JP4162987B2 - 反射型回折格子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学センサ、情報記録装置、光学測定装置等の光学技術分野で幅広く使用される回折を利用した分光光学素子に関し、特に偏光特性を考慮した反射型回折格子に関する。
【0002】
【従来の技術】
回折格子は分光光学素子あるいは光分波素子として広く利用されている。典型的な回折格子は、基板表面に複数の微細な溝が一方向かつ一定周期間隔で形成され、各溝の側面で反射した光が干渉現象を起こすことにより波長分解され分光が可能になる素子である。このような回折格子のうち、反射される光の干渉現象を利用する回折格子を反射型回折格子と呼ぶ。
【0003】
溝周期が分光する波長域のおよそ0.1〜10倍の回折格子を反射型で用いる場合、入射した光の偏光に依存して回折光強度が変化することが知られている。この特性は、偏光を分離する素子として積極的に利用できる。
【0004】
一方で、入射光の偏光状態によらず回折光の強度を一定に保つ必要がある用途もある。例えば、光通信の分野で用いられる光分波装置がこれに相当する。波長多重通信において1本の光ファイバに多数の波長の光を伝搬させ、受信側でこれら多波長の光を個々の波長に分波する場合、光ファイバを伝搬した光は複雑な偏光状態となっているので、光分波器は偏光に依存しないことが望ましい。
【0005】
従来、回折格子を用いた光分波装置においては、回折格子の溝の方向に平行な偏光成分(TE偏光)の回折効率が垂直な偏光成分(TM偏光)の回折効率よりも低いため、光ファイバを出射する光の偏光状態によって回折効率が変化するという問題点があった。
【0006】
このような回折格子の偏光特性による影響を低減するために、従来、TE偏光とTM偏光の回折効率が等しい、いわゆるアノーマリーな波長領域を利用したり(例えば、非特許文献1参照)、反射型でピッチが波長の10倍程度の回折格子であるエシェレット回折格子を用いて高次の回折光を利用する(例えば、非特許文献2参照)などの手段がとられてきた。
【0007】
また、TE偏光の透過率がTM偏光のそれよりも大きくなるように設計されたガラス等の誘電体板を光ファイバと回折格子の間に光軸に対して傾斜させて挿入し、偏光状態によって生じる回折格子の回折効率変化を補償していた(例えば、特許文献1参照)。
【0008】
【非特許文献1】
鶴田匡夫著、「応用光学I」、培風館、第3章
【非特許文献2】
久保田広著、「波動光学」、岩波書店、第10章
【特許文献1】
特開昭55−55243号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術のうち、アノーマリーな波長領域を利用する技術はTE偏光とTM偏光の回折効率が等しい領域が狭いことから使用波長領域が狭くなり特定の波長のみでしか使用できないという問題があった。
【0010】
また、エシェレット回折格子の高次の回折光を利用する技術は、回折格子の凹凸微細形状のばらつきの影響を受けやすく、所望の特性を得るためには凹凸構造を高い精度で作製しなければならず、コストが高くなってしまう問題があった。
【0011】
一方、上記のガラス等の誘電体板を利用する技術は、TE偏光の透過率がTM偏光のそれよりも大きくなるように設計しても、回折格子の偏光依存損失(PDL)を補償するためには、光軸に対する角度を大きくする必要があり設置性が悪く、また有効面積を大きくするためにコストが高くなる問題があった。さらに、素子数が増加するため、光学系が煩雑になるうえ、素子による挿入損失があり、光強度が低下する問題があった。
【0012】
本発明は、このような従来技術の問題に着目してなされたものである。その目的とするところは、回折光学素子を利用する光学系において、偏光特性を低減する特別な光学素子を必要とせず、簡便かつ低コストで光学装置を構成可能な回折格子を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の反射型回折格子は、平板状基板表面に複数の平行な直線状溝を一定周期で形成したものであって、この溝の間の凸部は交互に異なる2種類の高さとし、それぞれの高さの凸部を分光対象波長域の平均波長に対して0.1〜10倍の範囲の周期で配列する。
【0014】
上記溝間凸部の第1の高さは回折格子の分光対象波長域の平均波長の1/5〜1/2の範囲であり、第2の高さが同平均波長の1/100〜1/10であることが望ましい。
【0015】
また、この第1の高さを有する溝間凸部と第2の高さを有する溝間凸部は異なる材料からなるのが望ましく、とくに第2の高さを有する溝間凸部の材料が回折格子の分光対象波長域の光を反射する金属であることが好ましい。この金属はAlまたはAlを主成分とする合金、AgまたはAgを主成分とする合金、CuまたはCuを主成分とする合金、AuまたはAuを主成分とする合金のいずれかであるのが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
本発明においては平板状基板表面に複数の平行な直線状溝を形成した回折格子を対象に、その凹凸構造に新規な形状を採用することにより、偏光依存性の少ない回折格子を実現することを試みた。検討の結果、本発明者らは溝の間に存在する凸部を交互に2種類の高さで構成した形状の凹凸溝構造が優れた特性を有することを見出した。
【0017】
図1は本発明の回折格子の溝に垂直な方向の断面を模式的に示した図である。平板状基板3の表面に高さの高い凸部1と低い凸部2が交互に一定間隔で配列されている。凹凸構造を用いた回折格子では、入射光の電界が凹凸構造と相互作用する。入射光の電界振幅が溝の方向と垂直方向にあるTM波は、TE波と比較して高さの低い凸部の影響を受けやすい。
【0018】
したがって、本発明の回折格子のように高さの異なる2種類の凸部が存在する回折格子では、TM波の方が両凸部を合わせた凸部周期が回折格子の周期であるかのように振舞う傾向がTE波よりも強い。例えば、高低両凸部の周期が900本/mmであれば、TM波に対しては1800本/mmの回折格子として振舞う割合が大きくなることになる。
【0019】
使用波長が1550nmである場合、1800本/mmではほとんど回折現象は生じずに反射光はほとんど0次光(全反射)となることから、TM波では1次回折光の光量が減少する。一方、凸部の高さが均一な900本/mmの回折格子ではTM波の方がTE波の回折効率よりも高い。したがって上記のようにTM波の回折効率が減少すれば、TM波とTE波の回折効率の差を低減することが可能となる。
【0020】
[計算例]
図1に示した形状に回折格子(以下、複合型という)の回折効率をシミュレーションにより求め、低い方の凸部2がない通常の形状の回折格子(以下、単一型という)と比較した。複合型の高い方の凸部1の高さを500nm、低い方の凸部2の高さを70nmとした。単一型は高さ500nmの凸部のみとした。複合型の溝周期は1800本/mmとし、凸部1と凸部2の周期はそれぞれ900本/mmとした。単一型の溝周期は900本/mmとした。
【0021】
結果は図2に示す通りで、波長1550nmに対する回折効率は、単一型でTE偏光に対し57.8%、TM偏光に対し90.9%であった。これに対し、複合型は、TE偏光回折効率48.2%、TM偏光回折効率63.2%であり、偏光方向による回折効率差を抑制できることを確認した。
【0022】
[実施例]
上記シミュレーションに用いた形状を目標に、実際に回折格子を作製した。
上記の単一型回折格子はゾルゲル材料の成形により作製する。型として使用したレプリカ回折格子は、つぎのような方法で準備した。シリコン基板にフォトレジストを塗布し、900本/mm周期のストライプ状開口を形成するようパターニングを施す。このフォトレジストをマスクとしてイオンビームエッチングによりシリコン基板表面に深さ約500nmの溝を形成する。フォトレジストを剥離し、これをマスター回折格子とする。さらにこのマスター回折格子にエポキシ樹脂を押圧成形し、ガラス基板に接着した後、離型してエポキシ樹脂製レプリカ回折格子を得た。
【0023】
本実施例の回折格子はつぎの手順で作製した。ガラス基板上にメチルトリエトキシシランを加水分解した液を主成分とするゾル液をスピンコートで塗布する。これを離型処理を施した上記のレプリカ回折格子(900本/mm)を押し型としてプレス成形し、離型後、焼成した。
【0024】
つぎに作製された900本/mm周期の高さ約500nmの凸部の中間にこれより高さの低い凸部を形成する。まず全面にフォトレジストを塗布し、900本/mm周期のストライプ状開口を、形成した凸部間の中央に形成するようパターニングを施す。フォトレジストを現像して開口を形成した後、全面にAu薄膜を70nmスパッタリングにより成膜する。次いでフォトレジストを除去するのと同時にフォトレジスト上のAu薄膜も除去すること(いわゆるリフトオフ法)により、高さ約500nmの凸部の中間に高さ約70nmの第2の凸部が形成される。
【0025】
得られた回折格子の全面にさらにAu薄膜を70nmスパッタリングにより成膜して反射型回折格子を得た。
【0026】
作製した回折格子の断面形状写真を図3に示す。溝間の高い凸部の間にそれより低い凸部が存在する形状となっていることがわかる。これら凸部の高さは高い方が約500nm、低い方が約70nmである。両凸部の間隔周期はそれぞれ900本/mmである。
【0027】
上記は型成形と成膜を組み合わせた作製方法の一例を示したが、すべてを型成形で作製することもできる。この場合の型の作製方法としては、ガラスやシリコン、Ni、Cu等の金属基板に浅い溝をイオンビームエッチングにより作製した後、再度パターニングしてより深い溝を上記の浅い溝の間に形成する方法が考えられる。エッチングに限らず機械的な切削によってもよい。この型を用いて樹脂またはゾルゲル材料を成形することにより、本発明の形状を有する回折格子が得られる。
【0028】
作製した回折格子の回折効率の評価は以下のように行った。使用した評価装置を図4に示す。光ファイバ4はコリメータレンズ5の光軸13上に配置した。光ファイバ4の出射光(波長:1550nm)は光ファイバの開口数に応じて広がるので、コリメータレンズ5で光束径7mmの平行光に変換し、回折格子7に入射した。回折格子は回転ステージ6上に固定し、入射角が約42°になるように調整した。回折格子7に入射した光は所望の角度で回折され、コリメータレンズ8により収束され受光素子9に入射する。
【0029】
図4の評価装置では、偏光状態を偏光子10および、波長板11,12により制御している。つまり、偏光子10により光ファイバからのランダムな偏光状態の光から直線偏光成分のみを取り出し、1/2波長板12で偏光方向を制御し、1/4波長板11で直線、楕円、円偏光を必要に応じて作り出す。受光素子9に入射した光から生じた電流より回折光量を評価し、これをAlミラーの反射光量と比較することでTE偏光、TM偏光別回折効率を算出した。その結果、TE偏光回折効率64.8%、TM偏光回折効率65.9%となり、偏光特性が充分低減された回折格子であることが確認された。
【0030】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、偏光依存性の小さい反射型回折格子を提供でき、回折光学素子を利用する光学系において、偏光特性を低減する特別な光学素子を必要とせず、簡便かつ低コストで光学装置が構成可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の回折格子の断面形状を示す模式図である。
【図2】 本発明の回折格子と従来の回折格子の回折効率の差を計算により求めた結果を示す図である。
【図3】 本発明の回折格子の断面形状の電子顕微鏡写真である。
【図4】 回折効率の評価装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1、2 凸部
3 基板
4 光ファイバ
5、8 コリメータレンズ
6 回転ステージ
7 回折格子
9 受光素子
10 偏光子
11 1/2波長板
12 1/4波長板
13、14 光軸
Claims (5)
- 平板状基板表面に複数の平行な直線状溝を一定周期で形成した反射型回折格子において、前記溝の間の凸部は交互に異なる2種類の高さを有し、それぞれの高さの凸部が分光対象波長域の平均波長に対して0.1〜10倍の範囲の周期で配列されていることを特徴とする反射型回折格子。
- 前記溝間凸部の第1の高さが回折格子の分光対象波長域の平均波長の1/5〜1/2の範囲であり、第2の高さが同平均波長の1/100〜1/10であることを特徴とする請求項1に記載の反射型回折格子。
- 前記第1の高さを有する溝間凸部と第2の高さを有する溝間凸部は異なる材料からなることを特徴とする請求項1または2に記載の反射型回折格子。
- 前記第2の高さを有する溝間凸部の材料が回折格子の分光対象波長域の光を反射する金属であることを特徴とする請求項3に記載の反射型回折格子。
- 前記金属がAlまたはAlを主成分とする合金、AgまたはAgを主成分とする合金、CuまたはCuを主成分とする合金、AuまたはAuを主成分とする合金のいずれかであることを特徴とする請求項4に記載の反射型回折格子。
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