JP4225046B2

JP4225046B2 - エネルギー活性なスルホニウム塩及びその用途

Info

Publication number: JP4225046B2
Application number: JP2002360330A
Authority: JP
Inventors: 明釜淵; 佳幸高田
Original assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date: 2001-12-13
Filing date: 2002-12-12
Publication date: 2009-02-18
Anticipated expiration: 2022-12-12
Also published as: JP2004026789A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規なスルホニウム塩、半導体の微細加工に用いられる化学増幅型のレジスト組成物及び重合開始剤組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の微細加工には通常、レジスト組成物を用いたリソグラフィプロセスが採用されており、リソグラフィにおいては、レイリー（Ｒａｙｌｅｉｇｈ）の回折限界の式で表されるように、原理的には露光波長が短いほど解像度を上げることが可能である。半導体の製造に用いられるリソグラフィ用露光光源は、波長４３６ｎｍのｇ線、波長３６５ｎｍのｉ線、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザーと、年々短波長になってきており、次世代の露光光源として、波長１５７ｎｍのＦ_２エキシマレーザーが有望視され、その後は波長１３ｎｍ以下の軟Ｘ線（ＥＵＶ）が光源として提案されている。
【０００３】
エキシマレーザー等の、ｇ線、ｉ線より短い波長の光源は照度が低いため、レジストの感度を高める必要があることから、スルホニウム塩から露光により発生する酸の触媒作用を利用し、その酸により解裂する基を有する樹脂を含有するいわゆる化学増幅型レジストが用いられる（例えば特許文献１）。
【０００４】
従来公知のスルホニウム塩では、酸性度の強いアニオン種であるパーフルオロアルキルスルホナートを使用する例が多かった。しかしながら、これらのアニオン種を用いたレジスト組成物では孤立パターンの解像性に問題があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２７５８４５号公報（第２頁、６〜７頁、１０〜１２頁）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、酸性度の強いアニオン種を有する新規なスルホニウム塩を提供するとともに、これと樹脂成分とを含有し、ＡｒＦやＫｒＦなどのエキシマレーザーリソグラフィに適し、孤立パターンの解像性に優れた化学増幅型のポジ型レジスト組成物を提供することにある。
【０００７】
本発明者らは、鋭意検討を加えた結果、炭素数が少なくかつ立体的に大きなアニオン種を見出し、該アニオン種を含む特定のスルホニウム塩を用いることにより、上記課題を解決できることを見出し、さらに検討を加えて本発明に至った。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、〔１〕下式（Ｉ）で示されるスルホニウム塩を提供する。

（式中、Ｑ¹、Ｑ²は、互いに独立に、炭素数１〜６のアルキル基、又は炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表す。Ｑ³は、水素原子を表し、Ｑ⁴は炭素数１〜６のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４の置換基を有しても良いアリール基を表すか、又はＱ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表す。Ｑ⁵、Ｑ⁶は互いに独立に炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基を表す。）
【０００９】
また、本発明は、〔２〕下式（Ｉ’）で示されるスルホニウム塩を提供する。

（式中、Ｑは、記載のＳ⁺とともに環を完成する炭素数３〜７の脂環式炭化水素基を表す。該脂環式炭化水素基は、ケトン基を有していてもよく、また該脂環式炭化水素基の少なくとも１個の−ＣＨ₂−が酸素原子もしくは硫黄原子に置換されていてもよい。Ｑ³は、水素原子を表し、Ｑ⁴は炭素数１〜６のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４の置換基を有しても良いアリール基を表すか、又はＱ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表す。Ｑ⁵、Ｑ⁶は互いに独立に炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基を表す。）
【００１０】
また、本発明は、〔３〕前記〔１〕に記載のスルホニウム塩及び〔２〕に記載のスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のスルホニウム塩、並びに、酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリに可溶となる樹脂を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。
さらに、本発明は、〔４〕前記〔１〕に記載のスルホニウム塩及び〔２〕に記載のスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のスルホニウム塩と、下式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩、下式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩及び下式（IIc）で示されるトリフェニルスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを含む酸発生剤、並びに、酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリに可溶となる樹脂を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。

（式中、Ｐ¹〜Ｐ³は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ⁶ＳＯ₃ ^-は、有機スルホナートイオンを表す。）

（式中、Ｐ⁴、Ｐ⁵は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ⁷ＳＯ₃ ^-は、有機スルホナートイオンを表す。）

（式中、Ｐ⁸〜Ｐ¹⁰は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ¹¹、Ｐ^１２は、それぞれ独立に炭素数１〜４のパーフルオロアルキル基を表す。）
【００１１】
さらに、本発明は、〔５〕前記〔１〕に記載のスルホニウム塩及び〔２〕に記載のスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のスルホニウム塩と、増感剤とを含有する重合開始剤組成物も提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明のスルホニウム塩は、酸性度の強いアニオン種を有し、該スルホニウム塩は、酸発生剤として化学増幅型のポジ型レジスト組成物に好適に用いられる。化学増幅型のレジスト組成物に用いられる酸発生剤は、その物質自体に、あるいはその物質を含むレジスト組成物に、光や電子線などの放射線を作用させることにより、その物質が分解して酸を発生するものである。本発明における組成物では、かかる酸発生剤として、前記式（Ｉ）で示されるスルホニウム塩及び前記式（Ｉ’）で示されるスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のスルホニウム塩を、単独で用い、又はこれと前記式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩、前記式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩及び前記式（IIc）で示されるトリフェニルスルホニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを併用する。
【００１３】
式（Ｉ）において、Ｑ¹、Ｑ²は、互いに独立に、炭素数１〜６のアルキル基、又は炭素数３〜１０のシクロアルキル基であることができ、炭素数３以上の場合は、直鎖でも分岐していてもよい。具体的なアルキル基、シクロアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
また、式（Ｉ）において、Ｑ³は水素原子を、Ｑ⁴は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４の置換基を有しても良いアリール基を表すか、又はＱ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表すことができる。
Ｑ⁴における具体的なアルキル基、シクロアルキル基、アリール基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基、トリル基、tert−ブチルフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基などが挙げられる。
Ｑ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表すことができる場合、このような２−オキソシクロアルキル基としては、例えば２−オキソシクロヘキシル基、２−オキソシクロペンチル基、カンファー基などが挙げられる。
【００１４】
また、式（Ｉ）において、Ｑ⁵とＱ⁶は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のパーフルオロアルキル基を表す。パーフルオロアルキル基に該当する具体例としては、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロブチル基などが挙げられる。
【００１５】
次に、式（Ｉ’）において、Ｑは、記載のＳ⁺とともに環を完成する炭素数３〜７の脂環式炭化水素基を表す。該脂環式炭化水素基は、ケトン基を有していてもよく、また該脂環式炭化水素基の少なくとも１個の−ＣＨ₂−が酸素原子もしくは硫黄原子に置換されていてもよい。
記載の硫黄原子とともに環を完成する炭素数３〜７の脂環式炭化水素としては、テトラヒドロチオフェン、チオキサン、ジチアン、テトラヒドロチオフェン−３−オン、テトラヒドロチオピラン−４−オンなどが挙げられる。
これらのうち、式（Ｉ’）で示される脂環式炭化水素基を有するスルホニウム塩が熱安定性の点で好ましい。該スルホニウム塩を用いると、ベーク温度（ＰＥＢ温度）を上げることが可能となり、ラインエッジラフネスが良くなるので好ましい。
【００１６】
式（Ｉ’）において、Ｑ³は、水素原子を表し、Ｑ⁴は炭素数１〜６のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４の置換基を有しても良いアリール基を表すか、又はＱ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表す。Ｑ⁵とＱ⁶は、互いに独立に、炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基を表す。
Ｑ⁴における具体的なアルキル基、シクロアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基、トリル基、tert−ブチルフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基などが挙げられる。Ｑ³とＱ⁴が結合して隣接するＣＨＣ(Ｏ)基と一緒になって２−オキソシクロアルキル基を表すことができる場合、このような２−オキソシクロアルキル基としては、例えば２−オキソシクロヘキシル基、２−オキソシクロペンチル基、カンファー基などが挙げられる。
【００１７】
式（Ｉ）、で示されるスルホニウム塩は、公知の方法に準じて製造することが可能である。例えば、J. V. Crivello et al., J. Polymer Science., Polymer Chemistry Edition, Vol.17, 2877-2892 (1979) に記載の方法を応用して、次の反応スキームに従って製造することができる。
【００１８】

【００１９】
式中、Ｑ¹、Ｑ²、Ｑ³、Ｑ⁴、Ｑ⁵ ^、Ｑ⁶は先に定義したとおりであり、Ｘは臭素や沃素のようなハロゲンを表し、Ｍはナトリウム、カリウムのようなアルカリ金属、銀もしくは水素を表す。
【００２０】
すなわち、上記式（A1）に相当するスルフィド化合物に(A2)に相当するβ−ハロゲノケトンを作用させて、上記式（Ｂ）に相当するスルホニウムハライドを生成させ、さらに式Ｑ⁵ＳＯ₃Ｍに相当するスルホン酸金属塩もしくはスルホン酸を作用させることにより、式（Ｉ）で示されるスルホニウム塩を得ることができる。これらの反応は、適当な溶媒中、例えば、アセトン、アセトニトリル、ニトロメタンなどの溶媒中で行われる。式（A1）のスルフィド化合物は、式(A2)に相当するβ−ハロゲノケトンに対して、好ましくは０．７〜１．５モル比用い、さらに好ましくは、０．８〜１．１モル比用いる。また、式Ｑ⁵ＳＯ₃Ｍに相当するスルホン酸金属塩もしくはスルホン酸は、式（Ｂ）のスルホニウムハライド生成のために用いた式（A1）のスルフィド化合物に対して、０．７〜１．２モル比、好ましくは０．８〜１．０モル比用いればよい。反応終了後は、生成したハロゲン化金属塩等を濾過等により除去し、次いで濃縮や再結晶等の後処理を施すことにより、式（Ｉ）のスルホニウム塩を得ることができる。
【００２１】
式（Ｉ’）で示されるスルホニウム塩は、公知の方法に準じて製造することが可能である。例えば、D. N. Kevill et al., J. Am. Chem. Soc., Vol.108, 1579-1585 (1986) に記載の方法を応用して製造することができる。
【００２２】
式（Ｉ）、（Ｉ’）で示されるスルホニウム塩の具体的な例としては、次のような化合物を挙げることができる。
【００２３】
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソ−２−フェニルエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−ナフチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２４】
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２５】
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソ−２−フェニルエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−ナフチル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２６】
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２７】
シクロヘキシルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２８】
２−オキソプロピルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００２９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソ−２−フェニルエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−ナフチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００３０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００３１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）
トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００３２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００３３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソシクロヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３６】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル２−オキソブチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３７】
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３８】
シクロヘキシルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００３９】
２−オキソプロピルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソ−２−フェニルエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソ−２−トリルエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート
２−ナフチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート
【００４０】
２−オキソプロピルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００４１】
２−オキソプロピル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００４２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００４３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００４４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
２−オキソシクロヘキシルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００４５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００４６】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００４７】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル２−オキソブチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００４８】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００４９】
シクロヘキシルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５０】
２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）
パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００５５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）パーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
２−オキソシクロヘキシルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００５６】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００５７】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル２−オキソブチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００５８】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００５９】
シクロヘキシルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６０】
２−オキソプロピルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）
トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソシクロヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６４】
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジメチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６５】
３,３−ジメチル−２−オキソブチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジエチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６６】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル２−オキソブチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルジイソプロピルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６７】
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
ｔｅｒｔ−ブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソプロピル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６８】
シクロヘキシルメチル（２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソペンチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（２−オキソオクチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシルメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
シクロヘキシル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）メチルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００６９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００７０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチルチアシクロヘキサニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００７１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−チオキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）
トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
【００７２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（４−オキソチアシクロヘキサニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソプロピル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソペンチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘキシル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソヘプチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−オキソオクチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３−メチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル（１，４−ジチアニウム）トリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート
２−オキソシクロヘキシルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダートなど。
【００７３】
次に、本発明において、トリフェニルスルホニウム塩及びジフェニルヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩を表す式（IIa）、（IIb）、（IIc）において、Ｐ¹、Ｐ²、Ｐ³、Ｐ⁴、Ｐ⁵、Ｐ^８、Ｐ^９及びＰ^１０はそれぞれ、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、アルキル基及びアルコキシ基は、炭素数３以上の場合は直鎖でも分岐していてもよい。
具体的なアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などが挙げられ、アルコキシ基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基などが挙げられる。
また式（IIa）及び（IIb）において、陰イオンを構成するＰ⁶ＳＯ_３ ^-、Ｐ⁷ＳＯ_３ ^-は、有機スルホナートイオンを表す。ここで、Ｐ⁶、Ｐ⁷は、それぞれ独立に、炭素数１〜１２程度の有機基であれば良く、例えば炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基、カンファー基であることができる。炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基等の具体例としては、前記したものと同様のものが挙げられる。また式（IIc）においてＰ^１１及びＰ^１２は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のパーフルオロアルキル基であればよく、例えばトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロブチル基、ノナフルオロブチル基等が挙げられる。
【００７４】
式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩、式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩及び式（IIc）で示されるトリフェニルスルホニウム塩は、市販品があれば、それをそのまま用いることができるほか、常法に従って製造することも可能である。トリフェニルスルホニウム塩（IIa）の製法としては、例えば、相当するトリフェニルスルホニウムブロマイドを目的とする化合物の陰イオンと同じスルホン酸の銀塩と反応させる方法や、 Chem. Pharm. Bull., Vol.29, 3753 (1981) の記載に準じて、相当するジフェニルスルホキシドとベンゼン系化合物とパーフルオロアルカンスルホン酸とを、トリフルオロ酢酸無水物の存在下で反応させる方法、特開平 8-311018 号公報の記載に準じて、相当するアリールグリニヤ試薬を塩化チオニルと反応させ、次いでトリオルガノシリルハライドと反応させてトリアリールスルホニウムハライドとした後、目的とする化合物の陰イオンと同じスルホン酸の銀塩と反応させる方法などにより製造できる。
また、式（IIa）中のＰ¹、Ｐ²及び／又はＰ³が水酸基である化合物は、上記特開平 8-311018 号公報の記載に準じて、ベンゼン環上にtert−ブトキシ基を有するトリフェニルスルホニウム塩を、その化合物の陰イオンと同じスルホン酸で処理してtert−ブチル基を脱離させることにより製造できる。
【００７５】
また、ジフェニルヨードニウム塩（IIb）の製法としては、例えば、J. Am. Chem. Soc., vol.81, 342 (1959) の記載に準じて、ヨージル硫酸と相当するアリール化合物を反応させた後、目的とする化合物の陰イオンと同じスルホン酸を加える方法や、無水酢酸と発煙硝酸の混合液中にヨウ素とトリフルオロ酢酸を加えて得られる反応生成物と相当するアリール化合物を反応させた後目的とする化合物の陰イオンと同じスルホン酸酸を加える方法、特開平9-179302号公報の記載に準じて、相当するアリール化合物と無水酢酸、ヨウ素酸カリウムの混合物に濃硫酸を滴下して反応させた後、目的とする化合物の陰イオンと同じスルホン酸を加える方法などにより製造できる。
また、トリフェニルスルホニウム塩（IIc）の製法としては、例えば、相当するトリフェニルスルホニウムブロマイドを目的とする化合物の陰イオンと同じイミド酸の金属塩と反応させる方法などにより製造できる。
【００７６】
式（IIa）、（IIb）、（IIc）に相当するトリフェニルスルホニウム塩、ジフェニルヨードニウム塩の具体例としては、次のような化合物を挙げることができる。
【００７７】
トリフェニルスルホニウムメタンスルホナート、
トリフェニルスルホニウムエタンスルホナート、
トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
トリフェニルスルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
トリフェニルスルホニウムｐ-トルエンスルホナート、
トリフェニルスルホニウムカンファースルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムメタンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムエタンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムベンゼンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムｐ-トルエンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムカンファースルホナート、
４−ヒドロキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
トリス（４−メチルフェニル）スルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
トリス（４−メトキシフェニル）スルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
４−ヒドロキシフェニルジフェニルスルホニウムｐ-トルエンスルホナート、
４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
トリス（４−メチルフェニル）スルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
トリス（４−メトキシフェニル）スルホニウムパーフルオロブタンスルホナート、
【００７８】
ジフェニルヨードニウムパーフルオロブタンスルホナート、
ジ（４−メトキシフェニル）ヨードニウムパーフルオロブタンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムパーフルオロブタンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムメタンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムエタンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムベンゼンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム２，４，６−トリイソプロピルベンゼンスルホナート、
ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウムカンファースルホナート、
【００７９】
トリフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
４−ｔｅｒｔブチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
トリ−４−ｔｅｒｔブチルフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
トリフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
４−ｔｅｒｔブチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
トリ−４−ｔｅｒｔブチルフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］−１−エタンスルホンアミダート、
【００８０】
トリフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
４−ｔｅｒｔブチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
トリ−４−ｔｅｒｔブチルフェニルスルホニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］−１−ブタンスルホンアミダート、
【００８１】
トリフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
４−ｔｅｒｔブチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート、
４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロブチル）スルホニル］メタンスルホンアミダート
など。
【００８２】
次に、本発明のレジスト組成物を構成する樹脂成分について説明する。この樹脂は、酸に不安定な基を持つ重合単位を有する。化学増幅型ポジ型レジスト用の樹脂は、それ自体ではアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用により一部の基が解裂し、解裂後はアルカリ可溶性となるものである。本発明における酸に不安定な基も、このように従来から知られている各種のものであることができる。
酸に不安定な基として具体的には、カルボン酸の各種エステル、例えば、メチルエステル及びtert−ブチルエステルに代表されるアルキルエステル、メトキシメチルエステル、エトキシメチルエステル、１−エトキシエチルエステル、１−イソブトキシエチルエステル、１−イソプロポキシエチルエステル、１−エトキシプロピルエステル、１−（２−メトキシエトキシ）エチルエステル、１−（２−アセトキシエトキシ）エチルエステル、１−〔２−（１−アダマンチルオキシ）エトキシ〕エチルエステル、１−〔２−（１−アダマンタンカルボニルオキシ）エトキシ〕エチルエステル、テトラヒドロ−２−フリルエステル及びテトラヒドロ−２−ピラニルエステルのようなアセタール型エステル、イソボルニルエステル及び２−アルキル−２−アダマンチルエステル、１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルエステルのような脂環式エステルなどが挙げられる。このようなカルボン酸エステルを有する重合単位へ導くモノマーは、メタクリル酸エステルやアクリル酸エステルのような（メタ）アクリル系のものでもよいし、ノルボルネンカルボン酸エステル、トリシクロデセンカルボン酸エステル、テトラシクロデセンカルボン酸エステルのように、カルボン酸エステル基が脂環式モノマーに結合したものでもよい。
【００８３】
このようなモノマーのうち、酸の作用により解裂する基として例えば２−アルキル−２−アダマンチル、１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルのような脂環族を含む嵩高い基を有するものを使用すると解像度が優れるので好ましい。このような嵩高い基を含むモノマーとしては、（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチル、（メタ）アクリル酸１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−アルキル−２−アダマンチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルなどが挙げられる。とりわけ（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチルをモノマーとして用いた場合は、解像度が優れるので好ましい。このような（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチルの代表例としては、例えばアクリル酸２−メチル−２−アダマンチル、メタクリル酸２−メチル−２−アダマンチル、アクリル酸２−エチル−２−アダマンチル、メタクリル酸２−エチル−２−アダマンチル、アクリル酸２−ｎ−ブチル−２−アダマンチルなどが挙げられる。これらの中では、特に（メタ）アクリル酸２−エチル−２−アダマンチルを用いた場合、感度、耐熱性のバランスが良いので好ましい。もちろん必要に応じて、酸の作用により解裂する基を持つ他のモノマーを併用してもよい。
【００８４】
（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチルは通常、２−アルキル−２−アダマンタノール又はその金属塩とアクリル酸ハライド又はメタクリル酸ハライドとの反応により製造できる。
【００８５】
本発明における樹脂は、上記のような酸に不安定な基を有する重合単位の他に、酸の作用により解裂しないか又は解裂しにくい他の重合単位を含有することも、もちろん可能である。含有しうる他の重合単位としては、例えば、アクリル酸やメタクリル酸のような遊離のカルボン酸基を有するモノマーの重合単位、無水マレイン酸や無水イタコン酸のような脂肪族不飽和ジカルボン酸無水物の重合単位、２−ノルボルネンの重合単位、（メタ）アクリロニトリルの重合単位、各種（メタ）アクリル酸エステル類の重合単位などを挙げることができる。ＡｒＦ露光の場合は光吸収が大きくて好ましくはないが、ＫｒＦ露光の場合は光吸収の問題が無いので、ヒドロキシスチレンの重合単位を用いることができる。
【００８６】
特に、ｐ−ヒドロキシスチレンの重合単位、ｍ−ヒドロキシスチレンの重合単位、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、（メタ）アクリル酸３、５−ジヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、ラクトン環がアルキルで置換されていてもよい（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、下式（IIIa）、（IIIｂ）で示される脂環式ラクトンの重合単位などを共重合させることはレジストの基板への接着性の点で好ましい。
【００８７】

【００８８】
（式中、Ｒ¹、Ｒ²は互いに独立に水素、メチル又はトリフルオロメチルを表し、ｎは１〜３の数を表す。ｎが複数のときは、Ｒ^２は、互いに同一でも異なってもよい。）
【００８９】
（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチル、（メタ）アクリル酸３、５−ジヒドロキシ−１−アダマンチルは市販されているが、例えば対応するヒドロキシアダマンタンを（メタ）アクリル酸又はそのハライドと反応させることにより、製造することもできる。また、（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンは、ラクトン環がアルキルで置換されていてもよいα−若しくはβ−ブロモ−γ−ブチロラクトンにアクリル酸若しくはメタクリル酸を反応させるか、又はラクトン環がアルキルで置換されていてもよいα−若しくはβ−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトンにアクリル酸ハライド若しくはメタクリル酸ハライドを反応させることにより製造できる。式（ＩＩＩa）、（ＩＩＩb）で示される脂環式ラクトンの重合単位に導くためのモノマーは、具体的には例えば、次のような水酸基を有する脂環式ラクトンの(メタ)アクリル酸エステル、それらの混合物等が挙げられる。これらのエステルは、例えば対応する水酸基を有する脂環式ラクトンと(メタ)アクリル酸類との反応により製造し得る（例えば特開2000-26446号公報）。
【００９０】

【００９１】
（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチル、（メタ）アクリル酸３、５−ジヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、α−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、β−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、式（ＩＩＩa）、（ＩＩＩb）で示される脂環式ラクトンの重合単位は、いずれも極性が高く、それらのいずれかを樹脂中に存在させることにより、それを含むレジストの基板への接着性が向上する。これらの重合単位はまたレジストの解像性の向上にも寄与する。
【００９２】
ここで、（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位に導くためのモノマーとしては、例えば、α−アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、α−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、α−アクリロイロキシ−β，β−ジメチル−γ−ブチロラクトン、α−メタクリロイロキシ−β，β−ジメチル−γ−ブチロラクトン、α−アクリロイロキシ−α−メチル−γ−ブチロラクトン、α−メタクリロイロキシ−α−メチル−γ−ブチロラクトン、β−アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、β−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、β−メタクリロイロキシ−α−メチル−γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【００９３】
ＫｒＦエキシマレーザー露光の場合は、樹脂の重合単位として、ヒドロキシスチレンの重合単位を用いても充分な透過率を得ることができる。具体的には、以下に示されるようなｐ−またはｍ−ヒドロキシスチレン共重合樹脂が挙げられる。このような共重合樹脂を得る場合は、該当する（メタ）アクリル酸エステルモノマーとアセトキシスチレン、及びスチレンをラジカル重合した後、酸によって脱アセチルすることによって得ることができる。
【００９４】

【００９５】

【００９６】

【００９７】
これらの場合、酸に不安定な基としては、２−アルキル−２−アダマンチル、１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルを用いるほうが、ドライエッチング耐性の面で有利である。
【００９８】
また、２−ノルボルネンの重合単位を含む樹脂は、その主鎖に直接脂環基を有するために頑丈な構造となり、ドライエッチング耐性に優れるという特性を示す。２−ノルボルネンの重合単位は、例えば対応する２−ノルボルネンの他に無水マレイン酸や無水イタコン酸のような脂肪族不飽和ジカルボン酸無水物を併用したラジカル重合により主鎖へ導入し得る。したがって、２−ノルボルネンの重合単位は、その二重結合が開いて形成されるものであり、式（IV）で表すことができる。また、脂肪族不飽和ジカルボン酸無水物の重合単位である無水マレイン酸の重合単位、無水イタコン酸の重合単位は、それらの二重結合が開いて形成されるものであり、それぞれ式(V)及び(VI)で表すことができる。
【００９９】

【０１００】
ここで、式（IV）中のＲ³及びＲ⁴は、互いに独立に、水素、炭素数１〜３のアルキル、炭素数１〜３のヒドロキシアルキル、カルボキシル、シアノ若しくは基−ＣＯＯＺ（Ｚはアルコール残基である）を表すか、又はＲ³とＲ⁴が一緒になって、-C(=O)OC(=O)- で示されるカルボン酸無水物残基を形成することもできる。
Ｒ³及び／又はＲ⁴がアルキルである場合の具体例としては、メチル、エチル、プロピルなどが挙げられ、同じくヒドロキシアルキルである場合の具体例としては、ヒドロキシメチル、２−ヒドロキシエチルなどが挙げられる。
Ｒ³及び／又はＲ⁴が基−ＣＯＯＺである場合は、カルボキシルがエステルとなったものであり、Ｚに相当するアルコール残基としては、例えば、置換されていてもよい炭素数１〜８程度のアルキル、２−オキソオキソラン−３−又は−４−イルなどを挙げることができ、ここにアルキルの置換基としては、水酸基や脂環式炭化水素残基などが挙げられる。そこで、Ｒ³及び／又はＲ⁴が−ＣＯＯＺで示されるカルボン酸エステル残基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、２−ヒドロキシエトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、２−オキソオキソラン−３−イルオキシカルボニル、２−オキソオキソラン−４−イルオキシカルボニル、１，１，２−トリメチルプロポキシカルボニル、１−シクロヘキシル−１−メチルエトキシカルボニル、１−（４−メチルシクロヘキシル）−１−メチルエトキシカルボニル、１−（１−アダマンチル）−１−メチルエトキシカルボニルなどが挙げられる。
【０１０１】
また、式（IV）で示される２−ノルボルネンの重合単位に導くためのモノマーとして、具体的には例えば、次のような化合物を挙げることができる。
【０１０２】
２−ノルボルネン
２−ヒドロキシ−５−ノルボルネン
５−ノルボルネン−２−カルボン酸
５−ノルボルネン−２−カルボン酸メチル
５−ノルボルネン−２−カルボン酸−ｔ−ブチル
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−シクロヘキシル−１−メチルエチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−メチルシクロヘキシル）−１−メチルエチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−ヒドロキシシクロヘキシル）−１−メチルエチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチル−１−（４−オキソシクロヘキシル）エチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（１−アダマンチル）−１−メチルエチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチルシクロヘキシル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−メチル−２−アダマンチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−エチル−２−アダマンチル
５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−ヒドロキシ−１−エチル、
５−ノルボルネン−２−メタノール、
５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物など。
【０１０３】
本発明で用いる樹脂は、パターニング露光用の放射線の種類や酸に不安定な基の種類などによっても変動するが、一般には、酸に不安定な基を持つ重合単位を１０〜８０モル％の範囲で含有するのが好ましい。そして、酸に不安定な基として特に、（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチル、（メタ）アクリル酸１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルの重合単位を用いる場合は、この単位が樹脂全体のうち１５モル％以上となるようにするのが有利である。また、酸に不安定な基を持つ重合単位に加えて、酸の作用で解裂しにくい他の重合単位、例えば、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、（メタ）アクリル酸３、５−ジヒドロキシ−１−アダマンチル、α−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、β−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、式（IIIａ）、（IIIｂ）で示される脂環式ラクトンの重合単位、ヒドロキシスチレンの重合単位、式（ＩV）で示される２−ノルボルネンの重合単位、脂肪族不飽和ジカルボン酸無水物の重合単位である式（V）で示される無水マレイン酸の重合単位、式（VI）で示される無水イタコン酸の重合単位などを存在させる場合は、それらの合計が、樹脂全体のうち２０〜９０モル％の範囲となるようにするのが好ましい。
【０１０４】
なお、２−ノルボルネン類及び脂肪族不飽和ジカルボン酸無水物を共重合モノマーとする場合には、これらは重合しにくい傾向があるので、この点を考慮し、これらは過剰に使用することが好ましい。
【０１０５】
また、本発明の化学増幅型のポジ型レジスト組成物においては、塩基性化合物、特に塩基性含窒素有機化合物、例えばアミン類を、クェンチャーとして添加することにより、露光後の引き置きに伴う酸の失活による性能劣化を改良できる。クェンチャーに用いられる塩基性化合物の具体的な例としては、以下の各式で示されるようなものが挙げられる。
【０１０６】

【０１０７】

【０１０８】
式中、Ｒ^１１、Ｒ^１２及びＲ^１７は、それぞれ独立に、水素、アルキル、シクロアルキル又はアリールを表す。該アルキル、シクロアルキル又はアリールは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましく、該アリールは、炭素数６〜１０程度が好ましい。
Ｒ^１３、Ｒ^１４及びＲ^１５は、それぞれ独立に、水素、アルキル、シクロアルキル、アリール又はアルコキシを表す。該アルキル、シクロアルキル、アリール、又はアルコキシは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基、で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましく、該アリールは、炭素数６〜１０程度が好ましく、該アルコキシは、炭素数１〜６程度が好ましい。
Ｒ^１６は、アルキル又はシクロアルキルを表す。該アルキル又はシクロアルキルは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、炭素数１〜６のアルコキシ基、で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましい。
Ａは、アルキレン、カルボニル、イミノ、スルフィド又はジスルフィドを表す。該アルキレンは、炭素数２〜６程度であることが好ましい。
また、Ｒ^１１〜Ｒ^１７において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。
【０１０９】
このような化合物として、具体的には、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、アニリン、２−，３−又は４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、１−又は２−ナフチルアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４′−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４′−ジアミノ−３，３′−ジメチルジフェニルメタン、４，４′−ジアミノ−３，３′−ジエチルジフェニルメタン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、Ｎ−メチルアニリン、ピペリジン、ジフェニルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２−（２−メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、２，６−イソプロピルアニリン、イミダゾール、ピリジン、４−メチルピリジン、４−メチルイミダゾール、ビピリジン、２，２′−ジピリジルアミン、ジ−２−ピリジルケトン、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ビス（２−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジルオキシ）エタン、４，４′−ジピリジルスルフィド、４，４′−ジピリジルジスルフィド、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、２，２′−ジピコリルアミン、３，３′−ジピコリルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３−（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、及びコリンなどを挙げることができる。
【０１１０】
さらには、特開平１１−５２５７５号公報に開示されているような、ピペリジン骨格を有するヒンダードアミン化合物をクエンチャーとすることもできる。
【０１１１】
本発明のレジスト組成物は、その全固形分量を基準に、樹脂を８０〜９９.９重量％程度、そして酸発生剤を０.１〜２０重量％程度の範囲で含有するのが好ましい。本発明において、式（Ｉ）のスルホニウム塩と，式（IIa）のトリフェニルスルホニウム塩及び式（IIｂ）のヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩を酸発生剤として併用する場合、両者は通常、９：１〜１：９程度、さらには８：２〜２：８程度の重量割合で用いるのが好ましい。また、クェンチャーとしての塩基性化合物を用いる場合は、レジスト組成物の全固形分量を基準に、０.０１〜１重量％程度の範囲で含有するのが好ましい。この組成物はまた、必要に応じて、増感剤、溶解抑止剤、他の樹脂、界面活性剤、安定剤、染料など、各種の添加物を少量含有することもできる。
【０１１２】
本発明のレジスト組成物は、通常、上記の各成分が溶剤に溶解された状態でレジスト液組成物とされ、シリコンウェハーなどの基体上に、スピンコーティングなどの常法に従って塗布される。ここで用いる溶剤は、各成分を溶解し、適当な乾燥速度を有し、溶剤が蒸発した後に均一で平滑な塗膜を与えるものであればよく、この分野で一般に用いられている溶剤が使用しうる。例えば、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのようなグリコールエーテルエステル類、乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチルのようなエステル類、アセトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン及びシクロヘキサノンのようなケトン類、γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などを挙げることができる。これらの溶剤は、それぞれ単独で、又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【０１１３】
基体上に塗布され、乾燥されたレジスト膜には、パターニングのための露光処理が施され、次いで脱保護基反応を促進するための加熱処理を行った後、アルカリ現像液で現像される。ここで用いるアルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であることができるが、一般には、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液が用いられることが多い。
【０１１４】
また、本発明記載のスルホニウム塩と増感剤とともに使用でき、カチオン重合性化合物の重合開始剤組成物として使用できる。
【０１１５】
本発明における増感剤としてはスルホニウム塩の光反応を促進するものを指す。例えば、水素ラジカルを容易に放出する化合物、ラジカル重合禁止剤、スルホニウム塩の光反応過程でスルホニウム塩と反応し、結果的にプロトンを放出する化合物、電子供与体等が挙げられる。
具体的には、例えば、フェノチアジン、２−エチルアントラキノン等のアントラキノン誘導体、９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン等の９，１０−ジアルコキシアントラセン誘導体、チオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２−塩化チオキサントン等のチオキサントン誘導体、Ｎ−エチルカルバゾール等のカルバゾール誘導体、１−ナフトール、２−メトキシナフタレン等の少なくとも一つの水酸基またはアルコキシ基を有するナフタレン誘導体が挙げられる。
【０１１６】
本発明の重合開始剤組成物におけるスルホニウム塩と増感剤の配合割合は、スルホニウム塩１０部に対して、増感剤０．００５部〜１０部、好ましくは０．０１部〜５部である。
【０１１７】
カチオン重合性化合物とは、生長鎖がカルボニウムイオンやオキソニウムイオンのようにカチオンである付加重合を行うことのできるモノマーのことを指し、例えばビニル化合物、シクロアルカン化合物、環状エーテル化合物、ラクトン化合物、アルデヒド化合物等が挙げられる。
上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。
【０１１８】
【実施例】
次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す％及び部は、特記ないかぎり重量基準である。また、重量平均分子量は、ポリスチレンを標準品として、ゲルパーミェーションクロマトグラフィーにより求めた値である。
【０１１９】
酸発生剤合成例１：酸発生剤A1の合成
（１）四つ口フラスコにテトラヒドロチオフェン７０．１７部、アセトン７５０部を仕込み、ここに１−ブロモピナコロン１５０部を滴下し、室温で２４時間攪拌した。析出した結晶を濾取し、tert−ブチルメチルエーテル１００部で洗浄し、乾燥することにより、３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムブロミド１６１．３部を得た。
（２）四つ口フラスコに（１）で得られた３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムブロミド１１．６７部とクロロホルム７０部を仕込み、ここにトリフルオロメタンスルホンイミド１０部を添加し、５度で１８時間攪拌した。その後濃縮を行い、ここに、tert−ブチルメチルエーテルを加え析出させた。メタノールで再溶解後、再度濃縮を行い、tert−ブチルメチルエーテルへチャージを添加することにより、目的物１３．９７部を得た。この化合物が次式で示される３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムトリフルオロ−Ｎ−［（トリフルオロメチル）スルホニル］メタンスルホンアミダートであることを、ＮＭＲ（日本電子製“GX-270”）及びＭＳで確認した。
【０１２０】

【０１２１】
¹Ｈ−ＮＭＲ(クロロホルム−d、内部標準物質テトラメチルシラン)：δ（ppm）
1.24 (s, 9H); 2.26−2.54 (m, 4H) 3.47−3.73 (m, 4H); 4.96 (s, 2H).
【０１２２】
¹⁹Ｆ−ＮＭＲ(クロロホルム−d、外部標準物質ヘキサフルオロベンゼン)：δ（ppm）-84.00 (s).
【０１２３】
ＭＳ（ＥＳＩ（+）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ 187.2
ＭＳ（ＥＳＩ（-）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ- 280.0
【０１２４】
酸発生剤合成例２：酸発生剤A2の合成
合成例１（２）に記載のトリフルオロメタンスルホンイミドの替わりにビス（ペンタフルオロエタンスルホニル）イミドリチウム塩を用いることで目的物を得た。この化合物が次式で示される３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］エタンスルホンアミダートであることを、ＮＭＲ（日本電子製“GX-270”）及びＭＳで確認した。
【０１２５】

【０１２６】
¹Ｈ−ＮＭＲ(ＤＭＳＯ−d、内部標準物質テトラメチルシラン)：δ（ppm）
1.15 (s, 9H); 2.10−2.28 (m, 4H) 3.31−3.40 (m, 4H); 4.85 (s, 2H).
【０１２７】
¹⁹Ｆ−ＮＭＲ(ＤＭＳＯ−d、外部標準物質ヘキサフルオロベンゼン)：δ（ppm）-83.38 (s, 6F); -122.23 (s, 4F).
【０１２８】
ＭＳ（ＬＣ／ＥＳＩ（+）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ 187.2
ＭＳ（ＬＣ／ＥＳＩ（-）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ- 379.8
【０１２９】
酸発生剤合成例３：酸発生剤A3の合成
合成例１（１）に記載の１−ブロモピナコロンの替わりに２−ブロモアセトフェノンを用いることで２−オキソ−２−フェニルエチルチアシクロペンタニウムブロミドを得た。
（２）合成例１（２）に記載の３,３−ジメチル−２−オキソブチルチアシクロペンタニウムブロミドの替わりに２−オキソ−２−フェニルエチルチアシクロペンタニウムブロミドを、トリフルオロメタンスルホンイミドの替わりにビス（ペンタフルオロエタンスルホニル）イミドリチウム塩を用いることで目的物を得た。この化合物が次式で示される２−オキソ−２−フェニルエチルチアシクロペンタニウムパーフルオロ−Ｎ−［（パーフルオロエチル）スルホニル］エタンスルホンアミダートであることを、ＮＭＲ（日本電子製“GX-270”）及びＭＳで確認した。
【０１３０】

【０１３１】
¹Ｈ−ＮＭＲ(ＤＭＳＯ−d、内部標準物質テトラメチルシラン)：δ（ppm）
2.12−2.35 (m, 4H) ; 3.43−3.64 (m, 4H); 5.31 (s, 2H) ;7.60−7.67（m，2H）；7.74−7.81（m, 1H）;7.99−8.03（m, 1H）.
【０１３２】
¹⁹Ｆ−ＮＭＲ(ＤＭＳＯ−d、外部標準物質ヘキサフルオロベンゼン)：δ（ppm）-83.38 (s, 6F); -122.23 (s, 4F).
【０１３３】
ＭＳ（ＬＣ／ＥＳＩ（+）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ 207.2
ＭＳ（ＬＣ／ＥＳＩ（-）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ- 380.0
【０１３４】
樹脂合成例１：樹脂Ｂ１の合成
メタクリル酸２−エチル−２−アダマンチル、メタクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチル、及びα−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンを、５：２.５：２.５のモル比（２０.０部：９.５部：７.３部）で仕込み、全モノマーに対して２重量倍のメチルイソブチルケトンを加えて、溶液とした。そこに、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマー量に対して２モル％添加し、８０℃で約８時間加熱した。その後、反応液を大量のヘプタンに注いで沈殿させる操作を３回行い、精製した。その結果、重量平均分子量が約 9,200の共重合体を得た。この共重合体を樹脂B１とする。
【０１３５】
次に、以下の酸発生剤Ｃ１を用いてレジスト組成物を調製し、評価した例を示す。
酸発生剤Ｃ１：４−メチルフェニルジフェニルスルホニウムパーフルオロ−オクタンスルホナート
【０１３６】
実施例１〜３及び比較例１
表１に示す樹脂、酸発生剤を、以下に示す各成分と混合し、さらに孔径０.２μmのフッ素樹脂製フィルターで濾過してレジスト液を調製した。
樹脂：１０部（種類は表１のとおり）
酸発生剤：種類と量は、表１のとおり。

【０１３７】
Brewer社製の“DUV-30J”を塗布し、２１５℃、６０秒の条件でベークして厚さ１,６００Åの有機反射防止膜を形成させたシリコンウェハーに、上記のレジスト液を乾燥後の膜厚が０.３３５μmとなるようにスピンコートした。レジスト液塗布後は、ダイレクトホットプレート上にて表１に示す温度で６０秒間プリベークした。こうしてレジスト膜を形成したウェハーに、ＡｒＦエキシマステッパー〔(株)ニコン製の“NSR ArF”、NA=0.55、σ=0.6〕を用い、露光量を段階的に変化させてラインアンドスペースパターンを露光した。露光後は、ホットプレート上にて表１に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行い、さらに２.３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間のパドル現像を行った。現像後のパターンを走査型電子顕微鏡で観察し、実効感度及び解像度を調べた。また、石英ガラスウェハー上に、上記のレジスト液を塗布して、上記と同様の条件でプリベークを行った後の膜厚が０.３３５μmとなるようにレジスト膜を形成させ、このレジスト膜の１９３nmにおける透過率を分光光度計で測定した。評価結果を表２に示した。
【０１３８】
実効感度：０.１８μmのラインアンドスペースパターンが１：１となる最少露光量で表示した。
解像度：実効感度の露光量で分離するラインアンドスペースパターンの最小寸法で表示した。
【０１３９】
孤立ラインの解像度：実効感度の露光量で形状を保つ、孤立ラインパターンの最小寸法で表示した。孤立ラインパターンとは、実効感度の露光量でラインの幅とスペースの幅との比が、１：３以上離れているパターンである。
【０１４０】
【表１】

【０１４１】
【表２】

【０１４２】
表２に示されるように、実施例のレジスト組成物は、レジストとして機能し、比較例にくらべて透過率の低下もなく、孤立パターンの解像性が向上している。
【０１４３】
【発明の効果】
本発明のスルホニウム塩は、化学増幅型ポジ型レジストに好適に使用でき、その化学増幅型ポジ型レジスト組成物は、孤立パターンの解像度が著しく改善され、感度、解像度などのレジスト諸性能も良好である。したがって、この組成物は、ＫｒＦエキシマレーザーやＡｒＦエキシマレーザーなどを用いたリソグラフィに適しており、それによって高い性能のレジストパターンを与える。

Claims

下記いずれかの構造式で表されるスルホニウム塩。
請求項１に記載のスルホニウム塩及び酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリに可溶となる樹脂を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
請求項１に記載のスルホニウム塩と、
下式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩、下式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩及び下式（IIc）で示されるトリフェニルスルホニウム塩からなる群から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを含む酸発生剤、
並びに、酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリに可溶となる樹脂を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

（式中、Ｐ^１〜Ｐ^３は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ^６ＳＯ^３−は、有機スルホナートイオンを表す。）

（式中、Ｐ^４、Ｐ^５は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ^７ＳＯ^３−は、有機スルホナートイオンを表す。）

（式中、Ｐ^８〜Ｐ^１０は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ^１１、Ｐ^１２は、それぞれ独立に炭素数１〜４のパーフルオロアルキル基を表す。）
オニウム塩が、式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩である請求項３記載の化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

（式中、Ｐ^１〜Ｐ^３は、互いに独立に、水素、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ^６ＳＯ^３−は、有機スルホナートイオンを表す。）
請求項１に記載のスルホニウム塩と、式（IIa）のトリフェニルスルホニウム塩、式（IIb）のジフェニルヨードニウム塩及び式（IIc）のトリフェニルスルホニウム塩からなる群から選ばれた少なくとも１種のオニウム塩とが、９：１〜１：９の重量割合で存在する請求項２〜４のいずれか記載の組成物。
樹脂中の酸に不安定な基を持つ重合単位の含有率が、１０〜８０モル％である請求項２〜５のいずれかに記載の組成物。
樹脂中の酸に不安定な基を持つ重合単位が、（メタ）アクリル酸２−アルキル−２−アダマンチル及び／又は（メタ）アクリル酸１−（１−アダマンチル）−１−アルキルアルキルの重合単位である請求項２〜６のいずれかに記載の組成物。
樹脂がさらに、ｐ−ヒドロキシスチレンの重合単位、ｍ−ヒドロキシスチレンの重合単位、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、（メタ）アクリル酸３、５−ジヒドロキシ−１−アダマンチルの重合単位、ラクトン環がアルキルで置換されていてもよい（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンの重合単位、下式（IIIa）で示される脂環式ラクトンの重合単位、及び（IIIｂ）で示される脂環式ラクトンの重合単位、からなる群から選ばれた少なくとも１種の重合単位を含有する請求項２〜７のいずれかに記載の組成物。

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は、互いに独立に水素、メチル又はトリフルオロメチルを表し、ｎは１〜３の数を表す。ｎが複数のときは、Ｒ^２は、互いに同一でも異なってもよい。）
さらに、アミン類をクェンチャーとして含有する請求項２〜８のいずれかに記載の組成物。
さらに溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び／又はγ−ブチロラクトンを含有することを特徴とする請求項２〜９のいずれか記載の組成物。
以下の工程を有するパターン形成方法。
（１）請求項２〜１０のいずれか記載の組成物が基体上に塗布される工程
（２）塗布された組成物が乾燥される工程
（３）乾燥されて得られたレジスト膜にパターニングのための露光処理が施される工程
（４）脱保護基反応を促進するための加熱処理工程
（５）アルカリ現像液での現像工程