JP4127038B2 - ウエハ吸着装置 - Google Patents
ウエハ吸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4127038B2 JP4127038B2 JP2002353762A JP2002353762A JP4127038B2 JP 4127038 B2 JP4127038 B2 JP 4127038B2 JP 2002353762 A JP2002353762 A JP 2002353762A JP 2002353762 A JP2002353762 A JP 2002353762A JP 4127038 B2 JP4127038 B2 JP 4127038B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- vacuum
- mounting surface
- holding unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、垂直搬送されるウエハを真空チャッキングするウエハ吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体製造装置において、成膜等の各種処理を行う際には、真空チャッキングによってウエハを保持するようにしている。スパッタ装置を例に説明すると、被成膜基板であるウエハをスパッタ装置内のウエハホルダまで搬送し、これを真空吸引によって吸着保持した後、成膜を行う。このとき、ウエハを垂直に保持して成膜する技術が知られており、この場合には、ウエハを垂直方向に搬送し、ウエハホルダに垂直に真空吸着する必要がある(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平9−272975号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようにウエハを垂直に真空チャッキングする場合、吸引圧力が変動すると、ウエハが落下したり、ウエハに割れが発生する等の不具合が生ずる虞れがある。吸引力が弱いとウエハが落下し、逆に吸引力が強すぎるとウエハが割れてしまう。工場において使用する真空装置では、大きなポンプを使用して集中供給により各装置の真空吸引が行われるため、配管の末端になると真空吸引力が弱くなり、また周辺装置の稼働状況(真空の使用頻度)により圧力変動を起こす。
【0005】
また、真空チャッキングの吸引圧力が高い場合には、真空吸引を停止してウエハの搬送を行う際に、負圧が残って搬送に支障を来すという問題もある。具体的には、ウエハがチャッキングされた状態で負圧を速やかに解消することができず、真空吸引を停止した状態になっても配管内が負圧となってしまう。その結果、ウエハは吸着されたままとなり、円滑な搬送の妨げとなる。例えば、負圧に抗してウエハを引き剥がそうとすると、ウエハを損傷する虞れがある。
【0006】
本発明は、このような従来の技術の有する欠点を解消することを目的に提案されたものである。すなわち、本発明は、圧力変動に伴うウエハの落下や破損を防止することができ、またウエハの円滑な着脱及び搬送を実現することが可能なウエハ吸着装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明のウエハ吸着装置は、支持基盤と、上記支持基盤の中央部に突出形成されたウエハを垂直に真空吸着しこれを保持するウエハ装着面を有する円柱状の吸着保持部と、上記支持基盤とウエハ装着面の間に位置し、上記吸着保持部に対して上下動し、上記ウエハを吸着保持部に着脱する搬送手段とを有するウエハ吸着装置において、上記吸着保持部のウエハ装着面には、上記ウエハを真空吸引するための吸引口と、上記吸引口とウエハ装着面端部とを連通する溝部が設けられ、上記吸着保持部の直径は、上記ウエハの直径よりも小さいことを特徴とすることを特徴とするものである。
【0008】
吸引口とウエハ装着面端部とを連通する溝部を形成することで、圧力変動に対するバッファ(緩衝)として機能する。したがって、真空吸引するための真空供給手段において圧力変動が生じたとしても、この圧力変動がダイレクトに吸引圧力に影響を及ぼすことがなくなり、常にほぼ一定の吸引圧力でウエハが吸着されることになる。その結果、ウエハの脱落や破損が解消される。
【0009】
また、ウエハの搬送に際して、真空吸引を停止した時には、配管内等の負圧は、上記溝部によって速やかに解消され、ウエハの吸着は直ちに解消される。したがって、ウエハの搬送を円滑に行うことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用したウエハ吸着装置について、図面を参照しながら説明する。
【0011】
本発明のウエハ吸着装置は、例えばスパッタ装置におけるウエハホルダに適用することができる。図1は、スパッタ装置の一例を示すものであり、スパッタ装置1は、内部にスパッタによる成膜を行う真空チャンバ(図示は省略する。)が設けられており、この中に後述するウエハ吸着装置が設置されている。
【0012】
スパッタ装置1の前面には、真空チャンバ内の真空度を表示する真空ゲージ2や、真空バキュームの手動操作を行うための操作ハンドル3等が設けられれいる。前記真空ゲージ2によって外部から真空チャンバ内の圧力を把握することが可能でありる。
【0013】
上記スパッタ装置1に設置されるウエハ吸着装置4は、例えば図2に示すように、ウエハドアと称される支持基盤5の中央部にウエハを吸着保持するピックアップ部6を設けてなるものである。ピックアップ部6は、支持基板5の中央部に円柱状に突出形成されており、その先端面がウエハ吸着面6Aとなる。
【0014】
ウエハ吸着面6Aの中心部には、ウエハ吸着時に真空吸引を行うための吸引口6Bが設けられており、この吸引口6Bを通してウエハを背面から吸引支持するような構造となっている。
【0015】
ここで、ウエハ吸着面6Aは、基本的には平坦面とされるが、本発明においては、図3(A)に示すように、吸引口6Bを中心として、ウエハ吸着面6Aの外周縁に至る複数の溝部7が放射状に切削形成されている。これら溝部7は、図3(B)に示すように、断面形状がV字状であり、上記吸引口6Bと真空チャンバ内の空間とをピックアップ部6の外周面において連通する。
【0016】
上記構造のピックアップ部6にウエハを真空チャックするが、このとき、溝部7の働きによってウエハ取り出しが容易なものとなり、ウエハをピックアップ部6から取り外して搬送する動作を円滑に行うことができる。すなわち、真空ポンプによる真空吸引を停止してウエハを取り出す際には、溝部7が形成されているが故に、負圧が残った場合に溝部7から空気が流入し、チャック部分が大気圧になる。したがって、真空吸引停止時には、ウエハはピックアップ部6から速やかに引き剥がされて搬送される。
【0017】
なお、上記溝部7を設けることで、ウエハの真空チャッキング中にも空気(キャリアガス)が流入することになるが、吸引圧力を真空レギュレータ等で調整することにより、良好な真空チャッキング状態を保つことができる。特に、吸引圧力が50〜60mmHgとなるように調整することで、安定して良好な真空チャッキング状態を維持することができる。
【0018】
また、溝部7の形成は、ウエハの真空吸引時の圧力変動を解消する上でも有効である。先にも述べたように、工場において使用する真空装置では、大きなポンプを使用して集中供給により各装置の真空吸引が行われるため、例えば周辺装置の稼働状況(真空の使用頻度)等により圧力変動を起こす。溝部7を設けることで、真空系と真空チャンバ内の空間とが連通し、ウエハの真空チャッキング中での空気の流入がバッファとなって、圧力変動を解消するものと考えられる。要するに、真空系の吸引圧力が増加すると、前記空気(キャリアガス)の流入が増加して、吸引圧力の増加を抑える。逆に、真空系の吸引圧力が減少すると、空気(キャリアガス)の流入も減少して、吸引圧力の低下を抑える。
【0019】
次に、上記ウエハ吸着装置4に対するウエハの搬送及び着脱操作について図4を参照して説明する。
【0020】
図4(A)は、ウエハ11のウエハ吸着装置4へ装着するための搬送工程を示すものである。ウエハ11をウエハ吸着装置4に装着するには、ウエハ11をウエハエレベータ12に装着し、上記ウエハ吸着装置4の下方よりこれを上昇させる。このとき、ウエハ11は、ウエハエレベータ12に設けられた吸引孔12Aによって吸着支持され、脱落することはない。
【0021】
ウエハ11は、垂直の状態でウエハ吸着装置4の支持基盤5の下部より持ち上げられ、支持基盤5の中央位置まで搬送された時に、ウエハ吸着面6Aに設けられた吸引口6Bの吸引が開始される。これにより、支持基盤5中央のピックアップ部6にウエハ11がほぼ垂直な状態で吸着され、保持される。ウエハ11をピックアップ部6に吸着保持した後、上記ウエハエレベータ12の吸引孔12Aによる吸引を停止し、ウエハ11を開放し、ウエハエレベータ12を下降する。以上により、ウエハ11のウエハ吸着装置4への装着を完了する。ウエハ11の装着状態を図4(B)に示す。
【0022】
ウエハ11装着の後、スパッタ装置の場合にはウエハ11上に成膜を行い、必要な処理を完了する。処理(成膜)が終わったら、ウエハ11をウエハ吸着装置4から取り外し、スパッタ装置1の外部に搬送する。
【0023】
ウエハ11をウエハ吸着装置4から取り外し、搬送するには、図4(C)に示すように、下方からウエハエレベータ12を上昇させ、吸引孔12Aの吸引を開始し、ウエア11を吸着保持する。次いで、ウエハ吸着装置4の吸引口6Bの吸引を停止し、ウエハ11のウエハ吸着装置4での吸着を開放する。このとき、ウエハ吸着面6Aに溝部7が形成されているので、速やかに負圧が解消され、ウエハ11は前記吸着から開放される。この状態でウエハエレベータ12を下方に移動し、ウエハ11を搬送する。
【0024】
上記着脱及び搬送では、ウエハ11を下方からウエハ装着装置4に装着し、成膜終了後は、ウエハ11を下方へ搬送する。このような搬送形態を考えたときには、上記ウエハ装着装置4のウエハ吸着面6Aに形成される溝部7の数をウエハ吸着面6Aの上部と下部とで変えることが望ましい。特に、ウエハ吸着面6Aの上部において溝部7の数が多くなるように設計することが好ましい。先の図3(A)に示すように、5本の溝部7を形成する場合、3本がウエハ吸着面6Aの中央より上部に、2本が下部に位置するように配置する。これに限らず、溝部7の数を変更してもよい。また、溝部7の数を変える代わりに、溝部7の深さを変えてもよい。具体的には、ウエハ吸着面6Aの中央より上部に配置される溝部7の深さを深く、下部に配置される溝部7の深さを浅く形成する。
【0025】
上記いずれの場合にも、ウエハ11を下方に搬送しながらウエハ吸着面6Aから取り外す際に、上部から流入する空気(キャリアガス)の流入量を多くすることができる。したがって、真空吸引停止の際にウエハ11の上部から先に外れ易くなり、下方への搬送動作が円滑になる。その結果、ウエハ11の破損が防止される。
【0026】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、真空系の圧力変動に伴うウエハの落下や破損を防止することができ、また、ウエハの円滑な着脱及び搬送を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】スパッタ装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】ウエハ吸着装置の一例を示す概略斜視図である。
【図3】(A)はウエハ吸着面の平面図、(B)はウエハ吸着面の断面図である。
【図4】ウエハの搬送及び着脱操作を説明するものであり、(A)はウエハ装着動作を示す斜視図、(B)はウエハ装着状態を示す斜視図、(C)はウエア取り外し動作を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 スパッタ装置
4 ウエハ吸着装置
5 支持基盤
6 ピックアップ部
6A ウエハ吸着面
6B 吸引口
7 溝部
11 ウエハ
Claims (7)
- 支持基盤と、
上記支持基盤の中央部に突出形成されたウエハを垂直に真空吸着しこれを保持するウエハ装着面を有する円柱状の吸着保持部と、
上記支持基盤とウエハ装着面の間に位置し、上記吸着保持部に対して上下動し、上記ウエハを吸着保持部に着脱する搬送手段とを有するウエハ吸着装置において、
上記吸着保持部のウエハ装着面には、上記ウエハを真空吸引するための吸引口と、
上記吸引口とウエハ装着面端部とを連通する溝部が設けられ、
上記吸着保持部の直径は、上記ウエハの直径よりも小さいことを特徴とするウエハ吸着装置。 - 上記溝部は、上記吸引口を中心として放射状に複数形成されていることを特徴とする請求項1記載のウエハ吸着装置。
- 上記ウエハ装着面の上部における溝部の数が下部における溝部の数よりも多いことを特徴とする請求項2記載のウエハ吸着装置。
- 上記ウエハ装着面の上部における溝部の深さが下部における溝部の深さよりも深いことを特徴とする請求項2記載のウエハ吸着装置。
- 上記搬送手段は、搬送時に上記ウエハを吸着保持する吸引孔を有することを特徴とする請求項1記載のウエハ吸着装置。
- 上記吸着保持部によるウエハ真空吸着時の吸引圧力は、50〜60mmHgとなるように調整されていることを特徴とする請求項1記載のウエハ吸着装置。
- 上記ウエハは半導体ウエハであることを特徴とする請求項1記載のウエハ吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002353762A JP4127038B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | ウエハ吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002353762A JP4127038B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | ウエハ吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004186555A JP2004186555A (ja) | 2004-07-02 |
JP4127038B2 true JP4127038B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=32754969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002353762A Expired - Fee Related JP4127038B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | ウエハ吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4127038B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101059914B1 (ko) * | 2006-01-10 | 2011-08-29 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 제조공정용 테이블 |
JP6029354B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-11-24 | 株式会社東京精密 | ウェーハ研削装置およびウェーハ研削方法 |
JP6875417B2 (ja) | 2016-04-08 | 2021-05-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空チャック圧力制御システム |
-
2002
- 2002-12-05 JP JP2002353762A patent/JP4127038B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004186555A (ja) | 2004-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014165281A (ja) | 洗浄装置、洗浄方法および剥離システム | |
JP2002324831A (ja) | 真空吸着テーブル | |
JP4323129B2 (ja) | 板状物の搬送機構 | |
JP4797027B2 (ja) | 基板体の貼着装置及び基板体の取り扱い方法 | |
JP2010118424A (ja) | 薄板状ワークの搬送装置 | |
JP5201511B2 (ja) | ウエハの保持テーブル | |
TW201611154A (zh) | 晶圓負載及卸載 | |
JP4127038B2 (ja) | ウエハ吸着装置 | |
JP5623213B2 (ja) | 切削加工装置 | |
JP5989501B2 (ja) | 搬送方法 | |
JP2002313902A (ja) | 静電チャック、該静電チャックから基板を離脱する方法 | |
JP5329916B2 (ja) | 半導体ウエハの支持具 | |
KR102002553B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 정밀이송을 위한 경량 진공척 | |
CN214643745U (zh) | 真空吸附式环形末端夹持器 | |
JP4459023B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JP2009070996A (ja) | 真空吸着ステージおよびそれを用いた半導体製造方法。 | |
KR20210072698A (ko) | 판상물 유지구 | |
JP2008177406A (ja) | ウエーハの加工装置 | |
KR20060081004A (ko) | 화학적 기계적 연마 장치 및 이에 사용되는 플레이튼 | |
JP3929175B2 (ja) | 静電吸着装置 | |
CN110867398B (zh) | 卡盘工作台和晶片的加工方法 | |
JP2005039114A (ja) | 半導体ウェーハ移し替え装置 | |
CN213071091U (zh) | 用于竖直地保持半导体晶圆的夹持器组件 | |
TWI761270B (zh) | 晶片預清潔機台 | |
JP2018062036A (ja) | 基板研磨装置、基板処理装置、ドレッサディスク、ドレッサディスクの取り外し方法、ドレッサディスクの取り付け方法およびドレッサディスクの交換方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080422 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080505 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |