JP4107787B2 - Plasma display panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネル(以下、PDP、と称す)及びその製造方法に係わり、特に、FPC(フレキシブルプリント基板)上の電極とACF(異方性導電フィルム)を介して接続するために、中央の表示領域からガラス基板の周辺部分に引き出された接続電極及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来からPDPの接続電極として抵抗の低いAgが主に用いられている。しかしこの構造は、高電界下ではマイグレーションを起こしやすい材料であり、それを防止する事が課題の一つであった。
【0003】
そこで特開平11−297218号公報では、金属電極の下に幅の広い透明電極を設ける技術が開示されている。
【0004】
以下図4を参照して同公報の電極構造を製造する方法を説明する。まず、基板洗浄を行ったガラス基板41を用意し(図4(A))、透明導電成膜42を形成し(図4(B))、その上にフォトレジスト43を塗布して乾燥させる(図4(C))。
【0005】
乾燥後に、第1のガラスマスク44を用い、露光光45を照射し(図4(D))、現像して、レジストのパターニングを行う。ポストベーク後に、レジストパターンをマスクにして透明導電成膜42を選択的にエッチングして、レジストパターンを剥離することで、下層電極である透明導電膜46を透明導電成膜42から形成する(図4(E))。
【0006】
次に、下層電極である透明導電膜46上に銀膜47を形成し、その上にフォトレジスト48を塗布して乾燥させ、第2のガラスマスク49を用い、露光光51を照射し(図4(F))、現像して、レジストのパターニングを行う。
【0007】
ポストベーク後に、レジストパターンをマスクにして銀膜47を選択的にエッチングして、レジストパターンを剥離することで、下層電極46上に下層電極よりも幅が狭い上層電極である銀電極52を銀膜47から形成する(図4(G))。このようにしてPDP側の電極端子部が形成される。
【0008】
一方、モジュールと組み立てるFPCはまず、ACFを仮圧着し、それをPDP側電極端子部とあわせて本圧着することで、PDP側の上層電極である銀電極52とFPC上の電極とが電気的に接続される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図4に示すような従来技術では、下層電極に対して、上層電極の位置あわせが必要になり、信頼性の高い構造を維持するための位置合わせ精度に律速され、高精細化には向かないという問題点を有する。
【0010】
したがって本発明の目的は、高精度で上記PDPを製造することができるPDPの製造方法を提供することである。
【0011】
本発明の他の目的は、マイグレーションを十分に抑制することが可能なPDPを提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、端子接続部が、下層電極と上層電極との積層構成からなると共に、前記下層電極が前記上層電極よりも広幅に形成されているプラズマディスプレイパネルに係り、前記上層電極が、第1の導電性・ネガ型感光性膜から形成される一方、前記下層電極が、第の導電性・ネガ型感光性膜から形成され、かつ、該第2の導電性・ネガ型感光性膜が、前記第1の導電性・ネガ型感光性膜よりも感光性に優れていることを特徴としている。
【0013】
ここで、前記第1の導電性・ネガ型感光性膜に第1の導電性粉末含有され、かつ、前記第2の導電性・ネガ型感光性膜に第2の導電性粉末含有されていることが好ましい。この場合、前記第1の導電性粉末はAg若しくはCu又はこの両者の粉末であり、前記第2の導電性粉末はRuO2 、MoO2 、PdO3 、Mo、W、Ti、Au、Zn、Ni、Ag−Pt、Ag−Pdのそれぞれの粉末のうち、1種類もしくは複数種類の粉末であることが好ましい。
【0014】
また、前記端子接続部が上層電極はFPC上の電極とACFを介して接続する電極であることができる。
【0015】
また、請求項5記載の発明は、下層電極と上層電極との積層からなる積層電極を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、前記積層電極を形成するにあたり、導電性・ネガ型感光性を有する上層電極形成用のペーストと、同じく導電性・ネガ型感光性を有し、かつ、該上層電極形成用のペーストよりも感光性に優れる下層電極形成用のペーストとを、前記下層電極形成用のペーストが下となり、前記上層電極形成用のペーストが上となるように、基板上に塗布積層した後、1回のPR工程により、幅広の前記下層電極と幅狭の前記上層電極との段状積層構成からなる前記積層電極を完成させることを特徴としている。
【0016】
ここで、前記上層電極形成用のペーストには第1の導電性粉末含有され、前記下層電極形成用のペーストには第2の導電性粉末が含有されているのが好ましい
この場合、前記第1の導電性粉末はAg若しくはCu又はこの両者の粉末であり、前記第2の導電性粉末はRuO2 、MoO2 、PdO3 、Mo、W、Ti、Au、Zn、Ni、Ag−Pt、Ag−Pdのそれぞれの粉末のうち、1種類もしくは複数種類の粉末であることが好ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を説明する。図1は本発明の実施の形態を工程順に示した断面図である。
【0018】
まず図1(A)において、基板洗浄を行ったガラス基板11を用意する。
【0019】
次に図1(B)において、基板11上にネガ型導電性・感光性下層ペースト12及びネガ型導電性・感光性上層ペースト13を積層塗布して乾燥させる。ここで、ネガ型導電性・感光性下層ペースト12はネガ型導電性・感光性上層ペースト13よりも強い感光性を有している。
【0020】
次に図1(C)において、積層ペースト上方にガラスマスク14を設置し、露光光15を照射する。ネガ型導電性・感光性下層ペースト12は強い感光性を有しているからマスク14の遮光パターン下方向に大きく回り込む。すなわち、ネガ型導電性・感光性下層ペースト12は、ネガ型導電性・感光性上層ペースト13よりもしみ出しが大きくなる。
【0021】
次に図1(D)において、現像、乾燥させる。図1(C)の工程において、ネガ型導電性・感光性下層ペースト12がネガ型導電性・感光性上層ペースト13よりも大きく感光されるから、上層電極17と上層電極17よりも幅が広い下層電極16と有した段状の積層電極がネガ型導電性・感光性上層ペースト13とネガ型導電性・感光性下層ペースト12から形成される。
【0022】
このようにしてPDP側の電極端子部が、(C),(D)による1回のPR工程により形成される。すなわち、一括して両ペーストがパターニングされる。
【0023】
上部電極17の厚さは3〜10μm、幅W1は80〜90μmである。下部電極16の厚さは3〜10μm、幅W2は90〜100μmであり、上部電極よりも片側で約5μmずつ突出している。
【0024】
次に図1(E)において、ACFを仮圧着したモジュールと組み立てるFPCをACF23を介してPDP側電極端子部とあわせて本圧着することで、PDP側の上層電極17とFPC21上の金メッキされた銅電極22とが電気的に接続される。
【0025】
ここで、上層電極17を形成するネガ型導電性・感光性上層ペースト13の作製、組成について例示する。
【0026】
γ−ブチロラクトンおよびポリマバインダーを混合し均等に溶解させる。そこに、アミノアセトフェノンを加えて均等に溶解させる。それを400メッシュのフィルターで濾過して有機ビヒクルを作製する。
【0027】
ここでポリマバインダーとして、70%のメタクリル酸、30%のメチルメタアクリルレートを使用する。
【0028】
また、導電性粉末に対する安定化剤として1,2,3−ベンゾトリアゾールを酢酸メチルに溶解し、これに導電性粉末を加え、12時間浸漬した後、20〜25℃でドラフト内で乾燥して溶媒を蒸発させてトリアゾール処理を行うことにより、安定化剤に囲まれた(安定化処理をされた)導電性粉末を作製する。
【0029】
ここでは導電性粉末として電気抵抗が低い単体金属のAg粉末もしくはCu粉末を用いる。あるいは両者を混合して用いることもできる。
【0030】
これらの導電性粉末の特徴として平均粒径が0.5〜4μm、タップ強度が3〜6g/cm2 、形状は球形であり、球形率が90%以上、非面積が0.3〜2.5m2 /gである。
【0031】
また、ガラスフリットを用意する。このガラスフリットは、39モル%の酸化ジルコニウム、24モル%の酸化ホウ素、21モル%の二酸化ケイ素、10モル%の酸化リチウム、3モル%のアルミナ、3モル%のその他の酸化物から成っている。
【0032】
そして、上記有機ビヒクルに上記安定化処理をされた導電性粉末、光反応化合物としてトリメチロール・プロパン・トリアクリラート、CuOおよび上記ガラスフリットを所定の組成になるように添加し、3本ロールを用い、混合・分散させて上層電極形成用の上層ペースト13を作製する。
【0033】
この上層電極形成用の上層ペースト13の組成は、導電性粉末が70wt%、ポリマバインダーが5wt%、光反応化合物が5wt%、ガラスフリットが2wt%、光集合開始剤が1wt%、安定化剤が1wt%、シンナーが16wt%である。
【0034】
次に、下層電極16を形成するネガ型導電性・感光性下層ペースト12の作製、組成について例示する。
【0035】
γ−ブチロラクトンおよびポリマバインダーを混合し均等に溶解させる。そこに、アミノアセトフェノンを加えて均等に溶解させる。それを400メッシュのフィルターで濾過して有機ビヒクルを作製する。
【0036】
ここでポリマバインダーとして、70%のメタクリル酸、30%のメチルメタアクリルレートを使用する。
【0037】
また、導電性粉末に対する安定化剤として1,2,3−ベンゾトリアゾールを酢酸メチルに溶解し、これに導電性粉末を加え、12時間浸漬した後、20〜25℃でドラフト内で乾燥して溶媒を蒸発させてトリアゾール処理を行うことにより、安定化剤に囲まれた(安定化処理をされた)導電性粉末を作製する。
【0038】
ここでは導電性粉末としてマイグレーション耐性に強い、導電性酸化物のRuO2 、MoO2 、PdO3 、単体金属のMo、W、Ti、Au、Zn、Ni、複合金属のAg−Pt、Ag−Pdのそれぞれの粉末のうち、1種類もしくは複数種類の粉末を用いる。
【0039】
これらの導電性粉末の特徴として平均粒径が0.5〜4μm、タップ強度が3〜6g/cm2 、形状は球形であり、球形率が90%以上、非面積が0.3〜2.5m2 /gである。
【0040】
また、ガラスフリットを用意する。このガラスフリットは、39モル%の酸化ジルコニウム、24モル%の酸化ホウ素、21モル%の二酸化ケイ素、10モル%の酸化リチウム、3モル%のアルミナ、3モル%のその他の酸化物から成っている。
【0041】
そして、上記有機ビヒクルに上記安定化処理をされた導電性粉末、光反応化合物としてトリメチロール・プロパン・トリアクリラート、CuOおよび上記ガラスフリットを所定の組成になるように添加し、3本ロールを用い、混合・分散させて下層電極形成用の上層ペースト12を作製する。
【0042】
この下層電極形成用のペースト12の組成は、導電性粉末が70wt%、ポリマバインダーが5wt%、光反応化合物が15wt%、ガラスフリットが2wt%、光集合開始剤が2wt%、安定化剤が1wt%、シンナーが5wt%である。
【0043】
上層電極形成用の上層ペースト13と下層電極形成用の下層ペースト12との第1の相違は、上層電極形成用の上層ペースト13では電気抵抗を低減するために、導電性粉末としてAg、Cuを用いているのに対して、下層電極形成用の下層ペースト12ではマイグレーション耐性を高めるために、導電性粉末としてRuO2 、MoO2 、PdO3 、Mo、W、Ti、Au、Zn、Ni、Ag−Pt、Ag−Pdを用いていることである。
【0044】
上層電極形成用の上層ペースト13と下層電極形成用の下層ペースト12との第2の相違は、幅の広い下層電極上に幅が狭い上層電極が設けられる電極構造を1回のPR工程により形成するために、上層電極形成用のネガ型レジスト作用の上層ペースト13の光反応化合物が5wt%、光集合開始剤が1wt%であるのに対して、下層電極形成用のネガ型レジスト作用の下層ペースト12では光反応化合物を15wt%、光集合開始剤を2wt%と多くして、これにより、下層ペースト12への露光光の回り込みを大きくしたことである。
【0045】
図2は実施の形態のPDP30を示す平面図であり、中央の表示領域31を取り囲んだ周辺の接続端子形成領域32に図1による積層電極が形成される。
【0046】
図3はPDP30の接続端子形成領域32を拡大して、本発明の実施の形態の積層電極16,17にFPC21上の電極22を接続した状態を示した平面図であり、同図のA−A部の断面が図1(E)に相当する。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、1回のPR工程により、すなわち一括でパターニングすることにより、上層電極と上層電極よりも幅が広い下層電極とによる積層構造電極が形成される。したがって、下層電極に対して上層電極の位置あわせが不必要になり絶縁信頼性の高い電極構造を精度良く作製することが出来、かつ製造工数を低減することができる。
【0048】
また、上層電極が電気抵抗が低い導電性粉末を含有し、下層電極がマイグレーションに強い導電性粉末を含有することができる。したがって、電気抵抗が低減し、かつマイグレーション耐性を高めた電極構造を有するPDPを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を製造工程順に示した断面図である。
【図2】図1を適用するPDPを示した平面図である。
【図3】本発明の実施の形態の積層電極にFPCの電極を接続した状態を示した平面図である。
【図4】従来技術を製造工程順に示した断面図である。
【符号の説明】
11 ガラス基板
12 ネガ型導電性・感光性下層ペースト
13 ネガ型導電性・感光性上層ペースト
14 ガラスマスク
15 露光光
16 下層電極
17 上層電極
21 FPC
22 銅電極
23 ACF
30 PDP
31 表示領域
32 接続端子形成領域
41 ガラス基板
42 透明導電成膜
43 フォトレジスト
44 第1のガラスマスク
45 露光光
46 透明導電膜(下層電極)
47 銀膜
48 フォトレジスト
49 第2のガラスマスク
51 露光光
52 銀電極(上層電極)
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”) and a method for manufacturing the same, and in particular, in order to connect an electrode on an FPC (flexible printed circuit board) via an ACF (anisotropic conductive film). The present invention relates to a connection electrode drawn from the display area to the peripheral portion of the glass substrate and a method for manufacturing the connection electrode.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, Ag having a low resistance has been mainly used as a connection electrode of a PDP. However, this structure is a material that tends to cause migration under a high electric field, and preventing it was one of the problems.
[0003]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-297218 discloses a technique of providing a wide transparent electrode under a metal electrode.
[0004]
Hereinafter, a method of manufacturing the electrode structure of the publication will be described with reference to FIG. First, a glass substrate 41 subjected to substrate cleaning is prepared (FIG. 4A), a transparent conductive film 42 is formed (FIG. 4B), and a photoresist 43 is applied thereon and dried (FIG. 4B). FIG. 4 (C)).
[0005]
After drying, the first glass mask 44 is used to irradiate the exposure light 45 (FIG. 4D), develop, and pattern the resist. After the post-baking, the transparent conductive film 42 is selectively etched using the resist pattern as a mask, and the resist pattern is peeled off to form a transparent conductive film 46 as a lower layer electrode from the transparent conductive film 42 (FIG. 4 (E)).
[0006]
Next, a silver film 47 is formed on the transparent conductive film 46 which is the lower electrode, a photoresist 48 is applied thereon and dried, and the exposure light 51 is irradiated using the second glass mask 49 (FIG. 4 (F)), developing and patterning the resist.
[0007]
After the post-baking, the silver film 47 is selectively etched using the resist pattern as a mask, and the resist pattern is peeled off so that the silver electrode 52, which is an upper layer electrode having a narrower width than the lower layer electrode, is formed on the lower layer electrode 46. The film 47 is formed (FIG. 4G). In this way, the electrode terminal portion on the PDP side is formed.
[0008]
On the other hand, the FPC to be assembled with the module is first temporarily crimped with the ACF and finally crimped together with the PDP side electrode terminal portion, so that the silver electrode 52 as the upper layer electrode on the PDP side and the electrode on the FPC are electrically connected. Connected to.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, the prior art as shown in FIG. 4 requires the alignment of the upper layer electrode with respect to the lower layer electrode, and is limited by the alignment accuracy for maintaining a highly reliable structure. There is a problem of not.
[0010]
Therefore, the objective of this invention is providing the manufacturing method of PDP which can manufacture the said PDP with high precision.
[0011]
Another object of the present invention is to provide a PDP capable of sufficiently suppressing migration.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is directed to plasma in which the terminal connection portion has a laminated structure of a lower layer electrode and an upper layer electrode, and the lower layer electrode is formed wider than the upper layer electrode . According to a display panel , the upper electrode is formed from a first conductive / negative photosensitive film, while the lower electrode is formed from a second conductive / negative photosensitive film , and The second conductive / negative type photosensitive film is characterized by being superior in photosensitivity to the first conductive / negative type photosensitive film .
[0013]
Here, the the first conductive-negative photosensitive film is contained in the first conductive powder, and the the second conductive-negative photosensitive layer and the second conductive powder It is preferably contained. In this case, the first conductive powder is Ag or Cu or a powder of both, and the second conductive powder is RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni. , Ag-Pt, and Ag-Pd, one or a plurality of types of powders are preferable.
[0014]
In addition, the upper electrode of the terminal connection portion may be an electrode connected to an electrode on the FPC via an ACF.
[0015]
The invention described in claim 5 relates to a method of manufacturing a plasma display panel having a laminated electrode composed of a laminate of a lower layer electrode and an upper layer electrode, and has conductivity and negative photosensitivity in forming the laminated electrode. The paste for forming the upper layer electrode and the paste for forming the lower layer electrode having the same conductivity and negative photosensitivity and superior in photosensitivity than the paste for forming the upper layer electrode are used for forming the lower layer electrode. After applying and laminating on the substrate such that the paste is on the bottom and the paste for forming the upper layer electrode is on the top, the step shape of the wide lower electrode and the narrow upper layer electrode is performed by one PR process. The laminated electrode having a laminated structure is completed .
[0016]
Here, said paste for the upper electrode formation is contained in the first conductive powder, preferably in the paste for the lower electrode forming are contained in the second conductive powder.
In this case, the first conductive powder is Ag or Cu or a powder of both, and the second conductive powder is RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni. , Ag-Pt, and Ag-Pd, one or a plurality of types of powders are preferable.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention in the order of steps.
[0018]
First, in FIG. 1A, a glass substrate 11 subjected to substrate cleaning is prepared.
[0019]
Next, in FIG. 1 (B), a negative conductive / photosensitive lower layer paste 12 and a negative conductive / photosensitive upper layer paste 13 are laminated on the substrate 11 and dried. Here, the negative type conductive / photosensitive lower layer paste 12 has higher photosensitivity than the negative type conductive / photosensitive upper layer paste 13.
[0020]
Next, in FIG. 1C, a glass mask 14 is placed above the laminated paste and irradiated with exposure light 15. Since the negative conductive / photosensitive lower layer paste 12 has a strong photosensitivity, the negative conductive / photosensitive lower layer paste 12 wraps around the light shielding pattern of the mask 14 greatly. That is, the negative type conductive / photosensitive lower layer paste 12 has a larger oozing than the negative type conductive / photosensitive upper layer paste 13.
[0021]
Next, in FIG. 1D, development and drying are performed. In the process of FIG. 1C, the negative conductive / photosensitive lower layer paste 12 is exposed to a larger size than the negative conductive / photosensitive upper layer paste 13, so that it is wider than the upper layer electrode 17 and the upper layer electrode 17. A stepped laminated electrode having a lower layer electrode 16 is formed from a negative type conductive / photosensitive upper layer paste 13 and a negative type conductive / photosensitive lower layer paste 12.
[0022]
In this way, the electrode terminal portion on the PDP side is formed by one PR process according to (C) and (D). That is, both pastes are patterned at once.
[0023]
The upper electrode 17 has a thickness of 3 to 10 μm and a width W1 of 80 to 90 μm. The lower electrode 16 has a thickness of 3 to 10 μm and a width W2 of 90 to 100 μm, and protrudes by about 5 μm on one side from the upper electrode.
[0024]
Next, in FIG. 1 (E), the FPC to be assembled with the module on which the ACF is temporarily pressure-bonded is finally pressure-bonded together with the PDP side electrode terminal portion via the ACF 23, so that the PDP side upper layer electrode 17 and the FPC 21 are plated with gold. The copper electrode 22 is electrically connected.
[0025]
Here, the preparation and composition of the negative conductive / photosensitive upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode 17 will be exemplified.
[0026]
Gamma-butyrolactone and polymer binder are mixed and dissolved evenly. There, aminoacetophenone is added and dissolved evenly. It is filtered through a 400 mesh filter to produce an organic vehicle.
[0027]
Here, 70% methacrylic acid and 30% methyl methacrylate are used as the polymer binder.
[0028]
Moreover, 1,2,3-benzotriazole is dissolved in methyl acetate as a stabilizer for the conductive powder, and the conductive powder is added thereto, immersed for 12 hours, and then dried in a draft at 20 to 25 ° C. By conducting a triazole treatment by evaporating the solvent, a conductive powder surrounded by a stabilizer (stabilized) is produced.
[0029]
Here, a single metal Ag powder or Cu powder having low electric resistance is used as the conductive powder. Or both can be mixed and used.
[0030]
These conductive powders are characterized by an average particle size of 0.5-4 μm, a tap strength of 3-6 g / cm 2 , a spherical shape, a sphericity of 90% or more, and a non-area of 0.3-2. 5 m 2 / g.
[0031]
A glass frit is also prepared. This glass frit consists of 39 mol% zirconium oxide, 24 mol% boron oxide, 21 mol% silicon dioxide, 10 mol% lithium oxide, 3 mol% alumina, 3 mol% other oxides. Yes.
[0032]
Then, the above-mentioned stabilization treatment conductive powder, trimethylol / propane / triacrylate, CuO and the glass frit as a photoreactive compound are added to the organic vehicle so as to have a predetermined composition, and three rolls are added. The upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode is prepared by mixing and dispersing.
[0033]
The composition of the upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode is as follows: conductive powder is 70 wt%, polymer binder is 5 wt%, photoreactive compound is 5 wt%, glass frit is 2 wt%, photoinitiator is 1 wt%, stabilizer Is 1 wt% and thinner is 16 wt%.
[0034]
Next, the preparation and composition of the negative conductive / photosensitive lower layer paste 12 for forming the lower layer electrode 16 will be illustrated.
[0035]
Gamma-butyrolactone and polymer binder are mixed and dissolved evenly. There, aminoacetophenone is added and dissolved evenly. It is filtered through a 400 mesh filter to produce an organic vehicle.
[0036]
Here, 70% methacrylic acid and 30% methyl methacrylate are used as the polymer binder.
[0037]
Moreover, 1,2,3-benzotriazole is dissolved in methyl acetate as a stabilizer for the conductive powder, and the conductive powder is added thereto, immersed for 12 hours, and then dried in a draft at 20 to 25 ° C. By conducting a triazole treatment by evaporating the solvent, a conductive powder surrounded by a stabilizer (stabilized) is produced.
[0038]
Here, conductive oxides such as RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , single metals Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni, composite metals Ag—Pt, Ag—Pd, which have strong migration resistance as conductive powders. Of these powders, one kind or plural kinds of powders are used.
[0039]
These conductive powders are characterized by an average particle size of 0.5-4 μm, a tap strength of 3-6 g / cm 2 , a spherical shape, a sphericity of 90% or more, and a non-area of 0.3-2. 5 m 2 / g.
[0040]
A glass frit is also prepared. This glass frit consists of 39 mol% zirconium oxide, 24 mol% boron oxide, 21 mol% silicon dioxide, 10 mol% lithium oxide, 3 mol% alumina, 3 mol% other oxides. Yes.
[0041]
Then, the above-mentioned stabilization treatment conductive powder, trimethylol / propane / triacrylate, CuO and the glass frit as a photoreactive compound are added to the organic vehicle so as to have a predetermined composition, and three rolls are added. The upper layer paste 12 for forming the lower layer electrode is prepared by mixing and dispersing.
[0042]
The composition of the paste 12 for forming the lower layer electrode is that the conductive powder is 70 wt%, the polymer binder is 5 wt%, the photoreactive compound is 15 wt%, the glass frit is 2 wt%, the photoassembly initiator is 2 wt%, and the stabilizer is 1 wt% and thinner are 5 wt%.
[0043]
The first difference between the upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode and the lower layer paste 12 for forming the lower layer electrode is that the upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode has Ag and Cu as conductive powders in order to reduce electric resistance. In contrast, in the lower layer paste 12 for forming the lower layer electrode, in order to increase the migration resistance, RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni, Ag are used as the conductive powder. -Pt and Ag-Pd are used.
[0044]
The second difference between the upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode and the lower layer paste 12 for forming the lower layer electrode is that the electrode structure in which the narrow upper layer electrode is provided on the wide lower layer electrode is formed by one PR process. Therefore, the photoreactive compound of the upper layer paste 13 for forming the upper layer electrode is 5 wt% and the photoinitiator is 1 wt%, whereas the lower layer of the negative resist for forming the lower layer electrode is 1 wt%. In the paste 12, the photoreactive compound is increased to 15 wt% and the photo-assembly initiator is increased to 2 wt%, thereby increasing the exposure light to the lower layer paste 12.
[0045]
FIG. 2 is a plan view showing the PDP 30 according to the embodiment, in which the laminated electrodes shown in FIG. 1 are formed in the peripheral connection terminal forming region 32 surrounding the central display region 31.
[0046]
FIG. 3 is a plan view showing a state in which the connection terminal formation region 32 of the PDP 30 is enlarged and the electrode 22 on the FPC 21 is connected to the stacked electrodes 16 and 17 according to the embodiment of the present invention. A cross section of the A portion corresponds to FIG.
[0047]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a stacked structure electrode is formed by the upper layer electrode and the lower layer electrode wider than the upper layer electrode by one PR process, that is, by patterning all at once. Therefore, alignment of the upper layer electrode with respect to the lower layer electrode is unnecessary, and an electrode structure with high insulation reliability can be manufactured with high accuracy, and the number of manufacturing steps can be reduced.
[0048]
Further, the upper layer electrode can contain a conductive powder having a low electrical resistance, and the lower layer electrode can contain a conductive powder resistant to migration. Therefore, it is possible to obtain a PDP having an electrode structure with reduced electrical resistance and increased migration resistance.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention in the order of manufacturing steps.
FIG. 2 is a plan view showing a PDP to which FIG. 1 is applied.
FIG. 3 is a plan view showing a state in which an FPC electrode is connected to the laminated electrode according to the embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional technique in the order of manufacturing steps.
[Explanation of symbols]
11 Glass substrate 12 Negative conductive / photosensitive lower layer paste 13 Negative conductive / photosensitive upper layer paste 14 Glass mask 15 Exposure light 16 Lower layer electrode 17 Upper layer electrode 21 FPC
22 Copper electrode 23 ACF
30 PDP
31 Display region 32 Connection terminal formation region 41 Glass substrate 42 Transparent conductive film 43 Photoresist 44 First glass mask 45 Exposure light 46 Transparent conductive film (lower layer electrode)
47 Silver film 48 Photoresist 49 Second glass mask 51 Exposure light 52 Silver electrode (upper layer electrode)

Claims (7)

端子接続部が、下層電極と上層電極との積層構成からなると共に、前記下層電極が前記上層電極よりも広幅に形成されているプラズマディスプレイパネルであって
前記上層電極が、第1の導電性・ネガ型感光性膜から形成される一方、前記下層電極が、第の導電性・ネガ型感光性膜から形成され、かつ、該第2の導電性・ネガ型感光性膜が、前記第1の導電性・ネガ型感光性膜よりも感光性に優れていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
The terminal connection portion is a plasma display panel having a laminated configuration of a lower layer electrode and an upper layer electrode, wherein the lower layer electrode is formed wider than the upper layer electrode ,
The upper electrode is formed from a first conductive / negative photosensitive film, while the lower electrode is formed from a second conductive / negative photosensitive film , and the second conductive A plasma display panel characterized in that the negative photosensitive film has higher photosensitivity than the first conductive / negative photosensitive film .
前記第1の導電性・ネガ型感光性膜に第1の導電性粉末含有され、前記第2の導電性・ネガ型感光性膜に第2の導電性粉末含有されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。Wherein the first conductive-negative photosensitive film is contained in the first conductive powder, said the second conductive-negative photosensitive layer and the second conductive powder is contained The plasma display panel according to claim 1. 前記第1の導電性粉末はAg若しくはCu又はこの両者の粉末であり、前記第2の導電性粉末はRuO2 、MoO2 、PdO3 、Mo、W、Ti、Au、Zn、Ni、Ag−Pt、Ag−Pdのそれぞれの粉末のうち、1種類もしくは複数種類の粉末であることを特徴とする請求項2記載のプラズマディスプレイパネル。The first conductive powder is Ag or Cu, or a powder of both, and the second conductive powder is RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni, Ag— 3. The plasma display panel according to claim 2, wherein the powder is one kind or plural kinds of powders of Pt and Ag-Pd. 前記端子接続部では、前記上層電極フレキシブルプリント基板上の電極と異方性導電フィルムを介して接続される電極であることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。 In the terminal connecting portion, the plasma display panel of claim 1, wherein the pre-SL upper electrode is characterized in that the electrode that will be connected through the electrodes and the anisotropic conductive film on the flexible printed circuit board. 下層電極と上層電極との積層からなる積層電極を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記積層電極を形成するにあたり、
導電性・ネガ型感光性を有する上層電極形成用のペーストと、同じく導電性・ネガ型感光性を有し、かつ、該上層電極形成用のペーストよりも感光性に優れる下層電極形成用のペーストとを、
前記下層電極形成用のペーストが下となり、前記上層電極形成用のペーストが上となるように、基板上に塗布積層した後、
1回のPR工程により、幅広の前記下層電極と幅狭の前記上層電極との段状積層構成からなる前記積層電極を完成させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
A method for producing a plasma display panel having a laminated electrode comprising a laminate of a lower layer electrode and an upper layer electrode,
In forming the laminated electrode,
Paste for forming upper layer electrode having conductivity / negative type photosensitivity, and paste for forming lower layer electrode having same conductivity / negative type photosensitivity and superior in photosensitivity than paste for forming upper layer electrode And
After applying and laminating on the substrate so that the paste for forming the lower layer electrode is below and the paste for forming the upper layer electrode is on top,
A method of manufacturing a plasma display panel, comprising: completing a laminated electrode having a stepped laminated structure of a wide lower layer electrode and a narrow upper layer electrode by one PR process .
前記上層電極形成用のペーストには第1の導電性粉末含有され、前記下層電極形成用のペーストには第2の導電性粉末が含有されていることを特徴とする請求項5記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。Wherein the paste for the upper electrode formation is contained in the first conductive powder, plasma according to claim 5, wherein the paste for the lower electrode forming is characterized in that the second conductive powder is contained Display panel manufacturing method. 前記第1の導電性粉末はAg若しくはCu又はこの両者の粉末であり、前記第2の導電性粉末はRuO2 、MoO2 、PdO3 、Mo、W、Ti、Au、Zn、Ni、Ag−Pt、Ag−Pdのそれぞれの粉末のうち、1種類もしくは複数種類の粉末であることを特徴とする請求項記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。The first conductive powder is Ag or Cu, or a powder of both, and the second conductive powder is RuO 2 , MoO 2 , PdO 3 , Mo, W, Ti, Au, Zn, Ni, Ag— 7. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 6 , wherein one or a plurality of types of powders of Pt and Ag-Pd are used.
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