JP5644694B2 - Optical fiber manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、ファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法に関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber having a plurality of holes extending in the fiber axial direction.

屈折率が高いガラスからなるコアと、屈折率が低いガラスからなりファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有するクラッドとを含む光ファイバ(HAF: Hole-AssistedFiber)が知られている(特許文献1参照)。この光ファイバは、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、ファイバ軸方向に垂直な断面において複数の空孔がクラッド領域に円周上に配列されている。このような光ファイバは、特許文献2〜5に開示されている方法により製造され得る。   An optical fiber (HAF: Hole-Assisted Fiber) including a core made of glass having a high refractive index and a clad made of glass having a low refractive index and having a plurality of holes extending in the fiber axis direction is known (patent) Reference 1). This optical fiber includes a core region, a cladding region, and a jacket region, and a plurality of holes are arranged on the circumference of the cladding region in a cross section perpendicular to the fiber axis direction. Such an optical fiber can be manufactured by the methods disclosed in Patent Documents 2 to 5.

特許文献2に開示された光ファイバ製造方法は、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備える概略円柱形状のガラス体に対しクラッド領域に穿孔加工をしたものを光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。特許文献3に開示された光ファイバ製造方法は、ガラスロッドの周囲に複数のガラスパイプをスタックしたものをジャケット管に挿入して光ファイバ母材とし、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。   In the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 2, a substantially cylindrical glass body having a core region, a cladding region, and a jacket region is perforated in the cladding region as an optical fiber preform. An optical fiber is manufactured by drawing a material. In the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 3, an optical fiber preform is formed by inserting a glass tube around a glass rod into a jacket tube and drawing the optical fiber preform. Manufacture optical fiber.

特許文献4に開示された光ファイバ製造方法は、穿孔および延伸をしたガラスロッドの外周面上にジャケットスス付けを行って光ファイバ母材を作成して、この光ファイバ母材を線引することで光ファイバを製造する。或いは、穿孔および延伸をしたガラスロッドをジャケット管に挿入してロッドイン線引をすることで光ファイバを製造する。後者の場合、ガラスロッドとジャケット管との間のジャケット管内空間を減圧し、ガラスロッドの空孔内空間を圧力調整しながら、ロッドイン線引をする。   In the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 4, an optical fiber preform is formed by performing jacket sooting on the outer peripheral surface of a perforated and stretched glass rod, and the optical fiber preform is drawn. To manufacture optical fiber. Alternatively, an optical fiber is manufactured by inserting a perforated and stretched glass rod into a jacket tube and performing rod-in drawing. In the latter case, the inner space of the jacket tube between the glass rod and the jacket tube is depressurized, and rod-in drawing is performed while adjusting the pressure of the inner space of the glass rod.

特許文献5に開示された光ファイバ製造方法は、片端を封止した複数本のキャピラリおよび1本以上の中実棒をサポート管に詰め込み、封止された端の反対端においてキャピラリの空孔を潰さないようにキャピラリ間の隙間を一体化することで、サポート管内空間とキャピラリ空孔内空間とに分け、これを光ファイバ母材とする。そして、この光ファイバ母材を線引する際に、サポート管内空間を減圧し、キャピラリ空孔内空間を大気圧として、光ファイバを製造する。   In the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 5, a plurality of capillaries with one end sealed and one or more solid rods are packed into a support tube, and a capillary hole is formed at the opposite end of the sealed end. By integrating the gaps between the capillaries so as not to be crushed, the space inside the support tube and the space inside the capillary holes are divided into optical fiber preforms. Then, when drawing the optical fiber preform, the space inside the support tube is depressurized, and the space inside the capillary hole is set to atmospheric pressure to produce an optical fiber.

国際公開2004/092793号International Publication No. 2004/092793 特開2002−145634号公報JP 2002-145634 A 特開2003−40637号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-40637 特開2003−81656号公報JP 2003-81656 A 特開2007−51024号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-51024

特許文献1に記載されているような複数の空孔を有する光ファイバは、軸方向に沿って特性が一定であるためには、軸方向に沿って空孔径が均一であることが重要である。また、その為には、光ファイバ母材においても、軸方向に沿って空孔径が均一であることが重要である。しかしながら、これらの光ファイバ製造方法は、製造歩留りおよび製造コストの点で充分ではない。具体的には以下のとおりである。   It is important that the optical fiber having a plurality of holes as described in Patent Document 1 has a uniform hole diameter along the axial direction in order for the characteristics to be constant along the axial direction. . For this purpose, it is important for the optical fiber preform to have a uniform hole diameter along the axial direction. However, these optical fiber manufacturing methods are not sufficient in terms of manufacturing yield and manufacturing cost. Specifically, it is as follows.

特許文献2に開示された光ファイバ製造方法は、ガラス体に対し穿孔加工をしたものを光ファイバ母材とすることから、加工のコストが高い。また、軸方向に空孔を形成する穿孔加工は精度が悪化するので、長尺の光ファイバを製造することができず、生産性が悪い。   Since the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 2 uses an optical fiber preform obtained by perforating a glass body, the processing cost is high. Moreover, since the accuracy of the drilling process for forming holes in the axial direction is deteriorated, a long optical fiber cannot be manufactured, and the productivity is poor.

特許文献3に開示された光ファイバ製造方法は、ガラスロッドの周囲に複数のガラスパイプをスタックすることから、配列崩れに因る構造バラツキが生じ易く、所望の光学特性を得ることが容易ではない。所望の光学特性を得るには、ガラスロッドおよびガラスパイプそれぞれの寸法精度を高くした上でスタックを確実に行う必要があるが、それには多くの手間を必要とする。多くのガラス表面を内部に取り込むことになるので、異物や気泡が混入し易く、線引工程での断線や外径異常が起き易い。また、OH基や不純物の混入によって伝送損失が悪化する問題がある。   In the optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 3, since a plurality of glass pipes are stacked around the glass rod, structural variations due to the arrangement collapse are likely to occur, and it is not easy to obtain desired optical characteristics. . In order to obtain desired optical characteristics, it is necessary to reliably stack the glass rod and the glass pipe with high dimensional accuracy, but this requires a lot of work. Since many glass surfaces are taken into the inside, foreign substances and bubbles are likely to be mixed therein, and disconnections and abnormal outer diameters are likely to occur in the drawing process. In addition, there is a problem that transmission loss is deteriorated due to mixing of OH groups and impurities.

特許文献4に開示された光ファイバ製造方法、すなわち、穿孔および延伸をしたガラスロッドをジャケット管に挿入してロッドイン線引をする方法は、上記のような問題点を解消することができる。しかしながら、この製造方法は、特許文献4,5に記載されているように、線引時に、ガラスロッドとジャケット管との間のジャケット管内空間を減圧する一方で、ガラスロッドの空孔内空間を加圧する必要があり、2種類の圧力を使用することから、線引装置の構成が複雑となる。   The optical fiber manufacturing method disclosed in Patent Document 4, that is, the method of inserting a perforated and stretched glass rod into a jacket tube to perform rod-in drawing can solve the above-described problems. However, as described in Patent Documents 4 and 5, in this manufacturing method, during drawing, the space in the jacket tube between the glass rod and the jacket tube is depressurized, while the space in the hole in the glass rod is reduced. Since it is necessary to pressurize and two types of pressure are used, the configuration of the drawing apparatus becomes complicated.

穿孔および延伸をしたガラスロッドに対しジャケットコラプスを行った後に空孔内空間を加圧しながら線引を行う方法が有効と考えられる。しかし、この場合、コラプス工程において軸方向の空孔径変動が生じ易いという問題がある。母材段階での軸方向の空孔径変動を線引工程の加圧制御により解消することは不可能ではないが、線引歩留まりが低下したり、或いは、専用の制御系を設けるため設備コストが高くなったりするなどの問題がある。   It is considered effective to draw the wire while pressurizing the space inside the hole after performing the jacket collapse on the perforated and stretched glass rod. However, in this case, there is a problem that the hole diameter variation in the axial direction is likely to occur in the collapse process. It is not impossible to eliminate axial hole diameter fluctuations at the base metal stage by pressurization control in the drawing process, but the drawing yield is reduced, or equipment costs are increased because a dedicated control system is provided. There are problems such as becoming higher.

本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、ファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを高歩留りで安価に製造することができる方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and provides a method capable of manufacturing an optical fiber having a plurality of holes extending in the fiber axial direction at a high yield and at a low cost. Objective.

本発明の光ファイバ製造方法は、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、ファイバ軸方向に垂直な断面においてクラッド領域に円周上に配列されファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法であって、(1) コア領域およびクラッド領域となるべきガラス体に対しクラッド領域となるべき部分に穿孔加工を行って加熱延伸してガラスロッドを作成するガラスロッド作成工程と、(2) ジャケット領域となるべきジャケット管の内部にガラスロッドを挿入し、ガラスロッドとジャケット管との間のジャケット管内空間を減圧した状態で第1端側および第2端側の双方においてガラスロッドとジャケット管とを互いに溶着して、ジャケット管内空間を減圧した状態で封止し、光ファイバ母材を作成する母材作成工程と、(3) 第1端側からガラスロッドの空孔内空間を加圧しながら第2端側から光ファイバ母材を線引して光ファイバを製造する線引工程と、を備えることを特徴とする。   An optical fiber manufacturing method according to the present invention includes a core region, a cladding region, and a jacket region, and has a plurality of holes that are arranged circumferentially in the cladding region and extend in the fiber axis direction in a cross section perpendicular to the fiber axis direction. A method of manufacturing an optical fiber, comprising: (1) a glass rod creating step in which a glass rod that is to be a core region and a cladding region is subjected to drilling in a portion that is to be a cladding region and heated and stretched to create a glass rod And (2) a glass rod is inserted into the jacket tube to be the jacket region, and the inner space of the jacket tube between the glass rod and the jacket tube is reduced in both the first end side and the second end side. Base material construction that welds the glass rod and jacket tube together and seals the inner space of the jacket tube in a decompressed state to create an optical fiber preform. And (3) a drawing step of manufacturing an optical fiber by drawing an optical fiber preform from the second end side while pressurizing the space in the hole of the glass rod from the first end side. Features.

本発明の光ファイバ製造方法は、母材作成工程において、ジャケット管内空間および空孔内空間を減圧した状態で第1端側および第2端側の双方においてガラスロッドとジャケット管とを互いに溶着してジャケット管内空間を減圧した状態で封止するとともに空孔内空間をも封止し、その後に第1端側において空孔内空間を大気圧開放してもよい。このとき、母材作成工程において、第1端側において、ジャケット管内空間が封止されているが空孔内空間が封止されていない第1領域と、この第1領域の外側にジャケット管内空間および空孔内空間の双方が封止されている第2領域とを設け、第1領域で切断することで空孔内空間を大気圧開放してもよい。   In the optical fiber manufacturing method of the present invention, the glass rod and the jacket tube are welded to each other on both the first end side and the second end side with the pressure in the space in the jacket tube and the space in the hole being reduced in the base material producing step. Then, the space inside the jacket tube may be sealed while the pressure is reduced, and the space inside the hole may be sealed, and then the space inside the hole may be opened to the atmospheric pressure on the first end side. At this time, in the base material creation step, on the first end side, the jacket pipe inner space is sealed but the hole inner space is not sealed, and the jacket pipe inner space is outside the first area. And a second region in which both of the space in the hole are sealed, and the space in the hole may be released to atmospheric pressure by cutting in the first region.

或いは、本発明の光ファイバ製造方法は、(1) ガラスロッド作成工程において、ガラスロッドの一端側を封止し、(2) 母材作成工程において、ガラスロッドの一端側が第2端側になるようにジャケット管の内部にガラスロッドを挿入し、第1端側において空孔内空間が潰れない状態でジャケット管内空間を封止し、その後に第2端側においてジャケット管内空間を減圧した状態で封止することとしてもよい。   Alternatively, in the optical fiber manufacturing method of the present invention, (1) one end side of the glass rod is sealed in the glass rod creating step, and (2) one end side of the glass rod is the second end side in the base material creating step. In the state where the glass rod is inserted into the jacket tube, the space in the jacket tube is sealed on the first end side in a state where the space in the hole is not crushed, and then the space in the jacket tube is decompressed on the second end side. It is good also as sealing.

本発明の光ファイバ製造方法は、母材作成工程においてジャケット管内空間の内圧を1kPa以下とするのが好ましい。また、ガラスロッド作成工程において、クラッド領域となるべき部分に穿孔加工を行って複数の空孔を形成する際に、円周上に配列された複数の空孔の外接円の半径Rcと加熱延伸前のガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係を満たすように複数の空孔を形成するのが好ましい。   In the optical fiber manufacturing method of the present invention, it is preferable that the internal pressure of the space in the jacket tube is set to 1 kPa or less in the preform manufacturing step. In addition, when forming a plurality of holes in a portion to be a cladding region in a glass rod forming process, a radius Rc of a circumscribed circle of the plurality of holes arranged on the circumference and heat stretching It is preferable to form a plurality of holes so as to satisfy the relationship of 2Rc ≦ 0.9D with the outer diameter D of the previous glass rod.

本発明によれば、ファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを高歩留りで安価に製造することができる。   According to the present invention, an optical fiber having a plurality of holes extending in the fiber axial direction can be manufactured at a high yield and at a low cost.

コラプス工程を説明する図である。It is a figure explaining a collapse process. コラプス工程を説明する図である。It is a figure explaining a collapse process. ガラスロッド10の断面図である。1 is a cross-sectional view of a glass rod 10. FIG. 第1実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。It is a figure explaining the preform | base_material production | generation process of the optical fiber manufacturing method of 1st Embodiment. 第1実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。It is a figure explaining the preform | base_material production | generation process of the optical fiber manufacturing method of 1st Embodiment. 第2実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。It is a figure explaining the preform | base_material preparation process of the optical fiber manufacturing method of 2nd Embodiment. 第2実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。It is a figure explaining the preform | base_material preparation process of the optical fiber manufacturing method of 2nd Embodiment.

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same or equivalent elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

本発明は、以下のような本発明者の知見に基づくものである。軸方向に延在する複数の空孔を有するガラスロッドに対してジャケットを付与する工程を公知のロッドインコラプス法で行って光ファイバ母材を作成し更に光ファイバを製造すると、光ファイバ母材および光ファイバにおいて軸方向の空孔径変動が生じる場合がある。この現象について更に調査を進めたところ、コラプスが進行していくプロセスにおける以下の相違に因り軸方向の空孔径変動の大きさが異なることが判った。   The present invention is based on the following knowledge of the present inventors. An optical fiber preform is manufactured by performing a step of applying a jacket to a glass rod having a plurality of holes extending in the axial direction by a known rod in collapse method, and further manufacturing an optical fiber. In addition, the hole diameter variation in the axial direction may occur in the optical fiber. Upon further investigation of this phenomenon, it was found that the size of the hole diameter variation in the axial direction differs due to the following differences in the process of collapse.

図1および図2は、コラプス工程を説明する図である。各図(a)は、コラプス工程途中の或る時刻におけるガラスロッド10およびジャケット20の断面を示す図である。各図(b)は、同時刻における長手方向の温度分布を示す図である。ガラスロッド10とジャケット管20との間のジャケット管内空間21を圧力Pに減圧し、ガラスロッド10の空孔11内の空間を圧力Pに加圧しながら、各図において熱源を右から左へ移動させてコラプスを行うものとする。本発明者が行った実験によれば、図1に示されるように、ジャケット管20がコラプスされる前にガラスロッド10が高温にさらされる場合には、光ファイバ母材における軸方向の空孔径変動が大きかった。逆に、図2に示されるように、ジャケット管20がコラプスされた後にガラスロッド10が高温にさらされる場合には、光ファイバ母材における軸方向の空孔径変動が小さかった。 1 and 2 are diagrams for explaining the collapse process. Each figure (a) is a figure which shows the cross section of the glass rod 10 and the jacket 20 in the certain time in the middle of a collapse process. Each figure (b) is a figure which shows the temperature distribution of the longitudinal direction in the same time. The jacket tube space 21 between the glass rod 10 and the jacket tube 20 is depressurized to a pressure P 1, while pressurizing the space within the pores 11 of the glass rod 10 to the pressure P 2, the left heat source from the right in the figures Let's move to and perform collapse. According to experiments conducted by the present inventor, as shown in FIG. 1, when the glass rod 10 is exposed to a high temperature before the jacket tube 20 is collapsed, the hole diameter in the axial direction of the optical fiber preform is determined. The fluctuation was great. Conversely, as shown in FIG. 2, when the glass rod 10 is exposed to a high temperature after the jacket tube 20 is collapsed, the variation in the axial hole diameter in the optical fiber preform was small.

本発明者が行った様々な実験によると、光ファイバ母材における軸方向の空孔径変動を小さく抑制するには、(a) ジャケット管内空間21の圧力Pを空孔11内の空間の圧力Pより充分に小さくするとともに、空孔11内の空間の圧力Pをジャケット管20の外部の圧力と同程度にすること、(b) ジャケット管20の内径とガラスロッド10の外径との間の初期クリアランスを小さくすること、(c) ガラスロッド10に設ける空孔の径方向位置をコラプス界面から遠ざけること、(d) 熱源の移動速度を遅くすること、および、(e) 熱源の温度を下げること、が有効であることが判った。 According to various experiments conducted by the present inventors, in order to suppress the hole diameter variation in the axial direction in the optical fiber preform to be small, (a) the pressure P 1 in the jacket tube inner space 21 is changed to the pressure in the space in the hole 11. with sufficiently smaller than P 2, to the same extent as the pressure outside of the pressure P 2 of the jacket tube 20 of the space within the pores 11, the outer diameter of the inner diameter of the glass rod 10 (b) the jacket tube 20 (C) The radial position of the holes provided in the glass rod 10 is moved away from the collapse interface, (d) The moving speed of the heat source is reduced, and (e) the heat source It has been found that lowering the temperature is effective.

ただし、上記のうち、熱源の移動速度を遅くすることは生産性の低下を招き、熱源の温度を下げることはコラプス界面に気泡が残り易くなり、何れも問題がある。本発明は、以上のような本発明者の知見および考察に基づいて為されたものである。以下、本発明の光ファイバ製造方法の実施形態について説明する。   However, among the above, slowing the moving speed of the heat source causes a decrease in productivity, and lowering the temperature of the heat source tends to leave bubbles at the collapse interface, both of which have problems. The present invention has been made on the basis of the above knowledge and consideration of the present inventors. Hereinafter, embodiments of the optical fiber manufacturing method of the present invention will be described.

(第1実施形態)   (First embodiment)

第1実施形態の光ファイバ製造方法は、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、ファイバ軸方向に垂直な断面においてクラッド領域に円周上に配列されファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法である。第1実施形態の光ファイバ製造方法は、ガラスロッド10を作成するガラスロッド作成工程と、ガラスロッド10をジャケット管20に挿入して光ファイバ母材を作成する母材作成工程と、光ファイバ母材を線引して光ファイバを製造する線引工程とを備える。   The optical fiber manufacturing method according to the first embodiment includes a core region, a cladding region, and a jacket region, and a plurality of holes that are arranged on the circumference of the cladding region in a cross section perpendicular to the fiber axis direction and extend in the fiber axis direction Is a method of manufacturing an optical fiber having The optical fiber manufacturing method of the first embodiment includes a glass rod creating step for creating the glass rod 10, a preform creating step for creating an optical fiber preform by inserting the glass rod 10 into the jacket tube 20, and an optical fiber preform. A drawing step of drawing an optical fiber by drawing a material.

ガラスロッド作成工程において、以下のようにしてガラスロッドを作成する。GeOが添加されている石英ガラスのコア(光ファイバのコア領域となるべき部分)およびGeOが添加されていない石英ガラスの光学クラッド(光ファイバのクラッド領域となるべき部分)を含むガラス体を、公知のVAD法などを用い焼結してガラス化することで作成する。次に、当該ガラス体を延伸したり外周研削加工したりして、適切な形状を有するガラスロッドとし、このガラスロッドに対して穿孔加工を行う。例えば、ガラスロッドの外径を50mmΦとし、ガラスロッドの長さを300mmとする。また、コア領域の半径を5mmとし、コアと光学クラッドとの比屈折率差を0.35%とする。 In the glass rod creation step, a glass rod is created as follows. A glass body including a quartz glass core to which GeO 2 is added (a portion to be a core region of an optical fiber) and an optical cladding of quartz glass to which no GeO 2 is added (a portion to be a cladding region of an optical fiber) Is made by sintering and vitrifying using a known VAD method or the like. Next, the glass body is stretched or peripherally ground to obtain a glass rod having an appropriate shape, and the glass rod is perforated. For example, the outer diameter of the glass rod is 50 mmΦ, and the length of the glass rod is 300 mm. The radius of the core region is 5 mm, and the relative refractive index difference between the core and the optical cladding is 0.35%.

次にこのガラスロッドに対して穿孔加工を行う。図3に穿孔加工後のガラスロッド10の断面図を示す。dは空孔直径、aはコア半径、Rは空孔の内接円半径、Dはガラスロッド直径を示す。穿孔加工でのdおよびRは所望の光学特性を実現するための光ファイバ断面構造設計から求められる。例えば、ITU−T勧告G.657A1、A2、B2、B3の光学特性を全て満足する光ファイバを実現するには、クラッド領域3に対するコア領域2の比屈折率差を0.35%とし、光ファイバの断面において d=3.6μm、a=3.6μm、R=10.4μm 程度で設計すればよく、したがって本実施例の穿孔加工ではd=5mm、R=14.5mmとすればよい。   Next, the glass rod is perforated. FIG. 3 shows a cross-sectional view of the glass rod 10 after drilling. d is the hole diameter, a is the core radius, R is the inscribed circle radius of the hole, and D is the glass rod diameter. In the drilling process, d and R are obtained from a cross-sectional structure design of an optical fiber for realizing desired optical characteristics. For example, ITU-T Recommendation G. In order to realize an optical fiber that satisfies all of the optical characteristics of 657A1, A2, B2, and B3, the relative refractive index difference of the core region 2 with respect to the cladding region 3 is 0.35%, and d = 3. It is sufficient to design with 6 μm, a = 3.6 μm, and R = 10.4 μm. Therefore, in the drilling process of this embodiment, d = 5 mm and R = 14.5 mm.

穿孔加工の後に、その加工の際に付着した不純物をHF洗浄などによって除去し、ガラスロッドを所定の外径に加熱延伸する。ここで、ガラスロッドの延伸後サイズは、外径を17mmΦとし、長さを600mmとする。この延伸工程においては、空孔径が長手方向で変動しないことが重要である。そのための条件として、ガラスロッド10の外周面と10個の空孔11の外接円とにより囲まれる領域の厚みが大きい方が好適である。具体的には、10個の空孔11の外接円の半径Rcと加熱延伸前のガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係を満たすのが望ましい。これにより、延伸後のガラスロッド10における空孔径の長手変動を3%以下に抑圧することができる。   After the drilling process, impurities adhering during the process are removed by HF cleaning or the like, and the glass rod is heated and stretched to a predetermined outer diameter. Here, the stretched size of the glass rod has an outer diameter of 17 mmΦ and a length of 600 mm. In this stretching step, it is important that the pore diameter does not vary in the longitudinal direction. As a condition for this, it is preferable that the thickness of the region surrounded by the outer peripheral surface of the glass rod 10 and the circumscribed circle of the ten holes 11 is larger. Specifically, it is desirable to satisfy the relationship of 2Rc ≦ 0.9D between the radius Rc of the circumscribed circle of the 10 holes 11 and the outer diameter D of the glass rod before heating and stretching. Thereby, the longitudinal fluctuation of the hole diameter in the glass rod 10 after stretching can be suppressed to 3% or less.

ガラスロッド作成工程に続く母材作成工程において、ガラスロッド10をジャケット管20に挿入して以下のようにして光ファイバ母材を作成する。図4および図5は、第1実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。   In the base material creation process following the glass rod creation process, the glass rod 10 is inserted into the jacket tube 20 to create an optical fiber preform as follows. FIG. 4 and FIG. 5 are diagrams for explaining a base material creation step of the optical fiber manufacturing method according to the first embodiment.

所定の外径/内径/長さ(例えば、外径60mmΦ、内径18mmΦ、長さ500mm)を有するジャケット管20を用意する。ジャケット管20は、光ファイバのジャケット領域となるべきものである。第1端側41においてジャケット管20の端部に石英ガラスのダミーパイプ31を接続するとともに、第2端側42においてジャケット管20の端部に石英ガラスのダミーパイプ32を接続する。その後、ジャケット20の内面に対して気相エッチングを行って不純物付着層を除去する。この気相エッチングは、ジャケット管20の内部にSFガスを流しながら外部から1800℃以上に加熱することで行われる。また、ジャケット管20の内部に同時に塩素を含むガスを流すことで、不純物の除去を行うことも可能である。例えば、ジャケット管20内にSFガス(100sccm)およびClガス(50sccm)を流した状態で温度2000℃の熱源をトラバースさせ、ジャケット管20の内面を厚み1mm程度エッチングする。 A jacket tube 20 having a predetermined outer diameter / inner diameter / length (for example, an outer diameter of 60 mmΦ, an inner diameter of 18 mmΦ, and a length of 500 mm) is prepared. The jacket tube 20 is to be the jacket region of the optical fiber. A quartz glass dummy pipe 31 is connected to the end of the jacket tube 20 on the first end side 41, and a quartz glass dummy pipe 32 is connected to the end of the jacket tube 20 on the second end side 42. Thereafter, the inner surface of the jacket 20 is subjected to gas phase etching to remove the impurity adhesion layer. This vapor phase etching is performed by heating from the outside to 1800 ° C. or higher while flowing SF 6 gas into the jacket tube 20. It is also possible to remove impurities by flowing a gas containing chlorine into the jacket tube 20 at the same time. For example, in a state where SF 6 gas (100 sccm) and Cl 2 gas (50 sccm) are allowed to flow in the jacket tube 20, a heat source having a temperature of 2000 ° C. is traversed, and the inner surface of the jacket tube 20 is etched by about 1 mm in thickness.

延伸後のガラスロッド10の両端部において空孔11を開放した状態とし、このガラスロッド10の表面および空孔11の内面の不純物層をHF水溶液によりエッチング除去した後、このガラスロッド10をジャケット管20に挿入する(図4(a))。次に、ジャケット管内空間21および空孔11内の空間に塩素を含むガスを流しながら、外部から温度1000℃以上に加熱することにより、空孔内表面およびジャケット界面の表層に付着している不純物をさらに除去する。例えば、ジャケット管20内にClガス(500sccm)を流した状態で温度1900℃の熱源をトラバースさせる。 The holes 11 are opened at both ends of the glass rod 10 after stretching, and the impurity layers on the surface of the glass rod 10 and the inner surface of the holes 11 are removed by etching with an HF aqueous solution. 20 (FIG. 4A). Next, while flowing a gas containing chlorine in the space 21 in the jacket tube and the space in the hole 11, the impurities attached to the inner surface of the hole and the surface layer of the jacket interface are heated to 1000 ° C. or more from the outside. Is further removed. For example, a heat source having a temperature of 1900 ° C. is traversed in a state where Cl 2 gas (500 sccm) is allowed to flow through the jacket tube 20.

次に、第1端側41において溶着封止を行う(図4(b))。このとき、ジャケット管内空間21および空孔11内の空間を大気圧未満に減圧し、第1端側41において外部から熱源61,62により加熱することで、ジャケット管内空間21およびガラスロッド10の空孔11の双方を潰し封止する。この第1端側41における封止の際に、ジャケット管内空間21が封止されているが空孔11内の空間が封止されていない第1領域51と、この第1領域51の外側にジャケット管内空間21および空孔11内の空間の双方が封止されている第2領域52とを設ける。ガラスを外部から加熱するのでジャケット界面の溶着が先に進むことを利用すれば、このような加工は可能である。また、熱源に酸水素バーナを用いることでより容易に行うことができる。   Next, welding sealing is performed on the first end side 41 (FIG. 4B). At this time, the space inside the jacket tube 21 and the space inside the hole 11 are reduced to less than atmospheric pressure, and the first end side 41 is heated by the heat sources 61 and 62 from the outside, whereby the space inside the jacket tube space 21 and the glass rod 10 is emptied. Both holes 11 are crushed and sealed. At the time of sealing at the first end side 41, a first region 51 in which the jacket tube inner space 21 is sealed but the space in the air holes 11 is not sealed, and outside the first region 51 A second region 52 in which both the space in the jacket tube 21 and the space in the hole 11 are sealed is provided. Such processing is possible by utilizing the fact that the welding of the jacket interface proceeds because the glass is heated from the outside. Moreover, it can carry out more easily by using an oxyhydrogen burner as a heat source.

続いて、第2端側42において溶着封止を同様に行う(図4(c))。このとき、真空ポンプなどにより減圧することで、第1端側41および第2端側42の双方において封止した後のジャケット管内空間21および空孔11内の空間を1kPa以下とする。   Subsequently, welding and sealing are similarly performed on the second end side 42 (FIG. 4C). At this time, by reducing the pressure with a vacuum pump or the like, the space in the jacket tube 21 and the hole 11 after sealing on both the first end side 41 and the second end side 42 is set to 1 kPa or less.

次に、ダミーパイプ31,32を外す(図5(a))。このとき、第1端側41においては、ジャケット管内空間21が封止されているが空孔11内の空間が封止されていない第1領域51で切断する。これにより、第1端側41において空孔11内の空間を大気圧開放する。一方、第2端側42においては空孔11は封止されている。また、ジャケット管内空間21は、両端において封止されており、内圧が1kPa以下である。   Next, the dummy pipes 31 and 32 are removed (FIG. 5A). At this time, the first end side 41 is cut at the first region 51 in which the space in the jacket tube 21 is sealed but the space in the hole 11 is not sealed. As a result, the space in the hole 11 is opened to the atmospheric pressure on the first end side 41. On the other hand, the holes 11 are sealed on the second end side 42. The jacket tube inner space 21 is sealed at both ends, and the internal pressure is 1 kPa or less.

次に、第1端側41に加圧線引用のダミーパイプ33を接続する(図5(b))。このとき、空孔11が閉塞しないようにダミーパイプ33を接続する。さらに火炎研磨などによって表面を清浄化する。尚、火炎研磨などによる光ファイバ母材を再加熱する工程においては、ジャケット界面の潰れ際を起点とするクラックが発生することを避けるため、徐々に加熱することが望ましい。例えば、酸水素バーナの火力を必要条件まで5分以上かけて徐々に増加させるなどの工夫により、割れを回避することができる。このようにして光ファイバ母材を作成する。   Next, the dummy pipe 33 quoted by the pressure line is connected to the first end side 41 (FIG. 5B). At this time, the dummy pipe 33 is connected so that the hole 11 is not blocked. Furthermore, the surface is cleaned by flame polishing or the like. In the step of reheating the optical fiber preform by flame polishing or the like, it is desirable to gradually heat in order to avoid the occurrence of cracks starting from the collapse of the jacket interface. For example, it is possible to avoid cracking by means such as gradually increasing the thermal power of the oxyhydrogen burner to the required condition over 5 minutes or more. In this way, an optical fiber preform is created.

最後に、線引工程では、ダミーパイプ33を通して第1端側41からガラスロッド10の空孔11内の空間を加圧しながら、第2端側42から光ファイバ母材を線引して、光ファイバを製造する。   Finally, in the drawing process, the optical fiber preform is drawn from the second end side 42 while pressurizing the space in the hole 11 of the glass rod 10 from the first end side 41 through the dummy pipe 33, and the optical fiber preform is drawn. Manufacture fiber.

本実施形態の光ファイバ製造方法によれば、ジャケット管内空間21の圧力は1kPa以下である一方、線引炉内の圧力は大気圧レベル(〜101.3kPa)であるので、線引炉の高温加熱により自動的に一体化が進行する。また、線引工程での炉内への光ファイバ母材の送り速度を5mm/分以下とする。よって、十分に遅い速度でのコラプスが実現できる一方、線引工程でこのような低速の送り速度としても、生産性の低下にはならない。また、線引工程では、ネックダウン部が存在し、ジャケット管20外径の縮小を伴いながらのコラプスとなるので、コラプス直前のガラスロッド10とジャケット管20との間のクリアランスを、通常のコラプス工程より狭くできる。一方、空孔11内の空間を加圧しているので、圧力の調整により所望の空孔径を持つ光ファイバを得ることが可能である。   According to the optical fiber manufacturing method of the present embodiment, the pressure in the jacket tube inner space 21 is 1 kPa or less, while the pressure in the drawing furnace is at the atmospheric pressure level (−101.3 kPa). Integration proceeds automatically by heating. Further, the feeding speed of the optical fiber preform into the furnace in the drawing process is set to 5 mm / min or less. Therefore, collapse at a sufficiently slow speed can be realized, but even if such a low feed speed is used in the drawing process, productivity does not decrease. Further, in the drawing process, a neck-down portion exists, and the collapse occurs while the outer diameter of the jacket tube 20 is reduced. Can be narrower than the process. On the other hand, since the space in the hole 11 is pressurized, an optical fiber having a desired hole diameter can be obtained by adjusting the pressure.

実際に上記で例示した条件の下で空孔11内の空間を一定値で加圧して光ファイバ母材を線引して光ファイバを製造したところ、光ファイバの空孔径の長手変動は0.3μm以下であった。これは、コラプス前の延伸による変動レベルと同等であり、線引時に行われるジャケットコラプスの工程では過剰な変動がほぼ発生しない結果となった。また、この程度の空孔径変動による光学特性の長手変動は目標特性規格に対し全く問題なかった。   Actually, when the optical fiber was manufactured by drawing the optical fiber preform by pressurizing the space in the hole 11 at a constant value under the conditions exemplified above, the longitudinal variation of the hole diameter of the optical fiber was 0. It was 3 μm or less. This is equivalent to the fluctuation level due to the stretching before the collapse, and the result is that the excessive fluctuation hardly occurs in the jacket collapse process performed at the time of drawing. Further, the longitudinal variation of the optical characteristics due to this variation in the hole diameter has no problem with respect to the target property standard.

本実施形態の光ファイバ製造方法は、光ファイバ母材に対して直接に穿孔する方法に比べ、低コスト化を実現することができる。本実施形態の光ファイバ製造方法は、スタック法に比べ、構造ばらつきが小さく、不純物の混入が少ない。線引しながら空孔内空間を加圧する一方でジャケット管内空間を減圧する方法に比べ、本実施形態の光ファイバ製造方法は、線引時に空孔内空間を加圧するのみでよいので、設備を簡素化でき、設備コストを下げることができる。また、本実施形態の光ファイバ製造方法は、母材製造時に有効部のコラプスを省略することができ、加熱工程が少ないので、長手方向の穴径の安定性に優れる。また、本実施形態の光ファイバ製造方法の利点として、空孔内面に対する高温塩素空焼き処理をジャケット付与プロセスと同時に行う点も挙げられる。これにより、空孔内面の不純物を効率よく除去することができるので、生産性に優れる。   The optical fiber manufacturing method of the present embodiment can realize a reduction in cost as compared with a method of directly drilling an optical fiber preform. The optical fiber manufacturing method of the present embodiment has less structural variation and less impurity contamination than the stack method. Compared with the method of depressurizing the space in the jacket tube while pressurizing the space in the hole while drawing, the optical fiber manufacturing method of the present embodiment only needs to pressurize the space in the hole at the time of drawing. It can be simplified and equipment costs can be reduced. Moreover, the optical fiber manufacturing method of this embodiment can omit the collapse of an effective part at the time of base material manufacture, and since there are few heating processes, it is excellent in stability of the hole diameter of a longitudinal direction. Another advantage of the optical fiber manufacturing method of the present embodiment is that the high-temperature chlorine air baking treatment for the inner surface of the holes is performed simultaneously with the jacket application process. As a result, impurities on the inner surface of the hole can be efficiently removed, so that productivity is excellent.

(第2実施形態)   (Second Embodiment)

第2実施形態の光ファイバ製造方法も、コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、ファイバ軸方向に垂直な断面においてクラッド領域に円周上に配列されファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法である。第2実施形態の光ファイバ製造方法も、ガラスロッド10を作成するガラスロッド作成工程と、ガラスロッド10をジャケット管20に挿入して光ファイバ母材を作成する母材作成工程と、光ファイバ母材を線引して光ファイバを製造する線引工程とを備える。   The optical fiber manufacturing method of the second embodiment also includes a core region, a cladding region, and a jacket region, and has a plurality of holes that are arranged on the circumference of the cladding region in a cross section perpendicular to the fiber axis direction and extend in the fiber axis direction. Is a method of manufacturing an optical fiber having The optical fiber manufacturing method of the second embodiment also includes a glass rod creating step for creating the glass rod 10, a preform creating step for creating the optical fiber preform by inserting the glass rod 10 into the jacket tube 20, and an optical fiber preform. A drawing step of drawing an optical fiber by drawing a material.

第2実施形態におけるガラスロッド作成工程は、第1実施形態におけるガラスロッド作成工程と程同様であるが、ガラスロッド10の一端側を封止する点で相違する。   The glass rod creation step in the second embodiment is similar to the glass rod creation step in the first embodiment, but differs in that one end side of the glass rod 10 is sealed.

図6および図7は、第2実施形態の光ファイバ製造方法の母材作成工程を説明する図である。第2実施形態における母材作成工程は、第1実施形態における母材作成工程と略同様であるが、ガラスロッド10の封止した一端側が第2端側42になるようにジャケット管20の内部にガラスロッド10を挿入する点(図6(a))で相違し、第1端側41において空孔11内の空間が潰れない状態でジャケット管内空間21を封止する点(図6(b))で相違する。その後の第2端側42の封止に際しては、ガラスロッド10の空孔11は既に封止されており、ジャケット管内空間21のみを減圧した状態で封止する(図6(c))。これにより、ジャケット管内空間21を減圧した状態で封止した光ファイバ母材を容易に作成することができる。   6 and 7 are diagrams for explaining a base material creating step of the optical fiber manufacturing method according to the second embodiment. The base material creation step in the second embodiment is substantially the same as the base material creation step in the first embodiment, but the inside of the jacket tube 20 so that the sealed one end side of the glass rod 10 becomes the second end side 42. The point in which the glass rod 10 is inserted into the space (FIG. 6 (a)) is different, and the space 21 in the air hole 11 is not crushed on the first end side 41 (FIG. 6 (b)). )). When sealing the second end side 42 thereafter, the air holes 11 of the glass rod 10 are already sealed, and only the space 21 in the jacket tube is sealed in a decompressed state (FIG. 6C). Thereby, the optical fiber preform | base_material sealed in the state which pressure-reduced the jacket pipe inner space 21 can be produced easily.

以降の工程(図7(a),(b))は第1実施形態の場合と同様である。線引工程に向けて、加圧用線引のダミーパイプ33への付け替えを行うことなく、図7(a)に示される構成のまま火炎研磨し線引することも可能である。或いは、必要に応じて、図7(a)に示される構成で、第2端側42においてガラスロッド10を一旦開放し、空孔11の内面の清浄化工程(空孔11の内面のHF洗浄や塩素を含むガスを流しながらの加熱処理)などを追加してから、火研、線引することも可能である。   The subsequent steps (FIGS. 7A and 7B) are the same as those in the first embodiment. For the drawing process, it is possible to perform flame polishing and drawing without changing the pressurization drawing to the dummy pipe 33 without changing the configuration shown in FIG. Alternatively, if necessary, the glass rod 10 is temporarily opened on the second end side 42 in the configuration shown in FIG. 7A, and the inner surface of the hole 11 is cleaned (HF cleaning of the inner surface of the hole 11). It is also possible to draw the thermal research and drawing after adding a heat treatment with flowing gas containing chlorine and chlorine.

10…ガラスロッド、11…空孔、12…コア、13…光学クラッド、20…ジャケット管、21…ジャケット管内空間、31,32,33…ダミーパイプ、41…第1端側、42…第2端側、51…第1領域、52…第2領域、61.62…熱源。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Glass rod, 11 ... Hole, 12 ... Core, 13 ... Optical clad, 20 ... Jacket pipe, 21 ... Space in jacket pipe, 31, 32, 33 ... Dummy pipe, 41 ... First end side, 42 ... Second End side, 51 ... 1st area | region, 52 ... 2nd area | region, 61.62 ... Heat source.

Claims (6)

コア領域,クラッド領域およびジャケット領域を備え、ファイバ軸方向に垂直な断面において前記クラッド領域に円周上に配列されファイバ軸方向に延在する複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法であって、
前記コア領域および前記クラッド領域となるべきガラス体に対し前記クラッド領域となるべき部分に穿孔加工を行って加熱延伸してガラスロッドを作成するガラスロッド作成工程と、
前記ジャケット領域となるべきジャケット管の内部に前記ガラスロッドを挿入し、前記ガラスロッドと前記ジャケット管との間のジャケット管内空間を減圧した状態で第1端側および第2端側の双方において前記ガラスロッドと前記ジャケット管とを互いに溶着して、前記ジャケット管内空間を減圧した状態で封止し、光ファイバ母材を作成する母材作成工程と、
前記第1端側から前記ガラスロッドの空孔内空間を加圧しながら前記第2端側から前記光ファイバ母材を線引して光ファイバを製造する線引工程と、
を備えることを特徴とする光ファイバ製造方法。
A method of manufacturing an optical fiber having a core region, a cladding region, and a jacket region, and having a plurality of holes arranged in a circle in the cladding region and extending in the fiber axis direction in a cross section perpendicular to the fiber axis direction. And
A glass rod creating step for creating a glass rod by performing a drilling process on a portion to be the cladding region with respect to the glass body to be the core region and the cladding region, and heating and stretching;
The glass rod is inserted into the jacket tube to be the jacket region, and the space in the jacket tube between the glass rod and the jacket tube is reduced in pressure on both the first end side and the second end side. A base material creation step of welding the glass rod and the jacket tube to each other, sealing the jacket tube space in a decompressed state, and creating an optical fiber preform;
A drawing step of producing an optical fiber by drawing the optical fiber preform from the second end side while pressurizing the void space of the glass rod from the first end side;
An optical fiber manufacturing method comprising:
前記母材作成工程において、前記ジャケット管内空間および前記空孔内空間を減圧した状態で前記第1端側および前記第2端側の双方において前記ガラスロッドと前記ジャケット管とを互いに溶着して前記ジャケット管内空間を減圧した状態で封止するとともに前記空孔内空間をも封止し、その後に前記第1端側において前記空孔内空間を大気圧開放する、ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ製造方法。   In the base material creating step, the glass rod and the jacket tube are welded to each other on both the first end side and the second end side in a state in which the space in the jacket tube and the space in the hole are decompressed. The space inside the jacket tube is sealed in a decompressed state, and the space inside the hole is also sealed, and thereafter, the space inside the hole is opened to the atmospheric pressure on the first end side. An optical fiber manufacturing method as described in 1. 前記母材作成工程において、前記第1端側において、前記ジャケット管内空間が封止されているが前記空孔内空間が封止されていない第1領域と、この第1領域の外側に前記ジャケット管内空間および前記空孔内空間の双方が封止されている第2領域とを設け、前記第1領域で切断することで前記空孔内空間を大気圧開放する、ことを特徴とする請求項2に記載の光ファイバ製造方法。   In the base material creating step, on the first end side, the jacket pipe inner space is sealed, but the hole inner space is not sealed, and the jacket outside the first area. 2. A second region in which both the space in the pipe and the space in the hole are sealed is provided, and the space in the hole is opened to atmospheric pressure by cutting in the first region. 2. An optical fiber manufacturing method according to 2. 前記ガラスロッド作成工程において、前記ガラスロッドの一端側を封止し、
前記母材作成工程において、前記ガラスロッドの前記一端側が前記第2端側になるように前記ジャケット管の内部に前記ガラスロッドを挿入し、前記第1端側において前記空孔内空間が潰れない状態で前記ジャケット管内空間を封止し、その後に前記第2端側において前記ジャケット管内空間を減圧した状態で封止する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ製造方法。
In the glass rod creating step, one end side of the glass rod is sealed,
In the base material creation step, the glass rod is inserted into the jacket tube so that the one end side of the glass rod is the second end side, and the void space is not crushed on the first end side. Sealing the jacket tube space in a state, and then sealing the jacket tube space in a depressurized state on the second end side,
The optical fiber manufacturing method according to claim 1.
前記母材作成工程において前記ジャケット管内空間の内圧を1kPa以下とする、ことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の光ファイバ製造方法。   The optical fiber manufacturing method according to any one of claims 1 to 4, wherein an inner pressure of the inner space of the jacket tube is set to 1 kPa or less in the base material creating step. 前記ガラスロッド作成工程において、前記クラッド領域となるべき部分に穿孔加工を行って複数の空孔を形成する際に、円周上に配列された前記複数の空孔の外接円の半径Rcと加熱延伸前の前記ガラスロッドの外径Dとの間に2Rc≦0.9D なる関係を満たすように前記複数の空孔を形成する、ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の光ファイバ製造方法。
In the glass rod manufacturing step, when forming a plurality of holes by drilling a portion to be the cladding region, a radius Rc of a circumscribed circle of the plurality of holes arranged on the circumference and heating The plurality of holes are formed so as to satisfy a relationship of 2Rc ≦ 0.9D with the outer diameter D of the glass rod before stretching. The optical fiber manufacturing method as described.
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