JP4220932B2 - 半導体集積回路の設計支援方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態1である半導体集積回路の設計支援方法におけるトランジスタレイアウト生成図を示す。
図2は本発明の実施形態2である半導体集積回路の設計支援方法のトランジスタレイアウト生成図である。
図3は本発明の実施形態3である半導体集積回路の設計支援方法のトランジスタレイアウト生成図である。
図4は本発明の実施形態4である半導体集積回路の設計支援方法のトランジスタレイアウト生成図である。
図5は本発明の実施形態5である半導体集積回路の設計支援方法におけるトランジスタレイアウト生成図である。
次に、本発明の実施形態6である半導体集積回路の設計支援方法を説明する。
ODB1、2、ODC1
ODD1、2、ODE1〜3 分離領域規定レイヤー
GAA1、GAB1、GAC1
GAD1〜3、
GAE1、2、 ゲート電極規定レイヤー
ODBL2、3、ODCL1〜4 ライン
GADD1、2
Lfig1〜3
LfigD1〜3 フィンガー長
Lsep1〜3 対抗分離領域長
Claims (6)
- 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤー及び前記トランジスタのゲート電極を規定するレイヤーを生成するレイアウト時に、前記隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤーとして、少なくとも製造プロセスから許される最小の長さを規定するレイヤーと、前記トランジスタの電流減少量が所定の基準値となるレイヤーとを表示する工程を有し、
前記分離領域を規定する複数のレイヤー相互間では、前記ゲート電極から自己のレイヤーの端までの距離が異なる
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤー及び前記トランジスタのゲート電極を規定するレイヤーを生成するレイアウト時に、前記隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定する1つのレイヤーを表示すると共に、前記分離領域を規定するレイヤーの端と並行に、前記分離領域の端を指示するラインとして、少なくとも製造プロセスから許される最小の長さを規定するラインと、前記トランジスタの電流減少量が所定の基準値となるラインとを表示する工程を有し、
前記分離領域を規定するレイヤーの端と前記ラインとの相互間では、前記ゲート電極からの距離が異なる
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤー及び前記トランジスタのゲート電極を規定するレイヤーを生成するレイアウト時に、前記隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定する1つのレイヤーを表示すると共に、前記トランジスタの特性に応じて、前記分離領域を規定するレイヤーの端と並行に、少なくとも製造プロセスから許される最小の長さを規定する色分け表示と、前記トランジスタの電流減少量が所定の基準値となる色分け表示とを行う工程を有し、
前記分離領域を規定するレイヤーの端と前記複数の色分け表示の境界線との相互間では、前記ゲート電極からの距離が異なる
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤー及び前記トランジスタのゲート電極を規定するレイヤーを生成するレイアウト時に、前記隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定する1つのレイヤーを表示すると共に、前記トランジスタの特性に応じて、前記分離領域を規定するレイヤーの端と並行に、前記分離領域を規定するレイヤーの上下左右の端のうち前記ゲート電極と直行する方向の端から所定距離を隔てて、ラインを表示する工程を有し、
前記ラインは、対向する他のトランジスタの分離領域の端を指示し、
前記ラインの表示は、トランジスタの特性に応じて、前記分離領域の前記ゲート電極と直行する方向の端からの距離が異なる複数のラインの表示であり、
前記複数のラインは、少なくとも製造プロセスから許される最小の長さを規定するラインと、前記トランジスタの電流減少量が所定の基準値となるラインとを含む
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤー及び前記トランジスタのゲート電極を規定するレイヤーを生成するレイアウト時に、
前記隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤーを生成する工程と、
前記生成された分離領域を規定するレイヤーを、前記隣接するトランジスタの特性に応じて、前記隣接するトランジスタ間に存在する分離領域をなくすように拡張する工程とを有する
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 半導体基板上に多数のトランジスタ及び配線を集積して構成される半導体集積回路をCADツールを用いて設計する半導体集積回路の設計支援方法であって、
デザインルールを変更して元レイアウトデータを目標レイアウトデータに変更する時に、
隣接するトランジスタ同士の分離領域を規定するレイヤーを生成する工程と、
前記生成された分離領域を規定するレイヤーを、前記隣接するトランジスタの特性に応じて、前記隣接するトランジスタ間に存在する分離領域をなくすように拡張する工程とを有する
ことを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。
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