KR101342618B1 - Substrate drying device - Google Patents

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KR101342618B1
KR101342618B1 KR1020130032665A KR20130032665A KR101342618B1 KR 101342618 B1 KR101342618 B1 KR 101342618B1 KR 1020130032665 A KR1020130032665 A KR 1020130032665A KR 20130032665 A KR20130032665 A KR 20130032665A KR 101342618 B1 KR101342618 B1 KR 101342618B1
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air knife
air
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drying
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KR1020130032665A
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정찬수
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창성 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a drying device which performs a drying process of a substrate (PCB) in production equipment of a process for manufacturing a semiconductor or a flat panel display (FPD) and, more specifically, to a substrate drying device capable of blowing cleaning solutions, particles, and foreign substances of the surface of the substrate to the outside by spreading air which is heated in a direction which is slated to a transfer direction of the substrate in an air knife; drying the surface; preventing the damage and the pollution of the substrate in a drying process; and controlling the spread direction of the heated air by selectively differentiating an inclination angle of the air knife. An embodiment of the present invention comprises an upper frame, a lower frame, the air knife, and an angle control unit. The upper frame is installed on an upper part of a drying room. The lower frame is installed on a lower part of the drying room. The air knife is installed in the upper frame and the lower frame, and spreads the heated air. The angle control unit controls the inclination angle of the air knife to one direction.

Description

기판 건조장치 {Substrate drying device}Substrate drying device

본 발명은 반도체 또는 FPD(Flat Panel Display) 제조공정의 생산설비에서 기판(PCB)의 건조공정을 수행하는 건조장치에 관한 기술로서, 보다 상세하게 설명하면 건조실의 내부에 상하 방향으로 다수개의 에어나이프가 설치되는 한편 상기 에어나이프가 수직 방향에 대하여 어느 한쪽으로 경사각이 조절되도록 구현됨으로써, 에어나이프에서 기판의 이송방향과 어긋나게 사선방향으로 가열된 공기를 분사하여 기판의 표면에 묻어있는 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고 표면을 건조하므로 건조공정에서 기판의 손상 및 오염을 방지하며, 에어나이프의 경사각을 선택적으로 달리하여 가열공기의 분사 방향을 조절할 수 있는 기판 건조장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a drying apparatus that performs a drying process of a substrate (PCB) in a production facility of a semiconductor or flat panel display (FPD) manufacturing process. While the air knife is installed so that the inclination angle is adjusted to either side with respect to the vertical direction, the cleaning liquid or particles buried on the surface of the substrate by injecting air heated in an oblique direction to the transfer direction of the substrate from the air knife; The present invention relates to a substrate drying apparatus capable of blowing out foreign substances and drying the surface to prevent damage and contamination of the substrate in the drying process, and to control the spraying direction of the heating air by selectively changing the inclination angle of the air knife.

일반적으로 반도체소자의 고집적화에 따라 반도체 제조공정에서 기판의 세정기술은 더욱 다양화되고, 그 중요성이 증대되고 있으며, 특히 미세구조를 갖는 반도체소자의 제조공정에 있어서 기판의 세정공정 후, 기판의 표면에 부착된 파티클(particles) 뿐만 아니라 정전기ㆍ워터마크(water mark)ㆍ라인성 파티클 등은 후속공정에 커다란 영향을 미치므로 건조공정의 필요성이 요구된다.In general, with the higher integration of semiconductor devices, the technology for cleaning substrates in semiconductor manufacturing processes is becoming more diversified and their importance is increasing. In particular, in the manufacturing process of semiconductor devices having microstructures, the surface of substrates after substrate cleaning processes In addition to particles adhering to the particles, static electricity, watermarks, linear particles, and the like have a great influence on subsequent processes, and thus, a necessity of a drying process is required.

이러한 반도체소자의 제조공정에 이용되는 기판 건조장치는 다양한 기술로 발전하였으며, 그중 하나는 원심력을 이용하여 기판을 건조하는 스핀 건조기(a spin dryer)가 있고, 다른 하나는 이소프로필 알코올(isopropyle alcohol:IPA)의 낮은 증기압을 이용하여 기판을 건조하는 IPA 건조기가 있다.Substrate drying apparatus used in the manufacturing process of such a semiconductor device has been developed with a variety of technologies, one of which is a spin dryer for drying the substrate using a centrifugal force, the other isopropyl alcohol (isopropyle alcohol: There is an IPA dryer that uses a low vapor pressure of IPA) to dry the substrate.

종래 건조공정을 수행하기 위한 건조장치는 다수의 롤러를 이용하여 기판을 수평 방향으로 이송하고, 기판을 건조하기 위하여 기판 상으로 건조가스를 분사하며, 이러한 건조장치는 이송되는 기판 상으로 건조 가스, 예를 들면 히터로 가열된 에어를 분사하여 기판의 표면을 건조하게 된다.A drying apparatus for performing a conventional drying process is to transport the substrate in a horizontal direction by using a plurality of rollers, and to spray the drying gas on the substrate to dry the substrate, such a drying apparatus is a dry gas, For example, the surface of the substrate is dried by blowing air heated by a heater.

종래 기판 건조장치의 선행기술로 대한민국 등록특허 제10-1034591호가 제시되었으며, 상기의 선행기술은 기판에 건조공기를 분사하는 에어나이프와; 상기 에어나이프의 양단 및 그 양단 사이의 중앙부 일부에서 에어나이프에 결합되어 에어나이프를 지지 고정함과 아울러 에어나이프의 높이와 각도를 조절하는 다수의 지지수단과; 상기 다수의 지지수단 각각에 연결되어 지지수단 각각에 동일한 높이조절 구동력을 전달하는 높이조절연동부; 및 상기 다수의 지지수단 각각에 연결되어 지지수단 각각에 동일한 각도조절 구동력을 전달하는 각도조절연동부;를 포함하여 구성된다.Korean Patent No. 10-1034591 has been presented as a prior art of a conventional substrate drying apparatus, and the prior art includes an air knife for injecting dry air to a substrate; A plurality of support means coupled to the air knife at both ends of the air knife and a portion of a central portion between the ends of the air knife to support and fix the air knife and to adjust the height and angle of the air knife; A height insulated copper part connected to each of the plurality of supporting means to transmit the same height adjusting driving force to each of the supporting means; And an angle insulating insulator which is connected to each of the plurality of supporting means and transmits the same angle adjusting driving force to each of the supporting means.

상기의 선행기술은 기판이 수평 방향으로 이송되고, 기판에 건조공기를 분사하는 에어나이프가 기판의 이송방향과 직교하게 설치됨으로써, 에어나이프에서 분사되는 건조공기가 기판의 이송방향과 반대 방향으로 분출됨에 따라 기판의 표면에 물방울 형태로 세정액이 묻어 있거나, 파티클 및 기타 이물질이 묻어 있을 경우, 기판의 표면을 타고 번지거나, 다른 장소에 떨어져서 기판을 손상 및 오염시키는 문제점이 있다.In the prior art, the substrate is transported in the horizontal direction, and the air knife for injecting dry air to the substrate is installed to be perpendicular to the transport direction of the substrate, whereby the dry air ejected from the air knife is ejected in the direction opposite to the transport direction of the substrate. Therefore, when the cleaning liquid is in the form of water droplets, or particles and other foreign matter on the surface of the substrate, there is a problem that damages and contaminates the substrate by smearing on the surface of the substrate or falling to other places.

즉, 에어나이프가 기판의 이송방향과 직교하게 설치되어 기판 이송방향의 반대 방향으로 건조공기를 분사함에 따라 건조공기의 풍압이 기판의 표면에 작용할 경우, 표면에 묻어있는 세정액이 점차 번지는 한편 건조공기의 풍압으로 기판의 표면에서 떨어진 파티클 및 기타 이물질이 다른 장소에 떨어져 기판을 손상 및 오염시키게 된다.
That is, when the air knife is installed orthogonal to the transfer direction of the substrate and sprays dry air in a direction opposite to the transfer direction of the substrate, when the air pressure of the dry air acts on the surface of the substrate, the cleaning liquid on the surface gradually spreads and is dried. Air pressure causes particles and other foreign matter that fall off the surface of the substrate to fall elsewhere and damage and contaminate the substrate.

대한민국 등록특허 제10-1034591호.Republic of Korea Patent No. 10-1034591. 대한민국 등록특허 제10-1042537호.Republic of Korea Patent No. 10-1042537.

본 발명은 종래 기판 건조장치의 문제점들을 개선하고자 안출된 기술로서, 에어나이프에서 기판의 이송방향과 어긋나게 사선방향으로 가열된 공기를 분사하여 기판에 묻어있는 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고, 기판의 표면을 건조하여 건조공정에서 기판의 손상 및 오염을 방지하며, 에어나이프의 경사각을 선택적으로 달리하여 가열공기의 분사 방향을 조절할 수 있도록 건조실의 내부에 상하 방향으로 다수개의 에어나이프가 설치되는 한편 에어나이프가 수직 방향에 대하여 어느 한쪽으로 경사각이 조절되도록 구현된 기판 건조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention has been made in order to improve the problems of the conventional substrate drying apparatus, by blowing the heated air in an oblique direction to deviate from the transport direction of the substrate in the air knife blows out the cleaning liquid or particles and foreign matter on the substrate, The surface of the substrate is dried to prevent damage and contamination of the substrate in the drying process, and a plurality of air knives are installed in the drying chamber in a vertical direction to control the spraying direction of the heating air by selectively changing the inclination angle of the air knife. Meanwhile, an object of the present invention is to provide a substrate drying apparatus in which an air knife is adjusted to one of the inclination angles with respect to the vertical direction.

본 발명은 상기와 같은 소기의 목적을 실현하고자,The present invention has been made to solve the above-

건조실의 상부에 수평상으로 설치된 상부프레임과; 상기 건조실의 하부에 수평상으로 설치된 하부프레임과; 상기 상부프레임과 하부프레임에 설치되고, 기판에 가열된 공기를 분사하는 에어나이프와; 상기 에어나이프를 어느 한쪽 방향으로 경사각이 조절되게 하는 각도조절수단;을 포함하여 구현된다.An upper frame installed horizontally above the drying chamber; A lower frame installed horizontally under the drying chamber; An air knife installed in the upper frame and the lower frame and spraying heated air to the substrate; And an angle adjusting means for adjusting the inclination angle of the air knife in either direction.

또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 상부프레임과 하부프레임은 건조실의 상부 및 하부 공간에서 전방과 후방의 내측면에 부착되어 기판의 이송방향과 일치하도록 수평상으로 고정 설치되며, 각각 서로 마주하도록 건조실의 양측부에 일정 거리로 이격되어 한쌍으로 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, as a preferred embodiment of the present invention, the upper frame and the lower frame is attached to the inner side of the front and rear in the upper and lower space of the drying chamber is fixed horizontally to match the transfer direction of the substrate, each drying chamber facing each other It is characterized by being installed in pairs spaced at a predetermined distance on both sides of the.

또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 에어나이프는 가열된 공기를 외부로 분사하는 노즐부가 구현된 슬리브와; 상기 슬리브의 상단부에 결합되고, 가열된 공기가 주입되는 홀더가 구현된 상부커버와; 상기 슬리브의 하단부에 결합되는 하부커버;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, as a preferred embodiment of the present invention, the air knife includes a sleeve implemented with a nozzle unit for injecting heated air to the outside; An upper cover coupled to an upper end of the sleeve and having a holder configured to inject heated air; And a lower cover coupled to the lower end of the sleeve.

본 발명의 실시예에 의하면, 건조실의 내부에 상하 방향으로 다수개의 에어나이프가 설치되는 한편 상기 에어나이프가 수직 방향에 대하여 어느 한쪽으로 경사각이 조절되도록 구현됨으로써, 에어나이프에서 기판의 이송방향과 어긋나게 사선방향으로 가열된 공기를 분사하여 기판의 표면에 묻어있는 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고 표면을 건조하므로 건조공정에서 기판의 손상 및 오염을 방지하며, 에어나이프의 경사각을 선택적으로 달리하여 가열공기의 분사 방향을 조절할 수 있는 효과를 제공하는 것이다.
According to an embodiment of the present invention, a plurality of air knives are installed in the interior of the drying chamber in the up and down direction while the inclination angle of the air knife is adjusted to either side with respect to the vertical direction, thereby displacing the transfer direction of the substrate in the air knife. By spraying the heated air in the diagonal direction, it blows the cleaning liquid, particles, and foreign substances on the surface of the substrate to the outside, and the surface is dried to prevent damage and contamination of the substrate in the drying process, and by selectively changing the inclination angle of the air knife It is to provide an effect that can control the injection direction of the heating air.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 설치상태를 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 설치상태를 나타낸 측면도.
도 3은 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 작동상태를 나타낸 요부 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 작동상태를 나타낸 요부 정면도.
도 5는 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 설치상태를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 설치상태를 나타낸 분해 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에서 에어나이프를 나타낸 요부 평단면도.
도 8은 본 발명의 실시예에서 에어나이프의 작동상태를 나타낸 요부 측면도.1 is a front view showing an installation state according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a side view showing the installation state of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 3 is a plan view of the main portion showing the operating state of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 4 is a front view showing the main portion showing the operating state of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing the installation state of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view showing the installation state of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 7 is a planar sectional view showing main parts of the air knife in the embodiment of the present invention.
Figure 8 is a side view of the main portion showing the operating state of the air knife in the embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에서 주된 요지는 에어나이프에서 기판의 이송방향과 어긋나게 사선방향으로 가열된 공기를 분사하여 기판의 표면에 묻어있는 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고 표면을 건조함에 따라 건조공정에서 기판의 손상 및 오염을 방지하며, 에어나이프의 경사각을 선택적으로 달리하여 가열공기의 분사 방향을 조절할 수 있도록 하는 것이다.The main point of the embodiment of the present invention is to dry the process by blowing out the cleaning liquid or particles and foreign matter on the surface of the substrate by injecting the heated air in an oblique direction to the transfer direction of the substrate in the air knife In order to prevent damage and contamination of the substrate, and to vary the inclination angle of the air knife to adjust the spraying direction of the heating air.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조장치의 주요 구성을 살펴보면, 건조실(10)의 상부에 수평상으로 설치된 상부프레임(20)과; 상기 건조실(10)의 하부에 수평상으로 설치된 하부프레임(30)과; 상기 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 설치되고, 기판(P)에 가열된 공기를 분사하는 에어나이프(40)와; 상기 에어나이프(40)를 어느 한쪽 방향으로 경사각이 조절되게 하는 각도조절수단;을 포함하여 이루어진다.
Looking at the main configuration of the substrate drying apparatus according to an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings, an upper frame 20 installed horizontally on the upper portion of the drying chamber 10; A lower frame 30 installed horizontally under the drying chamber 10; An air knife (40) installed in the upper frame (20) and the lower frame (30) and spraying heated air to the substrate (P); It comprises a; angle adjusting means for adjusting the inclination angle of the air knife 40 in either direction.

상기 실시예의 주요 구성에서 건조실(10)은 도면에서 도 1과 같이, 기판(P)의 건조공정에 사각틀의 형태로 구성되어 가능한 밀폐된 공간으로 설치되고, 그 내부에 직립상으로 고정된 기판(P)을 수평으로 이송하는 로딩부가 구성되는 한편 상부프레임(20)ㆍ하부프레임(30)ㆍ에어나이프(40)가 설치된다.In the main configuration of the embodiment, as shown in Figure 1, the drying chamber 10 is configured in the form of a rectangular frame in the drying process of the substrate (P) is installed in a closed space as possible, the substrate fixed upright in its interior ( A loading section for horizontally transporting P) is configured, while an upper frame 20, a lower frame 30, and an air knife 40 are provided.

상기의 주요 구성에서 상부프레임(20)은 건조실(10)의 상부 공간에서 전방과 후방의 내측면에 부착되어 기판(P)의 이송방향과 일치하도록 수평상으로 고정 설치되며, 또한 하부프레임(30)은 건조실(10)의 하부 공간에서 전방과 후방의 내측면에 부착되어 기판(P)의 이송방향과 일치하도록 수평상으로 고정 설치된다.In the above main configuration, the upper frame 20 is attached to the inner side of the front and rear in the upper space of the drying chamber 10 is fixed horizontally to match the conveying direction of the substrate P, and also the lower frame 30 ) Is attached to the inner side of the front and rear in the lower space of the drying chamber 10 is fixed horizontally to match the transfer direction of the substrate (P).

상기에서 상부프레임(20)과 하부프레임(30)은 각각 서로 마주하도록 건조실(10)의 양측부에 일정 거리로 이격되어 한쌍으로 설치되며, 기판(P)의 이송방향과 일치하도록 건조실(10)의 상부와 하부에 나란히 구성된다.
In the above, the upper frame 20 and the lower frame 30 are installed in pairs spaced at a predetermined distance from both sides of the drying chamber 10 so as to face each other, the drying chamber 10 to match the transfer direction of the substrate (P). It is configured side by side at the top and bottom of the.

또한 상기의 주요 구성에서 에어나이프(40)는 가열된 공기를 기판(P)에 분사하여 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고 표면을 건조하는 기능으로서, 도면에서 도 1 내지 도 5와 같이, 가열된 공기를 외부로 분사하는 노즐부(42)가 구현된 슬리브(41)와; 상기 슬리브(41)의 상단부에 결합되고, 가열된 공기가 주입되는 홀더(43b)가 구현된 상부커버(43)와; 상기 슬리브(41)의 하단부에 결합되는 하부커버(44);로 구현된다.In addition, in the above main configuration, the air knife 40 is a function of blowing the heated air to the substrate (P) to blow out the cleaning liquid or particles and foreign substances to dry the surface, as shown in Figures 1 to 5, A sleeve 41 having a nozzle part 42 for injecting heated air to the outside; An upper cover 43 coupled to an upper end of the sleeve 41 and having a holder 43b into which heated air is injected; And a lower cover 44 coupled to the lower end of the sleeve 41.

상기에서 에어나이프(40)를 구성하는 슬리브(41)는 상하로 길쭉한 사각프레임의 형상으로 구성되고, 가열된 공기가 주입될 수 있도록 내부에 공간이 구비되는 한편 일측부에 길이 방향으로 가열된 공기를 외부로 분사하는 노즐부(42)가 구성되는 것으로서, 상기 노즐부(42)는 끝단부가 뾰족한 원추형태로 중심부에 미세하게 분사공이 형성된다.The sleeve 41 constituting the air knife 40 is configured in the shape of a rectangular frame elongated up and down, and provided with a space therein so that heated air can be injected, while air heated in one direction at one side thereof. The nozzle unit 42 is configured to inject to the outside, the nozzle portion 42 is a fine injection hole is formed in the center in the form of a pointed conical cone.

한편 상부커버(43)와 하부커버(44)는 슬리브(41)의 상단부와 하단부를 밀폐하는 기능으로서, 상부커버(43)와 하부커버(44)는 각각 슬리브(41)의 상단부 또는 하단부와 동일한 형상으로 구성되고, 슬리브(41)의 상단부 또는 하단부에 체결볼트로 결합 설치된다.Meanwhile, the upper cover 43 and the lower cover 44 function to seal the upper end and the lower end of the sleeve 41, and the upper cover 43 and the lower cover 44 are the same as the upper end or the lower end of the sleeve 41, respectively. It is configured in a shape, and is coupled to the upper end or the lower end of the sleeve 41 by a fastening bolt.

상기에서 상부커버(43)는 가열된 공기가 주입되는 홀더(43b)가 상부에 구현되는 한편 상부에 브라켓이 끼워져 결합되고, 하부커버(44)는 하부에 브라켓이 끼워져 결합되며, 상기 상부커버(43)와 하부커버(44)에 구비된 브라켓에 각각 상부브라켓(43a)과 하부브라켓(44a)이 체결볼트로 결합 설치된다.In the upper cover 43, the holder 43b into which heated air is injected is implemented at the top, and a bracket is fitted to the upper portion, and the lower cover 44 is coupled to the lower portion of the bracket, and the upper cover ( 43) and the upper bracket 43a and the lower bracket 44a are coupled to the brackets provided on the lower cover 44 by fastening bolts, respectively.

상기 상부커버(43)와 하부커버(44)에 결합 설치된 상부브라켓(43a)과 하부브라켓(44a)이 건조실(10)의 내부공간에서 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 체결볼트로 결합되어 에어나이프(40)가 설치된다.The upper bracket 43a and the lower bracket 44a coupled to the upper cover 43 and the lower cover 44 are fastened to the upper frame 20 and the lower frame 30 in the interior space of the drying chamber 10. Coupled to the air knife 40 is installed.

또한 상기에서 에어나이프(40)는 상부커버(43)에 구비된 홀더(43b)에 송풍관(45)이 결합 설치되어 건조시스템에서 가열된 공기가 송풍관(45)과 홀더(43b)를 통해 슬리브(41)의 내부공간으로 주입된 다음, 노즐부(42)를 통하여 기판(P)의 표면에 분사된다.
In addition, the air knife 40 has a blower pipe 45 coupled to the holder 43b provided in the upper cover 43 so that the air heated in the drying system is blown through the blower pipe 45 and the holder 43b through the sleeve ( 41 is injected into the inner space of the substrate 41, and then injected onto the surface of the substrate P through the nozzle unit 42.

한편 상기 실시예의 주요 구성에서 각도조절수단은 에어나이프(40)의 경사각을 선택적으로 조절하는 기능으로서, 도면에서 도 2 및 도 8과 같이, 상부프레임(20)에 일측 방향으로 가이드홈(21)이 구성되고, 상기 가이드홈(21)에 에어나이프(40)의 상부가 체결볼트(46)로 결합되는 한편 하부프레임(30)에 에어나이프(40)의 하부가 체결볼트(46a)로 결합되어 설치됨으로써, 에어나이프(40)가 기판 면과 평행한 면상에서 기판의 이송방향에 대해 수직인 방향을 기준으로 어느 한쪽 방향으로 경사각이 조절될 수 있도록 설치된다.On the other hand, the angle adjusting means in the main configuration of the embodiment as a function to selectively adjust the inclination angle of the air knife 40, as shown in Figure 2 and 8, the guide groove 21 in one direction to the upper frame 20 in the drawing Is configured, the upper portion of the air knife 40 to the guide groove 21 is coupled to the fastening bolt 46 while the lower portion of the air knife 40 to the lower frame 30 is coupled to the fastening bolt 46a By being installed, the air knife 40 is installed so that the inclination angle can be adjusted in either direction based on the direction perpendicular to the transfer direction of the substrate on a plane parallel to the substrate surface.

상기에서 에어나이프(40)는 기판 면과 평행한 면상에서 기판의 이송방향에 대해 수직인 방향에 대하여 0~15°의 범위로 경사각이 조절될 수 있도록 설치됨이 바람직하고, 상기 에어나이프(40)의 경사각은 기판(P)의 이송방향과 반대 방향으로 기울어져 구성됨이 바람직하다.In the air knife 40 is preferably installed so that the inclination angle can be adjusted in the range of 0 to 15 ° with respect to the direction perpendicular to the transfer direction of the substrate on a surface parallel to the substrate surface, the air knife 40 The inclination angle of is preferably configured to be inclined in a direction opposite to the transfer direction of the substrate (P).

상기 각도조절수단은 에어나이프(40)의 상부와 하부를 고정하는 체결볼트(46)(46a)를 느슨하게 풀고, 에어나이프(40)의 상부를 원하는 경사각으로 이동시키면, 하부의 체결볼트(46a)를 중심으로 에어나이프(40)가 회전되고, 이 상태에서 상부와 하부의 체결볼트(46)(46a)를 조여서 에어나이프(40)의 경사각을 선택적으로 조절하게 된다.
The angle adjusting means loosen the fastening bolts 46 and 46a for fixing the upper and lower parts of the air knife 40, and move the upper part of the air knife 40 to a desired inclination angle, the lower fastening bolts 46a. The air knife 40 is rotated, and in this state by tightening the upper and lower fastening bolts 46 and 46a to selectively adjust the inclination angle of the air knife 40.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예는 건조실(10)의 내부공간에서 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 서로 마주하도록 다수개의 에어나이프(40)가 설치되고, 건조시스템에서 송풍관(45)을 통해 에어나이프(40)로 가열된 공기가 주입되어 기판(P)의 건조과정이 수행된다.In the embodiment of the present invention having such a configuration, a plurality of air knives 40 are installed to face each other in the upper frame 20 and the lower frame 30 in the interior space of the drying chamber 10, and the blower pipe 45 in the drying system. The heated air is injected into the air knife 40 through), and the drying process of the substrate P is performed.

상기 건조실(10)에서 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 설치된 에어나이프(40)가 기판(P)의 이송방향과 반대 방향으로 기울어져 설치됨으로써, 기판(P)의 이송방향과 어긋나게 사선방향으로 가열된 공기를 기판에 분사하므로 표면에 묻어있는 세정액이나 파티클 및 이물질을 외부로 불어내고 표면을 건조함에 따라 건조공정에서 기판의 손상 및 오염을 방지하게 된다.In the drying chamber 10, the air knife 40 installed in the upper frame 20 and the lower frame 30 is inclined in a direction opposite to the conveying direction of the substrate P, thereby displacing the conveying direction of the substrate P. Since the air heated in the diagonal direction is sprayed on the substrate, the cleaning liquid, particles, and foreign substances on the surface are blown to the outside and the surface is dried to prevent damage and contamination of the substrate in the drying process.

상기에서 본 발명의 바람직한 실시예를 참고로 설명 하였으며, 상기의 실시예에 한정되지 아니하고, 상기의 실시예를 통해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경으로 실시할 수 있는 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It is possible to carry out various changes in the present invention.

10: 건조실 20: 상부프레임
21: 가이드홈 30: 하부프레임
40: 에어나이프 41: 슬리브
42: 노즐부 43: 상부커버
43a: 상부브라켓 43b: 홀더
44: 하부커버 44a: 하부브라켓
45: 송풍관 46(46a): 체결볼트
P: 기판10: drying chamber 20: upper frame
21: guide groove 30: lower frame
40: air knife 41: sleeve
42: nozzle 43: upper cover
43a: upper bracket 43b: holder
44: lower cover 44a: lower bracket
45: Ventilation pipe 46 (46a): Fastening bolt
P: Substrate

Claims (5)

건조실(10)의 상부에 수평상으로 설치된 상부프레임(20)과; 상기 건조실(10)의 하부에 수평상으로 설치된 하부프레임(30)과; 상기 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 설치되고, 기판(P)에 가열된 공기를 분사하는 에어나이프(40)와; 상기 에어나이프(40)를 기판 면과 평행한 면상에서 기판의 이송방향에 대해 수직인 방향을 기준으로 어느 한쪽 방향으로 경사각이 조절되게 하는 각도조절수단;을 포함하고,
상기 상부프레임(20)과 하부프레임(30)은 건조실(10)의 상부 및 하부 공간에서 전방과 후방의 내측면에 부착되어 기판(P)의 이송방향과 일치하도록 수평상으로 상부와 하부에 나란히 고정 설치되며, 각각 서로 마주하도록 건조실(10)의 양측부에 일정 거리로 이격되어 한쌍으로 설치되고,
상기 에어나이프(40)는 가열된 공기를 외부로 분사하는 노즐부(42)가 구현된 슬리브(41)와, 상기 슬리브(41)의 상단부에 결합되고, 가열된 공기가 주입되는 홀더(43b)가 구현된 상부커버(43)와, 상기 슬리브(41)의 하단부에 결합되는 하부커버(44)로 구현되며,
상기 상부커버(43)와 하부커버(44)에 구비된 브라켓에 각각 상부브라켓(43a)과 하부브라켓(44a)이 체결볼트로 결합 설치되며, 상기 상부브라켓(43a)과 하부브라켓(44a)이 상부프레임(20)과 하부프레임(30)에 체결 설치되고,
상기 각도조절수단은 상부프레임(20)에 일측 방향으로 가이드홈(21)이 구성되고, 상기 가이드홈(21)에 에어나이프(40)의 상부가 체결볼트(46)로 결합되는 한편 하부프레임(30)에 에어나이프(40)의 하부가 체결볼트(46a)로 결합되며,
상기 에어나이프(40)는 기판 면과 평행한 면상에서 기판의 이송방향에 대해 수직인 방향에 대하여 0~15°의 범위로 경사각이 조절되고, 상기 에어나이프(40)의 경사각은 기판(P)의 이송방향과 반대 방향으로 기울어져 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.An upper frame 20 installed horizontally on an upper portion of the drying chamber 10; A lower frame 30 installed horizontally under the drying chamber 10; An air knife (40) installed in the upper frame (20) and the lower frame (30) and spraying heated air to the substrate (P); And an angle adjusting means for adjusting the inclination angle of the air knife 40 in either direction based on a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate on a surface parallel to the substrate surface.
The upper frame 20 and the lower frame 30 are attached to the inner side of the front and rear in the upper and lower spaces of the drying chamber 10 side by side in the upper and lower horizontally to match the transfer direction of the substrate (P) It is fixedly installed, spaced at a certain distance from each side of the drying chamber 10 so as to face each other are installed in pairs,
The air knife 40 has a sleeve 41 implemented with a nozzle portion 42 for injecting heated air to the outside, and a holder 43b coupled to an upper end of the sleeve 41 and into which heated air is injected. Is implemented as the upper cover 43 and the lower cover 44 is coupled to the lower end of the sleeve 41,
The upper bracket 43a and the lower bracket 44a are coupled to the brackets provided on the upper cover 43 and the lower cover 44 by fastening bolts, respectively, and the upper bracket 43a and the lower bracket 44a are Is fastened to the upper frame 20 and the lower frame 30,
The angle adjusting means has a guide groove 21 in one direction in the upper frame 20, the upper portion of the air knife 40 is coupled to the guide groove 21 by a fastening bolt 46 while the lower frame ( 30, the lower portion of the air knife 40 is coupled to the fastening bolt 46a,
The inclined angle of the air knife 40 is in a range of 0 to 15 ° with respect to the direction perpendicular to the transfer direction of the substrate on a plane parallel to the substrate surface, and the inclination angle of the air knife 40 is the substrate P. Substrate drying apparatus, characterized in that the configuration is inclined in the opposite direction to the conveying direction. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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