JP4147487B2 - テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置 - Google Patents
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- 230000000704 physical effect Effects 0.000 title claims description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 105
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 91
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 57
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 37
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 29
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 8
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 7
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 6
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000001328 terahertz time-domain spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000009615 fourier-transform spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000002339 magneto optical Kerr effect spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000013212 metal-organic material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
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- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
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Description
これらの材料の電場に対する応答特性を通常の伝導測定で、直流からピコ秒の領域で調べることは、測定器の帯域、測定のための端子電極の設置など困難な問題があり、汎用性の高い簡便な方法は存在しない。これを解決する方法として、フーリエ変換分光法を応用した測定法の利用が知られている。
しかしながら、透過法では、テラヘルツ電磁波を透過しない磁性体や金属などの不透明な被測定材料の測定を行うことができない。
入射光学系110は、極短光パルスレーザ111を光源として、電気光学結晶(ZnTe)112の光整流効果によりテラヘルツ電磁波パルスを発生する。このテラヘルツ電磁波パルスはレンズ112,113により集光され、入力側偏光子114を介して被測定材料102に照射される。
また、被測定材料102の表面で反射したテラヘルツ電磁波パルスは、出射側偏光子121を介して、検出光学系120へ出射する。この出射側検光子121においては、偏光が45°,−45°に切り替え可能となっている。出射側検光子121を通過した反射テラヘルツ電磁波パルス122は、レンズ123,124により集光され、電気光学結晶(ZnTe)125に入射し、反射テラヘルツ電磁波パルス122の偏光が検出される。
この際、電気光学結晶(ZnTe)125には、極短光パルスレーザ111からの参照光126が印加され、所謂電気光学サンプリング(EOサンプリング)により、反射テラヘルツ電磁波122 の電場に関する時系列信号が得られる。この信号をフーリエ変換して、被測定材料102のテラヘルツ電磁波領域のホール係数を測定している。
本発明のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置は、パルスレーザと、パルスレーザから発生するパルスレーザ光を分割し光時間遅延回路への入射光と参照光とするビームスプリッターと、光時間遅延回路を通過したパルスレーザ光を変調する光強度変調器と、光強度変調されたパルスレーザ光からテラヘルツ電磁波を発生させる素子と、からなる入射光学系と、入射光学系から被測定材料へ入射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子と、被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を検知する検光子と、検光子から反射されるテラヘルツ電磁波及び参照光が入射されるテラヘルツ電磁波検知器を備えていて被測定材料からの反射テラヘルツ電磁波の偏光を検出する検出光学系と、を含み構成され、偏光子が検光子を兼ねていて、入射光学系と被測定材料との間に配置されており、テラヘルツ電磁波が被測定材料へ垂直入射され、該被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波が偏光子により検出光学系へ出射される光学配置とされ、テラヘルツ電磁波の被測定材料による反射波の偏光状態の変化を電場の直接測定によって検出し、被測定材料の物性定数である複素屈折率又は複素伝導度をテラヘルツ電磁波の関数として測定することを特徴とする。
上記構成において、テラヘルツ電磁波は、好ましくは、非線形光学結晶による光整流法を用いて発生されるテラヘルツ電磁波パルスである。または、テラヘルツ電磁波は、光伝導素子による光整流法を用いて発生されるテラヘルツ電磁波パルスであってもよい。
テラヘルツ電磁波の検出光学系は、好ましくは、非線形光学結晶による電気光学効果を用いた検知器と、検知器からの偏光成分が入射され偏光成分を互いに直交する偏光成分に分解する位相板及び検光子と、検光子から互いに直交した偏光成分が入射され偏光成分の差分を検出する光検知器と、を備える。或いは、光伝導素子を用いる検知器をそなえていてもよい。
また、被測定材料へテラヘルツ電磁波を垂直入射させることにより入射側の偏光子と反射側の検光子とを、同一の偏光子はすることができる。このため、偏光子の機械的振動による測定誤差を著しく低減できる。
また、磁場系は、好ましくは、磁場の向きを反転させる手段を備える。また、磁場の向きが反転及び非反転のときの反射テラヘルツ電磁波の電場の差分によって、被測定材料のホール効果による偏光成分だけを測定するようにすれば好適である。
上記構成によれば、被測定材料へ磁場を印加することにより、ホール係数の測定を高精度で行うことができる。また、磁場の向きが反転及び非反転の差分測定によって、偏光素子の不完全性による非消光成分の除去を完全に行うことができる。
最初に、本発明による第1の実施形態に係るテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置について説明する。図1は第1の実施形態によるテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置の構成を示す模式図である。
図1において、テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置1は、テラヘルツ電磁波を発生させる入射光学系10と、入射光学系10から被測定材料2へのテラヘルツ電磁波の偏光を制御し、かつ、被測定材料2から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子25と、被測定材料2に磁場を印加する磁場系28と、この偏光されたテラヘルツ電磁波を検出する検出光学系30と、検出光学系30からの測定データの計算処理などを行うコンピュータ系40と、を含み構成されている。
パルスレーザ11から発生するパルスレーザ光は、ミラー12,13,14,15と、ビームスプリッター16と、により、光時間遅延回路17への入射光と、後述する検出光学系30への参照光39と、に分波される。
光時間遅延回路17を通過したパルスレーザ光は、光強度変調器6により光強度変調されたパルスレーザ光11aとなり、二次の非線形光学効果を有する電気光学結晶19に照射される。また、光強度変調器6は、光強度変調器ドライバ7により駆動される。さらに、光強度変調器ドライバ7の出力の一部が、後述する検出光学系30内の増幅器37へ参照信号8として出力される。
このテラヘルツ電磁波はレンズ21aで集光され、平行光となり、さらに、レンズ21bにより被測定材料2に集光される。これらのレンズ21(21a,21b)の間には、フィルタ22が挿入され、パルスレーザ光11aを遮断し、テラヘルツ電磁波パルス20だけが被測定材料2に照射される。
ここで、パルスレーザ11は、例えばモード同期されたチタンサファイアレーザによる超短光パルスを発生できる光源を用いることができる。
なお、本発明におけるテラヘルツ電磁波は、波長3mm以下の短ミリ波からサブミリ波で、遠赤外光とも呼ばれる電磁波であり、周波数としては、0.1〜30THz程度の電磁波である。
また、偏光子25は、テラヘルツ電磁波、所謂遠赤外光やサブミリ波で使用できる偏光子であり、所謂ワイヤグリッド型偏光子を用いることができる。この偏光子25により入射テラヘルツ電磁波の垂直偏光成分23を被測定材料2に照射する。そして、この偏光子25には、被測定材料2からのテラヘルツ電磁波の反射波が再び入射し、反射テラヘルツ電磁波の垂直偏光成分24が取り出され、検出光学系30へ出射される(図1の偏光子25近傍部分の拡大図参照)。
このため、被測定材料2に磁化が存在する場合や後述するホール測定のために磁場を印加すると、被測定材料2からの反射テラヘルツ電磁波はホール効果によりその偏波面が傾き、かつ、楕円になり、その垂直の偏光成分24のみがワイヤグリッド偏光子25により検出光学系30へ出射する。
一方、被測定材料2に磁化がない場合や磁場を印加しない場合には、入射テラヘルツ電磁波23の垂直偏光成分が被測定材料から反射され、偏光子25によりその垂直偏光成分だけが取り出されるので、偏光の変化は理論的には生じなく、非消光成分のみが、偏光子25から出射する。
これにより、テラヘルツ電磁波の入射波と反射波にそれぞれ偏光子を設ける場合に比較すると、偏光子の機械的な振動による不安定性がなくなり、測定誤差を飛躍的に減少させることができる。
検出光学系30は、レンズ31,32と、テラヘルツ電磁波検知器33と、位相板34と、検光子35と、光検知器36と、増幅器37とを、含み構成されている。そして、ミラー18を介してパルスレーザ11から分波された参照光39がテラヘルツ電磁波検知器33へ入射している。
なお、バランスド・フォトダイオード36は、パルスレーザ光からの参照光39に対しての検知器であり、差分測定のために2個の特性の揃ったフォトダイオード36a,36bから成る。
上記反射テラヘルツ電磁波24の電場成分は、電気光学結晶33と入射光学系10中の光時間遅延回路17と、による所謂電気光学サンプリング(EOサンプリング)により検出される。この電気光学サンプリングは、例えば光時間遅延回路17内のレンズを微小変位させるステージ17aをコンピュータ系40から制御し、ビームスプリッター16から被測定材料2に入射するまでの時間を変化させることにより行うことができる。
被測定材料2がなく、反射テラヘルツ電磁波24が検出光学系30に入射しない場合には、参照光39だけが検出光学系30に入射している。この場合には、直線偏光の参照光39は電気光学結晶33を通過し、1/4波長板34により円偏光へと変換される。その後、検光子35により互いに直交する偏光成分35a,35bに空間的に分解され、それぞれ2つのフォトダイオード36からなるバランスド・フォトダイオードへと入射する。そして、2つのフォトダイオード36a,36bの出力は、差動検出される。これにより、参照光39が完全に直線偏光の場合は、それぞれのフォトダイオード36a,36bの出力は等しく、これらを差動検出した出力はゼロとなる。
一方、反射テラヘルツ電磁波24のパルスが検出光学系30に入射し、電気光学結晶33に反射テラヘルツ電磁波24のパルスが照射される場合には、電気光学結晶33中のその電界成分による非線形効果により参照光39の偏光が直線から楕円偏光へと変化する。これにより、2つのフォトダイオード36a,36bの出力は相殺せず、反射テラヘルツ電磁波24の電場の振幅に比例した信号を出力する。
この時系列信号を、A/D変換によりデジタル変換し、コンピュータによりフーリエ変換をすることで、反射テラヘルツ電磁波24の周波数領域における振幅及び位相を得ることができる。そして、被測定材料2がない場合に生じる参照光スペクトルを基準として、被測定材料2による反射テラヘルツ電磁波24の振幅スペクトル及び位相スペクトルを得ることができる。
図2は、本発明に係る第2の実施形態によるテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置の構成を示す模式図である。図2において、第2の実施形態によるテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置50が第1の実施形態のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置1と異なるのは、入射光学系10のテラヘルツ電磁波パルス発生用の光伝導素子26と、検出光学系30の光伝導素子53と、を用いる点である。
これにより、微小ギャップ26c間に超短光パルスであるパルスレーザ光11aを照射すると、瞬間的に光キャリアが生成され導電性となる。そして微小ギャップ26c間には直流強電界が加わっているため、光照射によって瞬時的に電流が流れる。この瞬時電流を源としてテラヘルツ電磁放射が発生する。このようにして、光伝導素子26による光整流法を用いてテラヘルツ電磁波パルス20が発生し、GaAsなどの絶縁性基板の裏面から出射する。
なお、GaAsなどの絶縁性基板の厚さは、パルスレーザ光11aの侵入深さよりも厚くし、テラヘルツ電磁波パルス20の侵入深さよりも薄くしておけばよい。
光伝導素子53は、光伝導素子26と同様の素子を使用できる。光伝導素子53は絶縁性の半導体GaAsなどから成る。図示するように、その表面には、中央に幅数μmの微小ギャップ53cを有する電極53a,53bが設けられている。光伝導素子29と異なるのは、この実施形態では、これらの電極53a,53b間に後述する光電流を検出する電流計54が接続され、その電流が増幅器37に出力される点である。
また、図2に示すように、パルスレーザ光は、パルスレーザ11からミラー12と、ビームスプリッター16と、ミラー18(18a,18b,18c)と、により参照光39として、直接光伝導素子53の表面側の微小ギャップ53cに入射している。この際、パルスレーザ光のパルス幅はテラヘルツ電磁波パルスの振動周期より約1桁以上短いものを用いる。また、テラヘルツ電磁波パルス検知用の光伝導素子53の裏面には、反射テラヘルツ電磁波の垂直偏光成分24が、同時に集光されている。
なお、GaAsなどの絶縁性基板の厚さは、パルスレーザ光の侵入深さよりも厚くし、テラヘルツ電磁波パルスの侵入深さよりも薄くしておけばよい。
この時系列信号を、A/D変換によりデジタル変換し、コンピュータによりフーリエ変換することにより、反射テラヘルツ電磁波24の周波数領域における振幅及び位相が得られる。そして、被測定材料2がない場合に生じる参照光スペクトルを基準として、被測定材料2による反射テラヘルツ電磁波24の振幅スペクトル及び位相スペクトルを得ることができる。
なお、本発明のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置1,50において、テラヘルツ電磁波パルスの発生に電気光学結晶19や光伝導素子26を用い、また、テラヘルツ電磁波検知器として、電気光学結晶33や光伝導素子53を用いたが、これらは、その測定目的に応じて、適宜に組み合わせて使用できる。
検出光学系30で観測される信号は、 複素反射率と入射電場との積であるrsp(ω)E(ω)に対応する。 rsp(ω)は、p偏光入射に対する反射波のs偏光成分を意味し、テラヘルツ時間領域分光法では電場の振幅と位相を同時に測定することができるため、 複素反射率rsp(ω)の実部、 虚部を同時に決定できる。ただし、 入射波E(ω)は後述するように、別途参照測定をしておく。
最初に通常のテラヘルツ反射測定により、下記式(1)により複素反射係数から、複素屈折率を計算する。
第1の方法は、ワイヤグリッド偏光子25を、ビームスプリッターに交換し、次に、被測定材料2を参照用素子(金ミラー、アルミミラーなど)に置き換える。この際、磁場は印加しない。この場合には、ワイヤグリッド偏光子25がなく、単にビームスプリッターだけを使用するので、入射テラヘルツ電磁波は偏光せずに、金ミラーによりテラヘルツ電磁波が100%の強度で反射して、検出光学系30に出射する。
このようにしてこの波形を測定することにより、磁場を加えることなく入射波E(ω)の時間波形が得られる。
第2の方法は、ワイヤグリッド偏光子25の非消光成分スペクトル特性を事前に調べておく方法である。この場合、被測定材料2を既知の参照用素子(金ミラー、アルミミラーなど)に置き換えるだけで、入射波E(ω)を決定することができる。
第3の方法は、被測定材料2と、ワイヤグリッド偏光子25との間に、適当な厚みの位相差板(水晶板など)を挿入する方法である。
例えば、特定の波長(λ)でλ/4の位相差を有する位相板を用いた場合に、その固有軸を入射テラヘルツ波23の偏光面に対して45度傾けて挿入する。被測定材料に入射するテラヘルツパルスは位相板を往復して、位相板の固有軸方向成分と直交する方向成分にλ/2の位相差を生じ、偏光面は90度回転する。この結果、被測定材料2を反射して戻ってきた反射テラヘルツ波24はワイヤグリッド偏光子25でほぼ100%反射され、検出光学系30に出射する。
これにより、被測定材料2を100%の反射波が得られる参照素子(金ミラー、アルミミラーなど)に切り替えておけば、入射波E(ω)を決定することができる。
なお、上記被測定材料2及びワイヤグリッド偏光子25間に挿入する位相板の屈折率と厚さが既知であれば、1/4波長板である必要はなく、任意の厚さで校正は可能である。
被測定材料2に磁場Bz を印加し、磁場の強度に対する上記式(4)により伝導度テンソルを求め、下記式(5)によりホール係数RH (ω)が求まる。
これにより、非消光成分を完全に除去でき、被測定材料2のホール係数RH (ω)の測定精度を著しく高めることができる。したがって、本発明のテラヘルツ電磁波による物性測定装置1,50を用いてホール係数を測定することによって、偏光子25の機械的な振動による不安定性と、偏光子25由来の不完全性がなくなり、測定誤差を飛躍的に減少させることができる。また、磁場の反転及び非反転による差分測定を行うことにより測定精度を著しく高めることができる。
実施例1として、本発明のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置1を製作した。図1を参照して、その主要部分について説明する。
パルスレーザ11としては、モード同期されたチタンサファイアレーザ(米国コヒーレント社製、ReqA9000)による再生増幅システムを用い、波長800nm、パルス幅200fs、繰り返し周波数200kHzのパルスレーザ光を発生させた。このパルスレーザ光には、光強度変調器6により100kHzの強度変調を印加した。また、テラヘルツ電磁波パルス発生用及びテラヘルツ電磁波検知器用の電気光学結晶19,33は、何れもZnTeを用いた。テラヘルツ電磁波集光用のレンズ21,31,32は、何れも放物面鏡を使用した。さらに、偏光子25としては、ワイヤグリッド型偏光子を用いた。
図から明らかなように、磁場がない場合にも観測される信号は、 被測定材料のInAsから反射されたテラヘルツ電磁波波24がワイヤグリッド偏光子25の不完全性により反射される非消光成分である。また、磁場を加えると、ホール効果による電場成分が生じることが分かる。
図から明らかなように、ホール効果によるテラヘルツ波の偏光変化成分の時間軸上の波形において、その符号が磁場により反転していることが分かる。
図から明らかなように、非消光成分が除去され、ホール効果成分だけが明瞭に検知されていることが分かる。磁場強度が11ガウスと低いにもかかわらず、振幅からその偏光回転角が0.4mradと、従来の反射テラヘルツ電磁波による測定よりも約20倍以上高感度であることが分かった。
なお、本実施例では、磁場の反転、非反転を交互に行い、それぞれの場合のテラヘルツ時間波形の記録及び積算を50回繰り返した。そして、これらの時間波形の平均操作により得た時間波形をデータとして、FFTを行い、後述するホール係数やその導出に必要な誘電関数及び伝導度などの計算を行った。
図8は、実施例2で測定したInAsのホール係数の周波数依存性を示す図である。図において、横軸は周波数(THz)を示し、縦軸はホール係数の実部(m3 /C)を示している。
図から明らかなように、反射テラヘルツ電磁波の約0.5〜2THzの領域においてホール係数の実部は、−300×10-6m3 /Cとほぼ一定であり、マイナスの符号からその導電型がn型であることが分かる。また、ホール係数の値から、キャリア密度が約2.1×1022m-3、すなわち、約2.1×1016cm-3であることが分かる。この値は、直流電流印加による通常のホール効果測定と比較すると、妥当な値である。
また、本発明のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置によれば、被測定材料に非接触で、その物性測定を高速に行うことができる。このため、 産業上、重要な半導体基板材料のホール伝導度を効率よくかつ非破壊で行うことができる。
2:被測定材料
6:光強度変調器
7:光強度変調器ドライバ
8:参照信号
10:入射光学系
11:パルスレーザ
11a:パルスレーザ光
12,13,14,15,18:ミラー
16:ビームスプリッター
17:光時間遅延回路
17a:ステージ
19:電気光学結晶
20:テラヘルツ電磁波パルス
21,31,32:レンズ
22:フィルタ
23:入射テラヘルツ電磁波の垂直偏光成分
24:反射テラヘルツ電磁波の垂直偏光成分
25:偏光子
26:電磁波パルス発生用の光伝導素子
26a,26b:光伝導素子の電極
26c:光伝導素子電極間の微小ギャップ
27:直流電圧
28:磁場系
30:検出光学系
33:テラヘルツ電磁波検知器(電気光学結晶)
34:位相板(1/4波長板)
35:検光子(ウォラストンプリズム)
35a,35b:偏光成分
36:光検知器
36a,36b:光検知器出力
37:増幅器(ロックインアンプ)
39:参照光
40:コンピュータ系
53:光伝導素子
53a,53b:光伝導素子の電極
53c:光伝導素子電極間の微小ギャップ
54:電流計
Claims (11)
- テラヘルツ電磁波を発生させる入射光学系と、
上記入射光学系から被測定材料へ入射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子と、
上記該被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を検知する検光子と、
上記被測定材料からの反射テラヘルツ電磁波の偏光を検出する検出光学系と、を含み構成され、
上記偏光子が上記検光子を兼ねていて、上記入射光学系と上記被測定材料との間に配置されており、
上記テラヘルツ電磁波が上記被測定材料へ垂直入射され、該被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波が上記偏光子により上記検出光学系へ出射される光学配置とされ、
上記テラヘルツ電磁波の上記被測定材料による反射波の偏光状態の変化を電場の直接測定によって検出し、上記被測定材料の物性定数である複素屈折率又は複素伝導度を上記テラヘルツ電磁波の関数として測定することを特徴とする、テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。 - パルスレーザと、該パルスレーザから発生するパルスレーザ光を分割し光時間遅延回路への入射光と参照光とするビームスプリッターと、上記光時間遅延回路を通過したパルスレーザ光を変調する光強度変調器と、光強度変調されたパルスレーザ光からテラヘルツ電磁波を発生させる素子と、からなる入射光学系と、
上記入射光学系から被測定材料へ入射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子と、
上記被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を検知する検光子と、
上記検光子から反射されるテラヘルツ電磁波及び上記参照光が入射されるテラヘルツ電磁波検知器を備えていて上記被測定材料からの反射テラヘルツ電磁波の偏光を検出する検出光学系と、を含み構成され、
上記偏光子が上記検光子を兼ねていて、上記入射光学系と上記被測定材料との間に配置されており、
上記テラヘルツ電磁波が上記被測定材料へ垂直入射され、該被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波が上記偏光子により上記検出光学系へ出射される光学配置とされ、
上記テラヘルツ電磁波の上記被測定材料による反射波の偏光状態の変化を電場の直接測定によって検出し、上記被測定材料の物性定数である複素屈折率又は複素伝導度を上記テラヘルツ電磁波の関数として測定することを特徴とする、テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。 - 前記テラヘルツ電磁波が、非線形光学結晶による光整流法を用いて発生されるテラヘルツ電磁波パルスであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
- 前記テラヘルツ電磁波が、光伝導素子による光整流法を用いて発生されるテラヘルツ電磁波パルスであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
- 前記テラヘルツ電磁波の検出光学系が、非線形光学結晶による電気光学効果を用いた検知器と、該検知器からの偏光成分が入射され該偏光成分を互いに直交する偏光成分に分解する位相板及び検光子と、該検光子から互いに直交した偏光成分が入射され該偏光成分の差分を検出する光検知器と、を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
- 前記テラヘルツ電磁波の検出光学系が、光伝導素子を用いた検知器を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
- 前記テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置が、さらに、ホール伝導度を測定するため
に、前記被測定材料に磁場を印加する磁場系を備えることを特徴とする、請求項1〜6に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。 - 前記磁場系が、磁場の向きを反転させる手段を備えることを特徴とする、請求項7に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
- 前記磁場の向きが反転及び非反転のときの前記反射テラヘルツ電磁波の電場の差分によ
って、前記被測定材料のホール効果による偏光成分だけを測定することを特徴とする、請
求項7又は8に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。 - 前記テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置が、さらに、コンピュータ系を備えること
を特徴とする、請求項1〜9に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。 - 前記検出光学系は、さらに前記テラヘルツ電磁波検知器に接続される増幅器を備え、該増幅器へ前記光強度変調器からの参照信号が入力され、該増幅器が、該参照光の位相に基づく信号を検出することを特徴とする、請求項2に記載のテラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004133564A JP4147487B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004133564A JP4147487B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005315708A JP2005315708A (ja) | 2005-11-10 |
JP4147487B2 true JP4147487B2 (ja) | 2008-09-10 |
Family
ID=35443298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004133564A Expired - Fee Related JP4147487B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4147487B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11817632B2 (en) | 2020-09-07 | 2023-11-14 | Imec Vzw | Circuit for optoelectronic down-conversion of THz signals |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006042642B4 (de) * | 2006-09-12 | 2010-06-24 | Batop Gmbh | Terahertz Time-Domain Spektrometer |
JP5116362B2 (ja) * | 2007-05-28 | 2013-01-09 | 株式会社リコー | バイオセンサ |
JP4950769B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2012-06-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | テラヘルツ波用減光フィルタ |
JP2009053096A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Otsuka Denshi Co Ltd | 測定装置 |
EP2202481A1 (en) * | 2007-10-16 | 2010-06-30 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Non-contact film thickness measurement method and device |
JP4807707B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-11-02 | キヤノン株式会社 | 波形情報取得装置 |
JP5063325B2 (ja) | 2007-12-14 | 2012-10-31 | 独立行政法人理化学研究所 | キャリア濃度測定装置およびキャリア濃度測定方法 |
JP2009300108A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Sony Corp | テラヘルツ分光装置 |
WO2011122281A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社村田製作所 | テラヘルツ分光分析装置およびテラヘルツ分光分析方法 |
DE102010032382A1 (de) | 2010-07-27 | 2012-02-02 | Batop Gmbh | Fasergekoppeltes Terahertz Time-Domain Spektrometer |
JP6099131B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2017-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および検査方法 |
KR101445239B1 (ko) | 2013-03-25 | 2014-09-29 | 국방과학연구소 | 비접촉식 고온 변형률 측정장치 및 방법 |
CN104034686A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-09-10 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 基于傅立叶变换红外光谱仪的磁光调制反射光谱装置 |
KR101934628B1 (ko) * | 2017-01-17 | 2019-03-26 | 한양대학교 산학협력단 | 결함 검출 방법 및 이를 수행하는 전자 기기 |
CN109115682B (zh) * | 2018-08-20 | 2021-02-12 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种兼顾液体及固体成份探测的光谱仪及其探测方法 |
US20220175308A1 (en) * | 2020-12-07 | 2022-06-09 | Chien-Feng Lin | Terahertz field effect non-invasive biofeedback diagnosis system |
-
2004
- 2004-04-28 JP JP2004133564A patent/JP4147487B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11817632B2 (en) | 2020-09-07 | 2023-11-14 | Imec Vzw | Circuit for optoelectronic down-conversion of THz signals |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005315708A (ja) | 2005-11-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071015 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4147487 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704 Year of fee payment: 5 |
|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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