JP4193582B2 - 超音波センサ - Google Patents
超音波センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4193582B2 JP4193582B2 JP2003143960A JP2003143960A JP4193582B2 JP 4193582 B2 JP4193582 B2 JP 4193582B2 JP 2003143960 A JP2003143960 A JP 2003143960A JP 2003143960 A JP2003143960 A JP 2003143960A JP 4193582 B2 JP4193582 B2 JP 4193582B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic matching
- ultrasonic sensor
- piezoelectric element
- matching material
- acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波センサ、例えば、ガス流量計などに用いられ、超音波を送受信する超音波センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特開2002−188946号
【0003】
従来、ガス流量計のように高い精度を要求される超音波センサとして、特許文献1に記載のものが本出願人によって提案されている。この超音波センサは、図6に示すように、天面部1aと開口部1bを有する筒状の音響整合層1と圧電素子2とバッキング層3とからなり、圧電素子2は音響整合層1の天面部1aの内側に接着されており、バッキング層3は音響整合層1の開口部1bの全体に充填されている。
【0004】
この超音波センサにおいては、圧電素子2を拡がりモードで振動させることによって、音響整合層1の天面部1aの厚み振動モードと、音響整合層1の全体の撓み振動モードを発生させる。バッキング層3は圧電素子2や音響整合層1の不要振動を抑えるためのものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の超音波センサにおいては、バッキング層3が必ずしも十分に機能せず、応答性や残響特性に問題を有していた。即ち、バッキング層3に硬い材料を用いると圧電素子2と接触しているためにその振動を阻害し、感度が低下してしまう。そこで柔らかい材料を用いることになるが、これでは制動効果が少なく十分な応答性が得られず、残響が残ることになる。
【0006】
そこで、本発明の目的は、応答性や残響を改善した超音波センサを提供することにある。本発明の他の目的は、前記目的を達成することに加えて、圧電素子に接続されるリード線や半田付け部分での断線を未然に防止できる超音波センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】
以上の目的を達成するため、本発明に係る超音波センサは、一方に天面部を有し他方に開口部を有する略筒状の音響整合材と、該音響整合材の天面部の内側に設けられた圧電素子とを備え、共振モードとして天面部の厚み振動モードと音響整合材全体の撓み振動モードを使用する超音波センサにおいて、前記音響整合材の開口部に、該音響整合材よりも音響インピーダンスの大きい制動材を前記圧電素子とは接触しないように設けたことを特徴とする。
【0008】
本発明に係る超音波センサにおいては、略筒状の音響整合材の開口部に、該音響整合材よりも音響インピーダンスの大きい制動材を圧電素子とは接触しないように設けたため、音響整合材の天面部の内側に設けた圧電素子の振動を阻害することなく、音響整合材の振動を効果的に制動することができる。
【0009】
本発明に係る超音波センサにおいて、前記音響整合材と前記制動材との音響インピーダンスは、1:1.5〜1:40の比に設定されていることが好ましい。
【0010】
音響インピーダンスは、材料の密度とその内部を伝播する音速との積で表される。一般に、音速は硬い材料や比重の大きい材料のほうが速くなる。制動材は音響整合材よりも音響インピーダンスが大きい場合に、音響整合材の振動を抑制する効果が得られる。従って、制動材は音響整合材よりも硬度の高い材料及び/又は比重の大きい材料からなることが好ましい。
【0011】
前記圧電素子は拡がりモードで振動するものを好適に使用することができる。さらに、リード線は圧電素子の電極にたるみを持って接続されていることが好ましい。通常、リード線は前記制動材を通じて外部に導出されるが、材質が硬い制動材の中をリード線が張りを持った状態で引き出されると、制動材の熱変形でリード線やその半田付け部分が断線するおそれがある。リード線にたるみを持たせることで、このような断線を未然に防止することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る超音波センサの実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【0013】
(第1実施形態、図1〜図3参照)
本発明の第1実施形態である超音波センサ10Aは、図1に示すように、略円筒形状の音響整合材11と、圧電素子12と、ベース基板13と、弾性材14と、制動材15とで構成されている。
【0014】
音響整合材11は、一方に天面部11aを有し他方に開口部11bを有するもので、圧電素子12と外部の媒質との音響インピーダンスのマッチングをとるために用いられている。材料としては、例えば、エポキシ樹脂とガラスバルーンとを混合して硬化させたものが用いられ、比重は0.5以下が好ましい。
【0015】
圧電素子12は、円板状の圧電基板の表裏面に振動電極を形成したもので、拡がりモードで振動する。この圧電素子12は音響整合材11の天面部11aの内側にエポキシ接着剤などで貼り付けられている。また、圧電素子12の振動電極にはリード線16a,16bの一端が半田付けされており、該リード線16a,16bは以下に説明する弾性材14及び制動材15を通じてベース基板13の裏面に半田付けされている。さらに、この半田付け部分を中継して被覆タイプのリード線17a,17bが制動材15を通じて外部に引き出されている。
【0016】
ベース基板13は音響整合材11の開口部11bに設けられている。
【0017】
弾性材14は音響整合材11の天面部11a側に圧電素子12と接触する部分に充填されている。この弾性材14は圧電素子12から放出される超音波を吸収するものであるが、圧電素子12の振動を阻害するものであってはならない。それゆえ、弾性材14としては、例えば、硬度(JIS A)50以下のシリコン樹脂が用いられている。
【0018】
制動材15は音響整合材11の開口部11bの全体に前記ベース基板13を含むように、かつ、圧電素子12とは接触しないように、充填されている。この制動材15は音響整合材11の不要振動を抑制するものであり、音響整合材11よりも音響インピーダンスの大きい材料からなる。例えば、硬度(JIS D)80以上のエポキシ樹脂が用いられている。
【0019】
以上の構成からなる超音波センサ10Aは、一対のものが互いの天面部11aを対向させてガス流路に配置され、圧電素子12に信号を入力することにより、圧電素子12の振動に基づいて音響整合材11を介して超音波が放出される。また、音響整合材11を介して受信した超音波により、圧電素子12から受信信号が出力される。
【0020】
この場合、圧電素子12は拡がりモードで振動し、音響整合材11の天面部11aは厚みモードで振動し、音響整合材11の全体、特に開口部11bは撓みモードで振動する。円板状の圧電素子12の拡がり振動モードの共振周波数は、圧電基板の径によって決まる。そこで、使用する周波数帯の中央付近に共振周波数が存在するように、圧電基板の径が決定される。
【0021】
天面部11aの厚み振動モードの共振周波数は、天面部11aの厚さ寸法によって調整することができる。また、音響整合材11の全体の撓み振動モードの共振周波数は、天面部11aの稜線部に形成されたテーパ部11cの大きさによって調整するのが最も容易である。
【0022】
ところで、本第1実施形態では、音響整合材11の開口部11bに、該音響整合材11よりも音響インピーダンスの大きい制動材15が設けられており、天面部11aの内側に設けた圧電素子12の振動を阻害することなく、音響整合材11の撓みモードの振動、特に開口部11bの撓みモードの振動を効果的に制動することができる。
【0023】
図2に音響整合材11の側面における振動速度分布を示す。図2(A)は本第1実施形態である超音波センサ10Aの測定データであり、図2(B)は比較例として制動材15を取り除いた状態での測定データである。図2(A),(B)を比較すると明らかなように、本発明例においては音響整合材11の下部付近の振動が制限され、振動漏れが除去されている。
【0024】
また、図3に残響特性(超音波受信後、一定時間経過し たときの残響レベル)をヒストグラムで示す。図3(A)は本第1実施形態である超音波センサ10Aの測定データであり、図3(B)は比較例として制動材15を取り除いた状態での測定データである。図3(A),(B)を比較すると明らかなように、本発明例においては平均値で2.3dB(約30%)の残響改善効果が得られた。
【0025】
なお、図2及び図3のデータを得た超音波センサにおいて、音響整合材11の音響インピーダンスは0.5×106〜1.5×106kg/m2・s、制動材15の音響インピーダンスは2.0×106〜5.0×106kg/m2・sであった。
【0026】
ところで、音響インピーダンスは、前述のように、材料の密度とその内部を伝播する音速との積で表され、音速は硬い材料や比重の大きい材料のほうが速くなる。そこで、制動材15は音響整合材11よりも硬度の高い材料及び/又は比重の大きい材料を使用すればよい。
【0027】
しかし、制動材15の音響インピーダンスが大きすぎると(音響整合材11との音響インピーダンスの差が大きすぎると)、界面で音波が反射してしまい、かえって残響が大きくなりかねない。音響整合材11の音響インピーダンスは、圧電素子12の音響インピーダンスが約1.5×107kg/m2・s、外部媒質である空気の音響インピーダンスが約4.4×102kg/m2・sであることを考慮すると、その幾何平均である約8×104kg/m2・sが理想的である。
【0028】
音響整合材11の音響インピーダンスが約8×104kg/m2・sであると想定すると、制動材15の音響インピーダンスは約1.2×105〜3.2×106kg/m2・sが好ましい。換言すれば、音響整合材11と制動材15との音響インピーダンスの比は1:1.5〜1:40が好ましい。高分子材料はこのような条件を満たすものであり、制動材15として好適な材料である。
【0029】
また、前記超音波センサ10Aにおいて、リード線16a,16bは圧電素子12の電極にたるみを持って接続されている。リード線16a,16bは前記制動材15に埋め込まれているが、材質が硬い制動材15の中をリード線16a,16bが張りを持った状態で引き出されると、制動材15の熱変形でリード線16a,16bやその半田付け部分が断線するおそれがある。リード線16a,16bにたるみを持たせることで、このような断線を未然に防止することができる。
【0030】
(第2実施形態、図4参照)
本発明の第2実施形態である超音波センサ10Bは、図4に示すように、基本的には前記第1実施形態と同じ部品を用いて同様の構成としたものであり、図1と同じ部品には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【0031】
第1実施形態と異なるのは、ベース基板を省略し、リード線16a,16bを弾性材14及び制動材15を通じて直接外部へ引き出した点にある。本第2実施形態においても、音響整合材11の開口部11bに設けた制動材15は音響整合材11よりも音響インピーダンスの大きい材料からなる。従って、その作用効果は第1実施形態と同様である。
【0032】
さらに、本第2実施形態においても、リード線16a,16bやその半田付け部分の断線を防止するために、リード線16a,16bは圧電素子12の電極にたるみを持って接続されることが重要である。リード線16bは圧電素子12の上面側から下方に回り込むため、自然にたるみが形成される。しかし、リード線16aは真っ直ぐに張りを持たせて下方に引き出すことも可能であり、仮にこのように引き出すと制動材15の熱変形でリード線16aに応力が発生し、断線のおそれがある。従って、リード線16aに関しては人為的にたるみを持たせることが必要となり、そのためには圧電素子12の電極への半田付け部分の角度が45°以下となるように接続することが好ましい。
【0033】
(第3実施形態、図5参照)
本発明の第3実施形態である超音波センサ10Cは、図5に示すように、基本的には前記第2実施形態と同じ部品を用いて同様の構成としたものであり、図2と同じ部品には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【0034】
第2実施形態と異なるのは、弾性材14を省略した点にあり、制動材15が圧電素子12に接触しないように音響整合材11の内部には空間部18が形成されている。本第3実施形態においても、音響整合材11の開口部11bに設けた制動材15は音響整合材11よりも音響インピーダンスの大きい材料からなる。従って、その作用効果は前記第1及び第2実施形態と同様である。
【0035】
(他の実施形態)
なお、本発明に係る超音波センサは、前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【0036】
例えば、音響整合材、圧電素子、制動材などの細部の構造は任意である。また、本発明に係る超音波センサはガス流量計以外にも種々の用途に使用されることは勿論である。
【0037】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る超音波センサによれば、音響整合材の開口部に、該音響整合材よりも音響インピーダンスの大きい制動材を圧電素子とは接触しないように設けたため、圧電素子の振動を阻害することなく、音響整合材の振動が効果的に制動され、応答性や残響除去に優れた超音波センサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である超音波センサを示す断面図である。
【図2】音響整合材の側面における振動速度分布を示すグラフであり、(A)は本発明例(第1実施形態)、(B)は比較例を示す。
【図3】超音波センサの残響特性を示すグラフであり、(A)は本発明例(第1実施形態)、(B)は比較例を示す。
【図4】本発明の第2実施形態である超音波センサを示す断面図である。
【図5】本発明の第3実施形態である超音波センサを示す断面図である。
【図6】従来の超音波センサの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
10A,10B,10C…超音波センサ
11…音響整合材
11a…天面部
11b…開口部
12…圧電素子
14…弾性材
15…制動材
16a,16b…リード線
18…空間部
Claims (7)
- 一方に天面部を有し他方に開口部を有する略筒状の音響整合材と、該音響整合材の天面部の内側に設けられた圧電素子とを備え、共振モードとして天面部の厚み振動モードと音響整合材全体の撓み振動モードを使用する超音波センサにおいて、
前記音響整合材の開口部に、該音響整合材よりも音響インピーダンスの大きい制動材を前記圧電素子とは接触しないように設けたこと、
を特徴とする超音波センサ。 - 前記圧電素子と接触する部分に弾性材が充填されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。
- 前記音響整合材と前記制動材との音響インピーダンスは、1:1.5〜1:40の比に設定されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記制動材は前記音響整合材よりも硬度の高い材料からなることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載の超音波センサ。
- 前記制動材は前記音響整合材よりも比重の大きい材料からなることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3又は請求項4に記載の超音波センサ。
- 前記圧電素子は拡がりモードで振動することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4又は請求項5に記載の超音波センサ。
- リード線が前記圧電素子の電極にたるみを持って接続されていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5又は請求項6に記載の超音波センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003143960A JP4193582B2 (ja) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003143960A JP4193582B2 (ja) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 超音波センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004349973A JP2004349973A (ja) | 2004-12-09 |
JP4193582B2 true JP4193582B2 (ja) | 2008-12-10 |
Family
ID=33531579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003143960A Expired - Lifetime JP4193582B2 (ja) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 超音波センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4193582B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103608648A (zh) * | 2011-05-27 | 2014-02-26 | 松下电器产业株式会社 | 超声波发送接收器及其制造方法以及超声波流量计 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5111846B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-01-09 | リコーエレメックス株式会社 | 超音波出力素子 |
JP5111847B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-01-09 | リコーエレメックス株式会社 | 超音波流量計 |
KR101042041B1 (ko) * | 2008-12-04 | 2011-06-16 | 센서텍(주) | 초음파 센서 |
JP5659956B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 超音波送受波器及び超音波流量計 |
JP7331652B2 (ja) * | 2019-11-15 | 2023-08-23 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
-
2003
- 2003-05-21 JP JP2003143960A patent/JP4193582B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103608648A (zh) * | 2011-05-27 | 2014-02-26 | 松下电器产业株式会社 | 超声波发送接收器及其制造方法以及超声波流量计 |
CN103608648B (zh) * | 2011-05-27 | 2016-03-02 | 松下电器产业株式会社 | 超声波发送接收器及其制造方法以及超声波流量计 |
US10115385B2 (en) | 2011-05-27 | 2018-10-30 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Ultrasonic transmission/reception unit, manufacturing method of ultrasonic transmission/reception unit, and ultrasonic flow meter device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004349973A (ja) | 2004-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2918102B2 (ja) | 超音波変換器 | |
US7324655B2 (en) | Electroacoustic transducer | |
EP2076061B1 (en) | Ultrasonic transducer | |
JP3324593B2 (ja) | 超音波振動装置 | |
JP2001119795A (ja) | 圧電型電気音響変換器 | |
JP4193582B2 (ja) | 超音波センサ | |
KR950011498B1 (ko) | 분할된 진동판 부분을 갖는 광대역 스피커 | |
JP4048886B2 (ja) | 超音波センサ | |
JP3416648B2 (ja) | 音響トランスデューサー | |
JP3672565B2 (ja) | 小断面脈管超音波像形成トランスジューサ | |
JPH06269090A (ja) | 圧電型超音波送受波器 | |
BE1011085A4 (nl) | Element voor het weergeven en/of opnemen van geluid. | |
JP2001258097A (ja) | 超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
JP2010074544A (ja) | 開放型超音波送受信ユニット用の保護ハウジングおよび超音波センサ | |
KR100554874B1 (ko) | 압전 스피커 | |
JPH036960Y2 (ja) | ||
CN218988820U (zh) | Mems芯片封装结构及具有其的超声波传感器 | |
JP2001339793A (ja) | 圧電音響装置 | |
JPH02213300A (ja) | 複合形圧電振動素子 | |
JP3477270B2 (ja) | 超音波送受波器 | |
JPH05248935A (ja) | 超音波センサ | |
JP3632393B2 (ja) | 超音波振動子 | |
JP2973348B2 (ja) | 水中受波器 | |
JP2003348681A5 (ja) | ||
JP3639570B2 (ja) | 超音波送受波器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080902 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4193582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |