JP4160877B2 - 光磁気ディスク記録膜用スパッタリングターゲット - Google Patents
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表1に示す組成を有する原料粉を、ガスアトマイズ法、溶解鋳造および粉砕法、還元拡散法により得た。
Claims (3)
- 保磁力が、6.0×105A/m以上、8.1×105A/m以下であることを特徴とする光磁気ディスク記録膜用スパッタリングターゲット。
- 希土類元素の1種以上と、Fe、CoおよびNiからなる群から選ばれる1種以上とからなる請求項1に記載の光磁気ディスク記録膜用スパッタリングターゲット。
- 希土類元素の1種以上と、Fe、CoおよびNiからなる群から選ばれる1種以上と、Cr、Al、SnおよびInからなる群から選ばれる1種以上とからなる請求項1に記載の光磁気ディスク記録膜用スパッタリングターゲット。
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