JP4208732B2 - オゾン発生ユニット及びオゾン発生装置 - Google Patents
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本実施の形態においては、対をなす電極の端部に曲率を持たせたオゾン発生ユニットについて説明する。
本実施の形態では、上記第1の実施の形態で説明したオゾン発生ユニット21を具備するオゾン発生装置について説明する。
図6は、本実施の形態に係るオゾン発生装置の一例を示す斜視図である。
の面は、板状部材2A2の他方の面と接触する。
Claims (8)
- 基板と、
当該基板の一方の面に配置され、互いに距離を介して対向し、端部が曲率を持ち、対をなす電極と、
前記基板の一方の面と前記電極とをコーティングする誘電体と
を具備し、
前記対をなす電極のうちの第1の電極の端部において、前記対をなす電極のうちの第2の電極と向き合う側の面は、端に向かうほど前記第2の電極から離れるように曲率を持ち、前記第2の電極と逆側の面は、前記第2の電極の逆方向に突出する状態で曲率を持ち、
前記第2の電極の端部において、前記第1の電極と向き合う側の面は、端に向かうほど前記第1の電極から離れるように曲率を持ち、前記第1の電極と逆側の面は、前記第1の電極の逆方向に突出する状態で曲率を持つ
ことを特徴とするオゾン発生ユニット。 - 対をなし端部が曲率を持つ電極を誘電体で覆った放電部と冷却部とを含むユニットを、空隙を介して積層した積層体と、
前記積層体を覆い、原料ガスが充填される容器と、
前記原料ガスに基づいて前記対をなす電極に異なる電圧を印加することによって前記放電部の表面で生成されたオゾンを流出させる流出手段と
を具備し、
前記対をなす電極のうちの第1の電極の端部において、前記対をなす電極のうちの第2の電極と向き合う側の面は、端に向かうほど前記第2の電極から離れるように曲率を持ち、前記第2の電極と逆側の面は、前記第2の電極の逆方向に突出する状態で曲率を持ち、
前記第2の電極の端部において、前記第1の電極と向き合う側の面は、端に向かうほど前記第1の電極から離れるように曲率を持ち、前記第1の電極と逆側の面は、前記第1の電極の逆方向に突出する状態で曲率を持つ
ことを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項2記載のオゾン発生装置において、
前記流出手段は、前記容器内のガス流速を調整することを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項3記載のオゾン発生装置において、
前記流出手段は、前記積層体と同軸方向の管であり、側面に貫通孔が散在することを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項4記載のオゾン発生装置において、
前記貫通孔の前記流出手段の側面における開口率は、1%〜20%のいずれかの値であることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項2乃至請求項5のいずれか1項に記載のオゾン発生装置において、
前記積層体の各冷却部に対して冷媒を供給するための供給本体と複数の冷媒供給管とを含み、隣り合う階層で前記供給本体の周方向における前記冷媒供給管の接続位置が異なる第1のマニホールドと、
前記各冷却部から前記冷媒を排出するための排出本体と複数の冷媒排出管とを含み、隣り合う階層で前記排出本体の周方向における前記冷媒排出管の接続位置が異なる第2のマニホールドと
をさらに具備することを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項6記載のオゾン発生装置において、
前記積層体の積層方向の軸を挟んで、前記供給本体の軸と前記排出本体の軸とが配置され、前記積層体の中心軸と前記供給本体の軸と前記排出本体の軸とが平行であることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項6又は請求項7記載のオゾン発生装置において、
前記第1のマニホールドは、各階層で前記供給本体の軸方向における前記冷媒供給管の接続位置が異なり、
前記第2のマニホールドは、各階層で前記排出本体の軸方向における前記冷媒排出管の接続位置が異なる
ことを特徴とするオゾン発生装置。
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