JP4125136B2 - 電気化学センサー用電極システム - Google Patents
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Description
−前記指示電極が、前記基板上に規則的に分散された、電気伝導性を有すると共に電気的に相互に接続された複数のマイクロディスクによって形成され、及び
−前記発生電極が、前記マイクロディスクよりも大きな直径を有する円形の貫通孔を設けられると共に各孔が各マイクロディスクと同心になるように配された、電気伝導性を有するプレートによって形成されている
ことを特徴とする。
−前記基板は電気的に伝導性があり、
−前記基板上に電気絶縁層が堆積され、複数の円形貫通孔が設けられており、
−指示電極を形成するマイクロディスクが、基板と接触するこれら孔中に堆積された導電層によって形成されており、及び
−前記発生電極が前記電気絶縁層に堆積された導電層によって形成されている。
−前記指示電極が前記基板上に堆積された導電層によって形成され、
−電気絶縁層が該導電層上に堆積されると共に前記指示電極のマイクロディスクを形成する複数の円形貫通孔が設けられ、及び
−前記発生電極が前記絶縁層上に堆積された導電層によって形成される。
−導電層20は、接続部材26によってエネルギー源に直接接続することのできる発生電極を形成し、
−1セットの導電性マイクロディスク22は、共に導電性である基板10と層12とを介して、後者に接続される接続部材28によってエネルギー源に接続することのできる指示電極を形成している。
−導電層42が、図示されていない接続部材によってエネルギー源に直接接続することのできる発生電極を形成し、
−導電層36が、図示されていない接続部材によってエネルギー源に直接接続することのできる、孔40故に覆われていない部分46においてのみ活性な、指示電極を形成する、
電気化学センサー用のマイクロ構造体が作られる。
Claims (10)
- 電気伝導性の基板( 10 )と電気絶縁層( 14 )と指示電極用電気伝導層 (22) と発生電極用電気伝導層 (20) とを有し、
前記電気絶縁層( 14 )は、前記基板(10)上に堆積されると共に、複数の円形貫通孔(16)を備え、
前記指示電極用電気伝導層 (22) は、指示電極を形成し、前記円形貫通孔 (16) 中で、基板 (10) に接触し、かつそれら円形貫通孔 (16) を取り囲む電気絶縁層 (14) の内壁面に接触するように堆積されて成り、しかも複数のマイクロディスクであり、
前記発生電極用電気伝導層 (20) は、発生電極を形成し、前記電気絶縁層(14)上に堆積され、かつ複数の環状孔 (24) が穿設されて成り、前記環状孔 (24) は、前記マイクロディスクの直径よりも大きな直径を有すると共に、前記マイクロディスクと同心になるように前記発生電極用電気伝導層 (20) に開設されて成ることを特徴とする電気化学セル用電極システム。 - 前記基板(10)がドーピングによって導電性を有するようになったシリコンによって作られていることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記電極システムが、前記基板(10)の背面に電気伝導層(12)を有することを特徴とする請求項2に記載のシステム。
- 電気伝導性の基板( 34 )と電気絶縁層( 38 )と指示電極用電気伝導層 (36) と発生電極用電気伝導層 (42) とを有し、
前記指示電極用電気伝導層 (36) は、指示電極を形成し、前記基板(34)上に堆積されて成り、
前記電気絶縁層( 38 )は、前記指示電極用電気伝導層(36)上に堆積されると共に、複数の円形貫通孔(40)を備え、この円形貫通孔( 40 )内で指示電極用電気伝導層 (36) が複数の露出部( 46 )として露出し、
前記発生電極用電気伝導層 (42) は、発生電極を形成し、前記電気絶縁層(38)上に堆積され、かつ複数の円形孔 (44) が穿設されて成り、前記円形孔 (44) は、前記円形貫通孔( 40 )の直径よりも大きな直径を有すると共に、前記円形貫通孔( 40 )と同心になるように前記発生電極用電気伝導層 (42) に開設されて成ることを特徴とする電気化学セル用電極システム。 - 前記基板(34)がガラス又は石英で作られていることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記基板(34)が絶縁層で被覆されたシリコンプレートで形成されていることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記基板(34)がドーピングによって導電性を有するようになったシリコンによって作られていることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記電極システムが前記基板(34)の背面に堆積された電気伝導層を有していることを特徴とする請求項7に記載のシステム。
- 前記マイクロディスク(22)又は前記露出部(46)が約2〜20μmの直径を有し、相互に約100〜400μmの距離を置いて配置されており、前記環状孔( 24 )又は前記円形孔( 44 )が約30〜120μmの直径を有することを特徴とする請求項1又は4のいずれかに記載のシステム。
- −前記発生電極を動作させない状態で次亜塩素酸の第一の濃度Aを測定し、
−前記指示電極のマイクロディスク又は露出部のところで水のpH値が十分な酸性度を有するように前記発生電極を作動させ、
−酸媒体における次亜塩素酸の第二の濃度Bを測定し、
−該第二の濃度に対する該第一の濃度の比からpH値を決定する
ステップを有することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の電極システムを有する電気化学センサーを用いて塩素化された水のpH値を測定する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH00950/01A CH697478B1 (fr) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Système d'électrodes pour capteur électrochimique et procédé de détermination du PH d'une eau chlorée. |
PCT/CH2002/000269 WO2002095387A1 (fr) | 2001-05-22 | 2002-05-16 | Systeme d'electrodes pour capteur electrochimique |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004525389A JP2004525389A (ja) | 2004-08-19 |
JP4125136B2 true JP4125136B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=4550016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002591811A Expired - Fee Related JP4125136B2 (ja) | 2001-05-22 | 2002-05-16 | 電気化学センサー用電極システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7270736B2 (ja) |
EP (2) | EP1260813A1 (ja) |
JP (1) | JP4125136B2 (ja) |
CH (1) | CH697478B1 (ja) |
WO (1) | WO2002095387A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7201831B2 (en) | 2002-02-22 | 2007-04-10 | Water Security And Technology, Inc. | Impurity detection device |
US20050164371A1 (en) * | 2003-03-28 | 2005-07-28 | Fujitsu Limited | Cavity electrode structure, and sensor and protein detection device using the same |
EP1557665A1 (fr) * | 2004-01-21 | 2005-07-27 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA | Système d'electrodes pour capteur electrochimique |
EP1715334A1 (fr) | 2005-04-22 | 2006-10-25 | Adamant Technologies SA | Procédé utilisant un capteur électrochimique et électrodes formant ce capteur |
US20060272898A1 (en) * | 2005-06-03 | 2006-12-07 | Telemark Holdings, Llc | Climbing apparatus |
KR101184612B1 (ko) * | 2006-08-18 | 2012-09-21 | 삼성전자주식회사 | 관통전극 형성방법을 이용한 멤스 구조물 및 그 제조방법 |
FR2930900B1 (fr) * | 2008-05-06 | 2010-09-10 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de separation de biomolecules d'un fluide |
US9546427B2 (en) | 2011-06-10 | 2017-01-17 | Michael Lumetta | System and method for generating a chlorine-containing compound |
FR2978550B1 (fr) * | 2011-07-25 | 2014-07-11 | Veolia Water Solutions & Tech | Dispositif pour la mesure de la teneur en chlore libre d'une eau |
JP6814990B2 (ja) * | 2016-01-28 | 2021-01-20 | 学校法人慶應義塾 | 残留塩素測定方法及び残留塩素測定装置 |
JP6840368B2 (ja) * | 2017-06-16 | 2021-03-10 | 学校法人慶應義塾 | 残留塩素測定方法及び残留塩素測定装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4062750A (en) * | 1974-12-18 | 1977-12-13 | James Francis Butler | Thin film electrochemical electrode and cell |
US4176031A (en) * | 1978-03-17 | 1979-11-27 | Fischer & Porter Co. | Digital hypochlorous acid analyzer |
AT403528B (de) * | 1989-04-04 | 1998-03-25 | Urban Gerald | Mikro-mehrelektrodenstruktur für elektrochemische anwendungen und verfahren zu ihrer herstellung |
GB8927377D0 (en) * | 1989-12-04 | 1990-01-31 | Univ Edinburgh | Improvements in and relating to amperometric assays |
FR2675260B1 (fr) * | 1991-04-12 | 1994-10-21 | Aix Marseille Univers Droit Ec | Procede et appareil pour le dosage electrochimique d'un corps dans une solution. |
DE4131731A1 (de) * | 1991-09-24 | 1993-05-19 | Raymond Glocker Gmbh Inst Fuer | Sensor zur bestimmung von chemischen verbindungen in fluessigkeiten und gasen |
US6051380A (en) * | 1993-11-01 | 2000-04-18 | Nanogen, Inc. | Methods and procedures for molecular biological analysis and diagnostics |
GB9412789D0 (en) * | 1994-06-24 | 1994-08-17 | Environmental Sensors Ltd | Improvements to electrodes |
GB9412820D0 (en) | 1994-06-25 | 1994-08-17 | Siemens Plessey Controls Ltd | Water quality measuring apparatus |
GB9413525D0 (en) | 1994-07-05 | 1994-08-24 | Unilever Plc | Improvements in or relating to electrochemical instruments |
GB9502740D0 (en) * | 1995-02-13 | 1995-03-29 | Squared Technology Limited M | Aqueous liquid analysis |
CA2173932A1 (en) * | 1996-04-11 | 1997-10-12 | Gilles Y. Champagne | Method for manufacturing an array of microelectrodes |
GB9609301D0 (en) * | 1996-05-03 | 1996-07-10 | Wallace & Tiernan Ltd | Measuring chlorine concentration |
-
2001
- 2001-05-22 CH CH00950/01A patent/CH697478B1/fr not_active IP Right Cessation
- 2001-05-31 EP EP01810525A patent/EP1260813A1/fr not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-05-16 JP JP2002591811A patent/JP4125136B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-16 US US10/478,749 patent/US7270736B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-16 EP EP02771618A patent/EP1390734A1/fr not_active Withdrawn
- 2002-05-16 WO PCT/CH2002/000269 patent/WO2002095387A1/fr active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7270736B2 (en) | 2007-09-18 |
CH697478B1 (fr) | 2008-11-14 |
WO2002095387A1 (fr) | 2002-11-28 |
US20040154934A1 (en) | 2004-08-12 |
EP1390734A1 (fr) | 2004-02-25 |
JP2004525389A (ja) | 2004-08-19 |
EP1260813A1 (fr) | 2002-11-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050224 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
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