくいものが得られるものである。
【0032】
【発明の効果】
以上のように本発明のシート状基板の分割方法は、シート状基板を上面に載置して第1の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第1の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第1の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第1の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第2の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第2の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第1の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが180度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程とを備えたもので、この分割方法によれば、第1の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが180度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2の搬送用ベルトに移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板は搬送用フィルムの上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、また、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第1の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第2 の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第1の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板を第1の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるというすぐれた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図
【図2】 セラミック基板からなるシート状基板の斜視図
【図3】 従来におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図
【符号の説明】
11 第1の搬送用ベルト
13 シート状基板
17 第1の分割用ベルト
18 第2のローラー
19 第3のローラー
21 短冊状基板
22 第2の分割用ベルト
26 搬送用フィルム
27 吸着ブロック
28 第2の搬送用ベルト[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for dividing a sheet-like substrate.
[0002]
[Prior art]
As a conventional method for dividing a sheet-like substrate, one disclosed in the specification and drawings of Japanese Utility Model Application No. 54-168293 (Japanese Utility Model Application No. 56-86109) is disclosed.
[0003]
FIG. 2 is a perspective view of a sheet-like substrate made of a ceramic substrate. Reference numeral 1 denotes a sheet-like substrate, and the sheet-like substrate 1 is provided with vertical and horizontal dividing grooves a.
[0004]
FIG. 3 is a perspective view of a dividing apparatus showing a conventional method for dividing a sheet-like substrate. In FIG. 3,
[0005]
In the dividing apparatus showing the conventional sheet-like substrate dividing method configured as described above, the sheet-like substrate dividing method will be described below.
[0006]
First, the sheet-like substrate 1 is placed on the upper surface of the
[0007]
Next, the
[0008]
Finally, the divided strip-shaped substrate 1a is conveyed while being sandwiched between the
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional sheet-like substrate dividing method, since the dividing
[0010]
Further, as a method of transferring the divided strip-shaped substrate 1a from the
[0011]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a sheet-like substrate dividing method capable of aligning divided strip-like substrates in a state where it can be easily automated.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a sheet-like substrate dividing method according to the present invention includes a step of placing a sheet-like substrate on an upper surface and conveying it by a first conveying belt, and an upper surface of the first conveying belt. A step of transferring and transporting the placed sheet-like substrate to the upper surface of the first dividing belt; and the sheet-like substrate placed on the upper surface of the first dividing belt via a conveying film. A step of separating the sheet-like substrate after being sandwiched between the second dividing belt and separating only the second dividing belt; and a strip divided by the first dividing belt and the transport film A step of reversing the divided strip-shaped substrate by rotating a roller 180 degrees while sandwiching the strip-shaped substrate, and the first split from the strip-shaped substrate placed on the upper surface of the transport film by this reversal After stripping the belt, the strip substrate And a step of transferring the conveying belt, transfer the strip substrate after releasing the first divided belt from the placed strip substrate on the upper surface of the carrying film to a second conveyor belt In the loading process, suction blocks are arranged on both sides of the transport film, and the suction block sucks the lower surface of the strip substrate at least until the first dividing belt is separated from the strip substrate. Therefore, according to this dividing method, the divided strip-shaped substrates can be aligned in a state where it can be easily automated , and the divided strip-shaped substrates are separated from the first dividing belt in a stable state. It is something that can be done.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The invention according to claim 1 of the present invention includes a step of placing a sheet-like substrate on an upper surface and conveying it by a first conveying belt, and a sheet-like shape placed on the upper surface of the first conveying belt. A step of transferring and transporting the substrate onto the upper surface of the first dividing belt; and a second dividing belt through the film for conveying the sheet-like substrate placed on the upper surface of the first dividing belt. And separating the sheet-like substrate between the first division belt and the strip-like substrate divided by the first division belt and the transport film. A step of reversing the divided strip-shaped substrate by rotating a roller by 180 degrees, and after separating the first dividing belt from the strip-shaped substrate placed on the upper surface of the transport film by this reversal transferring the strip-shaped substrate to a second conveyor belt And a step of transferring the strip substrate to the second transport belt after separating the first dividing belt from the strip substrate placed on the upper surface of the transport film. Adsorption blocks are arranged on both sides of the substrate so that the lower surface of the strip substrate is adsorbed to at least the position where the first dividing belt is separated from the strip substrate. For example, a step of reversing the divided strip-shaped substrate by rotating a roller 180 degrees while sandwiching the strip-shaped substrate divided by the first dividing belt and the transport film, and the reversal of the transport The strip-shaped substrate has a step of transferring the strip-shaped substrate to the second transport belt after separating the first dividing belt from the strip-shaped substrate placed on the upper surface of the film for transportation. Base Would be placed on the upper surface of the transfer film, thereby, the divided strip substrate can be aligned to perform state easy automation, also distribution the attracting blocks on both sides of the transfer film Since the suction block is configured so that the lower surface of the strip substrate is sucked at least to the position where the first dividing belt is separated from the strip substrate, the strip substrate is stabilized from the first dividing belt. It has the effect | action that it can isolate | separate in a state .
[0014]
The invention described in
[0015]
In particular, the invention according to claim 3 has a large tensile strength because the transport film is made of a polyethylene terephthalate film, and according to this dividing method, the transport film is made of a polyethylene terephthalate film. In addition, it is possible to obtain a tough film for transportation and to have an effect of being hardly damaged.
[0016]
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0017]
FIG. 1 is a perspective view of a dividing apparatus showing a method for dividing a sheet-like substrate in an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a first conveying belt that conveys a sheet-like substrate 13 having a dividing
[0018]
The large-
[0019]
The
[0020]
In the dividing apparatus showing the method for dividing a sheet-like substrate configured as described above, a method for dividing and arranging sheet-like substrates will be described below.
[0021]
First, the sheet-like substrate 13 is placed on the upper surface of the first conveying belt 11 and moved to the lower part of the suction pad 15.
[0022]
Next, the sheet-like substrate 13 is sucked by the suction pad 15 to move the sheet-like substrate 13 from the first conveying belt 11 to the upper surface of the
[0023]
Next, the
[0024]
Next, the
[0025]
Next, the
[0026]
Finally, when the
[0027]
In the embodiment of the present invention described above, the
[0028]
In the embodiment of the present invention, since the width of the
[0029]
In one embodiment of the present invention, the
[0030]
Furthermore, in one embodiment of the present invention, after the
[0031]
Furthermore, in one embodiment of the present invention, since the
[0032]
【The invention's effect】
As described above, the method for dividing a sheet-like substrate according to the present invention includes a step of placing the sheet-like substrate on the upper surface and conveying it by the first conveying belt, and placing the sheet-like substrate on the upper surface of the first conveying belt. Transferring the conveyed sheet-like substrate to the upper surface of the first dividing belt and conveying the sheet-like substrate placed on the upper surface of the first dividing belt through the conveying film; A step of separating only the second dividing belt after being divided between the dividing belt and dividing the sheet-like substrate; and a strip-like substrate divided by the first dividing belt and the conveying film. The step of reversing the divided strip-shaped substrate by rotating the roller 180 degrees while sandwiching, and the first dividing belt from the strip-shaped substrate placed on the upper surface of the transport film by this reversal. After the separation, the strip-shaped substrate is moved to the second transfer base. According to this dividing method, the roller rotates 180 degrees while sandwiching the strip-shaped substrate divided by the first dividing belt and the conveying film. A step of reversing the divided strip-shaped substrate, and a second transport of the strip-shaped substrate after separating the first dividing belt from the strip-shaped substrate placed on the upper surface of the transport film by the reversal. Since the step of transferring to the belt is provided, the divided strip-shaped substrate is placed on the upper surface of the transport film, thereby making it easy to automate the divided strip-shaped substrate. In the step of transferring the strip substrate to the second transport belt after separating the first split belt from the strip substrate placed on the upper surface of the transport film , Of film for conveyance A suction block is arranged on the side, and this suction block sucks the bottom surface of the strip substrate to at least the position where the first dividing belt is separated from the strip substrate. It has an excellent effect that it can be separated from the dividing belt in a stable state .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a dividing apparatus showing a method for dividing a sheet-like substrate in an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a sheet-like substrate made of a ceramic substrate. Perspective view of dividing apparatus showing method [Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 1st conveyance belt 13 Sheet-like board |
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