JP4165944B2 - マイクロ波プラズマ処理装置 - Google Patents
マイクロ波プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4165944B2 JP4165944B2 JP33581198A JP33581198A JP4165944B2 JP 4165944 B2 JP4165944 B2 JP 4165944B2 JP 33581198 A JP33581198 A JP 33581198A JP 33581198 A JP33581198 A JP 33581198A JP 4165944 B2 JP4165944 B2 JP 4165944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- plasma
- sample
- conductor
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、大口径半導体基板、大型液晶ディスプレイ用ガラス基板等に、プラズマを用いたエッチング、アッシング、CVD(化学蒸着)等の処理を施すための利用に好適なマイクロ波プラズマ処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSI(大規模集積回路)、LCD(液晶ディスプレイ)などを製造するプロセスにおいて、反応ガスに外部からエネルギーを与えた際に発生するプラズマが、広く用いられている。特に、プラズマを用いたドライエッチング技術は、これらのプロセスにおいて、不可欠の基本技術となっている。
【0003】
一般に、プラズマを発生させるための励起手段としては、2.45GHzのマイクロ波を用いる場合と、13.56MHzのRF(高周波:Radio Frequency)を用いる場合とが知られている。マイクロ波を用いる場合には、RFを用いる場合に比べて、高密度のプラズマが得られるとともに、プラズマを発生させるのに電極を必要としないため、電極からのコンタミネーションを防ぐことができるなどの利点がある。
【0004】
しかしながら、マイクロ波を用いた従来のプラズマ処理装置では、プラズマ領域面積が広く、かつプラズマ密度が均一になるようにプラズマを発生させることが困難であった。したがって、大口径の半導体基板(半導体ウェハ)、または、大型のLCD用ガラス基板の処理等において、マイクロ波を用いたドライエッチング処理を採用するのは困難であった。
【0005】
この点に関し、大面積に均一にマイクロ波プラズマを発生させることが可能なプラズマ処理装置として、表面波電界励起プラズマを利用する方式が提案されており、例えば、特開昭62-5600号公報、特開昭62-99481号公報において開示されている。このプラズマ処理装置は、処理容器の上部壁をマイクロ波の透過が可能な耐熱性板で封止し、その上方にはマイクロ波導波管に接続された誘電体線路を配置している。そして誘電体線路の表面から漏れ出た表面波電界により、プラズマが発生する。
【0006】
図11は前者のプラズマ処理装置の側断面図であり、図12は図11に示したプラズマ処理装置の平面図である。この従来装置150では、金属製導体により構成された処理容器81の上部に、封止板84が設けられ、これらによって処理室82は気密状態に封止されている。更に処理容器81には、処理容器81及び封止板84の上部を覆うカバー部材90が連結されており、カバー部材90とマイクロ波発振器70との間には、導波管71が連結されている。そして、カバー部材90内の天井部分には、封止板84との間にエアギャップ93を確保しつつ、誘電体線路91が取り付けられている。この誘電体線路91は、導波管71の幅から処理容器81を覆う程度の幅まで広がるテーパ部91aを有する平面視略5角形に形成されている。
【0007】
処理容器81内には封止板84とは対向する位置に、試料基板Wを載置するための試料台83が配設されており、これにはマッチング回路86を介してRFバイアス回路87が接続されている。また処理容器81の下部壁には図示しない排気装置に接続される排気口88が形成され、処理容器81の一側壁には所要の反応ガスを供給するためのガス供給管85が接続されている。
【0008】
このように構成されたマイクロ波プラズマ処理装置150を用いて、試料台83の上に載置された試料基板Wに、所定の処理を施す場合には、まず、排気口88から排気を行って処理室82内を所要の真空度に設定した後、ガス供給管85から反応ガスを供給する。次いで、マイクロ波発振器70においてマイクロ波を発生させ、導波管71を介して、マイクロ波を拡げるためのテーパ部91aを含む誘電体線路91へと導入する。
【0009】
すると、誘電体線路91の下方に電界が形成され、形成された電界が、エアギャップ93および封止板84を透過して、処理室82へ供給される。これによって、処理室82にプラズマが生成され、試料基板Wの表面に対して、例えばエッチング等の処理がなされる。この際、必要に応じて試料台83には、RFバイアス回路87によって、RFバイアスが印加される。RFバイアスによって処理室82内に形成されるバイアス電位によって、プラズマ中のイオンが加速され、試料基板Wへと導かれ、それによって、試料基板Wの表面に、例えば、異方性エッチングを施すことが可能となる。
【0010】
従来装置150では、大口径の試料基板Wを処理すべく、処理室82の幅を大きく設定しても、封止板84の直下に、均一に電界が形成され、その結果、均一なプラズマを得ることができる。したがって、大口径の試料基板Wに、所定の処理を施すことが可能である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来装置150では、誘電体線路91にマイクロ波を均一に拡大するために、封止板84および処理容器81の縁部から水平方向へ突出させたテーパ部91aが設けられている。そのため、装置150を設置する場合には、処理容器81の縁部から突出したテーパ部91aを格納するために、水平方向に余分のスペースを確保することが必要とされていた。
【0012】
近年における試料基板Wの大口径化にともなって、処理室82の幅がより大きいマイクロ波プラズマ処理装置が要求されるようになっている。しかも、半導体素子等の製造現場では、装置の設置場所を新たに確保する必要がないこと、すなわち、できるだけ狭いスペースに装置を設置し得ることが求められている。
【0013】
しかしながら、従来装置150では、テーパ部91aの寸法は、誘電体線路91の面積に応じて、言い換えると、処理室82の幅に応じて定まる。このため、大口径の試料基板Wの処理を行うためには、大きなテーパ部91aを収納し得るよう、より大きなスペースを確保することが必要とされていた。このように、従来装置150では、大口径の試料基板Wを処理するという要求と、装置の設置スペースをできるだけ狭くしたいという要求とを、同時に満足することができないという問題点があった。
【0014】
また、従来装置150では、その構造上、試料台83に対向する面、すなわち、封止板84の下面は接地できないので、処理容器81の側壁などが、接地されることによって、RFバイアスに対する実効的な対向電極として機能していた。その結果、処理容器81の側壁などが、イオン衝突によって、損傷を受けるという問題点があった。さらに、実効的な対向電極が、試料基板Wに対向しない方向、例えば、斜め上方に位置するために、試料基板Wに入射するイオンの指向性が悪く、エッチングの異方性等のプロセス上の性能が低いという問題点があった。
【0015】
この発明は、従来の装置における上記した問題点を解消するためになされたもので、大口径の試料の処理を可能にすると同時に、省スペース化、および、入射イオンの指向性の向上とを、実現するマイクロ波プラズマ処理装置を提供することを目的とし、特に、処理の効率および処理の均一性を高めることのできるマイクロ波プラズマ処理装置を得ることを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
第1の発明の装置は、処理対象である試料を載置する試料台を格納した処理室へマイクロ波を導入し、当該マイクロ波によりプラズマを生成し、当該プラズマを用いて前記試料に処理を行うためのマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記試料台に対向した導電体と、前記導電体の外周に配設された環状平板のマイクロ波導入板と、前記マイクロ波導入板の上に配設され、マイクロ波を該マイクロ波導入板に導く空洞を内部に規定する導電性の管状部材と、を備え、前記管状部材の前記マイクロ波導入板に対向する部分に、前記空洞と連続する開口部が開設されており、当該開口部の内周側の端部と前記導電体の外周との間の前記マイクロ波導入板に沿った方向での光学的距離が、前記マイクロ波の真空中での波長の1/4倍以上に設定されている。
【0017】
第2の発明の装置は、処理対象である試料を載置する試料台を格納した処理室へマイクロ波を導入し、当該マイクロ波によりプラズマを生成し、当該プラズマを用いて前記試料に処理を行うためのマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記試料台に対向した導電体と、前記導電体の外周に配設された環状平板のマイクロ波導入板と、前記マイクロ波導入板の上に配設され、マイクロ波を該マイクロ波導入板に導く空洞を内部に規定する導電性の管状部材と、を備え、前記管状部材の前記マイクロ波導入板に対向する部分に、前記空洞と連続する開口部が開設されており、前記マイクロ波導入板の前記試料台側の表面が、前記導電体の前記試料台側の表面よりも、5mm以上突出している。
【0018】
第3の発明の装置では、第2の発明のマイクロ波プラズマ処理装置において、前記開口部の内周側の端部と前記導電体の外周との間の前記マイクロ波導入板に沿った方向での光学的距離が、前記マイクロ波の真空中での波長の1/4倍以上に設定されている。
【0019】
【発明の実施の形態】
<1. 実施の形態1>
はじめに、実施の形態1のマイクロ波プラズマ処理装置について説明する。
【0020】
<1-1. 装置の基本構成>
図1は、実施の形態1のマイクロ波プラズマ処理装置の側断面図であり、図2は図1に示した装置の平面図である。また、図1は、図2のA−A切断線に沿った断面図に相当する。この装置101では、有底円筒状の処理容器1の上端部に、内周面に溝が設けられたリング部材10が取り付けられている。処理容器1は、例えばアルミニウム等の金属で構成されており、リング部材10も金属で構成されている。
【0021】
さらに、環状のマイクロ波導入板4が、その外周縁部がリング部材10の溝に嵌合されることにより、リング部材10に支持されている。この環状マイクロ波導入板4の材料としては、耐熱性及びマイクロ波透過性、並びに小さな誘電損失が要求され、そのために、例えば、石英ガラス又はアルミナ等の誘電体が採用される。
【0022】
リング部材10の上面には、該リング部材10の外直径と略同じ外直径を有し、前述したマイクロ波導入板4の内直径と略同じ内直径を有する略円筒状のブロック部材25が、リング部材10にねじ止めされている。このブロック部材25は、アルミニウム等の金属で形成されている。ブロック部材25の底部には、同じくアルミニウム等の金属で構成された環状の板部材16が嵌合している。板部材16には、複数のスリット15が、周方向に所定の距離を隔てて開設されている。
【0023】
ブロック部材25と板部材16とによって、断面が矩形の環状の空洞47が形成されている。ブロック部材25の外周壁には、環状の空洞47に連通する断面矩形の溝が開設されている。この溝は、リング部材10の上面で覆われることにより、矩形孔48を形成している。環状の空洞47および矩形孔48には、誘電体14が内嵌されている。誘電体14の材料として、例えば、テフロン(登録商標)などのフッ素樹脂、ポリエチレン樹脂、又は、ポリスチレン樹脂が採用され、好ましくは、フッ素樹脂が用いられる。
【0024】
ブロック部材25と板部材16とで構成され、環状の空洞47を内部に規定する管状部材と、空洞47に充填されている誘電体14の部分とによって、環状導波管型アンテナ部12aが形成されている。また、矩形孔48を内部に規定するブロック部材25の部分とリング部材10の部分、並びに、矩形孔48に充填されている誘電体14の部分によって、導入部12bが形成されている。環状導波管型アンテナ部12aおよび導入部12bは、双方でアンテナ13を構成する。
【0025】
管状部材の外周壁部に開設された導入口49を通じて、管状部材に規定される環状の空洞47と、導入部12bに規定される矩形孔48とが連通している。導入部12bには、導波管21の一端が接続され、導波管21の他端には、マイクロ波発振器20が接続されている。したがって、マイクロ波発振器20が生成するマイクロ波(例えば、300MHz〜30GHzの周波数を有する電磁波)は、導波管21の内部、および、導入部12bの矩形孔48を通じて、環状導波管型アンテナ部12aの空洞47へと導入される。
【0026】
環状導波管型アンテナ部12aの空洞47の周方向の長さを適切に、例えば、伝搬するマイクロ波の波長の略整数倍に設定することにより、空洞47内に定在波を生起することができる。具体的には、環状導波管型アンテナ部12aを互いに逆方向へ進行する2つの進行波が、導入部12bに対向する位置で衝突して定在波が生成される。この壁面定在波によって、環状導波管型アンテナ部12aの内面、すなわち、空洞47の壁面に、所定の間隔で極大値を示す壁面電流が流れる。
【0027】
誘電体14として、例えば、比誘電率ε=2.1のテフロンが採用されているときには、環状導波管型アンテナ部12a内を伝播するマイクロ波のモードを、基本伝播モードである矩形TE10にするには、マイクロ波の周波数が2.45GHzである場合、環状導波管型アンテナ部12aの内側、すなわち、空洞47の径方向に沿った断面の寸法を、高さ27mm、幅66.2mmに設定するとよい。矩形TE10のマイクロ波は、環状導波管型アンテナ部12aの内部を、ほとんど損失なく、しかも、均一に伝搬する。
【0028】
さらに、外径が380mm、内径が180〜200mm、厚さが20mmのマイクロ波導入板4が用いられる場合には、環状導波管型アンテナ部12aの中心から、環状導波管型アンテナ部12aの幅方向の中央までの距離は、141mmに設定することができる。この場合、環状導波管型アンテナ部12aの幅方向の中央を結ぶ円の周方向の長さ(略886mm)は、該環状導波管型アンテナ部12a内を伝播するマイクロ波の波長(略110mm)の略整数倍となる。
【0029】
そのため、マイクロ波は環状導波管型アンテナ部12a内で共振し、前述した定在波は、その腹の位置で高電圧・低電流、節の位置で低電圧・高電流となり、アンテナ13のQ値が向上する。この定在波は、スリット15から封止板4を介して、処理室2へ電界を生成する。したがって、スリット15は、定在波の腹の位置に配置されるのが望ましい。
【0030】
ブロック部材25にはアルミニウムを円柱状に成形してなる加熱ブロック26が、その下面がマイクロ波導入板4の下面より少し高い位置になるように、シート状の絶縁体31を介して、着脱自在に内嵌されている。絶縁体31の材料には、例えば、テフロンが用いられる。加熱ブロック26には、加熱源であるヒータ28が埋設されている。また、加熱ブロック26の下面中央には円筒状の凹部が設けられている。この凹部は、導体又は半導体などの導電性の材料、すなわち導電体(本明細書では、半導体も含めて「導電体」と称する)を円板状に成形して成る対向電極18で、閉塞されることにより、ガス拡散室30を形成している。
【0031】
ガス拡散室30は、加熱ブロック26を貫通するガス供給管5と連通しており、対向電極18には複数の貫通孔(図示を略する)が開設されているので、ガス供給管5から反応ガスを供給することによって、処理室2へと反応ガスを、均一に導入することができる。対向電極18は、例えば、直径190mmのシリコン系材料で構成される。
【0032】
なお、処理容器1、リング部材10、環状マイクロ波導入板4、ブロック部材25及び加熱ブロック26が互いに接合する部分には、それらを気密状態に封止するために、耐熱性のO(オー)リング17が介挿されている。
【0033】
処理容器1の底部中央には、試料基板Wを載置する試料台3が昇降自在に設られている。そして、試料台3には、マッチング回路6を介して、RFバイアス回路7が接続されている。また、処理容器1の側壁には排気口8が開設されており、図示されない排気機構によって、処理室2の内気が排出可能となっている。
【0034】
図1では、対向電極18は、配線を通じて電気的に接地された例を示しているが、RFバイアス回路7とは別のRFバイアス回路、および、マッチング回路6とは別のマッチング回路が、試料台3と同様に接続されても良い。あるいは、試料台3を接地し、対向電極18にのみ、マッチング回路およびRFバイアス回路を接続しても良い。なお、対向電極18が接地される場合には、絶縁体31は設けられなくても良い。
【0035】
装置101は、以上のように構成されるので、処理室2に電界が形成され、この電界によって、処理室2にプラズマが生成される。このプラズマによって、試料台3に載置された試料基板Wに、プラズマ処理が施される。処理室2内の電界は、試料台3に対向する対向電極18の周囲を囲むように、環状に設けられた環状導波管型アンテナ部12aに、マイクロ波の定在波が形成され、この定在波からマイクロ波が処理室2へと伝搬することによって生成される。
【0036】
したがって、生成されるプラズマの均一性が比較的良好であり、大口径の試料基板Wに対して、プラズマ処理を施すことが可能となる。しかも、従来装置150とは異なり、テーパ部91aを必要とせず、導入部12bを通じて環状導波管型アンテナ部12aへと、マイクロ波を直接に入射することができるので、処理容器1の周囲に、余分な設置スペースを必要としない。
【0037】
さらに、試料台3と、これに対向する対向電極18との間に、RFバイアスが印加されるので、試料基板Wへ入射するイオンの指向性が高い。したがって、異方性のよいプラズマエッチングも可能となり、高いアスペクト比を持った微細加工を試料基板Wに施すことが可能となる。しかも、処理容器1の側壁等を、実効的な対向電極とする必要がないので、イオン衝突による側壁等の損耗が抑制され、処理容器1等の寿命が高められる。
【0038】
<1-2. スリットの位置の最適化>
図3は、図2のB−B切断線に沿った装置101の部分拡大断面図である。図3が示すように、環状のマイクロ波導入板4の内周には、絶縁体31を挟んで、対向電極18と加熱ブロック26とを含む導電体45の外周が対向している。この導電体45の外周の径方向の位置Pbと、環状導波管型アンテナ部12aを構成する管状部材の底部に開設された開口部に相当するスリット15の、内周側の端部(以下、「内周側端部」と記載する)の径方向の位置Pとの間には、ある最適な関係が存在する。そして、装置101では、この最適な範囲を満たすように、スリット15が形成されている。
【0039】
この最適な関係とは、後述するデータが示すように、実験を通じて見出されたものであり、つぎのように表現される。すなわち、導電体45の外周とスリット15の内周側端部との間の径方向の距離D(すなわち、位置Pと位置Pbの間の距離)に対応する光学的距離が、マイクロ波の真空中での波長λの1/4倍以上に設定されるのが望ましい。光学的距離とは、実距離に媒質の比誘電率の二乗根を乗じて得られる距離、すなわち、真空媒質に換算された距離を意味する。
【0040】
この最適条件は、絶縁体31が存在しない場合には、実距離Dが、マイクロ波導入板4を伝わるマイクロ波の波長の1/4倍以上であることと等価である。すなわち、絶縁体31が存在しない場合の最適条件は、つぎの数式1:
D≧1/4・λ1 ・・・(数式1)
で表現される。ここで、λ1は、マイクロ波導入板4の中でのマイクロ波の波長である。
【0041】
絶縁体31が存在する場合には、最適条件は、つぎの数式2:
D1・(ε1)1/2+D2・(ε2)1/2≧1/4・λ ・・・(数式2)
で表現される。ここで、D1は、マイクロ波導入板4の内周とスリット15の内周側端部との間の実距離、D2は、絶縁体31の厚さ、ε1は、マイクロ波導入板4の比誘電率、そして、ε2は、絶縁体31の比誘電率である。
【0042】
また、マイクロ波の真空中での波長λは、つぎの数式3:
λ=2πc/ω ・・・(数式3)
で与えられる。ここで、cは、真空中の光速であり、ωは、マイクロ波発振器20で生成されるマイクロ波の角周波数である。
【0043】
図3が示すように、マイクロ波導入板4の内周付近には、環状導波管型アンテナ部12aからスリット15を通じて、マイクロ波が伝搬する。このマイクロ波は、環状導波管型アンテナ部12aを伝搬する進行波がもれ出たものであり、その真空中での波長は、数式3で与えられる。
【0044】
マイクロ波導入板4へ漏れ出たマイクロ波の中で、進行波Q1として、導電体45へと向かう成分が存在する。この進行波Q1は、導電体45の外周表面で反射され、その結果、マイクロ波導入板4(および絶縁体31)の中には、さらに、反射波Q2が伝搬する。そして、これら両者が合成されることによって、導電体45の外周表面付近には、定在波Q3が形成される。この定在波Q3の真空中での波長も、数式3で与えられる。
【0045】
したがって、上記した最適条件は、導電体45の外周表面付近に形成される定在波Q3の腹(一般には複数)の中で、導電体45に最も近い腹の位置Paに関して、導電体45から見て、スリット15の内周側端部の位置Pを、腹の位置Pa以遠に設定することと等価である。言い換えると、上記の最適条件は、腹の位置Paと導電体45の外周表面の位置Pbとの間の実距離Daに関して、実距離Dを実距離Da以上に設定することと同等である。すなわち、最適条件は、つぎの数式4:
D≧Da ・・・(数式4)
で表現することも可能である。実距離Daの光学的距離は、マイクロ波の真空中での波長λの1/4倍に相当する。また、絶縁体31がなければ、実距離Daは、マイクロ波導入板4の中でのマイクロ波の波長の1/4倍、すなわち、1/4・λ1に一致する。
【0046】
<1-3. 実証データ>
つぎに、上記の最適条件を裏付ける実験結果について、説明する。実験では、装置101の各部の材料および寸法は、つぎのように設定された。まず、マイクロ波発振器20が出力するマイクロ波の周波数は、2.45GHzに設定された。対向電極18に関しては、その直径が、8インチ口径の試料基板Wを処理可能な200mmに設定され、厚さが10mmに設定され、さらに、材料には、シリコン系材料が採用された。また、対向電極18は電気的に接地された。
【0047】
絶縁体31には、厚さ1mmのテフロンが用いられた。マイクロ波導入板4には、外径が380mm、内径が202mm、そして、厚さが20mmの石英板が採用された。環状導波管型アンテナ部12aの内部の空洞47の径方向断面形状に関しては、高さが27mm、および、幅が66.2mmに設定された。そして、この空洞47には、テフロンが充填された。
【0048】
以上の条件の下で、距離Dを様々に変えて、図1に示す座標軸xに沿ったプラズマ密度の分布が測定された。座標軸xは、対向電極18の中心を原点とした処理室2内の水平方向の位置を表している。プラズマ密度は、電子密度によって計測された。
【0049】
図4は、二つの距離Dに対する実験の結果の傾向を模式的に示すグラフであり、その縦軸は、プラズマ密度を表し、横軸は座標軸xを表している。曲線C1は、距離Dが距離Daよりも十分に短く設定されたときの傾向を表しており、曲線C2は、距離Dが距離Daよりも十分に長く設定されたときの傾向を表している。曲線C2では、プラズマ密度が座標軸xの全体にわたって、曲線C1よりも高く、しかも、プラズマ密度の均一性が向上している。これらの傾向は、x=-100mm〜+100mmの範囲にわたって顕著である。8インチ口径の試料基板Wを処理する上では、x=-100mm〜+100mmの範囲で均一性が確保されれば十分である。
【0050】
図5は、プラズマ密度の不均一の度合い、すなわち、プラズマ不均一性を、様々な距離Dに対して計測した結果を示すグラフである。プラズマ不均一性は、次の数式5:
不均一性=(M−m)/(M+m)・・・(数式5)
にもとづいて算出された。ここで、Mは、図4に例示する曲線の最大値であり、mは最小値である。
【0051】
図5が示すように、プラズマ不均一性は、距離Dが16mmよりも短い領域では、比較的高く、距離Dが16mmよりも長い領域では、低くなる。しかも、距離Dが16mmを超えて増加するのにともなって、プラズマ不均一性は、劇的に減少する。
【0052】
数式3で与えられる波長λは、λ=122.4mmである。したがって、石英の比誘電率ε1=4.0、テフロンの比誘電率ε2=2.1、および、絶縁体31の厚さD2=1mmを用いて、つぎの数式6:
D1・(ε1)1/2+D2・(ε2)1/2=1/4・λ ・・・(数式6)
にもとづいて、距離D1を算出すると、D1=15mmが得られる。したがって、距離Daは、Da=D1+D2=16mmと計算される。
【0053】
したがって、実験の結果は、距離Dが距離Daを境として変化するのにともない、プラズマ密度の高さ、および、プラズマ密度の均一性が、劇的に変化することを示している。すなわち、距離Dが距離Da以上に設定されるときには、距離Da未満に設定されるときに比べて、プラズマ密度の高さ、および、均一性のいずれも、飛躍的に向上する。
【0054】
このことは、距離Dが距離Da以上に設定されるとき、すなわち、数式4が満たされるときに、マイクロ波の処理室2への導入の効率が飛躍的に増大することを意味している。この現象は、数式4が満たされるときに、図3に示した定在波Q3の強度が、飛躍的に増大するという機構によって説明することができる。
【0055】
以上のように、プラズマ密度の高さ、および、均一性の上で、距離Dには選択性があって、しかも、距離Daが臨界値として意味を持つことが、実験によって実証された。なお、図4および図5のグラフが示すように、距離Dが距離Da未満に設定された装置においても、プラズマ密度の不均一性は、試料基板Wを処理する上で、実用性を損なうほどではない。しかしながら、マイクロ波の利用効率を高め、試料基板Wへの処理の均一性をさらに向上させる上で、数式1,2,4に表現される最適条件を満たすように、装置101を設定することが、より望ましい。
【0056】
<1-4. スリットの形状の多様性>
環状導波管型アンテナ部12aを構成する管状部材の底部に開設された開口部は、マイクロ波の処理室2への伝搬効率を高める上で、図2が示したように、周方向に所定の間隔で開設されたスリット15として形成されるのが望ましい。しかしながら、開口部の形状は、一般に、この例に限られず、多様な形状を採ることが可能である。
【0057】
図6は、その一例に相当するマイクロ波プラズマ処理装置の平面図である。この装置101aでは、開口部は、周方向に沿って一定幅で連続したスリット46として形成されている。この装置101aにおいても、開口部の内周側端部の位置に対する最適条件は、数式1,2,4等で与えられる。
【0058】
<2. 実施の形態2>
図7は、実施の形態2のマイクロ波プラズマ処理装置の側断面図である。図7の装置の平面図は、図2と同一に描かれる。この装置102は、マイクロ波導入板4の底面が、対向電極18の試料台3に対向する底面よりも、下方に位置する点において、装置101とは特徴的に異なっている。すなわち、マイクロ波導入板4の底面が、対向電極18の底面よりも、ある距離zだけ突出している。しかも、この距離zは、5mm以上に設定される。
【0059】
距離zに関して、次の数式7:
z≧5mm・・・(数式7)
で与えられる最適条件は、実験により見出されたものであり、この最適条件が満たされるときには、処理室2に形成されるプラズマ密度の高さ、および、均一性が飛躍的に改善される。
【0060】
距離zに関する最適条件を実証した実験では、装置102の各部の材料および寸法、マイクロ波発振器20が生成するマイクロ波の周波数、その他の条件は、上記1-3の項で述べた距離Dに関する実証実験の場合と、同一に設定された。そして、距離zを様々に変えつつ、プラズマ密度の座標軸xに沿った分布が計測された。プラズマ密度は、電子密度として計測された。
【0061】
図8は、プラズマ不均一性を、様々な距離zに対して計測した結果を示すグラフである。プラズマ不均一性は、数式5にもとづいて算出された。図8が示すように、プラズマ不均一性は、距離zが5mmよりも短い領域では、比較的高く、距離zが5mmよりも長い領域では、低くなる。しかも、距離zが5mmを超えて増加するのにともなって、プラズマ不均一性は、劇的に減少する。
【0062】
このように、実験の結果は、距離zが5mmを境として変化するのにともない、プラズマ密度の均一性が、劇的に変化することを示している。プラズマ密度の高さについても、同様の結果が得られる。すなわち、距離zが5mm以上に設定されるときには、5mm未満に設定されるときに比べて、プラズマ密度の高さ、および、均一性のいずれも、飛躍的に向上する。このことは、距離zが5mm以上に設定されるとき、すなわち、数式7が満たされるときに、マイクロ波の処理室2への導入の効率が飛躍的に増大することを意味している。この現象は、以下に示す機構によって説明することができる。
【0063】
図9および図10は、距離zを互いに異ならせた装置の部分拡大断面図であり、マイクロ波が、環状導波管型アンテナ部12aから、スリット15およびマイクロ波導入板4を経て、処理室2へと伝搬する様子を表している。一方の図9の装置では、距離z=0、すなわち、マイクロ波導入板4の底面が、対向電極18の底面と同一平面上に並んでいる。他方の図10の装置では、距離zは、数式7を満たすように設定されている。
【0064】
マイクロ波導入板4の底面、および、対向電極18の底面は、プラズマが形成される処理室2へ露出しており、このため、プラズマ40とこれらの底面との間には、イオンシース41が形成される。イオンシース41は、イオン密度に比べて電子密度が低い空間電荷領域である。
【0065】
イオンシース41は、マイクロ波が伝搬可能な誘電体として作用する。したがって、このイオンシース41に沿って、マイクロ波Q4が、マイクロ波導入板4から処理室2へと導入される。イオンシースの厚さSは、シミュレーション("4th International Conference on Reactive Plasmas and 16th Symposium on Plasma Processing," P. 49 - 50, Published on Oct 19th, 1998; 特に、その図4)によれば、約5mmであることが、解っている。
【0066】
ところが、図9が示すように、距離z=0である場合には、マイクロ波Q4は、マイクロ波導入板4の底面を通じて、イオンシース41へと伝搬するしかない。このため、プラズマ40の密度は、マイクロ波導入板4の直下では高くなるが、対向電極18の直下では低くならざるを得ない。すなわち、プラズマ40の密度の座標軸xに沿った均一性が悪くなる。しかも、マイクロ波導入板4の底面のみを通じて、マイクロ波Q4が処理室2へと導入されるので、座標軸x全体にわたるプラズマ40の密度も、低いものとなる。
【0067】
他方、図10が示すように、距離zが、イオンシースの厚さSに相当する5mm以上の大きさに設定されるときには、マイクロ波Q4は、マイクロ波導入板4の下面だけでなく、マイクロ波導入板4の内周をも通じて、処理室2へと伝搬する。すなわち、対向電極18の直下の領域にも、マイクロ波Q4が直接的に導入される。その結果、対向電極18の直下におけるプラズマの形成効率が高まり、プラズマ40の密度の座標軸xに沿った均一性が向上する。また、マイクロ波Q4が、マイクロ波導入板4の下面と内周の双方を通じて、処理室2へ導入されるので、座標軸x全体にわたるプラズマ40の密度も高くなる。
【0068】
図8が示した実験データは、以上の機構によって説明することができる。また、距離zに対する臨界値としての5mmは、イオンシースの厚さSに相当することも、同時に理解される。
【0069】
以上のように、プラズマ密度の高さ、および、均一性の上で、距離zには選択性があって、しかも、イオンシースの厚さSに相当する距離である5mmが臨界値として意味を持っている。イオンシースの厚さSは、装置の実用的な動作条件の下では、略一定( 5mm)であり、余り変動しない。したがって、数式7の最適条件に関して、装置の構成や装置の動作条件への依存性は低く、距離zを5mm以上に設定しておれば、臨界性ある効果を引き出す上で、実用上十分である。
【0070】
なお、図8のグラフが示すように、距離zが5mm未満に設定された装置においても、プラズマ密度の不均一性は、試料基板Wを処理する上で、実用性を損なうほどではない。しかしながら、マイクロ波の利用効率を高め、試料基板Wへの処理の均一性をさらに向上させる上で、数式7に表現される最適条件を満たすように、装置を設定することが、より望ましい。
【0071】
<3. 変形例>
(1) 数式1,2,4に示される距離Dに関する最適条件と、数式7に示される距離zに関する最適条件の双方を満たすように装置を構成することによって、プラズマ密度の高さ、および、均一性をさらに向上させることができる。
【0072】
(2) 環状の管状部材を備える環状導波管型アンテナ部12aの代わりに、対向電極18の周囲に、平面視「C」字型、あるいは、渦巻き型に配設され、その内部に形成された空洞の一端(これが「導入口」に相当する)が、導波管21へ連通し、他端が閉塞するように構成された管状部材を備えるアンテナが採用されても良い。
【0073】
【発明の効果】
第1ないし第3のいずれかの発明の装置では、試料台に対向して配置された導電体の周囲に環状に配設されたマイクロ波導入板の上に設けられた管状部材に、マイクロ波が導入され、さらに、開口部およびマイクロ波導入板を通じて処理室へとマイクロ波が導入されることによって、処理室にプラズマが形成され、形成されたプラズマによって、試料に処理が行われる。このため、大口径の試料に対して、処理を行うことが可能である。
【0074】
しかも、従来装置とは異なり、テーパ部を必要とせず、管状部材へとマイクロ波を直接に入射することができるので、処理容器の周囲に、余分な設置スペースを必要としない。さらに、試料台に対向する導電体が設置されるので、試料台と導電体との間に、RFバイアスを印加することによって、試料へ入射するイオンの指向性を高めることが可能となる。また、処理室の壁面等を、実効的な対向電極とする必要がないので、イオン衝突による壁面等の損耗が抑制され、装置の寿命が向上する。
【0075】
特に、第1の発明の装置では、管状部材の開口部の内周側の端部と導電体の外周との間のマイクロ波導入板に沿った方向での光学的距離が、マイクロ波の真空中での波長の1/4倍以上に設定されているので、マイクロ波の処理室への導入効率が高く、処理室におけるプラズマ密度の高さ、および、均一性が向上する。したがって、試料への処理の効率および均一性が高められる。
【0076】
また、第2の発明の装置では、マイクロ波導入板の試料台側の表面が、導電体の試料台側の表面よりも、イオンシースの厚さに相当する5mm以上突出しているので、マイクロ波が、マイクロ波導入板の試料台側の表面だけでなく、その内周をも通じて、処理室へと導入される。したがって、マイクロ波の処理室への導入効率が高く、特に、導電体が対向する領域でのプラズマの生成効率が高まる。このため、処理室におけるプラズマ密度の高さ、および、均一性が向上する。したがって、試料への処理の効率および均一性が高められる。
【0077】
さらに、第3の発明の装置では、第1の発明の特徴と第2の発明の特徴とが、兼ね備わっている。このため、試料への処理の効率および均一性が、さらに高められる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1の装置の側断面図である。
【図2】 実施の形態1の装置の平面図である。
【図3】 図2のB−B切断線に沿った部分拡大断面図である。
【図4】 プラズマ密度分布に関する実験データを示すグラフである。
【図5】 プラズマ不均一性に関する実験データを示すグラフである。
【図6】 実施の形態1の装置の変形例の平面図である。
【図7】 実施の形態2の装置の側断面図である。
【図8】 プラズマ不均一性に関する実験データを示すグラフである。
【図9】 実施の形態2の装置と比較対照される装置の動作説明図である。
【図10】 実施の形態2の装置の動作説明図である。
【図11】 従来の装置の側断面図である。
【図12】 従来の装置の平面図である。
【符号の説明】
2 処理室
3 試料台
4 マイクロ波導入板
15,46 スリット(開口部)
16 板部材(管状部材)
18 対向電極(導電体)
25 ブロック部材(管状部材)
26 加熱ブロック(導電体)
45 導電体
47 空洞
W 試料基板(試料)
Claims (3)
- 処理対象である試料を載置する試料台を格納した処理室へマイクロ波を導入し、当該マイクロ波によりプラズマを生成し、当該プラズマを用いて前記試料に処理を行うためのマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記試料台に対向した導電体と、前記導電体の外周に配設された環状平板のマイクロ波導入板と、前記マイクロ波導入板の上に配設され、マイクロ波を該マイクロ波導入板に導く空洞を内部に規定する導電性の管状部材と、を備え、前記管状部材の前記マイクロ波導入板に対向する部分に、前記空洞と連続する開口部が開設されており、当該開口部の内周側の端部と前記導電体の外周との間の前記マイクロ波導入板に沿った方向での光学的距離が、前記マイクロ波の真空中での波長の1/4倍以上に設定されているマイクロ波プラズマ処理装置。
- 処理対象である試料を載置する試料台を格納した処理室へマイクロ波を導入し、当該マイクロ波によりプラズマを生成し、当該プラズマを用いて前記試料に処理を行うためのマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記試料台に対向した導電体と、前記導電体の外周に配設された環状平板のマイクロ波導入板と、前記マイクロ波導入板の上に配設され、マイクロ波を該マイクロ波導入板に導く空洞を内部に規定する導電性の管状部材と、を備え、前記管状部材の前記マイクロ波導入板に対向する部分に、前記空洞と連続する開口部が開設されており、前記マイクロ波導入板の前記試料台側の表面が、前記導電体の前記試料台側の表面よりも、5mm以上突出しているマイクロ波プラズマ処理装置。
- 前記開口部の内周側の端部と前記導電体の外周との間の前記マイクロ波導入板に沿った方向での光学的距離が、前記マイクロ波の真空中での波長の1/4倍以上に設定されている、請求項2に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33581198A JP4165944B2 (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33581198A JP4165944B2 (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000164391A JP2000164391A (ja) | 2000-06-16 |
JP4165944B2 true JP4165944B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=18292694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33581198A Expired - Fee Related JP4165944B2 (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4165944B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4366856B2 (ja) * | 2000-10-23 | 2009-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP4680400B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2011-05-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ装置及びその製造方法 |
-
1998
- 1998-11-26 JP JP33581198A patent/JP4165944B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000164391A (ja) | 2000-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4014300B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR100494607B1 (ko) | 플라즈마 프로세스 장치 | |
JP2002246368A (ja) | ウェハー表面径方向均一プラズマを用いるウェハー処理システム | |
JP5036092B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
KR100311104B1 (ko) | 마이크로파 플라즈마 처리장치 및 마이크로파 플라즈마 처리방법 | |
KR100311433B1 (ko) | 마이크로파 플라즈마 처리장치 및 마이크로파 플라즈마 처리방법 | |
JPH1167492A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP4165946B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP4165944B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JPH0544798B2 (ja) | ||
US6388624B1 (en) | Parallel-planar plasma processing apparatus | |
JP2000277296A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP2000173797A (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP4132313B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP4107738B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP2000348897A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2000173989A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4107723B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JPH1012594A (ja) | スロットアンテナを有するプラズマ処理装置 | |
JP4514291B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JPH1145799A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH11204295A (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP2697464B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP4076645B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置及びその処理方法 | |
JP4052735B2 (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051110 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20051110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070529 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080729 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140808 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |