JP4175627B2 - サンプリング装置及びそれを用いたサンプリング方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象溶液を試料用容器に採取するサンプリング装置及びそれを用いたサンプリング方法に関し、特に対象溶液として有害物質を含む可能性がある溶液を採取しなければならない場合に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
化学プラントには、例えば、ポリ塩化ビフェニル（以下、「ＰＣＢ」と略称する）やダイオキシン類等の有害物質を含む溶液を分解して無害化することがある。この処理では、対象溶液の濃度を計測して該計測値に基づいて分解用薬剤の投入量を算出したり、処理後等に有害物質が分解されて無くなったことを計測する。このような計測は、下記文献１や２と同様に、対象溶液等をライン中からサンプリング配管（以下、「専用配管」と略称する）に導出させて容器に採取し、該採取液について行われる。なお、図５は文献１のものを示している。この要部は、原子炉圧力タンク４１が原子炉格納容器４０内に設けられる循環用配管４２を有する場合、専用配管（試料採取配管）４３を原子炉冷却材浄化系配管４４と残留熱除去系配管４５との間に接続し、該配管４３に対し開閉弁４６と共に容器内外に弁４７，４８を設けたり、原子炉水を入れる採取装置４９を容器外部に設けることにある。また、図６は文献２のものを示している。この要部は、発酵タンク５０に循環式の専用配管５１を設定し、該配管５１が開閉弁５２，５３と共にタンク５０よりＨ1寸法下側に注入部５４を有し、該注入部５４よりガスを吹き込んでタンク５０より配管５１へ液を導出させて開閉弁５３を介し容器５５へ採取することにより、ポンプを不要にし不純物混入等の虞を回避するものである。
【０００３】
ところで、ＰＣＢ等を含む溶液では、専用配管が反応槽等からグローブボックス等の採取室に導かれ、該採取室で開閉弁を介し配管内溶液をノズルより容器に採取するが、その場合、専用配管に設けられたチャックに容器を取り付けた状態で採取したり、更にチャック側に設けられた排気孔等により採取時における蒸発物等を吸引排気するようにして、危険回避等の対策が施される。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１９７４３号公報（第２頁〜第３頁、図１）
【特許文献２】
特開平８−２７８３８７号公報（第２頁〜第４頁、図１〜図９）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したサンプリング方法及び装置では、例えば、含有していたＰＣＢが反応槽で分解除去されたか否かを計測するため、該反応槽から溶液を専用配管に導出し開閉弁及びノズルを介し容器に試料採取する上で次のようなことが問題となる。
(1)、図５や図６の構成では、専用配管を流れている溶液を開閉弁を介しノズルから容器に流出させるため、採取量がばらついたり過剰に採取し易く、又、専用配管系の故障により大量の液流出の虞もある。図５の様に専用配管が一方通行又は非循環式の場合、バルブ操作を厳格に管理しても配管長さに比例した過剰液を流出し易くなる。このような不安定要因は危険であり確実に解消したい。
(2)、例えば、ＰＣＢをナトリウム分散体で無害化処理する工程では、処理後にＰＣＢが残存していないことを確認するため、処理部より溶液を採取して計測するが、該計測でＰＣＢが検出されると、当該処理部の溶液にナトリウム分散体を追加し無害化処理を継続して行う。この様なケースでは、対象溶液が８０℃以上の高温になっており、又、処理反応により不溶物が生成してスラリー状になっている。この様な溶液を前記循環用配管を有する装置を用いてサンプリングすると、配管内が詰まり易く安全性等の点から問題となる。
(3)、採取用溶液は、反応槽や処理槽から専用配管に導出されて一部が採取され、残りが図５の様に採取装置で廃棄処理されるか、図６の様に再び反応槽へ戻される。前者では溶液が専用配管内に液滴として付着し、後者では溶液が専用配管内に残るため、それらが次のサンプリング溶液に混入し計測精度の低下要因となる。なお、以上の対策としては、専用配管に洗浄用液経路を追加して配管内の液滴や残液を除去することも考えられるが、その場合、液移送用ポンプや弁等が追加されるという問題、安全性及び操作性からも問題となり易い。
【０００６】
本発明は、以上のような課題を一掃するため工夫されたものである。その目的は、上記した過剰液の流出それに起因した廃棄処理を大幅に緩和できるようにし、また、前回の液や液滴が当該採取液に混入する虞を確実に解消して性能を向上し、それらを簡明かつ簡易に実現できるようにする。他の目的は以下の内容説明の中で明らかにする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため請求項１の発明は、溶液用処理槽に付設されて、前記処理槽から溶液の一部を導出する配管と、前記配管に設けられた開閉弁及びノズル並びにチャックとを有し、前記開閉弁を介し前記溶液の所要量を前記ノズルより前記チャックに取り付けられた試料用容器に採取するサンプリング装置において、前記配管のうち前記開閉弁より前記処理槽側の配管部分に設けられた第２開閉弁と、前記配管の他端に接続されて、前記開閉弁が閉状態かつ前記第２開閉弁が開状態で前記処理槽内の溶液の所定量を吸い込むとともに、吸い込んだ前記溶液を前記第２開閉弁が閉状態かつ前記開閉弁が開状態で前記容器に採取可能にするストレージタンクと、不活性ガスを前記ストレージタンク及び前記ノズルにそれぞれ独立して供給可能なガス供給手段と、洗浄用液を前記ストレージタンクに供給可能な洗浄用液供給手段と、前記配管又は前記ストレージタンクに第３開閉弁を介して接続された真空吸引手段と、前記チャックに設けられた排気孔より前記容器内の気体を排気可能にする吸引手段とを備えているとともに、前記開閉弁及びノズル並びにチャックと前記ストレージタンクとが外部と隔離された採取室に配置されていることを特徴としている。
これに対し、請求項２の発明は、請求項１のサンプリング装置を用いて、前記溶液用処理槽から溶液の一部を前記試料用容器に採取するサンプリング方法であって、前記開閉弁及び前記第２開閉弁の閉状態で前記配管及びストレージタンク内を負圧にした後、前記第２開閉弁を開状態に切り換えて前記処理槽内の溶液を前記配管から前記ストレージタンクへ所要量を吸い込み、該吸い込んだストレージタンク内の溶液を前記第２開閉弁が閉状態かつ前記開閉弁が開状態で前記容器内へ採取する操作、不活性ガスを前記ノズル内へ噴射し、該噴射力でノズル内周面に付着している液滴を前記容器内へ落下させる操作、前記第２開閉弁を開状態に切り換え、不活性ガスを前記ストレージタンク内へ供給し加圧することで該ストレージタンク及び前記配管内の溶液を前記処理槽へ戻す操作、前記ストレージタンクに洗浄用液を供給した後、該ストレージタンク内を不活性ガスを供給し加圧することで前記洗浄用液を該ストレージタンク及び配管内に付着した液滴を伴って前記処理槽へ排出する操作を順に行うことを特徴としている。
【０００８】
（工夫点等）以上の発明方法は、従来に比べて専用配管の端末にストレージタンクを有している点、該タンク内を負圧にして処理槽の溶液を配管及びストレージタンク内に導出する点、該タンク内より配管の開閉弁及びノズルを介して容器へ採取する点等で相違している。このような構成は、第２開閉弁とストレージタンクとの間を負圧にした後閉状態にし、その後に採取用の溶液を一旦ストレージタンク内に取り入れた後、開閉弁を介しノズルより容器へ流出される採取液を安定かつ定量に制御（バルブ操作）し易いだけではなく、ストレージタンク内への吸引液量を採取量に近づけるよう設定するだけで従来問題であった専用配管系等の故障に起因した大量の液流出の虞を確実に解消できるようにする。加えて、採取後に、ストレージタンク内を加圧して該タンク及び配管内の溶液を処理槽へ戻すことことにより課題に挙げた過剰液の問題を解消できる。又、洗浄用液をストレージタンクに導入し、該ストレージタンク内を加圧して該ストレージタンク及び配管から処理槽へ供給することにより残液や液滴の混入それに起因した性能低下の問題を解消できる。
【０００９】
以上の発明装置は、何れもが一般的に使用されている機器類であるため、構成簡易に上記発明サンプリング方法を実施可能にする。作動として、ガス供給手段は、例えば、ストレージタンク内を加圧して該タンクや配管内の溶液を処理槽内へ戻すようにする。真空吸引手段は、例えば、ガス供給手段の経路と接続されたり配管に接続されてストレージタンク及び配管内を負圧にする。洗浄用液供給手段は、例えば、ストレージタンク及び配管内等に付着している液滴を洗い流して次のサンプリング性能や精度を維持する。チャック側の吸引手段は、例えば、採取過程等において容器内の蒸発物等を除去して安全性等を向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明を適用したサンプリング方法及び装置について図面を参照しながら説明する。図１はサンプリング方法を採取室と共に模式的に示す構成図、図２は図１の採取室における配管側のチャック及びノズル等を示す構成図、図３はサンプリング方法の原理図、図４は適用例としてＰＣＢを含む溶液を分解再生する化学プラントを模式的に示している。以下の説明では、発明サンプリング方法の適用例を図４により概説した後、要部構成を作動特徴と共に詳述する。
【００１１】
（適用例）図４は、有害物質であるＰＣＢを含む溶液（トランスやコンデンサ等に用いられる絶縁油や潤滑油等、以下、これらを「廃油」と略称する）を無害化する分解再生用の化学プラント例である。このプラントでは、主要部として被処理油保管部Ａ、濃度調整部Ｂ、分解反応部Ｃ、後処理部Ｄ、付帯部Ｅ等が設けられ、又、濃度調整部Ｂに関連して設けられたサンプリング部１０Ａ及び分解反応部Ｃに関連して設けられたサンプリング部１０Ｂとを備えている。なお、本発明方法はサンプリング部１０Ｂに適用されている。
【００１２】
ここで、付帯部Ｅには、新油（ＰＣＢを含まない油で、回収槽８より供給される再生油等）用槽１Ｃと、アルカリ金属分散体（特開２００１−３０２５５３を参照）用槽１Ｄと、不活性ガス（窒素ガス等）供給部３等が設けられている。被処理油保管部Ａには、トランス等から回収された廃液を入れておく保管槽１が多数配置されている。濃度調整部Ｂには、保管槽１と配管２ａ，２ｂ等を介して接続された濃度調整槽４が配置されている。濃度調整槽４には、廃液が保管槽１より配管２ａ，２ｂ及び弁１ａ，４ａ並びにポンプＰ1を介して所要量だけ供給される。また、配管２ｂには、濃度調整槽４の入口側に設けられた弁４ａの上流側にサンプリング用配管１１が接続されている。そして、濃度調整槽４では、サンプリング部１０Ａで採取された試料を計測したＰＣＢ濃度値に基づき、供給廃液に付帯部Ｅの槽１Ｃから新油等を加えることでＰＣＢ濃度調整を行う。
【００１３】
分解反応部Ｃには、濃度調整槽４と配管２ｃ等を介して接続された加熱式の反応槽５が配置されている。反応槽５には、前記槽４よりＰＣＢ濃度調整後の廃液が配管２ｃ及び弁４ｂ，５ａ並びにポンプＰ4を介して所要量だけ供給される。そして、反応槽５では、供給廃液に付帯部Ｅの槽１Ｄからアルカリ金属分散体及び供給部３から不活性ガス等を加えることで脱塩素分解処理を施しＰＣＢを無害化する。この無害化は、反応槽５の上部とサンプリング部１０Ｂとの間に設けられた配管１２及び後述する採取ユニット２０を介し反応槽５より試料を容器３０に採取し濃度測定にて確認される。この制御は、該測定結果に基づき、ＰＣＢが検出されると、採取ユニット２０内より溶液を反応槽５内に戻し、反応槽５に前記アルカリ金属分散体等を投入して再び分解処理した後、前述と同様に濃度測定される。そして、ＰＣＢが検出されなくなったとき、反応槽５内の溶液を次の後処理部Ｄへ送る。
【００１４】
後処理部Ｄには、反応槽５と配管２ｄ等を介して接続された受槽６と、受槽６と配管２ｅ等を介して接続された濾過装置７と、回収槽８と、ホッパ９等が配置されている。そして、受槽６には、反応槽５よりＰＣＢを分解した後の再生油が配管２ｄ及び弁５ｂ，６ａ並びにポンプＰ5を介して順に供給される。濾過装置７は、受槽６から配管２ｅ、弁６ｂ、ポンプＰ6等を介して導入される再生油について、該再生液中に存在している反応で生じる廃材を濾過し、濾過液（再生油）を回収槽８に供給し、廃材をホッパ９へ投入する。このようにして、図４の化学プラントは、大量の廃油を連続して無害化処理するものである。
【００１５】
（サンプリング部）以上の化学プラントにおいて、本発明方法及び装置はサンプリング部１０Ｂに採用されているが、サンプリング部１０Ａにも類推適用してもよい。このサンプリング部１０Ｂには、図１に模式化したごとく採取室（グローブボックス）１５が外部と隔離されて設置され、又、新油（再生油等）用槽１Ｃ（上記したポンプＰ2の出口側）と接続された配管２９を有している。この採取室１５は、上側に設けられた照明器１６と、片側の開口部１７を閉じるよう配置された遮蔽膜１８及び該遮蔽膜１８の一部に設けられて図示省略した手を差し込んで容器等を操作可能な手袋状の操作部と、該操作部より採取室内に容器３０を出し入れするシャッタ付き出入口１９と、前記した配管１２のうち採取室１５内に導かれた部分に介在された採取ユニット２０と、採取ユニット２０の真下に設けられた安全用トレーＴと、下側空間部に設置された真空ポンプ２７等を備えている。そして、採取室１５では、作業者が前記手袋状の操作部より手を採取室１５内へ差し込んで、採取ユニット２０を操作することで試料用液を容器３０に採取したり、採取後に容器３０を出入口１９より取出可能となっている。なお、図面では遮蔽膜１８が模式化されている。また、実際には出入口１９が２重シャッタ構造となっており、採取室１５の気密性が保たれるよう設計されている。
【００１６】
採取ユニット２０は、図２のごとく上記配管１２の適位置に介在された本体２１と、本体２１に組み込まれた開閉弁２２と、開閉弁２２に対応して本体２１に接続された連結管１４と、開閉弁２２により開閉されるノズル２５と、本体２１にボルト等で連結されて容器３０を着脱するチャック２３と、前記した真空ポンプ２７と、ストレージタンク２８等を有している。なお、容器３０は、材質が透明樹脂製かガラス製であり、矩形立体で上開口し、該上開口を開閉する不図示の蓋を有している。容器３０は、内容積が約２０〜４０ｃｃ程度の小さなものであり、上開口周囲に係脱部としての雄ねじ部３０ａを形成している。
【００１７】
前記本体２１は概略筒形であり、前記配管１２と連通する通し孔２１ａを形成している。この通し孔２１ａは、一方側が反応槽５側の配管１２ａに連通され、他方側がストレージタンク２８側の配管１２ｂに連通されている。配管１２ａは、先端側が反応槽５の上側より槽内へ導入され、又、反応槽５と本体２１との間に介在された第２開閉弁５ｃを有している。チャック２３は、下側の保持部及び上側の取付部からなり、ノズル２５を上下串差し状に挿通している。保持部は下向きの凹部状であり、容器３０の雄ねじ部３０ａに対応する係脱部（雌ねじ部）２３ａを内周に形成している。取付部は本体２１に全体をボルト等で固着する箇所である。また、チャック２３は、保持部の下端に開口され、かつ、周囲側面に開口された状態に設けられた排気孔２３ｂを有している。該排気孔２３ｂには、図１のごとく配管２６（２６ａ）を介し吸引室３１に接続されている。この吸引室３１は、採取室１５の外部に設けられた不図示の排気処理部に配管３２を介し接続されている。そして、この形態では、チャック２３の排気孔２３ｂから、チャック２３に保持された容器３０内を吸引可能にする。ノズル２５は細長い管であり、上端側が本体２１に装着保持されて、前記通し孔２１ａの一部と連通することにより配管１２及び通し孔２１ａを介し配管１２内の溶液つまり上記した反応槽５で分解処理された溶液を下端より流出する。
【００１８】
開閉弁２２は釦２４を有し、該釦２４を押すと、弁部材２２ｂが開方向へ移動して前記ノズル２５の上端開口と通し孔２１ａとの間を連通し、又、釦２４の押圧を解放すると、弁部材２２ｂが付勢ばねにより閉方向へ移動してノズル２５と通し孔２１ａとの間を閉じる空押しバルブ構成である。但し、開閉弁２２はこれ以外でもよい。符号２２ａは弁部材２２ｂの移動量を調整するダイヤルである。符号２４ａは釦２４側と弁部材２２ｂを配置している摺動孔側とを連通しているチューブである。該チューブ２４ａは、釦２４が押されるときの空圧を弁部材２２ｂに印加にし、弁部材２２ｂを付勢ばねに抗して開方向へ切換可能にする。連結管１４は略Ｕ形であり、Ｕ形の一方側１４Ａが供給部３側から延びる配管１３ａより分岐された配管１３ｂに接続され、Ｕ形の他方側１４Ｂが新油用槽１Ｃ側から延びる配管２９より分岐された配管２９ｂに接続され、又、中間部が前記ノズル２５の上端と対向配置されている。また、連結管１４は、Ｕ形の一方側１４Ａに設けられてレバー１４ｂで開閉される開閉弁１４ａを有し、レバー１４ｂの開閉操作により供給部３の不活性ガスを配管１３ｂ、弁３ｂ、開閉弁１４ａ等を介しノズル２５内へ噴射し、該ノズル２５に付着している液滴を容器３０内へ吹き飛ばすようにしたり、Ｕ形の他方側１４Ｂに設けられてレバー１４ｄで開閉される開閉弁１４ｃを有し、レバー１４ｄの開閉操作により槽１Ｃの新油を配管２９ｂ、弁３ｃ、開閉弁１４ｃ等を介しノズル２５内に供給する。後者の新油供給経路は、ＰＣＢの測定結果に基づき、ＰＣＢが検出された場合のみ弁部材２１やノズル２５の洗浄を目的として使用する。
【００１９】
ストレージタンク２８は、下側に配管１２ｂの末端を接続し、上側に新油用槽１Ｃから延びる配管２９と、供給部３側から延びる配管１３ａ（１３）とに接続されている。そして、ストレージタンク２８内には、槽１Ｃ内の新油が配管２９側にあって開閉弁１ｃ、ポンプＰ2、弁１ｄ等を介して設計量だけ供給され、又、供給部３の不活性ガスが配管１３ａ側にあって弁３ａ等を介して供給される。更に、配管１３ａには、弁３ａより下流側に配管２６ｄが接続されている。この配管２６ｄは、前記した弁２７ａに接続され、又、配管１３ａとの間に設けられて本発明の第３開閉弁に対応する開閉弁２７ｃが設けられている。
【００２０】
（操作例）次に、サンプリング操作例を説明する。以上の採取ユニット２０において、作業者は、図１及び図２のごとくチャック２３に容器３０を装着操作する。装着状態では、容器３０の上開口周囲がチャック２３の凹部内に略密封状態に保持され、排気孔２３ｂが容器上開口内に位置している。そして、この装置では次のような要領で試料液を採取したり後処理される。以下、図３を主にし説明する。
（ア）まず、反応槽５の溶液をストレージタンク２８内に取り込む。この操作では、開閉弁２２，５ｃが閉、開閉弁２７ｃが開で、真空ポンプ２７を駆動すると、ストレージタンク２８内から配管２６ｄ等を介してタンク内の空気が排気されて、タンク内が負圧にされる。設計真空度に達すると、真空ポンプ２７が停止され、開閉弁２７ｃが閉に切り換えられる。この状態から、第２開閉弁５ｃが開に切り換えられると、反応槽５の溶液が配管１２からストレージタンク２８に吸い込まれる。その後、第２開閉弁５ｃは閉に切り換えられる。
（イ）ストレージタンク２８内の溶液を容器３０に採取する。この操作では、上記釦２４を押すと、開閉弁２２の弁部材２２ｂが開、つまり通し孔２１ａとノズル２５の上開口との間を解放し、ストレージタンク２８内の溶液が配管１２ｂ及び通し孔２１ａからノズル２５を介し容器３０内へ所定量だけ採取される。ここで、開閉弁２２は釦２４の押圧力を解放すると閉に切り換えられる。また、採取時には、上記した容器３０内から排気孔２３ｂ、配管２６ａ、吸引室３１、配管３２、不図示の吸引式排気処理部を介して気体（溶液の蒸発物等）が排気される。このような構造では、対象溶液がストレージタンク２８及び配管１２ｂ内に閉じこめられた静的状態から採取されるため、溶液の所要量を過不足無く採取できるよう工夫されている。従って、溶液が容器３０内に過剰に採取される虞をなくし、過剰採取に起因した危険を解消でき、採取液の後処理も容易となる。
【００２１】
（ウ）このようにして、容器３０に溶液を採取すると、ノズル２５の内周面に液滴が付着するため次にその付着物を除去する。この操作では、図１のレバー１４ｂを開操作して、供給部３の不活性ガスを配管１３ａ、配管１３ｂ、連結管１４及び本体２１からノズル２５内へ噴射し、該噴射力によりノズル内周面に付着している液滴を容器３０内へ完全に落下させる。即ち、この構造では、次のサンプリングに前記付着物の混入を防いで性能を維持したり、容器３０をチャック２３より離脱する際、及び離脱した後、液滴がノズル２５から不用意に落下しないようにしている。なお、容器３０は、チャック２３より外されて蓋が装着される。以後は、従来と同様に、所定の計測部へ搬送されて容器３０内の採取液について濃度測定が行われることになる。
（エ）同様に、ストレージタンク２８及び配管１２内の溶液を反応槽５に戻した後、各部の付着物を洗浄し除去する。この操作では、まず、第２開閉弁５ｃを開に切り換え、又、弁３ａを開操作して供給部３の不活性ガスを配管１３（１３ａ）からストレージタンク２８内へ供給し加圧する。すると、ストレージタンク２８内の溶液及び配管１２内の溶液が全て反応槽５へ戻される。弁３ａを閉に切り換えた後、図１のポンプＰ2の定時間駆動により、槽１Ｃ内の新油が配管２９、開閉弁１ｃ、弁１ｄを介してストレージタンク２８内へ設計量だけ供給される。供給後は、供給部３の不活性ガスが配管１３ａから弁３ａを介して導入されると、供給新液が該タンク２８及び配管１２内に付着した液滴を伴って反応槽５へ排出されることになる。この排出液は、反応槽５で分解され無害化された液と同じため、プラント処理手順に何ら不具合を生じない。勿論、ノズル２５側より容器３０と類似する容器内へ排出して、ノズル内面を洗浄することも可能である。以上により、本発明方法及び装置は、課題に挙げた問題を一掃可能にしたものである。
【００２２】
なお、本発明は以上の形態により何ら制約されない。発明のサンプリング方法は請求項２で特定した要件を、発明のサンプリング装置は請求項１で特定した要件を具備しておればよく、以上の形態を参考にして必要に応じ変更可能なものである。一例を挙げると、開閉弁２２及び第１開閉弁５ｃは自動制御式であってもよい。また、処理槽としては、図５や図６のようなタンク又はそれに類似するタンクであっても差し支えない。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のサンプリング方法及び装置では、対象液がＰＣＢを含むか否かを調べる溶液の場合を想定すると、装置自体を汎用部材及び簡明な構成で実現しながら、第２開閉弁とストレージタンクとの間を一旦閉状態にした後、採取用の溶液をストレージタンク内に所要量導入し、そこからバルブ操作で採取するため、課題に挙げた専用配管系が故障しても溶液を過剰に流出する虞を解消でき、同時に、ノズルより容器へ流出される採取液を安定かつ定量に制御（バルブ操作）でき、しかも繰り返しサンプリングするような場合に問題となる前回のサンプリング残液や液滴の混入を防ぐことも容易に実現できるようにする。これらにより、本発明は、課題に挙げた問題を全て解消でき、加えて構成簡易に実施でき、ロボット等による自動採取も実現し易くして信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明方法を適用した採取室の構成を示す模式図である。
【図２】 図１の採取室に設けられる配管側の要部を示す図である。
【図３】 本発明の原理を示す図である。
【図４】 本発明適用例として分解再生用化学プラントを示す模式図である。
【図５】 サンプリング方法の従来例を示す参考図である。
【図６】 サンプリング方法の他の従来例を示す参考図である。
【符号の説明】
１…廃油用保管槽（１ａ，１ｂは弁、２ａは流出用配管）
３…供給部（不活性ガス用の供給部であり、１３はその配管）
４…濃度調整槽（４ａ，４ｂは弁）
５…反応槽（処理槽であり、５ｃは第２開閉弁）
１０Ａ，１０Ｂ…サンプリング部（１５は採取室）
１２…配管（サンプリング用専用配管）
１４…連結管（１４ａは開閉弁）
２０…採取ユニット（２１は本体、２５はノズル）
２２…開閉弁（２４は釦）
２３…チャック（２３ｂは排気孔）
２８…ストレージタンク
２７…真空ポンプ（真空吸引手段と吸引手段を兼用）
２７ｃ…開閉弁（第３開閉弁）
３０…試料用容器
Ｐ2…ポンプ（洗浄用液供給手段）

Claims (2)

1. 溶液用処理槽に付設されて、前記処理槽から溶液の一部を導出する配管と、前記配管に設けられた開閉弁及びノズル並びにチャックとを有し、前記開閉弁を介し前記溶液の所要量を前記ノズルより前記チャックに取り付けられた試料用容器に採取するサンプリング装置において、
   前記配管のうち前記開閉弁より前記処理槽側の配管部分に設けられた第２開閉弁と、
   前記配管の他端に接続されて、前記開閉弁が閉状態かつ前記第２開閉弁が開状態で前記処理槽内の溶液の所定量を吸い込むとともに、吸い込んだ前記溶液を前記第２開閉弁が閉状態かつ前記開閉弁が開状態で前記容器に採取可能にするストレージタンクと、
   不活性ガスを前記ストレージタンク及び前記ノズルにそれぞれ独立して供給可能なガス供給手段と、
   洗浄用液を前記ストレージタンクに供給可能な洗浄用液供給手段と、
   前記配管又は前記ストレージタンクに第３開閉弁を介して接続された真空吸引手段と、
   前記チャックに設けられた排気孔より前記容器内の気体を排気可能にする吸引手段とを備えているとともに、
   前記開閉弁及びノズル並びにチャックと前記ストレージタンクとが外部と隔離された採取室に配置されていることを特徴とするサンプリング装置。
2. 請求項１のサンプリング装置を用いて、前記溶液用処理槽から溶液の一部を前記試料用容器に採取するサンプリング方法であって、
   前記開閉弁及び前記第２開閉弁の閉状態で前記配管及びストレージタンク内を負圧にした後、前記第２開閉弁を開状態に切り換えて前記処理槽内の溶液を前記配管から前記ストレージタンクへ所要量を吸い込み、該吸い込んだストレージタンク内の溶液を前記第２開閉弁が閉状態かつ前記開閉弁が開状態で前記容器内へ採取する操作、
   不活性ガスを前記ノズル内へ噴射し、該噴射力でノズル内周面に付着している液滴を前記容器内へ落下させる操作、
   前記第２開閉弁を開状態に切り換え、不活性ガスを前記ストレージタンク内へ供給し加圧することで該ストレージタンク及び前記配管内の溶液を前記処理槽へ戻す操作、
   前記ストレージタンクに洗浄用液を供給した後、該ストレージタンク内を不活性ガスを供給し加圧することで前記洗浄用液を該ストレージタンク及び配管内に付着した液滴を伴って前記処理槽へ排出する操作を順に行うことを特徴とするサンプリング方法。

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