JP4233887B2 - Optical fiber preform manufacturing method - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コア部材またはクラッド部材に、その長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材の製造方法に関し、特に、空孔の変形、歪みを低減する光ファイバ母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、新たな光ファイバとして、コアまたはクラッドに、その長手方向に延びる複数の空孔を有する光ファイバが提案されている。
図６（ａ）、（ｂ）は、クラッドの一部において、複数の空孔を有する光ファイバの一例を示すものである。この例の光ファイバ４０は、コア３２とクラッド３３を有し、クラッド３３には、コア３２を囲むようにその長手方向に延びる複数の空孔３４が形成されている。
【０００３】
このような光ファイバ４０では、コア３２とクラッド３３との実効屈折率が高くなる。これにより、この光ファイバ４０は、絶対値の大きな波長分散が得られるため分散補償に適すると共に、小さなモードフィールド径を実現できるため、非線形光学効果の利用に適するなどといった特徴を有している。このような光ファイバ４０の特性を設計通り実現するためには、光ファイバ４０内に形成された空孔３４が、光ファイバ４０の長手方向の全長にわたって、変形することなく、均一であることが必要である。
このような光ファイバ４０の製造方法としては、その長手方向に空孔を有する光ファイバ母材を製造し、この光ファイバ母材を溶融、線引きする方法が挙げられる。特に、長手方向に空孔を有する光ファイバ母材を製造する際に、外付け法を用いることにより、光ファイバ母材の設計の自由度を広げ、結果として、光ファイバ４０の設計の自由度を広げることができる。
【０００４】
外付け法を用いた長手方向に空孔を有する光ファイバ母材の製造方法として、例えば、多数のシリカ毛管を密充填状態に束ねて管束バンドルとし、この管束バンドルの中心をなすシリカ毛管を固体シリカロッドで置換した後、各シリカ毛管の両端を封止し、この管束バンドル両端部の一部をシリカ管に入れて一体化し、長手方向に空孔を有する光ファイバ母材を製造する方法がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、長手方向に複数の空孔が形成されたプリフォームの外径を増大させるために、プリフォームをジャケット管に入れた後、このジャケット管を一体化し、プリフォームの外径を増大させる方法や、プリフォームの外周にガラス微粒子を堆積させた後、焼結し、プリフォームの外径を増大させる方法が用いられている。このプリフォームの外径を増大させる工程の前後に、空孔の両端を封止し、プリフォームを延伸する方法がある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−９５６２８号公報
【特許文献２】
特開２００２−１４５６３４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１で開示されている方法では、シリカ毛管の両端を封止して、管束バンドルの一体化を行うので、焼結時にシリカ毛管が膨張、収縮したり、テーパ状になり長手方向に変形することがあった。その結果として、管束バンドルの一体化により得られる空孔が形成された光ファイバ母材が長手方向に縮んだり、空孔が曲がったり、歪んだりすることがあった。また、この方法では、光ファイバ母材の設計に応じて、異なる種類のシリカ管を準備しなければならず、製造コストが高くなるという問題があった。また、シリカ管の大きさに応じて、管束バンドルの大きさ（束ねるシリカ毛管の数）を決定すると、光ファイバ母材の設計の自由度が下がり、結果として光ファイバの特性を微調整することが難しかった。
【０００８】
特許文献２には、外付けの記述があるが、その具体的な方法は記述されていない。そこで、もし、外付けをして従来の光ファイバ母材の作製法と同様に、母材の両端をガラス部材で空孔を両端封止して、外付け、焼結を行うと、空孔が長手方向に変形するなどの問題がある。
【０００９】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材の製造方法において、空孔の変形、歪みを低減する光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の一端または両端に管部材を接続し、該管部材の中空部と前記ガラス母材の空孔を連通して該ガラス母材の空孔を大気開放する光ファイバ母材の製造方法によって解決できる。
前記課題は、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の一端または両端に管部材を接続し、該管状の部材の中空部と前記ガラス母材の空孔を連通して該ガラス母材の空孔を大気開放し、前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３とする光ファイバ母材の製造方法によって解決できる。
前記課題は、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の空孔内の圧力を大気圧以上とし、該ガラス母材の両端に中実の部材を接続して前記ガラス母材の空孔を封止し、前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３とする光ファイバ母材の製造方法によって解決できる。
前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．５〜０．７ｇ／ｃｍ３とすることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
本発明の光ファイバ母材の製造方法は、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材を作製した後、このガラス母材の外周部にガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを作製する工程、および、この多孔質ガラスを焼結する工程において空孔内の圧力を調節し、また、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを作製する工程においてガラス微粒子の嵩密度を調節することにより、空孔の変形、歪みを低減した光ファイバ母材を得るものである。
【００１２】
本発明の光ファイバ母材の製造方法では、まず、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材を作製する。
長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の作製方法としては、多数の石英系ガラスからなる細管を密充填状態に束ね、これを一体化する方法、円柱状のガラス母材に空孔となる孔部を穿孔する方法などが用いられる。
ここでは、円柱状のガラス母材に空孔となる孔部を穿孔し、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材を作製する方法について説明する。
【００１３】
まず、ＶＡＤ法、ＭＣＶＤ法などのガラス合成法によりドーパントを含まない純粋石英ガラスなどからなり、コアとなる円柱状のガラス部材を作製する。
次いで、このガラス部材の外周にクラッドとなる石英ガラスなどからなるガラス微粒子を、ＶＡＤ法、外付け法などにより堆積する。
【００１４】
次いで、このガラス微粒子が堆積されたガラス部材を、フッ素などのドーパントを含有するガス中で加熱して、ガラス微粒子にドーパントを適宜添加し、さらに加熱して、このガラス微粒子を透明ガラス化して、コア／クラッド構造のガラス母材とする。
【００１５】
次いで、このガラス母材のコアまたはクラッドに対して、ドリル加工などの機械的手段によりガラス母材の長手方向に延びる１以上の空孔となる孔部を穿孔する。この孔部の径、数、位置は光ファイバに要求される特質などによって定められる。
次いで、孔部の内面を光学研磨し、長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材とする。
なお、ガラス母材としては、コア／クラッド構造のものに限定されず、コアとなるガラス部材のみからなるものであってもよい。
【００１６】
次に、図１を用いて、本発明の光ファイバ母材の製造方法の第１の実施形態について説明する。
この実施形態では、図１（ａ）に示すように、まず、上述のような方法で作製された、長手方向に１以上の空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに、管状の部材（以下、「管部材」と称する。）１４を接続し、この管部材１４の中空部１４ａと空孔２を連通して、空孔２を後の工程において常に大気開放した状態とする。このとき、ガラス母材１に空孔２が複数形成されている場合、全ての空孔２と中空部１４ａとが連通するように、ガラス母材１の一方の端部１ａに管部材１４を接続し、全ての空孔２内の圧力が常に一定となるようにする。
次いで、ガラス母材１の他方の端部１ｂに、円柱状の中実の部材（以下、「中実部材」と称する。）１５を接続する。
次いで、外付け法などにより合成した石英ガラスなどからなるガラス微粒子を、ガラス母材１の外周部に堆積して、図１（ｂ）に示すように、多孔質ガラス５を作製する。
次いで、空孔２を大気開放したまま、多孔質ガラス５を焼結炉で焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、図１（ｃ）に示すように、長手方向に延びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得る。
【００１７】
この実施形態によれば、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス５を作製する工程、およびこの多孔質ガラス５を焼結する工程において、上記の空孔２が常に大気開放され、空孔２内の圧力が常に大気圧と等しく保たれるので、特に、多孔質ガラス５を焼結する工程において、空孔２が膨らんだりして変形するのを低減することができる。また、焼結炉内で空孔２が膨らんだりしないため、焼結炉を損傷することがなくなる。
【００１８】
なお、この実施形態では、空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに管部材１４を接続したが、本発明の光ファイバ母材の製造方法はこれに限定されない。本発明にあっては、ガラス母材１の他方の端部１ｂにも管部材１４を接続し、ガラス母材１の両端部に管部材１４を接続した状態で、ガラス微粒子の堆積工程および多孔質ガラス５の焼結工程を行なってもよい。
【００１９】
次に、本発明の光ファイバ母材の製造方法の第２の実施形態について説明する。
この実施形態では、図２（ａ）に示すように、まず、長手方向に１以上の空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに、中実部材１５を接続する。
この後、空孔２内に窒素などの不活性ガスを充填して、空孔２内の圧力が端部１ｂに中実部材１５接続した時に、大気圧以上の適当な圧力になるように、例えば母材を熱し、空孔内の温度を調整して、空孔２を封止する。
次いで、ガラス母材１の他方の端部１ｂに中実部材１５を接続し、空孔２を封止する。
次いで、外付け法などにより合成した石英ガラスなどからなるガラス微粒子を、ガラス母材１の外周部に堆積して、図２（ｂ）に示すように、多孔質ガラス５を作製する。
次いで、空孔２を封止したまま、多孔質ガラス５を焼結炉で焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、図２（ｃ）に示すように、長手方向に延びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得る。
【００２０】
この実施形態では、ガラス母材１の空孔２内に窒素などの不活性ガスを充填して、ガラス母材１の両端部に中実部材１５を接続して封止し、ガラス微粒子の堆積工程および多孔質ガラス５の焼結工程において、空孔２内の圧力を大気圧＋０．０ｋＰａ〜＋５．０ｋＰａとすることが好ましい。このようにすれば、空孔２内の圧力が常に大気圧以上に保たれるので、特に、多孔質ガラス５を焼結する工程において、空孔２が歪んだりして変形するのを低減することができる。また、焼結炉内で空孔２が膨らんだりしないため、焼結炉を損傷することがなくなる。
空孔２内の圧力が大気圧未満では、ガラス微粒子の堆積工程および多孔質ガラス５の焼結工程において、空孔２が変形する。一方、空孔２内の圧力が大気圧＋５．０ｋＰａを超えると、空孔２が膨らみ、変形することがある。
【００２１】
また、空孔２内に不活性ガスを充填して、ガラス母材１の両端部に中実部材１５を接続して封止する際の空孔２内の圧力を、多孔質ガラス５の焼結時に空孔２内の圧力が所定の圧力となるように調節することが望ましい。具体的には、下記式（１）で表されるボイル・シャルルの法則において、空孔２内の容積（空孔２内に充填される不活性ガスの体積）Ｖ１、Ｖ２を一定とし、不活性ガスの充填時の温度Ｔ１、不活性ガスの充填時の空孔２内の圧力Ｐ１、多孔質ガラス５の焼結時の空孔２内の圧力Ｐ２から、多孔質ガラス５の焼結時の温度（多孔質ガラス５の焼結温度）Ｔ２を算出し、多孔質ガラス５の焼結時の空孔２内の圧力を、所定の圧力に調節する。
Ｐ１Ｖ１／Ｔ１＝Ｐ２Ｖ２／Ｔ２ （１）
【００２２】
次に、本発明の光ファイバ母材の製造方法の第３の実施形態について説明する。
この実施形態では、まず、上述のような方法で作製された、長手方向に１以上の空孔が形成されたガラス母材の外周部に、外付け法などにより、嵩密度を所定の範囲に調節して合成した石英ガラスなどからなるガラス微粒子を堆積し、多孔質ガラスを作製する。
次いで、多孔質ガラスを焼結炉で焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、長手方向に延びる空孔が形成された光ファイバ母材を得る。
【００２３】
この実施形態では、ガラス母材の外周部に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３とすることが好ましく、ガラス微粒子の嵩密度を０．５〜０．７ｇ／ｃｍ３とすることがより好ましい。ガラス微粒子の嵩密度をこの範囲とすることにより、多孔質ガラスの焼結時に、ガラス微粒子の収縮を小さくすることができる。これにより、空孔の収縮による光ファイバ母材の変形を低減することができる。
ガラス微粒子の嵩密度が０．４ｇ／ｃｍ３未満では、多孔質ガラスの焼結時に、ガラス微粒子の収縮が大きくなる。一方、ガラス微粒子の嵩密度が０．８ｇ／ｃｍ３を超えると、多孔質ガラスを焼結して得られた光ファイバ母材において、堆積されたガラス微粒子を透明化してなる部分に気泡が発生することがある。
【００２４】
次に、本発明の光ファイバ母材の製造方法の第４の実施形態について説明する。この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、上述の第１の実施形態と第３の実施形態とを組み合わせた方法である。
この実施形態では、図１に示すように、空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに、管部材１４を接続し、この管部材１４の中空部１４ａと空孔２を連通して、空孔２を全ての工程において常に大気開放し、外付け法などにより、嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３に調節して合成したガラス微粒子をガラス母材１の外周部に堆積し、多孔質ガラス５を作製する。
次いで、空孔２を大気開放したまま、多孔質ガラス５を焼結炉で焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、長手方向に延びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得る。
【００２５】
この実施形態によれば、空孔２内の圧力を大気圧と等しく保ち、ガラス微粒子の嵩密度を調節することにより、空孔２の変形による光ファイバ母材の変形を大幅に低減することができる。また、焼結炉内で空孔２が膨らんだりしないため、焼結炉を損傷することがなくなる。
【００２６】
次に、本発明の光ファイバ母材の製造方法の第５の実施形態について説明する。この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、上述の第２の実施形態と第３の実施形態とを組み合わせた方法である。
この実施形態では、図２に示すように、ガラス母材１の空孔２内に不活性ガスを充填して、ガラス母材１の両端部に中実部材１５を接続して封止し、空孔２内の圧力が大気圧＋０．０ｋＰａ〜＋５．０ｋＰａとなるように調節し、外付け法などにより、嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３に調節して合成したガラス微粒子をガラス母材１の外周部に堆積し、多孔質ガラス５を作製する。
次いで、空孔２を封止したまま、多孔質ガラス５を焼結炉で焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、長手方向に延びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得る。
【００２７】
この実施形態によれば、空孔２内の圧力を大気圧＋０．０ｋＰａ〜＋５．０ｋＰａに保ち、ガラス微粒子の嵩密度を調節することにより、空孔２の変形による光ファイバ母材の変形を大幅に低減することができる。
【００２８】
このように、本発明の光ファイバ母材の製造方法によれば、長手方向において、変形、歪が少なく、均一に形成された空孔を有し、設計通りの光ファイバ母材を製造することができる。よって、本発明の光ファイバ母材の製造方法で製造された光ファイバ母材を溶融、線引きして得られる光ファイバは、設計通りのものとなり、長手方向の全長にわたって、変形することなく、均一に形成された空孔を有し、優れた光学特性を示すものとなる。
【００２９】
以下、具体的な実施例を示し、本発明の効果を明らかにする。
（実施例１）
図１（ａ）に示すように、長手方向に１以上の空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに、管部材１４を接続した。
次いで、ガラス母材１の他方の端部１ｂに、円柱状の中実部材１５を接続した。
次いで、外付け法により、嵩密度０．６ｍｇ／ｃｍ３の石英ガラスからなるガラス微粒子を、ガラス母材１の外周部に堆積して、図１（ｂ）に示すように、多孔質ガラス５を作製した。
次いで、空孔２を大気開放したまま、多孔質ガラス５を焼結炉内に収容し、炉内温度１５００℃、母材トラバース速度１２０ｍｍ／ｈで焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、図１（ｃ）に示すように、長手方向に延びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得た。
【００３０】
図３に、得られた光ファイバ母材１０の概略断面図を示す。また、比較のために、図４には、空孔１２内の圧力を調節することなく、空孔１２の両端を封止した後、焼結して得られた光ファイバ母材２０の概略断面図を示す。
図３と図４を比較すると、本発明の光ファイバの製造方法で製造された光ファイバ母材１０は、空孔２がほとんど変形していないことが分かった。
また、焼結後の光ファイバ母材の空孔の平均径をＤａｖｅ、焼結前の光ファイバ母材の空孔の長手方向の長さをＤｍａｘ、焼結後の光ファイバ母材の空孔の長手方向の長さをＤｍｉｎとすると、焼結後の光ファイバ母材の空孔の平均径Ｄａｖｅと、焼結前後の光ファイバ母材の空孔の長手方向の変動幅（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）との比率（（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／Ｄａｖｅ）×１００は、図３の光ファイバ母材１０では７％、図４の光ファイバ母材２０では５５％であった。この結果から、本発明の光ファイバの製造方法では、空孔の収縮を小さくすることができることが確認された。
【００３１】
（実施例２）
図２（ａ）に示すように、長手方向に１以上の空孔２が形成されたガラス母材１の一方の端部１ａに、円柱状の中実部材１５を接続した。
この後、空孔２内に窒素などの不活性ガスを充填して、空孔２内の圧力を大気圧以上とした。
次いで、ガラス母材１の他方の端部１ｂに中実部材１５を接続し、空孔２を封止した。このとき、空孔２を封止するときの空孔２内の圧力を、焼結温度１５００℃にて大気圧＋１．０ｋＰａになるように、空孔２内の不活性ガスの温度を１４８０℃に調節して封止した。ここで、調整温度はボイル・シャルルの法則より、上記式（１）において体積一定、大気圧１０１．３ｋＰａとして求めた。
次いで、外付け法により、嵩密度０．６ｍｇ／ｃｍ３の石英ガラスからなるガラス微粒子をガラス母材１の外周部に堆積して、図２（ｂ）に示すように、多孔質ガラス５を作製した。
次いで、空孔２を大気開放したまま、多孔質ガラス５を焼結炉内に収容し、炉内温度１５００℃、母材トラバース速度１２０ｍｍ／ｈで焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、図２（ｃ）に示すように、長手方向に伸びる空孔２が形成された光ファイバ母材１０を得た。
【００３２】
得られた光ファイバ母材１０の断面形状は、図３に示した光ファイバ母材と同様のものであった。
この光ファイバ母材１０と、図４に示した光ファイバ母材２０を比較すると、本発明の光ファイバの製造方法で得られた光ファイバ母材１０は、空孔２がほとんど変形していないことが分かった。
また、焼結後の光ファイバ母材の空孔の平均径Ｄａｖｅと、焼結前後の光ファイバ母材の空孔の長手方向の変動幅（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）との比率（（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／Ｄａｖｅ）×１００は、光ファイバ母材１０では８％、図４の光ファイバ母材２０では５５％であった。この結果から、本発明の光ファイバの製造方法では、空孔の収縮を小さくすることができることが確認された。
【００３３】
（実施例３）
長手方向に１以上の空孔が形成されたガラス母材１の外周部に、外付け法により、嵩密度０．７ｇ／ｃｍ３の石英ガラスからなるガラス微粒子を堆積して、多孔質ガラス５を作製した。
次いで、多孔質ガラス５を焼結炉内に収容し、炉内温度１５００℃、母材トラバース速度１２０ｍｍ／ｈで焼結して、ガラス微粒子を透明ガラス化して、長手方向に伸びる空孔が形成された光ファイバ母材１０を得た。
【００３４】
得られた光ファイバ母材１０の断面形状は、図３に示した光ファイバ母材と同様のものであった。また、比較のために、図５には、ガラス微粒子の嵩密度を０．３ｇ／ｃｍ３として作製した光ファイバ母材３０の概略断面図を示す。
この光ファイバ母材１０と、図５に示した光ファイバ母材３０を比較すると、本発明の光ファイバの製造方法で得られた光ファイバ母材１０は、空孔２がほとんど変形していないことが分かった。
また、焼結前の多孔質ガラスの有効長をＬ、焼結後の光ファイバ母材の有効長をＬ´とすると、比Ｌ´／Ｌは、光ファイバ母材１０では１／１．０７、図５の光ファイバ母材３０では１／１．６５であった。この結果から、本発明の光ファイバの製造方法では、空孔の収縮を小さくすることができることが確認された。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光ファイバ母材の製造方法によれば、ガラス微粒子の堆積工程および多孔質ガラスの焼結工程において、ガラス母材の長手方向に形成された空孔の変形、歪み、収縮を小さくすることができるから、均一に形成された空孔を有し、設計通りの光ファイバ母材を製造することができる。
さらに、本発明の光ファイバ母材の製造方法で製造された光ファイバ母材は、均一に形成された空孔を有するから、この光ファイバ母材を溶融、線引きして得られる光ファイバの長手方向の光学特性を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の光ファイバ母材の製造方法の第１の実施形態を説明する概略図である。
【図２】 本発明の光ファイバ母材の製造方法の第２の実施形態を説明する概略図である。
【図３】 実施例で製造された光ファイバ母材の概略断面図である。
【図４】 実施例の比較として製造された光ファイバ母材の概略断面図である。
【図５】 実施例の比較として製造された光ファイバ母材の概略断面図である。
【図６】 従来の長手方向に延びる複数の空孔を有する光ファイバを示す断面図である。
【符号の説明】
１・・・ガラス母材、２・・・空孔、５・・・多孔質ガラス、１０・・・光ファイバ母材、１４・・・管部材、１４ａ・・・中空部、１５・・・中実部材。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention, the core member or cladding member, relates to the production how an optical fiber preform having pores extending in a longitudinal direction, in particular, deformation of the holes, producing how the optical fiber preform to reduce the distortion about the.
[0002]
[Prior art]
In recent years, an optical fiber having a plurality of holes extending in the longitudinal direction in a core or cladding has been proposed as a new optical fiber.
FIGS. 6A and 6B show an example of an optical fiber having a plurality of holes in a part of the cladding. The optical fiber 40 of this example has a core 32 and a clad 33, and a plurality of holes 34 extending in the longitudinal direction are formed in the clad 33 so as to surround the core 32.
[0003]
In such an optical fiber 40, the effective refractive index of the core 32 and the clad 33 is increased. As a result, the optical fiber 40 has characteristics such as being suitable for dispersion compensation since a chromatic dispersion having a large absolute value can be obtained, and suitable for utilizing a nonlinear optical effect since a small mode field diameter can be realized. In order to realize such characteristics of the optical fiber 40 as designed, the air holes 34 formed in the optical fiber 40 should be uniform without being deformed over the entire length of the optical fiber 40 in the longitudinal direction. is necessary.
As a method for manufacturing such an optical fiber 40, there is a method in which an optical fiber preform having holes in its longitudinal direction is manufactured, and this optical fiber preform is melted and drawn. In particular, when an optical fiber preform having holes in the longitudinal direction is manufactured, the degree of freedom in designing the optical fiber preform is expanded by using an external method, and as a result, the degree of freedom in designing the optical fiber 40 is increased. Can be spread.
[0004]
As a method of manufacturing an optical fiber preform having pores in the longitudinal direction using an external method, for example, a large number of silica capillaries are bundled in a close-packed state to form a tube bundle bundle, and the silica capillary forming the center of the tube bundle bundle is solid. After replacing with a silica rod, both ends of each silica capillary are sealed, a part of both ends of this tube bundle bundle is integrated into a silica tube, and an optical fiber preform having holes in the longitudinal direction is manufactured. (For example, refer to Patent Document 1).
[0005]
Further, in order to increase the outer diameter of the preform in which a plurality of pores are formed in the longitudinal direction, after the preform is put into the jacket tube, the jacket tube is integrated to increase the outer diameter of the preform. Alternatively, a method in which glass fine particles are deposited on the outer periphery of the preform and then sintered to increase the outer diameter of the preform is used. There is a method in which both ends of the pores are sealed before and after the step of increasing the outer diameter of the preform and the preform is stretched (see, for example, Patent Document 2).
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-10-95628 [Patent Document 2]
JP 2002-145634 A
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method disclosed in Patent Document 1, both ends of the silica capillary are sealed and the tube bundle bundle is integrated, so that the silica capillary expands and contracts during sintering, or becomes tapered and becomes longitudinal. It sometimes deformed. As a result, the optical fiber preform formed with the holes obtained by integrating the tube bundle bundle may shrink in the longitudinal direction, or the holes may be bent or distorted. In addition, this method has a problem that the production cost increases because different types of silica pipes must be prepared according to the design of the optical fiber preform. Also, if the size of the tube bundle bundle (number of silica capillaries to be bundled) is determined according to the size of the silica tube, the degree of freedom in designing the optical fiber preform is reduced, and as a result, the characteristics of the optical fiber can be finely adjusted. It was difficult.
[0008]
Patent Document 2 has an external description but does not describe a specific method. Therefore, if externally attached and both ends of the base material are sealed with glass members at both ends and externally attached and sintered in the same manner as in the conventional optical fiber preform manufacturing method, There are problems such as deformation in the longitudinal direction.
[0009]
The present invention has been made in view of the above circumstances, provide the method of manufacturing an optical fiber preform having pores extending in the longitudinal direction, the deformation of the pores, manufacture how the optical fiber preform to reduce the distortion The purpose is to do.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The object is to synthesize the porous glass by depositing glass fine particles on the outer periphery of the glass base material in which the pores extending in the longitudinal direction are formed, and sinter the pores extending in the longitudinal direction by sintering the porous glass In the method of manufacturing an optical fiber preform, the tube member is connected to one or both ends of the glass preform prior to the step of depositing the glass particles and the step of sintering the porous glass. However, this can be solved by a method for manufacturing an optical fiber preform in which the hollow portion of the tube member and the holes of the glass base material are communicated to open the holes of the glass base material to the atmosphere.
Check Before SL problem, the outer peripheral portion of the glass preform pores are formed extending in the longitudinal direction, which by depositing glass particles synthesized porous glass, extending in the longitudinal direction by sintering the porous glass In an optical fiber preform manufacturing method for manufacturing an optical fiber preform having holes, a tube member is provided at one or both ends of the glass preform prior to the step of depositing glass particles and the step of sintering porous glass. And connecting the hollow portion of the tubular member and the holes of the glass base material to open the air holes of the glass base material to the atmosphere, and the bulk density of the glass particles deposited on the glass base material is set to 0.4. This can be solved by a method for manufacturing an optical fiber preform of ˜0.8 g / cm 3 .
The object is to synthesize the porous glass by depositing glass fine particles on the outer periphery of the glass base material in which the pores extending in the longitudinal direction are formed, and sinter the pores extending in the longitudinal direction by sintering the porous glass In the method for manufacturing an optical fiber preform, the pressure in the pores of the glass preform is set to atmospheric pressure prior to the step of depositing glass particles and the step of sintering porous glass. As described above, solid members are connected to both ends of the glass base material to seal the pores of the glass base material, and the bulk density of the glass fine particles deposited on the glass base material is 0.4 to 0.8 g. This can be solved by a method for producing an optical fiber preform having a thickness of / cm 3 .
It is preferable that the bulk density of the glass fine particles deposited on the glass base material is 0.5 to 0.7 g / cm 3 .
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention, a glass preform in which holes extending in the longitudinal direction are formed is produced, and then glass particles are deposited on the outer periphery of the glass preform to produce a porous glass. Adjusting the pressure in the pores in the step of sintering the porous glass, and adjusting the bulk density of the glass particles in the step of depositing the glass fine particles to produce the porous glass, An optical fiber preform with reduced void deformation and distortion is obtained.
[0012]
In the method for producing an optical fiber preform of the present invention, first, a glass preform in which holes extending in the longitudinal direction are formed is produced.
As a method for producing a glass base material in which holes extending in the longitudinal direction are formed, a large number of quartz glass-made thin tubes are bundled in a close-packed state and integrated, a hole in a cylindrical glass base material For example, a method of drilling a hole to be used is used.
Here, a description will be given of a method for producing a glass base material in which holes serving as holes are formed in a columnar glass base material and holes extending in the longitudinal direction are formed.
[0013]
First, a cylindrical glass member made of pure quartz glass containing no dopant by a glass synthesis method such as a VAD method or an MCVD method is used as a core.
Next, glass particles made of quartz glass or the like serving as a cladding are deposited on the outer periphery of the glass member by a VAD method, an external method, or the like.
[0014]
Next, the glass member on which the glass fine particles are deposited is heated in a gas containing a dopant such as fluorine, the dopant is appropriately added to the glass fine particles, and further heated to convert the glass fine particles into a transparent glass, A glass base material having a core / cladding structure is used.
[0015]
Next, one or more hole portions extending in the longitudinal direction of the glass base material are formed in the glass base material core or clad by mechanical means such as drilling. The diameter, number, and position of the hole are determined by the characteristics required for the optical fiber.
Next, the inner surface of the hole is optically polished to obtain a glass base material in which holes extending in the longitudinal direction are formed.
The glass base material is not limited to a core / cladding structure, and may be composed only of a glass member serving as a core.
[0016]
Next, a first embodiment of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIG.
In this embodiment, as shown in FIG. 1A, first, one end 1a of a glass base material 1 having one or more holes 2 formed in the longitudinal direction, produced by the method as described above. A tubular member (hereinafter referred to as a “pipe member”) 14 is connected to the hollow member 14 and the hollow portion 14a of the pipe member 14 and the hole 2 are communicated with each other, so that the hole 2 is always open to the atmosphere in subsequent steps. State. At this time, when a plurality of holes 2 are formed in the glass base material 1, the tube member 14 is attached to one end 1a of the glass base material 1 so that all the holes 2 and the hollow portion 14a communicate with each other. Connect so that the pressure in all the holes 2 is always constant.
Next, a cylindrical solid member (hereinafter referred to as “solid member”) 15 is connected to the other end 1 b of the glass base material 1.
Next, glass particles made of quartz glass or the like synthesized by an external method or the like are deposited on the outer periphery of the glass base material 1 to produce a porous glass 5 as shown in FIG.
Next, the porous glass 5 is sintered in a sintering furnace with the air holes 2 open to the atmosphere, and the glass fine particles are made into transparent glass. As shown in FIG. 1C, the air holes 2 extending in the longitudinal direction are obtained. An optical fiber preform 10 is formed.
[0017]
According to this embodiment, in the step of depositing glass fine particles to produce the porous glass 5 and the step of sintering the porous glass 5, the holes 2 are always open to the atmosphere, Since the pressure is always kept equal to the atmospheric pressure, it is possible to reduce the expansion and deformation of the pores 2 particularly in the step of sintering the porous glass 5. Further, since the holes 2 do not swell in the sintering furnace, the sintering furnace is not damaged.
[0018]
In this embodiment, the tube member 14 is connected to one end 1a of the glass base material 1 in which the holes 2 are formed. However, the method for manufacturing the optical fiber base material of the present invention is not limited to this. In the present invention, in the state where the tube member 14 is connected to the other end 1b of the glass base material 1 and the tube member 14 is connected to both ends of the glass base material 1, the glass fine particle deposition step and the porous A sintering step of the glass 5 may be performed.
[0019]
Next, a second embodiment of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention will be described.
In this embodiment, as shown to Fig.2 (a), the solid member 15 is first connected to one edge part 1a of the glass base material 1 in which the 1 or more void | hole 2 was formed in the longitudinal direction.
After that, when the hole 2 is filled with an inert gas such as nitrogen, and the pressure in the hole 2 is connected to the solid member 15 at the end 1b, an appropriate pressure of atmospheric pressure or higher is obtained. For example, the hole 2 is sealed by heating the base material and adjusting the temperature in the hole.
Next, the solid member 15 is connected to the other end 1 b of the glass base material 1 to seal the air holes 2.
Next, glass particles made of quartz glass or the like synthesized by an external method or the like are deposited on the outer peripheral portion of the glass base material 1 to produce a porous glass 5 as shown in FIG.
Next, with the pores 2 sealed, the porous glass 5 is sintered in a sintering furnace to convert the glass fine particles into a transparent glass. As shown in FIG. An optical fiber preform 10 is formed.
[0020]
In this embodiment, the voids 2 of the glass base material 1 are filled with an inert gas such as nitrogen, and solid members 15 are connected and sealed at both ends of the glass base material 1 to deposit glass particles. In the step and the sintering step of the porous glass 5, the pressure in the pores 2 is preferably set to atmospheric pressure +0.0 kPa to +5.0 kPa. In this way, since the pressure in the pores 2 is always maintained at atmospheric pressure or higher, it is possible to reduce the deformation and deformation of the pores 2 particularly in the step of sintering the porous glass 5. be able to. Further, since the holes 2 do not swell in the sintering furnace, the sintering furnace is not damaged.
When the pressure in the pores 2 is less than atmospheric pressure, the pores 2 are deformed in the glass fine particle deposition step and the porous glass 5 sintering step. On the other hand, if the pressure in the hole 2 exceeds atmospheric pressure +5.0 kPa, the hole 2 may swell and deform.
[0021]
In addition, the pore 2 is filled with an inert gas, and the solid member 15 is connected to both ends of the glass base material 1 to seal the pressure in the pore 2 when the porous glass 5 is baked. It is desirable to adjust so that the pressure in the hole 2 becomes a predetermined pressure at the time of binding. Specifically, in Boyle-Charles' law expressed by the following formula (1), the volume in the void 2 (volume of the inert gas filled in the void 2) V 1 and V 2 is constant. , the temperature T 1 of the time of filling of the inert gas, the pressure P 1 of the air hole 2 during filling of the inert gas, the pressure P 2 in the holes 2 at the time of sintering of the porous glass 5, porous glass 5 to calculate the T 2 (sintering temperature of the porous glass 5) temperature during sintering, the pressure in the holes 2 at the time of sintering the porous glass 5 is adjusted to a predetermined pressure.
P 1 V 1 / T 1 = P 2 V 2 / T 2 (1)
[0022]
Next, a third embodiment of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention will be described.
In this embodiment, first, the bulk density is set to a predetermined range by an external method or the like on the outer periphery of the glass base material formed by the method as described above and having one or more holes in the longitudinal direction. Porous glass is produced by depositing fine glass particles made of quartz glass or the like synthesized by adjusting.
Next, the porous glass is sintered in a sintering furnace to convert the glass fine particles into a transparent glass, thereby obtaining an optical fiber preform in which holes extending in the longitudinal direction are formed.
[0023]
In this embodiment, it is preferable that the bulk density of the glass fine particles deposited on the outer periphery of the glass base material is 0.4 to 0.8 g / cm 3, and the bulk density of the glass fine particles is 0.5 to 0.7 g / cm 3. More preferably, it is cm 3 . By setting the bulk density of the glass fine particles within this range, the shrinkage of the glass fine particles can be reduced during the sintering of the porous glass. Thereby, deformation of the optical fiber preform due to the shrinkage of the holes can be reduced.
When the bulk density of the glass fine particles is less than 0.4 g / cm 3 , the shrinkage of the glass fine particles increases during the sintering of the porous glass. On the other hand, when the bulk density of the glass particles exceeds 0.8 g / cm 3 , bubbles are generated in the portion formed by transparentizing the deposited glass particles in the optical fiber preform obtained by sintering the porous glass. There are things to do.
[0024]
Next, a fourth embodiment of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention will be described. The manufacturing method of the optical fiber preform of this embodiment is a method in which the first embodiment and the third embodiment described above are combined.
In this embodiment, as shown in FIG. 1, a tube member 14 is connected to one end 1 a of the glass base material 1 in which the holes 2 are formed, and the hollow portion 14 a and the holes 2 of the tube member 14 are connected. , And the pores 2 are always opened to the atmosphere in all steps, and the glass fine particles 1 are synthesized by adjusting the bulk density to 0.4 to 0.8 g / cm 3 by an external method or the like. The porous glass 5 is produced by depositing on the outer periphery of the glass.
Next, the porous glass 5 is sintered in a sintering furnace while leaving the holes 2 open to the atmosphere, and the glass fine particles are made into transparent glass, and the optical fiber preform 10 having the holes 2 extending in the longitudinal direction is formed. obtain.
[0025]
According to this embodiment, the deformation of the optical fiber preform due to the deformation of the holes 2 can be greatly reduced by keeping the pressure in the holes 2 equal to the atmospheric pressure and adjusting the bulk density of the glass fine particles. it can. Further, since the holes 2 do not swell in the sintering furnace, the sintering furnace is not damaged.
[0026]
Next, a fifth embodiment of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention will be described. The manufacturing method of the optical fiber preform of this embodiment is a method combining the second embodiment and the third embodiment described above.
In this embodiment, as shown in FIG. 2, the voids 2 of the glass base material 1 are filled with an inert gas, and the solid members 15 are connected and sealed at both ends of the glass base material 1. Glass fine particles synthesized by adjusting the pressure in the pores 2 to atmospheric pressure +0.0 kPa to +5.0 kPa and adjusting the bulk density to 0.4 to 0.8 g / cm 3 by an external method or the like. Is deposited on the outer periphery of the glass base material 1 to produce a porous glass 5.
Next, with the pores 2 sealed, the porous glass 5 is sintered in a sintering furnace, the glass fine particles are made into transparent glass, and the optical fiber preform 10 having the pores 2 extending in the longitudinal direction is formed. obtain.
[0027]
According to this embodiment, the pressure in the air holes 2 is maintained at atmospheric pressure +0.0 kPa to +5.0 kPa, and the bulk density of the glass fine particles is adjusted, so that the deformation of the optical fiber preform due to the deformation of the air holes 2 is prevented. It can be greatly reduced.
[0028]
As described above, according to the method for manufacturing an optical fiber preform of the present invention, the optical fiber preform is manufactured as designed with a uniform hole formed with less deformation and distortion in the longitudinal direction. Can do. Therefore, the optical fiber obtained by melting and drawing the optical fiber preform manufactured by the optical fiber preform manufacturing method of the present invention is as designed, and is uniform over the entire length in the longitudinal direction without deformation. And has excellent optical characteristics.
[0029]
Hereinafter, specific examples will be shown to clarify the effects of the present invention.
Example 1
As shown to Fig.1 (a), the pipe member 14 was connected to one edge part 1a of the glass base material 1 in which the 1 or more void | hole 2 was formed in the longitudinal direction.
Next, a cylindrical solid member 15 was connected to the other end 1 b of the glass base material 1.
Next, glass particles made of quartz glass having a bulk density of 0.6 mg / cm 3 are deposited on the outer peripheral portion of the glass base material 1 by an external method, and the porous glass 5 as shown in FIG. Was made.
Next, with the pores 2 open to the atmosphere, the porous glass 5 is accommodated in a sintering furnace and sintered at a furnace temperature of 1500 ° C. and a base material traverse speed of 120 mm / h to convert the glass particles into a transparent glass. As shown in FIG. 1C, an optical fiber preform 10 was obtained in which holes 2 extending in the longitudinal direction were formed.
[0030]
FIG. 3 shows a schematic cross-sectional view of the obtained optical fiber preform 10. For comparison, FIG. 4 shows a schematic cross section of an optical fiber preform 20 obtained by sealing both ends of the hole 12 and then sintering without adjusting the pressure in the hole 12. The figure is shown.
Comparing FIG. 3 and FIG. 4, it was found that the holes 2 were hardly deformed in the optical fiber preform 10 manufactured by the optical fiber manufacturing method of the present invention.
In addition, the average diameter of the pores of the optical fiber preform after sintering is D ave , the length in the longitudinal direction of the pores of the optical fiber preform before sintering is D max , and the optical fiber preform after sintering is When the length in the longitudinal direction of the holes is D min , the average diameter D ave of the holes in the optical fiber preform after sintering and the fluctuation width in the longitudinal direction of the holes in the optical fiber preform before and after sintering ( D max -D min) ratio of ((D max -D min) / D ave) × 100 7% in the optical fiber preform 10 in FIG. 3, 55% in the optical fiber preform 20 in FIG. 4 met It was. From this result, it was confirmed that the shrinkage of the pores can be reduced in the optical fiber manufacturing method of the present invention.
[0031]
(Example 2)
As shown in FIG. 2A, a cylindrical solid member 15 was connected to one end 1a of the glass base material 1 in which one or more holes 2 were formed in the longitudinal direction.
Thereafter, an inert gas such as nitrogen was filled in the holes 2, and the pressure in the holes 2 was set to atmospheric pressure or higher.
Next, the solid member 15 was connected to the other end 1 b of the glass base material 1 to seal the air holes 2. At this time, the temperature of the inert gas in the pores 2 is 1480 ° C. so that the pressure in the pores 2 when sealing the pores 2 is atmospheric pressure + 1.0 kPa at a sintering temperature of 1500 ° C. Adjusted to seal. Here, the adjustment temperature was determined by Boyle-Charles' law as a constant volume and an atmospheric pressure of 101.3 kPa in the above equation (1).
Subsequently, glass particles made of quartz glass having a bulk density of 0.6 mg / cm 3 are deposited on the outer periphery of the glass base material 1 by an external method, and the porous glass 5 is formed as shown in FIG. Produced.
Next, with the pores 2 open to the atmosphere, the porous glass 5 is accommodated in a sintering furnace and sintered at a furnace temperature of 1500 ° C. and a base material traverse speed of 120 mm / h to convert the glass particles into a transparent glass. As shown in FIG. 2C, an optical fiber preform 10 was obtained in which holes 2 extending in the longitudinal direction were formed.
[0032]
The cross-sectional shape of the obtained optical fiber preform 10 was the same as that of the optical fiber preform shown in FIG.
When this optical fiber preform 10 and the optical fiber preform 20 shown in FIG. 4 are compared, in the optical fiber preform 10 obtained by the optical fiber manufacturing method of the present invention, the holes 2 are hardly deformed. I understood that.
Further, the ratio of the average diameter D ave of the holes of the optical fiber preform after sintering and the fluctuation width (D max −D min ) in the longitudinal direction of the holes of the optical fiber preform before and after sintering ((D max− D min ) / D ave ) × 100 was 8% for the optical fiber preform 10 and 55% for the optical fiber preform 20 of FIG. From this result, it was confirmed that the shrinkage of the pores can be reduced in the optical fiber manufacturing method of the present invention.
[0033]
(Example 3)
Porous glass 5 is formed by depositing glass particles made of quartz glass having a bulk density of 0.7 g / cm 3 on the outer peripheral portion of the glass base material 1 in which one or more pores are formed in the longitudinal direction by an external method. Was made.
Next, the porous glass 5 is housed in a sintering furnace, sintered at a furnace temperature of 1500 ° C., and a base material traverse speed of 120 mm / h, thereby converting the glass fine particles into a transparent glass and forming pores extending in the longitudinal direction. An optical fiber preform 10 was obtained.
[0034]
The cross-sectional shape of the obtained optical fiber preform 10 was the same as that of the optical fiber preform shown in FIG. For comparison, FIG. 5 shows a schematic cross-sectional view of an optical fiber preform 30 produced with a glass fine particle bulk density of 0.3 g / cm 3 .
When this optical fiber preform 10 and the optical fiber preform 30 shown in FIG. 5 are compared, in the optical fiber preform 10 obtained by the optical fiber manufacturing method of the present invention, the holes 2 are hardly deformed. I understood that.
Further, when the effective length of the porous glass before sintering is L and the effective length of the optical fiber preform after sintering is L ′, the ratio L ′ / L is 1 / 1.07 in the optical fiber preform 10. In the optical fiber preform 30 of FIG. From this result, it was confirmed that the shrinkage of the pores can be reduced in the optical fiber manufacturing method of the present invention.
[0035]
【The invention's effect】
As described above, according to the method for manufacturing an optical fiber preform of the present invention, in the step of depositing fine glass particles and the step of sintering porous glass, deformation of pores formed in the longitudinal direction of the glass preform, Since distortion and shrinkage can be reduced, it is possible to manufacture an optical fiber preform as designed having uniform holes.
Furthermore, since the optical fiber preform manufactured by the optical fiber preform manufacturing method of the present invention has uniformly formed holes, the length of the optical fiber obtained by melting and drawing the optical fiber preform is shown. The optical characteristics of the direction can be made constant.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a first embodiment of a method for producing an optical fiber preform of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view for explaining a second embodiment of the method for producing an optical fiber preform of the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an optical fiber preform manufactured in an example.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an optical fiber preform manufactured as a comparative example.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of an optical fiber preform manufactured as a comparative example.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a conventional optical fiber having a plurality of holes extending in the longitudinal direction.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass base material, 2 ... Hole, 5 ... Porous glass, 10 ... Optical fiber base material, 14 ... Pipe member, 14a ... Hollow part, 15 ... Solid member.

Claims (4)

長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、
ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の一端または両端に管部材を接続し、該管部材の中空部と前記ガラス母材の空孔を連通して該ガラス母材の空孔を大気開放することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。An optical fiber having pores extending in the longitudinal direction by depositing glass fine particles on the outer periphery of a glass base material in which pores extending in the longitudinal direction are formed to synthesize porous glass and sintering the porous glass In the manufacturing method of the optical fiber preform for producing the preform,
Prior to the step of depositing the glass fine particles and the step of sintering the porous glass, a tube member is connected to one or both ends of the glass base material, and the hollow portion of the tube member communicates with the holes of the glass base material. Then, the method for producing an optical fiber preform is characterized in that the holes in the glass preform are opened to the atmosphere. 長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、
ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の一端または両端に管部材を接続し、該管部材の中空部と前記ガラス母材の空孔を連通して該ガラス母材の空孔を大気開放し、前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。An optical fiber having pores extending in the longitudinal direction by depositing glass fine particles on the outer periphery of a glass base material in which pores extending in the longitudinal direction are formed to synthesize porous glass and sintering the porous glass In the manufacturing method of the optical fiber preform for producing the preform,
Prior to the step of depositing the glass fine particles and the step of sintering the porous glass, a tube member is connected to one or both ends of the glass base material, and the hollow portion of the tube member communicates with the holes of the glass base material. Then, the hole of the glass base material is opened to the atmosphere, and the bulk density of the glass fine particles deposited on the glass base material is 0.4 to 0.8 g / cm 3. Method. 長手方向に延びる空孔が形成されたガラス母材の外周部に、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラスを合成し、該多孔質ガラスを焼結して長手方向に延びる空孔を有する光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法において、
ガラス微粒子を堆積する工程および多孔質ガラスを焼結する工程に先立って、前記ガラス母材の空孔内の圧力を大気圧以上とし、該ガラス母材の両端に中実の部材を接続して前記ガラス母材の空孔を封止し、前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．４〜０．８ｇ／ｃｍ３とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。An optical fiber having pores extending in the longitudinal direction by depositing glass fine particles on the outer periphery of a glass base material in which pores extending in the longitudinal direction are formed to synthesize porous glass and sintering the porous glass In the manufacturing method of the optical fiber preform for producing the preform,
Prior to the step of depositing the glass fine particles and the step of sintering the porous glass, the pressure in the pores of the glass base material is set to atmospheric pressure or higher, and solid members are connected to both ends of the glass base material. A method for producing an optical fiber preform, wherein pores of the glass preform are sealed, and a bulk density of glass fine particles deposited on the glass preform is 0.4 to 0.8 g / cm 3 . 前記ガラス母材に堆積するガラス微粒子の嵩密度を０．５〜０．７ｇ／ｃｍ３とすることを特徴とする請求項２または３に記載の光ファイバ母材の製造方法。The method for producing an optical fiber preform according to claim 2 or 3 , wherein a bulk density of the glass fine particles deposited on the glass preform is 0.5 to 0.7 g / cm 3 .
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