JP5644692B2 - Optical fiber preform manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、長手方向に延在する空孔を有する光ファイバ母材を製造する方法に関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber preform having holes extending in the longitudinal direction.

特許文献1に開示された光ファイバは、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、クラッド領域内に長手方向に延在する複数の空孔を有する。このような空孔付き光ファイバは、コア領域の径、空孔の配置および空孔の大きさ等に応じた所望の光学特性を有することができ、ITU-T勧告G.657A1、A2、B2、B3の光学特性を有することも可能である。空孔付き光ファイバは、例えば特許文献2〜5それぞれに記載された方法により製造され得る。   The optical fiber disclosed in Patent Document 1 includes a core region, a cladding region, and a jacket region, and has a plurality of holes extending in the longitudinal direction in the cladding region. Such a holey optical fiber can have a desired optical characteristic according to the diameter of the core region, the hole arrangement, the hole size, and the like, and ITU-T recommendation G.657A1, A2, B2 , B3 optical characteristics. The holey optical fiber can be manufactured, for example, by the methods described in Patent Documents 2 to 5, respectively.

特許文献2に開示された製造方法では、穿孔加工により複数の空孔を形成した円柱形状のガラス体を光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。   In the manufacturing method disclosed in Patent Document 2, a cylindrical glass body in which a plurality of holes are formed by drilling is used as an optical fiber preform, and an optical fiber is manufactured by drawing the optical fiber preform.

特許文献3に開示された製造方法では、穿孔加工により複数の空孔を形成した円柱形状のガラス体の周囲に複数のガラスパイプを配置したものを光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。   In the manufacturing method disclosed in Patent Document 3, an optical fiber preform is formed by arranging a plurality of glass pipes around a cylindrical glass body in which a plurality of holes are formed by drilling. An optical fiber is manufactured by drawing.

特許文献4に開示された製造方法では、穿孔加工により複数の空孔を形成した後に加熱延伸した円柱形状のガラス体の外周面上にジャケット領域を形成したものを光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。或いは、穿孔加工により複数の空孔を形成した後に加熱延伸した円柱形状のガラス体をガラスパイプに挿入して、これらを一体化しつつ線引することで光ファイバを製造する。   In the manufacturing method disclosed in Patent Document 4, an optical fiber preform is formed by forming a jacket region on the outer peripheral surface of a cylindrical glass body that has been heated and stretched after forming a plurality of holes by drilling. An optical fiber is manufactured by drawing a fiber preform. Alternatively, an optical fiber is manufactured by inserting a cylindrical glass body that has been heat-stretched after forming a plurality of holes by perforation processing into a glass pipe and drawing them while integrating them.

特許文献5に開示された製造方法では、束ねられた複数のガラスパイプの外周にVAD法によりジャケット領域を形成したものを光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。   In the manufacturing method disclosed in Patent Document 5, an optical fiber preform is formed by forming a jacket region on the outer periphery of a plurality of bundled glass pipes by the VAD method, and the optical fiber preform is drawn to draw an optical fiber. Manufacturing.

国際公開第2004/092793号International Publication No. 2004/092793 特開2002−145634号公報JP 2002-145634 A 特開2003−40637号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-40637 特開2003−81656号公報JP 2003-81656 A 特開2011−20861号公報JP 2011-20861 A

所望の光学特性を有する空孔付き光ファイバを製造するには、光ファイバ母材においても、コア領域の径、空孔の配置および空孔の大きさ等が設計どおりに形成されることが必要であり、また、これらが長手方向に均一であることが必要である。しかしながら、特許文献2〜5それぞれに記載された光ファイバ母材製造方法は、製造歩留まりや製造コストの観点からは充分であるとは言えない。   In order to manufacture a holey optical fiber having desired optical characteristics, it is necessary that the diameter of the core region, the hole arrangement, the hole size, and the like be formed as designed in the optical fiber preform. And they must be uniform in the longitudinal direction. However, the optical fiber preform manufacturing methods described in Patent Documents 2 to 5 are not sufficient from the viewpoint of manufacturing yield and manufacturing cost.

すなわち、穿孔加工により複数の空孔を形成した円柱形状のガラス体を光ファイバ母材とする製造方法では、穿孔加工コストが高く、また、長尺の穿孔ツールの剛性不足に因り空孔径の精度が悪化するので大型の光ファイバ母材を製造することが難しく、したがって、生産性が悪い。   That is, in the manufacturing method using a cylindrical glass body in which a plurality of holes are formed by drilling as an optical fiber preform, the cost of drilling is high, and the accuracy of the hole diameter due to insufficient rigidity of a long drilling tool As a result, it is difficult to manufacture a large-sized optical fiber preform, and thus productivity is poor.

また、複数のガラスパイプを束ねて光ファイバ母材とする製造方法では、複数のガラスパイプの配列崩れによる構造ばらつきが生じ易く、所望の光学特性を得ることが難しいという問題がある。それを防ぐためにはガラスパイプの寸法精度を高くした上でガラスパイプの配列を確実に行う必要があり、手間がかかる。また、多くのガラス表面を内部に取り込むことになるので、異物や気泡が混入し易く、線引工程での断線や外径異常が起き易い。また、OH基や不純物の混入によって伝送損失が悪化する問題がある。   In addition, in the manufacturing method in which a plurality of glass pipes are bundled to form an optical fiber preform, there is a problem that structural variations are likely to occur due to the dislocation of the plurality of glass pipes, and it is difficult to obtain desired optical characteristics. In order to prevent this, it is necessary to increase the dimensional accuracy of the glass pipes and to securely arrange the glass pipes, which takes time. Moreover, since many glass surfaces are taken in, a foreign material and a bubble are easy to mix in, and it is easy to cause the disconnection and outer diameter abnormality in a drawing process. In addition, there is a problem that transmission loss is deteriorated due to mixing of OH groups and impurities.

本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、長手方向に延在する複数の空孔を有し所望の特性を有する光ファイバを高歩留り且つ低コストで製造するのに好適な光ファイバ母材製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and is suitable for manufacturing an optical fiber having a plurality of holes extending in the longitudinal direction and having desired characteristics at a high yield and at a low cost. An object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing method.

本発明の光ファイバ母材製造方法は、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、クラッド領域内に長手方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバ母材を製造する方法であって、(1) コア領域およびクラッド領域からなるガラス体に対して穿孔加工を行って空孔を形成する穿孔工程と、(2) 穿孔工程の後のガラス体を加熱延伸してガラスロッドを作製する延伸工程と、(3)延伸工程により得られたガラスロッドの外周面上にシリカ微粒子を堆積させる堆積工程と、(4) 堆積工程により得られたガラスロッドの外周面上のシリカ微粒子堆積体を焼結して透明化する焼結工程と、(5)焼結工程の前にガラスロッドの一端においてガラスロッドの空孔を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる開放工程と、を備えることを特徴とする。   The optical fiber preform manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an optical fiber preform having a core region, a cladding region, and a jacket region, and having a plurality of holes extending in the longitudinal direction in the cladding region, (1) A perforation process in which holes are formed by perforating a glass body composed of a core region and a cladding region, and (2) stretching to produce a glass rod by heating and stretching the glass body after the perforation process. And (3) a deposition step of depositing silica fine particles on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the stretching step, and (4) firing the silica fine particle deposit on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the deposition step. A sintering step to be made transparent, and (5) an opening step in which the pores of the glass rod are opened at one end of the glass rod before the sintering step to connect the void inner space and the void outer space, It is characterized by having .

本発明の光ファイバ母材製造方法は、堆積工程の前にガラスロッドの空孔内部空間と空孔外部空間とを遮断する工程を更に備えるのが好適である。また、本発明の光ファイバ母材製造方法は、堆積工程の前に、開放工程におけるガラスロッドの空孔の開放を容易化するための加工を施す工程を更に備えるのが好適である。   The optical fiber preform manufacturing method of the present invention preferably further includes a step of blocking the hole internal space and the hole external space of the glass rod before the deposition step. Moreover, it is preferable that the optical fiber preform manufacturing method of the present invention further includes a step of performing processing for facilitating the opening of the glass rod holes in the opening step before the deposition step.

本発明の光ファイバ母材製造方法は、開放工程において、堆積工程の前に、ガラスロッドの空孔を開放して開放部を設けるとともに、その開放部に対し縮径加工を施し、堆積工程および焼結工程において、開放部を開放したままとするのが好適である。   The optical fiber preform manufacturing method according to the present invention includes, in the opening step, before the deposition step, the glass rod holes are opened to provide an opening portion, and the opening portion is subjected to diameter reduction processing, In the sintering process, it is preferable to keep the open part open.

本発明の光ファイバ母材製造方法は、堆積工程前において、ガラスロッドの断面において複数の空孔が円の周上に配置され、複数の空孔の外接円半径Rcとガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係が成り立つのが好適である。   In the optical fiber preform manufacturing method of the present invention, before the deposition step, a plurality of holes are arranged on the circumference of the circle in the cross section of the glass rod, and the circumscribed circle radius Rc of the plurality of holes and the outer diameter D of the glass rod. It is preferable that a relationship of 2Rc ≦ 0.9D is established between the two.

本発明によれば、長手方向に延在する複数の空孔を有し所望の特性を有する光ファイバを高歩留り且つ低コストで製造することができる。   According to the present invention, an optical fiber having a plurality of holes extending in the longitudinal direction and having desired characteristics can be manufactured with high yield and low cost.

本実施形態の光ファイバ母材製造方法により製造されるべき光ファイバ母材の中間体であるガラスロッド1の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the glass rod 1 which is an intermediate body of the optical fiber preform which should be manufactured with the optical fiber preform manufacturing method of this embodiment. 第1実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。It is a figure explaining each process of the optical fiber preform manufacturing method of a 1st embodiment. 第1実施形態の光ファイバ母材製造方法の開放工程を説明する図である。It is a figure explaining the open process of the optical fiber preform manufacturing method of a 1st embodiment. 第2実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。It is a figure explaining each process of the optical fiber preform manufacturing method of a 2nd embodiment. 第3実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。It is a figure explaining each process of the optical fiber preform manufacturing method of a 3rd embodiment. 第4実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。It is a figure explaining each process of the optical fiber preform manufacturing method of a 4th embodiment.

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図1は、本実施形態の光ファイバ母材製造方法により製造されるべき光ファイバ母材の中間体であるガラスロッド1の断面を示す図である。光ファイバ母材は、コア領域2およびクラッド領域3を備えるガラスロッド1と、このガラスロッド1の外側に設けられるジャケット領域とを備え、クラッド領域3内に長手方向に延在する複数(同図では10個)の空孔4を有する。   FIG. 1 is a view showing a cross section of a glass rod 1 that is an intermediate body of an optical fiber preform to be manufactured by the optical fiber preform manufacturing method of the present embodiment. The optical fiber preform includes a glass rod 1 including a core region 2 and a cladding region 3 and a jacket region provided outside the glass rod 1, and a plurality of optical fiber preforms extending in the longitudinal direction in the cladding region 3 (the same figure). 10 holes).

コア領域2は、断面において半径aの円形領域であり、GeOが添加されている石英ガラスからなる。クラッド領域3は、断面において直径Dの円形領域であり、GeOが添加されていない石英ガラスからなる。複数の空孔4は、断面において直径dの円形領域であり、コア領域2の中心位置を中心とする円の周上に一定間隔で配置されている。複数の空孔4の内接円の半径をRiとし、複数の空孔4の外接円の半径をRcとする。 The core region 2 is a circular region having a radius a in cross section, and is made of quartz glass to which GeO 2 is added. The clad region 3 is a circular region having a diameter D in the cross section, and is made of quartz glass to which GeO 2 is not added. The plurality of holes 4 are circular regions having a diameter d in the cross section, and are arranged at regular intervals on the circumference of a circle centering on the center position of the core region 2. The radius of the inscribed circle of the plurality of holes 4 is Ri, and the radius of the circumscribed circle of the plurality of holes 4 is Rc.

光ファイバ母材を線引して製造される光ファイバにおいて所望の特性を実現するためには、ガラスロッド1の断面構造を適切に設計することが必要である。例えば、図1に示されるように、空孔4の個数を10個とし、空孔4の直径dをコア領域2の半径aと同程度として、10個の空孔4の内接円の半径Riをコア領域2の半径aの約2.8〜3.0倍となるようにすることで、所望の特性を実現することができる。   In order to realize desired characteristics in an optical fiber manufactured by drawing an optical fiber preform, it is necessary to appropriately design the cross-sectional structure of the glass rod 1. For example, as shown in FIG. 1, the number of the holes 4 is 10 and the diameter d of the holes 4 is approximately the same as the radius a of the core region 2, and the radius of the inscribed circle of the 10 holes 4 By setting Ri to be approximately 2.8 to 3.0 times the radius a of the core region 2, desired characteristics can be realized.

ガラスロッド1は以下のようにして製造する。先ず、VAD法などによりコア領域2およびクラッド領域3からなる透明なガラス体を作製する。このガラス体を適切な形状とするため、加熱延伸してもよく、また、外周面を研削加工してもよい。続いて、このガラス体に対して穿孔加工を行って空孔4を形成する(穿孔工程)。穿孔工程時にガラス体に付着した不純物をHF洗浄などによって除去するのが好ましい。そして、このガラス体を加熱延伸してガラスロッド1を作製する(延伸工程)。   The glass rod 1 is manufactured as follows. First, a transparent glass body composed of the core region 2 and the cladding region 3 is produced by the VAD method or the like. In order to make this glass body into an appropriate shape, it may be heated and stretched, or the outer peripheral surface may be ground. Subsequently, the glass body is perforated to form holes 4 (perforating step). It is preferable to remove impurities adhering to the glass body during the perforating process by HF cleaning or the like. And this glass body is heat-stretched and the glass rod 1 is produced (stretching process).

ITU-T勧告G.657A1、A2、B2、B3の光学特性を全て満足する光ファイバを実現するには、例えば、クラッド領域3に対するコア領域2の比屈折率差を0.35%とし、光ファイバの断面においてd=3.6μm、a=3.6μm、Ri=10.4μm とすればよく、したがって、延伸工程前のガラス体の断面において d=5mm、a=5.0mm、Ri=14.5mmとすればよい。例えば、延伸工程前のガラス体は、外径50mmφであり、長さ300mmである。延伸工程後のガラスロッド1は、外径17mmφであり、長さ600mmである。   In order to realize an optical fiber that satisfies all of the optical characteristics of ITU-T Recommendation G.657A1, A2, B2, B3, for example, the relative refractive index difference of the core region 2 with respect to the cladding region 3 is 0.35%, In the cross section of the fiber, d = 3.6 μm, a = 3.6 μm, and Ri = 10.4 μm. Therefore, in the cross section of the glass body before the drawing process, d = 5 mm, a = 5.0 mm, Ri = 14 It may be 0.5 mm. For example, the glass body before the stretching step has an outer diameter of 50 mmφ and a length of 300 mm. The glass rod 1 after the stretching step has an outer diameter of 17 mmφ and a length of 600 mm.

上記のようにして得られたガラスロッド1の外周面上にシリカ微粒子を堆積させ(堆積工程)、これにより得られたガラスロッド1の外周面上のシリカ微粒子堆積体を焼結して透明化する(焼結工程)ことで、光ファイバ母材を製造することができる。シリカ微粒子堆積体が透明化されてなるガラス領域が、光ファイバ母材のジャケット領域となる。   Silica fine particles are deposited on the outer peripheral surface of the glass rod 1 obtained as described above (deposition step), and the silica fine particle deposit on the outer peripheral surface of the glass rod 1 obtained in this way is sintered and made transparent. By performing (sintering process), an optical fiber preform can be manufactured. A glass region in which the silica fine particle deposit is made transparent becomes a jacket region of the optical fiber preform.

延伸工程において空孔4の直径dが長手方向で変動しないことが重要である。また、その後の堆積工程および焼結工程の際の加熱において空孔4が変形しにくいことが望まれる。そのための条件として、ガラスロッド1の外周面(直径D)と10個の空孔4の外接円(半径Rc)とで囲まれる領域の厚みが大きい方が好適である。具体的には、堆積工程前において、10個の空孔4の外接円の半径Rcとガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係が成り立つのが望ましい。これにより、焼結工程後の空孔4の平均径の長手変動を3%以内に抑圧することができる。   In the stretching process, it is important that the diameter d of the holes 4 does not vary in the longitudinal direction. Further, it is desired that the holes 4 are not easily deformed by heating in the subsequent deposition process and sintering process. As a condition for this purpose, it is preferable that the region surrounded by the outer peripheral surface (diameter D) of the glass rod 1 and the circumscribed circle (radius Rc) of the ten holes 4 is thicker. Specifically, it is desirable that a relationship of 2Rc ≦ 0.9D is established between the radius Rc of the circumscribed circle of the ten holes 4 and the outer diameter D of the glass rod before the deposition step. Thereby, the longitudinal fluctuation of the average diameter of the pores 4 after the sintering step can be suppressed within 3%.

延伸工程によりガラスロッド1が作製された後の工程については様々な態様があり得る。以下では、ガラスロッド1作製後の工程について説明する。   There may be various modes for the process after the glass rod 1 is manufactured by the stretching process. Below, the process after glass rod 1 preparation is demonstrated.

(第1実施形態)   (First embodiment)

図2は、第1実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。この図には、延伸工程によりガラスロッド1が作製された後の工程が示されている。ガラスロッド1の両端部をバーナーワークなどにより封止し、ガラスロッド1の上端部に支持棒21を取り付ける(同図(a))。ガラスロッド1の表面の異物や不純物を取り除くため、堆積工程前にガラスロッド1の表面に対してHF洗浄や火炎研磨を行っても良い。   FIG. 2 is a diagram illustrating each step of the optical fiber preform manufacturing method according to the first embodiment. In this figure, the process after the glass rod 1 is produced by the stretching process is shown. Both ends of the glass rod 1 are sealed with a burner work or the like, and a support rod 21 is attached to the upper end of the glass rod 1 (FIG. 1A). In order to remove foreign matters and impurities on the surface of the glass rod 1, HF cleaning or flame polishing may be performed on the surface of the glass rod 1 before the deposition step.

支持棒21を上にしてガラスロッド1を鉛直方向に支持し、このガラスロッド1の外周面上にVAD法によりシリカ微粒子を堆積させて、シリカ微粒子堆積体5を形成する(堆積工程、同図(b))。VAD法による堆積工程の際の加熱温度はガラスロッド1の軟化点よりはるかに低いので、ガラスロッド1に設けられた空孔4の変形は全く生じない。また、ガラスロッド1内部の空孔4は、両端部で封止されているので、ガラス微粒子や不純物が内部に入り込むことはない。   The glass rod 1 is supported in the vertical direction with the support rod 21 facing upward, and silica fine particles are deposited on the outer peripheral surface of the glass rod 1 by the VAD method to form a silica fine particle deposit 5 (deposition step, FIG. (B)). Since the heating temperature in the deposition process by the VAD method is much lower than the softening point of the glass rod 1, no deformation of the holes 4 provided in the glass rod 1 occurs. Further, since the holes 4 inside the glass rod 1 are sealed at both ends, glass fine particles and impurities do not enter the inside.

続いて、ガラスロッド1の下端部1aにおいてガラスロッド1の空孔4を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる(開放工程、同図(c))。その後に、ガラスロッド1の外周面上のシリカ微粒子堆積体5を焼結して透明化して、この透明ガラス領域をジャケット領域6とする(焼結工程、同図(d))。これにより光ファイバ母材10を製造することができる。   Subsequently, the hole 4 of the glass rod 1 is opened at the lower end 1a of the glass rod 1 to connect the hole inner space and the hole outer space (opening step, FIG. 10 (c)). Thereafter, the silica fine particle deposits 5 on the outer peripheral surface of the glass rod 1 are sintered and transparentized, and this transparent glass region is used as a jacket region 6 (sintering step, FIG. 4D). Thereby, the optical fiber preform 10 can be manufactured.

この焼結工程の際、加熱温度が1500℃以上に到達するので、仮にガラスロッド1の両端部を封止したたまま加熱すると、孔部4の内部に封入されたガスの熱膨張により孔部4の変形が生じる。そこで、本実施形態では、VAD法に拠る堆積工程の後であって焼結工程の前に、ガラスロッド1の下端部1aにおいてガラスロッド1の空孔4を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる(開放工程、同図(c))。これにより、空孔の内部および外部それぞれの圧力をほぼ同一にできるので、焼結工程中の高温にさらされても、空孔4の内部のガスの熱膨張や収縮による空孔4の変形を防ぐことができる。   During this sintering step, the heating temperature reaches 1500 ° C. or higher, so if heating is performed with both ends of the glass rod 1 being sealed, the hole is caused by the thermal expansion of the gas enclosed in the hole 4. 4 deformation occurs. Therefore, in the present embodiment, after the deposition step based on the VAD method and before the sintering step, the holes 4 of the glass rod 1 are opened at the lower end portion 1a of the glass rod 1 to open the void internal space and the void. The external space of the hole is connected (opening step, FIG. 10 (c)). As a result, the pressures inside and outside the pores can be made substantially the same, so that even when exposed to high temperatures during the sintering process, deformation of the pores 4 due to thermal expansion and contraction of the gas inside the pores 4 is prevented. Can be prevented.

このようにして製造された光ファイバ母材10の上端部にダミーパイプ23を取り付けて線引き用光ファイバ母材とする(同図(e))。火炎研磨を行った後に線引工程を行うのが好ましい。線引工程では、ダミーパイプ23を通じて空孔4に対する加圧調整を行って、所望の空孔径を持つ光ファイバを得る。   A dummy pipe 23 is attached to the upper end portion of the optical fiber preform 10 manufactured as described above to obtain a drawing optical fiber preform ((e) in the figure). The drawing process is preferably performed after flame polishing. In the drawing process, pressure adjustment is performed on the hole 4 through the dummy pipe 23 to obtain an optical fiber having a desired hole diameter.

本実施例において、光ファイバ母材の空孔径の長手方向の変動を確認したところ、その変動は5%以下に抑制された。この光ファイバ母材を一定条件で加圧しながら線引したところ、空孔径の長手方向の変動が0.5μmである光ファイバが得られた。このレベルの空孔径の変動であれば、光学特性の変動が小さく、ほぼ全長において所望の光学特性を持つ空孔付き光ファイバが得られた。なお、開放工程を行わずに焼結工程を行った比較例では、焼結工程後の空孔径は長手方向に膨張部と収縮部とが現れ、平均空孔径の長手変動は10%以上となった。   In this example, when the fluctuation in the longitudinal direction of the hole diameter of the optical fiber preform was confirmed, the fluctuation was suppressed to 5% or less. When this optical fiber preform was drawn while being pressed under a certain condition, an optical fiber having a variation in the longitudinal direction of the hole diameter of 0.5 μm was obtained. With this level of hole diameter variation, the optical characteristic variation was small, and a holey optical fiber having desired optical characteristics over almost the entire length was obtained. In the comparative example in which the sintering process was performed without performing the opening process, the pore diameter after the sintering process appeared as an expanded portion and a contracted portion in the longitudinal direction, and the longitudinal variation of the average pore diameter was 10% or more. It was.

開放工程(図2(c))でガラスロッド1の下端部1aにおいてガラスロッド1の空孔4を開放するには、下端部1a位置でガラスロッド1を切断することで可能である。この切断の際にガラス微粒子堆積体5の割れを防止するため、堆積工程の前にガラスロッド1の下端部1a位置に切り込み傷1bを入れておくことで、切断作業が容易になる(図3(a))。或いは、堆積工程の前に、ガラスロッド1の下端部1aを開放した上で下端部1aに薄肉のガラスキャップ1cをバーナーワークなどで加熱溶着しておき、堆積工程の後に、ガラスキャップ1cを割ることでガラスロッド1の空孔4を開放することも可能である(図3(b))。さらに、開放位置が堆積工程後も露出するよう、ガラス微粒子堆積の下部終了位置を通常より短くすることで、開放工程の際のガラス微粒子堆積体5の割れなどを積極的に防ぐことができる。このように、本実施形態の光ファイバ母材製造方法は、堆積工程の前に、ガラスロッド1の空孔内部空間と空孔外部空間とを遮断する工程を更に備えるのも好適であり、また、堆積工程の前に、開放工程におけるガラスロッド1の空孔4の開放を容易化するための加工を施す工程を更に備えるのも好適である。   In order to open the holes 4 of the glass rod 1 at the lower end 1a of the glass rod 1 in the opening step (FIG. 2C), it is possible to cut the glass rod 1 at the position of the lower end 1a. In order to prevent cracking of the glass particulate deposit 5 during this cutting, cutting work is facilitated by making a cut 1b at the lower end 1a position of the glass rod 1 before the deposition step (FIG. 3). (A)). Alternatively, before the deposition step, the lower end portion 1a of the glass rod 1 is opened, and a thin glass cap 1c is heat-welded to the lower end portion 1a with a burner work or the like, and the glass cap 1c is broken after the deposition step. Thus, it is possible to open the holes 4 of the glass rod 1 (FIG. 3B). Furthermore, by making the lower end position of the glass particle deposition shorter than usual so that the open position is exposed even after the deposition process, it is possible to actively prevent the glass particle deposits 5 from being cracked during the opening process. Thus, the optical fiber preform manufacturing method of the present embodiment is preferably further provided with a step of blocking the pore internal space and the pore external space of the glass rod 1 before the deposition step. It is also preferable to further include a step of performing processing for facilitating the opening of the holes 4 of the glass rod 1 in the opening step before the deposition step.

本実施形態の光ファイバ母材製造方法は、穿孔加工により複数の空孔を形成した円柱形状のガラス体をそのまま線引きする光ファイバ母材とする製造方法と比べると、光ファイバ母材を大型化することができ、低コスト化を実現することができる。また、本実施形態の光ファイバ母材製造方法は、複数のガラスパイプを束ねて光ファイバ母材とする製造方法と比べると、構造ばらつきがなく、不純物の混入が抑制される。このように、本実施形態の光ファイバ母材製造方法は、長手方向に延在する複数の空孔を有し所望の特性を有する光ファイバを高歩留り且つ低コストで製造することができる。   The optical fiber preform manufacturing method of the present embodiment is larger in size than the manufacturing method using an optical fiber preform in which a cylindrical glass body having a plurality of holes formed by perforation is drawn as it is. And cost reduction can be realized. In addition, the optical fiber preform manufacturing method of the present embodiment has no structural variation and suppresses the mixing of impurities as compared with a manufacturing method in which a plurality of glass pipes are bundled to form an optical fiber preform. As described above, the optical fiber preform manufacturing method of the present embodiment can manufacture an optical fiber having a plurality of holes extending in the longitudinal direction and having desired characteristics with high yield and low cost.

(第2実施形態)   (Second Embodiment)

図4は、第2実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。図2に示された第1実施形態の光ファイバ母材製造方法の堆積工程はVAD法に拠るものであったが、この図4に示される第2実施形態の光ファイバ母材製造方法の堆積工程はOVD法に拠る。図4にも、延伸工程によりガラスロッド1が作製された後の工程が示されている。   FIG. 4 is a diagram illustrating each process of the optical fiber preform manufacturing method according to the second embodiment. The deposition step of the optical fiber preform manufacturing method of the first embodiment shown in FIG. 2 is based on the VAD method, but the deposition of the optical fiber preform of the second embodiment shown in FIG. The process depends on the OVD method. FIG. 4 also shows a process after the glass rod 1 is manufactured by the stretching process.

ガラスロッド1の両端部をバーナーワークなどにより封止し、ガラスロッド1の一端部に支持棒21を取り付けるとともに、ガラスロッド1の他端部に支持棒22を取り付ける(同図(a))。ガラスロッド1の表面の異物や不純物を取り除くため、堆積工程前にガラスロッド1の表面に対してHF洗浄や火炎研磨を行っても良い。   Both ends of the glass rod 1 are sealed with a burner work or the like, and the support rod 21 is attached to one end of the glass rod 1 and the support rod 22 is attached to the other end of the glass rod 1 (FIG. 1A). In order to remove foreign matters and impurities on the surface of the glass rod 1, HF cleaning or flame polishing may be performed on the surface of the glass rod 1 before the deposition step.

ガラスロッド1を水平方向に支持し、このガラスロッド1の外周面上にOVD法によりシリカ微粒子を堆積させて、シリカ微粒子堆積体5を形成する(堆積工程、同図(b))。OVD法による堆積工程の際の加熱温度はガラスロッド1の軟化点よりはるかに低いので、ガラスロッド1に設けられた空孔4の変形は全く生じない。また、ガラスロッド1内部の空孔4は、両端部で封止されているので、ガラス微粒子や不純物が内部に入り込むことはない。   The glass rod 1 is supported in the horizontal direction, and silica fine particles are deposited on the outer peripheral surface of the glass rod 1 by the OVD method to form a silica fine particle deposit 5 (deposition step, FIG. 5B). Since the heating temperature during the deposition process by the OVD method is much lower than the softening point of the glass rod 1, no deformation of the holes 4 provided in the glass rod 1 occurs. Further, since the holes 4 inside the glass rod 1 are sealed at both ends, glass fine particles and impurities do not enter the inside.

続いて、ガラスロッド1から支持棒22を取り外し、支持棒21を上にしてガラスロッド1を鉛直方向に支持し、ガラスロッド1の下端部1aにおいてガラスロッド1の空孔4を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる(開放工程、同図(c))。その後に、ガラスロッド1の外周面上のシリカ微粒子堆積体5を焼結して透明化して、この透明ガラス領域をジャケット領域6とする(焼結工程、同図(d))。これにより光ファイバ母材10を製造することができる。   Subsequently, the support rod 22 is removed from the glass rod 1, the glass rod 1 is supported in the vertical direction with the support rod 21 facing upward, and the void 4 of the glass rod 1 is opened at the lower end portion 1 a of the glass rod 1 to empty the glass rod 1. The hole inner space and the hole outer space are connected (opening step, FIG. 10 (c)). Thereafter, the silica fine particle deposits 5 on the outer peripheral surface of the glass rod 1 are sintered and transparentized, and this transparent glass region is used as a jacket region 6 (sintering step, FIG. 4D). Thereby, the optical fiber preform 10 can be manufactured.

本実施形態では、OVD法に拠る堆積工程の後であって焼結工程の前に、ガラスロッド1の下端部1aにおいてガラスロッド1の空孔4を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる(開放工程、同図(c))。これにより、空孔の内部および外部それぞれの圧力をほぼ同一にできるので、焼結工程中の高温にさらされても、空孔4の内部のガスの熱膨張や収縮による空孔4の変形を防ぐことができる。   In this embodiment, after the deposition step based on the OVD method and before the sintering step, the holes 4 of the glass rod 1 are opened at the lower end portion 1a of the glass rod 1 to open the inner space of the holes and the outer space of the holes. Connect the space (opening process, Fig. 3 (c)). As a result, the pressures inside and outside the pores can be made substantially the same, so that even when exposed to high temperatures during the sintering process, deformation of the pores 4 due to thermal expansion and contraction of the gas inside the pores 4 is prevented. Can be prevented.

このようにして製造された光ファイバ母材10の上端部にダミーパイプを取り付けて線引き用光ファイバ母材とする。火炎研磨を行った後に線引工程を行うのが好ましい。線引工程では、ダミーパイプを通じて空孔4に対する加圧調整を行って、所望の空孔径を持つ光ファイバを得る。   A dummy pipe is attached to the upper end portion of the optical fiber preform 10 manufactured as described above to obtain a drawing optical fiber preform. The drawing process is preferably performed after flame polishing. In the drawing process, pressure adjustment is performed on the holes 4 through the dummy pipes to obtain an optical fiber having a desired hole diameter.

この第2実施形態においても、堆積工程の前に、ガラスロッド1の空孔内部空間と空孔外部空間とを遮断する工程を更に備えるのも好適であり、また、堆積工程の前に、開放工程におけるガラスロッド1の空孔4の開放を容易化するための加工を施す工程を更に備えるのも好適である。また、この第2実施形態においても同様の効果を奏することができる。   Also in the second embodiment, it is preferable to further include a step of blocking the pore internal space and the pore external space of the glass rod 1 before the deposition step, and the glass rod 1 is opened before the deposition step. It is also preferable to further include a step of performing processing for facilitating opening of the holes 4 of the glass rod 1 in the step. The same effect can also be achieved in the second embodiment.

(第3実施形態)   (Third embodiment)

図5は、第3実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。この第3実施形態の光ファイバ母材製造方法の堆積工程はVAD法に拠る。   FIG. 5 is a diagram illustrating each process of the optical fiber preform manufacturing method according to the third embodiment. The deposition process of the optical fiber preform manufacturing method of the third embodiment is based on the VAD method.

第1実施形態の光ファイバ母材製造方法では、堆積工程の前に、ガラスロッド1の上端部に支持棒21を取り付けるとともに、ガラスロッド1の下端部1aにおいて空孔4を開放して開放部を設けるとともに、その開放部に対し縮径加工を施す(開放工程、同図(a))。そして、その後の堆積工程および焼結工程において、ガラスロッド1の下端部1aにおける開放部を開放したままとする(同図(b))。   In the optical fiber preform manufacturing method of the first embodiment, the support rod 21 is attached to the upper end portion of the glass rod 1 and the holes 4 are opened at the lower end portion 1a of the glass rod 1 before the deposition step. And reducing the diameter of the opening (opening step, FIG. 1 (a)). Then, in the subsequent deposition step and sintering step, the open portion at the lower end portion 1a of the glass rod 1 is left open ((b) in the figure).

本実施形態では、焼結工程前において、ガラスロッド1の空孔を開放する作業を回避することができるので、ガラス微粒子堆積体5の割れを防止することができる。ただし、堆積工程の際にガラスロッド1の下端部1aが開放されているので、ガラス微粒子が空孔4の内部に入る可能性がある。そこで、これを防ぐため本実施形態では開放部の先端で空孔を縮径する。例えば、ガラスロッド1の下端部1aにおいて空孔4の径が1mmφ以下となる領域を長さ3mm以上にわたって設ける。このようにすることで、ガラスロッド1の空孔4の内部に侵入するガラス微粒子や不純物を大幅に低減することができる。   In this embodiment, since the operation | work which open | releases the void | hole of the glass rod 1 can be avoided before a sintering process, the crack of the glass particulate deposit body 5 can be prevented. However, since the lower end 1a of the glass rod 1 is opened during the deposition process, there is a possibility that the glass fine particles may enter the inside of the holes 4. Therefore, in order to prevent this, in this embodiment, the diameter of the hole is reduced at the tip of the open portion. For example, a region where the diameter of the hole 4 is 1 mmφ or less is provided in the lower end portion 1 a of the glass rod 1 over a length of 3 mm or more. By doing in this way, the glass fine particle and impurity which penetrate | invade into the inside of the void | hole 4 of the glass rod 1 can be reduced significantly.

本実施形態では、焼結工程前に塩素による脱水を行うことで、空孔4の内部の不純物を除去することも可能である。また、焼結工程後に空孔4の内部をHF洗浄することで、不純物層をほぼ問題ないレベルまで除去することも可能である。   In the present embodiment, it is possible to remove impurities inside the pores 4 by performing dehydration with chlorine before the sintering step. In addition, it is possible to remove the impurity layer to a level with almost no problem by washing the inside of the pores 4 with HF after the sintering process.

(第4実施形態)   (Fourth embodiment)

図6は、第4実施形態の光ファイバ母材製造方法の各工程を説明する図である。この第4実施形態の光ファイバ母材製造方法の堆積工程もVAD法に拠る。   FIG. 6 is a diagram illustrating each process of the optical fiber preform manufacturing method according to the fourth embodiment. The deposition process of the optical fiber preform manufacturing method of the fourth embodiment is also based on the VAD method.

ガラスロッド1の下端部をバーナーワークなどにより封止し、ガラスロッド1の上端部を開放した上で、その上端部に中空の支持棒24を取り付ける(開放工程、同図(a))。この支持棒24は、ガラスロッド1の空孔4に対して連通する中空部を有する。ガラスロッド1の上端部において中空の支持棒24を介してガラスロッド1の空孔内部空間と空孔外部空間とがつながっている。   The lower end portion of the glass rod 1 is sealed with a burner work or the like, the upper end portion of the glass rod 1 is opened, and a hollow support rod 24 is attached to the upper end portion (opening step, FIG. 1 (a)). The support rod 24 has a hollow portion communicating with the hole 4 of the glass rod 1. The inner space of the glass rod 1 and the outer space of the hole are connected via a hollow support rod 24 at the upper end of the glass rod 1.

支持棒24を上にしてガラスロッド1を鉛直方向に支持し、このガラスロッド1の外周面上にVAD法によりシリカ微粒子を堆積させて、シリカ微粒子堆積体5を形成する(堆積工程、同図(b))。VAD法による堆積工程の際の加熱温度はガラスロッド1の軟化点よりはるかに低いので、ガラスロッド1に設けられた空孔4の変形は全く生じない。また、ガラスロッド1内部の空孔4は、ガラス微粒子や不純物が内部に入り込むことはない。   The glass rod 1 is supported in the vertical direction with the support rod 24 facing upward, and silica fine particles are deposited on the outer peripheral surface of the glass rod 1 by the VAD method to form a silica fine particle deposit 5 (deposition step, FIG. (B)). Since the heating temperature in the deposition process by the VAD method is much lower than the softening point of the glass rod 1, no deformation of the holes 4 provided in the glass rod 1 occurs. Further, the glass holes 1 inside the glass rod 1 do not allow glass fine particles or impurities to enter inside.

続いて、ガラスロッド1の外周面上のシリカ微粒子堆積体5を焼結して透明化して、この透明ガラス領域をジャケット領域6とする(焼結工程、同図(c))。これにより光ファイバ母材10を製造することができる。   Subsequently, the silica fine particle deposit 5 on the outer peripheral surface of the glass rod 1 is sintered and transparentized, and this transparent glass region is used as a jacket region 6 (sintering step, FIG. 10C). Thereby, the optical fiber preform 10 can be manufactured.

本実施形態では、VAD法に拠る堆積工程の前に、ガラスロッド1の上端部において中空の支持棒24を介してガラスロッド1の空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる。これにより、空孔の内部および外部それぞれの圧力をほぼ同一にできるので、焼結工程中の高温にさらされても、空孔4の内部のガスの熱膨張や収縮による空孔4の変形を防ぐことができる。   In this embodiment, before the deposition step based on the VAD method, the hole internal space and the hole external space of the glass rod 1 are connected via the hollow support rod 24 at the upper end of the glass rod 1. As a result, the pressures inside and outside the pores can be made substantially the same, so that even when exposed to high temperatures during the sintering process, deformation of the pores 4 due to thermal expansion and contraction of the gas inside the pores 4 is prevented. Can be prevented.

このようにして製造された光ファイバ母材10の上端部にダミーパイプ24を取り付けたままとして線引き用光ファイバ母材とする。火炎研磨を行った後に線引工程を行うのが好ましい。線引工程では、ダミーパイプ24を通じて空孔4に対する加圧調整を行って、所望の空孔径を持つ光ファイバを得る。   The optical fiber preform 10 thus manufactured is used as an optical fiber preform for drawing with the dummy pipe 24 being attached to the upper end portion. The drawing process is preferably performed after flame polishing. In the drawing process, pressure adjustment is performed on the hole 4 through the dummy pipe 24 to obtain an optical fiber having a desired hole diameter.

この実施形態においても、堆積工程の際にガラスロッド1の空孔4の内部へのガラス微粒子や不純物の混入が回避される。一方で、焼結工程では、支持棒24も焼結炉内部にあるので、空孔4内部および焼結炉内部それぞれの圧力をほぼ同一とすることが可能で、第1実施形態と同様に空孔4の変形を抑圧することができる。   Also in this embodiment, mixing of glass particles and impurities into the holes 4 of the glass rod 1 during the deposition process is avoided. On the other hand, in the sintering process, since the support rod 24 is also inside the sintering furnace, the pressures inside the pores 4 and inside the sintering furnace can be made substantially the same, and as in the first embodiment, they are empty. The deformation of the hole 4 can be suppressed.

1…ガラスロッド、2…コア領域、3…クラッド領域、4…空孔、5…ガラス微粒子堆積体、6…ジャケット領域、10…光ファイバ母材。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass rod, 2 ... Core area | region, 3 ... Cladding area | region, 4 ... Hole, 5 ... Glass fine particle deposit, 6 ... Jacket area | region, 10 ... Optical fiber preform | base_material.

Claims (4)

コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、前記クラッド領域内に長手方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバ母材を製造する方法であって、
前記コア領域および前記クラッド領域からなるガラス体に対して穿孔加工を行って空孔を形成する穿孔工程と、
前記穿孔工程の後の前記ガラス体を加熱延伸してガラスロッドを作製する延伸工程と、
前記延伸工程により得られた前記ガラスロッドの外周面上にシリカ微粒子を堆積させる堆積工程と、
前記堆積工程により得られた前記ガラスロッドの外周面上のシリカ微粒子堆積体を焼結して透明化する焼結工程と、
前記堆積工程の前に前記ガラスロッドの空孔内部空間と空孔外部空間とを遮断する遮断工程と、
前記焼結工程の前に前記ガラスロッドの一端において前記ガラスロッドの空孔を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる開放工程と、
を備えることを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
A method of manufacturing an optical fiber preform having a core region, a cladding region, and a jacket region, and having a plurality of holes extending in a longitudinal direction in the cladding region,
A drilling step of forming holes by drilling a glass body composed of the core region and the cladding region;
A stretching step of heating and stretching the glass body after the perforating step to produce a glass rod;
A deposition step of depositing silica fine particles on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the stretching step;
A sintering step of sintering and transparentizing the silica fine particle deposit on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the deposition step;
A blocking step of blocking the pore internal space and the pore external space of the glass rod before the deposition step;
An opening step of opening the holes of the glass rod at one end of the glass rod before the sintering step to connect the hole inner space and the hole outer space;
An optical fiber preform manufacturing method comprising:
前記堆積工程の前に、前記開放工程における前記ガラスロッドの空孔の開放を容易化するための加工を施す工程を更に備える、
ことを特徴とする請求項に記載の光ファイバ母材製造方法。
Before the deposition step, further comprising a step of performing processing for facilitating the opening of the holes of the glass rod in the opening step,
The optical fiber preform manufacturing method according to claim 1 .
コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、前記クラッド領域内に長手方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバ母材を製造する方法であって、
前記コア領域および前記クラッド領域からなるガラス体に対して穿孔加工を行って空孔を形成する穿孔工程と、
前記穿孔工程の後の前記ガラス体を加熱延伸してガラスロッドを作製する延伸工程と、
前記延伸工程により得られた前記ガラスロッドの外周面上にシリカ微粒子を堆積させる堆積工程と、
前記堆積工程により得られた前記ガラスロッドの外周面上のシリカ微粒子堆積体を焼結して透明化する焼結工程と、
前記焼結工程の前に前記ガラスロッドの一端において前記ガラスロッドの空孔を開放して空孔内部空間と空孔外部空間とをつなげる開放工程と、
を備え、
前記開放工程において、前記堆積工程の前に、前記ガラスロッドの空孔を開放して開放部を設けるとともに、その開放部に対し縮径加工を施し、
前記堆積工程および前記焼結工程において、前記開放部を開放したままとする、
ことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
A method of manufacturing an optical fiber preform having a core region, a cladding region, and a jacket region, and having a plurality of holes extending in a longitudinal direction in the cladding region,
A drilling step of forming holes by drilling a glass body composed of the core region and the cladding region;
A stretching step of heating and stretching the glass body after the perforating step to produce a glass rod;
A deposition step of depositing silica fine particles on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the stretching step;
A sintering step of sintering and transparentizing the silica fine particle deposit on the outer peripheral surface of the glass rod obtained by the deposition step;
An opening step of opening the holes of the glass rod at one end of the glass rod before the sintering step to connect the hole inner space and the hole outer space;
Bei to give a,
In the opening step, before the deposition step, open the holes of the glass rod to provide an opening portion, and subject the opening portion to a diameter reduction process,
In the deposition step and the sintering step, the opening is left open.
An optical fiber preform manufacturing method.
前記堆積工程前において、前記ガラスロッドの断面において前記複数の空孔が円の周上に配置され、前記複数の空孔の外接円半径Rcと前記ガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係が成り立つ、
ことを特徴とする請求項1または3に記載の光ファイバ母材製造方法。
Before the deposition step, the plurality of holes are arranged on the circumference of the circle in the cross section of the glass rod, and a distance between the circumscribed circle radius Rc of the plurality of holes and the outer diameter D of the glass rod is 2Rc ≦ 0.9D is established,
The method for producing an optical fiber preform according to claim 1 or 3 .
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