JP4246124B2 - 液滴吐出方法および液滴吐出装置 - Google Patents
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Description
R=√(S/2π)
となる。したがって、吐出液12の理想液量(体積)V’は、
V’=4・π・R3/6
となる。
V=K・V’
となる。なお、補正係数Kは、使用する液体の性状により決定されるものであり、実験などにより予め求めておけばよい。
おり、それに応じてプレート50の移動距離が決定される。そのため、この液滴吐出装置には液滴13のピッチ調節を行うため、マイクロコンピュータなどの制御手段8が設けられている。
2 マイクロディスペンサ
3 エアライン
4 エアポンプ
5 レギュレータ
6 高速切換弁
7 圧力計
8 制御手段
9 モータ
11 ノズル
20 CCDカメラ
50 プレート
Claims (11)
- 基板の上部に一定の高さで配置されたノズルの先端から粘性のある液体を吐出し、前記液体をノズルの先端から切れない状態で微少量吐出し、前記ノズルの下に位置するプレートに対して前記吐出された液体を接触させ、その状態で前記プレートを水平移動させることにより前記吐出された液体を前記プレート側に引っ張って前記ノズルから切り離し前記プレート上に液滴として滴下することを繰り返して、前記プレートに対して液滴を所定の間隔で滴下することにより、前記液滴を半球形状の状態で並べることを特徴とする液滴吐出方法。
- 請求項1に記載する液滴吐出方法において、
前記ノズルから間欠的に液体を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1又は請求項2に記載する液滴吐出方法において、
前記プレート上に液体を滴下させる際、前記ノズルが上下動することなく液体を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載する液滴吐出方法において、
前記ノズルから吐出される液滴を撮像し、その撮像データを画像解析して前記ノズルから吐出される液滴の体積を算出して、算出された体積が目標値となるように吐出条件を調節することを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載する液滴吐出方法において、
前記ノズルから吐出される液滴の直径を測長し、測長された直径に基づき前記ノズルから吐出される液滴の体積を算出して、算出された体積が目標値となるように吐出条件を調節することを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1から請求項5に記載するいずれか1つの液滴吐出方法において、
前記ノズルを有する液体を充填したディスペンサに圧縮エアを供給して、その圧縮エアによる加圧力と加圧時間を制御することにより前記液滴一滴分の液量を調節し、
前記プレートの移動距離を制御することにより液滴同士の間隔を調節するようにしたことを特徴とする液滴吐出方法。 - 液体を充填して下端にその液体を吐出させるノズルを備えたディスペンサと、
液体を加圧して前記ノズルから液体を吐出させるべく、前記ディスペンサに接続されて圧縮エアを供給する流体制御機器が設けられたエアラインと、
前記エアライン上の流体制御機器と前記プレートを搭載するとともに、前記ノズルから吐出された液体が切れない状態で前記プレートに接触するように前記プレートを位置させた状態で水平方向に移動させるテーブルと、
前記ノズルから吐出された液体を前記プレート側に引っ張って前記ノズルから切り離し前記プレート上に液滴として滴下することにより、前記液滴を半球形状の状態で並べるように前記テーブルの動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7に記載する液滴吐出装置において、
前記制御手段は、前記プレートに対して前記ディスペンサから複数の液滴が所定の間隔で滴下されるように前記テーブルの動作を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7または請求項8に記載する液滴吐出装置において、
前記ノズルから吐出される液滴を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段の撮像データを画像解析して前記ノズルから吐出される液滴の体積を算出する液滴体積算出手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記液滴体積算出手段で算出される体積が目標値となるように前記エ
アライン上の流体制御機器の動作を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7または請求項8に記載する液滴吐出装置において、
前記ノズルから吐出される液滴の直径を測長する測長手段と、
前記測長手段で得られた液滴の直径に基づき前記ノズルから吐出される液滴の体積を算出する液滴体積算出手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記液滴体積算出手段で算出される体積が目標値となるように前記エアライン上の流体制御機器の動作を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7から請求項10に記載するいずれか1つの液滴吐出装置において、
前記エアラインには、ディスペンサ内の液体を加圧する圧縮エアを送り込むエアポンプ、そのエアポンプからの圧縮エアの圧力を調節する可変可能なレギュレータ及び、ディスペンサへの圧縮エアの供給切り換えを行う高速切換弁が接続され、
前記制御手段が、液体の粘度に応じてディスペンサに供給する圧縮エアの圧力と、その圧縮エアよる加圧時間とを制御して前記プレートへ滴下する液滴一滴分の液量を調節し、また要求される液滴のピッチに応じて前記プレートの移動距離とを調整するようにしたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
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