JP4244235B2 - Electronic circuit equipment - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an on-vehicle electronic circuit device free from thermally stressed boundary separation of a molding resin, from a circuit board, a base, and a lead frame, and free from cracking in the resin and low in cost. <P>SOLUTION: The electronic circuit device is provided with: an electronic circuit assembly (5) having an electronic circuit element (6) including a semiconductor chip, and the circuit board (7) on which the electronic circuit element is mounted and a circuit pattern is formed; a base (2) to which the electronic circuit assembly is adhered, and a flange portion (2d) is prepared outside the mounting region of the electronic circuit assembly; and a lead terminal (3a) which is connected electrically to the electronic circuit assembly, and formed of a material having a higher coefficient of thermal expansion than that of the base. The electronic circuit assembly, the base and the lead terminal are integrally molded by the molding resin (4), with the exception of a part of the flange portion and the lead terminal. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、電子回路装置およびその製造方法に関するものであり、例えば、自動車のエンジンルーム、トランスミッション等に装着され、エンジン、自動変速機等の制御を行う電子回路装置等に好適なものである。   The present invention relates to an electronic circuit device and a method for manufacturing the same, and is suitable, for example, for an electronic circuit device that is mounted in an engine room, a transmission, or the like of an automobile and controls an engine, an automatic transmission, or the like.

自動車の自動変速機の制御を電子回路で行う方式は広く採用されており、その電子回路の実装構造は種々ある。トランスミッション直付けの電子回路装置では、水、油等の浸入で電子回路がダメージを受けないように、装着場所を選定し、また、それらが浸入しないような構造がとられている。   A method of controlling an automatic transmission of an automobile with an electronic circuit is widely adopted, and there are various mounting structures of the electronic circuit. In the electronic circuit device directly attached to the transmission, a mounting location is selected so that the electronic circuit is not damaged by intrusion of water, oil, or the like, and a structure is adopted in which they do not enter.

その構造の一例として、金属のベースに電子回路基板を装着し、このベースとカバーとを抵抗溶接、レーザ溶接等により接合し、電子回路装置内部を気密的に封止するとともに、窒素等の不活性ガスを封入する。これはハーメチックシール構造として知られている。   As an example of the structure, an electronic circuit board is mounted on a metal base, the base and the cover are joined by resistance welding, laser welding, or the like, and the inside of the electronic circuit device is hermetically sealed. Enclose the active gas. This is known as a hermetic seal structure.

この構造では、電子回路の入出力端子をベースに設けたスルーホールを通して外部に引き出し、スルーホールは、絶縁抵抗の高いガラスで封止される。したがって、ベース、ガラス、端子の線膨張係数を最適に選定する必要がある。   In this structure, the input / output terminals of the electronic circuit are drawn out through a through hole provided in the base, and the through hole is sealed with glass having high insulation resistance. Therefore, it is necessary to optimally select the linear expansion coefficients of the base, glass, and terminals.

すなわち、数100℃〜1000℃の高温でガラスを融解し、常温に戻したときに前記三者の部品間で、お互いに残留圧縮応力が作用するようにする必要があるためである。   That is, when the glass is melted at a high temperature of several 100 ° C. to 1000 ° C. and returned to room temperature, the residual compression stress needs to act between the three components.

これらの材質は限定され、例えば、封止材料にソーダ・バリウムガラスを用いたとき、ベース材質としては鋼板、端子は鉄−ニッケル合金(鉄50%−ニッケル50%)の組み合わせとなる。このため、次のような問題点がある。   These materials are limited. For example, when soda-barium glass is used as the sealing material, the base material is a steel plate, and the terminal is a combination of iron-nickel alloy (iron 50% -nickel 50%). For this reason, there are the following problems.

(1)高温での酸化防止が必要で、ベースは溶融温度の高いニッケルメッキ等が必要となる。   (1) It is necessary to prevent oxidation at a high temperature, and the base needs nickel plating having a high melting temperature.

(2)溶接ではカバーの組み合わせ材質が限定され、ベースと同じ鋼板が使用される。電子回路に発熱素子が多い場合には、放熱し易くするためベース材質としてはアルミ、銅等が好適であるが、上記したように鋼板を使用せざるを得ず、鋼板では放熱性が悪い。   (2) The combination material of the cover is limited in welding, and the same steel plate as the base is used. If the electronic circuit has a large number of heat generating elements, aluminum, copper, or the like is suitable as the base material for facilitating heat dissipation. However, as described above, a steel plate must be used, and the steel plate has poor heat dissipation.

(3)抵抗溶接ではベースとカバーとの電気的接触抵抗が均一となるよう、両者の平面度精度を高くする必要がある等、コストアップ要因がある。   (3) In resistance welding, there is a cost increase factor such that it is necessary to increase the flatness accuracy of the base and the cover so that the electric contact resistance between the base and the cover becomes uniform.

(4)レーザ溶接では、前記ベースに施したニッケルメッキの厚さのばらつきが溶接に影響し、また、溶接部分のビードが露出する。それによる錆発生を防止するための保護コーティングが必要である。   (4) In laser welding, variations in the thickness of the nickel plating applied to the base affect the welding, and the bead of the welded portion is exposed. A protective coating is required to prevent the occurrence of rust.

(5)外観では確実に溶接の良否判定を行うことが難しく、気密性を確認するためにはヘリウムガスを用いたチェック法、不活性液体中に入れて気泡の発生の有無をチェックするバブルリークチェック法等が必要であった。   (5) It is difficult to judge the quality of welding reliably on the appearance. Check method using helium gas to check the airtightness, bubble leak that checks the presence of bubbles in an inert liquid Check method was necessary.

上記した諸々の点を改善するために、電子回路素子を搭載した回路基板を熱伝導のよい材質で製作したベースに接着し、このベースの片面を露出しつつ、回路基板およびベースをエポキシ樹脂(モールド樹脂)で封止するパッケージ技術が提案されている。   In order to improve the various points described above, a circuit board on which an electronic circuit element is mounted is bonded to a base made of a material having good heat conduction, and one side of the base is exposed, and the circuit board and the base are bonded with an epoxy resin ( A packaging technique for sealing with a mold resin) has been proposed.

しかしながら、電子回路素子としてシリコンチップを使用し、回路基板としてこのシリコンチップに近似した線膨張係数を有するガラス・セラミック基板を用い、これらの部材をエポキシ樹脂で封止する構造においては、次のような課題があった。   However, in a structure in which a silicon chip is used as an electronic circuit element, a glass / ceramic substrate having a linear expansion coefficient approximate to this silicon chip is used as a circuit board, and these members are sealed with epoxy resin, the following is performed. There was a serious problem.

すなわち、回路基板やベースを埋設するエポキシ樹脂のモールド工程(トランスファモールド工程)時に、そのモールド樹脂(エポキシ樹脂)を、硬化工程を経て型から取出した後の冷却中に、エポキシ樹脂の硬化収縮と基板やベースに対する線膨張係数差とによって、エポキシ樹脂と回路基板やベースとの境界面で剥離、または樹脂クラックが生じやすい。   That is, during the cooling process after the mold resin (epoxy resin) is taken out of the mold through the curing process during the epoxy resin molding process (transfer molding process) for embedding the circuit board and base, Due to the difference in coefficient of linear expansion with respect to the substrate or base, peeling or resin cracks are likely to occur at the interface between the epoxy resin and the circuit board or base.

モールド成形時におけるエポキシ樹脂等価線膨張係数がベースのそれより大きく、かつ回路基板の線膨張係数もベースよりさらに小さい。そのために、回路基板に密着したエポキシ樹脂の収縮応力によって回路基板とベースとが反り、密着されていないエポキシ樹脂の部分、または密着力の弱い部分に引張り応力が働き、境界面で剥離が発生するのである。   The epoxy resin equivalent linear expansion coefficient at the time of molding is larger than that of the base, and the linear expansion coefficient of the circuit board is also smaller than that of the base. For this reason, the circuit board and the base warp due to the shrinkage stress of the epoxy resin that is in close contact with the circuit board, and tensile stress acts on the part of the epoxy resin that is not in close contact, or the part that has low adhesive force, and peeling occurs at the boundary surface. It is.

なお、エポキシ樹脂等価線膨張係数は、そのモールド樹脂が型内で硬化するときの化学的収縮と、型から取り出されて室温に冷却される過程における、成形温度〜ガラス転移温度Tgまでの線膨張係数α2と、ガラス転移温度Tg〜室温までの線膨張係数α1とを合成したものであり、常温の線膨張係数に比べて約4倍の値である。   Note that the epoxy resin equivalent linear expansion coefficient is the linear expansion from the molding temperature to the glass transition temperature Tg in the process of chemical shrinkage when the mold resin is cured in the mold and cooling to room temperature. The coefficient α2 and the linear expansion coefficient α1 from the glass transition temperature Tg to room temperature are synthesized, which is about four times the linear expansion coefficient at room temperature.

この剥離をなくすために、例えば、ベースの端面部分に密着性のよい皮膜処理を形成すると、境界面付近のエポキシ樹脂にクラックが発生するという問題があった。   In order to eliminate this peeling, for example, when a coating treatment with good adhesion is formed on the end face portion of the base, there is a problem that cracks occur in the epoxy resin near the boundary surface.

その対策として、硬化収縮が少なく、かつ、線膨張係数の小さいエポキシ樹脂を使用するか、あるいは、ベースの端面に線膨張係数差を吸収する柔軟な樹脂コーティング処理を施すことが考えられる。しかしながら、いずれもコストアップが避けられず、安価な構造が望まれていた。   As a countermeasure, it is conceivable to use an epoxy resin with a small curing shrinkage and a small linear expansion coefficient, or to apply a flexible resin coating treatment to absorb the difference in linear expansion coefficient on the end face of the base. However, in any case, an increase in cost is inevitable, and an inexpensive structure has been desired.

なお、従来の公知技術には、例えば特開平7−240493号公報のように半導体素子をリードフレームに搭載してこれらの部品をモールド樹脂中に埋設してパッケージ化したものや、特開平1−205556号公報のようにICチップとそのマウント部材および放熱板をパッケージ化したものがある。これらの従来技術は、電子回路基板やそのベースまでをもモールド樹脂でパッケージしようとするものではない。   Conventionally known techniques include, for example, a semiconductor element mounted on a lead frame and packaged by embedding these components in a mold resin as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-240493. There is a package of an IC chip, its mounting member, and a heat sink as disclosed in JP-A-205556. These prior arts do not attempt to package the electronic circuit board and its base with the mold resin.

また、特開平6−61372号、特開平9−307026号公報のように、基板に半導体素子を搭載して樹脂封止するものがあるが、はるかに面積の大きい電子回路基板やベースまでも一つのモールド樹脂で封止実装してしまうという技術へ適用するには、非常に大きな課題がある。   Also, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 6-61372 and 9-307026, there are some which are mounted with a semiconductor element on a substrate and sealed with resin, but even an electronic circuit board or base having a much larger area can be used. There is a very big problem to apply to the technique of sealing and mounting with one mold resin.

特開平7−240493号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-240493 特開平1−205556号公報JP-A-1-205556 特開平6−061372号公報JP-A-6-061372 特開平9−307026号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-307026

上記したように回路基板やベースの面積の大きさが原因で、それを包むエポキシ樹脂(モールド樹脂)の収縮応力が大きくなる。それにより回路基板やエポキシ樹脂間の境界面で剥離、もしくは樹脂クラックが発生するといった課題が新たに生じた。また、使用環境条件、特に温度変化の繰り返しによる熱応力でも、前記同様の剥離と樹脂クラックが発生する問題があった。   As described above, due to the size of the area of the circuit board and the base, the shrinkage stress of the epoxy resin (mold resin) that encloses it increases. As a result, a new problem such as peeling or resin cracking at the interface between the circuit board and the epoxy resin has occurred. In addition, there is a problem that peeling and resin cracks similar to those described above occur even under use environment conditions, particularly thermal stress due to repeated temperature changes.

本発明の目的は、電子回路基板やベースまでをもモールド樹脂によりパッケージ化する場合に、熱応力によるモールド樹脂と回路基板,ベースとの剥離や樹脂クラックのない、安価な電子回路装置を提供しようとするものである。   It is an object of the present invention to provide an inexpensive electronic circuit device that does not cause peeling or resin cracking between the mold resin, the circuit board, and the base due to thermal stress when packaging even the electronic circuit board and the base with the mold resin. It is what.

本発明の代表的な一つは、電子回路素子が取り付けられた回路基板を含む電子回路組立体と、フランジ部を有し電子回路組立体が接着されるベースと、ベースとは別部材で構成され電子回路組立体へ電気的に接続されるリード端子と、を備え、ベース、電子回路組立体、及び、リード端子は、ベースのフランジ部とリード端子の一部を除きモールド樹脂により封止されている電子回路装置である。   A representative one of the present invention includes an electronic circuit assembly including a circuit board to which an electronic circuit element is attached, a base having a flange portion to which the electronic circuit assembly is bonded, and a member separate from the base. A lead terminal electrically connected to the electronic circuit assembly, and the base, the electronic circuit assembly, and the lead terminal are sealed with mold resin except for a flange portion of the base and a part of the lead terminal. It is an electronic circuit device.

本発明によれば、熱応力によるモールド樹脂と回路基板、ベース、リードフレームとの界面剥離や樹脂クラックのない、安価な自動車用電子回路装置を実現できる。   According to the present invention, it is possible to realize an inexpensive automotive electronic circuit device that is free from interface peeling and resin cracks between a mold resin and a circuit board, base, and lead frame due to thermal stress.

本発明の電子回路装置組立体の一実施例を図1〜図29によって説明する。   An embodiment of the electronic circuit device assembly of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1は自動車用電子回路装置(コントロールユニット)1の平面図、図2および図3は、図1のI-I線およびII-II線に沿う一部断面図である。   FIG. 1 is a plan view of an automobile electronic circuit device (control unit) 1, and FIGS. 2 and 3 are partial cross-sectional views taken along lines II and II-II in FIG.

フランジ部2dを有するベース2に、回路素子6および回路基板7からなる電子回路組立体5が搭載されている。この搭載は、回路基板7をベース2の上面に接着することで行われる。   An electronic circuit assembly 5 including a circuit element 6 and a circuit board 7 is mounted on the base 2 having the flange portion 2d. This mounting is performed by bonding the circuit board 7 to the upper surface of the base 2.

櫛形に配列されたリード端子3aは、外部の接続対象物(図示せず)と電気的に接続する場合には、外部対象物のハーネス・コネクタに嵌合、またはハーネス端子に溶接等で接続される。   When the lead terminals 3a arranged in a comb shape are electrically connected to an external connection object (not shown), the lead terminals 3a are fitted to a harness / connector of the external object or connected to the harness terminal by welding or the like. The

電子回路組立体5とリード端子3aとは、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法でアルミ細線9を介して電気的に接続されている。   The electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are electrically connected through the aluminum fine wire 9 by wire bonding methods such as thermocompression bonding and ultrasonic waves.

電子回路組立体5をベース2上面に接着し、電子回路組立体5とリード端子3aとをアルミ細線9で接続した後、これらの部品、回路素子6、回路基板7、ベース2、リード端子3aを一括してモールド樹脂(以下、封止樹脂と称する)4中にリード端子3aの一部やフランジ部2dの一部を除いて埋設する。   After the electronic circuit assembly 5 is bonded to the upper surface of the base 2 and the electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are connected by the aluminum thin wire 9, these components, circuit element 6, circuit board 7, base 2, lead terminal 3a Are embedded in a mold resin (hereinafter referred to as sealing resin) 4 except for a part of the lead terminal 3a and a part of the flange portion 2d.

封止樹脂4は、トランスファモールド成形によって製作する。トランスファモールド成形は、一般に封止樹脂としてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を使用する方法で、粉末を圧縮成形したタブレット状のエポキシ樹脂を、所定の温度、圧力を印加することにより融解させ、これを型内に流動および固化させるものである。この製法は、LSI(大規模集積回路)等のチップのパッケージとして広く採用されているものである。   The sealing resin 4 is manufactured by transfer molding. Transfer molding is generally a method that uses a thermosetting resin such as an epoxy resin as a sealing resin, and melts a tablet-like epoxy resin that is compression-molded by applying a predetermined temperature and pressure. Is allowed to flow and solidify in the mold. This manufacturing method is widely used as a package for chips such as LSI (Large Scale Integrated Circuit).

封止樹脂4は、低線膨張係数を有する樹脂とし、内部部品を全体的に包む。封止樹脂4は、内部部品との密着力を常に所定値に保持するためおよびはんだ付け部や半導体チップと回路基板との細線ワイヤボンディング接続部等が、熱応力によっての剥れたり断線が生じないようにするために、最適な物性値が選定される。   The sealing resin 4 is a resin having a low linear expansion coefficient, and entirely encloses internal components. The sealing resin 4 always keeps the adhesive force with the internal parts at a predetermined value, and the soldered portion and the thin wire bonding connection portion between the semiconductor chip and the circuit board are peeled off or disconnected due to thermal stress. In order to avoid this, the optimum physical property value is selected.

自動車用の電子回路装置は、使用時の熱応力繰返しに起因する剥離により、封止樹脂4とリード端子3a、ベース2とのそれぞれの密着界面からの水、油等の浸入が懸念される。その点については、リード端子3aおよびベース2と封止樹脂4との線膨張係数差を極力小さくし、それら部材間での熱応力を低減することで解決可能である。   In an electronic circuit device for an automobile, there is a concern that water, oil, or the like may enter from the adhesion interfaces between the sealing resin 4, the lead terminal 3 a, and the base 2 due to peeling due to repeated thermal stress during use. This can be solved by reducing the difference in linear expansion coefficient between the lead terminal 3a and the base 2 and the sealing resin 4 as much as possible and reducing the thermal stress between these members.

リード端子3aは熱伝導の良い銅、または銅系の合金材が選定される。回路基板7はセラミック、ガラス・セラミック等の比較的線膨張係数の小さい材質が選定され、所定の回路パターンが形成されている。回路基板7が接着されるベース2は、線膨張係数が回路基板7および封止樹脂4に近いものを選定する。したがって、リード端子3aの線膨張係数はベース2のそれよりも大きい。   For the lead terminal 3a, copper having a good thermal conductivity or a copper-based alloy material is selected. The circuit board 7 is made of a material having a relatively small linear expansion coefficient such as ceramic or glass / ceramic, and a predetermined circuit pattern is formed. The base 2 to which the circuit board 7 is bonded is selected so that the linear expansion coefficient is close to the circuit board 7 and the sealing resin 4. Therefore, the linear expansion coefficient of the lead terminal 3 a is larger than that of the base 2.

インバー、または、アンバーとも称される鉄64%−ニッケル36%の合金の両面に銅を積層した材料、いわゆるクラッド材をベース2として選定し、両金属の厚さ比率を変え、所望の合成された線膨張係数を得る。ちなみに材料単独での線膨張係数は、インバーは約1ppm/℃、銅は16.5ppm/℃である。   A material in which copper is laminated on both sides of an alloy of 64% iron-36% nickel, also called invar or amber, is selected as the base material 2 and the thickness ratio of the two metals is changed to achieve the desired synthesis. Obtain the linear expansion coefficient. Incidentally, the linear expansion coefficient of the material alone is about 1 ppm / ° C. for Invar and 16.5 ppm / ° C. for copper.

したがってクラッド材の線膨張係数を小さくするには、銅の厚さを薄くインバーの厚さを厚くすることになる。このため実施例では、例えば回路基板7の線膨張係数を6ppm/℃、封止樹脂4の線膨張係数(ガラス転移点Tg以下)が9ppm/℃の場合、クラッド材の線膨張係数を9.3ppm/℃としている。この線膨張係数を得るクラッド材の一例として、ベース2の厚さが0.64mmのときには、銅とインバーの厚さは各々0.156mm、0.328mmである。   Therefore, in order to reduce the linear expansion coefficient of the clad material, the copper thickness is reduced and the invar thickness is increased. Therefore, in this embodiment, for example, when the linear expansion coefficient of the circuit board 7 is 6 ppm / ° C. and the linear expansion coefficient of the sealing resin 4 (glass transition point Tg or less) is 9 ppm / ° C., the linear expansion coefficient of the clad material is 9. 3 ppm / ° C. As an example of a clad material for obtaining this linear expansion coefficient, when the thickness of the base 2 is 0.64 mm, the thicknesses of copper and invar are 0.156 mm and 0.328 mm, respectively.

回路基板7および封止樹脂4の線膨張係数に近い値のクラッド材の線膨張係数を9.3ppm/℃に選定すると、お互いの線膨張係数差が小さくなり、使用環境条件とくに温度変化の繰り返しによる熱応力が低減し、封止樹脂4のクラックや部材との密着界面剥離に対する抗力が増大する。   If the coefficient of linear expansion of the clad material close to the linear expansion coefficient of the circuit board 7 and the sealing resin 4 is selected to be 9.3 ppm / ° C., the difference between the linear expansion coefficients of each other will be reduced, and the environment conditions of use, especially the temperature change will be repeated. This reduces the thermal stress caused by, and increases the resistance against cracking of the sealing resin 4 and peeling of the adhesive interface with the member.

クラッド材は柔らかい銅と硬いインバーとを積層しているため、材料相互の硬さの差が大きく、プレスの打ち抜き加工性が悪い問題がある。一般にプレスの打ち抜き加工においては、その加工面は、だれ面、せん断面、破断面が形成されて所定の形状ができる。ところがクラッド材を打ち抜くときは、硬度差が大きく、かつ厚さの異なる薄板を重ねて同時に打ち抜く状態と等価で、だれ面、せん断面、破断面が曖昧となり、打ち抜き端面で板間の結合部が剥離しやすい。   Since the clad material is formed by laminating soft copper and hard invar, there is a problem that the difference in hardness between the materials is large and the punching workability of the press is poor. In general, in the punching process of a press, the processed surface is formed with a dough surface, a sheared surface, and a fracture surface, and can have a predetermined shape. However, when punching a clad material, it is equivalent to a state in which the thickness difference is large and thin plates with different thicknesses are stacked and punched at the same time. Easy to peel.

例えば、インバーの硬さとしてはHv(ヴィッカース硬さ)200、銅はHv100程度であるが、リード端子3aは幅細部分が多数並ぶ形状で、高精度で打ち抜き加工することが困難となる。   For example, the hardness of the invar is about Hv (Vickers hardness) 200 and copper is about Hv 100. However, the lead terminal 3a has a shape in which a large number of narrow portions are arranged, and it is difficult to perform punching with high accuracy.

この対策として、本実施例では単純な形状で高精度を要しないベース2の部分をクラッド材とし、高精度を要するリード端子3aを銅または銅合金材とし、両者を塑性結合する。   As a countermeasure, in this embodiment, the portion of the base 2 which has a simple shape and does not require high accuracy is made of a clad material, the lead terminal 3a which requires high accuracy is made of copper or a copper alloy material, and both are plastically bonded.

ベース2とリード端子部分3aを分離せず、同一の銅合金材でプレス加工するものが一般的な構造である。しかし、その線膨張係数は17ppm/℃前後で、回路基板7および封止樹脂4に比して大きく、この構造では使用時の熱応力繰り返しによる樹脂クラック、樹脂との密着界面剥離が発生しやすい。   A structure in which the base 2 and the lead terminal portion 3a are not separated and is pressed with the same copper alloy material is a general structure. However, its linear expansion coefficient is around 17 ppm / ° C., which is larger than that of the circuit board 7 and the sealing resin 4. In this structure, resin cracks due to repeated thermal stress during use and adhesion interface peeling with the resin are likely to occur. .

特にベース2は広い面積であり、封止樹脂4との密着界面に働く熱応力が大きい。一方、リード端子3aは小面積であり、また片側が露出しているため、熱応力は問題とならないレベルである。   In particular, the base 2 has a large area, and the thermal stress acting on the adhesion interface with the sealing resin 4 is large. On the other hand, since the lead terminal 3a has a small area and one side is exposed, the thermal stress is at a level that does not cause a problem.

図3は本実施例の電子回路装置の要部拡大断面図である。   FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the main part of the electronic circuit device of this embodiment.

ベース2の上面には、回路基板7が接着剤8によって接着される。全面を接着する構造では、接着剤8と部材との界面を隙間なく接着することが困難で、接着剤8の硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりする。   A circuit board 7 is bonded to the upper surface of the base 2 with an adhesive 8. In the structure in which the entire surface is bonded, it is difficult to bond the interface between the adhesive 8 and the member without a gap, and an air layer is formed at the interface when the adhesive 8 is cured, or a large number of minute bubbles remain in the adhesive. Or

このため、トランスファモールド工程の熱により気泡が膨張して潰れ、接着部と封止樹脂4との密着界面付近で界面剥離する問題が発生しやすい。この問題を解決する接着方法の一例は後述する。   For this reason, the bubble expands and is crushed by the heat of the transfer molding process, and the problem of interface separation near the adhesion interface between the adhesive portion and the sealing resin 4 is likely to occur. An example of an adhesion method for solving this problem will be described later.

回路基板7には、図示しない配線パターンが形成され、また、回路基板7上に回路素子6とボンディングパッド10がはんだ、または銀ペースト材(銀入りエポキシ接着剤)で接合されている。ボンディングパッド10とリード端子3aとの間は、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法によりアルミ材の細線9が電気的に接続されている。   A wiring pattern (not shown) is formed on the circuit board 7, and the circuit element 6 and the bonding pad 10 are joined on the circuit board 7 with solder or a silver paste material (epoxy adhesive containing silver). A thin aluminum wire 9 is electrically connected between the bonding pad 10 and the lead terminal 3a by a wire bonding method such as thermocompression bonding or ultrasonic waves.

回路基板7の材質は、回路素子6の大部分を占めるシリコンチップに近い線膨張係数を有し、かつ、封止樹脂4との線膨張係数差が小さいものがよい。回路規模が大きくなると小型化するには多層の回路基板が好ましく、セラミックやガラス・セラミック基板が好適である。放熱性を重視する場合には、熱伝導率の大きいセラミック基板がよい。   The material of the circuit board 7 preferably has a linear expansion coefficient close to that of a silicon chip that occupies most of the circuit elements 6 and has a small difference in linear expansion coefficient from the sealing resin 4. As the circuit scale increases, a multilayer circuit board is preferable for downsizing, and a ceramic or glass / ceramic substrate is preferable. A ceramic substrate having a high thermal conductivity is preferable when the heat dissipation is important.

図4はベース2とリードフレーム3とを結合し、両者を一体化した形状を示すものである。ベース2は、回路基板7が接着される基板接着部2′、フランジ部2d、係合部2e、位置決め孔2f、多数の小孔2g、堰きとめ部2h、突起2i、基板位置決め孔2j、溝2kを有した形状である。   FIG. 4 shows a shape in which the base 2 and the lead frame 3 are joined and both are integrated. The base 2 includes a substrate bonding portion 2 'to which the circuit board 7 is bonded, a flange portion 2d, an engagement portion 2e, a positioning hole 2f, a large number of small holes 2g, a damming portion 2h, a protrusion 2i, a substrate positioning hole 2j, a groove The shape has 2k.

リードフレーム3は、リード端子3a、ボンディングパッド部3b、端子間つなぎ部3c、フレーム部3d、つなぎ部3e、係合部3f、送り孔3gからなり、これらを各々プレス加工で製作する。そして両係合部2e、3fで塑性結合し、ベース2と一体化する。結合方法については後述する。   The lead frame 3 includes a lead terminal 3a, a bonding pad portion 3b, an inter-terminal connecting portion 3c, a frame portion 3d, a connecting portion 3e, an engaging portion 3f, and a feed hole 3g, which are each manufactured by press working. Then, the two engaging portions 2e and 3f are plastically coupled and integrated with the base 2. The coupling method will be described later.

アルミ材の細線9をワイヤボンディング接続するためのボンディングパッド部3bには、その表面が酸化されないようにニッケルメッキ、銀メッキ等が部分的に施される。フランジ部2dは相手部材に固定するために設けられ、位置決め孔2fは、組立時の治具に位置決めするために各々設けたものである。   The bonding pad 3b for wire bonding connection of the aluminum thin wire 9 is partially subjected to nickel plating, silver plating or the like so that the surface thereof is not oxidized. The flange portion 2d is provided for fixing to the mating member, and the positioning holes 2f are provided for positioning on a jig at the time of assembly.

突起2iは方向性を決めるもので、中心に対して非対称形状であり、ベース2の裏表と上下とを一定方向に規制し、製作誤差で生じるトランスファモールド型との嵌合誤差を少なくする目的で設けている。   The protrusion 2i determines the directionality, is asymmetrical with respect to the center, restricts the back and top and bottom of the base 2 in a certain direction, and reduces the fitting error with the transfer mold caused by manufacturing errors. Provided.

また、回路基板7を接着し、所定の工程を経て電子回路組立体5のワイヤボンディング作業が終了した状態の組立体を、この型にセットする際、逆方向には挿入できないようにする目的も兼ねている。この突起2iは、リードフレーム3とベース2との結合体が対称形状の場合、表裏と上下とが識別できる形状、位置を任意に選定すればよい。   Another object of the present invention is to prevent the insertion of the assembly in the reverse direction when the circuit board 7 is bonded and the assembly after the wire bonding operation of the electronic circuit assembly 5 is completed through a predetermined process. Also serves as. The protrusion 2i may be arbitrarily selected in shape and position where the front and back and the upper and lower sides can be distinguished when the combined body of the lead frame 3 and the base 2 is symmetrical.

なお、端子間つなぎ部3c、フレーム部3d、フランジ部2d、堰きとめ部2hとで閉ループ構成になっている理由は、この部分をトランスファモールド成形型で上下から締め付けることにより、封止樹脂4でトランスファモールド成形した際、型内でエポキシ樹脂が融解して液状になったとき、この閉ループ部の外側に洩れないようにするためである。   The reason why the inter-terminal connecting portion 3c, the frame portion 3d, the flange portion 2d, and the damming portion 2h are in a closed loop configuration is that the sealing resin 4 is formed by tightening this portion from above and below with a transfer mold. This is to prevent the epoxy resin from leaking outside the closed loop portion when the epoxy resin melts in the mold and becomes liquid during transfer molding.

嵌合するリード端子3aの幅細部分とモールド型との間には、僅かではあるが嵌合隙間ができるため、この部分で液状のエポキシ樹脂が外部に洩れる。しかし閉ループ構成となっているため、そのループ内で硬化後に薄いバリとして残ることになる。   Since there is a slight fitting gap between the narrow portion of the lead terminal 3a to be fitted and the mold, the liquid epoxy resin leaks to the outside at this portion. However, since it has a closed loop configuration, it remains as a thin burr after curing in the loop.

そしてトランスファモールド成形後、バリを除去し、リードフレーム3の端子間つなぎ部3c、フレーム部3d、つなぎ部3e、係合部3f、2e、堰きとめ部2hを切断し、複数の独立したリード端子3aを形成するとともに、ベース2のフランジ部2dを所定の形状に窓抜き加工、および折り曲げ加工することにより、コントロールユニット1が完成する。   Then, after transfer molding, the burrs are removed, and the inter-terminal connecting portion 3c, the frame portion 3d, the connecting portion 3e, the engaging portions 3f and 2e, and the damming portion 2h of the lead frame 3 are cut to form a plurality of independent lead terminals. 3a is formed, and the control unit 1 is completed by subjecting the flange portion 2d of the base 2 to a window shape and a bending process into a predetermined shape.

図5はベース2とリードフレーム3とを結合した部分の詳細図、図6は図5のIII−III線に沿う断面を示すものである。   FIG. 5 is a detailed view of a portion where the base 2 and the lead frame 3 are joined, and FIG. 6 shows a cross section taken along line III-III in FIG.

ベース2に設けた係合部2eは凹状で、リードフレーム3の凸状係合部3fに嵌合されている。凸状係合部3fの一部には平面方向に係止できるよう、傾斜部を設けた形状を図7に、傾斜部を有しない形状を図8に各々示す。そしてプレス荷重の印加により、係合部3fを厚さ方向に表裏両面から潰し、凹所13を形成して材料の塑性流動により結合する。各係合部の凹凸形状をお互い逆に設置しても同じ結合効果は得られる。   The engaging portion 2 e provided on the base 2 is concave and is fitted to the convex engaging portion 3 f of the lead frame 3. FIG. 7 shows a shape provided with an inclined portion and FIG. 8 shows a shape without the inclined portion so that a part of the convex engaging portion 3f can be locked in the planar direction. Then, by applying a press load, the engaging portion 3f is crushed from both the front and back surfaces in the thickness direction, and a recess 13 is formed and bonded by plastic flow of the material. The same coupling effect can be obtained even if the concave and convex shapes of the respective engaging portions are installed opposite to each other.

図7の場合には、凹所13が形成されていなくとも凸状係合部3fが平面方向に係止できる形状であるが、結合作業時には板厚方向からしか凹状係合部2eに挿入できない。図8の場合には、これと同一方向および平面方向どちらからでも挿入できる利点がある。   In the case of FIG. 7, the convex engagement portion 3f can be locked in the planar direction even if the recess 13 is not formed, but can be inserted into the concave engagement portion 2e only from the plate thickness direction during the coupling operation. . In the case of FIG. 8, there is an advantage that it can be inserted from either the same direction or the planar direction.

これは自動で挿入する場合、自動機設計の自由度が増す点で有利である。凹所13の形成時には、塑性流動によって凸状係合部3fが凹状係合部2eの傾斜部に沿って広がり、結合後の平面方向係止力は得られる。ただし、凹所13形成時のプレス荷重は、図7に比べて大きくする必要がある。   This is advantageous in that the degree of freedom in designing the automatic machine is increased when inserting automatically. When the recess 13 is formed, the convex engaging portion 3f spreads along the inclined portion of the concave engaging portion 2e by plastic flow, and a planar locking force after coupling is obtained. However, it is necessary to increase the press load when forming the recess 13 as compared with FIG.

インバー2aの硬さはリードフレーム3より硬いので、リードフレーム3に形成した凸状係合部3fを潰しても問題ない。しかしながら、とくにリードフレーム3の材質が比較的硬い銅合金で、インバー2aの厚さが薄く、銅2b、2cが厚い場合には、凹状係合部2eをベース2に形成すると、係合部が外側に開いてしまう問題が生じる。したがって、銅とインバーのクラッド材の厚さ比率、リードフレーム3の材質硬度に応じ、凹部13をリードフレーム3か、ベース2の何れかに形成することである。   Since the invar 2a is harder than the lead frame 3, there is no problem even if the convex engaging portion 3f formed on the lead frame 3 is crushed. However, particularly when the lead frame 3 is made of a relatively hard copper alloy and the invar 2a is thin and the copper 2b and 2c are thick, if the concave engaging portion 2e is formed on the base 2, the engaging portion is The problem of opening to the outside occurs. Therefore, the recess 13 is formed in either the lead frame 3 or the base 2 in accordance with the thickness ratio of the clad material of copper and invar and the material hardness of the lead frame 3.

本実施例ではこれを考慮し、リードフレーム3は、クラッド材のインバー部分2aより硬度の低い材料を選定している。一例として、Hv120の銅合金である。   In this embodiment, considering this, the lead frame 3 is selected from a material having a lower hardness than the invar portion 2a of the clad material. An example is a copper alloy of Hv120.

ベース2のクラッド材はインバー2a、銅2b、2cからなり、周知のように所定の温度と圧力を印加して積層形成し、金属材料間の拡散により強固に結合されているものである。リードフレーム3の凸状係合部3fを潰して凹所13を上下に形成することにより、材料は塑性流動を起し、平面方向の嵌合隙間が埋められ、ベース2とリードフレーム3とが一体化結合される。   The clad material of the base 2 is made of invar 2a, copper 2b, and 2c, and is laminated by applying a predetermined temperature and pressure as is well known, and is firmly bonded by diffusion between metal materials. By crushing the convex engagement portion 3f of the lead frame 3 to form the recess 13 up and down, the material causes plastic flow, the fitting gap in the planar direction is filled, and the base 2 and the lead frame 3 are connected to each other. Integrated connection.

凹所13を形成する方法の一例を図9に示す。   An example of a method for forming the recess 13 is shown in FIG.

下型11、上型12は、段付き形状を有している。上下方向から荷重を印加すると、リードフレーム3の凸状係合部分3fが潰され、凹所13が形成される。所定の荷重が印加されたとき、型11,12の段付き部分がリードフレーム3の上下面、およびベース2の上下面に当接するプレス条件に設定しておく。当接しないと、銅部分2b、2cが嵌合部近傍で局部的に厚さ方向に盛り上り、厚さ方向のゆがみが生じる恐れがある。   The lower mold 11 and the upper mold 12 have a stepped shape. When a load is applied from above and below, the convex engagement portion 3f of the lead frame 3 is crushed and a recess 13 is formed. When a predetermined load is applied, press conditions are set such that the stepped portions of the dies 11 and 12 come into contact with the upper and lower surfaces of the lead frame 3 and the upper and lower surfaces of the base 2. Otherwise, the copper portions 2b and 2c may locally rise in the thickness direction in the vicinity of the fitting portion, and distortion in the thickness direction may occur.

上下型11、12でベース2とリードフレーム3を上下方向から挟んでおいて、パンチを上下方向からスライドさせ、凹所13を形成する型構造でもよい。なお、前記凹所13は円形状であるが、角形状、あるいは傾斜部に沿った台形状等、任意の形状を採り得る。   A mold structure may be used in which the base 2 and the lead frame 3 are sandwiched from above and below by the upper and lower molds 11 and 12 and the punch is slid from the vertical direction to form the recess 13. In addition, although the said recess 13 is circular shape, arbitrary shapes, such as a square shape or the trapezoid shape along an inclination part, can be taken.

図面では材料の厚さを同一で表しているが、ベース2とリードフレーム3のいずれかを厚くしてもよい。放熱性を高める必要がある場合には、ベース2を厚くするのが効果的である。また、リード端子3aをコネクタ接続する場合には、相手側雌端子の適合厚さに合わせることができる。   In the drawings, the thickness of the material is the same, but either the base 2 or the lead frame 3 may be thickened. When it is necessary to improve heat dissipation, it is effective to make the base 2 thick. Further, when the lead terminal 3a is connected to the connector, it can be adjusted to the matching thickness of the mating female terminal.

図10はリードフレーム3の形状、図11はベース2の形状をそれぞれ示しており、各々プレスの打ち抜き加工で製作する。リードフレーム3は、リード端子3a、ボンディングパッド部3b、端子間つなぎ部3c、フレーム部3d、つなぎ部3e、係合部3f、送り孔3gを有している。   FIG. 10 shows the shape of the lead frame 3, and FIG. 11 shows the shape of the base 2, which are manufactured by stamping each press. The lead frame 3 includes a lead terminal 3a, a bonding pad portion 3b, a terminal connecting portion 3c, a frame portion 3d, a connecting portion 3e, an engaging portion 3f, and a feed hole 3g.

点線で結んだ部分は、連続してプレス加工するための空き部分である。ボンディングパッド部3bには、酸化防止のためニッケルメッキ、銀メッキ等が必要であるが、プレス加工前の材料状態で帯状に部分的に施しておいてもよいし、プレス加工後に部分メッキしてもよい。   The part connected by the dotted line is an empty part for continuous press working. The bonding pad portion 3b needs to be nickel-plated or silver-plated to prevent oxidation. However, the bonding pad portion 3b may be partially applied in a strip shape in the material state before pressing, or may be partially plated after pressing. Also good.

ベース2は、基板接着部2′、フランジ2d、係合部2e、位置決め孔2f、多数の小孔2g、堰きとめ部2h、突起2i、基板位置決め孔2j、溝2kを有している。リードフレーム3と同様に、連続してプレス加工するための空き部分を設ける形状にしてもよい。   The base 2 has a substrate bonding portion 2 ', a flange 2d, an engaging portion 2e, a positioning hole 2f, a large number of small holes 2g, a damming portion 2h, a protrusion 2i, a substrate positioning hole 2j, and a groove 2k. Similarly to the lead frame 3, it may have a shape in which a vacant part for continuous press working is provided.

このように、ベースとリード端子とを異種材料で製作した後、両者を塑性結合で一体化したため、回路基板や封止樹脂の物性値、放熱性の要求レベルや相手側コネクタ端子に応じて、ベースとリード端子の材料を最適な線膨張係数、熱伝導率および厚さで選定できることになる。したがって同一の銅合金材でベースとリードフレームを構成する従来のものでは実現し得なかった、大きな効果である。   Thus, after manufacturing the base and the lead terminal with different materials, since both were integrated by plastic bonding, depending on the physical property value of the circuit board and the sealing resin, the required level of heat dissipation and the mating connector terminal, The material of the base and the lead terminal can be selected by the optimum coefficient of linear expansion, thermal conductivity and thickness. Therefore, this is a great effect that cannot be realized by the conventional structure in which the base and the lead frame are made of the same copper alloy material.

塑性結合の他、溶接、厚さ方向にベースとリード端子とを重ねて鋲で加締める構造も考えられるが、前者では溶接時の熱によって変形したり、後者では厚さ方向寸法が厚くなる問題がある。   In addition to plastic bonding, welding and a structure in which the base and lead terminals are overlapped in the thickness direction and crimped with scissors can be considered, but the former deforms due to heat during welding, and the latter increases the thickness dimension. There is.

図12はベース2の他の形状を示し、回路基板7の面積よりやや狭い範囲と、回路基板7の外形より外側に多数の小孔2gを設置している。   FIG. 12 shows another shape of the base 2, in which a large number of small holes 2 g are provided in a range slightly narrower than the area of the circuit board 7 and outside the outer shape of the circuit board 7.

図13はベース2のさらに別の形状を示し、回路基板7の面積よりやや狭い範囲に大きい窓2mを、回路基板7の外形より外側に多数の小孔2gを各々設置している。   FIG. 13 shows still another shape of the base 2, in which a large window 2 m is installed in a range slightly narrower than the area of the circuit board 7, and a large number of small holes 2 g are installed outside the outer shape of the circuit board 7.

図14は図2に相当する図1を縦方向に断面した拡大図で、ベース2の形状を図11に示すような場合で小孔2gに封止樹脂4が充填された状況を示すもの、図15は同じく図12の形状の断面拡大図、図16は同じく図13の形状の断面拡大図である。   FIG. 14 is an enlarged view of FIG. 1 corresponding to FIG. 2 in the longitudinal direction, and shows the state in which the small resin 2g is filled with the sealing resin 4 in the case where the shape of the base 2 is as shown in FIG. 15 is an enlarged sectional view of the shape of FIG. 12, and FIG. 16 is an enlarged sectional view of the shape of FIG.

図14では、回路基板7の外形より外側にのみ小孔2gを設けた場合であり、図15は回路基板7の外形内、および外側に小孔2gを設けた場合を示す。   FIG. 14 shows a case where the small hole 2g is provided only outside the outer shape of the circuit board 7, and FIG. 15 shows a case where the small hole 2g is provided inside and outside the circuit board 7.

図16は、高発熱素子6′をはんだ、または銀ペースト材でベース2に接合し、その位置を避けるよう回路基板7に窓を設けた構造である。   FIG. 16 shows a structure in which a high heat generating element 6 ′ is joined to the base 2 with solder or silver paste material, and a window is provided on the circuit board 7 to avoid the position.

クラッド材は前述したように、銅と鉄ニッケル合金で構成されているため、銅のみ、または銅合金より熱伝導率が小さい欠点がある。銅のみの場合の熱伝導率396W/(m・K)に対し、本実施例のクラッド材で、線膨張係数が9.3ppm/℃の場合、熱伝導率は平面方向で225W/(m・K)、厚さ方向で25W/(m・K)である。   As described above, since the clad material is composed of copper and iron-nickel alloy, there is a defect that the thermal conductivity is smaller than that of copper alone or copper alloy. In contrast to the thermal conductivity of 396 W / (m · K) in the case of only copper, when the coefficient of linear expansion is 9.3 ppm / ° C. in the cladding material of this example, the thermal conductivity is 225 W / (m · K in the plane direction. K) and 25 W / (m · K) in the thickness direction.

高発熱素子6′を回路基板7に搭載した場合には、所定の温度上昇値以下を確保できないことがあるが、これを解決するためには、図16のような構造が効果的である。高発熱素子6′の熱をベース2に直接逃し、フランジ部2dを介して相手部材へ放熱するものである。   When the high heat generating element 6 'is mounted on the circuit board 7, it may not be possible to ensure a predetermined temperature rise value or less, but in order to solve this, a structure as shown in FIG. 16 is effective. The heat of the high heat generating element 6 'is directly released to the base 2 and radiated to the mating member via the flange portion 2d.

高発熱素子6′を回路基板7に搭載するか否かは、素子の発熱密度(発熱量/素子体積)により選定する。なお前記窓を設置せず、回路基板7を小さくして高発熱素子6′をベース2に接合してもよい。   Whether or not the high heat generating element 6 'is mounted on the circuit board 7 is selected according to the heat generation density (heat generation amount / element volume) of the element. The high heat generating element 6 ′ may be joined to the base 2 by reducing the circuit board 7 without installing the window.

使用時の温度変化と部材間の線膨張係数差に起因する熱応力繰返しにより、封止樹脂4・回路基板7間、封止樹脂4・リード端子3a間、封止樹脂4・ベース2間それぞれの密着界面に剥離が生じると、その部分からの水、油等の浸入が懸念される。   Repetition of thermal stress due to temperature change during use and linear expansion coefficient difference between members, between sealing resin 4 and circuit board 7, between sealing resin 4 and lead terminal 3a, between sealing resin 4 and base 2, respectively If peeling occurs at the close contact interface, water, oil, etc. may enter from that portion.

エポキシ樹脂は周知のように部材との接着力を有しているが、部材の線膨張係数差が適切でないと熱応力繰り返しによって、前記剥離が発生しやすい。小孔2gの作用効果について、以下述べる。   As is well known, an epoxy resin has an adhesive force with a member. However, if the difference in linear expansion coefficient of the member is not appropriate, the peeling is likely to occur due to repeated thermal stress. The effect of the small hole 2g will be described below.

剥離は回路基板7の外側、もしくはベース2の外側の形状急変部分から発生しやすい。すなわち回路基板7の四隅部分や、図1、図2、図14−16に示すベース2のa部分が起点となって進展する。   Peeling is likely to occur from a shape sudden change portion outside the circuit board 7 or outside the base 2. That is, the process proceeds from the four corners of the circuit board 7 and the a part of the base 2 shown in FIGS. 1, 2, and 14-16.

本実施例の構造ではベース2に多数の小孔2gを設け、その部分に封止樹脂4が充填されるようにしている。この小孔2gの存在により、ベース2の剛性を下げるとともに、局部的な剥離が生じようとした場合には、隣の小孔部分の樹脂が防波堤のような作用をし、剥離発生および進展を抑止する効果がある。   In the structure of the present embodiment, a large number of small holes 2g are provided in the base 2, and the sealing resin 4 is filled therein. The presence of the small holes 2g reduces the rigidity of the base 2 and, when local peeling is about to occur, the resin in the adjacent small holes acts like a breakwater, causing the occurrence and progress of peeling. There is a deterrent effect.

図11では、回路基板7の外側に24個の小孔2gを設け、その付近の剥離応力を低減するようにした。図12では、回路基板7の全面積およびこれより広い領域に小孔2gを161個設けている。したがってこの形状では、回路基板7の面積相当領域を含むベース2が低い剛性で構成されることとなる。   In FIG. 11, 24 small holes 2g are provided outside the circuit board 7 to reduce the peeling stress in the vicinity thereof. In FIG. 12, 161 small holes 2g are provided in the entire area of the circuit board 7 and in a wider area. Therefore, in this shape, the base 2 including the area corresponding to the area of the circuit board 7 is configured with low rigidity.

剛性が低いことは、封止樹脂4との線膨張係数差による熱応力を吸収しやすく、かつ多数個分散して小孔2gが設けられているため、部材との密着界面での剥離防止効果が非常に大きくなる利点がある。小孔2gの大きさ、形状、個数は任意の値を採り得るが、例えば、下記の点を考慮して最適値を選定する。   The low rigidity makes it easy to absorb thermal stress due to the difference in coefficient of linear expansion from the sealing resin 4, and a large number of dispersed small holes 2g are provided, thus preventing peeling at the adhesion interface with the member. Has the advantage of becoming very large. The size, shape, and number of the small holes 2g can take arbitrary values. For example, the optimum value is selected in consideration of the following points.

(1)板厚以下の孔径は、プレスの打抜き加工性が悪い。   (1) A hole diameter equal to or less than the plate thickness is poor in punching workability of the press.

(2)孔数が多いと、プレス型の価格が高くなる。   (2) When the number of holes is large, the price of the press die increases.

(3)孔全体の面積が広いほど、放熱性が低下するとともにベースの剛性が低くなり、接着作業時の扱いで変形しやすく、また平面精度が悪くなる。   (3) The wider the area of the entire hole, the lower the heat dissipation and the lower the rigidity of the base, and the more easily deformed during handling during bonding work, and the planar accuracy becomes worse.

(4)孔形状は、型の製作性、保守等を考慮し、角形より円形が好適である。   (4) The hole shape is preferably a circular shape rather than a square shape in consideration of mold manufacturability and maintenance.

図13で示したベース2の形状では、大きい窓2mを設けているため、ベース2の中央部は非常に低剛性となり、熱応力の低減効果がある。ただし、ベース2の面積が減少するため、熱伝導性が低下し放熱性が悪化するので、規定の温度上昇値以下が得られる場合に採用する。   In the shape of the base 2 shown in FIG. 13, since the large window 2m is provided, the central portion of the base 2 has a very low rigidity, and has an effect of reducing thermal stress. However, since the area of the base 2 is reduced, the thermal conductivity is lowered and the heat dissipation is deteriorated, so that it is adopted when a specified temperature rise value or less is obtained.

窓2mの面積は極力広い方が、熱応力低減効果は大きいが、この放熱性悪化と接着面積との兼ね合いで、ある範囲の面積を選定するのがよい。この形状では、回路基板7の面積の40%と80%で、熱応力による封止樹脂4と部材(回路基板、ベース)との界面剥離は、下記条件の熱衝撃試験で発生しなかった。   The larger the area of the window 2m is, the greater the thermal stress reduction effect is. However, it is preferable to select a certain range of area in view of the deterioration of heat dissipation and the adhesion area. In this shape, 40% and 80% of the area of the circuit board 7, and the interface peeling between the sealing resin 4 and the member (circuit board, base) due to thermal stress did not occur in the thermal shock test under the following conditions.

熱衝撃試験条件
サンプル数:窓面積40%、80%各5個
温度:−40℃〜130℃(空気中)各1時間
サイクル数:1500サイクル
仕様:形状…図1、図2,図18
回路基板7の線膨張係数…6ppm/℃
封止樹脂4の線膨張係数…9ppm/℃(ガラス転移温度120℃以下)
ベース2の線膨張係数…9.3ppm/℃
接着剤8の線膨張係数…60ppm/℃(ガラス転移温度140℃以下)
回路基板7の弾性率…270GPa
封止樹脂4の弾性率…3GPa(ガラス転移温度120℃以下)
ベース2の弾性率…120GPa
接着剤8の弾性率…0.3GPa(ガラス転移温度140℃以下)
一般に熱衝撃試験条件で、1000サイクルを満足できれば、この種の電子回路装置をエンジンに装着した使用環境の場合、自動車の走行距離15万〜20万km相当とされており、窓2mの面積は好適である。
Thermal shock test conditions Number of samples: Window area 40%, 80% 5 each Temperature: −40 ° C. to 130 ° C. (in air) 1 hour each Cycle number: 1500 cycles Specifications: Shape ... FIG. 1, FIG. 2, FIG.
Linear expansion coefficient of circuit board 7 ... 6 ppm / ° C
Linear expansion coefficient of sealing resin 4 ... 9 ppm / ° C (glass transition temperature of 120 ° C or less)
Base 2 linear expansion coefficient: 9.3 ppm / ° C
Linear expansion coefficient of adhesive 8 ... 60 ppm / ° C (glass transition temperature 140 ° C or less)
Elastic modulus of circuit board 7 ... 270 GPa
Elastic modulus of sealing resin 4 ... 3 GPa (glass transition temperature of 120 ° C or lower)
Elastic modulus of base 2 ... 120 GPa
Elastic modulus of adhesive 8 ... 0.3 GPa (glass transition temperature 140 ° C or less)
In general, if 1000 cycles can be satisfied under the thermal shock test conditions, the driving distance of an automobile is equivalent to 150,000 to 200,000 km in the use environment in which this type of electronic circuit device is mounted on the engine. Is preferred.

図18は温度変化による熱応力を最小とするための最適な寸法設定の説明図で、封止樹脂4の全体厚さT1を上下方向の厚さT2、T3に二分したとき、回路基板7の厚さ中心線がこの二分線に一致するようにしたものである。この効果について以下説明する。   FIG. 18 is an explanatory diagram of the optimum dimension setting for minimizing thermal stress due to temperature change. When the total thickness T1 of the sealing resin 4 is divided into vertical thicknesses T2 and T3, the circuit board 7 The thickness center line is made to coincide with this bisector. This effect will be described below.

使用時の温度変化による熱応力は、各部材の線膨張係数差に応じて発生する。回路基板7の線膨張係数が6ppm/℃、封止樹脂4の線膨張係数が9ppm/℃、ベース2の線膨張係数が9.3ppm/℃の実施例において、前記寸法に設定すると、封止樹脂4とベース2の各々の線膨張係数がほぼ等しいため、低温時には封止樹脂4の収縮によって封止樹脂4の上側表面が凹、下側表面も凹となるような反りが生じる。   Thermal stress due to temperature change during use is generated according to the difference in linear expansion coefficient of each member. In an embodiment in which the linear expansion coefficient of the circuit board 7 is 6 ppm / ° C., the linear expansion coefficient of the sealing resin 4 is 9 ppm / ° C., and the linear expansion coefficient of the base 2 is 9.3 ppm / ° C. Since the linear expansion coefficients of the resin 4 and the base 2 are substantially equal, warping occurs such that the upper surface of the sealing resin 4 becomes concave and the lower surface becomes concave due to the shrinkage of the sealing resin 4 at low temperatures.

この反り量は上下樹脂とも等しい値であり、回路基板7の厚さ中心が前記位置に設定されていると、回路基板7自身には反りの発生はない。すなわち回路基板7の上下面には、封止樹脂4の収縮応力のみ作用し、反りをお互いにキャンセルするためである。   The amount of warpage is the same value for the upper and lower resins, and if the thickness center of the circuit board 7 is set at the above position, the circuit board 7 itself does not warp. That is, only the shrinkage stress of the sealing resin 4 acts on the upper and lower surfaces of the circuit board 7 to cancel the warpage from each other.

例えば、封止樹脂4全体の厚さ中心より回路基板7の厚さ中心が下側にずれ、図19で示す寸法設定のときにはT2がT3より大きく、低温時には全体が上側凹、下側凸方向の反りが発生する。   For example, the thickness center of the circuit board 7 is shifted downward from the thickness center of the entire sealing resin 4, T2 is larger than T3 when the dimensions are set as shown in FIG. Warpage occurs.

厚さ方向に二分すると、回路基板7の上面が封止樹脂4厚さのほぼ中心位置である。上側樹脂の線膨張係数をαAとし、回路基板7とベース2と下側樹脂の合成線膨張係数をαBとすると、αBよりαAが大きいため、低温時には封止樹脂4の収縮により全体が上側凹方向、下側凸方向の反りが生じる。   Dividing into two in the thickness direction, the upper surface of the circuit board 7 is approximately the center position of the thickness of the sealing resin 4. If the linear expansion coefficient of the upper resin is αA and the combined linear expansion coefficient of the circuit board 7, the base 2 and the lower resin is αB, αA is larger than αB. Warpage in the direction and the downward convex direction occurs.

回路基板7やベース2も僅かではあるが反りが発生する。高温時にはこの反りがなくなるが、再び低温時には同様の反りが発生する。これらの温度変化したがって反り変化が繰り返されると、回路基板7の上面コーナ部分と封止樹脂4との間に局部的な剥離応力が働き、これを起点として剥離が進展する。   The circuit board 7 and the base 2 are also slightly warped. This warp disappears at high temperatures, but the same warp occurs again at low temperatures. When these temperature changes and thus warp changes are repeated, a local peeling stress acts between the upper surface corner portion of the circuit board 7 and the sealing resin 4, and peeling progresses starting from this.

図18の寸法設定では、温度変化があっても回路基板7やベース2の反りが発生しないので、封止樹脂4との間の剥離応力は生じにくい。回路基板7と封止樹脂4との間には、両者の線膨張係数差によって平面方向のせん断応力が作用するが、回路基板7とベース2の反りがなく、この応力による剥離力が小さいためである。   In the dimension setting of FIG. 18, the circuit board 7 and the base 2 are not warped even if there is a temperature change, so that peeling stress between the sealing resin 4 and the sealing resin 4 hardly occurs. A shear stress in the plane direction acts between the circuit board 7 and the sealing resin 4 due to a difference in linear expansion coefficient between the two, but there is no warp between the circuit board 7 and the base 2 and the peeling force due to this stress is small. It is.

全面を接着する構造では、接着剤と部材との界面を隙間なく接着することが難しく、接着剤の硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりしやすい。このため、トランスファモールド工程の熱により気泡が膨張して潰れ、接着部と封止樹脂4との密着界面付近で界面剥離する問題が発生しやすかった。   In the structure where the entire surface is bonded, it is difficult to bond the interface between the adhesive and the member without any gaps, and an air layer is formed at the interface when the adhesive is cured, and many fine bubbles are likely to remain in the adhesive. . For this reason, the bubble expand | swells and is crushed with the heat | fever of a transfer mold process, and the problem of interface peeling near the contact | adherence interface of an adhesion part and the sealing resin 4 was easy to generate | occur | produce.

しかしながら、接着作業工程において、数十μm厚さの印刷マスクを使用し、接着剤8の印刷を行った後、その印刷面中央部に×印状、円形状等の接着剤滴下を加えれば、電子回路組立体5を載せた際、回路基板7の中央部分から外側に向って接着剤中の気泡が排出されやすく、前記問題を軽減できる。   However, in the bonding operation process, after printing the adhesive 8 using a printing mask having a thickness of several tens of μm, and adding an adhesive dripping such as an X mark or a circle in the center of the printing surface, When the electronic circuit assembly 5 is placed, bubbles in the adhesive are easily discharged from the central portion of the circuit board 7 toward the outside, and the above problem can be reduced.

接着作業においては接着治具を使用するが、ベース2に設けた位置決め孔2f、基板位置決め孔2j、溝2kに接着用治具のピンが挿入され、回路基板7は正確に位置決めされる。   In the bonding operation, a bonding jig is used. Pins of the bonding jig are inserted into the positioning holes 2f, the board positioning holes 2j, and the grooves 2k provided in the base 2, and the circuit board 7 is accurately positioned.

前述の接着方法の他、接着剤8を例えば数十μm厚さのエポキシ系シート状接着剤とし、回路基板7の上面から荷重を加え、所定の温度と時間を印加する方法により、前記の問題点を解決する方法もある。   In addition to the above-described bonding method, the above-mentioned problem is caused by a method in which the adhesive 8 is an epoxy-based sheet adhesive having a thickness of several tens of μm, for example, a load is applied from the upper surface of the circuit board 7 and a predetermined temperature and time are applied. There is also a way to solve the problem.

この方法では先ず、ベース2とリードフレーム3とを結合した組立体を受け治具に載置する。シート状接着剤をベース2の上面に置き、その上に回路基板7を載せる。そして押圧治具で回路基板7の上面に荷重を印加する。この状態で所定の温度と時間をかけ、シート状接着剤を融解、硬化して接着工程が終了する。   In this method, first, an assembly in which the base 2 and the lead frame 3 are combined is placed on a receiving jig. A sheet adhesive is placed on the upper surface of the base 2, and the circuit board 7 is placed thereon. Then, a load is applied to the upper surface of the circuit board 7 with a pressing jig. In this state, a predetermined temperature and time are applied, the sheet adhesive is melted and cured, and the bonding process is completed.

回路基板7の材質は、セラミック、ガラス・セラミックであり、ヤング率が高くて硬いため、荷重を印加した際に割れやすい。シート状接着剤はこの点を考慮して、低い荷重で融解、硬化できる低弾性率を有したものを選定する。   The circuit board 7 is made of ceramic or glass / ceramic, and has a high Young's modulus and is hard. Therefore, the circuit board 7 is easily cracked when a load is applied. In consideration of this point, a sheet-like adhesive having a low elastic modulus that can be melted and cured at a low load is selected.

また、回路基板7に形成されている導体パターンに傷がついたり、保護用のガラス膜が割れたりしないよう、凹凸吸収材として、例えばポリエステル樹脂フィルムを回路基板7の表面に載せておくとか、押圧治具の表面に、弾力性のある高耐熱性の樹脂をコーティングしておく等の配慮が必要である。   In addition, for example, a polyester resin film may be placed on the surface of the circuit board 7 as a concavo-convex absorber so that the conductor pattern formed on the circuit board 7 is not damaged or the protective glass film is not broken. It is necessary to consider such as coating the surface of the pressing jig with an elastic high heat resistance resin.

また、ベース2の反りが大きいと、前記接着工程で荷重を印加した際に、反りが矯正されたまま接着硬化し、荷重を除去した状態では矯正による反りを元に戻す応力が接着部分に作用することになる。   Also, if the warp of the base 2 is large, when a load is applied in the bonding step, the adhesive is hardened while the warp is corrected, and when the load is removed, stress that reverses the warp by correction acts on the bonded portion. Will do.

したがって、その応力で接着界面が剥れる問題が発生する。接着終了後の室温状態で剥れが生じていなくとも、とくに電子回路素子6をはんだ接合する工程では、200数十℃のはんだリフロー炉を通すため、接着強度の低下も加わって剥れが発生しやすい。   Therefore, there arises a problem that the adhesive interface peels off due to the stress. Even if no peeling occurs at room temperature after the completion of bonding, particularly in the process of soldering the electronic circuit element 6, it passes through a solder reflow oven at 200 tens of degrees Celsius. It's easy to do.

これを防止するには、ポリエステル樹脂フィルムを接着治具上に載置し、ベース2の下面に当たるようにしておく。これにより前記反りの矯正量を減らすものである。しかしながらあまり反りが大きいと、その防止効果がなくなるので、所定値以下の反りとなるようにベース2の製作精度管理を行う必要がある。   In order to prevent this, a polyester resin film is placed on the bonding jig so as to contact the lower surface of the base 2. Thereby, the correction amount of the warp is reduced. However, if the warpage is too large, the prevention effect is lost. Therefore, it is necessary to manage the production accuracy of the base 2 so that the warp is less than a predetermined value.

ここでシート状接着剤の選定例について説明する。   Here, a selection example of the sheet-like adhesive will be described.

エポキシ系の接着剤を主体とした厚さが50〜200μmのもので、回路基板7より若干狭い面積寸法とする。一般にこの種のシート状接着剤は、数十μm厚のポリエステル樹脂フィルムでシート状接着剤の両面を挟む構造である。このフィルムの片面を剥し、その面をベース2に載せ、反対面のフィルムを介して上面からローラで押圧するか、プレス機で押圧して仮接着する。   The thickness is mainly 50 to 200 μm mainly composed of an epoxy-based adhesive, and has a slightly smaller area than the circuit board 7. In general, this type of sheet-like adhesive has a structure in which both sides of a sheet-like adhesive are sandwiched between polyester resin films having a thickness of several tens of μm. One side of the film is peeled off, the side is placed on the base 2, and is pressed with a roller from the upper surface through a film on the opposite side or is temporarily bonded by pressing with a press.

この際、完全硬化条件として、例えば150℃で1時間のものであれば、50℃の雰囲気で数秒押圧して仮接着し、反対面のフィルムを剥して回路基板7を載せ、一次接着として150℃で3分間加熱、加圧した後、加圧なし150℃で1時間の本硬化を行う。また、仮接着せず一次接着工程に移ってもよい。   At this time, as a complete curing condition, for example, at 150 ° C. for 1 hour, it is pressed for several seconds in an atmosphere of 50 ° C. for temporary adhesion, the opposite film is peeled off and the circuit board 7 is mounted, and the primary adhesion is 150 After heating and pressing at 3 ° C. for 3 minutes, main curing is performed at 150 ° C. for 1 hour without pressure. Moreover, you may transfer to a primary adhesion process, without temporarily bonding.

回路基板7の外側に複数の小孔2gを設ける図11の形状例では、前述の印刷接着剤を使用する接着方式でよいが、回路基板7の全面積を含む広い領域に小孔2gを設ける図12の形状例では、この接着方式を採用することが難しい。理由は、多数の小孔2gを逃げた部分の形状で、接着剤の印刷ができるようなマスクを製作することが困難なためである。   In the shape example of FIG. 11 in which a plurality of small holes 2g are provided on the outside of the circuit board 7, the above-described adhesive method using the printing adhesive may be used, but the small holes 2g are provided in a wide region including the entire area of the circuit board 7. In the shape example of FIG. 12, it is difficult to adopt this bonding method. The reason is that it is difficult to manufacture a mask that can print an adhesive in the shape of a portion that has escaped a large number of small holes 2g.

図12の形状の場合には、シート状接着剤を使用する接着方式の採用で対応できる。シート状接着剤では、多数の小孔をプレス加工で形成することが可能であるからである。なお、この接着方式は図11図の形状にも採用できる。   In the case of the shape shown in FIG. 12, it can be dealt with by adopting an adhesive system using a sheet-like adhesive. This is because the sheet-like adhesive can form a large number of small holes by pressing. This bonding method can also be adopted in the shape shown in FIG.

図20〜図23は、接着方法および接着剤の平面形状を示す図面である。   20 to 23 are drawings showing the bonding method and the planar shape of the adhesive.

図20は液状接着剤を印刷するためのマスク形状を示す平面図である。これは図16に示した高発熱素子6′をプレート2に接合する場合の例で、図21はプレート2に接着剤8を印刷した状態を示すものである。   FIG. 20 is a plan view showing a mask shape for printing the liquid adhesive. This is an example in which the high heat generating element 6 ′ shown in FIG. 16 is bonded to the plate 2, and FIG. 21 shows a state where the adhesive 8 is printed on the plate 2.

マスク20は、数十μm厚さのステンレス鋼鈑、銅合金板等の金属材料で製作し、島20aとマスク20とを繋ぐブリッジ20c、接着剤8を印刷するための窓20b(斜線部)を有する形状である。島20aは、高発熱素子6′の搭載部分で、接着剤8の外側は回路基板7の外形より僅かに狭い領域の寸法としている。   The mask 20 is made of a metal material such as a stainless steel plate or a copper alloy plate having a thickness of several tens of μm, a bridge 20c connecting the island 20a and the mask 20, and a window 20b (shaded portion) for printing the adhesive 8. It is the shape which has. The island 20 a is a mounting portion of the high heat generating element 6 ′, and the outside of the adhesive 8 has a size slightly narrower than the outer shape of the circuit board 7.

ブリッジ20cの部分には接着剤8が印刷されないが、その幅は数百μm程度であり、接着剤8の粘度が低いため、ある程度の時間が経過すれば、両脇の部分から流動するので問題ない。
図22、図23は接着剤8に接着シートを使用した場合の形状を示す。図21に相当する場合には図22の形状で製作し、多数の小孔2gを回路基板7の下側に設置した場合には、図23の形状で製作する。
The adhesive 8 is not printed on the portion of the bridge 20c, but the width is about several hundreds μm, and the viscosity of the adhesive 8 is low. Therefore, if a certain amount of time passes, the adhesive 8 will flow from both sides. Absent.
22 and 23 show the shape when an adhesive sheet is used for the adhesive 8. In the case corresponding to FIG. 21, it is manufactured in the shape of FIG. 22, and in the case where a large number of small holes 2g are installed on the lower side of the circuit board 7, it is manufactured in the shape of FIG.

回路基板7の下側に小孔2gを設置しない場合には、シート状接着剤、液状接着剤のいずれを使用してもよいが、設置する場合にはマスクで印刷することは困難である。すなわち小孔2gに相当する部分には小島を多数設け、これらをブリッジで繋ぐマスク形状となるため、接着剤の印刷される領域が狭く、また小孔2gの側壁に接着剤が流れないようにすることが難しいためである。   When the small hole 2g is not installed on the lower side of the circuit board 7, either a sheet-like adhesive or a liquid adhesive may be used, but when installed, it is difficult to print with a mask. In other words, a portion corresponding to the small hole 2g is provided with a large number of small islands and a mask is formed by connecting these with a bridge. Because it is difficult to do.

したがってこの場合には、シート状接着剤が好適である。シート状接着剤は既述したように、数十μm厚のポリエステル樹脂フィルムでシート状接着剤の両面を挟む構造のため、プレス加工により多数の小孔を明けることは容易である。   Therefore, in this case, a sheet-like adhesive is suitable. As described above, since the sheet-like adhesive has a structure in which both sides of the sheet-like adhesive are sandwiched by a polyester resin film having a thickness of several tens of μm, it is easy to make a large number of small holes by pressing.

接着剤8はエポキシ系接着剤として説明したが、シリコーン系接着剤でもよい。エポキシ封止樹脂4とシリコーン系接着剤とは接着性が悪いとされており、回路基板7の接着時に発生するベーパが部材に残存すると、封止樹脂4と各部材との間の接着力低下が懸念される。   Although the adhesive 8 has been described as an epoxy adhesive, it may be a silicone adhesive. The epoxy sealing resin 4 and the silicone-based adhesive are considered to have poor adhesion, and if the vapor generated when the circuit board 7 is adhered remains on the member, the adhesive strength between the sealing resin 4 and each member is reduced. Is concerned.

しかしながら、接着硬化時に槽の排気を十分に行い、ベーパが残存しないよう配慮することで回避可能である。シリコーン系接着剤は、エポキシ系接着剤より弾性率が小さい物性値を有し、回路基板7とベース2との線膨張係数差による熱応力を吸収できる利点がある。   However, this can be avoided by sufficiently exhausting the tank during the adhesive curing so that no vapor remains. The silicone-based adhesive has a physical property value having a smaller elastic modulus than that of the epoxy-based adhesive, and has an advantage that it can absorb thermal stress due to a difference in linear expansion coefficient between the circuit board 7 and the base 2.

図24は、回路基板7の所定配線パターンにペーストはんだを印刷した後、回路素子6、ボンディングパッド10等の部品を搭載し、リフロー炉ではんだを溶融させ、室温で固化させて電気的接合を行った電子回路組立体5を、ベース2とリードフレーム3との結合体に接着した完成状態を示す。   In FIG. 24, after paste solder is printed on a predetermined wiring pattern of the circuit board 7, components such as the circuit element 6 and the bonding pad 10 are mounted, the solder is melted in a reflow furnace, and solidified at room temperature to perform electrical joining. The completed state in which the electronic circuit assembly 5 performed is bonded to the combined body of the base 2 and the lead frame 3 is shown.

図25はワイヤボンディング作業の治具と図24のIV− IV線に沿う断面を示す断面図である。はんだ接合工程が終了し、ベース2とリードフレーム3との結合体に電子回路組立体5が接着された状態の組立体を、ワイヤボンディング治具16の下治具16aに載せる。   25 is a cross-sectional view showing a wire bonding work jig and a cross section taken along line IV-IV in FIG. After the soldering process is completed, the assembly in which the electronic circuit assembly 5 is bonded to the combined body of the base 2 and the lead frame 3 is placed on the lower jig 16 a of the wire bonding jig 16.

次いで上治具16bによりベース2とリードフレーム3を押さえ、図示しないクランプ治具を用いて両者が上下方向と平面方向に動かないように固定する。ワイヤボンデング作業は熱圧着、超音波等、任意の方式を採用し、アルミ材の細線9により回路基板7のボンディングパッド10とリード端子3aとの間を電気的に接続する。   Next, the base 2 and the lead frame 3 are pressed by the upper jig 16b, and fixed using a clamp jig (not shown) so that they do not move in the vertical direction and the plane direction. The wire bonding operation employs any method such as thermocompression bonding or ultrasonic waves, and electrically connects the bonding pads 10 of the circuit board 7 and the lead terminals 3a by the thin wires 9 made of aluminum.

図26は図24のP部分(結合部)詳細を示す平面図、図27は図12のベース2に設置した小孔2gと、その具体的寸法を示す平面図、図28は高発熱素子6′をベース2に接合する場合の小孔2gの設置状況と、その具体的寸法を示す平面図である。図29は図27、28における小孔2gの具体的寸法を示す平面図である。   26 is a plan view showing details of a P portion (joint portion) in FIG. 24, FIG. 27 is a plan view showing small holes 2g installed in the base 2 of FIG. 12 and specific dimensions thereof, and FIG. It is a top view which shows the installation condition of the small hole 2g at the time of joining 'to the base 2, and its specific dimension. FIG. 29 is a plan view showing specific dimensions of the small holes 2g in FIGS.

なお、ベース2に多数の小孔2gを設置した形状例で説明したが、使用環境温度範囲が比較的狭く、熱応力が小さい場合には小孔2gをなくしてもよい。このときには、接着剤8の印刷マスク、またはシート状接着剤の製作が容易となる。   In addition, although the example of the shape in which a large number of small holes 2g are installed in the base 2 has been described, the small holes 2g may be eliminated when the operating environment temperature range is relatively narrow and the thermal stress is small. At this time, it becomes easy to produce a printing mask of the adhesive 8 or a sheet-like adhesive.

図30〜図51は、本発明の電子回路装置の他の実施例を示す図である。図30は自動車用電子回路装置(コントロールユニット)1の平面図、図31および図32はそれぞれV−V線、VI−VI線に沿う断面図で、その見る方向を変えた一部断面側面図である。   30 to 51 are diagrams showing another embodiment of the electronic circuit device of the present invention. 30 is a plan view of the automobile electronic circuit device (control unit) 1, and FIGS. 31 and 32 are cross-sectional views taken along lines VV and VI-VI, respectively. It is.

フランジ部2dを有するベース2に、回路素子6および回路基板7からなる電子回路組立体5が搭載されている。この搭載は、回路基板7をベース2上に接着することで行われる。   An electronic circuit assembly 5 including a circuit element 6 and a circuit board 7 is mounted on the base 2 having the flange portion 2d. This mounting is performed by bonding the circuit board 7 on the base 2.

リード端子3aは、外部の接続対象物(図示せず)とを電気的に接続するのに使用し、リード端子3aが外部対象物のハーネス・コネクタに嵌合、またはハーネス端子に溶接等で接続される。   The lead terminal 3a is used to electrically connect an external connection object (not shown), and the lead terminal 3a is fitted to the harness / connector of the external object or connected to the harness terminal by welding or the like. Is done.

電子回路組立体5とリード端子3aとは、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法でアルミ細線9を介して電気的に接続されている。電子回路組立体5をベース2上に接着し、電子回路組立体5とリード端子3aとをアルミ細線9で接続した後、回路素子6、回路基板7、ベース2、リード端子3aなどの部品を一括してモールド樹脂(以下、封止樹脂と称する)4中にリード端子3aの一部やフランジ2dの一部を除いて埋設する。   The electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are electrically connected through the aluminum fine wire 9 by wire bonding methods such as thermocompression bonding and ultrasonic waves. After the electronic circuit assembly 5 is bonded to the base 2 and the electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are connected by the aluminum thin wire 9, components such as the circuit element 6, the circuit board 7, the base 2, and the lead terminal 3a are attached. The resin is embedded in the mold resin (hereinafter referred to as sealing resin) 4 except for a part of the lead terminal 3a and a part of the flange 2d.

封止樹脂4は、トランスファモールド成形によって製作する。トランスファモールド成形は、一般に封止樹脂としてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を使用する方法で、粉末を圧縮成形したタブレット状のエポキシ樹脂を、所定の温度、圧力を印加することにより融解させ、これを型内に流動および固化させるものである。この製法は、LSI(大規模集積回路)等のチップのパッケージとして広く採用されているものである。   The sealing resin 4 is manufactured by transfer molding. Transfer molding is generally a method that uses a thermosetting resin such as an epoxy resin as a sealing resin, and melts a tablet-like epoxy resin that is compression-molded by applying a predetermined temperature and pressure. Is allowed to flow and solidify in the mold. This manufacturing method is widely used as a package for chips such as LSI (Large Scale Integrated Circuit).

封止樹脂4は、低線膨張係数を有する樹脂であり、内部部品を全体的に包む。封止樹脂4は、内部部品との密着力を常に所定値に保持するためと、はんだ付け部や半導体チップと回路基板との細線ワイヤボンディング接続部等に、熱応力によっての剥れおよび断線が生じないようにするために、最適な物性値が選定される。   The sealing resin 4 is a resin having a low linear expansion coefficient, and encloses the internal components as a whole. The sealing resin 4 is kept free from peeling and disconnection due to thermal stress at the soldering portion, the thin wire bonding connection portion between the semiconductor chip and the circuit board, etc., in order to always maintain the adhesion force with the internal parts at a predetermined value. In order not to occur, the optimum physical property value is selected.

自動車用の電子回路装置は、使用時の熱応力繰返しにより、封止樹脂4とリード端子3a、ベース2とのそれぞれの密着界面からの水、油等の浸入が懸念される。   In an electronic circuit device for an automobile, there is a concern that water, oil, or the like may enter from the adhesion interfaces between the sealing resin 4, the lead terminal 3 a, and the base 2 due to repeated thermal stress during use.

その点については、リード端子3aおよびベース2と封止樹脂4との線膨張係数差を極力小さくし、それら部材間での熱応力を低減したり、リード端子3aおよびベース2に特殊な表面処理、例えば、アルミキレート処理を施し、樹脂と部材との境界部分で共有結合させる手法により解決可能である。   In this regard, the difference in coefficient of linear expansion between the lead terminal 3a and the base 2 and the sealing resin 4 is made as small as possible to reduce the thermal stress between these members, or a special surface treatment is applied to the lead terminal 3a and the base 2. For example, it can be solved by a technique of applying an aluminum chelate treatment and covalently bonding at the boundary between the resin and the member.

リード端子3aは、熱伝導の良い銅、または銅系の合金材が選定される。回路基板7はセラミック、ガラス・セラミック等の比較的線膨張係数の小さい材質が選定され、所定の回路パターンが形成されている。回路基板7が接着されるベース2は、線膨張係数が回路基板7および封止樹脂4に近いものを選定する。   For the lead terminal 3a, copper having a good thermal conductivity or a copper-based alloy material is selected. The circuit board 7 is made of a material having a relatively small linear expansion coefficient such as ceramic or glass / ceramic, and a predetermined circuit pattern is formed. The base 2 to which the circuit board 7 is bonded is selected so that the linear expansion coefficient is close to the circuit board 7 and the sealing resin 4.

例えば、インバー(鉄64%−ニッケル36%の合金)の両面に銅を積層した材料、いわゆるクラッド材を選定したもので、両金属の厚さ比率を変え、所望の合成された線膨張係数を得る。ちなみに材料単独での線膨張係数は、インバーは約1ppm/℃、銅は16.5ppm/℃である。   For example, a material in which copper is laminated on both sides of Invar (alloy 64% -nickel 36% alloy), that is, a so-called clad material, is selected, the thickness ratio of both metals is changed, and a desired combined linear expansion coefficient is obtained. obtain. Incidentally, the linear expansion coefficient of the material alone is about 1 ppm / ° C. for Invar and 16.5 ppm / ° C. for copper.

線膨張係数を小さくする場合には、銅の厚さを薄くインバーの厚さを厚くすることになる。このためこの実施例では、例えば、回路基板7の線膨張係数を7ppm/℃、封止樹脂4の線膨張係数を8ppm/℃とすると、クラッド材の線膨張係数を6.7ppm/℃としている。   In the case of reducing the linear expansion coefficient, the thickness of copper is reduced and the thickness of invar is increased. For this reason, in this embodiment, for example, when the linear expansion coefficient of the circuit board 7 is 7 ppm / ° C. and the linear expansion coefficient of the sealing resin 4 is 8 ppm / ° C., the linear expansion coefficient of the clad material is 6.7 ppm / ° C. .

この線膨張係数を得るクラッド材の一例として、ベース2の厚さが0.64mmの場合には、銅とインバーの厚さは各々0.128mm、0.384mmである。   As an example of a clad material for obtaining this linear expansion coefficient, when the thickness of the base 2 is 0.64 mm, the thicknesses of copper and invar are 0.128 mm and 0.384 mm, respectively.

回路基板7および封止樹脂4の線膨張係数に近い値のクラッド材の線膨張係数を6.7ppm/℃に選定すると、お互いの線膨張係数差が小さくなり、使用環境条件とくに温度変化の繰り返しによる熱応力が低減し、封止樹脂4のクラックや部材との密着界面剥離に対する抗力が増大する。   If the coefficient of linear expansion of the clad material having a value close to the linear expansion coefficient of the circuit board 7 and the sealing resin 4 is selected to be 6.7 ppm / ° C, the difference between the linear expansion coefficients of the clad material becomes small, and the environment conditions of use, especially the temperature change repeatedly This reduces the thermal stress caused by, and increases the resistance against cracking of the sealing resin 4 and peeling of the adhesive interface with the member.

クラッド材は柔らかい銅と硬いインバーとを積層しているため、材料相互の硬さの差が大きく、プレスの打ち抜き加工性が悪い問題がある。一般にプレスの打ち抜き加工においては、その加工面は、だれ面、せん断面、破断面が形成されて所定の形状ができる。   Since the clad material is formed by laminating soft copper and hard invar, there is a problem that the difference in hardness between the materials is large and the punching workability of the press is poor. In general, in the punching process of a press, the processed surface is formed with a dough surface, a sheared surface, and a fracture surface, and can have a predetermined shape.

しかし、クラッド材を打ち抜くときは、硬度差が大きく、かつ厚さの異なる薄板を重ねて同時に打ち抜く状態と等価で、前記だれ面、せん断面、破断面が曖昧となり、抜き端面で板間の結合部が剥離しやすい問題が生じる。   However, when punching a clad material, it is equivalent to a state where a large difference in hardness and thin plates with different thicknesses are stacked and punched at the same time. There arises a problem that the part is easily peeled off.

例えばインバーの硬さとしてはHv(ヴィッカース硬さ)200、銅はHv100程度であるが、前記リード端子3aは幅細部分が多数並ぶ形状であり、高精度で打ち抜き加工することが困難となる。   For example, the hardness of the invar is about Hv (Vickers hardness) 200, and copper is about Hv 100. However, the lead terminal 3a has a shape in which a large number of narrow portions are arranged, and it is difficult to perform punching with high accuracy.

この対策として、本実施例では単純な形状で高精度を要しないベース2の部分をクラッド材とし、高精度を要するリード端子3aを銅または銅合金材とし、両者を塑性結合するものである。   As a countermeasure, in this embodiment, the portion of the base 2 that has a simple shape and does not require high accuracy is made of a clad material, the lead terminal 3a that requires high accuracy is made of copper or a copper alloy material, and both are plastically bonded.

ベース部分2とリード端子部分3aを、同一の銅合金材で一体にプレス加工するのが、一般的なリードフレームの構造である。しかし、その線膨張係数は17ppm/℃前後で、回路基板7および封止樹脂4に比して大きい。   It is a general lead frame structure that the base portion 2 and the lead terminal portion 3a are integrally pressed with the same copper alloy material. However, its linear expansion coefficient is around 17 ppm / ° C., which is larger than that of the circuit board 7 and the sealing resin 4.

そのために、使用時の熱応力繰り返しによる樹脂クラック、樹脂との密着界面剥離が発生しやすい。とくにベース部分2は広い面積で、封止樹脂4との密着界面に働く熱応力が大きい。リード端子3aは小面積であり、問題とならないレベルである。   For this reason, resin cracks due to repeated thermal stress during use and adhesion interface peeling with the resin are likely to occur. In particular, the base portion 2 has a large area, and the thermal stress acting on the adhesion interface with the sealing resin 4 is large. The lead terminal 3a has a small area and does not cause a problem.

図32は電子回路装置の要部断面図であり、ベース部分2の上面には、回路基板7が接着剤8で接着される。全面を接着する構造では、接着剤と部材との界面を隙間なく接着することが困難で、接着剤の硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりする。   FIG. 32 is a cross-sectional view of an essential part of the electronic circuit device, and the circuit board 7 is bonded to the upper surface of the base portion 2 with an adhesive 8. In the structure where the entire surface is bonded, it is difficult to bond the interface between the adhesive and the member without any gaps, and an air layer is formed at the interface when the adhesive is cured, or a large number of minute bubbles remain in the adhesive. .

このため、トランスファモールド工程の熱により気泡が膨張して潰れ、接着部と封止樹脂4との密着界面付近で界面剥離する問題が発生しやすい。この問題を解決する接着方法の一例は後述する。   For this reason, the bubble expands and is crushed by the heat of the transfer molding process, and the problem of interface separation near the adhesion interface between the adhesive portion and the sealing resin 4 is likely to occur. An example of an adhesion method for solving this problem will be described later.

回路基板7には、図示されない配線パターンが形成され、また、基板上に回路素子6とボンディングパッド10がはんだ接続されている。ボンディングパッド10とリード端子3aには、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法によりアルミ材の細線9が各々電気的に接続されている。   A wiring pattern (not shown) is formed on the circuit board 7, and the circuit element 6 and the bonding pad 10 are soldered on the board. Aluminum wires 9 are electrically connected to the bonding pads 10 and the lead terminals 3a by wire bonding methods such as thermocompression bonding and ultrasonic waves.

回路基板7の材質は、回路素子6の大部分を占めるシリコンチップに近い線膨張係数を有したもので、かつ封止樹脂4との線膨張係数差が小さいものがよい。回路規模が大きくなると小型化するには多層の回路基板が好ましく、セラミックやガラス・セラミック基板が好適である。放熱性を重視する場合には、熱伝導率の大きいセラミック基板がよい。   The material of the circuit board 7 preferably has a linear expansion coefficient close to that of a silicon chip that occupies most of the circuit elements 6 and has a small difference in linear expansion coefficient from the sealing resin 4. As the circuit scale increases, a multilayer circuit board is preferable for downsizing, and a ceramic or glass / ceramic substrate is preferable. A ceramic substrate having a high thermal conductivity is preferable when the heat dissipation is important.

図33はベース2とリードフレーム3とを結合し、一体化した形状を示すものである。ベース2は、基板接着部2′、フランジ部2d、係合部2e、位置決め孔部2f、突起部2nを有した形状である。   FIG. 33 shows a shape in which the base 2 and the lead frame 3 are combined and integrated. The base 2 has a shape having a substrate bonding portion 2 ', a flange portion 2d, an engaging portion 2e, a positioning hole portion 2f, and a protruding portion 2n.

リードフレーム3は、リード端子3a、ボンディングパッド部3b、つなぎ部3c、フレーム部3d、係合部3f、応力吸収部3s、切り欠き3pからなり、これらを各々プレス加工で製作する。そして両係合部2e、3fで塑性結合し、一体化する。結合方法、応力吸収部3sの効果、別の形状例については後述する。   The lead frame 3 includes a lead terminal 3a, a bonding pad portion 3b, a connecting portion 3c, a frame portion 3d, an engaging portion 3f, a stress absorbing portion 3s, and a notch 3p, each of which is manufactured by press working. The two engaging portions 2e and 3f are plastically coupled and integrated. The coupling method, the effect of the stress absorbing portion 3s, and another shape example will be described later.

アルミ材の細線9をワイヤボンディング接続するためのボンディングパッド部3bには、その表面が酸化されないようにニッケルメッキ、銀メッキ等が部分的に施される。フランジ部2dは相手部材に固定するためであり、4個の孔2fは組立時の治具に位置決めするために設けたものである。   The bonding pad 3b for wire bonding connection of the aluminum thin wire 9 is partially subjected to nickel plating, silver plating or the like so that the surface thereof is not oxidized. The flange portion 2d is for fixing to the mating member, and the four holes 2f are provided for positioning on a jig at the time of assembly.

切り欠き3pは方向性を決めるもので、製作誤差で生じるトランスファモールド型との嵌合誤差を少なくする目的で設けている。また、回路基板7を接着し、所定の工程を経て電子回路組立体5のワイヤボンディング作業が終了した状態の組立体を、この型にセットする際、逆方向にならないようにする目的も兼ねている。この切り欠き3pは、リードフレーム3が対称形状の場合、表裏が識別できる任意の形状、位置を選定すればよい。   The notch 3p determines the directionality and is provided for the purpose of reducing the fitting error with the transfer mold caused by the manufacturing error. In addition, when the assembly of the electronic circuit assembly 5 after the bonding of the circuit board 7 and the completion of the wire bonding operation of the electronic circuit assembly 5 is set in this mold, it does not reverse direction. Yes. For the cutout 3p, when the lead frame 3 has a symmetrical shape, any shape and position where the front and back sides can be identified may be selected.

なお、つなぎ部3cとフレーム部3dとフランジ部2dとで閉ループ構成になっている理由は、この部分をトランスファモールド成形型で上下から締め付けることにより、封止樹脂4でトランスファモールド成形した際、型内でエポキシ樹脂が融解して液状になったとき、この閉ループ部の外側に洩れないようにするためである。   The reason why the connecting portion 3c, the frame portion 3d, and the flange portion 2d have a closed loop configuration is that when this portion is clamped from above and below with a transfer mold, the mold is formed by transfer molding with the sealing resin 4. This is to prevent the epoxy resin from leaking outside the closed loop when the epoxy resin melts and becomes liquid.

嵌合するリード端子3aの幅細部分とモールド型との間には、嵌合隙間ができるため、この部分で液状のエポキシ樹脂が外部に洩れるが、閉ループ構成となっていることにより、そのループ内で硬化後に薄いバリとして残る。   Since there is a fitting gap between the narrow portion of the lead terminal 3a to be fitted and the mold, the liquid epoxy resin leaks to the outside at this portion. It remains as a thin burr after curing within.

そしてこの成形後、バリを除去し、リードフレーム3のつなぎ部3c、フレーム部3dを切断し、複数の独立したリード端子3aを形成するとともに、ベース2のフランジ部2dを所定の形状に窓抜き加工、および折り曲げ加工することにより、コントロールユニット1が完成する。   Then, after this molding, the burr is removed, the connecting portion 3c and the frame portion 3d of the lead frame 3 are cut to form a plurality of independent lead terminals 3a, and the flange portion 2d of the base 2 is opened to a predetermined shape. The control unit 1 is completed by processing and bending.

図34はベース2とリードフレーム3とを結合した部分の1例の詳細図、図35は図34のVII− VII線断面を示すものである。   FIG. 34 is a detailed view of an example of a portion where the base 2 and the lead frame 3 are joined, and FIG. 35 is a sectional view taken along line VII-VII in FIG.

ベース2に設けた係合部2eは凹状で、リードフレーム3の凸状係合部3fと嵌合している。これら凹状、凸状の一部には平面方向に係止できるよう、各々傾斜部を設けている。   The engaging portion 2 e provided on the base 2 is concave and is fitted with the convex engaging portion 3 f of the lead frame 3. Each of these concave and convex shapes is provided with an inclined portion so that it can be locked in the planar direction.

そしてプレス荷重の印加により、係合部3fを厚さ方向に潰し、凹所13を形成して材料の塑性流動により結合する。各係合部の凹凸形状をお互い逆に設置しても同じ結合効果は得られる。   Then, by applying a press load, the engaging portion 3f is crushed in the thickness direction, and a recess 13 is formed and bonded by plastic flow of the material. The same coupling effect can be obtained even if the concave and convex shapes of the respective engaging portions are installed opposite to each other.

インバー2aの硬さはリードフレーム3より硬いので、リードフレーム3に形成した凸部を潰しても問題ない。しかしながら、とくにリードフレーム3の材質が比較的硬い銅合金で、インバー2aの厚さが薄く、銅2b、2cが厚い場合には、凹部をベース2に形成すると、係合部が外側に開いてしまう問題が生じる。   Since the invar 2a is harder than the lead frame 3, there is no problem even if the convex portions formed on the lead frame 3 are crushed. However, especially when the lead frame 3 is made of a relatively hard copper alloy and the invar 2a is thin and the copper 2b and 2c are thick, if the recess is formed in the base 2, the engaging portion opens outward. Problem arises.

したがって、銅とインバーのクラッド材の厚さ比率、リードフレーム3の材質硬度に応じ、凹部13をリードフレーム3か、ベース2の何れかに形成することが必要である。   Therefore, it is necessary to form the recess 13 in either the lead frame 3 or the base 2 in accordance with the thickness ratio of the clad material of copper and invar and the material hardness of the lead frame 3.

この実施例ではこれを考慮し、リードフレーム3は、クラッド材のインバー部分2aより硬度の低い材料を選定している。一例として、Hv(ヴィッカース硬さ)150の銅合金である。   In this embodiment, considering this, the lead frame 3 is selected from a material having a lower hardness than the invar portion 2a of the clad material. As an example, it is a copper alloy of Hv (Vickers hardness) 150.

ベース2のクラッド材はインバー2a、銅2b、2cからなり、周知のように所定の温度と圧力を印加して積層形成したもので、金属材料間の拡散で強固に結合されている。   The clad material of the base 2 is made of invar 2a, copper 2b, 2c and is formed by applying a predetermined temperature and pressure as is well known, and is firmly bonded by diffusion between metal materials.

リードフレーム3の凸部を潰して凹所13を上下に形成することにより、材料は塑性流動を起し、平面方向の嵌合隙間が埋められ、ベース2とリードフレーム3とが結合される。   By crushing the convex portion of the lead frame 3 and forming the recess 13 vertically, the material causes plastic flow, the fitting gap in the planar direction is filled, and the base 2 and the lead frame 3 are coupled.

凹所13を形成する方法の一例を図41に示す。下型11、上型12は、段付き形状を有している。上下方向から荷重を印加すると、リードフレーム3の凸状係合部分3fが潰され、凹所13が形成される。   An example of a method for forming the recess 13 is shown in FIG. The lower mold 11 and the upper mold 12 have a stepped shape. When a load is applied from above and below, the convex engagement portion 3f of the lead frame 3 is crushed and a recess 13 is formed.

所定の荷重が印加されたとき、型11,12の段付き部分がリードフレーム3の上下面、およびベース2の上下面に当接するプレス条件に設定しておく。当接しないと、銅部分2b、2cが嵌合部近傍で局部的に厚さ方向に盛り上り、厚さ方向のゆがみが生じる恐れがある。なお、この凹所13は角形状であるが、円形状、あるいは傾斜部に沿った台形状等、任意の形状を採り得る。   When a predetermined load is applied, press conditions are set such that the stepped portions of the dies 11 and 12 come into contact with the upper and lower surfaces of the lead frame 3 and the upper and lower surfaces of the base 2. Otherwise, the copper portions 2b and 2c may locally rise in the thickness direction in the vicinity of the fitting portion, and distortion in the thickness direction may occur. The recess 13 has a square shape, but may take any shape such as a circular shape or a trapezoidal shape along the inclined portion.

図面では材料の厚さを同一で表しているが、ベース2とリードフレーム3のいずれかを厚くしてもよい。放熱性を高める必要がある場合には、ベース2を厚くするのが効果的である。また、リード端子3aをコネクタ接続する場合には、相手側雌端子の適合厚さに合わせることができる。   In the drawings, the thickness of the material is the same, but either the base 2 or the lead frame 3 may be thickened. When it is necessary to improve heat dissipation, it is effective to make the base 2 thick. Further, when the lead terminal 3a is connected to the connector, it can be adjusted to the matching thickness of the mating female terminal.

図37はパッケージする前のリードフレーム3の形状、図38はパッケージする前のベース2の形状を示す平面図であり、各々プレスの打ち抜き加工で製作する。   FIG. 37 is a plan view showing the shape of the lead frame 3 before packaging, and FIG. 38 is a plan view showing the shape of the base 2 before packaging, and each is manufactured by stamping a press.

リードフレーム3は、リード端子3a、ボンディングパッド部3b、つなぎ部3c、フレーム部3d、応力吸収部3s、切り欠き3p、係合部3fを有している。点線で結んだ部分は、連続してプレス加工するための空き部分である。   The lead frame 3 includes a lead terminal 3a, a bonding pad portion 3b, a connecting portion 3c, a frame portion 3d, a stress absorbing portion 3s, a notch 3p, and an engaging portion 3f. The part connected by the dotted line is an empty part for continuous press working.

ボンディングパッド部3bには、酸化防止のためニッケルメッキ、銀メッキ等が必要であるが、プレス加工前の材料状態で、帯状に部分的に施しておいてもよいし、プレス加工後に部分メッキしてもよい。   The bonding pad portion 3b needs to be nickel-plated or silver-plated to prevent oxidation. However, the bonding pad portion 3b may be partially formed in a strip shape in the material state before pressing, or may be partially plated after pressing. May be.

ベース2は、電子回路組立体5が搭載、固定される基板接着部2′、リードフレーム3との係合部2e、フランジ2d、位置決め孔2f、突起部2nを有している。リードフレーム3と同様に、連続してプレス加工するための空き部分を設ける形状にしてもよい。   The base 2 has a substrate bonding portion 2 ′ on which the electronic circuit assembly 5 is mounted and fixed, an engagement portion 2 e with the lead frame 3, a flange 2 d, a positioning hole 2 f, and a protruding portion 2 n. Similarly to the lead frame 3, it may have a shape in which a vacant part for continuous press working is provided.

このように、ベース2とリード端子3aとを異種材料で製作した後、両者を塑性結合で一体化したため、回路基板7や封止樹脂4の物性値、放熱性の要求レベルや相手側コネクタ端子に応じて、ベース2とリード端子3aの材料を最適な線膨張係数、熱伝導率および厚さで選定できることになる。これは同一の銅合金材でリードフレームを構成する従来のものでは達し得なかった、大きな効果である。   Thus, since the base 2 and the lead terminal 3a are made of different materials and then integrated by plastic bonding, the physical properties of the circuit board 7 and the sealing resin 4, the required level of heat dissipation, and the mating connector terminal Accordingly, the materials of the base 2 and the lead terminal 3a can be selected with an optimum linear expansion coefficient, thermal conductivity, and thickness. This is a great effect that cannot be achieved by the conventional structure in which the lead frame is made of the same copper alloy material.

次に前述の応力吸収部3sの作用について説明する。   Next, the operation of the stress absorbing portion 3s will be described.

ベース2とリードフレーム3とを結合したベースリードフレーム組立体は、後述のはんだリフロー炉を通す際、200数十℃の高温に数分間曝される。リードフレーム3は銅または銅合金で、その線膨張係数は約17ppm/℃、ベース2の線膨張係数は6.7ppm/℃であり、両者の線膨張係数差と温度差に応じた熱応力が結合部に作用する。   The base lead frame assembly in which the base 2 and the lead frame 3 are combined is exposed to a high temperature of several tens of degrees Celsius for several minutes when passing through a solder reflow furnace described later. The lead frame 3 is made of copper or copper alloy, and its linear expansion coefficient is about 17 ppm / ° C., and the linear expansion coefficient of the base 2 is 6.7 ppm / ° C. The thermal stress corresponding to the difference between the linear expansion coefficient and the temperature difference between the two. Acts on the joint.

室温で結合した状態では、ベース2とリードフレーム3とが同一平面に形成されているが、リードフレーム3の線膨張係数がベース2より大きいので、リードフレーム3が外側に伸びようとする。   In the state of being coupled at room temperature, the base 2 and the lead frame 3 are formed on the same plane. However, since the linear expansion coefficient of the lead frame 3 is larger than that of the base 2, the lead frame 3 tends to extend outward.

しかし結合部で規制されているため、その部分には応力が働くことになり、これが過大な場合には、ベース2が捩られるような力が作用する。回路基板7とベース2との線膨張係数差は小さいため、その熱応力による反り発生は少ないが、捩れによる力が加わると、接着部分で剥れが生じやすくなる。   However, since it is restricted by the coupling portion, stress acts on that portion, and when this is excessive, a force that twists the base 2 acts. Since the difference in coefficient of linear expansion between the circuit board 7 and the base 2 is small, warpage due to thermal stress is small, but if a force due to twisting is applied, peeling is likely to occur at the bonded portion.

この熱応力を吸収するのが応力吸収部3sである。応力吸収部3s他のフレーム部分より幅細に形成し、リードフレーム3に捩れを生じさせ、その伸びによるベース2の変形(捩れ)を防止するものである。リードフレーム3に捩れが発生しても、室温では元に戻るため実害はないが、ベース2の捩れは防止する必要がある。   The stress absorbing portion 3s absorbs this thermal stress. The stress absorbing portion 3s is formed to be narrower than other frame portions, causes the lead frame 3 to be twisted, and prevents deformation (twisting) of the base 2 due to the elongation. Even if the lead frame 3 is twisted, the lead frame 3 returns to its original state at room temperature, so there is no actual harm, but it is necessary to prevent the base 2 from being twisted.

応力吸収部分3sの形状を示している図37の点線で囲んだP部分は、図39、図40のように種々の形状をとり得る。図39は、幅細部分Sa、溝Sbを設けた形状である。   The portion P surrounded by the dotted line in FIG. 37 showing the shape of the stress absorbing portion 3s can take various shapes as shown in FIGS. FIG. 39 shows a shape in which a narrow portion Sa and a groove Sb are provided.

図40は、傾斜した幅細部分Scを設けた形状である。リードフレーム3の材質、板厚、大きさ等を考慮し、適した形状を選定する。図示形状に限定するものではなく、任意の形状を決定し得る。   FIG. 40 shows a shape in which an inclined narrow portion Sc is provided. A suitable shape is selected in consideration of the material, plate thickness, size, etc. of the lead frame 3. The shape is not limited to the illustrated shape, and an arbitrary shape can be determined.

図41は、結合部を示す他の具体例の詳細図で、図34に対応するものである。リードフレーム3の係合部3fを凹状、ベース2の係合部2eを凸状とし、この凸部分を潰して凹み部13を形成し、両者を塑性結合する。   FIG. 41 is a detailed view of another specific example showing the coupling portion, and corresponds to FIG. The engaging portion 3f of the lead frame 3 is concave, the engaging portion 2e of the base 2 is convex, and the convex portion is crushed to form a concave portion 13, which are plastically coupled.

リードフレーム3の材質が比較的硬い銅合金で、インバー2aの厚さが薄く、銅2b、2cが厚い場合に、この構造が好適で、銅2b、2cに凹み部13を形成する。   This structure is suitable when the lead frame 3 is made of a relatively hard copper alloy, the invar 2a is thin, and the copper 2b, 2c is thick. The recess 13 is formed in the copper 2b, 2c.

図42は回路基板7を接着する治具の一例を示す平面図、図43はそのVIII− VIII線に沿う断面図である。   42 is a plan view showing an example of a jig for adhering the circuit board 7, and FIG. 43 is a cross-sectional view taken along the line VIII-VIII.

全面を接着する構造では、接着剤と部材との界面を隙間なく接着することが難しく、接着剤の硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりしやすい。このため、トランスファモールド工程の熱により気泡が膨張して潰れ、接着部と封止樹脂4との密着界面付近で界面剥離する問題が発生しやすかった。   In the structure where the entire surface is bonded, it is difficult to bond the interface between the adhesive and the member without any gaps, and an air layer is formed at the interface when the adhesive is cured, and many fine bubbles are likely to remain in the adhesive. . For this reason, the bubble expand | swells and is crushed with the heat | fever of a transfer mold process, and the problem of interface peeling near the contact | adherence interface of an adhesion part and the sealing resin 4 was easy to generate | occur | produce.

しかしながら、接着作業工程で、接着剤8を例えば数十μm厚さのエポキシ接着剤シートとし、回路基板7の上面から押圧荷重を加え、所定の温度と時間を印加する方法により、前記の問題点は解決できる。   However, in the bonding operation process, the above-mentioned problem is caused by a method in which the adhesive 8 is an epoxy adhesive sheet having a thickness of, for example, several tens of μm, a pressing load is applied from the upper surface of the circuit board 7 and a predetermined temperature and time are applied. Can be solved.

まず接着治具20の上面に、ベース2とリードフレーム3とを結合した組立体を載置する。接着シート8′をベース2に置き、その上に回路基板7を載せる。そして治具21で回路基板7の上面に荷重を印加する。この状態で所定の温度と時間をかけ、接着シート8′を融解、硬化して接着工程が終了する。   First, an assembly in which the base 2 and the lead frame 3 are coupled is placed on the upper surface of the bonding jig 20. The adhesive sheet 8 'is placed on the base 2, and the circuit board 7 is placed thereon. Then, a load is applied to the upper surface of the circuit board 7 by the jig 21. In this state, a predetermined temperature and time are applied, the adhesive sheet 8 'is melted and cured, and the bonding process is completed.

回路基板7の材質は、ガラスセラミック、セラミックのため、ヤング率が高く荷重を印加した際、割れやすいので、接着シート8′はこの点を考慮して、低い荷重で融解、硬化できる物性値を有したものを選定する。   Since the material of the circuit board 7 is glass ceramic or ceramic, it has a high Young's modulus and is easily broken when a load is applied. Therefore, the adhesive sheet 8 ′ takes into account this point and has physical properties that can be melted and cured with a low load. Select what you have.

また、回路基板7に形成されている導体パターンに傷がついたり、保護用のガラス膜が割れたりしないよう、凹凸吸収材として、例えばポリエステル樹脂フィルムを回路基板7の表面に載せておくとか、治具21の表面に、弾力性のある高耐熱性の樹脂をコーティングしておく等の配慮が必要である。   In addition, for example, a polyester resin film may be placed on the surface of the circuit board 7 as a concavo-convex absorber so that the conductor pattern formed on the circuit board 7 is not damaged or the protective glass film is not broken. It is necessary to consider that the surface of the jig 21 is coated with an elastic high heat resistance resin.

また、ベース2の反りが大きいと、前記接着工程で荷重を印加した際に、反りが矯正されたまま接着硬化し、荷重を除去した状態では矯正による反りを元に戻す応力が接着部分に作用することになる。   Also, if the warp of the base 2 is large, when a load is applied in the bonding step, the adhesive is hardened while the warp is corrected, and when the load is removed, stress that reverses the warp by correction acts on the bonded portion. Will do.

したがって、その応力で接着界面が剥れる問題が発生する。接着終了後の室温状態で剥れが生じていなくとも、とくに後述の電子回路素子6等をはんだ接合する工程では、200数十℃のはんだリフロー炉を通すため、接着強度の低下も加わって剥れが発生しやすい。   Therefore, there arises a problem that the adhesive interface peels off due to the stress. Even if the peeling does not occur at the room temperature after the completion of the bonding, particularly in the step of soldering the electronic circuit element 6 and the like which will be described later, since it is passed through a solder reflow oven at 200 ° C. and several tens of degrees C. This is likely to occur.

これを防止するには、ポリエステル樹脂フィルムを接着治具20上に載置し、ベース2の下面に当たるようにしておく。これにより前記反りの矯正量を減らすものである。しかしながらあまり反りが大きいと、その防止効果がなくなるので、所定値以下の反りとなるように製作時の管理を行う必要がある。   In order to prevent this, a polyester resin film is placed on the bonding jig 20 so as to contact the lower surface of the base 2. Thereby, the correction amount of the warp is reduced. However, if the warpage is too large, the prevention effect is lost. Therefore, it is necessary to manage at the time of manufacture so that the warp is a predetermined value or less.

ここで接着シート8′の選定例について説明する。   Here, an example of selecting the adhesive sheet 8 'will be described.

エポキシ系の接着剤を主体とし、厚さが50〜200μmのもので、回路基板7より若干狭い面積寸法とする。一般にこの種の接着シート材料は、数十μm厚のポリエステル樹脂フィルムでシート状接着剤の両面を挟む構造である。   It is mainly composed of an epoxy-based adhesive, has a thickness of 50 to 200 μm, and has a slightly smaller area size than the circuit board 7. In general, this type of adhesive sheet material has a structure in which both sides of a sheet adhesive are sandwiched between polyester resin films having a thickness of several tens of μm.

このフィルムの片面を剥し、この面をベース2に載せ、反対面のフィルムを介して上面からローラで押圧するか、プレス機で押圧して仮接着する。この際、完全硬化条件として、例えば150℃で1時間のものであれば、50℃の雰囲気で数秒押圧して仮接着した後、一次接着として150℃で3分間加熱、加圧し、150℃で1時間の本硬化を行う。また、仮接着せず一次接着工程に移ってもよい。   One surface of this film is peeled off, this surface is placed on the base 2, and is pressed with a roller from the upper surface through a film on the opposite surface, or is temporarily bonded by pressing with a press. At this time, as complete curing conditions, for example, at 150 ° C. for 1 hour, after temporary pressing by pressing for several seconds in an atmosphere at 50 ° C., heating and pressurizing at 150 ° C. for 3 minutes as primary adhesion, at 150 ° C. 1 hour main curing is performed. Moreover, you may transfer to a primary adhesion process, without temporarily bonding.

液状の接着剤では既に述べたように、硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりするが、圧力を印加しながら高温度でシート状の接着剤を硬化させると、この問題は解決できる。   As already mentioned, in the case of liquid adhesives, an air layer is formed at the interface at the time of curing, or many fine bubbles remain in the adhesive, but the sheet-like adhesive is applied at a high temperature while applying pressure. Curing can solve this problem.

図44はベース2に設けた突起部2nを含む接着部の詳細断面図である。   FIG. 44 is a detailed cross-sectional view of an adhesive portion including a protrusion 2 n provided on the base 2.

本実施例の構造では、回路基板7を多層のセラミックまたはガラス・セラミック基板としており、裏面(下面)にも回路パターン、印刷抵抗体が形成されている。   In the structure of this embodiment, the circuit board 7 is a multilayer ceramic or glass-ceramic substrate, and a circuit pattern and a printed resistor are also formed on the back surface (lower surface).

周知のように印刷後の抵抗値は数十%の誤差が生じるので、この抵抗値を所定の精度内に収めるためにトリミング作業を施す。この作業を行うには、各抵抗体に対して独立した導体パターンを形成しておき、これらのパターン間の抵抗値を測定しながら、レーザ光の熱を利用してトリミングする。   As is well known, an error of several tens of percent occurs in the resistance value after printing, and therefore trimming work is performed to keep the resistance value within a predetermined accuracy. In order to perform this operation, independent conductor patterns are formed for each resistor, and trimming is performed using the heat of laser light while measuring the resistance value between these patterns.

トリミング作業が終了した後、トリミング用のパターンを露出してその他の部分に保護膜を形成する。この保護膜としてはエポキシ樹脂が使用されている。前記トリミング用のパターンを露出している理由は、完成後の状態で抵抗値を測定できるようにし、メーカでの品質管理や、納入先の受け入れ検査でのロット管理等に利用するためである。   After the trimming operation is completed, the trimming pattern is exposed and a protective film is formed on other portions. An epoxy resin is used as the protective film. The reason why the trimming pattern is exposed is to allow the resistance value to be measured after completion, and to use it for quality control at the manufacturer, lot management at the receiving inspection of the delivery destination, and the like.

また、保護膜を低融点ガラスとした場合には、抵抗印刷を行なって焼成した後、トリミング用のパターンを除いた裏面の所定領域に、連続して保護膜を施すことが行われる。そして前記トリミング作業は、低融点ガラスと抵抗とをレーザ光の熱で同時に融かしながら、同様にトリミング用のパターンを利用して行われる。   When the protective film is a low melting point glass, the protective film is continuously applied to a predetermined region on the back surface excluding the trimming pattern after performing resistance printing and baking. The trimming operation is similarly performed using a trimming pattern while simultaneously melting the low melting point glass and the resistance with the heat of the laser beam.

トリミング用のパターンが露出しているため、ベース2に接着する際には、露出面がベース2に接触しないようにするとともに、所定の絶縁距離を確保する必要がある。図44において、トリミング用パターン7aは、回路基板7の裏面に形成されている。突起部2nはベース2のクラッド材の銅部分2bに形成され、絶縁距離を確保するために設けられている。   Since the trimming pattern is exposed, when adhering to the base 2, it is necessary to prevent the exposed surface from coming into contact with the base 2 and to secure a predetermined insulating distance. In FIG. 44, the trimming pattern 7 a is formed on the back surface of the circuit board 7. The protrusion 2n is formed on the copper portion 2b of the clad material of the base 2 and is provided to ensure an insulation distance.

図45は突起部2nの詳細を示す図で、2uは、くぼみ部分、2vは、突起部2nに対向してベース2の反対面に形成されたくぼみ部分、H2はベース2の上面から突起部2nまでの高さ寸法である。これらを形成する方法について、図46、47で説明する。   FIG. 45 is a diagram showing details of the protrusion 2n, 2u is a recess, 2v is a recess formed on the opposite surface of the base 2 so as to face the protrusion 2n, and H2 is a protrusion from the upper surface of the base 2. The height dimension is up to 2n. A method of forming these will be described with reference to FIGS.

下型40にベース2を載置し、上型41で矢印方向にプレスする。上型41には凹部が、下型には凸部がそれぞれ設けられている。このため、プレス荷重によって下側銅部分2cに凹み部分所2vが形成されると同時に、上側銅部分2bが塑性流動し、突起部2nが形成される。   The base 2 is placed on the lower mold 40 and pressed by the upper mold 41 in the direction of the arrow. The upper die 41 is provided with a concave portion, and the lower die is provided with a convex portion. For this reason, the recessed portion 2v is formed in the lower copper portion 2c by the press load, and at the same time, the upper copper portion 2b plastically flows to form the projection 2n.

突起部2nの高さH2は、接着シート8′に回路基板7が載置され、一次接着工程で加熱、加圧されたとき、トリミング用パターン7aがベース2に接触せず所定の絶縁距離を確保できる寸法、例えば50μm前後を選定する。また、この突起部2gの直径は1mm前後である。   The height H2 of the protrusion 2n has a predetermined insulation distance so that the trimming pattern 7a does not contact the base 2 when the circuit board 7 is placed on the adhesive sheet 8 'and heated and pressed in the primary bonding process. A dimension that can be secured, for example, around 50 μm is selected. Moreover, the diameter of this projection part 2g is around 1 mm.

図33に示したように、突起部2nは4箇所設置されており、回路基板7の端部付近に位置している。この端部付近は、回路基板7の裏面パターンが形成されていない部分である。保護膜の厚さは部位によってばらつきが大きく、これを含めた部分に突起部2nが位置すると、所定距離のばらつきも大きくなる欠点がある。   As shown in FIG. 33, four protrusions 2 n are provided and are located near the end of the circuit board 7. The vicinity of this end is a portion where the back surface pattern of the circuit board 7 is not formed. The thickness of the protective film varies greatly depending on the part, and if the protrusion 2n is located in a portion including this, there is a drawback that the variation in the predetermined distance also increases.

接着工程を終了した後、回路基板7の所定配線パターンにペーストはんだを印刷し、回路素子6、ボンディングパッド10等の部品を搭載し、リフロー炉ではんだを溶融、室温で固化させて電気的接合を行う。図48に、その完成状態を示す。   After the bonding process is completed, paste solder is printed on a predetermined wiring pattern of the circuit board 7, components such as the circuit element 6 and the bonding pad 10 are mounted, the solder is melted in a reflow furnace, and solidified at room temperature to be electrically bonded. I do. FIG. 48 shows the completed state.

図49はワイヤボンディング作業の治具を示す平面図、図50はそのIX− IX線に沿う断面図である。   49 is a plan view showing a jig for wire bonding work, and FIG. 50 is a cross-sectional view taken along the line IX-IX.

はんだ接合工程が終了した組立体を、ボンディング治具16の下治具16aに載せる。次いで上治具16bによりベース2とリードフレーム3を押さえ、図示しないクランプ治具を用いて両者が上下方向と平面方向に動かないように固定する。   The assembly after the solder bonding process is placed on the lower jig 16a of the bonding jig 16. Next, the base 2 and the lead frame 3 are pressed by the upper jig 16b, and fixed using a clamp jig (not shown) so that they do not move in the vertical direction and the plane direction.

ワイヤボンデング作業は熱圧着、超音波等、任意の方式を採用し、アルミ材の細線9により回路基板7のボンディングパッド10とリード端子3aとの間を電気的に接続する。   The wire bonding operation employs any method such as thermocompression bonding or ultrasonic waves, and electrically connects the bonding pads 10 of the circuit board 7 and the lead terminals 3a by the thin wires 9 made of aluminum.

図51は結合部の詳細と応力吸収部分とを示す平面図である。この実施例によれば、熱応力によるモールド樹脂と回路基板、ベース、リードフレームとの界面剥離や樹脂クラックのない、安価な自動車用電子回路装置を実現できる。   FIG. 51 is a plan view showing details of the connecting portion and a stress absorbing portion. According to this embodiment, it is possible to realize an inexpensive automotive electronic circuit device free from interface peeling and resin cracks between the mold resin and the circuit board, base, and lead frame due to thermal stress.

本発明の電子回路装置の他の実施例を図52〜図65によって説明する。   Another embodiment of the electronic circuit device of the present invention will be described with reference to FIGS.

図52は自動車用電子回路装置(コントロールユニット)1の平面図、図53および図54は図52のX−X線およびXI−XI線に沿ってその見る方向を変えた一部断面側面図である。   52 is a plan view of the electronic circuit device (control unit) 1 for an automobile, and FIGS. 53 and 54 are partially sectional side views in which the viewing direction is changed along the lines XX and XI-XI in FIG. is there.

フランジ部2dを有するリードフレームユニット23に、回路素子6および回路基板7からなる電子回路組立体5が搭載されている。リードフレームユニット23は、電子回路組立体5が取り付けられるベース2と、リード端子3aを支持するリードフレーム3からなっている。この搭載は、回路基板7をリードフレームユニット23上に接着することで行われる。回路基板7は、ベース2の中央部を部分的に盛り上げた領域に、その部分のみを接着する構造である。この構造については後述する。   An electronic circuit assembly 5 including a circuit element 6 and a circuit board 7 is mounted on a lead frame unit 23 having a flange portion 2d. The lead frame unit 23 includes a base 2 to which the electronic circuit assembly 5 is attached and a lead frame 3 that supports the lead terminals 3a. This mounting is performed by bonding the circuit board 7 onto the lead frame unit 23. The circuit board 7 has a structure in which only the central portion of the base 2 is bonded to an area where the central portion is raised. This structure will be described later.

リード端子3aは、外部の接続対象物(図示せず)とを電気的に接続する場合には、リード端子3aが外部対象物のハーネス・コネクタに嵌合、またはハーネス端子に溶接等で接続される。   When the lead terminal 3a is electrically connected to an external connection object (not shown), the lead terminal 3a is fitted to the harness / connector of the external object or connected to the harness terminal by welding or the like. The

電子回路組立体5とリード端子3aとは、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法でアルミ細線9を介して電気的に接続されている。   The electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are electrically connected through the aluminum fine wire 9 by wire bonding methods such as thermocompression bonding and ultrasonic waves.

電子回路組立体5をリードフレームユニット23上に接着し、電子回路組立体5とリード端子3aとをアルミ細線9で接続した後、これらの部品(回路素子6、回路基板7、リードフレームユニット23、リード端子3a)を一括してモールド樹脂(以下、封止樹脂と称する)4中にリード端子3aの一部やフランジ2dの一部を除いて埋設する。   After the electronic circuit assembly 5 is bonded onto the lead frame unit 23 and the electronic circuit assembly 5 and the lead terminal 3a are connected with the aluminum thin wire 9, these components (circuit element 6, circuit board 7, lead frame unit 23) are connected. The lead terminals 3a) are embedded in a mold resin (hereinafter referred to as sealing resin) 4 except for a part of the lead terminals 3a and a part of the flange 2d.

封止樹脂4は、トランスファモールド成形によって製作する。トランスファモールド成形は、一般に封止樹脂としてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を使用する方法で、粉末を圧縮成形したタブレット状のエポキシ樹脂を、所定の温度、圧力を印加することによって融解させ、これを型内に流動および固化させるものである。この製法は、LSI(大規模集積回路)等のチップのパッケージとして広く採用されている。   The sealing resin 4 is manufactured by transfer molding. Transfer molding is generally a method that uses a thermosetting resin such as an epoxy resin as a sealing resin, and melts a tablet-shaped epoxy resin that is compression-molded by applying a predetermined temperature and pressure. Is allowed to flow and solidify in the mold. This manufacturing method is widely used as a package for chips such as LSI (Large Scale Integrated Circuit).

封止樹脂4は、所定の線膨張係数を有する樹脂であり、内部部品を全体的に包む。封止樹脂4は、内部部品との密着力を常に所定値に保持するため、また、はんだ付け部や半導体チップと回路基板7との細線ワイヤボンディング接続部等に、熱応力によっての剥れおよび断線が生じないようにするため、最適な物性値が選定される。   The sealing resin 4 is a resin having a predetermined linear expansion coefficient, and entirely wraps internal components. The sealing resin 4 always keeps the adhesive force with the internal parts at a predetermined value, and also peels off due to thermal stress on the soldered portion and the thin wire bonding connection portion between the semiconductor chip and the circuit board 7 and the like. In order to prevent disconnection, the optimum physical property value is selected.

自動車用の電子回路装置は、使用時の熱応力繰返しにより、封止樹脂4とリード端子3a、リードフレームユニット23とのそれぞれの密着界面からの水、油等の浸入が懸念される。その点については、リード端子3aおよびリードフレームユニット23と封止樹脂4との線膨張係数差を極力小さくし、それら部材間での熱応力を低減したり、リード端子3aおよびリードフレームユニット23に特殊な表面処理(例えばアルミキレート処理)を施し、樹脂と部材との境界部分で共有結合させる手法により解決可能である。   In an electronic circuit device for automobiles, there is a concern that water, oil, and the like enter from the close contact interfaces between the sealing resin 4, the lead terminal 3 a, and the lead frame unit 23 due to repeated thermal stress during use. Regarding this point, the difference in coefficient of linear expansion between the lead terminal 3a and the lead frame unit 23 and the sealing resin 4 is made as small as possible to reduce the thermal stress between these members, or to the lead terminal 3a and the lead frame unit 23. This can be solved by a special surface treatment (for example, aluminum chelate treatment) and a covalent bond at the boundary between the resin and the member.

リードフレームユニット23およびリード端子3aは熱伝導の良い銅、または銅系の合金材が選定される。回路基板7はセラミック、ガラス・セラミック等の比較的線膨張係数の小さい材質が選定され、所定の回路パターンが形成されている。   For the lead frame unit 23 and the lead terminal 3a, copper or a copper-based alloy material having good heat conduction is selected. The circuit board 7 is made of a material having a relatively small linear expansion coefficient such as ceramic or glass / ceramic, and a predetermined circuit pattern is formed.

リードフレームユニット23を構成するベース2,リードフレーム3、リード端子部分3aを、同一の銅合金材で一体にプレス加工するのが一般的な構造であるが、その線膨張係数は17ppm/℃前後で、回路基板7および封止樹脂4に比して大きく、使用時の熱応力繰り返しによる樹脂クラック、樹脂との密着界面剥離が発生しやすい。   The base 2, lead frame 3, and lead terminal portion 3a constituting the lead frame unit 23 are generally pressed together with the same copper alloy material, but the linear expansion coefficient is around 17 ppm / ° C. Therefore, it is larger than the circuit board 7 and the sealing resin 4, and the resin crack due to repeated thermal stress during use and the adhesion interface peeling with the resin are likely to occur.

特に、リードフレームユニット23は広い面積で、封止樹脂4との密着界面に働く熱応力が大きい。リード端子部分2aは小面積であり、本願の実施例構造では問題とならないレベルである。   In particular, the lead frame unit 23 has a large area and a large thermal stress acting on the adhesion interface with the sealing resin 4. The lead terminal portion 2a has a small area and is at a level that does not cause a problem in the structure of the embodiment of the present application.

図54は電子回路装置の要部断面図であり、リードフレームユニット23の上面には、回路基板7が接着剤8で接着される。回路基板7は、リードフレームユニット23の中央部を部分的に盛り上げた領域に、その部分のみを接着する構造である。一般には基板をリードフレームユニット23に接着する場合、全面接着する構造であるが、この実施例では部分的に接着する。   54 is a cross-sectional view of the main part of the electronic circuit device. The circuit board 7 is bonded to the upper surface of the lead frame unit 23 with an adhesive 8. The circuit board 7 has a structure in which only a portion of the central portion of the lead frame unit 23 is adhered to a region that is partially raised. Generally, when the substrate is bonded to the lead frame unit 23, the entire surface is bonded. However, in this embodiment, the substrate is partially bonded.

全面を接着する構造では、接着剤と部材との界面を隙間なく接着することが難しく、接着剤の硬化時に界面に空気層が形成されたり、微小な気泡が多数接着剤中に残ったりする。このため、トランスファモールド工程の熱により気泡が膨張して潰れ、接着部と封止樹脂4との密着界面付近で剥離が発生しやすい。   In the structure in which the entire surface is bonded, it is difficult to bond the interface between the adhesive and the member without a gap, and an air layer is formed at the interface when the adhesive is cured, or a large number of minute bubbles remain in the adhesive. For this reason, bubbles are expanded and crushed by the heat of the transfer molding process, and peeling is likely to occur near the adhesion interface between the adhesive portion and the sealing resin 4.

この構造ではリードフレームユニット23に多数の小孔2gを設け、その部分に封止樹脂4が充填されるようにしている。この小孔2gの存在により、回路基板7の面積相当部分のリードフレームユニット23が低い剛性で構成されることとなる。   In this structure, a large number of small holes 2g are provided in the lead frame unit 23, and the sealing resin 4 is filled therein. Due to the presence of the small holes 2g, the lead frame unit 23 corresponding to the area of the circuit board 7 is configured with low rigidity.

剛性が低いことは、封止樹脂4との線膨張係数差による熱応力を吸収しやすく、かつ多数個分散して小孔2gが設けられているため、部材との密着界面での剥離防止効果が非常に大きくなる利点がある。   The low rigidity makes it easy to absorb thermal stress due to the difference in coefficient of linear expansion from the sealing resin 4, and a large number of dispersed small holes 2g are provided, thus preventing peeling at the adhesion interface with the member. Has the advantage of becoming very large.

さらに、小孔部分2gに封止樹脂4が充填されると、局部的な剥離が生じた場合には、隣の小孔部分の樹脂が防波堤のような作用をし、剥離進展が抑止される。なお、小孔2gの一部は、後述する回路基板7の接着工程と、アルミ材細線8のワイヤボンディング工程での治具が挿入される孔を兼ねている。   Furthermore, when the sealing resin 4 is filled in the small hole portion 2g, when local peeling occurs, the resin in the adjacent small hole portion acts like a breakwater, and the peeling progress is suppressed. . A part of the small hole 2g also serves as a hole into which a jig is inserted in the bonding process of the circuit board 7 described later and the wire bonding process of the aluminum thin wire 8.

回路基板7には、図示されない配線パターンが形成され、また、基板上に回路素子6とボンディングパッド10がはんだ接続されている。ボンディングパッド10とリード端子3aには、熱圧着、超音波等のワイヤボンディング法によりアルミ材の細線8が各々接続されている。   A wiring pattern (not shown) is formed on the circuit board 7, and the circuit element 6 and the bonding pad 10 are soldered on the board. Aluminum wires 8 are connected to the bonding pads 10 and the lead terminals 3a by wire bonding methods such as thermocompression bonding and ultrasonic waves.

回路基板7の材質は、回路素子6の大部分を占めるシリコンチップに近い線膨張係数を有したもので、かつ封止樹脂4との線膨張係数差が小さいものがよい。回路規模が大きくなると小型化するには多層の回路基板が好ましく、セラミックやガラス・セラミック基板が好適である。放熱性を重視する場合には、熱伝導率の大きいセラミック基板がよい。   The material of the circuit board 7 preferably has a linear expansion coefficient close to that of a silicon chip that occupies most of the circuit elements 6 and has a small difference in linear expansion coefficient from the sealing resin 4. As the circuit scale increases, a multilayer circuit board is preferable for downsizing, and a ceramic or glass / ceramic substrate is preferable. A ceramic substrate having a high thermal conductivity is preferable when the heat dissipation is important.

図55はリードフレームユニット23の形状を示す平面図である。リードフレームユニット23は、基板接着部2′、リード端子3a、ボンディングパッド部3b、つなぎ部3c、フランジ部2d、フレーム部3d、切り欠き3p、位置決め孔部2f、多数の小孔2gを有している。小孔2gは、ほぼ回路基板7の面積相当に分散して設け、前記した界面剥離防止効果を達している。   FIG. 55 is a plan view showing the shape of the lead frame unit 23. The lead frame unit 23 has a substrate bonding part 2 ', a lead terminal 3a, a bonding pad part 3b, a connecting part 3c, a flange part 2d, a frame part 3d, a notch 3p, a positioning hole part 2f, and a large number of small holes 2g. ing. The small holes 2g are provided so as to be approximately equivalent to the area of the circuit board 7 and achieve the above-described interface peeling preventing effect.

アルミ材の細線9をワイヤボンディング接続するためのボンディングパッド部3bには、その表面が酸化されないようにニッケルメッキ、銀メッキ等が部分的に施される。フランジ部2dは相手部材に固定するため、位置決め孔2gは組立時の治具を位置決めするために設けたものである。   The bonding pad 3b for wire bonding connection of the aluminum thin wire 9 is partially subjected to nickel plating, silver plating or the like so that the surface thereof is not oxidized. Since the flange portion 2d is fixed to the mating member, the positioning hole 2g is provided for positioning a jig during assembly.

切り欠き2fは方向性を決めるもので、製作誤差で生じるトランスファモールド型との嵌合誤差を少なくする目的で設けている。また、回路基板7を接着し、ワイヤボンディング作業が終了した状態の組立体を、この型にセットする際、上下が逆方向にならないようにする目的も兼ねている。この切り欠き3pは、リードフレームユニット23が対称形状の場合、表裏が識別できる任意の形状、位置を選定すればよい。   The notch 2f determines directionality and is provided for the purpose of reducing a fitting error with a transfer mold caused by a manufacturing error. In addition, when the assembly in which the circuit board 7 is bonded and the wire bonding operation is completed is set in this mold, it also serves to prevent the vertical direction from being reversed. For the cutout 3p, when the lead frame unit 23 has a symmetrical shape, any shape and position where the front and back sides can be identified may be selected.

なお、つなぎ部3cとフレーム部3dとフランジ部2dとで閉ループ構成になっている理由は、この部分をトランスファモールド成形型で上下から締め付けることにより、封止樹脂4をトランスファモールド成形した際、型内でエポキシ樹脂が融解して液状になったとき、この閉ループ部の外側に洩れないようにするためである。   The reason why the connecting portion 3c, the frame portion 3d, and the flange portion 2d are in a closed loop configuration is that when this portion is clamped from above and below with a transfer mold, a mold is formed when the sealing resin 4 is transfer molded. This is to prevent the epoxy resin from leaking outside the closed loop when the epoxy resin melts and becomes liquid.

嵌合するリード端子3aの細幅部分とモールド型との間には、嵌合隙間ができるため、この部分で液状のエポキシ樹脂が外部に洩れるが、閉ループ構成となっていることにより、そのループ内で硬化後に薄いバリとして残る。   Since there is a fitting gap between the narrow portion of the lead terminal 3a to be fitted and the mold, the liquid epoxy resin leaks to the outside at this portion. It remains as a thin burr after curing within.

そして、この成形後、リードフレームユニット23のつなぎ部2c、フレーム部2dを切断し、複数の独立したリード端子3aを形成するとともに、フランジ部2dを所定の形状に窓抜き加工、および折り曲げ加工することにより、コントロールユニット1が完成する。   Then, after this molding, the connecting portion 2c and the frame portion 2d of the lead frame unit 23 are cut to form a plurality of independent lead terminals 3a, and the flange portion 2d is subjected to window cutting processing and bending processing into a predetermined shape. As a result, the control unit 1 is completed.

図56はリードフレームユニット23に設けた基板接着部2wの詳細を示す平面図で、図57はそのXII− XII線に沿う断面図である。   56 is a plan view showing details of the substrate bonding portion 2w provided in the lead frame unit 23, and FIG. 57 is a sectional view taken along the line XII-XII.

蝶形の窓2p、細幅小窓2q、傾斜部2r、水平方向に伸びる接着領域2sが形成されている。傾斜部2rは、蝶形の窓2pと細幅小窓2qとの間を狭く形成しているため、剛性が低く一種の板ばねのように作用する。これは接着剤8で回路基板7が接着され、封止樹脂4でモールドされた後の使用状態において、お互いの部材の線膨張係数差に起因する熱応力による接着剥れを防止する効果を目的としたものである。   A butterfly-shaped window 2p, a narrow window 2q, an inclined portion 2r, and an adhesive region 2s extending in the horizontal direction are formed. Since the inclined portion 2r is formed narrowly between the butterfly-shaped window 2p and the narrow small window 2q, it acts like a kind of leaf spring with low rigidity. The purpose of this is to prevent adhesion peeling due to thermal stress caused by the difference in linear expansion coefficient between members in the state of use after the circuit board 7 is bonded with the adhesive 8 and molded with the sealing resin 4. It is what.

図58は回路基板7を接着する治具の一例を示す平面図、図59はそのXIII−XIII線断面図である。   58 is a plan view showing an example of a jig for adhering the circuit board 7, and FIG. 59 is a sectional view taken along line XIII-XIII.

リードフレームユニット23を接着治具15の上に位置させ、これを離すと位置決め孔2fにピン15aが貫通する。次いでリードフレームユニット23に多数設けられた小孔2gの一部に、ピン15bが貫通し、そして接着治具15の上面に、リードフレームユニット23の下面が接する。   When the lead frame unit 23 is positioned on the bonding jig 15 and released, the pin 15a penetrates the positioning hole 2f. Next, the pin 15 b penetrates a part of the small holes 2 g provided in the lead frame unit 23, and the lower surface of the lead frame unit 23 contacts the upper surface of the bonding jig 15.

ここで、ピン15aは2本設置しているが、位置決め孔2fの4箇所全部に貫通するよう、4本設置してもよい。   Here, although two pins 15a are installed, four pins 15a may be installed so as to penetrate all four locations of the positioning holes 2f.

その後接着剤7をリードフレームユニット23の接着領域2sに塗布する。そして回路基板7を載せると、ピン15bの頭部に接して止まる。このピン15bは、回路基板7の四隅部分に位置するよう、実施例では4本設置している。接着剤8を塗布する作業は、接着治具15に搭載する前に実施しておいてもよい。   Thereafter, the adhesive 7 is applied to the bonding region 2 s of the lead frame unit 23. Then, when the circuit board 7 is placed, it comes into contact with the head of the pin 15b and stops. In the embodiment, four pins 15b are provided so as to be positioned at the four corners of the circuit board 7. The operation of applying the adhesive 8 may be performed before mounting on the bonding jig 15.

回路基板7の上面の一部に荷重を印加し、同時に平面方向に往復微動を行うことにより、接着剤8を回路基板7および接着領域2sとなじませるのが効果的である。なお、回路基板7の平面方向位置決めは図示していないが、小孔2gに貫通する任意形状のピンを設けることにより容易に構成できる。   It is effective to apply the load to a part of the upper surface of the circuit board 7 and at the same time perform fine reciprocation in the plane direction so that the adhesive 8 blends with the circuit board 7 and the bonding region 2s. Although the planar positioning of the circuit board 7 is not shown, it can be easily configured by providing a pin having an arbitrary shape penetrating the small hole 2g.

接着治具15には、ピン15a、15bを多数設置し、同時に多数の回路基板7を接着できるように準備する。所定の温度と時間を加えることにより、接着剤7の硬化が完了する。   A large number of pins 15 a and 15 b are installed in the bonding jig 15 and prepared so that a large number of circuit boards 7 can be bonded simultaneously. By adding a predetermined temperature and time, the curing of the adhesive 7 is completed.

図60はワイヤボンディング作業の治具を示す平面図、図61はそのXIV− XIV線に沿う断面図である。   FIG. 60 is a plan view showing a jig for wire bonding work, and FIG. 61 is a sectional view taken along the line XIV-XIV.

接着硬化工程が終了した組立体を、ボンディング治具16の下治具16aに載せる。まずリードフレームユニット23の位置決め孔2fにピン16cが貫通すると、リードフレームユニット23の下面が下治具16aの上面に当接する。次いで上治具16bでリードフレームユニット23とリード端子部3aを押さえ、図示しないクランプ治具を用いて両者が上下方向と平面方向に動かないように固定する。   The assembly after the adhesive curing step is placed on the lower jig 16 a of the bonding jig 16. First, when the pin 16c passes through the positioning hole 2f of the lead frame unit 23, the lower surface of the lead frame unit 23 comes into contact with the upper surface of the lower jig 16a. Next, the upper jig 16b holds the lead frame unit 23 and the lead terminal portion 3a, and a clamp jig (not shown) is used to fix them so as not to move in the vertical direction and the plane direction.

その後、回路基板7の下面にピン16dの頭部が接するように、ピン16dを押し上げる。ロック機構を組み合わせることにより、その位置でピン16dを静止きせることは容易である。(図示せず)ピン16dは、回路基板7の四隅4箇所と、ボンディングパッド9付近の下面2箇所、合計6本設置している。   Thereafter, the pin 16d is pushed up so that the head of the pin 16d contacts the lower surface of the circuit board 7. By combining the lock mechanism, it is easy to make the pin 16d stationary at that position. There are a total of six pins 16 d (not shown), four at the four corners of the circuit board 7 and two at the lower surface near the bonding pads 9.

ワイヤボンディング作業では、細線9が貫通したボンディング用のキャピラリにより、数百グラムの荷重で回路基板7が押圧されるが、ピン16dで支持しているため押圧荷重で回路基板7が変形するのを防止できる。   In the wire bonding operation, the circuit board 7 is pressed with a load of several hundred grams by the bonding capillary through which the thin wire 9 penetrates, but the circuit board 7 is deformed by the pressing load because it is supported by the pin 16d. Can be prevented.

ワイヤボンデング作業は熱圧着、超音波等、任意の方式を採用し、アルミ材の細線9で回路基板7のボンディングパッド10とリード端子3aとの間を電気的に接続する。   The wire bonding operation employs any method such as thermocompression bonding, ultrasonic waves, etc., and electrically connects the bonding pads 10 of the circuit board 7 and the lead terminals 3a with the thin wires 9 made of aluminum.

前記した接着作業、ワイヤボンディング作業において、治具を簡単にするために、例えば回路基板7の四隅部分が支持できるよう、リードフレームユニット23の上面に小さな突起を設けることが考えられる。   In the above bonding operation and wire bonding operation, in order to simplify the jig, for example, it is conceivable to provide small protrusions on the upper surface of the lead frame unit 23 so that the four corner portions of the circuit board 7 can be supported.

しかしながら後述するように、熱応力の繰り返しで突起付近の封止樹脂4とリードフレームユニット23との界面での剥離が大きく進展することが判明した。したがって支持部は設けずに、前述したような治具を使用することが、剥離防止の点から必要である。図62はリードフレームユニット23の小孔2gの詳細図である。   However, as will be described later, it has been found that peeling at the interface between the sealing resin 4 near the protrusion and the lead frame unit 23 greatly progresses due to repeated thermal stress. Therefore, it is necessary to use a jig as described above without providing a support portion from the viewpoint of preventing peeling. FIG. 62 is a detailed view of the small hole 2 g of the lead frame unit 23.

図63は、リードフレームユニット23の小孔2gの設置部分を、これとは異なる形状の孔として熱衝撃試験を実施し、界面剥離発生の進展度合を本願構造と比較した結果のグラフである。剥離部位は、図54に示されている。また、それぞれのリードフレーム形状を図64に、基板四隅支持部の寸法を図65に示す。
サンプルの仕様は表1に示す。
FIG. 63 is a graph showing a result of performing a thermal shock test on the portion where the small hole 2g of the lead frame unit 23 is installed as a hole having a different shape, and comparing the progress of the occurrence of interface peeling with the structure of the present application. The peel site is shown in FIG. FIG. 64 shows the shape of each lead frame, and FIG. 65 shows the dimensions of the four corner support portions.
Table 1 shows the sample specifications.

Figure 0004244235
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剥離の確認は超音波探査撮像装置を用いる方法で行った。この方法は測定対象物を水中に浸漬しておき、超音波探査子で測定したい部位に焦点を合わせて超音波を当て、部材の物性値とその反射波が帰ってくる時間とから所定の信号処理を行い、剥離有無を判定するものである。   The peeling was confirmed by a method using an ultrasonic exploration imaging apparatus. In this method, the measurement object is immersed in water, focused on the part to be measured with an ultrasonic probe, and an ultrasonic wave is applied. A predetermined signal is obtained from the physical property value of the member and the time when the reflected wave returns. A process is performed and the presence or absence of peeling is determined.

剥離があるときと、ないときとで反射波が帰ってくる時間に差が生じ、対象物の投影面全面を走査することにより、剥離のない部分とある部分とをカラー表示で区別するものである。   There is a difference in the time when the reflected wave returns between when there is peeling and when there is no peeling, and by scanning the entire projection surface of the object, the part where there is no peeling and a certain part are distinguished by color display. is there.

剥離面積率は、基板の面積に対する剥離面積の%比率で、サンプル各3個の平均値を表示した。   The peeled area ratio was expressed as an average value of three samples for each of the ratios of the peeled area to the substrate area.

剥離部位は、全て図54に示すように回路基板7の下側封止樹脂4とリードフレームユニット23の上面との界面であった。   As shown in FIG. 54, the peeling site was the interface between the lower sealing resin 4 of the circuit board 7 and the upper surface of the lead frame unit 23.

本実施例の構造によるサンプルAのものは、剥離進展が非常に少ない結果であった。その他の仕様は、初期には剥離がないものの、サイクル数が増加するにしたがって剥離が生じ、徐々にこれが拡大進展した。とくにサンプルDでは、短いサイクル数で100%の剥離となった。   The sample A having the structure of this example had very little peeling progress. In other specifications, there was no peeling at the beginning, but peeling occurred as the number of cycles increased, and this gradually expanded. In particular, Sample D was 100% peeled with a short number of cycles.

サンプルDはスリットを多数設置しているため、剛性はサンプルCより低いにもかかわらず、急激に剥離進展する理由は、界面応力の最大となる中央部分にスリットがあり、この舌片状部分で剥離が生じると、熱応力の繰り返しによりこれを起点に進展するものと考えられる。   Sample D has a large number of slits. Therefore, although the rigidity is lower than that of Sample C, the reason for the rapid progress of peeling is that there is a slit in the central part where the interface stress is maximum. When delamination occurs, it is considered that it develops starting from this due to repeated thermal stress.

サンプルBでは、1000サイクル時点で剥離面積が20%程度で、本願の小孔の5%より悪いものの、実用的には許容できるレベルである。このことから、小孔を多数設置することにより、剥離防止効果のあることが分る。   In sample B, the peeled area is about 20% at 1000 cycles, which is practically acceptable, although it is worse than 5% of the small holes of the present application. From this, it can be seen that a large number of small holes are provided to prevent peeling.

サンプルCでは、200サイクル以上から急激に剥離が進展し、約500サイクルで100%の剥離となった。大きい孔が2個で、サンプルAより剛性が高いため、短サイクルではある程度密着が維持されるものの、剥離が発生するとこれを起点として進展するものと考えられる。   In sample C, peeling progressed rapidly from 200 cycles or more, and 100% peeling occurred in about 500 cycles. Since there are two large holes and the rigidity is higher than that of the sample A, the adhesion is maintained to some extent in a short cycle, but it is considered that when peeling occurs, it starts from this point.

サンプルEでは、基板四隅支持部20の付近に剥離が集中したが、50サイクル以上での進展度合は緩やかな変化であった。このサンプルは小孔を多数設けているにもかかわらず、基板支持部20の存在により剥離が進展するものである。この理由について以下説明する。   In sample E, peeling was concentrated in the vicinity of the four corner support portions 20 of the substrate, but the degree of progress over 50 cycles was a gradual change. Although this sample is provided with a large number of small holes, peeling progresses due to the presence of the substrate support portion 20. The reason for this will be described below.

基板支持部20はリードフレームユニット23の一部をプレスの絞り加工で形成したが、その周囲の平面部分と合わせ、局部的に剛性の高い領域ができるため、封止樹脂4との界面に働く熱応力変化を吸収できず、剥離が発生するものと考えられる。サイクル数が増えても剥離進展度合が少ない理由は、剥離に伴って応力が開放されるためと、多数の小孔の存在によるリードフレームユニット23の低剛性の影響である。   The substrate support portion 20 is formed by pressing a part of the lead frame unit 23, but it is combined with the surrounding flat portion to form a locally rigid region, and therefore acts on the interface with the sealing resin 4. It is considered that the change in thermal stress cannot be absorbed and peeling occurs. The reason why the degree of peeling progress is small even when the number of cycles is increased is that the stress is released along with peeling and the low rigidity of the lead frame unit 23 due to the presence of many small holes.

前記小孔2gの径は小さく、かつ多いほど熱応力分散は期待できるが、トランスファモールド成形時の封止樹脂4が流動する際、小孔2gに存在している空気を押しのけ、樹脂充填に切り替わるときに空気の排出がスムーズに行われない問題がある。   As the diameter of the small hole 2g is smaller and larger, thermal stress dispersion can be expected. However, when the sealing resin 4 flows during transfer molding, the air present in the small hole 2g is pushed away, and the resin is filled. Sometimes there is a problem that air is not discharged smoothly.

この排出が不完全の場合には、空気薄膜がリードフレームユニット23の付近に形成されると、初期的な剥離として現われる。また、隣りあった孔との距離が、リードフレームユニット23の厚さより短いと、プレスの加工性が悪いため、孔径と個数には限度がある。   If this discharge is incomplete, when an air thin film is formed in the vicinity of the lead frame unit 23, it appears as an initial peeling. Further, if the distance between adjacent holes is shorter than the thickness of the lead frame unit 23, the workability of the press is poor, and the hole diameter and number are limited.

実験結果では、孔径1.5mm、個数314のときは、5個成形して全数初期剥離は生じなかった。また、孔径1mm、個数473のときは、5個中2個初期剥離が生じた。この結果から孔径は1.5mm以上、個数は314以下、さらにサンプルBの結果と合わせると、孔径5mm以下、個数は26以上が最適条件と考えられる。   As a result of the experiment, when the hole diameter was 1.5 mm and the number was 314, 5 pieces were molded and no initial peeling occurred. In addition, when the hole diameter was 1 mm and the number was 473, two of the five pieces were initially peeled. From these results, it is considered that the optimal condition is that the hole diameter is 1.5 mm or more, the number is 314 or less, and the result of Sample B is 5 mm or less and the number is 26 or more.

本実験結果は、回路基板7の大きさが35mmm×46mmのときであり、これを基板面積10cm2当りの個数で換算すると、下記で表される。 The result of this experiment is when the size of the circuit board 7 is 35 mm × 46 mm, which is expressed as follows when converted into the number per 10 cm 2 of the board area.

基板面積=35×46=1610mm2=16.1cm2
基板面積10cm2当りの孔個数=(26〜314)/16.1
=1.6〜195個となる。
Substrate area = 35 × 46 = 1610 mm 2 = 16.1 cm 2
Number of holes per 10 cm 2 substrate area = (26 to 314) /16.1
= 1.6 to 195.

したがって、封止樹脂4の大きさ、回路基板7の大きさが変わる場合には、リードフレームユニット23に設置する小孔2gの大きさと個数は、前記換算値を適用して決定すれば、界面剥離の発生しないエポキシ樹脂封止パッケージを構成できる。   Therefore, when the size of the sealing resin 4 and the size of the circuit board 7 change, the size and number of the small holes 2g installed in the lead frame unit 23 can be determined by applying the converted values. An epoxy resin sealed package which does not cause peeling can be configured.

本発明の1実施例を示す自動車用電子回路装置の一部を断面して示す平面図である。1 is a plan view showing a cross section of a part of an automotive electronic circuit device according to an embodiment of the present invention. 図1のI−I線に沿う一部縦断面側面図である。It is a partial longitudinal cross-sectional side view which follows the II line | wire of FIG. 図1のII−II線に沿う一部横断面側面図である。It is a partial cross section side view which follows the II-II line of FIG. リードフレームとベースとを一体化した形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape which integrated the lead frame and the base. 図4の結合部を示す詳細図である。It is detail drawing which shows the coupling | bond part of FIG. 図5のIII−III線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the III-III line of FIG. リードフレームの他の係合部形状を示す図である。It is a figure which shows the other engaging part shape of a lead frame. リードフレームの他の係合部形状を示す図である。It is a figure which shows the other engaging part shape of a lead frame. 結合のための凹所を形成する方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the method of forming the recess for coupling | bonding. リードフレームの形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of a lead frame. ベースの形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of a base. ベースの他の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the other shape of a base. ベースの他の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the other shape of a base. 小孔に封止樹脂が充填されている状況を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the condition where sealing resin is filled into the small hole. 小孔に封止樹脂が充填されている状況を示す他の要部断面図である。It is other principal part sectional drawing which shows the condition where sealing resin is filled into the small hole. ベースに高発熱素子を接合した形状を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the shape which joined the high heat generating element to the base. 窓に封止樹脂が充填されている状況を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the condition with which sealing resin is filled into the window. 温度変化による熱応力を最小とするための最適な寸法設定説明図である。It is explanatory drawing of the optimal dimension setting for minimizing the thermal stress by a temperature change. 温度変化による熱応力が大きくなる場合の寸法設定説明図である。It is dimension setting explanatory drawing in case the thermal stress by a temperature change becomes large. 液状接着剤を印刷するためのマスク形状を示す平面図である。It is a top view which shows the mask shape for printing a liquid adhesive. プレートに接着剤を印刷した状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which printed the adhesive agent on the plate. 小孔のないシート状接着剤の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of a sheet-like adhesive agent without a small hole. 小孔があるシート状接着剤の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of the sheet-like adhesive agent with a small hole. ベースとリードフレームとを結合した状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which couple | bonded the base and the lead frame. 図24のIV−IV線に沿うワイヤボンディング作業前の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state before the wire bonding operation | work along the IV-IV line of FIG. 図24のP部詳細図である。FIG. 25 is a detailed view of a P part in FIG. 24. ベースに設置した小孔と、その具体的寸法を示す平面図である。It is a top view which shows the small hole installed in the base, and the specific dimension. 高発熱素子をプレートに接合する場合の小孔の設置状況と、その具体的寸法を示す平面図である。It is a top view which shows the installation condition of a small hole when joining a high heat generating element to a plate, and its specific dimension. 図27、図28における小孔の具体的寸法を示す平面図である。It is a top view which shows the specific dimension of the small hole in FIG. 27, FIG. 本発明の自動車用電子回路装置の一部を断面して示す平面図である。It is a top view which shows a part of electronic circuit device for motor vehicles of the present invention in section. 図30のV−V線に沿う一部縦断面側面図である。It is a partial longitudinal cross-sectional side view along the VV line of FIG. 図30のVI−VI線に沿う一部横断面側面図である。It is a partial cross section side view which follows the VI-VI line of FIG. リードフレームとベースとを一体化した形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape which integrated the lead frame and the base. 図33の結合部を示す詳細図である。It is detail drawing which shows the coupling | bond part of FIG. 図34のVII−VII線断面図である。It is the VII-VII sectional view taken on the line of FIG. 結合のための凹所を形成する方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the method of forming the recess for coupling | bonding. リードフレームの1形状を示す平面図である。It is a top view which shows 1 shape of a lead frame. ベースの1形状を示す平面図である。It is a top view which shows 1 shape of a base. リードフレームの応力吸収部の1例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the stress absorption part of a lead frame. リードフレームの応力吸収部の1例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the stress absorption part of a lead frame. 結合部の1例を示す詳細図である。It is detail drawing which shows an example of a coupling | bond part. 回路基板を接着する治具と、接着作業を示す平面図である。It is a top view which shows the jig | tool which adhere | attaches a circuit board, and adhesion | attachment work. 図42のVIII−VIII線断面図である。It is the VIII-VIII sectional view taken on the line of FIG. ベースに設けた突起部を含む接着部の詳細断面図である。It is detail sectional drawing of the adhesion part containing the projection part provided in the base. 突起部の詳細を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the detail of a projection part. 突起部を形成する方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the method of forming a projection part. 突起部を形成するときのプレス加工状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the press work state when forming a projection part. ワイヤボンディング作業前の状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state before a wire bonding operation | work. ワイヤボンディング作業の治具と、作業状態を示す平面図である。It is a top view which shows the jig | tool of a wire bonding operation | work, and an operation state. 図49のIX−IX線断面図である。It is the IX-IX sectional view taken on the line of FIG. 結合部の詳細と、応力吸収部の具体的寸法を示す平面図である。It is a top view which shows the detail of a coupling | bond part, and the specific dimension of a stress absorption part. 本発明の他の実施例の自動車用電子回路装置の一部を断面して示す平面図である。It is a top view which shows a part of electronic circuit device for motor vehicles of other examples of the present invention in a section. 図52のX-X線に沿う一部縦断面側面図である。FIG. 53 is a partial vertical cross-sectional side view taken along line XX of FIG. 52. 図52のXI-XI線に沿う一部横断面側面図である。FIG. 53 is a partial cross-sectional side view along the line XI-XI in FIG. 52. リードフレームの形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of a lead frame. リードフレームに設けた接着部の詳細を示す平面図である。It is a top view which shows the detail of the adhesion part provided in the lead frame. 図56のXII−XII線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the XII-XII line | wire of FIG. 回路基板を接着する治具の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the jig | tool which adhere | attaches a circuit board. 回路基板を接着する治具と、接着作業の実施例を示す平面図である。It is a top view which shows the jig | tool which adhere | attaches a circuit board, and the Example of adhesion | attachment work. ワイヤボンディング作業の治具を示す平面図である。It is a top view which shows the jig | tool of a wire bonding operation | work. 図60のXIV− XIV線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the XIV-XIV line | wire of FIG. リードフレームの小孔の具体的寸法を示す詳細図である。It is detail drawing which shows the specific dimension of the small hole of a lead frame. 熱衝撃試験を実施し、界面剥離の進展度合を測定した結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of implementing the thermal shock test and measuring the progress degree of interface peeling. 熱衝撃試験を実施したサンプルのリードフレーム形状を示す平面図である。It is a top view which shows the lead frame shape of the sample which implemented the thermal shock test. サンプルD、Eの基板四隅支持部の寸法を示す図である。It is a figure which shows the dimension of the board | substrate four corner support part of the samples D and E. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…電子回路装置、2…ベース、2‘…基板接着部、2d…フランジ部、2e…ベースの係合部、2f…位置決め孔、2g…小孔、2h…堰きとめ部、2i…突起部、2j…基板位置決め孔、2k…溝、2m…窓、2n…突起部、2p…窓、2…q細幅小窓、2r…傾斜部、2s…水平方向に伸びる接着領域、2w…接着部、3…リードフレーム、3a…リード端子、3b…ボンディングパッド部、3c…端子間つなぎ部、3d…フレーム部、3e…つなぎ部、3f…リードフレームの係合部、3g…送り孔、3s…応力吸収部、4…封止樹脂、5…電子回路組立体、6…回路素子、7…回路基板、7a…トリミング用パターン、8…接着剤、8′…接着シート、9…アルミ細線、23…リードフレームユニット。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic circuit apparatus, 2 ... Base, 2 '... Board | substrate adhesion part, 2d ... Flange part, 2e ... Engagement part of a base, 2f ... Positioning hole, 2g ... Small hole, 2h ... Damping part, 2i ... Projection part 2j ... substrate positioning hole, 2k ... groove, 2m ... window, 2n ... projection, 2p ... window, 2 ... q narrow window, 2r ... inclined portion, 2s ... adhesive region extending in the horizontal direction, 2w ... adhesive portion 3 ... Lead frame, 3a ... Lead terminal, 3b ... Bonding pad part, 3c ... Terminal connecting part, 3d ... Frame part, 3e ... Connecting part, 3f ... Lead frame engaging part, 3g ... Feed hole, 3s ... Stress absorption part, 4 ... sealing resin, 5 ... electronic circuit assembly, 6 ... circuit element, 7 ... circuit board, 7a ... trimming pattern, 8 ... adhesive, 8 '... adhesive sheet, 9 ... aluminum fine wire, 23 ... Lead frame unit.

Claims (5)

複数の電子回路素子が取り付けられた回路基板を含む電子回路組立体と、
フランジ部を有し、前記電子回路組立体が接着されるベースと、
前記ベースとは別の材質からなり、前記電子回路組立体へ電気的に接続されるリード端子と、を備え、
前記ベース、前記電子回路組立体、及び、前記リード端子は、該ベースの前記フランジ部と前記リード端子の一部を除き、モールド樹脂により封止され、このモールド樹脂による封止内での前記ベースと前記リード端子とは、略同一平面上に配置されており、
記リード端子の線膨張係数は、前記ベース、前記回路基板および前記モールド樹脂の線膨張係数よりも大きく選定されており、
前記モールド樹脂の全体厚さT1を上下方向に均等な厚さT2、T3(T2=T3=T1/2)に二分したとき、前記回路基板の厚さ中心線がこの二分線に一致するようにしたことを特徴とする電子回路装置。
An electronic circuit assembly including a circuit board having a plurality of electronic circuit elements attached thereto;
A base having a flange portion to which the electronic circuit assembly is bonded;
A lead terminal made of a material different from the base and electrically connected to the electronic circuit assembly;
The base, the electronic circuit assembly, and the lead terminal are sealed with a mold resin except for the flange portion of the base and a part of the lead terminal, and the base in the mold resin is sealed. And the lead terminal are arranged on substantially the same plane ,
Linear expansion coefficient of the previous SL lead terminal, said base being chosen to be greater than the linear expansion coefficient of the circuit board and the mold resin,
When the total thickness T1 of the mold resin is divided into equal thicknesses T2 and T3 (T2 = T3 = T1 / 2) in the vertical direction , the thickness center line of the circuit board coincides with the bisector. An electronic circuit device characterized by that.
請求項1記載の電子回路装置において、
前記ベースの厚さは、前記リード端子の厚さと略同一であることを特徴とする電子回路装置。
The electronic circuit device according to claim 1,
The electronic circuit device according to claim 1, wherein a thickness of the base is substantially the same as a thickness of the lead terminal.
請求項1または2記載の電子回路装置において、
前記リード端子は、前記ベースと一体化したリードフレームを切断して形成されたものであることを特徴とする電子回路装置。
The electronic circuit device according to claim 1 or 2,
The electronic circuit device according to claim 1, wherein the lead terminal is formed by cutting a lead frame integrated with the base.
請求項1乃至3のいずれか一に記載の電子回路装置において、
前記モールド樹脂は、トランスファモールド成形されたものであることを特徴とする電子回路装置。
The electronic circuit device according to any one of claims 1 to 3,
The electronic circuit device according to claim 1, wherein the molding resin is formed by transfer molding.
請求項1乃至4のいずれか一に記載の電子回路装置において、
前記ベースには、組立時の治具に位置決めするための位置決め孔が複数設けられていることを特徴とする電子回路装置。
The electronic circuit device according to any one of claims 1 to 4,
2. An electronic circuit device according to claim 1, wherein a plurality of positioning holes are provided in the base for positioning on a jig during assembly.
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