JP4125736B2 - プローバ装置の温度制御方法 - Google Patents
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前記温度制御装置は、前記プローブがテストしているプローブエリアの中心に最も近い温度センサを選択し、該選択した温度センサの検出温度に基づいて前記加熱/冷却機構を制御することを特徴とする。
前記プローバチャックに、ウエハ下面に隣接する加熱/冷却面を有する加熱/冷却機構と、前記加熱/冷却面の温度をそれぞれ測定する複数の温度センサとを配設し、
前記プローブがテストしているプローブエリアの中心に最も近い温度センサ選択し、
前記選択した温度センサの検出温度に基づいて前記加熱/冷却機構を制御してウエハの温度制御を行うことを特徴とする。
11、11A:プローバチャック
12:ヒータ(ヒータ/クーラー)
13:温度センサ
14:温度制御装置
15:駆動制御装置
20:プローブ装置
21:プローブ部分
22:プローブカード
23:プローブエリア
24:プローブエリア中心
25:ウエハ
30:プローバ装置
31:プローバチャック
32:ヒータ(ヒータ/クーラー)
33:温度センサ
34:温度制御装置
Claims (2)
- 半導体ウエハを搭載するプローバチャックと、半導体ウエハ上のデバイスの電気的特性を測定するプローブとを備えるプローバ装置の温度制御方法において、
前記プローバチャックに、ウエハ下面に隣接するヒータ面を有するヒータと、前記ヒータ面の温度をそれぞれ測定する複数の温度センサとを配設し、
前記プローブがテストしているプローブエリアの中心から最も近い温度センサを選択し、前記選択した温度センサの検出温度に基づいて前記ヒータを制御してウエハの温度制御を行い、
選択する温度センサに予め優先順位を設定しており、前記プローブエリアの中心からの距離がほぼ等しい温度センサが複数あるときには、1つの温度センサを前記優先順位に基づいて選択することを特徴とするプローバ装置の温度制御方法。 - 前記プローブエリア内に複数の温度センサが存在するときには、前記プローブエリアの中心に最も近い温度センサの選択に代えて、前記複数の温度センサの内で最高の検出温度を示す温度センサを選択し、
前記最高の検出温度を示す温度センサが複数あるときには、1つの温度センサを前記優先順位に基づいて選択することを特徴とする請求項1に記載のプローバ装置の温度制御方法。
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