JP4120561B2 - プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
p<0.02×c/f
なる関係式を満たすとき、かなり広範な放電条件において下流でのプラズマ発生を抑制することができることがわかっている。しかし、より確実に下流でのプラズマ発生を抑制するには、電波吸収体に設けられた穴のピッチをp、アンテナに印加する高周波電力の周波数をf、光速をcとしたとき、
p<0.005×c/f
なる関係式を満たすことが望ましい。
2 ガス供給装置
3 ターボ分子ポンプ
4 アンテナ用高周波電源
5 アンテナ
6 基板電極
7 基板
8 基板電極用高周波電源
9 給電棒
10 ショートピン
11 誘電板
12 カバー
13 誘電体リング
14 導体リング
15 プラズマトラップ
16 排気口
17 調圧弁
18 インナチャンバ
19 支柱
21 開口部
22 接地点
23 電波吸収体
Claims (3)
- 真空容器内にガスを供給しつつ排気し、真空容器内を所定に圧力に制御しながら、真空容器内の基板電極に対向して設けられたアンテナに周波数100kHz乃至3GHzの高周波電力を印加することにより真空容器内にプラズマを発生させ、基板を処理するプラズマ処理方法であって、
前記真空容器は接地され、かつ、多数の穴が設けられた電波吸収体によって真空容器が基板のある側と基板の無い側に分離された状態で基板を処理すること
を特徴とするプラズマ処理方法。 - 真空容器と、真空容器内にガスを供給するガス供給装置と、真空容器内を排気する排気装置と、真空容器内を所定に圧力に制御する調圧弁と、真空容器内に基板を載置する基板電極と、基板電極に対向して設けられたアンテナと、前記アンテナに周波数100kHz乃至3GHzの高周波電力を印加する高周波電源とを備えたプラズマ処理装置であって、
前記真空容器は接地され、かつ、多数の穴が設けられた電波吸収体によって真空容器が基板のある側と基板の無い側に分離されていること
を特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空容器とアンテナとの間に誘電体を有し、前記アンテナ及び前記誘電体が真空容器内に突出した構造をなし、かつ、この誘電体の中心付近に設けられた貫通穴を介してアンテナに高周波電圧を給電し、誘電体の中心とも周辺とも異なる一部位に設けられ、かつ、アンテナの中心に対してほぼ等配置されている貫通穴を介して、真空容器とアンテナとをショートピンによって短絡したことを特徴とする請求項2記載のプラズマ処理装置。
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