JP4127192B2 - 水晶振動子電極表面へのレセプタ固定方法およびレセプタ固定水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子電極表面へのレセプタ固定方法およびレセプタ固定水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
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1A、1B…電極
2…容器
3…Oリング
4…発振回路またはインピーダンス測定回路
Claims (2)
- 水晶基板の上下両表面に電極を対向配置した水晶振動子の電極表面に測定試料のレセプタを固定する方法であって、
フォトレジストを水晶振動子表面に塗布する第1工程と、
水晶振動子に露光処理と現像処理とを行い、電極表面を除く水晶振動子表面のフォトレジストを除去する第2工程と、
水晶振動子をブロッキング溶液に浸漬し、電極表面を除く水晶振動子表面にブロッキング材を固定する第3工程と、
水晶振動子をレジストはく離液に浸漬し、電極表面のフォトレジストとこの上に固定されたブロッキング材とをはく離させる第4工程と、
水晶振動子をレセプタを含む溶液に浸漬し、水晶振動子の電極表面にレセプタを固定する第5工程とからなることを特徴とする水晶振動子電極表面へのレセプタ固定方法。 - 水晶基板の上下両表面に電極を対向配置した水晶振動子の電極表面に測定試料のレセプタを固定したレセプタ固定水晶振動子の製造方法であって、
フォトレジストを水晶振動子表面に塗布する第1工程と、
水晶振動子に露光処理と現像処理とを行い、電極表面を除く水晶振動子表面のフォトレジストを除去する第2工程と、
水晶振動子をブロッキング溶液に浸漬し、電極表面を除く水晶振動子表面にブロッキング材を固定する第3工程と、
水晶振動子をレジストはく離液に浸漬し、電極表面のフォトレジストとこの上に固定されたブロッキング材とをはく離させる第4工程と、
水晶振動子をレセプタを含む溶液に浸漬し、水晶振動子の電極表面にレセプタを固定する第5工程とから製造されることを特徴とするレセプタ固定水晶振動子の製造方法。
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