JP4225813B2

JP4225813B2 - Glass substrate surface drying equipment

Info

Publication number: JP4225813B2
Application number: JP2003084405A
Authority: JP
Inventors: 英雄堀池; 一男畠; 武弘萩原; 真吾杉本; 覚本多
Original assignee: SPC Electronics Corp
Current assignee: SPC Electronics Corp
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2003-03-26
Publication date: 2009-02-18
Anticipated expiration: 2023-03-26
Also published as: JP2004293843A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ガラス基板表面乾燥装置、詳しくは、液晶パネルやプラズマフラットパネル用ガラス基板などの製造の際の洗浄乾燥工程において、液切りと乾燥とが同一筺体内において同時に実施でき、高品質の処理作業が可能であると共に、省エネルギー化、低コスト化、省スペース化も実現できるガラス基板表面乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルやプラズマフラットパネルなどに用いるガラス基板の製造の際には、その表面を洗浄した後、乾燥させて水分を除去する作業が必要である。図１は、このガラス基板の乾燥作業に用いる従来装置の一例を示したものであり、従来においては、この乾燥作業はそれぞれ別々の筺体３及び８内に設けられている液切りユニット１と乾燥ユニット２とを用いて実施していた。
【０００３】
即ち、液切りユニット１には、図示の通り、筺体３の中にガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５が設置されており、このローラーコンベア５の上下にはガラス基板４方向を向いたエアーノズル６，６が対向して設けられていた。そして、このエアーノズル６にはクリーンエアー供給パイプ７が接続されており、図示せざるクリーンエアー供給源から加圧されたクリーンエアーが供給される様になっていた。一方、乾燥ユニット２は、前記液切りユニット１におけるガラス基板４の送り方向下流側に設置されるものであり、その筺体８内には、ガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５が設置されており、このローラーコンベア５の上下には、セラミックヒーターなどの加熱装置９が設けられていた。
【０００４】
この液切りユニット１と乾燥ユニット２とを用いた従来の乾燥作業においては、ローラーコンベア５上にガラス基板４を載置し、筺体３の入口側（図１において左側）から出口側（図１における右側）に移動させつつ、エアーノズル６からガラス基板４の表面に向って加圧されたクリーンエアーを勢い良く噴射し、これによってその表面に付着している水分を吹き飛ばして液切りを行い、ローラーコンベア５の連続的な駆動により、液切りの終ったガラス基板４を別々の筺体８内に設けられている乾燥ユニット２のローラーコンベア５上に引き渡し、乾燥ユニット２内においてガラス基板４をその出口方向（図１において右側）に移動させつつ、その上下から加熱装置９によって加熱し、熱エネルギーによりガラス基板４表面に残留している水分を蒸発させて一連の乾燥作業を完了させていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この様に、従来においては、液切りと乾燥とを別々の筺体内に設けられているユニットで行っていた為、これらユニットの設置スペースが別々に必要であると共に、液切りと乾燥とを別々に行う為、ガラス基板４のベルトコンベア５上の移動距離が長くなり、作業効率向上の妨げとなっていた。又、エアーノズル６による液切りが不十分な場合、加熱乾燥によってガラス基板４上にシミが残ってしまうことがあり、歩止りを悪くする大きな原因ともなっていた。
【０００６】
特に、大面積の大型ガラス基板の場合、エアーノズル６による液切りの際に、薄い水膜や水滴が残留しやすく、シミが残らない様に乾燥処理を行うのは、大変むずかしかった。
【０００７】
近年は、ガラス基板乾燥作業の高速化に対する要求や大面積のガラス基板を高品質で処理することへの要求が益々高まりつつあり、従来の液切りユニット１と乾燥ユニット２による二段階の乾燥作業では、これら要求に十分に応えられなくなっていた。
【０００８】
本発明者は、液晶パネルやプラズマフラットパネルなどのガラス基板の洗浄後の乾燥作業に関する上記従来の問題点を解決すべく鋭意研究を行った結果、従来の液切りと乾燥とを一体化し、単一筺体内において効率的でかつ高品質の乾燥作業を実施できると共に、液切り及び乾燥作業に用いるエアーを再利用し、省エネルギー、低コスト化も実現した新しいガラス基板表面乾燥装置を開発することに成功し、本発明としてここに提案するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
被処理物であるガラス基板４を載置して水平方向に搬送する搬送装置１１を筺体１０内に設置すると共に、前記搬送装置１１の上下にガラス基板４方向を向いたエアーノズル６を対向して設け、該エアーノズル６のエアー導入口１２にクリーンエアー供給パイプ１３の末端を接続し、該クリーンエアー供給パイプ１３の管路途中に、クーラーの冷却作用によって通過気体から水分を除去する除湿回路１６、ブロア１７、加熱回路１８、濾過回路１９がそれぞれ管路中に介装されたエアー環流パイプ１５の末端を接続し、該エアー環流パイプ１５の始端を前記筺体１０の壁面にあけられた筺体内エアー抽出口１４に接続し、筺体１０内から抽出された使用済みエアーを除湿、濾過すると共に３５℃から２００℃の範囲の任意の温度に加熱し、クリーンエアー供給パイプ１３から供給されるクリーンエアーと混合して、エアーノズル６からガラス基板４表面に向って噴射し、筺体１０内においてガラス基板４表面の水切りと乾燥とを同時に行うことにより上記課題を解決せんとするものである。
【００１０】
【実施の形態】
図２は発明に係るガラス基板乾燥装置の一実施形態の説明図である。
【００１１】
図中１０は筺体であり、内部にはガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５からなる搬送装置１１が設置されている。そして、この搬送装置１１の上下には、ガラス基板４の方向を向いた一対のエアーノズル６が対向して設けられている。このエアーノズル６のエアー導入口１２にはクリーンエアー供給パイプ１３の末端が接続されており、図示を省略したクリーンエアー供給源から加圧されたクリーンエアーが供給される様になっている。
【００１２】
一方、１４は筺体１０の側壁にあけられた筺体内エアー抽出口であり、この筺体内エアー抽出口１４にはエアー環流パイプ１５の始端が接続されており、このエアー環流パイプ１５の末端はクリーンエアー供給パイプ１３の管路途中に接続され、これに合流する様になっている。
【００１３】
更に、このエアー環流パイプ１５の管路中には除湿回路１６、ブロアー１７、加熱回路１８、濾過回路１９が直列状に介装されている。なお、除湿回路１６は、クーラーの冷却作用によって通過気体中から水分を除去するものであり、加熱回路１８はダクトヒーターによって通過気体を３５℃から２００℃の範囲で任意の温度に加熱する装置である。
【００１４】
この実施の形態は上記の通りの構成を有するものであり、搬送装置であるローラーコンベア５上に被処理物であるガラス基板４を載置して自動搬送させながら、ガラス基板４の表裏にエアーノズル６から除湿及び除塵された清浄な加圧温風を勢い良く吹き付け、その風圧によってガラス基板４に付着している水分を吹き飛ばして液切りを行う。この際、吹き付けられる加圧温風は除湿されていると共に、常温から２００℃の範囲で加熱されているので、その熱エネルギーによって付着している水分の蒸発も促進され、液切りと蒸発とがほぼ同時に行われる。
【００１５】
エアーノズル６から噴射されたエアーはガラス基板４に衝突した後、一旦筺体１０内に滞留するが、筺体内エアー抽出口１４からエアー環流パイプ１５に流入し、除湿回路１６によって除湿された後、ブロアー１７によって加速され、加熱回路１８によって３５℃から２００℃の範囲で任意の温度に加熱され、濾過回路１９によって濾過除塵された後、クリーンエアー供給パイプ７に送られ、図示せざるクリーンエアー供給源から供給される加圧クリーンエアーと合流し、エアーノズル６からガラス基板４に向って噴射される。なお、この様に筺体８内からエアーを抽出して再利用しているので、別途クリーンエアー供給パイプ７にクリーンエアー供給源から供給されるクリーンエアーの消費量は従来装置のほぼ１/３に低減した。
【００１６】
【発明の効果】
以上述べた通り、この発明に係るガラス基板表面乾燥装置においては、ローラーコンベア５上に自動搬送されているガラス基板４に向って除湿及び加熱されたクリーンエアーを噴射し、ガラス基板４表面に付着している水分の液切りと熱エネルギーによる蒸発とをほぼ同時に行っているので、従来のものに比べ液切り性能が高く、ガラス基板４表面にシミが残ることがなく、高品質の乾燥を実施することが出来る。
【００１７】
又、従来のものの様に、別々の筺体内にそれぞれ設置された液切りユニットと乾燥ユニットの２つの装置を用いることなく、単一の筺体内に設置された１つの装置で足りるので、より小さなスペースに設置可能であると共に、ガラス基板４の搬送移動距離が短くなり、より高速で効率的な乾燥作業が実施できる。更に、エアーノズル６から噴射された使用済みエアーは除湿、加熱、除塵された後、循環再利用されるので、従来の装置に比べ、クリーンエアーの消費量を削減することが可能で、省エネルギー化、低コスト化に貢献できる。更に又、エアーノズル６から温風を噴射する乾燥方式であるので、除湿及び加熱ツールの多様化、マルチ化も容易であり、装置自体の省フットプリント化も可能である、など多くの利点を有しており、大型ガラス基板の高速処理にも十分に対応でき、極めて高い実用的価値を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラス基板の液切り乾燥作業に用いる液切りユニットと乾燥ユニットの従来例の説明図。
【図２】この発明に係るガラス基板表面乾燥装置の一実施形態の説明図。
【符号の説明】
１液切りユニット
２乾燥ユニット
３筺体
４ガラス基板
５ローラーコンベア
６エアーノズル
７クリーンエアー供給パイプ
８筺体
９加熱装置
１０筺体
１１搬送装置
１２エアー導入口
１３クリーンエアー供給パイプ
１４筺体内エアー抽出口
１５エアー環流パイプ
１６除湿回路
１７ブロアー
１８加熱回路
１９濾過回路[0001]
[Industrial application fields]
The present invention is a glass substrate surface drying apparatus, and more specifically, in a cleaning and drying process in manufacturing a glass substrate for a liquid crystal panel or a plasma flat panel, liquid draining and drying can be performed simultaneously in the same casing, and high quality. The present invention relates to a glass substrate surface drying apparatus that can perform a processing operation and can realize energy saving, cost reduction, and space saving.
[0002]
[Prior art]
When manufacturing a glass substrate used for a liquid crystal panel or a plasma flat panel, it is necessary to clean the surface and then dry it to remove moisture. FIG. 1 shows an example of a conventional apparatus used for the drying operation of the glass substrate. In the prior art, the drying operation is performed by the liquid draining unit 1 and the drying unit provided in separate casings 3 and 8, respectively. It was carried out using unit 2.
[0003]
That is, as shown in the figure, the liquid draining unit 1 is provided with a roller conveyor 5 for placing a glass substrate 4 in a housing 3 and transporting it in the horizontal direction. Air nozzles 6 and 6 facing in four directions were provided facing each other. A clean air supply pipe 7 is connected to the air nozzle 6 so that pressurized clean air is supplied from a clean air supply source (not shown). On the other hand, the drying unit 2 is installed on the downstream side in the feeding direction of the glass substrate 4 in the liquid draining unit 1, and a roller for placing the glass substrate 4 in the housing 8 and transporting it in the horizontal direction. A conveyor 5 is installed, and heating devices 9 such as ceramic heaters are provided above and below the roller conveyor 5.
[0004]
In the conventional drying operation using the liquid draining unit 1 and the drying unit 2, the glass substrate 4 is placed on the roller conveyor 5, and the entrance side (left side in FIG. 1) to the exit side (FIG. 1). Right side) while being moved to the surface of the glass substrate 4 from the air nozzle 6 with vigorous jetting, thereby blowing off the water adhering to the surface, By continuously driving the roller conveyor 5, the glass substrate 4 that has been drained is delivered onto the roller conveyor 5 of the drying unit 2 provided in a separate housing 8, and the glass substrate 4 is transferred to the glass substrate 4 in the drying unit 2. While moving in the direction of the exit (right side in FIG. 1), it is heated from above and below by the heating device 9 and remains on the surface of the glass substrate 4 due to thermal energy. Min was evaporated to have completed the series of drying operation.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, in the past, liquid draining and drying were performed by units provided in separate enclosures, so that installation space for these units was required separately, and liquid draining and drying were performed separately. For this reason, the moving distance of the glass substrate 4 on the belt conveyor 5 becomes long, which hinders improvement in work efficiency. In addition, when the liquid nozzle 6 is not sufficiently drained, a stain may remain on the glass substrate 4 due to heat drying, which is a major cause of poor yield.
[0006]
In particular, in the case of a large-sized glass substrate having a large area, it is very difficult to perform a drying process so that a thin water film or water droplets are likely to remain when liquid is removed by the air nozzle 6 and no stains remain.
[0007]
In recent years, the demand for speeding up the glass substrate drying work and the demand for processing a large area glass substrate with high quality are increasing, and the two-stage drying work by the conventional liquid draining unit 1 and the drying unit 2 is increasing. Then, these requests could not be fully met.
[0008]
As a result of earnest research to solve the above-mentioned conventional problems related to drying operations after cleaning glass substrates such as liquid crystal panels and plasma flat panels, the present inventors have integrated conventional liquid draining and drying, To develop a new glass substrate surface drying device that can perform efficient and high-quality drying operations in a single housing, and reuse air used for draining and drying operations to save energy and reduce costs. It has been successful and is proposed here as the present invention.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
A transport device 11 for placing the glass substrate 4 to be processed and transporting it in the horizontal direction is installed in the housing 10, and air nozzles 6 facing the glass substrate 4 are opposed to the top and bottom of the transport device 11. A dehumidification circuit that connects the end of the clean air supply pipe 13 to the air inlet 12 of the air nozzle 6 and removes moisture from the passing gas by the cooling action of the cooler in the middle of the pipe of the clean air supply pipe 13 16, a blower 17, a heating circuit 18, and a filtration circuit 19 are respectively connected to the ends of the air circulation pipe 15 interposed in the pipe line, and a starting body of the air circulation pipe 15 is opened in the wall surface of the housing 10. connected to the inner air extraction port 14, dehumidification spent air extracted from the housing 10 inside, heated to any temperature in the range from 35 ° C. to 200 ° C. with filtered, click Mixed with clean air supplied from the air supply pipe 13, sprayed from the air nozzle 6 toward the surface of the glass substrate 4, and draining and drying the surface of the glass substrate 4 in the housing 10 simultaneously. It is something to be solved.
[0010]
Embodiment
FIG. 2 is an explanatory view of an embodiment of a glass substrate drying apparatus according to the invention.
[0011]
In the figure, reference numeral 10 denotes a housing, in which a transport device 11 composed of a roller conveyor 5 for placing and transporting the glass substrate 4 in the horizontal direction is installed. A pair of air nozzles 6 facing the direction of the glass substrate 4 are provided above and below the transport device 11. An end of a clean air supply pipe 13 is connected to the air inlet 12 of the air nozzle 6 so that pressurized clean air is supplied from a clean air supply source (not shown).
[0012]
On the other hand, reference numeral 14 denotes a housing air extraction port formed in the side wall of the housing 10, and the start end of the air recirculation pipe 15 is connected to the housing air extraction port 14, and the end of the air recirculation pipe 15 is clean. It is connected in the middle of the pipeline of the air supply pipe 13 and joins this.
[0013]
Further, a dehumidifying circuit 16, a blower 17, a heating circuit 18, and a filtration circuit 19 are interposed in series in the air circulation pipe 15. The dehumidifying circuit 16 removes moisture from the passing gas by the cooling action of the cooler, and the heating circuit 18 is a device that heats the passing gas to an arbitrary temperature in the range of 35 ° C. to 200 ° C. by a duct heater. is there.
[0014]
This embodiment has a configuration as described above, and air is placed on the front and back of the glass substrate 4 while the glass substrate 4 as the object to be processed is placed on the roller conveyor 5 as a transfer device and automatically transferred. A clean pressurized hot air dehumidified and dedusted from the nozzle 6 is blown vigorously, and the moisture adhering to the glass substrate 4 is blown off by the wind pressure to drain the liquid. At this time, the pressurized hot air to be blown is dehumidified and heated in a range from room temperature to 200 ° C., so that evaporation of moisture adhering to the heat energy is promoted, and liquid draining and evaporation are performed. Done almost simultaneously.
[0015]
After the air jetted from the air nozzle 6 collides with the glass substrate 4, it temporarily stays in the housing 10, but flows into the air circulation pipe 15 from the air extraction port 14 in the housing and is dehumidified by the dehumidifying circuit 16. is accelerated by the blower 17, is heated to any temperature in the range of 35 ° C. of 200 ° C. by heating circuit 18, after being filtered dust removal by filtration circuit 19 is sent to a clean air supply pipe 7, clean air unshown The compressed clean air supplied from the supply source merges and is jetted from the air nozzle 6 toward the glass substrate 4. Since air is extracted from the housing 8 and reused in this way, the consumption of clean air supplied from the clean air supply source to the clean air supply pipe 7 is reduced to almost 1/3 of the conventional apparatus. Reduced.
[0016]
【The invention's effect】
As described above, in the glass substrate surface drying apparatus according to the present invention, clean air that has been dehumidified and heated is sprayed toward the glass substrate 4 that is automatically conveyed onto the roller conveyor 5, and adheres to the surface of the glass substrate 4. Since the water draining and evaporation by thermal energy are performed almost simultaneously, the liquid draining performance is higher than the conventional one, no stains remain on the surface of the glass substrate 4, and high quality drying is performed. I can do it.
[0017]
Also, unlike the conventional one, it is not necessary to use two devices, a liquid draining unit and a drying unit, which are respectively installed in separate housings. In addition to being able to be installed in a space, the transport movement distance of the glass substrate 4 is shortened, and a faster and more efficient drying operation can be performed. In addition, the used air jetted from the air nozzle 6 is dehumidified, heated, and dust-removed, and then recycled. Therefore, it is possible to reduce the consumption of clean air and save energy compared to conventional devices. Can contribute to cost reduction. Furthermore, since it is a drying method in which hot air is jetted from the air nozzle 6, it is easy to diversify and diversify the heating tool and to make it multi-functional, and it is possible to reduce the footprint of the device itself. Therefore, it can sufficiently cope with high-speed processing of a large glass substrate and has extremely high practical value.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory view of a conventional example of a liquid draining unit and a drying unit used for a liquid draining and drying operation of a glass substrate.
FIG. 2 is an explanatory view of an embodiment of a glass substrate surface drying apparatus according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid cutting unit 2 Drying unit 3 Housing 4 Glass substrate 5 Roller conveyor 6 Air nozzle 7 Clean air supply pipe 8 Housing 9 Heating device 10 Housing 11 Transport device 12 Air introduction port 13 Clean air supply pipe 14 Body air extraction port 15 Air Circulation pipe 16 Dehumidification circuit 17 Blower 18 Heating circuit 19 Filtration circuit

Claims

A transport device 11 for placing the glass substrate 4 to be processed and transporting it in the horizontal direction is installed in the housing 10, and air nozzles 6 facing the glass substrate 4 are opposed to the top and bottom of the transport device 11. A dehumidification circuit that connects the end of the clean air supply pipe 13 to the air inlet 12 of the air nozzle 6 and removes moisture from the passing gas by the cooling action of the cooler in the middle of the pipe of the clean air supply pipe 13 16, a blower 17, a heating circuit 18, and a filtration circuit 19 are respectively connected to the ends of the air circulation pipe 15 interposed in the pipe line, and a starting body of the air circulation pipe 15 is opened in the wall surface of the housing 10. connected to the inner air spout 14, dehumidification spent air extracted from the housing 10 inside, heated to any temperature in the range from 35 ° C. to 200 ° C. with filtered, click Mixed with clean air supplied from the air supply pipe 13 and sprayed from the air nozzle 6 toward the surface of the glass substrate 4 to drain and dry the surface of the glass substrate 4 in the housing 10 at the same time. A glass substrate surface drying device.

The glass substrate surface drying device according to claim 1, wherein the transport device is constituted by a roller conveyor.