JP4175560B2

JP4175560B2 - Container opening and closing device

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Publication number: JP4175560B2
Application number: JP2002330033A
Authority: JP
Inventors: 進二横山
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2002-11-13
Filing date: 2002-11-13
Publication date: 2008-11-05
Anticipated expiration: 2022-11-13
Also published as: JP2004165458A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、１枚もしくは複数枚の半導体ウェハを積層状に収納して主として工場内を搬送するために使用される密閉可能な容器であるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）や、半導体ウェハと同様に塵埃を嫌う物品を収納して工場間を移動するときに使用される密閉可能な容器であるＦＯＳＢ( Front Opening Shipping Box）等の容器を開閉するための容器開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイス製造等、高度のクリーン環境を必要とする製品製造工程において、工場全体をクリーンルーム化するのではなく、製品の周囲環境のみをクリーンな状態にするというミニエンバイロンメント（微小環境）、あるいは局所クリーン空間という手法が用いられている。これは、簡単に言えば、工程内のそれぞれの処理装置内部のみをクリーン環境にし、各処理装置（クリーン装置）間での被処理物品（半導体ウエハ等）の運搬および保管を、内部をクリーンにしたＦＯＵＰと称される容器を用いて行なおうとするものである。
【０００３】
このような製品製造工程においては、ＦＯＵＰ内に収納される半導体ウエハ等の被搬送物を半導体ウエハ処理装置等のクリーン装置に投入する場合、ＦＯＵＰオープナ（ＦＯＵＰ開閉装置）と呼ばれるインターフェイス装置が用いられる。このＦＯＵＰオープナは、クリーン装置に着脱式に取り付けられる装置であり、通常、ＦＯＵＰを載置して進退動させるドック機構と、ＦＯＵＰの蓋を自動で開閉するための駆動機構とを有している。このＦＯＵＰオープナは、外界に対して密閉状態を保ったまま、ＦＯＵＰ内をクリーン装置のクリーン空間に開放して、ＦＯＵＰ内の被搬送物をクリーン装置に搬入することを可能にしている。このようなＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰ内の被搬送物をクリーン装置に投入（ロード）するところから、ロードポートとも呼ばれている。
【０００４】
ＦＯＵＰオープナは、その故障時や、機種変更時に、新しいものと即座に交換することができるように、通常は、クリーン装置に対して着脱可能な別ユニットとして構成されている。その理由は、ＦＯＵＰオープナの故障時に、そのメンテナンスを行なっていると、製造工程の停止時間が長くなり、生産効率が低下するし、生産スケジュールにより機種の変更が発生して、新しい生産機種に一致したＦＯＵＰが使用されるときには、ＦＯＵＰオープナも、この新しいＦＯＵＰに一致したものに交換されなければならないからである。
【０００５】
従来、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付ける方法としては、ＦＯＵＰオープナをリフターや台車に載せて運搬して、クリーン装置に近づけ、位置決め用カム等を用いた位置決め機構により、クリーン装置に設けられた位置決めピンの位置を微妙に調整しながら、このピンにＦＯＵＰオープナの背面に設けられた係合用凹部を嵌合させ、その後、ＦＯＵＰオープナの背板（バックプレート）の適所数個所をボルト締めして、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に固定する、という手順が採られている。その際、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との位置合わせを行なうのに、なかなか基準位置が合わず、非常に多くの調整時間を掛けて、それらの位置合わせを行なっているのが実情である。
【０００６】
そもそも、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との位置合わせを行なうのには、２つの目的がある。１つは、クリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）の如何に拘わらず、ＦＯＵＰオープナの背板の平面度が保持されるようにＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けることにより、ＦＯＵＰがポートドアとドッキングしてＦＯＵＰドアがポートドアの着脱・保持機構により着脱・保持されるとき、ＦＯＵＰが背板と干渉することなく、ＦＯＵＰドアがポートドアに密着して、ポートドアによるＦＯＵＰドアの着脱と保持（真空吸着等）とが確実に行なわれるようにするためである。今１つは、ＦＯＵＰオープナのドックプレート上に載置されるＦＯＵＰとクリーン装置内に配備される半導体ウエハ取出し装置（ロボット）等との位置合わせを所定のとおりに実現するためである。
【０００７】
ここで、この位置合わせを行なう方法として、従来提案されてきた方法を以下に紹介する。
特開２００１−２８４４２９号公報に記載された方法は、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるとき、クリーン装置の前面下部に設けられた左右一対の位置決め部材に、ＦＯＵＰオープナの下部に設けられた左右一対の可動部材をそれぞれ上方から当接させて、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に位置決めした後、ＦＯＵＰオープナの位置を上下、左右、前後方向に調整ネジなどにより調整し、次いで、ＦＯＵＰオープナの四隅を固定ネジにより締め込んで、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に固定するようにしている。
【０００８】
また、特開２００１−２８３８６号公報に記載された方法は、クリーン装置の前面上部および下部に設けられた複数本の位置決めピンに、ＦＯＵＰオープナの対応部位に設けられた複数個のピン孔用長孔をそれぞれ嵌合させて、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に位置決めした後、ＦＯＵＰオープナの上下方向中間部に左右一対配された長い固定ボルト（ネジ付き）により、ＦＯＵＰオープナの上下方向中間部をクリーン装置に固定し、次いで、ＦＯＵＰオープナの四隅を固定ネジにより締め込んで、ＦＯＵＰオープナの全体をクリーン装置に固定するようにしている。なお、この方法においては、ＦＯＵＰオープナの下部に取り付けられたキャスタ装置が昇降可能に構成されており、これにより、ＦＯＵＰオープナの背板四隅の固定ネジ用通孔とクリーン装置側の雌ネジ孔との位置合わせを容易に行なえるようになっている。
【０００９】
さらに、特開２００２−１３４５８２号公報に記載された方法は、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との間に位置決めフレームを介在させて、これらＦＯＵＰオープナと位置決めフレームとの間の位置調整を、それらの上部および中間部において、カムおよび調整ボルトを用いて行ない、さらに、それらの下部の二隅をボルトにより固定して、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるようにしている。なお、この位置決めフレームは、クリーン装置の前面に装着されている。
【００１０】
このように、これらのいずれの公報に記載された方法も、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるのに、それなりに工夫され、取付け作業の簡略化が図られているが、これらの方法は、いずれもＦＯＵＰオープナおよびクリーン装置の上部、下部、中間部のうちのいずれか複数の部位において、上下、左右、前後方向における位置もしくは傾きの調整と固定とが行なわれるようになっているので、ＦＯＵＰオープナの半体ないし全体におよぶ調整が必要であり、垂直面の出ていないクリーン装置に対して、これらの作業を行なうのには、時間が掛かっていた。また、機種変更に際しては、ＦＯＵＰオープナの全体を交換しなければならず、メンテナンスが困難であった。
【００１１】
同様の問題は、半導体ウェハと同様に塵埃を嫌う各種物品を収納して工場間を移動するときに使用される密閉可能な容器であるＦＯＳＢ（Front Opening Shipping
Box）のドアを開閉するに際してインターフェイス装置として使用されるＦＯＳＢオープナにおいても存在していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、従来のＦＯＵＰオープナやＦＯＳＢオープナ等の容器開閉装置が有する前記のような問題点を解決して、クリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）に左右されることなく、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整および固定がさらに簡単、迅速、適正に行なわれて、常に容器開閉装置のドックプレート上に載置された容器の容器ドアとポートドアとが密着し得て、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持が確実に行なわれ、機種変更への対応が容易で、メンテナンスも容易な、容器開閉装置を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決した容器開閉装置に係り、その請求項１に記載された発明は、クリーン装置に取り付けられ、ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、前記容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で、前記ポートドア進退機構を垂直に移動させるポートドア昇降機構と、クリーン装置への取付け部であるバックプレートと、を備えてなる容器開閉装置において、前記ドック機構が設けられるメインベースに、下方に伸長する前記ポートドア昇降機構を固定して設け、前記ポートドア昇降機構に、前記ポートドア進退機構を昇降自在に設け、前記ポートドア進退機構に、前記ポートドアを進退自在に設け、前記メインベースの上部に、前記ポートプレートを垂直に固定して設け、前記メインベースの、前記バックプレートに対する取付け部に、前後方向および左右方向の傾きを調整するための傾き調整機構を設けたことを特徴とする容器開閉装置である。
【００１４】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ドック機構が設けられるメインベースには、ポートドア昇降機構とポートプレートとが前記のようにして設けられているので、メインベースと、ポートドア昇降機構と、ポートプレートとは、一体構造体をなすことになる。このため、この一体構造体を容器開閉装置の内部に固定するに際しては、一体構造体の全域に及んで固定する必要がなく、一体構造体の一部において固定すればよいことになり（このようにしても、一体構造体の容器開閉装置内部における相対的位置関係は崩れない。）、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるとき、仮にクリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれていて、しかも、容器開閉装置の外殻体（バックプレート）の剛性も低くて、容器開閉装置の外殻体に反り変形が生じたとしても、この反り変形が一体構造体にまでは及ばないようにして、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けることが可能になる。
【００１５】
ところで、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整を行なう目的は、この一体構造体をクリーン装置に適正な位置関係で取り付けることにあるが、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるとき、一体構造体の形状は、前記のとおり、常に変形することはないので、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整を行なうのには、容器開閉装置をその外殻体（バックプレート）を介してクリーン装置に単に取り付けた後、一体構造体のクリーン装置に対する位置関係が適正なものとなるように、一体構造体の位置調整（クリーン装置の取付け面に対する高さ調整、前後、左右の傾き調整）を直接行なえばよいことになる。
【００１６】
この一体構造体の位置調整は、一体構造体の一部領域（一体構造体を容器開閉装置の内部に固定する位置となる一体構造体の一部領域）、本発明の場合、メインベースのバックプレートに対する取付け部、において集約的に行なわれればよいので、結局、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整が、きわめて簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００１７】
また、前記のとおり、一体構造体に反り変形が生じず、当初の形状が維持されているので、メインベースに設けられるドック機構のドックプレート上に載置された容器が前進するとき、容器はポートプレートに干渉されることなく前進して、そのドアは、常にポートドアに密着する。このため、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持は、クリーン装置の取付け面の平面度に左右されることなく、常に確実に行なわれて、着脱・保持エラーを生ずることがない。
【００１８】
さらに、この一体構造体をクリーン装置の取付け面に取り付けるための位置調整は、メインベースのバックプレートに対する取付け部に設けられる傾き調整機構を操作することにより行なうことができるので、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整をさらに簡単、迅速に行なうことができる。
【００１９】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の容器開閉装置において、その傾き調整機構が、メインベースに、バックプレートに向けて突出して設けられる前後方向の傾き調整部と、メインベースの下面に、下方に向けて突出して設けられる左右方向の傾き調整部とを有することを特徴としている。
【００２０】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項２に記載の容器開閉装置において、その前記前後方向の傾き調整部は、前記メインベースの四隅に配され、前記メインベースと前記バックプレートとの離間距離を調整する複数の押しボルトで構成され、前記左右方向の傾き調整部は、前記メインベースの下面に複数配され、その下面から前記バックプレートに固着された当て板に対向するように突出して設けられるアジャストボルトで構成されることを特徴としている。
【００２１】
このように構成することにより、前後方向の傾き調整部を構成する複数の押しボルトの螺進量をそれぞれ調節して、メインベースと一体のポートプレートのクリーン装置の取付け面に対する前後の傾きをなくして、ポートプレートの取付け面をクリーン装置の取付け面と平行にすることができ、しかも、左右方向の傾き調整部を構成する複数のアジャストボルトの突出量をそれぞれ調節して、ポートプレートの左右の傾きをなくしてポートプレートを水平にすることができるので、ポートプレートをクリーン装置の取付け面に密接させ、容器ドアとポートドアとを確実に密着させて、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持をさらに確実にすることができるとともに、クリーン装置内部のクリーン雰囲気の漏れを防止することができる。
【００２２】
また、メインベースに設けられるドック機構のドックプレートの水平度を確保することができるので、容器を安定にドックプレート上に載置することができる。
【００２３】
また、その請求項４に記載された発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の容器開閉装置が、そのポートプレートより下方において、メインベースにポートドア昇降機構とポートプレートとが固定して設けられてなる本体部を、少なくともその前方および両側方から着脱自在に覆うカバーを備えていることを特徴としている。
【００２４】
このように構成することにより、カバーのみの取り外しができるので、内部の各種機構（ドック機構、ポートドア昇降機構、ポートドア進退機構等）等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、図１ないし図４に図示される本願の請求項１ないし請求項４に記載された発明の一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナの分解斜視図、図２は、同ＦＯＵＰオープナの本体部およびバックプレートをクリーン装置に取り付けるところを示した概略図、図３は、図２の部分拡大図、図４は、同本体部をクリーン装置に取り付けるための位置調整をしているところを示した概略図である。
【００２６】
図１および図２に図示されるように、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、あらまし、複数枚の半導体ウェハを積層状に収納した図示されないＦＯＵＰを載置するドックプレート（載置台）２と、該ドックプレート２をクリーン装置50に向けて進退動させる駆動機構とを有するドック機構と、ＦＯＵＰの開口部を閉塞するＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドア３、該ポートドア３により閉塞される開口部５を有するポートプレート４と、ポートドア３を水平に移動させるポートドア進退機構６と、ポートドア３がＦＯＵＰドアを保持した状態で、ポートドア進退機構６を垂直に移動させるポートドア昇降機構７と、ポートプレート４の下方に連なり、ＦＯＵＰオープナ１の後部を覆うバックプレート８と、ポートプレート４より下方において、ＦＯＵＰオープナ１の前部、両側部および上部の一部を覆うカバー９とから構成されている。ＦＯＵＰは、半導体ウェハを１枚のみ収納する場合もあり得る。
【００２７】
ドック機構は、載置台２を進退動させるための駆動部のほとんどがメインベース10と呼ばれる取付け基体の内部に収容されており、その図示されない動力伝達部材が、該メインベース10から抜け出て上方のドックプレート２にまで伸びていて、該ドックプレート２を、メインベース10上に敷設されたレール11に沿い、クリーン装置50に向けて進退動させる。
【００２８】
メインベース10は、正面視矩形状の基台部12と、該基台部12から直角に前方にタワー状に突出する水平部13とから成っている。基台部12は、垂直に配置されて、バックプレート８への取付け部をなし、水平部13は、その内部がドック機構の駆動部のほとんどと、ポートドア昇降機構７の駆動部とを収容する空間をなしている。
【００２９】
メインベース10の水平部13内に収容されたポートドア昇降機構７の駆動部からは、ネジ棒14が下方に伸長しており、該ネジ棒14を支持する縦長の支持板15が、その上端をメインベース10の下部に固着されて、そこからネジ棒14に沿って同じく下方に伸長している。したがって、ポートドア昇降機構７は、メインベース10に一体に取り付けられて固定されている。
【００３０】
ネジ棒14は、ポートドア進退機構６の昇降基台16の中央部に形成されたネジ孔に螺合しており、ネジ棒14が正逆回転することにより、昇降基台16、牽いては、ポートドア進退機構６を昇降動させる。水平な昇降基台16の両端には、アーム17がそれぞれ水平スライド可能に嵌合されており、これら２本のアーム17は、バックプレート８に形成された２本の縦長の案内溝18内をそれぞれ通過して、ポートドア３の下方延設部３a にまで延びており、そこに固着されていて、２本のアーム17が昇降基台16に対してスライドするとき、これらと一体にポートドア３を水平移動（進退動）させるとともに、昇降基台16がネジ棒14に沿って昇降動するとき、これらと一体にポートドア３を昇降動させる。
【００３１】
２本のアーム17を昇降基台16に対して水平スライドさせるための駆動源および駆動機構は、２本のアーム17のうちのいずれか一方のアーム17に設けられているが、詳細を省略する。
【００３２】
メインベース10の基台部12の上端には、矩形状の開口部５を有するポートプレート４の下端が一体に取り付けられて固定されている。ポートプレート４の輪郭形状も、略矩形状をなしている。このポートプレート４の表面には、ポートプレートカバー19が貼設されている。開口部５は、ＦＯＵＰ内部とクリーン装置50の内部との間で半導体ウェハが搬入・搬出されるときに、半導体ウェハが出入りするための通過口をなす。
【００３３】
前記のとおり、メインベース10の基台部12の上端には、ポートプレート４の下端が一体に取り付けられて固定されており、メインベース10の下部には、ポートドア昇降機構７が一体に取り付けられて固定されているので、結局、メインベース10と、ポートプレート４と、ポートドア昇降機構７とは、一体構造体30をなしていて、この一体構造体30は、ある程度の剛性を有している。ポートプレート４の背面と、基台部12の背面と、支持板15の背面とは、平行にされている。
【００３４】
一体構造体30と、メインベース10に設けられるドック機構と、ポートドア昇降機構７に昇降自在に吊持されるポートドア進退機構６と、ポートドア進退機構６と一体のポートドア３とを加えて、これらの全体からなる組立体をＦＯＵＰオープナ１の本体部40とすると、ＦＯＵＰオープナ１は、あらまし、本体部40と、バックプレート８と、カバー９とから構成されているということができる。
【００３５】
本体部40の骨格部分をなす一体構造体30は、その高さ方向略中央部に位置するメインベース10の部分において、バックプレート８の上部に一体に、着脱可能に取り付けられる。そのために、メインベース10の基台部12の四隅が、固定ボルト20によりバックプレート８の上部の左右方向略中央部に固着されるようになっている。
【００３６】
さらに、この基台部12には、メインベース10がバックプレート８の上部に取り付けられるに際して、その取付け位置を調整するための取付け調整機構（傾き調整機構を含む）が備えられている。
以下、この取付け調整機構について、詳細に説明する。
【００３７】
先ず、基台部12の四隅に配される固定ボルト20は、そこに形成された縦方向に長い長円孔21を通してバックプレート８の対応部位に形成されたネジ孔に螺合されるので、基台部12、牽いては、一体構造体30のバックプレート８に対する高さ方向位置を、この長円孔21の長さの範囲において調整することができる。
【００３８】
次に、各長円孔21の上部および下部近隣には、図３により良く図示されるように、長円孔21を挟んで対称の位置に押しボルト22がそれぞれ配されている。これらの押しボルト22は、基台部12の対応部位にそれぞれ形成されたネジ孔に螺合されており、その先端がバックプレート８の表面に当接して、当該押しボルト22が配される部位における基台部12とバックプレート８との離間距離を定める。
【００３９】
したがって、基台部12の四隅に配される合計８個の押しボルト22の螺進量（押し量）をそれぞれ適切に調節することにより、基台部12のバックプレート８に対する傾き（前後方向傾き）をなくして、両者の対向面を平行にすることができる。押しボルト22の数は、８個に限定されず、その半分でもよく、最小限三隅に３個配されればよいが、８個配されることにより、固定ボルト20による基台部12のバックプレート８への固着をより堅固にすることができる。
【００４０】
さらに、基台部12の図２において左右方向両側の下部には、その下面から下方に向けて突出するようにして、アジャストボルト23がねじ込まれている。そして、各アジャストボルト23の下端に対向するようにして、当て板24がバックプレート８の対応部位に固着されている。
【００４１】
したがって、各アジャストボルト23の先端が当て板24に当接した状態で、各アジャストボルト23の基台部12に対する螺進量（突出量）を調節することにより、基台部12、牽いては、一体構造体30の高さ位置を適切な高さにし、また、バックプレート８に対する左右方向の傾きをなくして、水平にすることができる。さらに、当初、ＦＯＵＰオープナ１の本体部40をバックプレート８に仮止めするときに、本体部40の高さ方向位置の位置決めをすることができる。このようにして調整した後、図示されないロックナットを締めて、アジャストボルト23を固定する。
【００４２】
以上のようにして、基台部12の四隅に配された押しボルト22による基台部12のバックプレート８に対する前後方向の傾き調整、基台部12の左右両側下部に配されたアジャストボルト23による基台部12の高さ調整、同じくアジャストボルト23による基台部12のバックプレート８に対する左右方向の傾き調整がなされたならば、最後に、基台部12の四隅に配された固定ボルト20を緊締して、基台部12、牽いては、一体構造体30、本体部40をバックプレート８に堅固に固着する。そして、図示されないロックナットを締めて、固定ボルト20を固定する。
【００４３】
以上に述べたようなメインベース10の基台部12、牽いては、一体構造体30、本体部40のバックプレート８に対する取付け位置調整（高さ調整、前後、左右の傾き調整）は、実際には、図４に図示されるように、バックプレート８がクリーン装置50に取り付けられた後に行なわれる。したがって、基台部12のバックプレート８に対する取付け位置調整は、実際には、基台部12のクリーン装置50の取付け面に対する取付け位置調整として行なわれるものである。
【００４４】
ここで、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整および固定の手順を、一部重複しながら、詳細に説明する。
先ず、ＦＯＵＰオープナ１の本体部40をバックプレート８に仮止めする（図２参照）。この仮止めは、メインベース10の基台部12の左右両側下部に配されたアジャストボルト23を適切に調節して、本体部40のバックプレート８に対する高さ方向位置を決め、次いで、基台部12の四隅に配された固定ボルト20を緩く締めて、本体部40（一体構造体30）をバックプレート８に仮固定することにより行なわれる。
【００４５】
このようにして、本体部40がバックプレート８に仮止めされた状態で、これらの仮組立体をクリーン装置50の取付け面の前まで運び、バックプレート８の四隅もしくは四隅近傍に設けられた４個の円孔25をクリーン装置50の取付け面の対応する個所に設けられたネジ孔26に合わせて、図示されないボルトネジをこれらの孔に挿通、螺進させることにより、バックプレート８をクリーン装置50の取付け面に固着する（図４参照）。
【００４６】
以上のようにして、クリーン装置50の取付け面に固着されたバックプレート８には、クリーン装置50の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれている場合、その非平面状態に応じた反り変形が生ずるが、一体構造体30は、そのメインベース10の基台部12の部分においてバックプレート８に固着されているだけであるので、バックプレート８の反り変形の影響を受けることなく、その当初形状を維持している。
【００４７】
そこで、次に、一体構造体30の最上位に位置するポートプレート４がクリーン装置50の取付け面の対応する部位に合致するように、一体構造体30をクリーン装置50の取付け面に取り付けるための位置調整を行なう。
この位置調整のためには、先ず、基台部12の四隅に配された固定ボルト20を緩めて、本体部40のバックプレート８に対する仮止め状態を解く。
【００４８】
次いで、先に述べた、メインベース10の基台部12の四隅に配された押しボルト22、基台部12の左右両側下部に配されたアジャストボルト23を調節して、基台部12の前後方向の傾きをなくし、また、基台部12の左右方向の傾きをなくし、基台部12の高さを適切な高さにしてから、基台部12の四隅に配された固定ボルト20を緊締して、基台部12、牽いては、一体構造体30、本体部40をバックプレート８に堅固に固定する。アジャストボルト23、固定ボルト20は、それぞれロックナットを締めて、堅固に固定しておく。
【００４９】
このような基台部12の前後、左右の傾き調整、高さ調整を経た後、ポートプレート４の上下、左右位置は、クリーン装置50の取付け面に合致し、ポートプレート４の開口部５は、クリーン装置50の取付け面に囲まれた開口部の対応部分に合致し、ポートプレート４の背面は、クリーン装置50の取付け面に密着していて、しかも、一体構造体30に無理な力は掛かっておらず、その当初形状が維持されている。
【００５０】
ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整および固定の最後の手順として、カバー９が、ポートプレート４より下方の位置において、本体部40を前方および両側方から覆い、かつ、ドックプレート２を外部に露出させるようにしながら、本体部40に被せられる。このカバー９は、本体部40に対して着脱自在である。
【００５１】
本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ドック機構が設けられるメインベース10には、ポートプレート４とポートドア昇降機構７とが一体に取り付けられて固定されているので、これらは、一体構造体30をなすことになり、このため、この一体構造体30をＦＯＵＰオープナ１の内部に固定するに際しては、一体構造体30の全域に及んで固定する必要はなく、一体構造体30の一部において固定すればよいことになり（このようにしても、一体構造体30のＦＯＵＰオープナ１内部における相対的位置関係は崩れない。）、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるとき、仮にクリーン装置50の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれていて、しかも、ＦＯＵＰオープナ１のバックプレート８の剛性も低くて、バックプレート８に反り変形が生じたとしても、この反り変形が一体構造体30にまでは及ばないようにして、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けることが可能になる。
【００５２】
このように、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるとき、一体構造体30の形状は、常に変形することはないので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整を行なうのには、ＦＯＵＰオープナ１をそのバックプレート８を介してクリーン装置50に単に取り付けた後、一体構造体30のクリーン装置50に対する位置関係が適正なものとなるように、一体構造体30の位置調整（クリーン装置50の取付け面に対する高さ調整、前後、左右の傾き調整）を直接行なえばよいことになる。
【００５３】
この一体構造体30の位置調整は、一体構造体30の一部領域（一体構造体30をＦＯＵＰオープナ１の内部に固定する位置となる一体構造体30の一部領域）、本実施形態の場合、メインベース 10 のバックプレート８に対する取付け部、において行なわれればよいので、結局、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整が、きわめて簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００５４】
特に、メインベース10がバックプレート８の上部に一体に取り付けられており、一体構造体30は、このメインベース10部分においてＦＯＵＰオープナ１の内部のバックプレート８の上部に一体に取り付けられて固定されることになり、メインベース10は、ＦＯＵＰオープナ１の略中間高さに位置しているので、一体構造体30をクリーン装置50の取付け面に適正な位置関係で取り付けるための位置調整を、ＦＯＵＰオープナ１の略中間高さ位置において集約的に行なうことができ、その作業負担と作業時間とを大きく軽減することができる。これにより、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整が、さらに簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００５５】
また、この一体構造体30のバックプレート８上部への取付けは、着脱可能に行なわれるので、ＦＯＵＰオープナ１の故障時や機種変更時に、この部分のみの交換が可能になり、メンテナンスが容易になる。
【００５６】
また、前記のとおり、一体構造体30には反り変形が生じず、当初の形状が維持されるので、メインベース10に設けられるドック機構のドックプレート上に載置されたＦＯＵＰが前進するとき、ＦＯＵＰはポートプレート４に干渉されることなく前進して、そのドア（ＦＯＵＰドア）は、常にポートドア３に密着するようになる。このため、ポートドア３によるＦＯＵＰドアの着脱・保持は、クリーン装置50の取付け面の平面度に左右されることなく、常に確実に行なわれて、着脱・保持エラーを生ずることがない。
【００５７】
さらに、この一体構造体30をクリーン装置50の取付け面に取り付けるための位置調整は、メインベース10が有する取付け調整機構を操作することにより行なうことができるので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるための位置調整をさらに簡単、迅速、適正に行なうことができる。
【００５８】
しかも、この取付け調整機構は、メインベース10のバックプレート８に対する前後および左右方向における傾きを調整するための傾き調整機構（押しボルト22、アジャストボルト23、固定ボルト20）、メインベース10の高さ位置を調整するための高さ調整機構（アジャストボルト23、当て板24）を備えているので、メインベース10と一体のポートプレート４のクリーン装置50の取付け面に対する前後の傾きをなくして、ポートプレート４の取付け面をクリーン装置50の取付け面と平行にすることができ、また、ポートプレート４の左右の傾きをなくして、ポートプレート４を水平にすることができ、さらに、ポートプレート４の高さ位置をクリーン装置50の取付け面の高さ位置に合わせ、ポートプレート４の開口部５をクリーン装置50の開口部の対応部位に合わせることができるので、ポートプレート４をクリーン装置50の取付け面に密接させ、ＦＯＵＰドアとポートドア３とを確実に密着させて、ポートドア３によるＦＯＵＰドアの着脱・保持をさらに確実にすることができる。
【００５９】
また、傾き調整機構により、メインベース10の左右の傾きをなくして、メインベース10を水平にすることができるので、メインベース10に設けられるドック機構のドックプレートの水平度を維持することができ、ＦＯＵＰを安定にドックプレート上に載置することができる。
【００６０】
また、高さ調整機構により、メインベース10の高さ位置を調整することにより、一体構造体30を、当初、バックプレート８に取り付けるに際して、一体構造体30の高さ方向の位置決めをすることができる。
【００６１】
さらに、バックプレート８は、メインベース10の取付け部を、その一部分である上部に集約して形成しているので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置50に取り付けるために、バックプレート８をネジ止め等によりクリーン装置50の取付け面に取り付けて固定するときにも、メインベース10の取付け部を弄る必要がなく、メインベース10のための特別の調整を行なう必要がない。また、取付け後も、特別の調整を行なう必要がない。
【００６２】
さらに、また、ＦＯＵＰオープナ１は、本体部40と、バックプレート８と、カバー９とから構成されているので、ＦＯＵＰオープナ１は、本体部40と、バックプレート８と、カバー９とに大別して分解することができ、カバー９のみの取り外しができるので、本体部40の各種機構（ドック機構、ポートドア昇降機構７、ポートドア進退機構６）等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００６３】
以上のように、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、種々の効果を奏することができる。
【００６４】
なお、以上の実施形態の説明においては、容器開閉装置がＦＯＵＰオープナ１である場合が採り上げられたが、容器開閉装置がＦＯＳＢオープナである場合も同様であり、後者の場合の詳細な説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願の請求項１ないし請求項４に記載された発明の一実施形態におけるＦＯＵＰオープナの分解斜視図である。
【図２】同ＦＯＵＰオープナの本体部およびバックプレートをクリーン装置に取り付けるところを示した概略図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】同本体部をクリーン装置に取り付けるための位置調整をしているところを示した概略図である。
【符号の説明】
１…ＦＯＵＰオープナ、２…ドックプレート（載置台）、３…ポートドア、３a …下方延設部、４…ポートプレート、５…開口部、６…ポートドア進退機構、７…ポートドア昇降機構、８…バックプレート、９…カバー、10…メインベース、11…レール、12…基台部、13…水平部、14…ネジ棒、15…支持板、16…昇降基台、17…アーム、18…案内溝、19…ポートプレートカバー、20…固定ボルト、21…長円孔、22…押しボルト、23…アジャストボルト、24…当て板、25…円孔、26…ネジ孔、30…一体構造体、40…本体部、50…クリーン装置。[0001]
[Industrial application fields]
  The invention of the present application is similar to a FOUP (Front Opening Unified Pod), which is a hermetically sealable container that is mainly used for storing one or a plurality of semiconductor wafers in a stacked form and transporting them in a factory. The present invention relates to a container opening and closing device for opening and closing a container such as a FOSB (Front Opening Shipping Box) which is a sealable container used for storing articles that dislike dust and moving between factories.
[0002]
[Prior art]
  In recent years, mini-environment (micro-environment) in which only the surrounding environment of products is made clean, instead of making the whole factory clean room, in the manufacturing process of products that require a highly clean environment such as semiconductor device manufacturing. Alternatively, a technique called local clean space is used. To put it simply, only the inside of each processing device in the process is made into a clean environment, and the inside of each processing device (clean device) for transporting and storing articles to be processed (semiconductor wafers, etc.) is clean. It is intended to use a container called FOUP.
[0003]
  In such a product manufacturing process, an interface device called a FOUP opener (FOUP opening / closing device) is used when an object to be transported such as a semiconductor wafer stored in the FOUP is put into a clean device such as a semiconductor wafer processing apparatus. . This FOUP opener is a device that can be detachably attached to a clean device, and usually has a dock mechanism for moving the FOUP forward and backward, and a drive mechanism for automatically opening and closing the FOUP lid. . The FOUP opener opens the interior of the FOUP to the clean space of the clean device while keeping the sealed state with respect to the outside world, and allows the object to be transported in the FOUP to be carried into the clean device. Such a FOUP opener is also called a load port because it loads (loads) a conveyed object in the FOUP into a clean device.
[0004]
  The FOUP opener is usually configured as a separate unit that can be attached to and detached from the clean device so that the FOUP opener can be immediately replaced with a new one at the time of failure or model change. The reason is that if maintenance is performed when a FOUP opener breaks down, the stop time of the manufacturing process becomes longer, the production efficiency decreases, and the model changes according to the production schedule, which matches the new production model. This is because, when a new FOUP is used, the FOUP opener must also be replaced with one that matches this new FOUP.
[0005]
  Conventionally, as a method of attaching the FOUP opener to the clean device, the FOUP opener is carried on a lifter or a carriage, brought close to the clean device, and a positioning pin provided in the clean device by a positioning mechanism using a positioning cam or the like. While slightly adjusting the position of the FOUP opener, the concave part for engagement provided on the back of the FOUP opener is fitted to this pin, and then several appropriate places on the back plate (back plate) of the FOUP opener are bolted to the FOUP opener. The procedure is to fix the opener to the clean device. At that time, the alignment of the FOUP opener and the clean device is not easy to match the reference position, and it takes a very long adjustment time to perform the alignment.
[0006]
  In the first place, there are two purposes for aligning the FOUP opener with the clean device. One is to attach the FOUP opener to the clean device so that the flatness of the back plate of the FOUP opener is maintained regardless of the flatness of the mounting surface of the clean device (the flatness of the vertical surface). When the FOUP door is docked with the port door and the FOUP door is attached / detached / held by the port door attaching / detaching / holding mechanism, the FOUP door is in close contact with the port door without interfering with the back plate. This is to ensure that attachment and detachment and holding (vacuum suction or the like) are performed reliably. The other is to realize the alignment between the FOUP placed on the dock plate of the FOUP opener and the semiconductor wafer take-out device (robot) or the like arranged in the clean apparatus as prescribed.
[0007]
  Here, as a method for performing this alignment, a conventionally proposed method is introduced below.
  In the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-284429, when a FOUP opener is attached to a clean device, a pair of left and right positioning members provided at the lower front of the clean device is paired with a pair of left and right provided at the lower portion of the FOUP opener. After the movable members are contacted from above and the FOUP opener is positioned on the clean device, the position of the FOUP opener is adjusted by adjusting screws in the vertical, horizontal, and longitudinal directions, and then the four corners of the FOUP opener are fixed with fixing screws. The FOUP opener is fixed to the clean device by tightening.
[0008]
  In addition, the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-28386 includes a plurality of positioning pins provided at the upper and lower portions of the front surface of the clean apparatus, and a plurality of pin hole lengths provided at corresponding portions of the FOUP opener. After fitting the holes and positioning the FOUP opener on the clean device, the vertical intermediate portion of the FOUP opener is cleaned by a pair of long fixing bolts (with screws) on the left and right intermediate portions of the FOUP opener. Then, the four corners of the FOUP opener are tightened with fixing screws to fix the entire FOUP opener to the clean device. In this method, the caster device attached to the lower part of the FOUP opener is configured to be movable up and down, so that the fixing screw through holes at the four corners of the back plate of the FOUP opener and the female screw holes on the clean device side Can be easily aligned.
[0009]
  Further, the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-134582 is provided with a positioning frame interposed between the FOUP opener and the clean device to adjust the position between these FOUP opener and the positioning frame, In the intermediate portion, the cam and the adjusting bolt are used, and the lower two corners thereof are fixed with the bolt so that the FOUP opener is attached to the clean device. The positioning frame is attached to the front surface of the clean device.
[0010]
  As described above, the methods described in any of these publications have been devised to attach the FOUP opener to the clean device, and the installation work has been simplified. Since the position or inclination is adjusted and fixed in the vertical, horizontal, and longitudinal directions at any one of the upper, lower, and intermediate portions of the FOUP opener and the cleaning device, the FOUP opener Adjustments over half or the entire body are required, and it took time to perform these operations on a clean device having no vertical surface. In addition, when changing the model, the entire FOUP opener has to be replaced, which makes maintenance difficult.
[0011]
  A similar problem is that FOSB (Front Opening Shipping), which is a hermetically sealable container that is used to store various articles that dislike dust as well as semiconductor wafers and move between factories.
It was also present in the FOSB opener used as an interface device when opening and closing the door of (Box).
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
  The invention of the present application solves the above-mentioned problems of conventional container opening / closing devices such as FOUP openers and FOSB openers, and depends on the flatness of the mounting surface of the clean device (the flatness of the vertical surface). In addition, the container door and port door of the container placed on the dock plate of the container opening / closing device are always easily, quickly, and properly adjusted and fixed for attaching the container opening / closing device to the clean device. It is an object of the present invention to provide a container opening / closing device that can be in close contact with each other and that the container door is securely attached / detached / held by the port door, can easily cope with a model change, and can be easily maintained.
[0013]
[Means for solving the problems and effects]
  The invention of the present application relates to a container opening and closing device that has solved the above-described problems, and the invention described in claim 1 isAttached to a clean device,  A dock mechanism for placing and moving a container such as FOUP or FOSB, a port door having a detachable / holding mechanism for detachably holding a container door that closes the opening of the container, and a port door that is closed by the port door The port plate with the opening and the port door horizontallyMoved toThe port door advance / retreat mechanism to be moved, and the port door advance / retreat mechanism in a state where the port door holds the container door.Moved toA port door lifting mechanism to be moved,A back plate as an attachment to the clean device;A container opening / closing device comprising a main base provided with the dock mechanismElongate downwardThe port door lifting mechanismTheFixedProvided,The port door elevating mechanism is provided with the port door advancing / retracting mechanism so as to be movable up and down, the port door advancing / retreating mechanism is provided with the port door being movable back and forth, and the port plate is vertically fixed to the upper part of the main base. An inclination adjusting mechanism for adjusting the inclination in the front-rear direction and the left-right direction is provided in the mounting portion of the main base with respect to the back plate.A container opening and closing device characterized by the above.
[0014]
  Since the invention described in claim 1 is configured as described above, the following effects can be obtained.
  On the main base where the dock mechanism is provided,The port door lifting mechanism and port plate are provided as described above.Because the main base, the port door lifting mechanism,Port plateMeans an integral structure. For this reason, when this integrated structure is fixed inside the container opening / closing device, it is not necessary to fix the entire structure to the whole area, and it is only necessary to fix it in a part of the integrated structure (such as this). However, the relative positional relationship of the integrated structure inside the container opening / closing device does not collapse.) When the container opening / closing device is attached to the clean device, the flatness of the mounting surface of the clean device (the flatness of the vertical surface) is temporarily Even if the outer shell (back plate) of the container opening / closing device is low in rigidity and the outer shell of the container opening / closing device is warped and deformed, the warping deformation does not reach the integrated structure. In such a manner, the container opening / closing device can be attached to the clean device.
[0015]
  By the way, the purpose of adjusting the position for attaching the container opening / closing device to the clean device is to attach the integrated structure to the clean device in an appropriate positional relationship. Since the shape of the body does not always change as described above, the container opening / closing device can be adjusted via its outer shell (back plate) to adjust the position for attaching the container opening / closing device to the clean device. After simply attaching to the clean device, adjust the position of the integrated structure so that the position of the integrated structure relative to the clean device is appropriate (height adjustment with respect to the mounting surface of the clean device, front / rear, left / right tilt adjustment). Can be done directly.
[0016]
  The position adjustment of the integrated structure is performed by a partial area of the integrated structure (a partial area of the integrated structure that is a position where the integrated structure is fixed inside the container opening / closing device).In the case of the present invention, a mounting portion for the back plate of the main base,As a result, the position adjustment for attaching the container opening / closing device to the clean device can be performed extremely simply and quickly.
[0017]
  Further, as described above, since the warped deformation does not occur in the integrated structure and the original shape is maintained, when the container placed on the dock plate of the dock mechanism provided in the main base moves forward, the container Proceeding without interference with the port plate, the door always sticks to the port door. For this reason, the attachment / detachment / holding of the container door by the port door is always performed reliably without depending on the flatness of the mounting surface of the clean device, and no attachment / detachment / holding error occurs.
[0018]
  Furthermore, since the position adjustment for attaching the integrated structure to the attachment surface of the clean device can be performed by operating an inclination adjustment mechanism provided at the attachment portion of the main base with respect to the back plate, the container opening / closing device can be cleaned. Position adjustment for attachment to the apparatus can be performed more easily and quickly.
[0019]
  The invention described in claim 2 is the container opening / closing device according to claim 1,So An inclination adjustment mechanism in the front-rear direction provided on the main base so as to protrude toward the back plate; and a left-right inclination adjustment part provided on the lower surface of the main base so as to protrude downward.It is characterized by having.
[0020]
  The invention described in claim 3 is the container opening / closing apparatus according to claim 2,The front-rear direction tilt adjustment unit is arranged at four corners of the main base, and includes a plurality of push bolts that adjust the separation distance between the main base and the back plate. A plurality of adjustment bolts are provided on the lower surface of the main base and are provided so as to protrude from the lower surface so as to face the backing plate fixed to the back plate.It is characterized by that.
[0021]
  By configuring in this way,By adjusting the amount of screwing of the plurality of push bolts constituting the front-rear direction tilt adjustment unit,By removing the front and back inclination of the port plate integrated with the main base with respect to the mounting surface of the cleaning device, the mounting surface of the port plate can be made parallel to the mounting surface of the cleaning device.Adjust the amount of protrusion of each of the multiple adjustment bolts that make up the horizontal tilt adjustment part,Since the port plate can be leveled without tilting the left and right of the port plate, the port plate is brought into close contact with the mounting surface of the clean device, and the container door and the port door are securely brought into contact with each other. Can be more reliably attached and detached, and leakage of the clean atmosphere inside the clean apparatus can be prevented.
[0022]
  Moreover, since the level of the dock plate of the dock mechanism provided on the main base can be ensured, the container can be stably placed on the dock plate.
[0023]
  And the claim4The invention described inThe method according to any one of claims 1 to 3.The container opening and closing deviceBelow the port plate, the main base is provided with a cover that detachably covers at least the front and both sides of the main body portion in which the port door lifting mechanism and the port plate are fixedly provided on the main base..
[0024]
  By configuring in this way,Since only the bar can be removed,internalMechanisms(Dock mechanism, port door lifting mechanism, port door advance / retreat mechanism, etc.)Such maintenance can be easily performed.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Next, claims 1 to 4 of the present application shown in FIGS.41 is described.
  FIG. 1 is an exploded perspective view of a FOUP opener according to the present embodiment, FIG. 2 is a schematic view showing the main body and back plate of the FOUP opener attached to a clean device, and FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. FIG. 4 is a schematic view showing a position adjustment for attaching the main body portion to the clean device.
[0026]
  As shown in FIGS. 1 and 2, the FOUP opener 1 according to the present embodiment includes a dock plate (mounting table) 2 on which a FOUP (not shown) in which a plurality of semiconductor wafers are stacked is mounted, A port mechanism 3 having a dock mechanism having a drive mechanism for moving the dock plate 2 forward and backward toward the clean device 50, and an attaching / detaching / holding mechanism for attaching / detaching and holding a FOUP door that closes the opening of the FOUP; The port plate 4 having the opening 5 closed by the door 3, the port door advance / retreat mechanism 6 for moving the port door 3 horizontally, and the port door advance / retreat mechanism 6 vertically with the port door 3 holding the FOUP door. A port door elevating mechanism 7 to be moved to the back of the FOUP opener 1 and a back plate 8 connected to the lower side of the port plate 4 and covering the rear portion of the FOUP opener 1. In below the port plate 4, and a cover 9 Metropolitan front of the FOUP opener 1, sides and covering a part of the upper. The FOUP may store only one semiconductor wafer.
[0027]
  In the dock mechanism, most of the drive unit for moving the mounting table 2 forward and backward is accommodated in an attachment base called a main base 10, and a power transmission member (not shown) comes out of the main base 10 and moves upward. Extending to the dock plate 2, the dock plate 2 is moved forward and backward toward the clean device 50 along the rail 11 laid on the main base 10.
[0028]
  The main base 10 includes a base portion 12 having a rectangular shape when viewed from the front, and a horizontal portion 13 projecting in a tower shape forward from the base portion 12 at a right angle. The base portion 12 is arranged vertically and forms a mounting portion for the back plate 8, and the horizontal portion 13 accommodates most of the driving portion of the dock mechanism and the driving portion of the port door lifting mechanism 7. Space to do.
[0029]
  A screw rod 14 extends downward from the drive portion of the port door elevating mechanism 7 accommodated in the horizontal portion 13 of the main base 10, and a vertically long support plate 15 for supporting the screw rod 14 has an upper end thereof. Is fixed to the lower part of the main base 10 and extends downward along the screw rod 14 from there. Therefore, the port door elevating mechanism 7 is attached and fixed integrally to the main base 10.
[0030]
  The screw rod 14 is screwed into a screw hole formed in the central portion of the lifting base 16 of the port door advance / retreat mechanism 6, and when the screw rod 14 rotates forward and backward, The port door advance / retreat mechanism 6 is moved up and down. Arms 17 are fitted to both ends of the horizontal elevating base 16 so as to be horizontally slidable. These two arms 17 pass through two longitudinal guide grooves 18 formed in the back plate 8. When the two arms 17 slide with respect to the lifting base 16, the port doors are integrated with the port doors when they pass through each of them and extend to the downwardly extending portion 3a of the port door 3 and are fixed thereto. 3 is moved horizontally (advanced and retracted), and when the elevating base 16 is moved up and down along the screw rod 14, the port door 3 is moved up and down integrally therewith.
[0031]
  A drive source and a drive mechanism for horizontally sliding the two arms 17 with respect to the lifting base 16 are provided on either one of the two arms 17, but the details are omitted. .
[0032]
  The lower end of the port plate 4 having the rectangular opening 5 is integrally attached and fixed to the upper end of the base portion 12 of the main base 10. The contour shape of the port plate 4 is also substantially rectangular. A port plate cover 19 is stuck on the surface of the port plate 4. The opening 5 forms a passage for the semiconductor wafer to enter and exit when the semiconductor wafer is carried in and out between the FOUP and the clean device 50.
[0033]
  As described above, the lower end of the port plate 4 is integrally attached and fixed to the upper end of the base portion 12 of the main base 10, and the port door lifting mechanism 7 is integrally attached to the lower portion of the main base 10. As a result, the main base 10, the port plate 4, and the port door elevating mechanism 7 form an integrated structure 30. The integrated structure 30 has a certain degree of rigidity. ing. The back surface of the port plate 4, the back surface of the base portion 12, and the back surface of the support plate 15 are parallel to each other.
[0034]
  An integrated structure 30, a dock mechanism provided on the main base 10, a port door advance / retreat mechanism 6 suspended up and down freely by the port door elevating mechanism 7, and a port door 3 integrated with the port door advance / retreat mechanism 6 are added. Assuming that the entire assembly is the main body 40 of the FOUP opener 1, the FOUP opener 1 is generally composed of the main body 40, the back plate 8, and the cover 9.
[0035]
  The integral structure 30 that forms the skeleton part of the main body 40 is detachably attached integrally to the upper portion of the back plate 8 at a portion of the main base 10 that is located at a substantially central portion in the height direction. Therefore, the four corners of the base portion 12 of the main base 10 are fixed to the substantially central portion in the left-right direction on the upper portion of the back plate 8 by fixing bolts 20.
[0036]
  Further, an attachment adjustment mechanism for adjusting the attachment position of the main base 10 when the main base 10 is attached to the upper part of the back plate 8.(Including tilt adjustment mechanism)Is provided.
  Hereinafter, this attachment adjusting mechanism will be described in detail.
[0037]
  First, the fixing bolts 20 arranged at the four corners of the base portion 12 are screwed into the screw holes formed in the corresponding portions of the back plate 8 through the long circular holes 21 formed in the vertical direction. As for the base portion 12, the position of the integrated structure 30 in the height direction with respect to the back plate 8 can be adjusted within the range of the length of the oval hole 21.
[0038]
  Next, push bolts 22 are respectively arranged at symmetrical positions with the oval hole 21 sandwiched between the upper and lower portions of each oval hole 21 as shown in FIG. These push bolts 22 are screwed into screw holes respectively formed in corresponding portions of the base portion 12, and their tips are in contact with the surface of the back plate 8 so that the push bolts 22 are disposed. The distance between the base 12 and the back plate 8 is determined.
[0039]
  Accordingly, by properly adjusting the screwing amount (pushing amount) of the total eight push bolts 22 arranged at the four corners of the base part 12, the inclination of the base part 12 with respect to the back plate 8 (the inclination in the front-rear direction). ) And the opposing surfaces of both can be made parallel. The number of the push bolts 22 is not limited to eight, but may be half of them, and it is sufficient to arrange three at the three corners. However, by arranging eight, the back of the base portion 12 by the fixing bolt 20 can be used. The fixing to the plate 8 can be made firmer.
[0040]
  Further, an adjustment bolt 23 is screwed into the lower part of both sides of the base part 12 in FIG. 2 so as to protrude downward from the lower surface thereof. The contact plate 24 is fixed to a corresponding portion of the back plate 8 so as to face the lower end of each adjustment bolt 23.
[0041]
  Accordingly, the amount of screwing of each adjustment bolt 23 with respect to the base portion 12 with the tip of each adjustment bolt 23 in contact with the contact plate 24.(Projection amount)By adjusting the height of the base portion 12, it is possible to adjust the height position of the integrated structure 30 to an appropriate height and to eliminate the inclination in the left-right direction with respect to the back plate 8 and to make it horizontal. . Furthermore, when the main body 40 of the FOUP opener 1 is temporarily fixed to the back plate 8, the position of the main body 40 in the height direction can be positioned. After adjustment in this way, a lock nut (not shown) is tightened to fix the adjustment bolt 23.
[0042]
  As described above, the tilt adjustment in the front-rear direction of the base portion 12 with respect to the back plate 8 by the push bolts 22 arranged at the four corners of the base portion 12 and the adjustment bolts 23 arranged at the lower left and right sides of the base portion 12 are performed. If the height adjustment of the base part 12 by means of the adjustment and the inclination of the base part 12 with respect to the back plate 8 by the adjustment bolt 23 is adjusted in the left-right direction, the fixing bolts arranged at the four corners of the base part 12 are finally provided. By tightening 20, the base portion 12, the checker, the integrated structure 30 and the main body portion 40 are firmly fixed to the back plate 8. Then, a lock nut (not shown) is tightened to fix the fixing bolt 20.
[0043]
  The mounting position adjustment (height adjustment, front / rear, left / right inclination adjustment) of the base 12 of the main base 10 as described above, the integrated structure 30 and the main body 40 with respect to the back plate 8 is actually performed. The figure4As shown in FIG. 5, this is performed after the back plate 8 is attached to the clean device 50. Therefore, the mounting position adjustment of the base portion 12 to the back plate 8 is actually performed as the mounting position adjustment of the base portion 12 to the mounting surface of the clean device 50.
[0044]
  Here, the position adjustment and fixing procedure for attaching the FOUP opener 1 in the present embodiment to the clean device 50 will be described in detail with some overlap.
  First, the main body 40 of the FOUP opener 1 is temporarily fixed to the back plate 8 (see FIG. 2). The temporary fixing is performed by appropriately adjusting the adjustment bolts 23 arranged on the lower left and right sides of the base portion 12 of the main base 10 to determine the height direction position of the main body portion 40 with respect to the back plate 8. This is done by loosely tightening the fixing bolts 20 arranged at the four corners of the portion 12 to temporarily fix the main body portion 40 (integral structure 30) to the back plate 8.
[0045]
  In this way, with the main body 40 temporarily fixed to the back plate 8, these temporary assemblies are carried to the front of the mounting surface of the clean device 50, and are provided at the four corners of the back plate 8 or in the vicinity of the four corners. The circular plate 25 is aligned with a screw hole 26 provided at a corresponding position on the mounting surface of the cleaning device 50, and a bolt screw (not shown) is inserted into these holes and screwed to move the back plate 8 to the cleaning device 50. Adhere to the mounting surface of4reference).
[0046]
  As described above, when the flatness of the mounting surface of the clean device 50 (the flatness of the vertical surface) is impaired, the back plate 8 fixed to the mounting surface of the cleaning device 50 is in a non-planar state. Although the warp deformation corresponding to this occurs, the integral structure 30 is only fixed to the back plate 8 at the base 12 portion of the main base 10 and is therefore affected by the warp deformation of the back plate 8. It maintains its original shape.
[0047]
  Therefore, next, the integrated structure 30 is attached to the mounting surface of the clean device 50 so that the port plate 4 positioned at the top of the integrated structure 30 matches the corresponding portion of the mounting surface of the clean device 50. Adjust the position.
  In order to adjust the position, first, the fixing bolts 20 arranged at the four corners of the base portion 12 are loosened to release the temporarily fixed state of the main body portion 40 with respect to the back plate 8.
[0048]
  Next, by adjusting the push bolts 22 arranged at the four corners of the base part 12 of the main base 10 and the adjustment bolts 23 arranged at the lower left and right sides of the base part 12 as described above, Fixing bolts 20 arranged at the four corners of the base 12 after eliminating the tilt in the front-rear direction and eliminating the horizontal tilt of the base 12 and adjusting the height of the base 12 to an appropriate height Are fastened to firmly fix the base 12 and the integrated structure 30 and the main body 40 to the back plate 8. The adjusting bolt 23 and the fixing bolt 20 are firmly fixed by tightening lock nuts.
[0049]
  After such front / rear, left / right tilt adjustment and height adjustment of the base 12, the top / bottom and left / right positions of the port plate 4 match the mounting surface of the clean device 50, and the opening 5 of the port plate 4 is The rear surface of the port plate 4 is in close contact with the mounting surface of the clean device 50, and there is no excessive force on the integrated structure 30. It is not hung and its original shape is maintained.
[0050]
  As a final procedure of position adjustment and fixing for attaching the FOUP opener 1 to the clean device 50, the cover 9 covers the main body 40 from the front and both sides at a position below the port plate 4, and the dock plate 2 Is placed on the main body portion 40 while being exposed to the outside. The cover 9 is detachable from the main body 40.
[0051]
  Since the FOUP opener 1 in the present embodiment is configured as described above, the following effects can be obtained.
  Since the port plate 4 and the port door elevating mechanism 7 are integrally attached and fixed to the main base 10 on which the dock mechanism is provided, these form an integral structure 30. When the integrated structure 30 is fixed inside the FOUP opener 1, it is not necessary to fix the integrated structure 30 over the entire area of the integrated structure 30. However, when the FOUP opener 1 is attached to the clean device 50, the flatness of the mounting surface of the clean device 50 (the flatness of the vertical surface). ) Is damaged, and the back plate 8 of the FOUP opener 1 has low rigidity. Even if the back plate 8 is warped, the warp deformation is uniform. The FOUP opener 1 can be attached to the clean device 50 so as not to reach the body structure 30.
[0052]
  As described above, when the FOUP opener 1 is attached to the clean device 50, the shape of the integral structure 30 is not always deformed. Therefore, in order to adjust the position for attaching the FOUP opener 1 to the clean device 50, After the FOUP opener 1 is simply attached to the clean device 50 via the back plate 8, the position of the integrated structure 30 is adjusted so that the positional relationship of the integrated structure 30 with respect to the clean device 50 is appropriate (clean device). 50 height adjustments to the mounting surface, front / rear, left / right tilt adjustment) may be performed directly.
[0053]
  The position adjustment of the integrated structure 30 is performed by a partial area of the integrated structure 30 (a partial area of the integrated structure 30 that is a position for fixing the integrated structure 30 inside the FOUP opener 1)In this embodiment, the main base Ten A mounting portion for the back plate 8 ofTherefore, the position adjustment for attaching the FOUP opener 1 to the clean device 50 can be performed extremely simply and quickly.
[0054]
  In particular, the main base 10 is integrally attached to the upper portion of the back plate 8, and the integrated structure 30 is integrally attached to the upper portion of the back plate 8 inside the FOUP opener 1 and fixed at the main base 10 portion. Therefore, since the main base 10 is positioned at a substantially intermediate height of the FOUP opener 1, the position adjustment for attaching the integrated structure 30 to the mounting surface of the clean device 50 in an appropriate positional relationship is performed. It can be performed intensively at a substantially intermediate height position of the opener 1, and the work load and work time can be greatly reduced. As a result, the position adjustment for attaching the FOUP opener 1 to the clean device 50 can be performed more easily and quickly.
[0055]
  In addition, since the integrated structure 30 is detachably attached to the upper portion of the back plate 8, only this portion can be replaced when the FOUP opener 1 fails or the model is changed, and maintenance is facilitated. .
[0056]
  Further, as described above, the integral structure 30 is not warped and deformed, and the original shape is maintained. Therefore, when the FOUP placed on the dock plate of the dock mechanism provided in the main base 10 moves forward, The FOUP moves forward without being interfered with the port plate 4, and its door (FOUP door) always comes into close contact with the port door 3. For this reason, the attachment / detachment / holding of the FOUP door by the port door 3 is always performed reliably without being influenced by the flatness of the mounting surface of the clean device 50, and no attachment / detachment / holding error occurs.
[0057]
  Further, since the position adjustment for attaching the integrated structure 30 to the attachment surface of the clean device 50 can be performed by operating the attachment adjustment mechanism of the main base 10, the FOUP opener 1 is attached to the clean device 50. Therefore, the position adjustment can be performed more easily, quickly and appropriately.
[0058]
  In addition, the mounting adjustment mechanism includes an inclination adjustment mechanism (push bolt 22, adjustment bolt 23, fixing bolt 20) for adjusting the inclination of the main base 10 with respect to the back plate 8 in the front-rear and left-right directions, and the height of the main base 10. Since it is equipped with a height adjustment mechanism (adjustment bolts 23, contact plates 24) for adjusting the position, the port plate 4 integrated with the main base 10 is not inclined forward and backward with respect to the mounting surface of the cleaning device 50, and the port The mounting surface of the plate 4 can be made parallel to the mounting surface of the clean device 50, and the port plate 4 can be made horizontal by eliminating the left and right inclination of the port plate 4. The height position is adjusted to the height position of the mounting surface of the clean device 50, and the opening 5 of the port plate 4 corresponds to the opening of the clean device 50. Since the port plate 4 is brought into intimate contact with the mounting surface of the clean device 50 and the FOUP door and the port door 3 are securely in contact with each other, the attachment / detachment and holding of the FOUP door by the port door 3 is further ensured. can do.
[0059]
  In addition, since the main base 10 can be leveled by the tilt adjustment mechanism without the horizontal tilt of the main base 10, the level of the dock plate of the dock mechanism provided on the main base 10 can be maintained. , FOUP can be stably placed on the dock plate.
[0060]
  In addition, by adjusting the height position of the main base 10 by the height adjustment mechanism, when the integrated structure 30 is initially attached to the back plate 8, the integrated structure 30 can be positioned in the height direction. it can.
[0061]
  Further, since the back plate 8 is formed by concentrating the mounting portion of the main base 10 on the upper portion which is a part of the back plate 8, the back plate 8 is screwed to attach the FOUP opener 1 to the clean device 50. Also when attaching and fixing to the mounting surface of the clean device 50, there is no need to tamper with the mounting portion of the main base 10, and no special adjustment for the main base 10 is required. Also, no special adjustment is required after installation.
[0062]
  Furthermore, since the FOUP opener 1 includes the main body 40, the back plate 8, and the cover 9, the FOUP opener 1 is roughly divided into the main body 40, the back plate 8, and the cover 9. Since it can be disassembled and only the cover 9 can be removed, maintenance of various mechanisms (dock mechanism, port door elevating mechanism 7, port door advance / retreat mechanism 6) and the like of the main body 40 can be easily performed.
[0063]
  As described above, the FOUP opener 1 according to this embodiment can exhibit various effects.
[0064]
  In the above description of the embodiment, the case where the container opening / closing device is the FOUP opener 1 has been taken up. However, the same applies to the case where the container opening / closing device is a FOSB opener, and detailed description of the latter case is omitted. To do.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 claims of the present application4It is a disassembled perspective view of the FOUP opener in one Embodiment of invention described in (1).
FIG. 2 is a schematic view showing a state where the main body and back plate of the FOUP opener are attached to a clean device.
FIG. 32FIG.
FIG. 4 is a schematic view showing a position adjustment for attaching the main body portion to the clean device.
[Explanation of symbols]
  DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... FOUP opener, 2 ... Dock plate (mounting base), 3 ... Port door, 3a ... Downward extension part, 4 ... Port plate, 5 ... Opening part, 6 ... Port door advancing / retreating mechanism, 7 ... Port door raising / lowering mechanism, 8 ... Back plate, 9 ... Cover, 10 ... Main base, 11 ... Rail, 12 ... Base, 13 ... Horizontal, 14 ... Screw rod, 15 ... Support plate, 16 ... Lifting base, 17 ... Arm, 18 ... Guide groove, 19 ... Port plate cover, 20 ... Fixing bolt, 21 ... Oval hole, 22 ... Push bolt, 23 ... Adjust bolt, 24 ... Hatch plate, 25 ... Round hole, 26 ... Screw hole, 30 ... Integral structure Body, 40 ... main body, 50 ... clean device.

Claims

Attached to a clean device,
A dock mechanism for moving forward and backward by placing containers such as FOUP and FOSB;
A port door having an attaching / detaching / holding mechanism for attaching / detaching and holding a container door that closes the opening of the container;
A port plate having an opening closed by the port door;
A port door reciprocating mechanism for horizontally moving the port door,
In a state in which the port door is holding the container door, and the port door elevating mechanism for vertically moving said port door forward and reverse mechanism,
A back plate as an attachment to the clean device;
In a container opening and closing device comprising:
The main base which the dock mechanism is provided, arranged to secure the port door elevating mechanism extending downward,
The port door elevating mechanism is provided with the port door advancing / retreating mechanism so as to be movable up and down
In the port door advance / retreat mechanism, the port door is provided so as to freely advance and retract,
The upper part of the main base is provided with the port plate fixed vertically,
A container opening / closing device , wherein an inclination adjusting mechanism for adjusting an inclination in a front-rear direction and a left-right direction is provided at an attachment portion of the main base to the back plate .

The tilt adjustment mechanism is
An inclination adjustment section in the front-rear direction provided on the main base so as to protrude toward the back plate;
The container opening and closing device according to claim 1, further comprising a left and right inclination adjusting portion provided on the lower surface of the main base so as to protrude downward .

The front-rear direction tilt adjustment portion is arranged at four corners of the main base, and includes a plurality of push bolts for adjusting the separation distance between the main base and the back plate,
A plurality of the left and right inclination adjusting portions are arranged on the lower surface of the main base, and are configured by adjusting bolts that protrude from the lower surface so as to face the contact plate fixed to the back plate. The container opening and closing device according to claim 2.

Below the port plate, there is provided a cover that detachably covers a main body portion in which the port door elevating mechanism and the port plate are fixedly provided on the main base from at least the front and both sides thereof.
The container opening and closing device according to any one of claims 1 to 3 .