JP4167170B2 - 卓上型dlc表面処理装置 - Google Patents
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Description
このうち、金属製の義歯は生体親和性及び加工性の面から金や銀が用いられているが、前歯には審美性の点から向かず、また、医療保険の対象外であるため患者の費用負担が大きくなるという問題もある。
また、セラミックス製の義歯は、審美性・耐久性に優れているが、硬くてもろいという欠点が指摘されると同時に、やはりこれも医療保険の対象外であるため費用負担が大きくなるという問題もある。
しかし、レジン製人工歯は、口腔内で摩耗、膨潤や変色などが起こり長期の使用に耐えられないだけでなく、食べかすなどがレジン製の人工歯や義歯床の表面に付着して口臭の原因となるという問題もある。
請求項2の卓上型DLC表面処理装置は、真空排気系により真空チャンバ内が真空状態となった後、原料ガスの供給を開始し、真空チャンバ内があらかじめ設定された圧力になったときに前記交流高電圧を供給して所定期間プラズマを発生させることによって前記ステージ電極上に載置されたワーク表面にDLCコーティング膜が生成されるように前記真空排気系、原料ガス供給系、プラズマ用電源をコントロールする制御装置を備えている。
請求項3の卓上型DLC表面処理装置は、真空チャンバの内面を覆う着脱可能な内カバーを備えている。
請求項4の卓上型DLC表面処理装置は、真空排気系、原料ガス供給系、プラズマ用電源、制御装置がいずれも100Vの単相交流電源で駆動されるように成されている。
また、100V単相交流の家庭用電源があればワークの表面にDLCコーティング膜Cを形成することができ、三相交流電源や複雑なエア制御システムは不要であるので、小規模な歯科技工士作業所、歯科医院、一般家庭においても、どこでも簡単に表面処理を行うことができる。
また、長期の使用により口腔内においてレジン歯が劣化する原因として、レジン歯の原料に含まれるモノマーが溶出することが考えられるが、DLCコーティング膜を形成することによってモノマーの溶出による劣化が抑制される。
さらに、DLCコーティング膜を形成することにより、レジン歯に比して生体親和性がより向上するという効果があるので、通常の義歯として用いるのはもちろんのこと、インプラント用義歯のように歯肉に直接触れるような義歯として用いるのに好適である。
この場合に、レジン製義歯床本体3aの表面にDLCコーティング膜Cを形成した義歯床3を製造した後、表面にDLCコーティング膜Cを形成したレジン製人工歯2を固定する場合であっても、DLCコーティング膜Cを形成していない義歯床本体3aにレジン製人工歯2を固定した後、その表面全体にDLCコーティング膜Cを形成する場合であっても良い。
また、図1(b)に示す義歯1Bはインプラント用の無床義歯(挿し歯)として使用されるもので、人工歯根に固定されるレジン製人工歯4の表面にDLCコーティング膜Cが形成されている。
このようなDLCの薄膜から成るDLCコーティング膜Cを形成した義歯をサンプルとし、その膜厚を変化させながら歯科用磨耗試験機を用い、荷重250g、歯磨き剤(ハケアー:商品名)を塗布した72時間の歯磨き実験(歯ブラシ時間を1回1分1日2回として6年分の歯磨き時間に相当)を行ったところ、膜厚を5nmにすると、コーティング膜を形成しない義歯の約2倍の耐磨耗性を有し、膜厚を75nmにすると実に16倍もの耐磨耗性を有する。
しかし、膜厚が75nmを超えるとコーティング膜に剥がれが生じたり、剥がれがない場合でも色が濃くなりすぎるため、DLCコーティング膜Cの膜厚は5nm以上75nm以下であることが好ましい。
表面処理装置11は、ワークを載置するステージ電極12Aとその上方に位置する上部電極12Bを備えた真空チャンバ13が卓上型のケーシング14と一体に形成され、該ケーシング14に、真空チャンバ13内の空気を真空ポンプ15で排出する真空排気系16と、ソケット17に装着されたガス充填圧1MPa未満のカセットボンベ18から真空チャンバ13内に原料ガスを送給する原料ガス供給系19と、前記電極12A、12B間に電圧350〜2000V、周波数103〜1010Hzの交流高電圧を印加するプラズマ用電源20と、前記真空排気系16、原料ガス供給系19及びプラズマ用電源20をコントロールする制御装置21が配されている。
また、真空チャンバ13の外側にこれを覆うカバー29が設けられている。
本例では、ケーシング14の内部に真空ポンプ15が配されているが、これに限らず、先端に外部の真空ポンプに接続される接続ポートを形成した排気管26をケーシング14内に配しても良い。この場合は、制御装置21で真空ポンプのオンオフを行わずに、排気管26に介装した電磁バルブを開閉すれば良い。
カセットボンベ18には、原料ガスとして炭化水素系ガス(例えばメタンガス)や、炭化水素系ガスと水素ガスとを所定の混合比で混合したガスが、ガス充填圧大気圧以上1MPa未満、ガス量10リットル以下で充填されている。
そして、ソケット17には電磁バルブが組み込まれ、制御装置21からの操作信号により、原料ガス供給系19を導通・遮断させて、ソケット17に装着されたカセットボンベ18からの原料ガスの供給を開始・停止するように成されている。
なお、カセットボンベ18は、ケーシング14内のカセットボンベ収容部27内に収容する場合に限らず、ケーシング14外に露出して形成されたソケット17に露出された状態で装着される場合でも良い。
このとき、ステージ電極12Aに載置されたレジン製の人工歯は絶縁物であるから、その表面に誘起する自己バイアスのため負に帯電され、プラズマ中に集中した高密度イオンが負に帯電している人工歯の表面に向って加速され、高速高エネルギーを持つイオンが人工歯表面と衝突することにより、人工歯表面にDLC膜が形成される。
まず、DLCコーティング膜Cを形成しようとする人工歯などのワークを真空チャンバ13内のステージ電極12Aに載置し、タイマスイッチ24をセットしてスタートスイッチ23をオンすると図4に示す処理が実行開始される。
ステップSTP7ではそれと同時またはその後、ソケット17の電磁バルブを閉じて原料ガス供給系19を遮断することにより原料ガスの供給を停止し、さらにその後、真空チャンバ13内に残存する原料ガスが排出された後、ステップSTP8で真空ポンプ15を停止して、処理を終了する。
その結果、DLCコーティング膜Cを形成していない義歯に比して、原料に含まれるモノマーの溶出が抑制されることが判明した。
したがって、DLCコーティング膜Cを形成することにより、レジン製の義歯でも劣化が少なく、長期間の使用に耐えることができる。
この実験は、義歯材料を厚さ2mmにスライスし、片面にDLCコーティング膜を形成した試料を麻酔下で成兎背部皮下に埋め込み、4週後に、試料を皮下ごと摘出して病理切片作成した。
摘出した試料は、10%ホルマリンに3日間浸し、固定化、アルコール脱水の後、60℃、21時間でパラフィン包埋を行った。
これをミクロトーム(ヤマト精機)により、厚さ5μmに薄切りし、キシロール、アルコールにて脱パラフィンを行い、細胞核が青藍色に結合組織が赤色に染まるヘマトキシリン・エオジン染色を行った。
染色した切片は、プレパラート上に封入し、光学顕微鏡にて病理観察を行った。
試料の表裏を観察し、DLCコーティング側とノンコーティング側における組織反応を観察した。
その結果、DLCコーティング側の方が結合組織が薄く、ノンコーティング側には炎症細胞が多くみられた。これより、DLCコーティング膜は安全な材料であり、ノン意コーティングに比して生体親和性がより高いことが確認された。
したがって、通常の義歯として用いるのはもちろんのこと、インプラント用義歯のように歯肉に直接触れるような義歯として用いる場合に好適である。
また、100V単相交流の家庭用電源があればワークの表面にDLCコーティング膜Cを形成することができ、三相交流電源や複雑なエア制御システムは不要であるので、小規模な歯科技工士作業所、歯科医院、一般家庭においても、どこでも簡単に表面処理を行うことができる。
しかも、原料ガスの供給にガス充填圧が1MPa未満のカセットボンベを用いているので安全であり、高圧ガス取締法による規制がないので、使用するバルブや配管類も耐圧の低い小型で安価なもので足り、その分、製造コストを抑えることができると同時に、装置全体を小型化できる。
2、4 人工歯
3 義歯床
3a 義歯床本体
C DLCコーティング膜
11 卓上型DLC表面処理装置
12A ステージ電極
12B 上部電極
13 真空チャンバ
14 ケーシング
15 真空ポンプ
16 真空排気系
18 カセットボンベ
19 原料ガス供給系
20 プラズマ用電源
21 制御装置
Claims (4)
- 小型ワークの表面にDLCコーティング膜を形成する卓上型DLC表面処理装置であって、ワークを載置するステージ電極とその上方に位置する上部電極を備えた真空チャンバがケーシングと一体に形成され、該ケーシングに、真空チャンバ内の空気を真空ポンプで排出する真空排気系と、ソケットに装着されたガス充填圧1MPa未満、ガス量10リットル以下のカセットボンベから真空チャンバ内に原料ガスを送給する原料ガス供給系と、前記電極間に電圧350〜2000V、周波数103〜1010Hzの交流高電圧を印加するプラズマ用電源と、前記真空排気系、原料ガス供給系及びプラズマ用電源をコントロールする制御装置が配されていることを特徴とする卓上型DLC表面処理装置。
- 前記制御装置は、真空排気系により真空チャンバ内が真空状態となった後、原料ガスの供給を開始し、真空チャンバ内があらかじめ設定された圧力になったときに前記交流高電圧を供給して所定期間プラズマを発生させることによって前記ステージ電極上に載置されたワーク表面にDLCコーティング膜が生成されるように前記真空排気系、原料ガス供給系、プラズマ用電源をコントロールする請求項1記載の卓上型DLC表面処理装置。
- 前記真空チャンバの内面を覆う着脱可能な内カバーを備えた請求項1又は2記載の卓上型DLC表面処理装置。
- 前記真空排気系、原料ガス供給系、プラズマ用電源、制御装置がいずれも100Vの単相交流電源で作動されるように成された請求項1又は2記載の卓上型DLC表面処理装置。
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