JP4233528B2 - Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents
Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP4233528B2 JP4233528B2 JP2005004845A JP2005004845A JP4233528B2 JP 4233528 B2 JP4233528 B2 JP 4233528B2 JP 2005004845 A JP2005004845 A JP 2005004845A JP 2005004845 A JP2005004845 A JP 2005004845A JP 4233528 B2 JP4233528 B2 JP 4233528B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- hole
- layer
- wiring board
- flexible circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
本発明は、多層回路配線基板の製造方法および構造に関し、特には、可撓性ケーブル部を有する多層フレキシブル回路配線基板及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a manufacturing method and structure of a multilayer circuit wiring board, and more particularly to a multilayer flexible circuit wiring board having a flexible cable portion and a manufacturing method thereof.
近年、電子機器の小型化および高機能化は益々促進されてきており、そのために回路基板に対する高密度化の要求が高まってきている。そこで、回路基板を片面から両面や三層以上の多層回路基板とすることにより、回路基板の高密度化を図っている。 In recent years, downsizing and higher functionality of electronic devices have been promoted more and more, and therefore, there is an increasing demand for higher density of circuit boards. In view of this, the circuit board is made to be a multi-layer circuit board from one side to both sides or three or more layers to increase the density of the circuit board.
この一環として、各種電子部品を実装する多層回路基板や硬質回路基板間をコネクタ等を介して接続する別体のフレキシブル配線基板やフレキシブルフラットケーブルを一体化した可撓性ケーブル部を有する多層フレキシブル回路配線基板が、携帯電話などの小型電子機器を中心に広く普及している。 As part of this, a multilayer flexible circuit with a flexible cable unit that integrates a multilayer circuit board on which various electronic components are mounted, a separate flexible wiring board that connects hard circuit boards via connectors, etc., and a flexible flat cable. Wiring boards are widespread mainly in small electronic devices such as mobile phones.
多層フレキシブル回路配線基板の代表的な構造は、両面又は片面のフレキシブル配線基板を内層とし、それに外層となるフレキシブル又は硬質ベースの回路基板を積層し、メッキなどによるスルーホール接続を施して4〜8層程度の多層フレキシブル回路配線基板とする構造である。 A typical structure of a multilayer flexible circuit wiring board is such that a double-sided or single-sided flexible wiring board is used as an inner layer, and a flexible or hard base circuit board as an outer layer is laminated thereon, and through holes are connected by plating or the like. The structure is a multilayer flexible circuit wiring board having about one layer.
しかしながら、特許文献3や4に記載されているように多層回路配線基板内に可撓性ケーブル部を設けるため、この可撓性ケーブル部のポリイミド樹脂製カバーフィルムやそれを張り合わせるための接着剤の熱膨張係数が高く、部品実装時の約220〜240℃程度の半田リフロー時の熱によって膨張し、スルーホールめっき層にクラックが発生し易いという問題があり、基本的にスルーホールめっき厚を厚くすることでしか、クラックを回避できないため、表層の導体厚が厚くなり、高密度配線、高密度実装が要求される形態の多層フレキシブル回路配線基板では製品として重大な問題となる。
However, as described in
特許文献1には可撓性ケーブル部のポリイミド樹脂製カバーフィルムをスルーホール導通用孔より外側に後退させる構造が記載されている。しかしながら、端面を後退させたカバーフィルムの張り合わせずれが起きた際にはスルーホールクラック耐性は上がらず、上記問題の解決には至らない。また、可撓性ケーブル部に外層となる片面銅張り積層板等を積層するためのプリプレグ等の接着剤は可撓性ケーブル部端面等からの流れ出しを嫌い、流動性を抑えている。このため、端面を後退させたカバーフィルムの段差を充填することが困難である。プリプレグ等の接着剤の充填性を向上させた場合には、上述したように可撓性ケーブル部端面等からの流れ出しを発生させる原因となるので適用は困難である。
特許文献2にはスルーホール接続による多層基板の製造方法として、内層の穴径を外層に比べ大きくなるようにレーザ加工し、スルーホールめっき厚が内層のみを選択的に厚付けする手法が記載されている。しかしながら、穴径の制御をレーザ加工条件で制御しなければならないことから、構成材料が変わる毎に条件出しが必要なことや、そのレーザ加工条件のばらつきなどにより内層穴径が変化しても、その検出ができないといったことが懸念される上、スルーホール加工を従来のNCドリルのように基板を重ねて行うことができず、従来の手法よりも生産性が著しく劣るという欠点がある。また、めっき厚の制御に関しては内層のみを選択的に厚付けすることを安定的に行うことは困難であることと、本文献記載の範囲ではめっき厚みのコントラストをつけることも困難であり、多層フレキシブル回路配線基板のスルーホール信頼性確保と表層の微細配線形成を両立するには至らない。
特許文献5および6には内層回路に予めスルーホールめっきし、外層を積層した後前記スルーホールと同軸上に導通用孔を形成し、さらにスルーホールめっきを行うことで、内層と外層のめっき厚みのコントラストをつける手法が記載されている。しかしながら、これらの手法では内層のデスミア工程を簡略化することとしているため、ケーブルを有する内層回路のデスミア工程が必須の多層フレキシブル回路配線基板への適用は困難である。加えて、多層フレキシブル回路配線基板に特有の熱膨張係数の高い可撓性ケーブル部のポリイミド樹脂製カバーフィルム層や接着材層近傍で発生するスルーホールめっき層のクラックを防止するためには、これらの層のスルーホールめっき厚を厚くする必要があるが、特許文献5および6に記載の範囲では内層回路の層間接続部までのスルーホールめっき厚しか厚くならないため、問題の解決には至らない。さらには、煩雑なめっき工程を複数回行う必要があり、生産性の高い方法とは言い難い。
In
これらのことから、多層フレキシブル回路配線基板のスルーホールクラックを表層の導体厚を厚くすることなく、生産性の良い方法で効果的に防止する方法が望まれていた。 For these reasons, there has been a demand for a method of effectively preventing through-hole cracks in a multilayer flexible circuit wiring board by a method with good productivity without increasing the surface conductor thickness.
図11〜図13は、従来の多層フレキシブル回路配線基板の製造方法を示す工程図であって、先ず、図11(1)に示す様に、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材71の両面に銅箔等の導電層72、73を有する、所謂、両面銅張積層板74を用意する。
11 to 13 are process diagrams showing a conventional method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board. First, as shown in FIG. 11 (1), both surfaces of a flexible
次に、同図(2)に示す様に、この両面型銅張積層板74の銅箔層72、73に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン75を形成し、内層回路76とする。
Next, as shown in FIG. 2B, a
次に、同図(3)に示す様に、ケーブル等の回路パターン75にポリイミドフィルム77を接着材78を介し張り合わせることでカバー79を形成し、ケーブル部80を形成する。
Next, as shown in FIG. 3 (3), a
次に、同図(4)に示す様に、絶縁ベース材81の片面に銅箔等の導電層82を有する、所謂、片面銅張積層板83およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した同図(3)のケーブル部80に張り合わせるための接着材84を用意する。このときの導電層82の厚みとしては50μm以下で、特に35μm以下が好ましい。
Next, as shown in FIG. 4 (4), a so-called single-sided copper-
次に、同図(5)に示す様に、片面銅張積層板83と接着材84を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工して片面銅張積層板85を形成する。
Next, as shown in FIG. 5 (5), the single-sided copper-
次に、図12(1)に示す様に、図11(3)のケーブル部80に接着材84を介して図11(5)の打ち抜き加工した片面銅張積層板85を積層する。
Next, as shown in FIG. 12 (1), the single-sided copper-
次に、図12(2)に示す様に、NCドリル等で導通用孔86を形成する。このとき、内層のカバー79のポリイミドフィルム77と接着剤78がドリル加工時に熱ダレを起こし、内層回路76の銅箔層72、73へのスルーホールめっき付きまわりが悪化するため、デスミア処理を行う。
Next, as shown in FIG. 12 (2), a
次に、図13(1)に示す様に、導通用孔86に無電解めっきあるいは導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール87を形成する。このときのスルーホール87のめっき厚みは30〜50μm程度が信頼性を確保する上では好ましい。
Next, as shown in FIG. 13 (1), the
次に、図13(2)に示す様に、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン88を形成する。この後、必要に応じて基板表面にフォトソルダーレジスト層の形成、半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで多層フレキシブル回路配線基板89を得る。
本発明では、多層フレキシブル回路配線基板の製造において、スルーホール接続信頼性の確保と表層の微細パターン形成の両立を可能とする多層フレキシブル回路配線基板及びその製造方法を提供することを課題とする。 It is an object of the present invention to provide a multilayer flexible circuit wiring board and a method for manufacturing the multilayer flexible circuit wiring board capable of ensuring both through-hole connection reliability and forming a fine pattern on the surface layer in the production of the multilayer flexible circuit wiring board.
上記課題を解決するために発明によれば、スルーホール接続を有する多層フレキシブル回路配線基板において、ケーブル構造を有する内層基板のケーブル保護層となるカバーの導通用孔の外周が導電性突起からなり、内周が外層のスルーホールめっきと連続しためっき皮膜で補強されていることを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板が採用される。 According to the invention to solve the above-mentioned problem, in the multilayer flexible circuit wiring board having through-hole connection, the outer periphery of the hole for conducting the cover serving as the cable protection layer of the inner layer board having the cable structure is made of a conductive protrusion, A multilayer flexible circuit wiring board is employed in which the inner periphery is reinforced with a plating film continuous with through-hole plating of the outer layer.
上記課題を解決するための本発明の製造方法として、多層フレキシブル回路配線基板の製造方法において、1面に導電性突起が立設した導電層の導電性突起が立設する面にケーブル構造のカバーとなる可撓性絶縁層を形成した回路基材を用意し、前記回路基材を予め前記導電性突起よりも大きい径の第一の導通用孔を形成したケーブル構造に前記導電性突起と前記第一の導通用孔とを位置合わせして張り合わせ内層基板とし、予め型抜きした片面銅張り積層板および接着材を前記内層基板に位置合わせを行い積層し、前記導電性突起の同軸上に前記導電性突起が同心円状に残る前記導電性突起よりも径の小さいスルーホールを形成するための第二の導通用孔を形成し、前記第二の導通用孔に無電解めっきまたは/および導電化処理および電解めっきを施すことでスルーホールを前記導電性突起の同軸上に形成することを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板の製造方法が採用される。 As a manufacturing method of the present invention for solving the above-mentioned problem, in the method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board, a cable structure cover is provided on the surface on which the conductive protrusion of the conductive layer is erected on one surface. A circuit base material on which a flexible insulating layer is formed is prepared, and the conductive protrusion and the circuit base are formed in a cable structure in which a first conduction hole having a diameter larger than that of the conductive protrusion is previously formed on the circuit base material. The first hole for conduction is aligned to form a laminated inner layer substrate, and a single-sided copper-clad laminate and an adhesive that have been pre-cut are aligned and laminated on the inner layer substrate, and the conductive projections are arranged on the same axis. Forming a second conduction hole for forming a through-hole having a diameter smaller than that of the conductive projection in which the conductive projection remains concentrically, and electroless plating or / and conducting to the second conduction hole; Treatment and electrolysis A method of manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board is employed, wherein a through hole is formed on the same axis as the conductive protrusion by applying a plating.
上記課題を解決するための本発明の他の製造方法として、多層フレキシブル回路配線基板の製造方法において、1面に導電性突起が立設した導電層の導電性突起が立設する面にケーブル構造のカバーとなる可撓性絶縁層を形成した回路基材を用意し、前記回路基材を予め形成したケーブル構造を有する可撓性回路に張り合わせ内層基板とし、予め型抜きした片面銅張り積層板および接着剤を前記内層基板に位置合わせを行い積層し、前記導電性突起の同軸上に前記導電性突起が同心円状に残る前記導電性突起よりも径の小さいスルーホールを形成するための導通用孔を形成し、前記導通用孔に無電解めっきまたは/および導電化処理および電解めっきを施すことでスルーホールを前記導電性突起の同軸上に形成することを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板の製造方法が採用される。 As another manufacturing method of the present invention for solving the above-mentioned problem, in the method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board, a cable structure is provided on the surface where the conductive protrusions of the conductive layer are erected on one surface. A single-sided copper-clad laminate that has been prepared by preparing a circuit base material on which a flexible insulating layer is formed to serve as a cover, and pasting the circuit base material onto a flexible circuit having a cable structure that has been formed in advance, as an inner layer substrate And an adhesive for positioning on the inner layer substrate and laminating, and forming a through hole having a diameter smaller than that of the conductive protrusion on which the conductive protrusion remains concentrically on the same axis of the conductive protrusion Forming a through hole, and forming a through hole on the same axis as the conductive protrusion by performing electroless plating or / and conducting treatment and electrolytic plating on the conductive hole. A method for manufacturing a sibling circuit wiring board is employed.
これらの特徴により、本発明は次のような効果を奏する。 Due to these features, the present invention has the following effects.
本発明による、スルーホール接続を有する多層フレキシブル回路配線基板において、ケーブル構造を有する内層基板のケーブル保護層となるカバーの導通用孔の外周が導電性突起からなり、内周が外層のスルーホールめっきと連続しためっき皮膜で補強されていることを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板が採用されるから、従来工法に比べ、内層基板は導電性突起を用い、層間接続部に十分な強度を有しながら、表層のスルーホールめっき厚を薄くすることができるため、接続信頼性を確保しながら表層に微細パターンを形成可能である。加えて、表層のめっき厚を薄くできることで、めっき厚のばらつきに起因していた表層の平坦性も良化し、実装性も向上する。 In the multilayer flexible circuit wiring board having through-hole connection according to the present invention, the outer periphery of the conduction hole of the cover serving as the cable protection layer of the inner layer board having the cable structure is made of conductive protrusions, and the inner circumference is the outer layer through-hole plating. Multilayer flexible circuit wiring board, which is reinforced with a continuous plating film, is used, so the inner layer board has conductive protrusions and has sufficient strength at the interlayer connection compared to the conventional method However, since the through-hole plating thickness of the surface layer can be reduced, a fine pattern can be formed on the surface layer while ensuring connection reliability. In addition, since the plating thickness of the surface layer can be reduced, the flatness of the surface layer caused by the variation in plating thickness is improved, and the mountability is also improved.
さらに、本発明の製造方法として、多層フレキシブル回路配線基板の製造方法において、1面に導電性突起が立設した導電層の導電性突起が立設する面にケーブル構造のカバーとなる可撓性絶縁層を形成した回路基材を用意し、前記回路基材を予め前記導電性突起よりも大きい径の第一の導通用孔を形成したケーブル構造に前記導電性突起と前記第一の導通用孔とを位置合わせして張り合わせ内層基板とし、予め型抜きした片面銅張り積層板および接着材を前記内層基板に位置合わせを行い積層し、前記導電性突起の同軸上に前記導電性突起が同心円状に残る前記導電性突起よりも径の小さいスルーホールを形成するための第二の導通用孔を形成し、前記第二の導通用孔に無電解めっきまたは/および導電化処理および電解めっきを施すことでスルーホールを前記導電性突起の同軸上に形成することを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板の製造方法が採用され、また、本発明の他の製造方法として、多層フレキシブル回路配線基板の製造方法において、1面に導電性突起が立設した導電層の導電性突起が立設する面にケーブル構造のカバーとなる可撓性絶縁層を形成した回路基材を用意し、前記回路基材を予め形成したケーブル構造を有する可撓性回路に張り合わせ内層基板とし、予め型抜きした片面銅張り積層板および接着剤を前記内層基板に位置合わせを行い積層し、前記導電性突起の同軸上に前記導電性突起が同心円状に残る前記導電性突起よりも径の小さいスルーホールを形成するための導通用孔を形成し、前記導通用孔に無電解めっきまたは/および導電化処理および電解めっきを施すことでスルーホールを前記導電性突起の同軸上に形成することを特徴とする多層フレキシブル回路配線基板の製造方法が採用されるから、従来工法同様にスルーホール加工は基板を重ねて生産性良く加工できるうえ、特に第二の製造方法では工数が多く煩雑なデスミア工程が不要である。これらのことから、従来工法では困難であった多層フレキシブル回路配線基板を生産性を損なうことなく安価にかつ安定的に提供することができる。 Furthermore, as a manufacturing method of the present invention, in the manufacturing method of a multilayer flexible circuit wiring board, the flexibility that becomes a cover of the cable structure on the surface where the conductive protrusion of the conductive layer is erected on one surface and the conductive protrusion is erected A circuit base material on which an insulating layer is formed is prepared, and the conductive protrusion and the first conductive conductor are formed in a cable structure in which the first conductive hole having a diameter larger than the conductive protrusion is previously formed on the circuit base material. The holes are aligned to form a laminated inner layer substrate, a pre-die-cut single-sided copper-clad laminate and an adhesive are aligned and laminated on the inner layer substrate, and the conductive protrusions are concentric on the same axis as the conductive protrusions. Forming a second conduction hole for forming a through hole having a diameter smaller than that of the conductive protrusion remaining in a shape, and subjecting the second conduction hole to electroless plating and / or conductive treatment and electrolytic plating. By applying A method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board, wherein a through hole is formed on the same axis as the conductive protrusion, is adopted, and as another manufacturing method of the present invention, a method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board is provided. Preparing a circuit base material on which a flexible insulating layer serving as a cable structure cover is formed on the surface of the conductive layer on which the conductive protrusion is erected on one surface, A flexible circuit having a formed cable structure is bonded to an inner layer substrate, a pre-die-cut single-sided copper-clad laminate and an adhesive are aligned and stacked on the inner layer substrate, and the conductive layer is coaxially connected to the conductive protrusion. A conductive hole for forming a through-hole having a diameter smaller than that of the conductive protrusion in which the conductive protrusion remains concentrically, and electroless plating and / or conductive treatment is performed on the conductive hole; Since a method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board is employed, in which a through hole is formed on the same axis as the conductive protrusion by applying electrolytic plating, the through hole processing is performed by stacking the substrates as in the conventional method. In addition to being able to process with good productivity, the second manufacturing method does not require a complicated desmear process with many man-hours. For these reasons, it is possible to provide a multilayer flexible circuit wiring board, which has been difficult with the conventional method, at low cost and stably without impairing productivity.
以下、図示の実施例を参照しながら本発明をさらに説明する。 Hereinafter, the present invention will be further described with reference to the illustrated embodiments.
図1は、本発明の多層フレキシブル回路配線基板の製造方法を示す工程図であって、先ず、同図(1)に示す様に、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材1の両面に銅箔等の導電層2、3を有する、所謂、両面銅張積層板4を用意する。
FIG. 1 is a process diagram showing a method for producing a multilayer flexible circuit wiring board according to the present invention. First, as shown in FIG. 1 (1), copper foil is provided on both sides of a flexible insulating
次に、同図(2)に示す様に、この両面型銅張積層板4の銅箔層2、3に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン5を形成し、内層回路6とする。
Next, as shown in FIG. 2 (2), a
次に、同図(3)に示す様に、内層回路6にNCドリル等で導通用孔7を形成する。導通用孔7の径としては例えば300μm径が適用可能である。
Next, as shown in FIG. 3C, a
次に、同図(4)に示す様に、銅箔8を用意する。この銅箔は後に導電性突起を形成するため、その厚さは50μmから200μm程度が好ましい。
Next, a
次に、同図(5)に示す様に、銅箔8に導電性突起をフォトファブリケーション手法により形成するためのレジスト層9を形成する。
Next, as shown in FIG. 5 (5), a resist
次に、図2(1)に示す様に、特許文献7および8に記載されている方法にて、レジスト層9を用い、フォトファブリケーション手法にて、銅箔8から導電性突起10が立設する基材11を形成する。導電性突起10は、この後、図1(3)にて形成した内層回路6の導通用孔7よりも小さいことが望ましく、ここでは導電性突起10の頂部の直径が200μm、底部の直径が350μm、高さが50μmのものを形成した。この後の工程で、導電性突起10が立設する基材11上にカバーとなるポリイミドフィルムと接着剤の層を形成するが、このカバー厚みよりも導電性突起10が高い必要がある。この導電性突起10は500μm以下のピッチで形成可能で高密度スルーホール形成に十分対応可能である。
Next, as shown in FIG. 2 (1), the
次に、図2(2)に示す様に、導電性突起10が立設する基材11上に図1(2)にて形成したケーブル等の内層回路6のカバー12となるポリイミドフィルム13および接着材14を形成する。このカバー12の形成方法はラミネート法、キャスティング法等の手法が選択可能で、ここではラミネート法を選択した。
Next, as shown in FIG. 2 (2), a
次に、図2(3)に示す様に、導電性突起10の頂部および側壁を露出させるためにCMP等の研磨工程を行い、導電性突起10の頂部および側壁を露出させ、導電性突起を有するカバー基材15を形成する。
Next, as shown in FIG. 2 (3), a polishing process such as CMP is performed to expose the top and side walls of the
次に、図2(4)に示す様に、導電性突起10を内層回路6の導通用孔7に位置合わせし、内層回路6のケーブル等の回路パターンに導電性突起を有するカバー基材15を接着材14を介し張り合わせる。
Next, as shown in FIG. 2 (4), the
次に、図2(5)に示す様に、通常のフォトファブリケーション手法で導電性突起10の立設しない側の不要な銅箔を除去するが、このときカバー12のポリイミドフィルム13の端面に確実に導電性突起10を密着させるために、導電性突起10の底部よりも大きな同心円状のランドを形成すると良いので、図のように導電性突起10のランド16を形成する。ここまでの工程で、導電性突起10を有するケーブル部を含む内層回路17を形成する。
Next, as shown in FIG. 2 (5), unnecessary copper foil on the side where the
次に、図3(1)に示す様に、絶縁ベース材18の片面に銅箔等の導電層19を有する、所謂、片面銅張積層板20およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した図2(5)の導電性突起10を有するケーブル部を含む内層回路17に張り合わせるための接着材21を用意する。
Next, as shown in FIG. 3A, a so-called single-sided copper-clad
次に、図3(2)に示す様に、片面銅張積層板20と接着材21を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工し、型抜きされた片面銅張積層板22を形成する。
Next, as shown in FIG. 3 (2), the single-sided copper-clad
次に、図3(3)に示す様に、図2(5)の導電性突起10を有するケーブル部を含む内層回路17に接着材21を介して図3(2)の打ち抜き加工した片面銅張積層板22を積層する。
Next, as shown in FIG. 3 (3), the single-sided copper of FIG. 3 (2) is punched into the
次に、図4(1)に示す様に、NCドリル等で導通用孔23を形成する。導通用孔23の径としては図1(3)で形成した導通用孔7よりも小さい径で、十分な導電性突起10の層厚みが確保できる径、例えば150〜200μm径が選択可能である。穴径があまりにも小さい場合はドリルの刃が折れ易くなり、歩留まり低下を招いたり、この後のスルーホールめっきの付きまわりの悪化を招く恐れがある。穴径が大きい場合には、位置合わせ等の問題で導通用孔23を形成する際に導電性突起10に割れや欠け等の欠陥を与えてしまう恐れがある。
Next, as shown in FIG. 4A, the
次に、図4(2)に示す様に、この後のスルーホールめっき工程でのめっきのつきまわり等を向上させる目的で、必要に応じて、ドリル加工した導電性突起10に対して、ソフトエッチング加工を行い、バリ等を除去する。また、図3(3)で片面銅張積層板22を積層した際に、接着材21が流れる場合があるので、必要に応じてデスミア処理を行う。
Next, as shown in FIG. 4 (2), for the purpose of improving the plating coverage in the subsequent through-hole plating step, the drilled
次に、図5(1)に示す様に、導通用孔23に導電化処理を施した後、電気めっきでスルーホール24を形成する。このときのスルーホール24のめっき厚は比較的薄くてよく、例えば約15μmで接続信頼性を確保することが可能である。
Next, as shown in FIG. 5A, after conducting the conductive treatment to the
次に、図5(2)に示す様に、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン25を形成する。この後、必要に応じて基板表面にフォトソルダーレジスト層の形成、半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで多層フレキシブル回路配線基板26を得る。
Next, as shown in FIG. 5B, a
図6〜図9は、本発明の多層フレキシブル回路配線基板の他の製造方法を示す工程図であって、先ず、図6(1)に示す様に、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材31の両面に銅箔等の導電層32、33を有する、所謂、両面銅張積層板34を用意する。
6 to 9 are process diagrams showing another method for manufacturing the multilayer flexible circuit wiring board of the present invention. First, as shown in FIG. 6A, a flexible insulating
次に、同図(2)に示す様に、この両面型銅張積層板34の銅箔層32、33に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン35を形成し、内層回路36とする。
Next, as shown in FIG. 2B, a
次に、同図(3)に示す様に、銅箔37を用意する。この銅箔は後に導電性突起を形成するため、その厚さは50μmから200μm程度が好ましい。
Next, a
次に、同図(4)に示す様に、銅箔37に導電性突起をフォトファブリケーション手法により形成するためのレジスト層38を形成する。
Next, as shown in FIG. 4 (4), a resist
次に、図7(1)に示す様に、特許文献7および8に記載されている方法にて、レジスト層38を用い、フォトファブリケーション手法にて、銅箔37から導電性突起39が立設する基材40を形成する。導電性突起39はこの後形成する導通用孔よりも小さいことが望ましく、ここでは導電性突起39の頂部の直径が200μm、底部の直径が350μm、高さが50μmのものを形成した。この後の工程で、導電性突起39が立設する基材40上にカバーとなるポリイミドフィルムと接着剤の層を形成するが、このカバー厚みよりも導電性突起39が高い必要がある。この導電性突起39は500μm以下のピッチで形成可能で高密度スルーホール形成に十分対応可能である。
Next, as shown in FIG. 7 (1), the
次に、図7(2)に示す様に、導電性突起39が立設する基材40上に図6(2)にて形成したケーブル等の内層回路36のカバー41となるポリイミドフィルム42および接着材43を形成する。このカバー41の形成方法はラミネート法、キャスティング法等の手法が選択可能で、ここではラミネート法を選択した。
Next, as shown in FIG. 7 (2), the
次に、図7(3)に示す様に、導電性突起39の頂部および側壁を露出させるためにCMP等の研磨工程を行い、導電性突起39の頂部および側壁を露出させ、導電性突起を有するカバー基材44を形成する。
Next, as shown in FIG. 7 (3), a polishing process such as CMP is performed to expose the top and side walls of the
次に、図7(4)に示す様に、内層回路36のケーブル等の回路パターンに導電性突起を有するカバー基材44を接着材43を介し張り合わせる。
Next, as shown in FIG. 7 (4), a
次に、図7(5)に示す様に、通常のフォトファブリケーション手法で導電性突起39の立設しない側の不要な銅箔を除去するが、このときカバー基材44のポリイミドフィルム42の端面に確実に導電性突起39を密着させるために、導電性突起39の底部よりも大きな同心円状のランドを形成すると良いので、図のように導電性突起39のランド45を形成する。ここまでの工程で、導電性突起39を有するケーブル部を含む内層回路46を形成する。
Next, as shown in FIG. 7 (5), unnecessary copper foil on the side where the
次に、図8(1)に示す様に、絶縁ベース材47の片面に銅箔等の導電層48を有する、所謂、片面銅張積層板49およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した図7(5)の導電性突起39を有するケーブル部を含む内層回路46に張り合わせるための接着材50を用意する。
Next, as shown in FIG. 8 (1), a so-called single-sided copper-clad
次に、図8(2)に示す様に、片面銅張積層板49と接着材50を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工し、型抜きされた片面銅張積層板51を形成する。
Next, as shown in FIG. 8 (2), the single-sided copper-clad
次に、図8(3)に示す様に、図7(5)の導電性突起39を有するケーブル部を含む内層回路46に接着材50を介して図8(2)の打ち抜き加工した片面銅張積層板51を積層する。
Next, as shown in FIG. 8 (3), the single-sided copper of FIG. 8 (2) is punched into the
次に、図9(1)に示す様に、NCドリル等で導通用孔52を形成する。導通用孔52の径としては図7(1)で形成した導電性突起39の層厚みが確保できる径、例えば150μm径が選択可能である。穴径があまりにも小さい場合はドリルの刃が折れ易くなり、歩留まり低下を招いたり、この後のスルーホールめっきの付きまわりの悪化を招く恐れがある。穴径が大きい場合には、位置合わせ等の問題で導通用孔52を形成する際に導電性突起39に割れや欠け等の欠陥を与えてしまう恐れがある。内層のカバー基材44は直接ドリル加工されないためドリル加工時に熱ダレを起こす恐れがなく、デスミア処理を行う必要はない。
Next, as shown in FIG. 9A, the
次に、図9(2)に示す様に、導通用孔52に導電化処理を施した後、電気めっきでスルーホール53を形成する。このときのスルーホール53のめっき厚は比較的薄くてよく、例えば約15μmで接続信頼性を確保することが可能である。
Next, as shown in FIG. 9 (2), after conducting the conductive treatment to the
次に、図9(3)に示す様に、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン54を形成する。この後、必要に応じて基板表面にフォトソルダーレジスト層の形成、半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで多層フレキシブル回路配線基板55を得る。
Next, as shown in FIG. 9 (3), a circuit pattern 54 is formed on the through-hole surface by using an etching method by a normal photofabrication method. Thereafter, surface treatment such as formation of a photo solder resist layer, solder plating, nickel plating, gold plating or the like is performed on the substrate surface as necessary, and external processing is performed to obtain the multilayer flexible
図10は、本発明の多層フレキシブル回路配線基板の製造方法により作製された構造を示す断面図であって、図に示す様に、多層フレキシブル回路配線基板の製造工程において、導電性突起を有するケーブル部を含む内層回路を作製する際に、導電性突起のランドを形成する工程で配線を形成することも可能で、これにより配線62を有する多層フレキシブル回路配線基板61を得る。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a structure manufactured by the method for manufacturing a multilayer flexible circuit wiring board according to the present invention. As shown in the drawing, in the manufacturing process of the multilayer flexible circuit wiring board, a cable having conductive protrusions When manufacturing the inner layer circuit including the portion, it is also possible to form the wiring in the step of forming the land of the conductive protrusion, and thereby the multilayer flexible
1 可撓性絶縁ベース材
2 銅箔層
3 銅箔層
4 両面銅張積層板
5 回路パターン
6 内層回路
7 導通用孔
8 銅箔
9 レジスト層
10 導電性突起
11 導電性突起が立設する基材
12 カバー
13 ポリイミドフィルム
14 接着剤
15 導電性突起を有するカバー基材
16 導電性突起のランド
17 導電性突起を有するケーブル部を含む内層回路
18 絶縁ベース材
19 導電層
20 片面銅張積層板
21 接着剤
22 型抜きされた片面銅張積層板
23 導通用孔
24 スルーホール
25 回路パターン
DESCRIPTION OF
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005004845A JP4233528B2 (en) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005004845A JP4233528B2 (en) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006196571A JP2006196571A (en) | 2006-07-27 |
JP4233528B2 true JP4233528B2 (en) | 2009-03-04 |
Family
ID=36802421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005004845A Expired - Fee Related JP4233528B2 (en) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4233528B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106658959A (en) * | 2015-10-28 | 2017-05-10 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | Flexible circuit board and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0693534B2 (en) * | 1990-02-26 | 1994-11-16 | 日本アビオニクス株式会社 | Flexible rigid printed wiring board |
JPH07176837A (en) * | 1993-12-17 | 1995-07-14 | Mitsui Toatsu Chem Inc | Rigid-flexible printed wiring board and its manufacture |
JP2004228322A (en) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Method for manufacturing multilayer flexible wiring board |
KR100865060B1 (en) * | 2003-04-18 | 2008-10-23 | 이비덴 가부시키가이샤 | Rigid-flex wiring board |
-
2005
- 2005-01-12 JP JP2005004845A patent/JP4233528B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006196571A (en) | 2006-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5010737B2 (en) | Printed wiring board | |
JP4767269B2 (en) | Method for manufacturing printed circuit board | |
JP4203435B2 (en) | Multilayer resin wiring board | |
JP2007129180A (en) | Printed wiring board, multilayer printed wiring board, and method of manufacturing same | |
WO2009141928A1 (en) | Printed wiring board and method for manufacturing the same | |
JP2009277916A (en) | Wiring board, manufacturing method thereof, and semiconductor package | |
WO2008004382A1 (en) | Method for manufacturing multilayer printed wiring board | |
KR100820633B1 (en) | Printed circuit board having embedded electronic component and manufacturing method thereof | |
US20140166355A1 (en) | Method of manufacturing printed circuit board | |
JP2017135357A (en) | Printed wiring board and method of manufacturing the same | |
JP2010123829A (en) | Printed wiring board and manufacturing method thereof | |
JP4485975B2 (en) | Manufacturing method of multilayer flexible circuit wiring board | |
JP2005039233A (en) | Substrate having via hole and its producing process | |
JP2020057767A (en) | Printed wiring board | |
JP4233528B2 (en) | Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof | |
JP4813204B2 (en) | Multilayer circuit board manufacturing method | |
JP2006203061A (en) | Method for manufacturing buildup multilayer circuit boards | |
JP2007208229A (en) | Manufacturing method of multilayer wiring board | |
JP4522282B2 (en) | Manufacturing method of multilayer flexible circuit wiring board | |
JP4302045B2 (en) | Multilayer flexible circuit wiring board and manufacturing method thereof | |
KR100975927B1 (en) | Method of manufacturing package board | |
JP2006049536A (en) | Multilayer circuit board | |
KR100649683B1 (en) | Printed circuit board and method for manufacturing the same | |
JP2009081334A (en) | Multi-layer printed wiring board, and manufacturing method thereof | |
JP4397793B2 (en) | Circuit board and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081209 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4233528 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |