JP4208616B2 - インクジェット記録方法およびインクジェット記録装置 - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録方法およびインクジェット記録装置に関し、詳しくはインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生するための電気熱変換素子を有した液体吐出ヘッドの駆動制御に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
インクジェット記録装置の一般的なものの一つは、インク吐出を行なうための記録ヘッドを主走査方向に走査させ、画像データ信号から作られる駆動信号によってその記録ヘッドのノズルからインクを吐出させることにより記録媒体上に画像を形成するものである。
【0003】
また、このようなインクジェット記録装置に用いられる記録ヘッドはその吐出方式によって次のものが一般的である。
【0004】
すなわち、吐出方式としては、インク滴を吐出するための吐出エネルギーを与える吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子(ヒータ)を利用してインクに気泡を生じさせてインクを吐出する方式と圧電素子(ピエゾ)の歪によってインクを吐出する方式がある。両者とも吐出エネルギー発生素子に電気信号を与えることでインクの吐出が可能であるが、前者の方式は吐出エネルギー発生素子であるヒータを配置するスペースが小さくて済む利点があり、また、このような点から記録ヘッドの構成も簡略化、小型化が可能であり、さらに高密度化も比較的容易であるという利点をもつ。
【0005】
一方、この方式はヒータが発生する熱が記録ヘッド内に蓄熱することが多く、この蓄熱の影響で吐出するインク滴の体積変化が起きやすく、また消泡によるキャビテーションがヒータに与える影響が大きい場合がある。
【0006】
これらの課題を解決する方式として、例えば、特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4に記載されたインクジェット記録方法およびインクジェット記録ヘッドが知られている。これらの公報に記載される記録ヘッドの構造は、液体を吐出するための吐出口と、これに連通してインクが満たされるインク路と、このインク路中に設けられた電気熱変換素子を有するものである。この電気熱変換素子は、薄膜抵抗体よりなるのが一般的であり、これに電気配線を介してパルス状の通電(駆動パルスの印加)を行うことにより熱エネルギーを発生する。そして、この熱エネルギーによってインク中に生じた気泡によってインクを吐出し、その際この気泡を外気と連通させつつインクを吐出するものである。この吐出方式を用いることにより、インク滴の体積の安定性の向上、高速小液滴記録、および消泡で発生するキャビテーションの解消によるヒータの耐久性向上を図ることができる。
【0007】
【特許文献1】
特開昭54−161935号公報
【0008】
【特許文献2】
特開昭61−185455号公報
【0009】
【特許文献3】
特開昭61−249768号公報
【0010】
【特許文献4】
特開平4−10941号公報
【0011】
【特許文献5】
特許第2543952号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の記録ヘッドは、特にデューティー(本明細書では、一定の面積における画素に吐出されるインクの割合であり、上記一定の面積の全ての画素にそれぞれ1回インクが吐出される場合を100%とする)の高い吐出を連続して行なうとき記録ヘッドの温度が上昇する場合がある。そして、この温度上昇によって吐出の際の気泡が通常の場合より大きくなり、その分インク路においてインクが移動する量ないし距離が大きくなってインクリフィルが間に合わず、結果として記録ヘッドの周波数特性が低下することになる。
【0013】
このような記録ヘッドの温度上昇によって生じる駆動パルスに対する応答周波数の低下を考慮し、駆動周波数を一律低く設定することが考えられるが、全体的なスループットの低下をもたらす。
【0014】
これに対し、例えば特許文献5には、記録ヘッドの温度を検出して、温度に応じて駆動周波数を制御する方法が記載されている。しかし、この公報に記載の方法では、検出する温度が所定の温度を超えた直後に記録ヘッドの駆動を低速にするため、全体的なスループットが低下する傾向は変わらない。このスループットの低下を防止するため、温度が上昇した場合に、ヒータに投入する駆動パルスのエネルギーを減少させて発泡の成長を抑制する方法がある。しかし、投入エネルギーを減少させて高いデューティーの吐出を連続して行なう場合には、駆動パルスの電圧が降下してインク吐出量が減少し、最悪の場合は、画像がかすれて記録されてしまうという問題がある。
【0015】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、記録ヘッドの昇温時のリフィル特性の低下に伴う画像劣化を回避し、かつ記録速度の低下を防ぐことができるインクジェット記録方法およびインクジェット記録装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明では、複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録方法であって、前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定ステップと、前記設定ステップの設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御ステップと、を有し、前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定ステップを含み、前記判定ステップで、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定された場合に、前記駆動パルス幅を相対的に短く設定するとともに、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定し、前記設定ステップにて設定される駆動パルスにて前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であり、前記液体吐出ヘッドの温度が上昇すると、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数は低下し、前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる温度に基づいて定められた温度であることを特徴とする。
また、複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置であって、前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定手段と、前記設定ステップの設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御手段と、を具え、前記設定手段は前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定手段を含み、前記判定手段が、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定された場合に、前記駆動パルス幅を相対的に短く設定するとともに、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定し、前記設定手段にて設定される駆動パルスにて前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であり、前記液体吐出ヘッドの温度が上昇すると、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数は低下し、前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる温度に基づいて定められた温度であることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0018】
以下に説明する実施形態では、インクジェット記録方式を用いた記録装置としてインクジェットプリンタを例に挙げ説明する。
(第1実施形態)
1.装置本体
図8及び図9にインクジェット記録方式を用いたプリンタの概略構成を示す。図8において、この実施形態におけるプリンタの装置本体M1000の外殻は、下ケースM1001、上ケースM1002、アクセスカバーM1003及び排出トレイM1004を含む外装部材と、その外装部材内に収納されたシャーシM3019(図9参照)とから構成される。
【0019】
シャーシM3019は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材によって構成され、記録装置の骨格をなし、後述の各記録動作機構を保持するものとなっている。
【0020】
また、前記下ケースM1001は装置本体M1000の外装の略下半部を、上ケースM1002は装置本体M1000の外装の略上半部をそれぞれ形成しており、両ケースの組合せによって内部に後述の各機構を収納する収納空間を有する中空体構造をなしている。装置本体M1000の上面部及び前面部には、それぞれ、開口部が形成されている。
【0021】
さらに、排出トレイM1004は、その一端部が下ケースM1001に回転自在に保持され、その回転によって下ケースM1001の前面部に形成される前記開口部を開閉させ得るようになっている。このため、記録動作を実行させる際には、排出トレイM1004を前面側へと回転させて開口部を開成させることにより、ここから記録シートが排出可能となると共に排出された記録シートPを順次積載し得るようになっている。また、排紙トレイM1004には、2枚の補助トレイM1004a,M1004bが収納されており、必要に応じて各トレイを手前に引き出すことにより、用紙の支持面積を3段階に拡大、縮小させ得るようになっている。
【0022】
アクセスカバーM1003は、その一端部が上ケースM1002に回転自在に保持され、上面に形成される開口部を開閉し得るようになっており、このアクセスカバーM1003を開くことによって本体内部に収納されている記録ヘッドカートリッジH1000あるいはインクタンクH1900等の交換が可能となる。なお、ここでは特に図示しないが、アクセスカバーM1003を開閉させると、その裏面に形成された突起がカバー開閉レバーを回転させるようになっており、そのレバーの回転位置をマイクロスイッチなどで検出することにより、アクセスカバーの開閉状態を検出し得るようになっている。
【0023】
また、上ケースM1002の後部上面には、電源キーE0018及びレジュームキーE0019が押下可能に設けられると共に、LED E0020が設けられており、電源キーE0018を押下すると、LED E0020が点灯し記録可能であることをオペレータに知らせるものとなっている。また、LED E0020は点滅の仕方や色の変化をさせたり、プリンタのトラブル等をオペレータに知らせる等種々の表示機能を有する。さらに、ブザーをならすこともできる。なお、トラブル等が解決した場合には、レジュームキーE0019を押下することによって記録が再開されるようになっている。
【0024】
2.記録動作機構
次に、プリンタの装置本体M1000に収納、保持される本実施形態における記録動作機構について説明する。
【0025】
本実施形態における記録動作機構としては、記録シートPを装置本体内へと自動的に給送する自動給送部M3022と、自動給送部から1枚ずつ送出される記録シートPを所定の記録位置へと導くと共に、記録位置から排出部M3030へと記録シートPを導く搬送部M3029と、記録位置に搬送された記録シートPに所望の記録を行なう記録部と、前記記録部等に対する回復処理を行う回復部(M5000)とから構成されている。
【0026】
ここで、記録部について説明すると、その記録部は、キャリッジ軸M4021によって移動可能に支持されたキャリッジM4001と、このキャリッジM4001に着脱可能に搭載される記録ヘッドカートリッジH1000とからなる。
【0027】
2.1 記録ヘッドカートリッジ
まず、記録部に用いられる記録ヘッドカートリッジについて図10〜12に基づき説明する。
【0028】
この実施形態における記録ヘッドカートリッジH1000は、図10に示すようにインクを貯留するインクタンクH1900と、このインクタンクH1900から供給されるインクを記録情報に応じてノズルから吐出させる記録ヘッドH1001とを有する。記録ヘッドH1001は、後述するキャリッジM4001に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採るものとなっている。
【0029】
ここに示す記録ヘッドカートリッジH1000では、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、インクタンクとして、例えば、ブラック、ライトシアン、ライトマゼンタ、シアン、マゼンタ及びイエローの各色独立のインクタンクH1900が用意されており、図11に示すように、それぞれが記録ヘッドH1001に対して着脱自在となっている。
【0030】
そして、記録ヘッドH1001は、図12の分解斜視図に示すように、記録素子基板H1100、第1のプレートH1200、電気配線基板H1300、第2のプレートH1400、タンクホルダーH1500、流路形成部材H1600、フィルターH1700、シールゴムH1800から構成されている。
【0031】
記録素子基板H1100には、Si基板の片面にインクを吐出するための複数の記録素子と、各記録素子に電力を供給するAl等の電気配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口H1100Tとがフォトリソグラフィ技術により形成されると共に、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口が裏面に開口するように形成されている。
【0032】
また、記録素子基板H1100は第1のプレートH1200に接着固定されており、ここには、前記記録素子基板H1100にインクを供給するためのインク供給口H1201が形成されている。さらに、第1のプレートH1200には、開口部を有する第2のプレートH1400が接着固定されており、この第2のプレートH1400を介して、電気配線基板H1300が記録素子基板H1100に対して電気的に接続されるよう保持されている。この電気配線基板H1300は、記録素子基板H1100にインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板H1100に対応する電気配線と、この電気配線端部に位置し本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子H1301とを有しており、外部信号入力端子H1301は、後述のタンクホルダーH1500の背面側に位置決め固定されている。
【0033】
一方、インクタンクH1900を着脱可能に保持するタンクホルダーH1500には、流路形成部材H1600が例えば、超音波溶着により固定され、インクタンクH1900から第1のプレートH1600に亘るインク流路H1501を形成している。また、インクタンクH1900と係合するインク流路H1501のインクタンク側端部には、フィルターH1700が設けられており、外部からの塵埃の侵入を防止し得るようになっている。また、インクタンクH1900との係合部にはシールゴムH1800が装着され、係合部からのインクの蒸発を防止し得るようになっている。
【0034】
さらに、前述のようにタンクホルダーH1500、流路形成部材H1600、フィルターH1700及びシールゴムH1800から構成されるタンクホルダー部と、前記記録素子基板H1100、第1のプレートH1200、電気配線基板H1300及び第2のプレートH1400から構成される記録素子部とを、接着等で結合することにより、記録ヘッドH1001を構成している。
【0035】
2.2 キャリッジ
次に、図9を参照して記録ヘッドカートリッジH1000を搭載するキャリッジM4001を説明する。
【0036】
図9に示すように、キャリッジM4001には、キャリッジM4001と係合し記録ヘッドH1001をキャリッジM4001上の所定の装着位置に案内するためのキャリッジカバーM4002と、記録ヘッドH1001のタンクホルダーH1500と係合し記録ヘッドH1001を所定の装着位置にセットさせるよう押圧するヘッドセットレバーM4007とが設けられている。
【0037】
すなわち、ヘッドセットレバーM4007はキャリッジM4001の上部にヘッドセットレバー軸に対して回動可能に設けられると共に、記録ヘッドH1001との係合部には、ばね付勢されるヘッドセットプレート(不図示)が備えられ、このばね力によって記録ヘッドH1001を押圧しながらキャリッジM4001に装着する構成となっている。
【0038】
また、キャリッジM4001の記録ヘッドH1001との別の係合部にはコンタクトフレキシブルプリントケーブル(以下、コンタクトFPCと称す)E0011が設けられ、コンタクトFPC E0011上のコンタクト部と記録ヘッドH1001に設けられたコンタクト部(外部信号入力端子)H1301とが電気的に接触し、記録のための各種情報の授受や記録ヘッドH1001への電力の供給などを行い得るようになっている。
【0039】
ここでコンタクトFPC E0011のコンタクト部とキャリッジM4001との間には不図示のゴムなどの弾性部材が設けられ、この弾性部材の弾性力とヘッドセットレバーばねによる押圧力とによってコンタクト部とキャリッジM4001との確実な接触を可能とするようになっている。さらに前記コンタクトFPC E0011はキャリッジM4001の背面に搭載されたキャリッジ基板E0013に接続されている。
【0040】
次に、発熱基板(記録素子基板H1100)の詳細について、図に基づいて説明する。
【0041】
図13は、発熱基板12を破断状態で示したものであり、電気熱変換素子14の部分を抽出拡大して図14に示し、そのA−A矢視断面構造を図15に示す。また、インク室13の内部構造を図16に示し、そのB−B断面矢視断面構造を図17に示す。すなわち、発熱基板12は、例えば、厚さ0.5〜1mmのSiウェハを用いて製造され、相互に平行に配列する6本の細長いインク供給口15がこのインクジェットヘッドで用いられる6色のインクに対応して形成されている。
【0042】
各インク供給口15には、このインク供給口15の長手方向に沿って所定間隔で配列するインク室13が当該インク供給口15を挟むように2列に形成されており、各インク室13には電気熱変換素子14とこの電気熱変換素子14と対向してインク滴を吐出するための吐出口16とが設けられている。
【0043】
本実施例では、インク供給口15を挟んで相互に平行な2列の吐出口16を相互に半ピッチずらしていわゆる千鳥状に配列しており、各列の吐出口16に対応するインク室13の間隔を600dpiのピッチでそれぞれ配列させているため、各色のインクに対応してインク供給口15の長手方向に沿って配列する吐出口16の間隔は見かけ上、1200dpiの高密度に配置された状態となっている。また、電気熱変換素子14およびAlなどで形成されて電気熱変換素子14に電力を供給する電気配線17は、成膜技術によりSiウェハの表面に形成され、電極配線17の他方の端末は、Auなどで形成されていて発熱基板12の表面から突出するバンプ18となっている。
【0044】
本実施例における電気熱変換素子14は、Alなどで形成される電極配線17によって覆われていない、例えばTaN,TaSiN,Ta−Alなどで形成される発熱抵抗体層19の一部を含み、53Ωのシート抵抗値を有する。また、これらの電気熱変換素子14および電極配線は、3000Åの厚みのSiNで形成された保護層20で覆われ、さらに電気熱変換素子14の上の保護層20の表面は、2300Åの厚みのTaによる耐キャビテーション層21が成膜されている。
【0045】
上述したインク供給口15は、発熱基板12として用いられるSiウェハの結晶方位を利用し、異方性エッチングにより形成される。また、インク室13および吐出口16は、フォトリソグラフイ技術によって形成される。そして、以上の構成を有する記録ヘッドは、電気熱変換素子14に電圧パルスを印加することによって、吐出口16から約4ピコリットルのインク滴を吐出する。
【0046】
なお、上述した実施例では、吐出口16を円形断面としたが、これを矩形や星型のような多角形にすることも可能である。
【0047】
本実施例において、電気熱変換素子14に駆動パルスを供給する速さ、すなわち、駆動周波数は25khzであり、また、駆動パルスは、基本的にその電圧が11V、パルス幅が1.2μsの、図18(a)に示すような単一パルスであるが、図1にて後述するように、検出する記録ヘッドの温度に応じてその電圧値とパルス幅が変更されるものである。
【0048】
また、本実施例においては、
チオジグリコール 5.0重量%
グリセリン 5.0重量%
尿素 5.0重量%
イソプロピルアルコール 4.0重量%
アセチノール溶液 1.0重量%
ダイレクトブルー199 2.5重量%
水 残部
の組成を持つインクをインクジェットヘッドに供給している。
【0049】
このような本実施例と比較例1とによるインク滴の温度とリフイル周波数(応答周波数)についての評価を行った結果を以下の表1に示す。
【0050】
【表1】
Figure 0004208616
【0051】
比較例1よりも本実施例のほうが同一温度条件で周波数特性が良いのは、保護膜の厚みが比較例1のほうが厚いのでヘッドから熱が逃げにくいためであり、発泡が本実施例よりも大きくなることで結果的にメニスカス後退量が大きくなることが原因である。また、本実施例では、45℃の同一温度、電気熱変換素子にかかるエネルギーを一定の条件で、より高電圧で短パルスのほうが周波数特性が向上することがわかる。これは、保護膜が薄いほうが、電気熱変換素子から発生する熱がインク液に伝達されやすくなり、さらに高電圧短パルス化したほうが、電気熱変換素子から熱がインク液に伝わる時間が短いため、発泡に寄与する高い温度に加熱されたインク層(高温層)の厚みが薄くなるためである。
【0052】
ここで、保護層20の膜厚としては、厚すぎると上述のようにメニスカス後退量が大きくなり、周波数特性が劣化するという問題が生じ、薄すぎると製造欠陥の発生や耐久性に問題が生じるため、2,000〜4,000Åの膜厚であることが好ましい。
【0053】
さらに、保護層20の表面に形成されるTaによる耐キャビテーション層の厚さは、性能上の要請から2,000〜2,600Åの膜厚であることが好ましい。
【0054】
従って、電気熱変換素子を覆う被覆層の厚みとしては、4,000〜6,600Åの厚さの被覆層が形成されることが好ましい。
【0055】
次に、検出したヘッド温度に応じて、駆動パルスのパルス幅と電圧を変更するための構成を説明する。図6(a)は、このパルス幅および電圧を変更するための構成を示すブロック図である。
【0056】
図6(a)において、601はヘッド温度検出部を示す。本実施例の記録ヘッドはその内部に、温度検出のためのアナログ回路と、アナログ信号をデジタル信号に変換する回路が設けられ、これにより、ヘッド温度に応じたデジタル信号が出力される。図7に、この検出される記録ヘッドの温度とデジタル温度出力信号との関係を示す。なお、ここでは、ヘッド温度の取得を記録ヘッド内部で行なう例について説明したが、これに限られず、例えば、装置本体の温度センサからの温度検出値や定期的に検知されるヘッド温度センサからの温度検出値に基づいて演算して取得した温度であってもよい。
【0057】
図6(a)において、602は駆動パルス幅、駆動電圧決定部を示す。この駆動パルス幅、駆動電圧決定部602はヘッド温度検出部601からのデジタル温度情報に基づいて、記録時の駆動パルスのパルス幅および電圧を変更する。
【0058】
次に、具体的に本実施例の駆動パルス幅、駆動電圧決定方法を具体的に説明する。本実施例おいては、図6(b)に示すようにインクジェット記録装置からインクジェット記録ヘッドヘと2種類の駆動電圧を供給するために、2系統の電圧供給経路を有する電圧供給回路C2を形成したものとなっている。すなわち、この電圧供給回路C2の電源電圧供給端子Vop1,2は、図12に示すように記録装置の電源に接続されており、またこの電圧供給回路C2は、図外の異なる直流電圧供給源から供給される異なる2種類の直流電源電圧入力端子Vop1,Vop2にそれぞれ接続されたスイッチング素子としての2個のFET51,52と、一端が基準電圧であるグランドGNDに接続されると共に他端が前記両FETに対して直列に接続された電気熱変換素子31とにより構成されている。
【0059】
そして、この電圧供給回路C2では、前記FET51とFET52とが選択的にONするものとなっている。一方のFET51がONした場合には、FET52はOFFとなり、図外の直流電圧供給源から端子Vop1に供給される電圧が電気熱変換素子31に印加される。また逆にFET51がOFFした場合には、FET52はONとなり、端子Vop2に供給される電圧が電気熱変換素子31に印加される。このように、この第1の実施形態においては、インクジェット記録ヘッドの基板内に、2系統の配線が形成されたものとなっており、各系統に供給される電圧をFET51,52のスイッチング動作によって選択的に変更し得る。そして、FET51,52のON時間を変化させることによって駆動パルス幅を変化させることができ、これによってインクのリフィル周波数を変化させることができる。
【0060】
この実施形態では、一方の端子Vop1に11Vの電圧が、他方の端子Vop2に14Vの電圧がそれぞれ供給されている。ヘッド温度がTth以下の場合にはFET51をONさせ、11Vの電圧、1.2μsのパルス幅を有する駆動パルスを電気熱変換素子に供給する。また、ヘッド温度がTthを超えた場合には、FET52をONにし、14Vの電圧、0.7μsのパルス幅を有する駆動パルスを電気熱変換素子に供給する。k値は両方とも1.2である。ここで、k値の説明とk値を知る方法について説明する。インクジェット記録ヘッドにおいては、インクが吐出するかしないかのエネルギー閾値がある。すなわち、そのエネルギー閾値を超えなければ発泡はしない。また、インクジェットエネルギーを与える要素としては、電圧とパルス幅があるが、パルス幅を一定にした条件において電圧を変化させた時にインクが吐出されるか否かの電圧閾値をVthと呼ぶ。上記のような閾値があるが、その閾値Vthでそのままインクジェット記録ヘッドの駆動を行った場合には、電気熱変換素子の表面性などの理由から吐出が十分安定していないために、閾値よりは大きな駆動エネルギーを与えることになる。そして、Vthに対して一定の値を乗じることで増加させた駆動電圧を設定するが、その一定の値をk値と呼ぶ。すなわち、駆動電圧=k値×Vthである。具体的にk値を求める場合には、インクジェット記録ヘッドに与えるパルス幅を一定として、印加する駆動電圧を変化させながら記録を行い、記録媒体にインク滴が着弾しているかどうかを観察することにより閾値となる駆動電圧(Vth)を求める。その上で、(インクジェット記録装置の駆動電圧)/(Vth)を算出することにより、インクジェット記録ヘッドに加えられているk値を求めることができる。各駆動電圧でのk値を一定にするために、インクジェット記録ヘッドのVthを前持って求めておき、インクジェット記録装置の記憶領域内にパルス幅と駆動電圧の関係のデータを格納する。格納するデータとしては、図19(a)に示すようなデータであり、駆動電圧とパルス幅と温度の関係が格納されている。そして、上記のようなテーブルを参照して駆動電圧とパルス幅を設定する。インクが吐出するかしないかのエネルギー閾値は、温度によって多少変動するが、k値は一定になるようにあらかじめ設定されているので、ヘッドに投入するエネルギー(パルス幅×Vth×k)をほぼ一定に保ったまま記録を行うことができる。
【0061】
本実施形態の記録ヘッドは、図3に示すように、所定のデューティの画像を連続して複数ページ記録すると、その連続記録ページ数に応じてヘッド温度が上昇する。そして、図3中の限界温度TLMTを超えると、その温度におけるヘッドリフィル周波数が駆動周波数を下回るためにインクのリフィルが良好に行なわれなくなって吐出が不安定になり、記録画像の劣化を引き起こすことがある。
【0062】
そこで、図4に示すように画像劣化を起こす限界温度TLMTよりも低い閾値温度Tthを設定し、この温度を超えたときは、駆動パルスのパルス幅および電圧を、その基本のパルス幅Po(μs)=1.2μsおよび電圧Vo(V)=11Vから、パルス幅Pt(μs)=0.7μs、駆動電圧Vt(V)=14Vに変更する。各駆動パルスのパルス波形を図18に示す。T≦TLMTのときには図18(b)に示す波形であり、T>TLMTのときには図18(a)に示す波形となる。このとき、Po>Pt、Vo<Vtである。なお、この変更においてk値は一定であるので、ヘッドに投入されるエネルギー(パルス幅×Vth×k)はほぼ一定に保たれる。このため、電気熱変換素子に供給されるエネルギーが不足することで生じる吐出量が減少するといった弊害を防止しつつ、ヘッド温度が昇温した際のリフィル周波数低下を抑制することができる。
【0063】
図1は、この駆動パルス幅、駆動電圧決定部602の処理の手順を示すフローチャートである。
【0064】
本処理は各ページ記録の先頭で起動される。すなわち、図5に示すように、記録ヘッドを▲1▼から▲2▼に走査する第1スキャン、▲3▼から▲4▼に走査する第2スキャンと続き、ページ最後の第Nスキャンまで順次記録を行っていく時に、第1スキャンを行う直前の▲1▼の時点でヘッド温度を取得し、図1の処理を起動する。ステップS102では、取得したヘッド温度と駆動パルスの変更に係わる閾値の温度との比較を行う。
【0065】
本実施例の記録ヘッドは、図2に示すように、2色のインクについて1チップの構成である。すなわち、ブラックインク(K)と淡シアンインク(濃度の低いシアンインク;LC)がチップA、淡マゼンタインク(濃度の低いマゼンタインク;LM)とシアンインク(C)がチップB、マゼンタインク(M)とイエローインク(Y)がチップCの組み合わせになっており、それぞれのチップ毎に前述のデジタル温度情報出力の回路を具備する。それぞれのチップのデジタル温度出力値の第nスキャンの値をTan、Tbn、Tcnと表わすと、本実施形態では、ステップS102において第1スキャンの直前の温度である、Ta1、Tb1、Tc1と閾値Tthとの比較を行う。
【0066】
ここで、1つのチップでも閾値Tthを超えている場合はステップS103に進み、駆動パルスのパルス幅および電圧をそれぞれPt(μs)、Vt(V)に設定する。一方、いずれのチップも閾値Tthを超えていなければ、ステップS104に進み、基本の駆動パルスのパルス幅および電圧である、Pot(μs)、Vo(V)に設定する。
【0067】
図6(a)に示すヘッド制御部603は、駆動パルス幅、駆動電圧決定部602で決定された駆動パルスを生成する制御信号を、記録ヘッド604のドライバへ供給して記録ヘッドの駆動を行う。さらに駆動電圧制御部605は、駆動パルス幅、駆動電圧決定部602で決定された電源電圧に対応する電源にすべく、電源電圧606で対応する本体電源の選択を行う。本体電源の選択の手段としてが、メカニカルなスイッチもしくはドランジスタを使った電子的なスイッチで良い。また、電源としてはDC―DCコンバーターを使っても良い。DC―DCコンバーターでは基準電圧を基に出力電圧を生成しているが、基準電圧に外部のDAコンバーターからの出力を与え、電圧を変えることにより、出力電圧を多段階で変更することも可能である。
【0068】
ここで、本実施例において、駆動パルスのパルス幅および電圧の変更に係わる閾値温度Tthの設定について図4を用いて説明する。
【0069】
図4は各ページを、記録可能なデューティの上限で連続記録したときの連続ページ数によるヘッド温度の昇温特性を示している。この例では、4ページ目の途中で昇温によるリフィル不足が発生する限界温度TLMTを超える。このため、本実施形態では、1ページ前の3ページ目のページ頭でヘッド温度が閾値温度を超えて3ページ頭で駆動パルスを変更する場合があるように、その3ページ目のページ頭の温度よりも低く、かつ図7に示したデジタル温度出力の分解能である5℃単位で設定可能な温度を、閾値温度Tthとする。本実施例ではTthを45℃としている。
【0070】
なお、上記実施例において、温度検出タイミングをページ頭に設定したが、温度取得タイミングや判定処理時間が間に合えば、ページ内の各スキャンの最初にすることが望ましい。以上のような構成により、従来のように3ページ以降の記録中のリフィル周波数を低下させることなく、スループットの最大限の向上が可能となる。
【0071】
(第2実施形態)
本実施形態においては、インクジェット記録装置および記録ヘッドの構成は上記第1実施形態と同様であるが、その駆動方法が異なる。1回の吐出に対し単一の連続した駆動パルスを出力する場合に限らず、図18(c)に示すように複数のパルスからなる駆動パルスによって1回の吐出を行う。すなわち、基本パルスとして、11Vの電圧で複数のパルスを供給する。具体的には、図18(c)に示すように、P1=0.2μs、P2=1.0μs、P3=1.0μsに設定している。図18(c)において、P1はプレパルスであり、電気熱変換素子31の近傍にあるインク温度を発泡しない程度に上昇させる役目を果たし、P3はメインパルスであり、インクを発泡温度まで上昇させインクをインク出口から吐出させる役割を果たす。また、P2はパルス休止期間である。このように、1回のインク吐出に対して複数の駆動パルス(ここでは、ダブルパルス)を与えることによって発泡力を増すことができ、また、プレパルスの幅やパルス休止期間の長さを制御することで、インクに加える熱量を制御し発泡パワーを制御することを容易に行なうことができ、実施例1よりも、さらに細かな制御が可能になる。
【0072】
本実施形態においては、インクジェット記録装置の記憶領域内に格納するデータとしては、図19(b)に示すようなデータであり、駆動電圧とパルス幅と温度の関係が格納されている。インクが吐出するかしないかのエネルギー閾値は、温度によって多少変動するが、K値は一定になるようにあらかじめ設定されているので、ヘッドに投入するエネルギー(パルス幅(P1+P3)×Vth×k)をほぼ一定に保ったまま記録を行うことができる。
【0073】
ここで、本実施形態において、駆動パルス幅、駆動電圧の変更を行う際のヘッド温度の閾値をどのように設定するかについて図4を用いて説明する。図4は各ページ内を、印字可能なデューティの上限で連続印字した際の連続ページ数によるヘッド温度の昇温特性を示している。この例では、4ページ目の途中で昇温によるリフィル不足が発生する限界温度TLMTを超える、このため、本実施形態では、1ページ前の3ページ目のページ頭でヘッド温度が閾値温度を超えて3ページ頭で駆動パルスを変更する場合があるように、その3ページ目のページ頭の温度よりも低く、かつ図7に示したデジタル温度出力の分解能である5℃単位で設定可能な温度を閾値温度Tthとする。本実施例ではTthを40℃としている。これは、ダブルパルス駆動を行うことによって、発泡に寄与するエネルギーが増大しメニスカス後退量が実施例1よりも増加するため、リフィル周波数が低下するためである。
【0074】
本記録ヘッドは図3に示すように所定のデューティの画像を連続して複数のページ印字した際に、その連続印字枚数に応じてヘッド温度が上昇する。図3中のTLMTを超えると、その温度でのヘッドリフィル周波数が駆動周波数を下回るためにインクのリフィルが良好に行われなくなっての吐出が不安定になり、画像劣化を引き起こしてしまう。そこで、図4に示すように画像劣化を起こすTLMTよりも低いヘッド温度Tthを設定し、この温度を超えた場合には駆動パルス幅がおよび電圧を、その基本のパルス幅Po(μs)=P1+P3=1.2μsおよび電圧Vo=11(V)から、パルス幅Pt(μs)=P1+P3=0.7μs、電圧Vt(V)=14Vに変更する。T≦TLMTのとき、およびT>TLMTのときのいずれも波形は、図18(c)に示す波形となる。このとき、Po>Pt、Vo<Vtである。なお、この変更によってk値は一定であるので、ヘッドの投入エネルギー(パルス幅(P1+P3)×Vth×k)はほぼ一定に保たれるため、吐出量が減少するなどの弊害を防止しつつ、ヘッド温度が上昇した際のリフィル周波数低下を抑制することができる。
【0075】
以上のように、複数のパルスからなる駆動パルスによって1回の吐出を行う場合でも、第1実施形態と同様の効果が得られる。
【0076】
(第3実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。この、第3の実施形態においては、インクジェット記録装置および記録ヘッドの構成は、上記の第1実施形態または、第2の実施形態と同様であるが、この駆動パルス幅、電圧決定部602での処理の手順を示すフローチャートが異なる。
【0077】
図20は、この駆動パルス幅、駆動電圧決定部602での処理の手順を示すフローチャートである。本処理は各ページの先頭で行う。すなわち図5に示すように、記録ヘッドを▲1▼から▲2▼に走査する1スキャン目、▲3▼から▲4▼に走査する2スキャン目と続き、ページ最後のNスキャン目まで順次記録を行っていく時に、第1スキャンを行う直前の▲1▼の時点でヘッド温度を取得し、図20に示す処理を起動する。ステップS302において第1スキャンの直前の温度(Thead)である、Ta1、Tb1、Tc1の検出を行う。次に、スップS303に進み、図19(c)のような駆動パルス幅、駆動電圧テーブルを参照する。どのチップも閾値Tthを超えていなければ、S304に進み、駆動パルス幅、駆動電圧を図19(c)のテーブルを参照して決定する。図6(a)に示すヘッド制御部603では、駆動電圧決定部602で決定された駆動パルスを生成する制御信号を、記録ヘッド604のドライバへ供給して記録ヘッドの駆動を行う。
【0078】
25〜45℃まで同じヘッド構造と駆動条件の組み合わせで記録を行うと、25℃ではリフィル性能に余裕があり、印字時のメニスカス振動が生じるためにメニスカスが凸の状態で吐出してしまう。すると、フェイス面のヌレやヨレ等を生じやすく画像劣化が発生する場合がある。本実施例は実施例1,2と比較して、多段階で駆動パルス幅、駆動電圧を変更(図19(c))して、それぞれの温度レンジにおけるヘッドのリフィル周波数と駆動周波数のずれをより少なくできるので、印字時のメニスカス振動を抑制できる。なお、本実施例において、45℃での駆動電圧=12.5V、駆動パルス幅=0.8μsの場合のヘッドのリフィル周波数は25khzであった。よって、フェイス面のヌレやヨレ等を防止し、画像品位を良好に保つことが可能である。なお、図19(c)には示してないが、各テーブルでの温度帯での駆動電圧と駆動パルスの関係は、実施例1,2と同様にk値一定の条件になっており、ヘッドへの投入エネルギーは、ほぼ一定に保たれている。
【0079】
以下、本発明の実施態様を以下に示す。
【0080】
(実施態様1) 複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録方法において、
前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定ステップと、
前記設定ステップの設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御ステップと、
を有し、前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドの温度が相対的に高温であるほど前記駆動パルス幅を相対的に短く設定するとともに、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定することを特徴とするインクジェット記録方法。
【0081】
(実施態様2) 前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定ステップを含み、前記判定ステップで、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定されたときに、前記駆動パルス幅を短く、前記駆動電圧を高く変更することを特徴とする実施態様1に記載のインクジェット記録方法。
【0082】
(実施態様3) 前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる範囲の温度であることを特徴とする実施態様2に記載のインクジェット記録方法。
【0083】
(実施態様4) 前記制御ステップは、1回のインク吐出動作に対し複数個のパルスを駆動パルスとして出力することを特徴とする実施態様1ないし3のいずれか記載のインクジェット記録方法。
【0084】
(実施態様5) 前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であることを特徴とする実施態様1ないし4のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
【0085】
(実施態様6) 前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドが前記被記録媒体に記録を行う際、前記被記録媒体ヘ記録開始前に、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧の変更を行うことを特徴とする実施態様1ないし5のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
【0086】
(実施態様7) 前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドが走査方向に走査する毎に、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧の変更を行うことを特徴とする実施態様1ないし6のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
【0087】
(実施態様8) 前記電気熱変換素子は、発熱抵抗層およびそれを覆う2,000〜4,000Åの厚さのSiNにて形成された保護層をさらに有することを特徴とする実施態様1ないし7のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
【0088】
(実施態様9) 前記電気熱変換素子は、前記保護層の上にさらに耐キャビテーション層を備え、前記発熱抵抗層を覆う層の合計厚さが4,000〜6,600Åの範囲であることを特徴とする実施態様8に記載のインクジェット記録方法。
【0089】
(実施態様10) 前記耐キャビテーション層は、Ta層を含むことを特徴とする実施態様9に記載のインクジェット記録方法。
【0090】
(実施態様11) 複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、
前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定手段と、
前記設定手段の設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御手段と、
を具え、前記設定手段は、前記液体吐出ヘッドの温度が相対的に高温であるほど前記電気熱変換素子に印加する前記駆動パルス幅を相対的に短くなるよう設定し、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定することを特徴とするインクジェット記録装置。
【0091】
(実施態様12) 前記設定手段は、前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定手段を含み、前記判定手段が、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定したときに、前記駆動パルス幅を短く、前記駆動電圧を高く変更することを特徴とする実施態様11に記載のインクジェット記録装置。
【0092】
(実施態様13) 前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる範囲の温度であることを特徴とする実施態様12に記載のインクジェット記録装置。
【0093】
(実施態様14) 前記制御手段は、1回のインク吐出動作に対し複数個のパルスを駆動パルスとして出力することを特徴とする実施態様11ないし13のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
【0094】
(実施態様15) 前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であることを特徴とする実施態様11ないし14のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
【0095】
(実施態様16) 前記電気熱変換素子は、発熱抵抗層およびそれを覆う2,000〜4,000Åの厚さのSiNにて形成された保護層をさらに有することを特徴とする実施態様11ないし15のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
【0096】
(実施態様17) 前記電気熱変換素子は、前記保護層の上にさらに耐キャビテーション層を備え、前記発熱抵抗層を覆う層の合計厚さが4,000〜6,600Åの範囲であることを特徴とする実施態様16に記載のインクジェット記録装置。
【0097】
(実施態様18) 前記耐キャビテーション層は、Ta層を含むことを特徴とする実施態様17に記載のインクジェット記録装置。
【0098】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のインクジェットプリンタでは、記録ヘッドから出力されるヘッド温度を検出し、温度が所定の温度を超えた場合に、ヘッドにかかる投入エネルギーをほぼ一定に保ちつつ、駆動電圧と駆動パルス幅の変更を行ってリフィル周波数の低下を抑制できるので、昇温時のリフィル特性の低下に伴う画像劣化を回避し、かつ記録速度の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1およびだい2の実施形態に従った、駆動パルス幅および駆動電圧の設定処理を示すフローチャートである。
【図2】記録ヘッドのチップ構成を示す図である。
【図3】連続して複数ページを記録した際の、連続記録枚数とヘッド温度との関係を示す図である。
【図4】連続して複数ページを記録した際の、連続記録枚数とヘッド温度との関係を示す図である。
【図5】記録ヘッドの走査状態を示す図である。
【図6】 (a)は、ヘッド温度に応じて駆動パルス幅および駆動電圧を変更するための構成を示すブロック図であり、(b)は、記録ヘッドにおけるヒータへの電圧供給回路の一例を示す説明回路図である。
【図7】デジタル温度出力信号と記録ヘッドの温度との関係を示す図である。
【図8】本発明の一実施形態によるインクジェットプリンタの外観構成を示す斜視図である。
【図9】図8に示すインクジェットプリンタの外装部材を取り外した状態を示す斜視図である。
【図10】本発明の実施形態に用いる記録ヘッドカートリッジを組立てた状態を示す斜視図である。
【図11】図10に示す記録ヘッドカートリッジを示す分解斜視図である。
【図12】図11に示した記録ヘッドを斜め下方から観た分解斜視図である。
【図13】発熱基板を破断状態で示す図である。
【図14】電気熱変換素子の部分拡大図である。
【図15】図14のA−Aに沿った断面図である。
【図16】インク室の内部構造を示す図である。
【図17】図16のB−Bに沿った断面図である。
【図18】記録ヘッドのヒータに供給する駆動パルスを示す図であり、(a)は、昇温によるリフィル不足が発生する限界温度TLMT以下の場合に用いる駆動パルスを、(b)は昇温によるリフィル不足が発生する限界温度TLMT以下を超える場合に用いる駆動パルスを、(c)は1回のインクの吐出に用いる複数の駆動パルスをそれぞれ示す図である。
【図19】 (a)〜(c)は、インクジェット記録装置の記憶領域内に格納されているパルス幅と駆動電圧と温度の関係のデータを示す図である。
【図20】本発明における第3の実施形態における、駆動パルス幅および駆動電圧の設定処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
12 発熱基板
13 インク室
14 電気熱変換素子
15 インク供給口
16 吐出口
17 電極配線
18 バンプ
19 発熱抵抗体層
20 保護層
21 耐キャビテーション層
M1000 装置本体
M1001 下ケース
M1002 上ケース
M1003 アクセスカバー
M1004 排出トレイ
M2015 紙間調整レバー
M3001 LFローラ
M3019 シャーシ
M3022 自動給送部
M3029 搬送部
M3030 排出部
M4001 キャリッジ
M4002 キャリッジカバー
M4007 ヘッドセットレバー
M4021 キャリッジ軸
M5000 回復系ユニット
E0001 キャリッジモータ
E0002 LFモータ
E0018 電源キー
E0019 レジュームキー
E0020 LED
E0021 ブザー
E0022 カバーセンサ
E1001 CPU
H1000 記録ヘッドカートリッジ
H1001 記録ヘッド
H1100 記録素子基板
H1100T 吐出口
H1200 第1のプレート
H1201 インク供給口
H1300 電気配線基板
H1301 外部信号入力端子
H1400 第2のプレート
H1500 タンクホルダー
H1501 インク流路
H1600 流路形成部材
H1700 フィルター
H1800 シールゴム
H1900 インクタンク

Claims (9)

  1. 複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録方法であって、
    前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定ステップと、
    前記設定ステップの設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御ステップと、
    を有し、
    前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定ステップを含み、前記判定ステップで、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定された場合に、前記駆動パルス幅を相対的に短く設定するとともに、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定し、
    前記設定ステップにて設定される駆動パルスにて前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であり、
    前記液体吐出ヘッドの温度が上昇すると、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数は低下し、前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる温度に基づいて定められた温度であることを特徴とするインクジェット記録方法。
  2. 前記制御ステップは、1回のインク吐出動作に対し複数個のパルスを駆動パルスとして出力することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録方法。
  3. 前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドが前記被記録媒体に記録を行う際、前記被記録媒体へ記録開始前に、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧の変更を行うことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
  4. 前記設定ステップは、前記液体吐出ヘッドが走査方向に走査する毎に、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧の変更を行うことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のインクジェット記録方法。
  5. 複数の吐出口と、該複数の吐出口からインクを吐出させるための熱エネルギーを発生させる電気熱変換素子を有する液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置であって、
    前記液体吐出ヘッドの温度を取得し、前記電気熱変換素子に印加する駆動パルス幅と駆動電圧の設定変更を行う設定手段と、
    前記設定ステップの設定結果に基づいた、前記駆動パルス幅と前記駆動電圧により前記電気熱変換素子を駆動制御する制御手段と、
    を具え、
    前記設定手段は前記液体吐出ヘッドの温度と所定の温度とを比較する判定手段を含み、前記判定手段が、前記液体吐出ヘッドの温度が前記所定の温度を超えたと判定された場合に、前記駆動パルス幅を相対的に短く設定するとともに、前記駆動電圧が相対的に高くなるように設定し、
    前記設定手段にて設定される駆動パルスにて前記電気熱変換素子に印加されるエネルギーは、前記液体吐出ヘッドの温度によらずほぼ一定であり、
    前記液体吐出ヘッドの温度が上昇すると、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数は低下し、前記所定の温度は、液体吐出ヘッドにおけるリフィル周波数が駆動周波数より低くなる温度に基づいて定められた温度であることを特徴とするインクジェット記録装置。
  6. 前記制御手段は、1回のインク吐出動作に対し複数個のパルスを駆動パルスとして出力することを特徴とする請求項5に記載のインクジェット記録装置。
  7. 前記電気熱変換素子は、発熱抵抗層およびそれを覆う2,000〜4,000Åの厚さのSiNにて形成された保護層をさらに有することを特徴とする請求項5または6に記載のインクジェット記録装置。
  8. 前記電気熱変換素子は、前記保護層の上にさらに耐キャビテーション層を備え、前記発熱抵抗層を覆う層の合計厚さが4,000〜6,600Åの範囲であることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
  9. 前記耐キャビテーション層は、Ta層を含むことを特徴とする請求項5ないし8のいずれかに記載のインクジェット記録装置。
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