JP4187847B2 - Dust-free stocker - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンスーツを収納するのに好適な無塵ストッカに関する。ここで無塵は許容値を超える塵が存在しないこと、ストッカはロッカ、保管箱などの収納容器を意味する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造ラインにおけるクリーンルームやバイオ研究のためのクリーンルームに入るには、普通の衣服をクリーンスーツ(無塵服)に着替え、エアシャワー室で塵を除くことが義務付けられている。塵を持込むとクリーンルームのクリーン度が低下するからである。無塵化を進める上ではクリーンスーツの管理は重要であり、無塵処理済みのクリーンスーツを普通の環境に置くとたちまち汚れてしまうから、クリーンスーツはクリーンルームなみの無塵ストッカに入れておくことが望ましい。
【0003】
この様な無塵ストッカに関する技術として、例えば実開昭62−147835号公報「エアシャワー付きロッカー装置」が知られており、このロッカー装置のロッカー5(符号は公報のものを流用。)は、同公報の第1図によれば、エアシャワ室3に隣接した更衣室4内に配置したものであり、第1図のI−I線断面図である第2図によれば、更衣室4の一部を仕切って構成したものであり、更衣室4を強制循環するクリーンエアの一部を分岐して符号26のパンチングメタルから吹込み、床のプレフィルタ13を介して戻すことで、ロッカー5の内部をクリーンに保つことができると言うものである。
【0004】
上記公報の第1図、第2図から明らかなように、ロッカー5はクリーンルームの付属備品として取扱われ、クリーンルームCRとともに設置するエアシャワ室3や更衣室4とともに設備する重要備品とされてきた。
更衣室4に一体形成したロッカー5は、当然のことながら数を変更したり、位置を変更することはできない。
クリーンルームで取扱う製品が変わることや生産量を増減するなどの理由により、クリーンルームに出入りする要員の数が変化することは大いにある。しかし、上記ロッカー5の構造では要員の数の変化には対応できない。そこで、運搬可能な無塵ストッカが必要となる。
【0005】
図6は従来の代表的な無塵ストッカの外形図であり、無塵ストッカ100は、底101、左・右壁102,103、奥壁104、天井105からなるボックスの前面開口を透明シート106,107で塞ぎ、天井105にファンフィルタユニット110(詳細は次図で説明する。)を取付けたものである。108はキャスタ、109はレベルアジャスタであり、キャスタ108にて無塵ストッカ100を好みの場所まで移動し、レベルアジャスタ109を延ばすことで無塵ストッカ100の水平出しと床への固定とを実施することができる。
【0006】
図7は図6の断面図兼作用図であり、ファンフィルタユニット110はダクト111に布フィルタ112、モータ付きファン113、高性能フィルタ114を上から下へ順に配置したものである。
竿部材115にクリーンスーツ116を吊り下げておき、モータ付きファン113を運転すれば、外気は布フィルタ112及び高性能フィルタ114でクリーンになり、このクリーンなエアが無塵ストッカ100の空間を満たした後、床101の通孔117を通じて無塵ストッカ100外へ出る。この様に無塵ストッカ100の収納空間をクリーンなエアで満たしておくことにより、クリーンスーツ116をクリーナ状態に保っておくことができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、クリーンスーツ116の出入れの度に、透明シート106,107を開けなければならず、その度に外気が無塵ストッカ100内部に侵入する虞れがある。外気はクリーンな空気に比べて多くの塵を含むため無塵ストッカ100内が汚れる。この対策として、ファンフィルタユニット110の能力を格段に大きくするしかなく、そうするとファンフィルタユニット110が大型になること及び消費電力が倍増することとなり、設備費用及び運転費用の双方が嵩むことになる。
そこで、本発明の目的の一つはクリーンスーツなどの物品の出入れに際し、外気が無塵ストッカへ侵入する心配のない無塵ストッカ構造を提供する。
【0008】
また、透明シート106,107を人手で開けるため、この透明シート106,107に指紋などの汚れが着きやすく、この汚れが無塵ストッカ100のクリーン度を劣化させる要因となる。
そこで、本発明の目的の一つは人手で開閉する透明シートを廃止することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1は、高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口、下部に外気取入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数個のエア吐出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタとを備え、物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにしたことを特徴とする。
【0010】
前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままである。
クリーンスーツなどの物品はこの物品出入れ口を介して出入れする。
エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れる。
従って、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
【0011】
請求項2は、高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数個のエア吐出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、ファンの一次側において前記エアダクトに取付けた外気取入れ口とを備え、物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにしたことを特徴とする。
【0012】
請求項1と同様に、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままである。クリーンスーツなどの物品はこの物品出入れ口を介して出入れする。エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れる。
従って、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
【0013】
請求項3は、床に開けたエア排出孔は、床の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。
これにより、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上りを防ぐことができる。
【0014】
請求項4は、エアカーテンを形成するスリットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。
ダクトを通るクリーンエアの一部をエア吐出孔を介して物品収納空間へ吹出し、残部をスリットを介して物品収納空間へ吹出す。ただし、スリットは前縁に設けてあるため、エアカーテンは前壁の背面に沿って流下し、物品出入れ口から外へ出ることになる。エア吐出孔からだけエアを物品収納空間へ吹出すものに比べ、エアをエアカーテンとエア吐出孔とに二分すれば、エアカーテンは遮断作用が大きいので少量のエアで外気の侵入を抑えることができる。従って、ファンの吐出エア量を抑えることができる。ファンの吐出エア量が少量になればファンを運転するために必要な電気エネルギーを節約することができる。
【0015】
請求項5は、床、奥壁及び天井の外側に外床、外奥壁、外天井を間隔を置いて配置し、床と外床、奥壁と外奥壁及び天井と外天井とでエアダクトの要部を構成することにより、大きなボックスにエアダクトを内蔵したことを特徴とする。
二重壁構造を採用し、壁間空間をエア通路にしたので、エアダクトが露出すること無く、見栄えが良くなる。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、請求項1及び請求項3に係る無塵ストッカ10は図1〜図3で説明し、請求項2及び請求項3に係る無塵ストッカ10B,10Cは図5で説明する。
図1は本発明に係る無塵ストッカの断面図であり、無塵ストッカ10は、高さ略中央に物品出入れ口21、下部に外気取入れ口22を備えた前壁23で、床24、左右の壁25,25(手前の壁25は不図示)、奥壁26及び天井27にて囲った物品収納空間28の前面開口29を閉じた物品収納ボックス20と、床24の前縁近傍に開けたエア排出孔31・・・(・・・は複数個を示す。以下同様。)と、天井27に等間隔に開けた複数個のエア吐出孔32・・・及び前縁に開けたスリット33と、エア排出孔31とエア吐出孔32とを繋ぐエアダクト40と、このエアダクト40に介在させた第1次フィルタ41、モータ付きファン42及び第2次フィルタ43と、からなる。
【0017】
本例ではエアダクト40は、床24の下方に外床44を配置し、奥壁26の外側に外奥壁46を配置し、天井27の上方に外天井47を配置し、相互の隙間をエア通路にしたものである。いわゆる2重壁構造体であるから、外寸法に比較して物品収納空間28は小さくなるが、エアダクト40を内蔵したことになるので、見栄えが良くなる。しかし、エアダクト40を外置き独立ダクトにすることは差支えない。48は竿部材、49はハンガ、50は物品の一例としてのクリーンスーツである。
【0018】
第1次フィルタ41は、捕集効率が重量法で45〜90%、圧損が10〜50Paのものが好適である。
第2次フィルタ43は、高性能フィルタと称するもので、捕集効率が計数法(0.3μm、D.O.Pエアロゾル)で99.97%、初期圧損18mm水柱(175Pa)のものが好適である。
第1・2次フィルタ41,43共にフィルタ面積が大きいほど寿命が長くなるので、図面表裏方向へも延ばした広面積のものを使用する。
【0019】
天井27は開口率{(孔面積の総和/孔なし平板面積)×100}が20〜40%のパンチングメタルを採用すると良い。パンチングメタルは入手容易で安価である。しかし、孔なし平板に後から適当に孔を開けることは差支えない。
【0020】
図2は本発明に係る無塵ストッカの斜視図であり、前壁23の好適構成例を示す。
前壁23は高さ略中央に物品出入れ口21を設けるために、上部を樹脂シート52で塞ぎ、下部をアコーデオンカーテン53,53で塞いだものであり、そのために横桁54及び縦枠55をT字状に取着け、横桁54にカーテンレール56を取着け、縦枠55に固定側マグネット57・・・を埋め込む。
【0021】
アコーデオンカーテン53,53の上縁にカーテンランナ58・・・を取付け、これらのカーテンランナ58・・・を前記カーテンレール56に嵌合し、左又は右端部をビスB・・・で固定することで、アコーデオンカーテン53,53を必要なときにのみ左右に開くことができる。ただし、通常はアコーデオンカーテン53,53は閉じ、マグネット片59・・・を固定側マグネット57・・・に吸着させておく。
前記樹脂シート52及びアコーデオンカーテン53,53は、透明な帯電防止ビニルカーテンが好適である。
【0022】
前壁23の下部を塞ぐ部材として、アコーデオンカーテン53,53を採用したのは、床24の清掃、点検若しくは大物の出入れを考慮したものである。しかし、頻度が小さいので、適当な平板を左右壁25,25の前縁にビス止めするものであってもよく、この意味からも前壁23は物品出入れ口21及び外気取入れ口22(図1参照)を除いて全面的に塞ぐ壁であると言える。
ただし、物品出入れ口21と外気取入れ口22とを前壁23にともに設けたので、双方の開口の様子を容易に観察することができ、特に外気取入れ口22が異物で塞がれたとしても、そのことを察知し異物を除去する等の対策を容易に講じることができる。
【0023】
以上に述べた無塵ストッカの作用を次に説明する。
図3(a),(b)は本発明に係る無塵ストッカの作用説明図である。
(a)において、ファン42を運転すると、ファン42の吸引作用により、物品収納空間28下部のQ1のエアと、外気取入れ口22を通じて進入するQ2のエアとの合計(Q1+Q2)がエア排出孔31を通ってファン42に至る。Q1+Q2のエアをファン42で昇圧し、第2次フィルタ43を通じて下方へ流す。このクリーンエアはスリット33を通って吹出すQ3のエアカーテンとエア吐出孔32・・・を通って吹出すQ4のエアとに分れるが共に物品収納空間28に吹出す。
【0024】
但し、エアカーテンのQ3は樹脂シート52の背面に沿って流下し、物品出入れ口21から流れ出る。従って物品出入れ口21から漏れるエア量Q5はエアカーテンのQ3とほぼ等量にすることが望ましい。
また、エア量Q2とエア量Q5とは必然的に等しくなるため、Q1=Q4となる。
【0025】
ここで、本発明の無塵ストッカ10の圧力、流速、寸法などの具体例を述べる。
物品収納空間28はドラフト作用により、底24と天井27では圧力に差があるが、平均値で+0.6Pa(+は正圧。外気を基準とする。)は確保したい。そのためには、スリット33からのQ3に係る流速を0.8〜1.1m/sの範囲にする。0.8m/s未満ではカーテンの機能が乏しくなる。又、1.1m/sを超えると乱流が発生し、外気を巻き込むなどしてクリーン度が低下するからである。
【0026】
エア吐出孔32・・・からのQ4に係るエア流速は0.2〜0.4m/sの範囲として整流にするとよい。0.2m/s未満では物品収納空間28を正圧に保つことが困難になる。又、0.4m/sを超えると整流が維持できなくなり、かつエネルギー消費が課題となって好ましくない。
【0027】
樹脂シート52の高さH1は、エアカーテンを安定的に形成する上で100mm以上であればよいが、ここでは約600mmとする。
物品出入れ口21の高さh1は、約600mmとする。
アコーデオンカーテン53の高さH2は、約800mmとする。
そして、外気取入れ口22の高さh2は、約50mmとする。
【0028】
(b)は、クリーンスーツ50を白抜き矢印の如く物品出入れ口21を通じて取り出すときの様子を示す。エアの流れは(a)と同一である。
物品出入れ口21の高さ寸法を約600mmとすれば、原則として物品出入れ口21のみでクリーンスーツ50を出入れすることは可能である。取扱が雑で上方の樹脂シート52にクリーンスーツ50が触れたとしても、樹脂シート52であれば可撓性に富むので図の様に撓みクリーンスーツ50の出入れを妨げることはない。
【0029】
樹脂シート52が若干湾曲したとしても、エアカーテンQ3が樹脂シート52の背面に沿って流れ、物品出入れ口21から吹出すため、クリーンスーツ50の出入れに伴なって外気が物品出入れ口21を介して物品収納空間28に侵入する虞れはない。
また、下部のアコーデオンカーテン53については、横桁54がプロテクタとなっており、クリーンスーツ50が横桁54に触れることはあっても、アコーデオンカーテン53に触れる虞れはない。
【0030】
なお、底24のエア排出孔31の近傍は、外気Q2を取込むために負圧となっている。しかし、この負圧の部分はごく限られており、物品収納空間28の底のごく一部であるため、外気が物品収納空間28に分散することはない。
また、床24の前縁近傍にエア排出孔31を設けことにより、外気取入れ口22からの気流による床24の塵の舞い上げを抑えることができる。
【0031】
図4(a),(b)は本発明に対する比較例図である。
図3(a)で示したとおりに、本発明の無塵ストッカ10は、常時開放の物品出入れ口21を設けたこと、同じく外気取入れ口22を設けたこと、及びエアダクト40でエアを循環させることを構造的な特徴とする。これらの特徴の意義を比較例を引用して説明する。
【0032】
図4(a)はアコーデオンカーテン53を下方へ延長して外気取入れ口を無くした比較例である。この比較例では物品出入れ口21のみが外気に通じる開口であるため、物品出入れ口21からQ5だけエアが吹出すようにすれば、このQ5と同量のエアQ6が図の様に物品収納空間28に侵入する。これでは外気でクリーンスーツ50が汚染される虞れがある。従って、低い位置に設けた外気取入れ口は不可欠である。
【0033】
図4(b)は従来の技術で述べた無塵ストッカ100の透明シート106,107の途中に物品出入れ口120を設けたところの比較例であり、勿論透明シート106,107は固定板に替えてもよい。
物品出入れ口120からのエアの吹出し量をQ5、通孔117からのエア吹出し量をQ7とすれば、ファン113及びフィルタ112,114を通るエア量はQ5+Q7となり、特にQ5が大きいため、フィルタ112,114、特にフィルタ114を頻繁に清掃若しくは交換しなければならずメンテナンスコストが大幅にアップする。
【0034】
この点、図3(a)は、大量のクリーンエアQ4(=Q1)に少量の外気Q2が混じったものをフィルタ43で処理するので、フィルタ43のメンテナンスコストを抑えることができる。
従って、本発明のエア循環方式は、図4(b)の構造(エア1パス方式+物品出入れ口)より優れていると言える。
【0035】
図5(a),(b)は本発明の係る無塵ストッカの別実施例図である。
本発明は上述したとおりエア循環方式と外気取入れとを組合わせたものであり、ファン42の1次側(吸込側)であれば、外気取入れ口を自由に設けることができる。
(a)の無塵ストッカ10Bは、前壁の下部を比較的気密性のよいシャッタ53Bで塞ぎ、外気取入れ口22Bを床24より下位で且つ外床44より上位の範囲においてエアダクト40に設けたものである。また、床24のエア排出孔31・・・は平均的に分散させた状態で開けるとよい。この結果、外気Q2は物品収納空間28に侵入する虞れが無く、物品収納空間28のクリーン度を容易に高めることができる。
【0036】
(b)の無塵ストッカ10Cは、ダクト40の途中、具体的には外奥壁46の高さ略中央に外気取入れ口22Cを取付けたものであり、この外気取入れ口22Cから外気Q2を取入れればよい。ただし、ファン42に接近しているため、Q2が過大となり、エアQ1が確保できない虞れがあるので、外気取入れ口22Cに弁61を取付け、流量を調整するようにすることが望ましい。そして、一般に、重い塵は床に溜まるため、この例の様に外気取入れ口22Cを十分に高い位置に設ければ、比較的塵の含有率の少ない外気を取入れことができ、フィルタ43の長寿命化を図ることができる。
【0037】
加えて、外気取入れ22B,22Cをエアダクト40の適当な位置に設けるようにしたので、構造設計の自由度が増し、構造の多様化が図れる。
【0038】
上記(a),(b)に示した例に対して、図1若しくは図3(a)で示した実施例は、エアQ1と外気Q2とをエア排出孔31・・・で一括してエアダクト40に取込むようにしたことを特徴とする。それだけに、図1若しくは図3(a)で示した実施例は構造が極めて簡単であり、使い勝手が良好である。
従って、無塵ストッカ10,10B,10Cの何れを採用するかは、使用環境、使用条件、クリーン度などを考慮して決定すればよい。
【0039】
尚、請求項1の無塵ストッカは、本実施例の様にエアダクト40を内蔵したもの、エアダクト40を外置きしたものの何れであってもよい。更に、エアカーテンのためのスリット33を備えるもの、備えないものの何れであってもよい。
また、無塵ストッカにキャスタやレベルアジャスタを備えることは好ましいことである。
【0040】
さらには、本発明の無塵ストッカにクリーンスーツ以外の物品(手袋、靴、ゴーグル)を入れることは可能であり、無塵処理した又はする物品であれば部品の種類、形状を限るものではない。
なお、この場合上記物品を整理する棚を設けても良く、その棚は奥壁26の床24付近に設置されることが好ましい。物品収納空間28の気流を最も乱しにくい位置だからである。
【0041】
【発明の効果】
本発明は上記構成により次の効果を発揮する。
請求項1では、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の物品はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れるようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
物品の出入れの度に透明シート(カーテン)を開ける必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を汚染する心配はない。
【0042】
加えて、物品出入れ口と外気取入れ口とを前壁にともに設けたので、双方の開口の様子を容易に観察することができ、特に外気取入れ口が異物で塞がれたとしても、そのことを察知し異物を除去する等の対策を容易に講じることができる。
【0043】
請求項2も、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の物品はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れるようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
物品の出入れの度に透明シート(カーテン)を開ける必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を汚染する心配はない。
【0044】
加えて、外気取入れ口をエアダクトの適当な位置に設けるようにしたので、構造設計の自由度が増し、構造の多様化が図れる。
【0045】
請求項3は、床に開けたエア排出孔は、床の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。これにより、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上りを防ぐことができる。
【0046】
請求項4は、エアカーテンを形成するスリットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。これにより、外気取入れ口から取入れる外気量とほぼ同量のクリーンエアをエアカーテンとして吹出すスリットを天井の前縁に設け、エアカーテンを前壁の背面に沿って流下させ、物品出入れ口から外へ出すことができるので、物品出入れ口から外気が侵入してくることを効果的に抑制することができる。この結果、エアを循環させるファンの容量を落とすことも可能であり、設備費及び運転費用の削減が可能となる。
【0047】
請求項5は、大きなボックスにエアダクトを内蔵したので、無塵ストッカは単純なボックスとなり、突起物が無いので、見栄えが良くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る無塵ストッカの断面図
【図2】本発明に係る無塵ストッカの斜視図
【図3】本発明に係る無塵ストッカの作用説明図
【図4】本発明に対する比較例図
【図5】本発明の係る無塵ストッカの別実施例図
【図6】従来の代表的な無塵ストッカの外形図
【図7】図6の断面図兼作用図
【符号の説明】
10,10B,10C…無塵ストッカ、20…物品収納ボックス、21…物品出入れ口、22,22B,22C…外気取入れ口、23…前壁、24…床、25…壁、26…奥壁、27…天井、28…物品収納空間、29…前面開口、31…エア排出孔、32…エア吐出孔、33…スリット、40…エアダクト、42…ファン、43…フィルタ(第2次フィルタ)、44…外床、46…外奥壁、47…外天井、48…竿部材、50…物品(クリーンスーツ)、52…樹脂シート、53…アコーデオンカーテン。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a dust-free stocker suitable for storing a clean suit. Here, no dust means that there is no dust exceeding the allowable value, and the stocker means a storage container such as a rocker or a storage box.
[0002]
[Prior art]
In order to enter a clean room for semiconductor production lines or a clean room for bioresearch, it is required to change ordinary clothes to clean suits (dust-free clothes) and remove dust in the air shower room. This is because the cleanliness of the clean room decreases when dust is brought in. Clean suit management is important in promoting dust-free operation, and if a clean suit that has already been treated with dust is placed in a normal environment, it will become dirty immediately, so keep it in a dust-free stocker like a clean room. Is desirable.
[0003]
As a technique related to such a dust-free stocker, for example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-147835 “Rocker device with air shower” is known, and the locker 5 of this locker device (the symbol is diverted from the publication). According to FIG. 1 of the publication, it is arranged in the changing room 4 adjacent to the air shower room 3, and according to FIG. 2, which is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. A part of the clean air that is forcedly circulated through the changing room 4 is branched, blown from the punching metal of
[0004]
As apparent from FIGS. 1 and 2 of the above publication, the locker 5 is handled as an accessory of the clean room, and has been an important fixture to be installed with the air shower room 3 and the changing room 4 installed together with the clean room CR.
As a matter of course, the locker 5 formed integrally with the changing room 4 cannot be changed in number or position.
The number of people entering and exiting a clean room can vary greatly due to changes in the products handled in the clean room and increases and decreases in production. However, the structure of the locker 5 cannot cope with changes in the number of personnel. Therefore, a dust-free stocker that can be transported is required.
[0005]
FIG. 6 is an external view of a typical representative dust-free stocker. The dust-
[0006]
FIG. 7 is a cross-sectional view and an operation diagram of FIG. 6. The
If the
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, the
Accordingly, one of the objects of the present invention is to provide a dust-free stocker structure in which there is no concern that outside air will enter the dust-free stocker when an article such as a clean suit is put in and out.
[0008]
Further, since the
Therefore, one of the objects of the present invention is to eliminate the transparent sheet that is manually opened and closed.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, claim 1 is a front wall which is provided at the center of the height and is always open and has an article inlet and a lower part, and a floor, left and right walls, and a back wall. And an article storage box in which the front opening of the article storage space enclosed by the ceiling is closed, an air discharge hole opened in the floor, a plurality of air discharge holes opened in the ceiling, an air discharge hole and an air discharge hole An air duct to be connected and a fan and a filter interposed in the air duct are provided, and an appropriate amount of air is always blown from the article inlet / outlet, and the same amount of air is taken in from the outside air inlet.
[0010]
The article entry / exit opening opened at approximately the center of the height of the front wall is always open.
Articles such as clean suits are put in and out through the goods entrance.
Due to the action of the air duct and the fan, an appropriate amount of air is always blown out from the article inlet / outlet, and the same amount of outside air is taken in from the outside air inlet.
Therefore, there is no concern that outside air will enter from the article entry / exit, and there is no concern that the article storage space will be contaminated by outside air.
[0011]
Claim 2 is a front wall provided with an article entry / exit opening which is provided at a substantially central height, and has a front opening of an article storage space surrounded by a floor, left and right walls, a back wall and a ceiling. A closed article storage box, an air discharge hole opened in the floor, a plurality of air discharge holes opened in the ceiling, an air duct connecting the air discharge hole and the air discharge hole, and a fan and a filter interposed in the air duct And an outside air intake port attached to the air duct on the primary side of the fan, wherein an appropriate amount of air is always blown out from the article entry / exit port, and the same amount of air is taken in from the outside air intake port. .
[0012]
As in the first aspect, the article access opening opened at approximately the center of the height of the front wall always remains open. Articles such as clean suits are put in and out through the goods entrance. Due to the action of the air duct and the fan, an appropriate amount of air is always blown out from the article inlet / outlet, and the same amount of outside air is taken in from the outside air inlet.
Therefore, there is no concern that outside air will enter from the article entry / exit, and there is no concern that the article storage space will be contaminated by outside air.
[0013]
According to a third aspect of the present invention, the air discharge hole opened in the floor is provided in the vicinity of the front edge of the floor.
Thereby, it is possible to prevent the dust of the floor from rising due to the airflow from the outside air intake.
[0014]
According to a fourth aspect of the present invention, a slit for forming an air curtain is provided on the front edge of the ceiling.
A part of the clean air passing through the duct is blown out to the article storage space through the air discharge hole, and the remaining part is blown out to the article storage space through the slit. However, since the slit is provided at the front edge, the air curtain flows down along the back surface of the front wall and exits from the article entrance. Compared to air that blows air only from the air discharge hole to the article storage space, if the air is divided into the air curtain and the air discharge hole, the air curtain has a large blocking action, so it is possible to suppress the entry of outside air with a small amount of air. it can. Therefore, the amount of air discharged from the fan can be suppressed. If the amount of air discharged from the fan is small, it is possible to save electric energy necessary for operating the fan.
[0015]
5. The outer floor, the outer back wall, and the outer ceiling are arranged at intervals on the outside of the floor, the rear wall, and the ceiling, and the air duct includes the floor and the outer floor, the rear wall and the outer back wall, and the ceiling and the outer ceiling. By constructing the main part, an air duct is built in a large box.
Adopting a double wall structure and making the space between the walls an air passage, the air duct is not exposed and the appearance is improved.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The dust-
FIG. 1 is a cross-sectional view of a dustless stocker according to the present invention. A
[0017]
In this example, the
[0018]
The
The
Since the life of the first and second order filters 41 and 43 is longer as the filter area is larger, a filter having a large area extending in the front and back direction of the drawing is used.
[0019]
The
[0020]
FIG. 2 is a perspective view of a dustless stocker according to the present invention, and shows a preferred configuration example of the
The
[0021]
Attaching the
The
[0022]
The reason why the
However, since both the article inlet /
[0023]
The operation of the dustless stocker described above will be described next.
FIGS. 3A and 3B are explanatory views of the operation of the dustless stocker according to the present invention.
In (a), when the
[0024]
However, Q3 of the air curtain flows down along the back surface of the
Further, since the air amount Q2 and the air amount Q5 are necessarily equal, Q1 = Q4.
[0025]
Here, specific examples of the pressure, flow velocity, dimensions, etc. of the
Although the
[0026]
The air flow velocity relating to Q4 from the air discharge holes 32... Should be rectified within a range of 0.2 to 0.4 m / s. If it is less than 0.2 m / s, it is difficult to keep the
[0027]
The height H1 of the
The height h1 of the article entry /
The height H2 of the
The height h2 of the
[0028]
(B) shows a state when the
If the height dimension of the article entrance /
[0029]
Even if the
Further, for the
[0030]
The vicinity of the
Further, by providing the
[0031]
4 (a) and 4 (b) are comparative examples for the present invention.
As shown in FIG. 3A, the dust-
[0032]
FIG. 4A is a comparative example in which the
[0033]
FIG. 4B is a comparative example in which an
Assuming that the amount of air blown from the article inlet /
[0034]
In this regard, in FIG. 3A, since a large amount of clean air Q4 (= Q1) mixed with a small amount of outside air Q2 is processed by the
Therefore, it can be said that the air circulation system of the present invention is superior to the structure of FIG. 4B (air 1-pass system + article entrance / exit).
[0035]
5A and 5B are diagrams showing another embodiment of the dustless stocker according to the present invention.
As described above, the present invention is a combination of the air circulation method and the outside air intake, and the outside air inlet can be freely provided on the primary side (suction side) of the
The dust-
[0036]
The dust-
[0037]
In addition, since the
[0038]
In contrast to the examples shown in the above (a) and (b), the embodiment shown in FIG. 1 or FIG. 3 (a) is configured such that the air Q1 and the outside air Q2 are collectively brought into the
Therefore, which of the dust-
[0039]
Note that the dustless stocker of claim 1 may be either a built-in
In addition, it is preferable to provide the dustless stocker with casters and level adjusters.
[0040]
Furthermore, it is possible to put articles (gloves, shoes, goggles) other than clean suits into the dustless stocker of the present invention, and the types and shapes of the parts are not limited as long as the articles are treated or dustless. .
In this case, a shelf for organizing the articles may be provided, and the shelf is preferably installed near the
[0041]
【The invention's effect】
The present invention exhibits the following effects by the above configuration.
In claim 1, an article entry / exit opening opened substantially at the center of the front wall is kept open, and articles such as a clean suit are taken in / out through the article entry / exit, and the air duct and the fan As a result, an appropriate amount of air is always blown out from the goods entry / exit port, and the same amount of outside air is taken in from the outside air intake. There is no worry of being contaminated.
Since it is not necessary to open the transparent sheet (curtain) every time an article is put in and out, there is no fear that the article storage space is contaminated by dirt such as fingerprints.
[0042]
In addition, since both the article entrance and the outside air inlet are provided on the front wall, both openings can be easily observed, even if the outside air inlet is clogged with foreign matter. Therefore, it is possible to easily take such measures as removing foreign substances.
[0043]
In the second aspect of the present invention, the article entry / exit opening opened substantially at the center of the front wall is always kept open, and articles such as a clean suit are taken in / out through the article entry / exit, As a result, an appropriate amount of air is always blown out from the goods entry / exit port, and the same amount of outside air is taken in from the outside air intake. There is no worry of being contaminated.
Since it is not necessary to open the transparent sheet (curtain) every time an article is put in and out, there is no fear that the article storage space is contaminated by dirt such as fingerprints.
[0044]
In addition, since the outside air inlet is provided at an appropriate position of the air duct, the degree of freedom in structural design is increased and the structure can be diversified.
[0045]
According to a third aspect of the present invention, the air discharge hole opened in the floor is provided in the vicinity of the front edge of the floor. Thereby, it is possible to prevent the dust of the floor from rising due to the airflow from the outside air intake.
[0046]
According to a fourth aspect of the present invention, a slit for forming an air curtain is provided on the front edge of the ceiling. As a result, a slit that blows out the clean air of the same amount as the amount of outside air taken in from the outside air inlet as an air curtain is provided at the front edge of the ceiling, and the air curtain flows down along the back of the front wall. Therefore, it is possible to effectively prevent the outside air from entering from the article entry / exit port. As a result, it is possible to reduce the capacity of the fan that circulates air, and it is possible to reduce equipment costs and operating costs.
[0047]
According to the fifth aspect, since the air duct is built in the large box, the dustless stocker becomes a simple box and there is no protrusion, so that the appearance is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a dustless stocker according to the present invention. FIG. 2 is a perspective view of the dustless stocker according to the present invention. FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the dust-free stocker according to the present invention. FIG. 6 is an external view of a typical representative dust-free stocker. FIG. 7 is a cross-sectional view and an action diagram of FIG. ]
10, 10B, 10C ... Dust-free stocker, 20 ... Goods storage box, 21 ... Goods entry / exit port, 22, 22B, 22C ... Outside air intake, 23 ... Front wall, 24 ... Floor, 25 ... Wall, 26 ... Back wall 27 ... Ceiling, 28 ... Article storage space, 29 ... Front opening, 31 ... Air discharge hole, 32 ... Air discharge hole, 33 ... Slit, 40 ... Air duct, 42 ... Fan, 43 ... Filter (secondary filter), 44 ... Outer floor, 46 ... Outer back wall, 47 ... Outer ceiling, 48 ... Gutter member, 50 ... Article (clean suit), 52 ... Resin sheet, 53 ... Accordion curtain.
Claims (5)
前記床に開けたエア排出孔と、
前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、
前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、
このエアダクトに介在させたファン及びフィルタとを備え、
前記物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、前記外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにした、
ことを特徴とする無塵ストッカ。The front wall of the article storage space, which is provided at the center of the height and is always open and has a front wall with an open air inlet and an outside air inlet at the bottom, surrounded by the floor, left and right walls, back wall and ceiling. Closed goods storage box,
An air discharge hole opened in the floor;
A plurality of air discharge holes opened in the ceiling;
An air duct connecting the air discharge hole and the air discharge hole;
With a fan and a filter interposed in the air duct ,
An appropriate amount of air was always blown out from the article outlet, and the same amount of air was taken in from the outside air inlet.
A dust-free stocker characterized by that .
前記床に開けたエア排出孔と、
前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、
前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、
このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、
前記ファンの一次側において前記エアダクトに取付けた外気取入れ口とを備え、
前記物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、前記外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにした、
ことを特徴とする無塵ストッカ。An article storage box provided at the center of the height, with a front wall with an article access opening that is always open , with the front opening of the article storage space enclosed by the floor, left and right walls, back wall, and ceiling closed. When,
An air discharge hole opened in the floor;
A plurality of air discharge holes opened in the ceiling;
An air duct connecting the air discharge hole and the air discharge hole;
A fan and a filter interposed in the air duct,
An outside air intake port attached to the air duct on the primary side of the fan ,
An appropriate amount of air was always blown out from the article outlet, and the same amount of air was taken in from the outside air inlet.
A dust-free stocker characterized by that .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33607998A JP4187847B2 (en) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | Dust-free stocker |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33607998A JP4187847B2 (en) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | Dust-free stocker |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000161737A JP2000161737A (en) | 2000-06-16 |
JP4187847B2 true JP4187847B2 (en) | 2008-11-26 |
Family
ID=18295488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33607998A Expired - Fee Related JP4187847B2 (en) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | Dust-free stocker |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4187847B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008039270A (en) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Kondo Kogyo Kk | Garment stocker |
FR2944861A1 (en) * | 2009-04-24 | 2010-10-29 | Ltb Sa | SMOKING SALON WITH AIR RENEWAL BY LAMINAR FLOW |
CN112628988B (en) * | 2020-12-22 | 2022-04-15 | 青岛海尔空调器有限总公司 | Intelligent air conditioner and control system and control method for preventing stain residues |
-
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000161737A (en) | 2000-06-16 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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