JP4213998B2 - Adhesive resin composition and film adhesive using the same - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide-based adhesive resin composition which is excellent in low temperature adhesion, heat resistance and low moisture absorption and also in hygroscopic reflow resistance; a film adhesive comprising the above resin composition which is suitable for sticking a semiconductor element to a substrate; and a semiconductor device which uses the above adhesive. <P>SOLUTION: The adhesive resin composition comprises (A) a polyimide-based resin obtained by reacting a diamine component comprising an aromatic diamine expressed by formula (1) and a specific silicone-based diamine with a tetracarboxylic acid dianhydride and (B) a thermosetting resin. The thermosetting resin is preferably an epoxy resin. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【００１３】
下記一般式（２）で表されるジアミンとを含むジアミン成分に、
【化５】

（上式中、Ｒ１、Ｒ６は二価の炭素数１〜４の脂肪族基または芳香族基を表し、Ｒ２〜Ｒ５は一価の脂肪族基または芳香族基を表し、ｎは０〜２０の整数を表わす。）
テトラカルボン酸二無水物を反応させて得られるポリイミド系樹脂、及び
（Ｂ）熱硬化性樹脂
を含有してなる。
【００１４】
前記式（１）で表されるジアミンが、下記式（３）で表されるジアミンであることは、本発明の好ましい態様である。
【化６】

【００１５】
また、前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であること、さらには、前記接着剤樹脂組成物がエポキシ樹脂硬化剤を含有することは、本発明の好ましい態様である。
【００１６】
またさらに、前記接着剤樹脂組成物が無機物質フィラーを含有することは、本発明の好ましい態様である。
【００１７】
本発明により、前記接着剤樹脂組成物からなるフィルム状接着剤が提供される。フィルム状接着剤は、該接着剤樹脂組成物が耐熱性フィルムの片面あるいは両面に積層させられたものであってもよい。
【００１８】
また、本発明により、前記接着剤樹脂組成物又はフィルム状接着剤により半導体素子が支持部材に接着させてなる半導体装置が提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明で用いるポリイミド系樹脂（Ａ）は、下記式（１）で表されるジアミン（以下芳香族ジアミンと言うことがある。）と、
【化７】

【００２０】
下記一般式（２）で表されるジアミン（以下シリコーン系ジアミンと言うことがある。）とを含むジアミン成分に、
【化８】

（上式中、Ｒ１、Ｒ６は二価の炭素数１〜４の脂肪族基または芳香族基を表し、Ｒ２〜Ｒ５は一価の脂肪族基または芳香族基を表し、ｎは０〜２０の整数を表わす。）
テトラカルボン酸二無水物を反応させて得られる特定構造の樹脂である。
【００２１】
上記式（１）で表されるジアミンは、芳香族系のジアミンとしてはアミン間距離が長いため、イミド基密度を減じることができ、低吸湿性に優れる。具体的な化合物としては、１，３−ビス（３−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−（２−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（２−（２−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（２−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，２−ビス（３−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，２−ビス（３−（２−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，２−ビス（２−（２−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン、１，２−ビス（２−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼンがあげられる。
【００２２】
これらの中では、合成されてなるポリイミドのガラス転移温度（Ｔｇ）を低くでき、低温接着性が改善できる点で、下記式（３）で表される１，３−ビス（３−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼンが好ましい。
【化９】

【００２３】
また、上記一般式（２）で表されるシリコーン系ジアミンにおいて、Ｒ１、Ｒ６は二価の炭素数１〜４の脂肪族基または芳香族基であり、具体的には炭素数３の脂肪族基や−Ｂｚ−Ｏ−（ＣＨ₂）₄−（Ｂｚはベンゼン環）構造が挙げられる。これらのなかでも、半導体装置組み立て工程（最大温度約２６０℃）において十分な耐熱性があり、市販、量産されており、入手が容易な点で、炭素数３の脂肪族基のものが好ましい。
【００２４】
上記一般式（２）で表されるシリコーン系ジアミンにおいて、Ｒ２〜Ｒ５は一価の脂肪族基または芳香族基であり、具体的にはメチル基、フェニル基が挙げられる。これらのなかでもフェニル基は芳香族系の熱硬化性樹脂との相溶性の点で好ましいが、シリコーン構造の片側のみにベンゼン環が結合した構造は、近年環境ホルモンとの関係が問題視されているので、一般的なメチル基が好ましい。
【００２５】
式（２）で表されるシリコーン系ジアミンもポリイミド系樹脂を低Ｔｇ化するのに有効であり、その鎖長や添加量で制御することができる。ｎは０〜２０の整数であることが好ましいが、ｎが２０に近い長鎖の構造のものは接着性を低下させる傾向のあることが知られており、接着性の点でｎは１〜１０の整数がより好ましい。
【００２６】
シリコーン系ジアミンの具体例としては、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン、ω，ω'−ビス（２−アミノエチル）ポリジメチルシロキサン、ω，ω'−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン、ω，ω'−ビス（４−アミノフェニル）ポリジメチルシロキサン、ω，ω'−ビス（４−アミノ−３−メチルフェニル）ポリジメチルシロキサン、ω，ω'−ビス（３−アミノプロピル）ポリジフェニルシロキサン等があげられるが、これらには限定されない。
【００２７】
上記芳香族ジアミンとシリコーン系ジアミンを含むジアミン成分中のシリコーン系ジアミンの割合は、全ジアミン成分中１〜９０ｍｏｌ％であることが好ましい。特に低温接着性を重視する点で、２０〜９０ｍｏｌ％がさらに好ましい。芳香族ジアミンの割合は、全ジアミン成分中９９〜１０ｍｏｌ％であることが好ましく、８０〜１０ｍｏｌ％であることがより好ましい。
【００２８】
接着剤の低温接着性を向上させるには、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）を下げることが必要である。Ｔｇは、ジアミン成分と反応させる酸無水物の構造、ジアミン成分中に含有するジアミンの構造、特に式（２）で表されるシリコーン系ジアミンの鎖長や添加量でコントロールすることができる。
【００２９】
シリコーン系ジアミンを用いて得られるポリイミド系樹脂は、溶剤溶解性が良くなる、吸湿性が低くなる、ガラス、シリコンなどへの接着強度が強くなる、Ｔｇが低くなる、溶剤乾燥性がよくなるなどの改良点が認められる。しかし一方で、ガラス、シリコンなど以外への接着強度が低下するなどの欠点もあり、接着剤樹脂組成物としては芳香族ジアミンを添加することが好ましい。
【００３０】
前記式（１）及び（３）で表される芳香族ジアミンを配合したジアミン成分を用いて得られるポリイミド系樹脂は、イミド密度が低いことによる低吸湿性、特に式（３）の芳香族系ジアミンでは、柔軟な骨格構造による低Ｔｇ化がはかれるという利点があり、式（２）で表されるシリコーン系ジアミンと組み合わせることで、従来のポリイミド系樹脂よりも低温接着性と低吸湿性が改善されたものを得ることができる。
【００３１】
シリコーン系ジアミンの添加量は、ガラス、シリコンなどの被着体への接着強度向上のみが目的の場合は、全ジアミン中数ｍｏｌ％で十分である。より低い温度での接着性を改善したい場合は、接着温度に応じ数１０ｍｏｌ％までの量で添加してもよい。
【００３２】
本発明においては、前記ジアミンに加えて、必要に応じ、本発明の目的を損ねない範囲で他のジアミンを添加してもよい。
【００３３】
他のジアミンとしては、特に限定されるものではないが、例えば、１，２−ジアミノエタン、１，３−ジアミノプロパン、１，４−ジアミノブタン、１，５−ジアミノペンタン、１，６−ジアミノヘキサン、１，７−ジアミノヘプタン、１，８−ジアミノオクタン、１，９−ジアミノノナン、１，１０−ジアミノデカン、１，１１−ジアミノウンデカン、１，１２−ジアミノドデカン等の脂肪族系ジアミン；
【００３４】
ｏ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、３，３'−ジアミノジフェニルエーテル、３，４'−ジアミノジフェニルエーテル、４，４'−ジアミノジフェニルエーテル、３，３'−ジアミノジフェニルメタン、３，４'−ジアミノジフェニルメタン、４，４'−ジアミノジフェニルメタン、３，３'−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，４'−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、４，４'−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，３'−ジアミノジフェニルスルホン、３，４'−ジアミノジフェニルスルホン、４，４'−ジアミノジフェニルスルホン、３，３'−ジアミノジフェニルスルフイド、３，４'−ジアミノジフェニルスルフイド、４，４'−ジアミノジフェニルスルフイド、３，３'−ジアミノジフェニルケトン、３，４'−ジアミノジフェニルケトン、４，４'−ジアミノジフェニルケトン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）プロパン、２，２'−（３，４'−ジアミノジフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）プロパン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−（３，４'−ジアミノジフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３'−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、３，４'−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、４，４'−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、２，２−ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−（４−アミノフエノキシ）フエニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルフイド、ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）スルフイド、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、３，３'−ジメトキシ−４，４'−ジアミノビフェニル、４，４'−メチレン−ビス（２，６−ジエチルアニリン）、ｏ−トリジンスルホン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４−メチレン−ビス（２，６−ジイソプロピルアニリン）、４，４'−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、１，１−ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）シクロヘキサン等の芳香族系ジアミンを挙げることができる。
【００３５】
本発明のポリイミド系樹脂（Ａ）は、前記ジアミンの混合物にテトラカルボン酸二無水物を反応させて得られる。本発明で用いるテトラカルボン酸二無水物としては、特に限定されるものではないが、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物、ベンゼン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、３，４，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，２'，３−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−ナフタレン−テトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレン−テトラカルボン酸二無水物、２，６−ジクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、２，７−ジクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−テトラクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、フエナンスレン−１，８，９，１０−テトラカルボン酸二無水物、ピラジン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、チオフエン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，４，３'，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，２'，３'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ジメチルシラン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メチルフェニルシラン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ジフェニルシラン二無水物、１，４−ビス（３，４−ジカルボキシフェニルジメチルシリル）ベンゼン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシクロヘキサン二無水物、ｐ−フェニルビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、エチレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、デカヒドロナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、４，８−ジメチル−１，２，３，５，６，７−ヘキサヒドロナフタレン−１，２，５，６−テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ビス（エキソ−ビシクロ〔２，２，１〕ヘプタン−２，３−ジカルボン酸無水物）スルホン、ビシクロ−（２，２，２）−オクト（７）−エン２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス〔４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４'−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルフイド二無水物、１，４−ビス（２−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸無水物）、１，３−ビス（２−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸無水物）、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、テトラヒドロフラン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、
【００３６】
下記構造のテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
【化１０】

（上式中、Ｘは三価の炭素数１〜４の脂肪族基または芳香族基を表し、Ｒは一価の脂肪族基または芳香族基を表し、ｎは０〜２０の整数を表わす。）
これらは、１種類単独でも、２種類以上を混合して用いてもよい。
【００３７】
これらのなかでも４，４'−オキシジフタル酸二無水物、３，３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、ピロメリット酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる１種類以上のテトラカルボン酸二無水物が好ましい。
【００３８】
特にポリイミド樹脂単独で耐熱性架橋構造を構築するためには、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物が有効であり、テトラカルボン酸二無水物成分中１０〜１００ｍｏｌ％の範囲にあることが好ましい。これは、カルボニル基とアミンが反応してイミン結合を形成するためと考えられる。低温接着性を可能にするためには、Ｔｇを接着温度より十分低くする必要があり、そのためには４，４'−オキシジフタル酸二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物などが好ましい。
【００３９】
テトラカルボン酸二無水物とジアミンの縮合反応は公知の方法で、有機溶媒中で行うことができる。この場合、テトラカルボン酸二無水物とジアミンは等モルもしくは略等モル、具体的にはテトラカルボン酸二無水物／ジアミンのモル比が０．９〜１．１、より好ましくは０．９５〜１．０５で用いるのが好ましく、各成分の添加順序は任意である。用い得る有機溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホリルアミド、ｍ−クレゾール、ｏ−クロルフェノール、テトラヒドラフラン等があげられる。
【００４０】
まず、ポリイミド系樹脂の前駆体であるポリアミド酸を合成する。ポリアミド酸合成の反応温度は、通常、８０℃以下、好ましくは０〜５０℃で行う。反応が進行するにつれ反応液の粘度が徐々に上昇する。次いで、ポリイミド系樹脂は、前記反応物（ポリアミド酸）を脱水閉環させて得ることができる。脱水閉環は１２０℃〜２５０℃で熱処理する方法や、その他の化学的方法を用いて行うことができる。１２０℃〜２５０℃で熱処理する方法の場合、脱水反応で生じる水を系外に除去しながら行うことが好ましい。その際、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等を用いて水を共沸除去するとよい。
【００４１】
化学的方法で脱水閉環させる場合は、閉環剤として無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸等の酸無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミド等のカルボジイミド化合物等を用いることができる。このとき必要に応じてピリジン、イソキノリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、アミノピリジン、イミダゾール等の閉環触媒を用いてもよい。閉環剤又は閉環触媒は、テトラカルボン酸二無水物１モルに対し、それぞれ１〜８モルの範囲で使用するのが好ましい。反応温度は熱イミド化の方法に比べ低温で実施できる。ポリイミド系樹脂合成後、貧溶媒に投入しポリイミド系樹脂を析出させることで、触媒などを分離することができる。
【００４２】
本発明において、ポリイミド系樹脂という表現は、１００％イミド化したポリイミド樹脂以外に、その前駆体であるポリアミド酸が一部残っている樹脂をも含んでいる。本発明において、ポリイミド系樹脂の好ましいイミド化率は９０％以上、より好ましくは９５％以上である。
【００４３】
本発明で用いる熱硬化性樹脂（Ｂ）は、ポリイミド以外の熱硬化性樹脂であって、ポリイミド系樹脂（Ａ）と少なくとも部分的に相溶するものであれば特に限定されない。熱硬化性樹脂としては、具体的には、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、ジアリルフタレート、アクリル樹脂、ベンゾオキサジン樹脂などが挙げられる。
【００４４】
熱硬化性樹脂（Ｂ）の量は、ポリイミド系樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１〜２００質量部、より好ましくは５〜１００質量部の範囲で用いることが、耐熱性に優れ、接着時の流動性も適当で、フィルム形成性がよくなる点で望ましい。
【００４５】
これらの熱硬化性樹脂のなかでも、さまざまな構造のものが市販されていて、産業上の利用範囲が広く、半導体装置の有する耐熱性の範囲内の温度条件で適度な硬化を実現でき、架橋密度なども配合割合でコントロール可能である点で、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂としては、分子内に少なくとも２個のエポキシ基を含むものであれば特に限定されない。例えばフェノールのグリシジルエーテル型のエポキシ樹脂として、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＡＤ、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦもしくはハロゲン化ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンの縮合物、フェノールノボラック樹脂のグリシジルエーテル、クレゾールノボラック樹脂のグリシジルエーテル、ビスフェノールＡノボラック樹脂のグリシジルエーテル、ジシクロペンタジエン変成フェノールノボラック樹脂のグリシジルエーテル、ビフェニル型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００４６】
エポキシ樹脂の量は、ポリイミド系樹脂（Ａ）１００質量部に対して好ましくは１〜２００質量部、より好ましくは５〜１００質量部の範囲で用いる。この範囲で用いると、耐熱性に優れ、接着時の流動性も適当で、フィルム形成性がよくなる。
【００４７】
熱硬化性樹脂（Ｂ）としてエポキシ樹脂を用いた場合、エポキシ樹脂が、ポリイミド系樹脂のポリイミド末端にある酸やアミン、完全にイミド化していないアミド酸などの官能基と反応性をもつことにより、ポリイミド系樹脂のみでは困難な耐湿熱性のある架橋構造を接着剤に付与することができる。また、エポキシ樹脂は、未硬化状態にある接着時には、低分子物質として接着剤樹脂に可塑性を付与し、樹脂の溶融粘度を低下させ、樹脂の被着体への濡れを改善し、低温接着性に寄与することなどの特長を持つ。
【００４８】
熱硬化性樹脂（Ｂ）としてエポキシ樹脂を用いた場合、本発明の樹脂組成物には、さらにエポキシ樹脂硬化剤を用いることが好ましい。エポキシ樹脂硬化剤としては、エポキシ樹脂と反応性を有し、エポキシ樹脂を硬化させることができる化合物であれば特に限定されるものではない。代表的例として、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、イミダゾール類などが挙げられる。
【００４９】
エポキシ樹脂硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂に対する当量で、同じ当量よりも少ないことが好ましい。それは未反応物として残るエポキシ樹脂硬化剤が吸湿特性を悪くするからである。
【００５０】
本発明で用いる接着剤樹脂組成物には、さらに、無機物質フィラーを配合することが好ましい。フィラーは、接着剤に低熱膨張性、低吸湿性、高弾性、高熱伝導性などを付与する。またフィルム状接着剤の強度向上にも寄与する。無機物質フィラーとしては例えば、シリカ、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミ、窒化ホウ素、チタニア、ガラス、酸化鉄、セラミック等の無機絶縁体が挙げられる。これらは、単独又は２種以上混合して用いことができる。
【００５１】
これらの無機物質フィラーの中では、半導体素子、特に放射線起因のソフトエラーに弱いメモリー類に用いられることを考慮すると、半導体封止材同様に、０．１ｐｐｂ以下のウラニウム濃度の高純度溶融シリカを使用することが好ましい。また、フィルム状接着剤の場合、フィルム厚を１０〜５０μｍと想定すると、最大粒径３μｍ程度の粒子であることが好ましい。
【００５２】
無機物質フィラーの配合量は、ポリイミド系樹脂、熱硬化性樹脂、熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂の場合にはさらにエポキシ樹脂硬化剤などを加えた樹脂成分とフィラーとを含めた全体積に対して、好ましくは０〜７０体積％、フィルムとしての柔軟性を考慮すると、より好ましくは０〜３０体積％、さらに好ましくは５〜２０体積％の範囲である。この範囲内であれば、接着性が良好に保たれる。また、電気伝導性を付与するために、金属などの導電性粒子や、異方導電粒子を添加することもできる。
【００５３】
さらに、本発明の樹脂組成物には、必要に応じ、本発明の目的を損ねない範囲で、シランカップリング剤、チタン系カップリング剤等のカップリング剤を適宜添加してもよい。カップリング剤は被着体やフィラーとの接着界面における接着強度の向上に寄与する。
【００５４】
本発明の接着剤樹脂組成物は、上記ポリイミド系樹脂（Ａ）に、熱硬化性樹脂（Ｂ）（好ましくはエポキシ樹脂）、エポキシ樹脂硬化剤などを加え、溶剤に溶解撹拌し、ワニス状にして用いることができる。ここで用いられる有機溶媒としては、上記材料を均一に溶解又は混練できるものであれば特に制限はなく、そのようなものとしては、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トルエン、ベンゼン、キシレン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ジオキサン等が挙げられる。
【００５５】
次いで、必要に応じ、無機物質フィラー及びその他の添加物等を加え混合する。この場合、通常の攪拌機、らいかい機、三本ロール、ボールミル、ビーズミル、超音波分散機、超高圧対向衝突流方式などの分散機を適宜組み合せて、混練を行ってもよい。
【００５６】
フィルム状接着剤の製造法としては、上記のワニスもしくはペースト状混合物を、例えばシリコーン系樹脂で表面処理し、剥離特性のよいＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）シートやポリオレフィン系フィルム等のベースフィルム上に均一に塗布し、使用した溶媒が充分に揮散する条件、すなわち、おおむね６０〜２００℃の温度で、１〜３０分間加熱し、単層フィルム状接着剤を得る方法が挙げられる。
【００５７】
また、耐熱性のコアフィルムや金属箔などの支持フィルムの片面もしくは両面に、上記のワニスもしくはペースト状混合物をコートし、加熱乾燥し溶剤を蒸発させ、フィルム状接着剤を作ってもよい。フィルム状接着剤の製法は上記手法に限定されるものではない。
【００５８】
本発明で得られたフィルム状接着剤は、半導体素子をパッケージの支持部材に接着するのに用いることができる。例えば、本発明のフィルム状接着剤を、半導体素子とフレキシブル基板などの支持体との接着に用いる場合、次の様な方法で接着することができる。
【００５９】
フィルム状接着剤を加熱した半導体ウエハ裏面にロール貼り付けし、ウエハ外周でフィルムを切断しフィルム状接着剤付きウエハを得る。これを接着フィルムとともにダイシングし、フィルム状接着剤付き素子を得る。次いでこれを支持体（リードフレーム、リジッド基板、フレキシブル基板、チップを積層する場合はチップ、スペーサなど）に加熱圧着する。
本発明のフィルム状接着剤の接着方法は、上に例示した方法に限定されるものではない。
【００６０】
本発明の接着剤樹脂組成物又はフィルム状接着剤を用いて半導体素子を支持部材に接着させてなる半導体装置としては、各種半導体パッケージや、基板（リジッド基板、フレキシブル基板を含む）に直接素子を接着してなる半導体装置などが挙げられる。
【００６１】
【実施例】
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００６２】
（合成例１）
温度計、攪拌機、キシレンを満たしたディーンスターク管、窒素吹き込み管を備えた３００ｍｌの五つ口フラスコに、１，３−ビス（３−（３−アミノフェノキシ）フェノキシ）ベンゼン（ＡＰＢ５、前記式（３）のジアミン）１１．９３７ｇ（ジアミン成分中４４ｍｏｌ％）、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン（ＡＰＰＳ、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製アミノ末端シリコーンＢＹ１６−８５３Ｕ、アミノ価４５３（前記式（２）のジアミン））２８．８８４ｇ（ジアミン成分中５６ｍｏｌ％）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）９８ｇ、ｍ−キシレン４２ｇをとり、窒素フロー下で５０℃に加熱し攪拌した。ジアミンの溶解後、４，４'−オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）１４．４２０ｇ、エチレングリコールビストリメリテート二無水物（ＥＧＴＡ）６．３５８ｇを少量ずつ添加した（酸無水物／アミン(モル比)＝１．００５）。窒素ガスを吹き込みながら反応系を油浴で１７０〜１８０℃に加熱し、水を共沸除去しながら１０時間保持した。最後にディーンスターク管から水とキシレンを抜き、ワニスからキシレンを除いてポリイミド系樹脂ワニス（Ｐ−１）を得た。
【００６３】
（合成例２）
芳香族ジアミンをＡＰＢ５に代えて、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＡＰＢ）の７．３２３ｇ（ジアミン成分中４４ｍｏｌ％）を用いた以外は、合成例１と同様にしてポリイミド系樹脂ワニス（Ｐ−２）を得た（酸無水物／アミン(モル比)＝１．００５）。
【００６４】
（実施例１〜３、比較例１〜３）
表１（単位は質量部）に示す配合割合でワニスを調製した。用いたエポキシ樹脂、硬化剤、フィラーは以下のものを用いた。
エポキシ樹脂：大日本インキ化学工業(株)製ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂ＨＰ７２００Ｈ（エポキシ当量２８０ｇ／ｅｑ）、
エポキシ樹脂硬化剤：四国化成工業(株)製イミダゾール硬化剤２ＰＨＺ−ＰＷ、
フィラー：(株)龍森製溶融シリカ１−ＦＸ（平均粒子径０．３μｍ）。
【００６５】
これらをポリイミド系樹脂ワニスに添加し、分散装置（(株)シンキー製「泡とり連太郎」）を用いて分散して配合ワニスを得た。なお、フィラー２５質量部は、樹脂成分を加えた全体に対して１５体積％に相当する。
【００６６】
【表１】

【００６７】
この配合ワニスを２５μｍの厚さに表面処理ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（帝人デュポンフィルム(株)製Ａ３１、厚さ５０μｍ）上に塗布し、９０℃で２０分間加熱乾燥し、フィルム状接着剤を得た。このフィルム状接着剤の物性を下記の方法により測定した結果を表２に示す。
【００６８】
ｉ）せん断接着力
ベースフィルムより剥がしたフィルム状接着剤を６ｍｍ×６ｍｍの大きさに切断し、これを５ｍｍ×５ｍｍのシリコンチップと２０ｍｍ×２０ｍｍのシリコンチップの間に挟み、荷重１０Ｎをかけて、２００℃、１秒間圧着させたのち、１８０℃、３時間無荷重で加熱硬化した。この試験片のせん断接着力を、プッシュプルゲージを用いて、２６０℃加熱３０秒後の熱時に測定した。
【００６９】
ii）吸湿率
フィルム状接着剤（２５μｍ厚）を２５枚重ねて５０ｍｍ×５０ｍｍ×０．５ｍｍの枠内にセットし、直径６ｃｍのシリンダーのプレスで２〜４ＭＰａの油圧でプレスし試験片を作成し、１２５℃で５時間乾燥後、乾燥質量を測定した。この試験片を８５℃、８５％ＲＨ（相対湿度）の環境下で１週間吸湿させ、吸湿質量を測定し吸湿率を求めた。
【００７０】
iii）ピール強度
ベースフィルムについた状態のフィルム状接着剤を５０μｍ厚のポリイミドフィルム（宇部興産(株)製ユーピレックス）に１３０℃で熱圧着し、ベースフィルムを剥離し、これを５ｍｍ幅の短冊状に切り出し、この試験片の５ｍｍ×２０ｍｍの領域の接着面を、２５ｍｍ×３０ｍｍのシリコンチップに、１１０℃、荷重２５Ｎ、２秒間の条件で接着し、無荷重で１５０℃、１分間の後加熱行った。この試験片を引っ張り試験機にセットし、定法に従い９０度ピール強度を測定した。
【００７１】
【表２】

【００７２】
以上より、合成例２で得られたポリイミド系樹脂ワニス（Ｐ−２）を用いた比較例１，２，３に比べ、合成例１で得られたポリイミド系樹脂ワニス（Ｐ−１）を用いた実施例１，２，３は、低温接着性、低吸湿性の面で優れており、耐熱性（熱時せん断接着力）は同等以上で優れた水準にあることがわかった。
【００７３】
（合成例３〜７）
反応条件を、ＮＭＰとｍ−キシレンの仕込み割合（質量比）を７：３、反応成分の固形分の仕込み割合を３０質量％、仕込み全量をフラスコ容量の７０％とした以外は合成例１と同様にして、表３に示すモル比でジアミン成分、テトラカルボン酸二無水物成分を用いポリイミド系樹脂ワニス（Ｐ−３〜Ｐ−７）を得た。
【００７４】
【表３】

【００７５】
表３中、ＢＰＤＡは３，４，３'，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ＢＡＤＡは下記構造式の酸二無水物、
【化１１】

【００７６】
ＥＧＴＡは下記構造式の酸二無水物である。
【化１２】

【００７７】
（実施例４）
Ｐ−３〜Ｐ−７のポリイミド系樹脂ワニスに、その固形分１００質量部に対して、エポキシ樹脂（三井化学(株)製テクモア(登録商標)ＶＧ３１０１Ｌ）２０質量部、エポキシ硬化剤（四国化成工業(株)製キュアゾール(登録商標)２ＭＡＯＫ−ＰＷ）１質量部、フィラー（(株)龍森製溶融シリカ１−ＦＸ(平均粒子径０．３μｍ)）２５質量部（樹脂成分を加えた全体に対して１５体積％）を加え、攪拌、分散したあと、剥離性のよい表面処理をした５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に乾燥膜厚２５μｍになるようにコートし、１１０℃５分間熱風乾燥機で乾燥して溶剤を除いたフィルム状接着剤（ワニスＰ−３〜Ｐ−７に対しそれぞれＦ−３〜Ｆ−７）を得た。
【００７８】
ベースフィルムより剥離したＦ−３〜Ｆ−７を６ｍｍ角に切り、５μｍ厚のバファーコートポリイミド膜つきの５ｍｍ角シリコン片のポリイミド面と２０ｍｍ角のシリコン片の鏡面との間にはさみ、ダイマウウント条件相当の１５０℃、荷重２．５Ｎ、１秒間圧着し、１５０℃１０分間硬化を進め、封止剤注入条件相当の１８０℃、荷重９８Ｎ、１分間の圧着を加え、さらに封止剤硬化工程相当の処理として無荷重で１８０℃３時間加熱を行った。
【００７９】
これらの試験片は、スタックパッケージのチップ間接着の模擬試験片であり、これを用いてダイシアテスター（西進商事(株)製ＳＳ−３０Ｗ）により２６０℃（鉛フリーハンダのリフロー炉最大温度相当）でのせん断強度を測定した結果を表４に示した。
【００８０】
【表４】

これらのフィルム状接着剤では、ポリイミド系樹脂とエポキシ樹脂との相溶性がよく、酸無水物構造によらず良好な接着強度（せん断強度）が得られることが確認できた。
【００８１】
（実施例５）
Ｐ−１のポリイミド系樹脂ワニスに、その固形分１００質量部に対して、エポキシ樹脂（三井化学(株)製テクモア(登録商標)ＶＧ３１０１Ｌ）２０質量部、エポキシ硬化剤（四国化成工業(株)製キュアゾール(登録商標)２ＭＡＯＫ−ＰＷ）０．５質量部、フィラー（(株)龍森製溶融シリカ１−ＦＸ）２５質量部（樹脂成分を加えた全体に対して１５体積％）を配合し、攪拌機、分散機、脱泡機、ろ過機を通したあと、精密コーターを用いて剥離性のよい表面処理をした５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に乾燥膜厚２５μｍになるように２７０ｍｍ幅にコートし、１１０℃、５分間保持し乾燥した。これを２４０ｍｍ幅にスリットしてフィルム状接着剤の形成された接着フィルムの巻物を得た。
【００８２】
この接着フィルムを、ウエハ表面保護テープ貼り機（(株)タカトリ製ＤＭ８００Ａ）を用いて貼り付けテストをしたところ、９０℃以上で貼り付けることができた。後加熱として１５０℃で１分間以上無荷重で加熱するとフィルムとウエハのなじみをより改善できた。
【００８３】
また、この接着剤つき１５０μｍ厚ウエハをＵＶタイプのダイシングテープにマウントして、ダイサーで接着剤ごとダイシングしたところ、良好にダイシングできた。ダイシング条件は８０ｍｍ／ｓ、３００００ｒｐｍ、切り込み２０μｍ、ダイシングテープはリンテック社Ｄ−６５０を用いた。
【００８４】
このダイシングにより８．５ｍｍ角のチップを切り出し、これを乾燥した樹脂基板（ＢＴレジン製基板、接着面は太陽インキ製造(株)製ソルダーレジストＰＳＲ４０００ＡＵＳ５で処理済みのもの）に９５℃、１０秒間、圧力０．１８ＭＰａでマウントし、後加熱１５０℃、無荷重で３０分間硬化を進めた。次いで、アルゴン減圧プラズマで基板表面をクリーニングした後、１５０℃にてチップ、基板間を超音波ワイヤボンディングでボンディングした。
【００８５】
続いて１７５℃、３分間、圧力１０ＭＰａの条件で封止樹脂（日立化成工業(株)製ＣＥＬ９０００）をもちい基板を一括封止し、後加熱を１７５℃、６時間行い封止樹脂を完全に硬化させた。さらに鉛フリーのハンダボールを最高温度２６０℃のリフロー工程でマウントし、一括モールドした基板をダイシングで個片化して、半導体装置を得た。
【００８６】
この半導体装置を、ＩＰＣの吸湿リフローテストの手順に従ってテストしたところ、吸湿レベル２（８５℃／８５％ＲＨ、１６８時間）、最高温度２６０℃のリフロー工程において半導体装置に剥離やクラックが生じなかった。
【００８７】
また１２．８×８．５ｍｍ角のチップを基板にマウントし、続けてそのチップ上に８．５ｍｍ角のチップをマウントして、前記と同様に硬化加熱、プラズマクリーニング、ワイヤボンディング、樹脂封止をへてチップを２段積層した半導体装置を試作した。
【００８８】
この半導体装置についても、ＩＰＣの吸湿リフローテストのレベルを調べたところ、吸湿レベル２（８５℃／８５％ＲＨ、１６８時間）と最高温度２６０℃のリフロー工程において半導体装置に剥離やクラックが生じなかった。
【００８９】
以上のように、本発明の接着性樹脂からなるフィルム状接着剤は、１００℃以下のマイルドな条件でも半導体実装工程で使うことができ、薄いウエハや基板の加熱による反りなどの問題を解消した上で、高い吸湿リフローテストのレベルをもつことが示された。
【００９０】
【発明の効果】
本発明の接着剤樹脂組成物およびそれを用いたフィルム状接着剤は、低温接着性、耐熱性に優れており、吸湿率も低く、耐吸湿リフロー性にも優れているので、これを用いれば、半導体素子をパッケージや基板に低温で接着でき、なおかつ高い接着信頼性が得られる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a polyimide-based adhesive resin composition having a specific structure useful in the semiconductor field, a film-like adhesive comprising the resin composition and suitable for adhering a semiconductor element to a support, and the film-like adhesive. The present invention relates to a semiconductor device using
[0002]
TECHNICAL BACKGROUND OF THE INVENTION
In recent years, a film-like adhesive called a die attach film has been used to bond a semiconductor element to a support. This film adhesive has superior controllability of thickness and protrusion compared to conventional paste adhesives, so it has a small mounting area (high density mounting) such as chip size package, stack package, and system in package. Is widely used.
[0003]
In such high-density packaging, chip thinning has progressed, and when attaching a die attach film to a wafer with a thickness of 100 μm or less, the surface protection applied when the wafer is thinned to prevent wafer damage. This is done with the tape still attached. However, the wafer surface protective layer (such as a buffer coat film such as polyimide) and the surface protective tape change in quality due to heating in the die attaching film attaching process and cause warpage of the wafer. In some cases, problems such as transportation occurred. Therefore, there has been a demand for a die attach film that can be bonded at a lower temperature (hereinafter referred to as low temperature adhesiveness).
[0004]
Also, in the die mounting process, the substrate tends to become thinner as the semiconductor device becomes thinner. If the heating temperature in the thermocompression bonding process at the die mounter is high, the large substrate for batch sealing is thinned. A warping phenomenon occurs as in the case of a wafer, and a die attach film having good low-temperature adhesion has been demanded even in this process.
[0005]
In thin, high-density, surface-mount packages, the moisture absorption rate of the substrate material is high, the moisture permeability of the IC package is increased along with the reduction in thickness and size, and the lead-free high melting point in consideration of the environment. Due to the change to solder, the die attach material part is easily peeled off in the moisture absorption reflow test. Accordingly, there has been a demand for an adhesive having high moisture absorption reflow resistance while satisfying the low-temperature adhesiveness as described above.
[0006]
In order to obtain an adhesive capable of bonding a metal foil and a heat-resistant support material at a relatively low temperature, JP-A-5-25453 discloses an aromatic tetracarboxylic acid mainly composed of biphenyltetracarboxylic acid. A heat-resistant resin adhesive containing a polyimide siloxane, an epoxy compound, and an epoxy curing agent obtained from a component and a diamine component comprising a diaminopolysiloxane having a specific structure and an aromatic diamine as a resin component is disclosed.
[0007]
In addition, in order to obtain a film adhesive having excellent heat resistance and low-temperature processability, JP-A-7-242820 discloses a polyimide resin having an glass transition temperature of 350 ° C. or lower, an epoxy compound, and the epoxy compound. A heat-resistant resin composition having a compound having a reactive active hydrogen group as a main component is disclosed. This composition also shows that a diaminosiloxane compound having a specific structure is used for producing a polyimide resin.
[0008]
For the same purpose, JP-A-7-242821 discloses an acid component mainly composed of 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, a diaminosiloxane compound having a specific structure and 1,3-bis (3-amino). (Phenoxy) A heat-resistant resin mainly composed of a polyimide resin having a glass transition temperature of 350 ° C. or less and an amine component mainly composed of benzene, and an epoxy compound and a compound having an active hydrogen group capable of reacting with the epoxy compound. A composition is disclosed.
[0009]
Furthermore, JP 2000-143981 A discloses a resin composition containing a polyimide resin obtained from an ester dianhydride having a specific structure, an aromatic diamine having a specific structure, and a siloxane diamine having a specific structure, and an epoxy resin. Is disclosed. This resin composition is said to be a resin composition that is excellent in low water absorption, solder heat resistance, heat resistance, and adhesiveness and can be bonded at a low temperature.
[0010]
It is difficult for the properties of the resin composition used as these adhesives to satisfy all levels, and development research is still underway. In particular, when film adhesives and peripheral members absorb excessive moisture, when the semiconductor device is mounted on a mother board or the like at a high temperature (reflow process), the moisture expands thermally and causes swelling and peeling, resulting in high adhesive strength. In addition to this, the moisture absorption rate was required to be low.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention is a polyimide adhesive resin composition excellent in low-temperature adhesiveness, heat resistance, low moisture absorption, moisture absorption reflow resistance, and a film suitable for adhering a semiconductor element comprising the resin composition to a support. An object is to provide an adhesive and a semiconductor device using the adhesive.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The adhesive resin composition according to the present invention includes (A) a diamine represented by the following formula (1),
[Formula 4]

[0013]
In the diamine component containing the diamine represented by the following general formula (2),
[Chemical formula 5]

(In the above formula, R 1 and R 6 represent a divalent C 1-4 aliphatic group or aromatic group, R 2 to R 5 represent a monovalent aliphatic group or aromatic group, and n represents 0 to 20 Represents an integer.)
A polyimide resin obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride, and
(B) Thermosetting resin
It contains.
[0014]
It is a preferred embodiment of the present invention that the diamine represented by the formula (1) is a diamine represented by the following formula (3).
[Chemical 6]

[0015]
Moreover, it is a preferable aspect of this invention that the said thermosetting resin is an epoxy resin, and that the said adhesive resin composition contains an epoxy resin hardening | curing agent.
[0016]
Furthermore, it is a preferred embodiment of the present invention that the adhesive resin composition contains an inorganic filler.
[0017]
According to the present invention, there is provided a film adhesive comprising the adhesive resin composition. The film adhesive may be one in which the adhesive resin composition is laminated on one side or both sides of a heat resistant film.
[0018]
The present invention also provides a semiconductor device in which a semiconductor element is bonded to a support member with the adhesive resin composition or the film adhesive.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The polyimide resin (A) used in the present invention is a diamine represented by the following formula (1) (hereinafter sometimes referred to as an aromatic diamine);
[Chemical 7]

[0020]
In a diamine component containing a diamine represented by the following general formula (2) (hereinafter sometimes referred to as a silicone-based diamine),
[Chemical 8]

(In the above formula, R 1 and R 6 represent a divalent C 1-4 aliphatic group or aromatic group, R 2 to R 5 represent a monovalent aliphatic group or aromatic group, and n represents 0 to 20 Represents an integer.)
It is a resin having a specific structure obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride.
[0021]
Since the diamine represented by the above formula (1) has a long inter-amine distance as an aromatic diamine, it can reduce the imide group density and is excellent in low hygroscopicity. Specific compounds include 1,3-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (3- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2 -(2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2 -Bis (3- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (2- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (2- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene Can be given.
[0022]
Among these, 1,3-bis (3- (3- (3)) represented by the following formula (3) is that the glass transition temperature (Tg) of the synthesized polyimide can be lowered and the low-temperature adhesiveness can be improved. Aminophenoxy) phenoxy) benzene is preferred.
[Chemical 9]

[0023]
In the silicone-based diamine represented by the general formula (2), R1 and R6 are divalent aliphatic groups having 1 to 4 carbon atoms or aromatic groups, specifically, aliphatic groups having 3 carbon atoms. Group or -Bz-O- (CH ₂ ) _Four -(Bz is a benzene ring) structure. Among these, aliphatic groups having 3 carbon atoms are preferable because they have sufficient heat resistance in the semiconductor device assembly process (maximum temperature of about 260 ° C.), are commercially available and mass-produced, and are easily available.
[0024]
In the silicone-based diamine represented by the general formula (2), R2 to R5 are monovalent aliphatic groups or aromatic groups, and specific examples include a methyl group and a phenyl group. Among these, the phenyl group is preferable in terms of compatibility with the aromatic thermosetting resin, but the structure in which a benzene ring is bonded to only one side of the silicone structure has recently been regarded as a problem with environmental hormones. Therefore, a general methyl group is preferable.
[0025]
The silicone-based diamine represented by the formula (2) is also effective for lowering the Tg of the polyimide resin, and can be controlled by the chain length and the amount added. n is preferably an integer of 0 to 20, but it is known that those having a long chain structure close to 20 tend to lower the adhesiveness. An integer of 10 is more preferable.
[0026]
Specific examples of the silicone-based diamine include α, ω-bis (3-aminopropyl) polydimethylsiloxane, ω, ω′-bis (2-aminoethyl) polydimethylsiloxane, ω, ω′-bis (3-amino). Propyl) polydimethylsiloxane, ω, ω′-bis (4-aminophenyl) polydimethylsiloxane, ω, ω′-bis (4-amino-3-methylphenyl) polydimethylsiloxane, ω, ω′-bis (3 -Aminopropyl) polydiphenylsiloxane and the like, but are not limited thereto.
[0027]
It is preferable that the ratio of the silicone type diamine in the diamine component containing the said aromatic diamine and silicone type diamine is 1-90 mol% in all the diamine components. In particular, 20 to 90 mol% is more preferable in terms of emphasizing low-temperature adhesiveness. The ratio of the aromatic diamine is preferably 99 to 10 mol%, more preferably 80 to 10 mol% in the total diamine components.
[0028]
In order to improve the low-temperature adhesiveness of the adhesive, it is necessary to lower the glass transition temperature (Tg) of the resin. Tg can be controlled by the structure of the acid anhydride to be reacted with the diamine component, the structure of the diamine contained in the diamine component, particularly the chain length and addition amount of the silicone-based diamine represented by the formula (2).
[0029]
Polyimide resins obtained using silicone-based diamines have better solvent solubility, lower hygroscopicity, stronger adhesive strength to glass, silicon, etc., lower Tg, better solvent drying properties, etc. Improvements are observed. However, on the other hand, there are also disadvantages such as a decrease in adhesive strength to other than glass, silicon and the like, and it is preferable to add an aromatic diamine as the adhesive resin composition.
[0030]
The polyimide resin obtained by using the diamine component containing the aromatic diamine represented by the above formulas (1) and (3) has a low hygroscopic property due to a low imide density, especially the aromatic resin of the formula (3). Diamine has the advantage of lowering Tg due to its flexible skeletal structure, and combined with the silicone-based diamine represented by formula (2) improves low-temperature adhesion and low moisture absorption compared to conventional polyimide-based resins. Can be obtained.
[0031]
The addition amount of the silicone-based diamine is sufficient to be several mol% in the total diamine when the purpose is only to improve the adhesive strength to the adherend such as glass and silicon. When it is desired to improve the adhesion at a lower temperature, it may be added in an amount up to several tens mol% depending on the adhesion temperature.
[0032]
In the present invention, in addition to the diamine, if necessary, other diamines may be added as long as the object of the present invention is not impaired.
[0033]
Examples of other diamines include, but are not limited to, for example, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diamino. Aliphatic diamines such as hexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane;
[0034]
o-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4 '-Diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenyldifluoromethane, 3,4'-diaminodiphenyldifluoromethane, 4,4'-diaminodiphenyldifluoromethane, 3,3'-diaminodiphenyl Sulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfide, 3,4′-diaminodiphenylsulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfone Fluid, 3,3'-diaminodiph Phenyl ketone, 3,4'-diaminodiphenyl ketone, 4,4'-diaminodiphenyl ketone, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2,2 '-(3,4'-diaminodiphenyl) propane, 2 , 2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2- (3,4'-diaminodiphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis ( 4-aminophenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 3, 3 ′-(1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)) bisaniline, 3,4 ′-(1,4-phenylenebis (1-methylethylidene) ) Bisaniline, 4,4 ′-(1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)) bisaniline, 2,2-bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfide, bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) sulfide, bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfone, bis (4- (4-aminophenoxy) ) Phenyl) sulfone, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl, 4,4′-methylene-bis (2,6- Diethylaniline), o-tolidine sulfone, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4-methylene-bis (2,6-diisopropylaniline), 4,4′-bis (4-aminophenoxy) Examples thereof include aromatic diamines such as biphenyl and 1,1-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) cyclohexane.
[0035]
The polyimide resin (A) of the present invention is obtained by reacting a mixture of the diamine with tetracarboxylic dianhydride. The tetracarboxylic dianhydride used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyltetracarboxylic dianhydride, 2 , 2 ′, 3,3′-diphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) Propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-di Carboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid Two anhydrous Bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride 2,3,2 ′, 3-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride Anhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-naphthalene-tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene-tetracarboxylic acid Anhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2 , 3,6,7-Tetrachlornaphth Len-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,8,9,10-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride Thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, 2,3,2 ′, 3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) dimethylsilane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methylphenyl Silane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) diphenylsilane dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyldimethylsilyl) benzene dianhydride, 1,3-bis (3, 4-zical Boxyphenyl) -1,1,3,3-tetramethyldicyclohexane dianhydride, p-phenylbis (trimellitic acid monoester anhydride), ethylenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4 Butanetetracarboxylic dianhydride, decahydronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1 , 2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 1 , 2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, bis (exo-bicyclo [2,2,1] heptane-2,3-dicarboxylic anhydride) sulfone, bicyclo- (2,2,2)- Oct ( ) -Ene 2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3 4-Dicarboxyphenoxy) phenyl] hexafluoropropane dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 1,4-bis (2-hydroxyhexafluoroisopropyl) ) Benzenebis (trimellitic anhydride), 1,3-bis (2-hydroxyhexafluoroisopropyl) benzenebis (trimellitic anhydride), 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl -3-Cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, tetrahydrofuran-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol Bis trimellitate dianhydride,
[0036]
Examples thereof include tetracarboxylic dianhydrides having the following structure.
[Chemical Formula 10]

(In the above formula, X represents a trivalent C 1-4 aliphatic group or aromatic group, R represents a monovalent aliphatic group or aromatic group, and n represents an integer of 0-20. .)
These may be used alone or in combination of two or more.
[0037]
Among these, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride One or more tetracarboxylic dianhydrides selected from the group consisting of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride Things are preferred.
[0038]
In particular, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride is effective for building a heat-resistant crosslinked structure by using a polyimide resin alone, and 10 to 100 mol% in the tetracarboxylic dianhydride component. It is preferable that it exists in the range. This is presumably because the carbonyl group and amine react to form an imine bond. In order to enable low-temperature adhesiveness, Tg needs to be sufficiently lower than the bonding temperature. For that purpose, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, ethylene glycol bistrimellitic dianhydride, and the like are preferable.
[0039]
The condensation reaction of tetracarboxylic dianhydride and diamine can be carried out in an organic solvent by a known method. In this case, the tetracarboxylic dianhydride and the diamine are equimolar or substantially equimolar, specifically, the tetracarboxylic dianhydride / diamine molar ratio is 0.9 to 1.1, more preferably 0.95. It is preferably used at 1.05, and the addition order of each component is arbitrary. Examples of the organic solvent that can be used include dimethylacetamide, dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphorylamide, m-cresol, o-chlorophenol, and tetrahydrafuran.
[0040]
First, a polyamic acid that is a precursor of a polyimide resin is synthesized. The reaction temperature for polyamic acid synthesis is usually 80 ° C. or lower, preferably 0 to 50 ° C. As the reaction proceeds, the viscosity of the reaction solution gradually increases. Next, the polyimide resin can be obtained by dehydrating and ring-closing the reactant (polyamide acid). The dehydration ring closure can be performed using a heat treatment method at 120 ° C. to 250 ° C. or other chemical methods. In the case of the heat treatment at 120 ° C. to 250 ° C., it is preferable to carry out while removing water generated by the dehydration reaction out of the system. At that time, water may be removed azeotropically using benzene, toluene, xylene, mesitylene or the like.
[0041]
When dehydrating and cyclizing by a chemical method, acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and benzoic anhydride, carbodiimide compounds such as dicyclohexylcarbodiimide, and the like can be used as the ring-closing agent. At this time, a ring-closing catalyst such as pyridine, isoquinoline, trimethylamine, triethylamine, aminopyridine, imidazole or the like may be used as necessary. The ring-closing agent or the ring-closing catalyst is preferably used in the range of 1 to 8 moles per 1 mole of tetracarboxylic dianhydride. Reaction temperature can be implemented at low temperature compared with the method of thermal imidation. After synthesizing the polyimide resin, the catalyst or the like can be separated by putting it into a poor solvent and precipitating the polyimide resin.
[0042]
In the present invention, the expression “polyimide resin” includes not only 100% imidized polyimide resin but also resin in which a part of the precursor polyamic acid remains. In the present invention, the preferred imidization ratio of the polyimide resin is 90% or more, more preferably 95% or more.
[0043]
The thermosetting resin (B) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a thermosetting resin other than polyimide and is at least partially compatible with the polyimide resin (A). Specific examples of the thermosetting resin include epoxy resin, bismaleimide resin, diallyl phthalate, acrylic resin, and benzoxazine resin.
[0044]
The amount of the thermosetting resin (B) is preferably 1 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide resin (A). It is desirable in that it is excellent, the fluidity at the time of adhesion is appropriate, and the film formability is improved.
[0045]
Among these thermosetting resins, those with various structures are commercially available, have a wide industrial application range, can achieve appropriate curing under temperature conditions within the heat resistance range of semiconductor devices, and are crosslinked. An epoxy resin is preferable because the density and the like can be controlled by the blending ratio. The epoxy resin is not particularly limited as long as it contains at least two epoxy groups in the molecule. For example, phenol glycidyl ether type epoxy resins include bisphenol A, bisphenol AD, bisphenol S, bisphenol F or a condensate of halogenated bisphenol A and epichlorohydrin, glycidyl ether of phenol novolac resin, glycidyl ether of cresol novolac resin, bisphenol A novolak Examples thereof include glycidyl ether of resin, glycidyl ether of dicyclopentadiene-modified phenol novolac resin, and biphenyl type epoxy resin.
[0046]
The amount of the epoxy resin is preferably 1 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide resin (A). When used in this range, it is excellent in heat resistance, fluidity at the time of adhesion is appropriate, and film formability is improved.
[0047]
When an epoxy resin is used as the thermosetting resin (B), the epoxy resin is reactive with a functional group such as an acid or amine at the polyimide terminal of the polyimide resin, or an amide acid not completely imidized. In addition, it is possible to give the adhesive a crosslinked structure having heat and moisture resistance, which is difficult with only a polyimide resin. Epoxy resin also gives plasticity to the adhesive resin as a low-molecular substance during adhesion in an uncured state, lowers the melt viscosity of the resin, improves the wetting of the resin on the adherend, and has low temperature adhesion It has features such as contributing to
[0048]
When an epoxy resin is used as the thermosetting resin (B), it is preferable to further use an epoxy resin curing agent in the resin composition of the present invention. The epoxy resin curing agent is not particularly limited as long as it is a compound that has reactivity with the epoxy resin and can cure the epoxy resin. Representative examples include phenolic curing agents, amine curing agents, acid anhydride curing agents, imidazoles, and the like.
[0049]
The compounding quantity of an epoxy resin hardening | curing agent is an equivalent with respect to an epoxy resin, and it is preferable that it is less than the same equivalent. This is because the epoxy resin curing agent remaining as an unreacted substance deteriorates the moisture absorption characteristics.
[0050]
The adhesive resin composition used in the present invention preferably further contains an inorganic filler. The filler imparts low thermal expansion, low hygroscopicity, high elasticity, high thermal conductivity, and the like to the adhesive. It also contributes to improving the strength of the film adhesive. Examples of the inorganic filler include inorganic insulators such as silica, alumina, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, titania, glass, iron oxide, and ceramic. These can be used individually or in mixture of 2 or more types.
[0051]
Among these inorganic fillers, high purity fused silica with a uranium concentration of 0.1 ppb or less is used in the same manner as semiconductor encapsulants, considering that they are used for semiconductor elements, especially memories that are sensitive to radiation-induced soft errors. It is preferable to use it. In the case of a film-like adhesive, when the film thickness is assumed to be 10 to 50 μm, particles having a maximum particle size of about 3 μm are preferable.
[0052]
The compounding amount of the inorganic filler is based on the total volume including the resin component and the filler added with an epoxy resin curing agent when the polyimide resin, thermosetting resin, or thermosetting resin is an epoxy resin. In view of flexibility as a film, preferably 0 to 70% by volume, more preferably 0 to 30% by volume, and still more preferably 5 to 20% by volume. If it is in this range, the adhesiveness is kept good. In order to impart electrical conductivity, conductive particles such as metal or anisotropic conductive particles can be added.
[0053]
Furthermore, a coupling agent such as a silane coupling agent or a titanium-based coupling agent may be appropriately added to the resin composition of the present invention as necessary within a range not impairing the object of the present invention. A coupling agent contributes to the improvement of the adhesive strength in the adhesion interface with a to-be-adhered body or a filler.
[0054]
In the adhesive resin composition of the present invention, a thermosetting resin (B) (preferably an epoxy resin), an epoxy resin curing agent, and the like are added to the polyimide resin (A), and dissolved and stirred in a solvent to form a varnish. Can be used. The organic solvent used here is not particularly limited as long as it can uniformly dissolve or knead the above materials. Examples of such an organic solvent include dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, Examples include diethylene glycol dimethyl ether, toluene, benzene, xylene, methyl ethyl ketone, tetrahydrofuran, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve, and dioxane.
[0055]
Next, if necessary, an inorganic filler and other additives are added and mixed. In this case, kneading may be carried out by appropriately combining dispersers such as a normal stirrer, a raking machine, a triple roll, a ball mill, a bead mill, an ultrasonic disperser, and an ultra high pressure opposed collision flow system.
[0056]
As a method for producing a film adhesive, the above varnish or paste-like mixture is surface-treated with, for example, a silicone resin, and uniformly applied to a base film such as a PET (polyethylene terephthalate) sheet or a polyolefin film having good peeling characteristics. The method of apply | coating and heating the used solvent sufficiently, ie, the temperature of about 60-200 degreeC for about 1 to 30 minutes, and obtaining the single layer film adhesive is mentioned.
[0057]
Alternatively, one or both surfaces of a support film such as a heat-resistant core film or metal foil may be coated with the above varnish or paste-like mixture, dried by heating and the solvent evaporated to produce a film adhesive. The manufacturing method of a film adhesive is not limited to the said method.
[0058]
The film adhesive obtained in the present invention can be used for bonding a semiconductor element to a package support member. For example, when the film adhesive of the present invention is used for bonding a semiconductor element and a support such as a flexible substrate, it can be bonded by the following method.
[0059]
A film-like adhesive is rolled on a heated semiconductor wafer back surface, and the film is cut at the outer periphery of the wafer to obtain a wafer with the film-like adhesive. This is diced together with an adhesive film to obtain an element with a film adhesive. Next, this is thermocompression-bonded to a support (a lead frame, a rigid substrate, a flexible substrate, a chip, a spacer or the like when stacking chips).
The adhesion method of the film adhesive of the present invention is not limited to the method exemplified above.
[0060]
As a semiconductor device in which a semiconductor element is bonded to a supporting member using the adhesive resin composition or film adhesive of the present invention, the element is directly attached to various semiconductor packages and substrates (including rigid substrates and flexible substrates). Examples include a semiconductor device formed by bonding.
[0061]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited to these Examples.
[0062]
(Synthesis Example 1)
To a 300 ml five-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer, a Dean-Stark tube filled with xylene, and a nitrogen blowing tube, 1,3-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene (APB5, the above formula ( 3) Diamine) 11.937 g (44 mol% in diamine component), α, ω-bis (3-aminopropyl) polydimethylsiloxane (APPS, amino-terminated silicone BY16-853U manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) Amino value 453 (diamine of the above formula (2)) 28.884 g (56 mol% in the diamine component), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) 98 g, m-xylene 42 g were taken and heated to 50 ° C. under nitrogen flow. Heated and stirred. After dissolution of the diamine, 14.420 g of 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) and 6.358 g of ethylene glycol bistrimellitic dianhydride (EGTA) were added in small portions (anhydride / amine (molar ratio)). ) = 1.005). The reaction system was heated to 170-180 ° C. in an oil bath while blowing nitrogen gas, and maintained for 10 hours while removing water azeotropically. Finally, water and xylene were removed from the Dean-Stark tube, and xylene was removed from the varnish to obtain a polyimide resin varnish (P-1).
[0063]
(Synthesis Example 2)
A polyimide system was used in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 7.323 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB) (44 mol% in the diamine component) was used instead of APB5 as the aromatic diamine. A resin varnish (P-2) was obtained (acid anhydride / amine (molar ratio) = 1.005).
[0064]
(Examples 1-3, Comparative Examples 1-3)
Varnishes were prepared at the blending ratios shown in Table 1 (units are parts by mass). The following epoxy resin, curing agent, and filler were used.
Epoxy resin: Dainippon Ink Chemical Industries, Ltd. dicyclopentadiene type epoxy resin HP7200H (epoxy equivalent 280 g / eq),
Epoxy resin curing agent: imidazole curing agent 2PHZ-PW manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.
Filler: Tatsumori Co., Ltd. fused silica 1-FX (average particle size 0.3 μm).
[0065]
These were added to a polyimide resin varnish and dispersed using a dispersing device (“Shintaro Awatori” manufactured by Sinky Corporation) to obtain a blended varnish. In addition, 25 mass parts of filler is equivalent to 15 volume% with respect to the whole which added the resin component.
[0066]
[Table 1]

[0067]
This blended varnish was applied to a surface-treated PET (polyethylene terephthalate) film (A31 manufactured by Teijin DuPont Films Co., Ltd., thickness 50 μm) to a thickness of 25 μm, and dried by heating at 90 ° C. for 20 minutes. Obtained. Table 2 shows the results of measuring the physical properties of this film adhesive by the following method.
[0068]
i) Shear adhesive strength
The film adhesive peeled off from the base film is cut into a size of 6 mm × 6 mm, sandwiched between a 5 mm × 5 mm silicon chip and a 20 mm × 20 mm silicon chip, applied with a load of 10 N, 200 ° C., 1 After pressure-bonding for 2 seconds, it was cured by heating at 180 ° C. for 3 hours with no load. The shear adhesion of this test piece was measured with a push-pull gauge when heated at 260 ° C. for 30 seconds.
[0069]
ii) Moisture absorption
25 pieces of film adhesive (25 μm thick) are stacked and set in a frame of 50 mm × 50 mm × 0.5 mm, and a test piece is prepared by pressing with a cylinder press with a diameter of 6 cm with a hydraulic pressure of 2-4 MPa, 125 ° C. After drying for 5 hours, the dry mass was measured. This test piece was moisture-absorbed for 1 week in an environment of 85 ° C. and 85% RH (relative humidity), and the moisture-absorbing mass was measured to obtain the moisture absorption rate.
[0070]
iii) Peel strength
The film-like adhesive attached to the base film is thermocompression bonded at 130 ° C. to a 50 μm-thick polyimide film (Upilex manufactured by Ube Industries, Ltd.), the base film is peeled off, and this is cut into a 5 mm wide strip. The 5 mm × 20 mm bonded surface of the test piece was bonded to a 25 mm × 30 mm silicon chip under conditions of 110 ° C., load 25 N, 2 seconds, and post-heated at 150 ° C. for 1 minute with no load. This test piece was set in a tensile tester, and the 90-degree peel strength was measured according to a conventional method.
[0071]
[Table 2]

[0072]
From the above, compared with Comparative Examples 1, 2, and 3 using the polyimide resin varnish (P-2) obtained in Synthesis Example 2, the polyimide resin varnish (P-1) obtained in Synthesis Example 1 was used. Examples 1, 2, and 3 were excellent in terms of low-temperature adhesiveness and low hygroscopicity, and it was found that the heat resistance (shear adhesive force during heat) was equal to or better than that.
[0073]
(Synthesis Examples 3 to 7)
The reaction conditions were as in Synthesis Example 1 except that the charge ratio (mass ratio) of NMP and m-xylene was 7: 3, the charge ratio of the solid content of the reaction components was 30 mass%, and the total charge was 70% of the flask volume. Similarly, a polyimide resin varnish (P-3 to P-7) was obtained using a diamine component and a tetracarboxylic dianhydride component at a molar ratio shown in Table 3.
[0074]
[Table 3]

[0075]
In Table 3, BPDA is 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, BADA is an acid dianhydride having the following structural formula,
Embedded image

[0076]
EGTA is an acid dianhydride having the following structural formula.
Embedded image

[0077]
(Example 4)
Polyimide resin varnish of P-3 to P-7, 20 parts by mass of epoxy resin (Techmore (registered trademark) VG3101L manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), 100 parts by mass of solid content, epoxy curing agent (Shikoku Chemicals) Industrial Co., Ltd. Curazole (registered trademark) 2MAOK-PW) 1 part by mass, filler (Tatsumori Co., Ltd. fused silica 1-FX (average particle size 0.3 μm)) 25 parts by mass (total resin component added) 15% by weight), and after stirring and dispersing, a 50 μm-thick PET film having a surface treatment with good releasability is coated to a dry film thickness of 25 μm and heated at 110 ° C. for 5 minutes with a hot air dryer Film adhesives (F-3 to F-7 for varnishes P-3 to P-7, respectively) were obtained after drying to remove the solvent.
[0078]
F-3 to F-7 peeled off from the base film are cut into 6mm squares, and sandwiched between the polyimide surface of 5mm square silicon piece with 5μm thick buffer coated polyimide film and the mirror surface of 20mm square silicon piece, equivalent to dimount condition 150 ° C., load 2.5N, press for 1 second, proceed to cure at 150 ° C. for 10 minutes, add 180 ° C., load 98N for 1 minute, equivalent to sealant injection conditions, and further correspond to sealant curing step As a treatment, heating was performed at 180 ° C. for 3 hours with no load.
[0079]
These test pieces are simulated test pieces for chip-to-chip adhesion of a stack package, and using this, 260 ° C (corresponding to the maximum temperature of lead-free solder reflow furnace) by a diacia tester (SS-30W manufactured by Saishin Shoji Co., Ltd.) Table 4 shows the result of measuring the shear strength at (1).
[0080]
[Table 4]

In these film adhesives, it was confirmed that the compatibility between the polyimide resin and the epoxy resin was good, and good adhesive strength (shear strength) was obtained regardless of the acid anhydride structure.
[0081]
(Example 5)
P-1 polyimide resin varnish, 100 parts by mass of the solid content, 20 parts by mass of epoxy resin (Techmore (registered trademark) VG3101L manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), epoxy curing agent (Shikoku Chemicals Co., Ltd.) 0.5 parts by mass of Curazole (registered trademark) 2MAOK-PW) and 25 parts by mass of filler (fused silica 1-FX manufactured by Tatsumori Co., Ltd.) (15% by volume with respect to the total resin component added) After passing through a stirrer, a disperser, a defoamer, and a filter, a 270 mm wide coating was applied to a dry film thickness of 25 μm on a 50 μm thick PET film that had been surface-treated with a precision coater. , Kept at 110 ° C. for 5 minutes and dried. This was slit to a width of 240 mm to obtain a roll of adhesive film on which a film adhesive was formed.
[0082]
When this adhesive film was subjected to an adhesion test using a wafer surface protection tape applicator (DM800A manufactured by Takatori Co., Ltd.), it could be applied at 90 ° C. or higher. When post-heating was performed at 150 ° C. for 1 minute or more with no load, the compatibility between the film and the wafer could be further improved.
[0083]
When a 150 μm thick wafer with adhesive was mounted on a UV-type dicing tape and diced together with the adhesive with a dicer, dicing was successfully performed. Dicing conditions were 80 mm / s, 30000 rpm, a 20 μm cut, and Lintec D-650 was used as the dicing tape.
[0084]
An 8.5 mm square chip was cut out by this dicing, and this was dried on a resin substrate (a substrate made of BT resin, the adhesive surface was treated with a solder resist PSR4000AUS5 manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) at 95 ° C. for 10 seconds. Mounting was performed at a pressure of 0.18 MPa, and curing was continued for 30 minutes with post-heating at 150 ° C. and no load. Next, after cleaning the substrate surface with argon reduced pressure plasma, the chip and the substrate were bonded by ultrasonic wire bonding at 150 ° C.
[0085]
Subsequently, the substrate is sealed together using a sealing resin (CEL9000 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) at 175 ° C. for 3 minutes under a pressure of 10 MPa, and post-heating is performed at 175 ° C. for 6 hours to completely remove the sealing resin. Cured. Further, a lead-free solder ball was mounted in a reflow process at a maximum temperature of 260 ° C., and the substrate molded in a lump was separated into pieces by dicing to obtain a semiconductor device.
[0086]
When this semiconductor device was tested according to the IPC moisture absorption reflow test procedure, no peeling or cracking occurred in the semiconductor device in the reflow process at a moisture absorption level of 2 (85 ° C./85% RH, 168 hours) and a maximum temperature of 260 ° C. .
[0087]
In addition, a 12.8 × 8.5 mm square chip is mounted on a substrate, and then an 8.5 mm square chip is mounted on the chip, followed by curing heating, plasma cleaning, wire bonding, and resin sealing in the same manner as described above. Then, a semiconductor device in which two layers of chips were stacked was prototyped.
[0088]
As for this semiconductor device, when the level of the moisture absorption reflow test of IPC was examined, no peeling or cracking occurred in the semiconductor device in the reflow process with moisture absorption level 2 (85 ° C / 85% RH, 168 hours) and maximum temperature 260 ° C. It was.
[0089]
As described above, the film adhesive made of the adhesive resin of the present invention can be used in a semiconductor mounting process even under mild conditions of 100 ° C. or less, and solves problems such as warping due to heating of thin wafers and substrates. Above, it was shown to have a high level of moisture absorption reflow test.
[0090]
【The invention's effect】
The adhesive resin composition of the present invention and a film adhesive using the same are excellent in low-temperature adhesiveness and heat resistance, have a low moisture absorption rate, and are excellent in moisture absorption reflow resistance. The semiconductor element can be bonded to a package or a substrate at a low temperature, and high bonding reliability can be obtained.

Claims (8)

(A) a diamine represented by the following formula (1);

In the diamine component containing the diamine represented by the following general formula (2),

(In the above formula, R 1 and R 6 represent a divalent C 1-4 aliphatic group or aromatic group, R 2 to R 5 represent a monovalent aliphatic group or aromatic group, and n represents 0 to 20 Represents an integer.)
An adhesive resin composition comprising a polyimide resin obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride, and (B) a thermosetting resin. The adhesive resin composition according to claim 1, wherein the diamine represented by the formula (1) is a diamine represented by the following formula (3).

The adhesive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin. Furthermore, the adhesive resin composition of Claim 3 containing an epoxy resin hardening | curing agent. Furthermore, the adhesive resin composition in any one of Claims 1-4 containing an inorganic substance filler. The film adhesive which consists of an adhesive resin composition in any one of Claims 1-5. A film adhesive obtained by laminating the adhesive resin composition according to any one of claims 1 to 5 on one side or both sides of a heat resistant film. A semiconductor device in which a semiconductor element is adhered to a support member by the adhesive resin composition or film adhesive according to claim 1.