JP4126939B2 - 圧電材料及び圧電部材 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、電圧歪みを利用した圧電アクチュエータ等に好適に用いられる圧電材料及び圧電部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電体は、外部から応力を受けることにより電気分極が変化する圧電効果の性質と、電界を印加することにより歪みを発生する逆圧電効果の性質とを有し、センサ、レゾネータ、アクチュエータ等に応用されている。
【0003】
現在、圧電材料は、正方晶系又は菱面体晶系のPZT(PbZrO3−PbTiO3固溶体)系や、正方晶系のPT(PbTiO3)系等のペロブスカイト構造を有する強誘電体からなるものが一般に実用化され、これに様々な副成分を添加することにより、要求特性への対応が図られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、PZT系やPT系の圧電材料は、いずれも鉛系圧電材料であり、低温でも揮発性の極めて高い酸化鉛(PbO)を多量(60〜70質量%程度)に含んでいるため、生態学的な見地及び公害防止の面からもこれを用いることは好ましくない。具体的には、これら鉛系圧電材料をセラミックスや単結晶として製造する際には、焼成、溶融等の熱処理を必ず行わなければならないので、工業レベルで考えた場合、揮発性成分である酸化鉛の大気中への揮発、拡散は避けられない。また、工場内において製造段階で放出される酸化鉛は回収可能であるが、工業製品として市場に出された圧電材料に含有される酸化鉛は、現状ではその殆どが回収不能であり、これらが広く環境中に放出された場合、公害の原因となる可能性がある。
【0005】
一方、鉛を全く含有しない圧電材料としては、例えば、正方晶系に属するペロブスカイト構造のBaTiO3がよく知られているが、これはキュリー点が120℃と低いため、実用的ではない。
【0006】
この発明は、このような技術背景に鑑みてなされたもので、その目的は、鉛を実質的に含まないで、優れた圧電特性、特に大きな電気機械結合係数を有する圧電材料及び圧電部材を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第1発明に係る圧電材料は、組成式がNa0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9(但し、0≦x≦0.1)で表されることを特徴としている。
【0008】
この圧電材料は、ビスマス層状化合物の一種で、鉛を実質的に含んでいないので、鉛公害を回避することができる。
【0009】
また、この圧電材料において、xを上記範囲(即ち0≦x≦0.1)内に設定した理由は次のとおりである。
【0010】
すなわち、本発明者らはこの圧電材料について鋭意研究した結果、xが上記範囲内である場合には、電気機械結合係数が大きくなること、並びに、xが−0.05未満の場合及びxが0.15を超えた場合には、いずれも電気機械結合係数が著しく低下することを見出した。その理由について本発明者らは次のように推測した。すなわち、xが−0.05未満の場合には、パイロクロア(pylochlore)相が第二相として生成するため、電気機械結合係数が著しく低下すると思われる。一方、xが0.15を超えた場合には、ナトリウム−ビスマス系酸化物(Na−Bi oxide)相が第二相として生成するため、電気機械結合係数が著しく低下すると思われる。換言すると、この圧電材料は、単一相からなるものであれば、大きな電気機械結合係数を有するものとなると推測される。また、この圧電材料の組成式は、(Na0.5-xBi0.5+x/3)Bi2Ta2O9とも表示可能であると推測される。
【0011】
この圧電材料において、特に望ましいxの下限値は0であり、特に望ましいxの上限値は0.1である。
【0012】
また、この圧電材料は、その構成上、圧電セラミックス材料と表現することも可能である。
【0013】
なお、この圧電材料は、製造上不可避の不純物を含んでいても良いことはもちろんである。
【0015】
第2発明に係る圧電部材は、上記第1発明に係る圧電材料を主成分として含んでいることを特徴としている。
【0016】
この圧電部材は、上記第1発明に係る圧電材料を主成分として含んでいるので、この圧電部材の圧電特性は、上記第1発明に係る圧電材料の圧電特性によって支配されるものとなる。したがって、この圧電部材は、大きな電気機械結合係数を有している。
【0017】
なお、この圧電部材は、上記第1発明に係る圧電材料以外の材料を副成分等として含んでいても良いし、製造上不可避の不純物を含んでいても良い。
【0018】
この圧電部材は、圧電デバイス(例:圧電センサ、圧電レゾネータ、圧電アクチュエータ)等に特に好適に適用することができる。
【0019】
【実施例】
次に、この発明の具体的実施例を示す。
【0020】
<粉末X線回折用試料の作製>
出発原料として、Bi2O3粉末(純度99.99%)、Ta2O5粉末(純度99.9%)及びNa2CO3粉末(純度99.9%)を準備した。そして、これら粉末を、最終組成がNa0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9(x=−0.1、0、0.1、0.2、0.3及び0.4)で表されるものとなるように所定の配合比率(この配合比率は後述する。)で配合し、アセトンを加えて30分間湿式混合した。次いで、十分に乾燥したのち、800℃で2時間仮焼成した。次いで、得られた仮焼成粉末を粉砕したのち、1100℃で2時間の焼成条件で焼成することにより、焼結体粉末を得た。この焼結体粉末を粉末X線回折用試料とした。
【0021】
ここで、Bi2O3粉末、Ta2O5粉末及びNa2CO3粉末の配合比率について説明する。Na0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9のxの値において、x=−0.1の試料の場合には、Bi2O3粉末、Ta2O5粉末及びNa2CO3粉末を4.933:4:1.2の比率で配合した。x=0の試料の場合には、これら粉末を5:4:1の比率で配合した。x=0.1の試料の場合には、これら粉末を5.067:4:0.8の比率で配合した。x=0.2の試料の場合には、これら粉末を5.133:4:0.6の比率で配合した。x=0.3の試料場合には、これら粉末を5.2:4:0.4の比率で配合した。x=0.4の試料の場合には、これら粉末を5.267:4:0.2の比率で配合した。なお、上述した比率はいずれもモル比で示している。
【0022】
x=−0.1、0、0.1、0.2、0.3及び0.4のそれぞれの試料について、粉末X線回折法(照射X線:CuKα線)によってその構造を調べた。その結果を図1に示す。
【0023】
同図に示すように、x=−0.1の試料は、パイロクロア相による回折線(○印で示す。)が見られた。また、x=0.2、0.3及び0.4の試料は、いずれもナトリウム−ビスマス系酸化物相による回折線(△印で示す。)が見られた。
【0024】
これに対して、x=0及び0.1の試料は、パイロクロア相及びナトリウム−ビスマス系酸化物相による回折線は見られず、ビスマス層状化合物相からなる単一相であることを確認し得た。
【0025】
<電気機械結合係数測定用試料の作製>
上述した<粉末X線回折用試料の作製>で記載された手順により得られた焼結体粉末を、乳鉢を用いて粉砕したのち、バインダ(ポリビニルアルコール)を加えて造粒した。この造粒物を一軸プレス成形機を用いて4〜30MPaの圧力で押圧することによって、直径10〜13mm、厚さ1〜5mmの円柱状に成形した。こうして成形された圧粉体を500℃で2時間保持することにより前記バインダを揮発させ、更に1100〜1150℃で2時間の焼成条件で焼成することにより、焼結体を得た。この焼結体を所定の大きさに切断し、更に表面を研磨して厚さ0.1〜0.2mmの薄板状にした。その後、この薄板状の焼結体の両面の全面に銀電極を塗布し、焼き付けた。次いで、室温〜200℃のシリコーンオイルバス中で5〜10kV/mmの電界を30分間印加して分極処理を施した。これを電気機械結合係数測定用試料とした。
【0026】
この試料の電気機械結合係数(k31及びkP)を、ヒューレットパッカード社製インピーダンスアナライザ(HP4194A)を用いて共振反共振法を利用して測定した。その結果を、既知のビスマス層状化合物である、Bi4Ti3O12(比較例3)、Na0.5Bi4.5Ti4O15(比較例4)及びSrBi4Ti4O15(比較例5)の電気機械結合係数(k31及びkP)と併せて表1に示す。
【0027】
【表1】
【0028】
同表に示すように、x=−0.05〜0.15の範囲内の材料は、いずれもk31及びkPが比較例1の材料(x=−0.1)及び比較例2の材料(x=0.2)よりも大きく、しかも比較例3〜5の材料よりも大きいことが分かった。殊に、xの範囲が0≦x≦0.1である場合には、特に大きな電気機械結合係数を有するものとなり、したがってxの範囲が0≦x≦0.1である場合が特に望ましいことが分かった。
【0029】
以上の結果から、この発明によれば、大きな電気機械結合係数を有する圧電材料を提供できることを確認し得た。
【0030】
なお、この発明に係る圧電材料は、上述した製造方法により得られた圧電材料に限定されるものではなく、その製造方法は様々に設定変更可能であることは言うまでもない。
【0031】
【発明の効果】
上述の次第で、第1発明に係る圧電材料は、組成式がNa0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9(但し、0≦x≦0.1)で表されるものなので、鉛を実質的に含んでおらず、鉛公害を回避することができるし、更には、大きな電気機械結合係数を有しているので、現在、実用化されているPZT(PbZrO3−PbTiO3固溶体)系やPT(PbTiO3)系の圧電材料の代替材料として極めて有用である。
【0032】
第2発明に係る圧電部材は、第1発明に係る圧電材料を主成分として含んでいるので、上記第1発明と同じく、鉛公害を回避することができ、更には大きな電気機械結合係数を有する圧電部材として極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】組成式がNa0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9で表される材料のX線回折パターンを示す図である。
Claims (2)
- 組成式がNa0.5-xBi2.5+x/3Ta2O9(但し、0≦x≦0.1)で表されることを特徴とする圧電材料。
- 請求項1記載の圧電材料を主成分として含んでいることを特徴とする圧電部材。
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