JP4100816B2 - Pellicle frame and pellicle using the same - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれた露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィー用のペリクルに用いられるペリクル枠およびこのペリクル枠を具備するペリクルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を照射してこれを透過した光によりパターンを転写すること、すなわちリソグラフィーが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような工程において露光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留りの低下をもたらすといった問題が生じる。
【０００４】
このような問題を回避するため、通常、リソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペリクルを装着する方法が採られている。
このようにペリクルを装着した場合、異物（ゴミ）は露光原版の表面には直接付着せずにペリクル膜上に付着する。したがって、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、このような異物（ゴミ）の存在は転写とは無関係となり、上述した問題が生じることはない。
【０００５】
このようなペリクルについて、図５を用いて簡単に説明する。
このペリクル１は、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されてなるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５を保護するためのセパレーター６が貼り付けられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記ペリクル１は、露光原版上に異物（ゴミ）が付着することを防止するために設けられるものであるから、ペリクル１が粘着層５により露光原版に装着された場合は、ペリクル外部の異物（ゴミ）がペリクル内に侵入しないように、通常ペリクルは露光原版に密着される必要がある。
しかしながら、ペリクル１を露光原版に接着する際にペリクルに加わる圧力が弱かったり不均一であったりした場合や、粘着層５の形成状態が悪い場合等の条件によっては、露光原版と粘着層５との間に隙間（以下、エアーパスと称することがある。）やエアー溜りが生じる場合がある。
【０００７】
このようなエアーパスが粘着層と露光原版の間に存在すると、そこからペリクル外部の空気が流入することになり、それに伴って外部の異物がペリクル内に侵入し露光原版上に付着するおそれがあるという問題が生じる。
また、エアー溜りがあると、経時的にエアー溜りが大きくなり、最終的にエアーパスとなって、上述と同様の問題点が生じる。
【０００８】
一方、このようなエアーパスやエアー溜りは、粘着層を厚く形成することにより防止できる。このため、通常粘着層は、ある程度の厚み、一般的には０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の厚みを持たせて形成される。
しかしながら、このように粘着層にある程度の厚みを持たせて形成した場合は、ペリクルを露光原版に密着させる場合に、この粘着層に加えられる圧力により粘着層が圧縮して厚みが変化する。このため、例えばペリクルを露光原版に密着させる際にペリクル枠に均一に力が加えられなかった場合等においては、ペリクルが露光原版に傾いて取りつけられ、ペリクル膜面が露光原版に対して傾いてしまい、ペリクル膜上の異物の検出が困難になる等の問題点を生じる。
【０００９】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、ペリクルを露光原版に貼り付ける際に、粘着層と露光原版との間にエアーパスやエアー溜りが生じず、かつ露光原版にペリクルを貼り付けた際、ペリクルのペリクル膜と露光原版との平行度が高い状態で貼り付けを行うことができるペリクル枠およびこのペリクル枠を具備するペリクルを提供することを主目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ペリクル枠の下端面に突出して形成され、かつペリクル枠の下端面側を下にしてペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜と前記露光原版とを平行に保つことができるように設けられた下端面凸部と、前記下端面凸部の頂面および側面の全部を覆い且つ前記ペリクル枠の下端面全面を覆う粘着層とを有するペリクル枠により上記目的を達成するようにした。
【００１１】
このように、本発明のペリクル枠はペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜をこの露光原版と平行に保つことができる下端面凸部を有するので、ペリクル枠下端面に粘着層を形成して露光原版と密着させる際に、ペリクル膜を露光原版と平行な状態で密着させることができる。
このようにペリクル膜を露光原版に平行な状態で密着させることにより、平行でない場合の種々の問題点、例えばペリクル膜上の異物の検出ができない等の問題点が生じることがない。
また、下端面全周にわたって下端面凹部が形成されているので、ペリクル枠下端面に粘着層を形成する際、下端面凸部の部分よりも厚い粘着層がペリク枠全周にわたって形成される。これにより、エアーパスやエアー溜りの発生を防止することができる。
【００１２】
この場合、下端面凸部がペリクル枠下端面全周にわたって設けられており、かつペリクル枠上端面からの距離が下端面凸部のいずれの場所でも一定であることが好ましい。
このように上端面からの距離が一定の下端面凸部をペリクル枠下端面全周にわたって設けることにより、露光原版上に粘着層により密着された場合に、安定してペリクル膜を露光原版と平行な状態で密着させることができる。
【００１３】
さらに、前記ペリクル枠下端面から前記下端面凸部の頂面までの距離が、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲内であることが好ましい。
下端面凸部と下端面との差を０．１ｍｍ以上とすることにより、エアーパスやエアー溜りの発生を防ぐという下端面の機能を効果的に発揮することができ、２．０ｍｍ以下とすることにより粘着層の形成を容易とし、また粘着層材料の無駄を防止することができるからである。
【００１４】
また、下端面凹部の内、ペリクル枠上端面からの距離が最も短い部分がペリクル枠下端面全周にわたって形成されていることが好ましい。
このように、ペリクル枠上端面からの距離が最も短い、すなわち高さの最も低い下端面凹部がペリクル枠下端面全周に形成されていることにより、この部分に粘着層を形成した場合に粘着層の一番厚い部分がペリクル枠下端面全周に形成されることになる。粘着層の厚い部分がエアーパスの発生防止の働きがあることから、ペリクル枠下端面全周にわたってエアーパスをより効果的に防止することができる。
【００１５】
そして、本発明に記載した発明は、上記ペリクル枠を具備したペリクルである。
上述したようなペリクル枠を有するペリクルは、上記ペリクル枠が有する効果、すなわちペリクルを露光原版に密着させた場合に、ペリクル膜を露光原版に水平に保ち、かつ粘着層と露光原版との間のエアーパスやエアー溜りの発生を防止するという効果を奏する。
【００１６】
このようなペリクルにおいては、上記下端面凸部上に粘着層が形成されていることが好ましい。
ペリクル枠下端面に粘着層を形成する際に、下端面凹部のみならず下端面凸部に粘着層を設けることにより、下端面全面に粘着層が形成されることになる。また、ペリクルを露光原版に密着させる場合に、下端面凸部上の粘着層も下端面凹部上の粘着層と同様に圧力を受けた状態で露光原版に接触する。これにより、露光原版と粘着層とをより完全に密着させることができ、露光原版と粘着層と間におけるエアーパスやエアー溜りの発生をより効果的に防止することができるからである。
【００１７】
この場合、上記下端面凸部上の粘着層が、０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍであることが好ましい。
下端面凸部上の粘着層を０．０５ｍｍ以上とすることにより、上述した粘着層を下端面凸部上に設けることにより得られる効果をより効果的に奏することができ、０．３ｍｍ以下とすることによりペリクルを露光原版に密着させた場合に露光原版とペリクル膜との平行度をより精度良く保つことができるからである。
【００１８】
さらに、前記下端面凹部の内、ペリクル枠上端面からの距離が最も短い部分上の粘着層の厚みが０．２ｍｍ以上であることが好ましい。
粘着層の厚みを０．２ｍｍ以上とすることにより、露光原版と粘着層との間のエアーパスやエアー溜りの発生をより効果的に防止することができるからである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明のペリクル枠は、ペリクル枠の下端面に、下端面凸部と下端面凹部とが形成されたところに特徴を有するものである。
【００２０】
上記本発明のペリクル枠に設けられた下端面凸部は、ペリクル枠の下端面側に突出して形成されたものであり、ペリクル枠の下端面側を下にしてペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜と上記露光原版とを平行に保つことができるように設けられたものである。すなわち、下端面凸部とは、ペリクル膜と露光原版とが平行となるようなペリクル枠下端面上の位置および高さで突出して形成された凸部である。
【００２１】
このような下端面凸部をペリクル枠の下端面に設けることにより、ペリクル枠下端面に粘着層を形成し、この粘着層によりペリクル枠を露光原版に密着させる際に、ペリクル枠上端面を露光原版に対して平行に保つことができる。これはすなわち、ペリクル枠上端面に接着されるペリクル膜を露光原版に対して水平に保つことができるのである。これにより、ペリクル膜が露光原版に対して水平でない場合に生じる種々の問題点、例えばペリクル膜上の異物の発見が困難になる等の問題点が生じないようにすることができる。
【００２２】
ここで、高さとはペリクル枠上端面からの距離を示すものとする。また、本発明においてペリクル枠の上端面とは、ペリクル膜が接着される側のペリクル枠の端面のことであり、ペリクル枠の下端面とは露光原版に密着する側のペリクル枠の端面を示すものである。さらに、露光原版とは、上述したようにフォトマスク、レチクル等を総称した意味として用いる。
【００２３】
本発明のペリクル枠に設けられる下端面凸部としては、種々の例があるが、例えば下端面全周に同じ高さで形成された凸部や、複数個の同じ高さの凸部を下端面に設けた場合等を挙げることができる。
なお、複数個の同じ高さの凸部を下端面に形成した場合でも、例えばペリクル枠が四辺形の場合でいずれの凸部もが一つの辺に形成されている場合等においては、露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面のペリクル膜が露光原版と平行を保つことができない。また、下端面全周にわたって凸部を形成したとしても、凸部の高さが異なる場合は露光原版とペリクル膜とを平行とすることができない場合がある。本発明のペリクル枠には、このような露光原版上に載置した際、露光原版とペリクル膜とを平行に保つことができないものは除かれる。
【００２４】
特に本発明における下端面凸部としては、下端面全周にわたって設けられ、かつ高さがいずれの場所でも一定であるものが好ましい。高さの一定な下端面凸部をペリクル枠の下端面全周に設けることにより、このペリクル枠を露光原版に密着させる場合に、ペリクル枠上端面に接着されるペリクル膜と露光原版との平行度を安定して保つことができるからである。
【００２５】
次に、本発明のペリクル枠の下端面に設けられる下端面凹部について説明する。
この下端面凹部は、上記下端面凸部よりペリクル枠上端面からの距離が短く、すなわち高さが低く、さらにペリクル枠の下端面全周に形成されたものである。
このような下端面凹部を設けることにより、ペリクル枠下端面に粘着層を形成する際に粘着層に厚みをもたせることができ、これにより粘着層を露光原版に密着させる際に、露光原版と粘着層との間のエアーパスやエアー溜りの発生を防止することができる。
【００２６】
この下端面凹部は、上記下端面凸部よりペリクル枠上端面からの距離が短い、すなわち高さが低いことが必要である。ペリクル枠下端面に粘着層を形成した際にこの下端面凹部の部分の粘着層に厚みを持たせるためである。
本発明においては、ペリクル枠上端面から下端面凸部までの距離と、ペリクル枠上端面から下端面凹部までの距離の差、すなわち高さの差が、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲内であることが好ましい。
下端面凸部と下端面凹部との高さの差を０．１ｍｍ以上とすることにより、ペリクル枠下端面に粘着層を形成した場合に、下端面凹部部分の方が０．１ｍｍ以上粘着層を厚く形成することができる。したがって、エアーパスやエアー溜りの発生を防ぐという下端面凹部の機能をより効果的に発揮することができる。また、２．０ｍｍ以下とすることにより粘着層の形成を容易とし、また粘着層材料、すなわち粘着剤の無駄を防止することができるからである。
【００２７】
さらに、この下端面凹部は、ペリクル枠下端面全周に設ける必要がある。
これは、エアーパスが粘着層のどこか一カ所でも起こってしまうとペリクルは不良となってしまうことから、粘着層が形成されるペリクル枠下端面全周にわたってエアーパスやエアー溜りの発生を防止することが必要である。このため、エアーパスやエアー溜りの発生を防ぐための下端面凹部はペリクル枠下端面全周に設ける必要があるのである。
【００２８】
ここで、この下端面凹部の内、ペリクル枠上端面からの距離が最も短い部分、すなわち高さの最も低い部分が、ペリクル枠下端面全周にわたって形成されることが好ましい。
この高さの最も低い部分が、ペリクル枠下端面に粘着層を形成した場合に粘着層が最も厚くなる部分となる。この粘着層が最も厚い部分が最もエアーパス等の発生防止効果がある。したがって、この最もエアーパス等の発生防止効果を有する粘着層の最も厚い部分を全周にわたって設けることにより、ペリクル枠下端面全周にわたってエアーパス等の発生をより効果的に防止することができる。
【００２９】
上述したような下端面凸部と下端面凹部とが形成された本発明のペリクル枠の形状は、特に限定されるものではなく、円形のものでも方形のものでもよい。
またその材質も特に限定されるものではなく、例えばアルミ材に陽極酸化処理を行ったもの、ステンレスなどの金属、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、アクリル樹脂、ポリエチレンなどの樹脂、青板ガラス等の材料を挙げることができる。
ペリクル枠表面については、通常サンドブラストや化学研磨によって粗化されるが、本発明においては、このペリクル枠表面の粗化の方法について特に限定されるものではない。例えば、アルミ材を使用した場合には、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行い表面を粗化する方法等が知られている。
【００３０】
以下、このような下端面凸部および下端面凹部を有するペリクル枠について、図１〜図４に示す具体例により説明する。
図１は、ペリクル枠２の下端面に下端面凸部７が下端面全周にわたって設けられた例を示すものである。この下端面凸部７は、ペリクル枠２の下端面の幅方向略中央のやや内側に形成さている。一方、下端面凹部８はこの下端面凸部７の内側と外側、すなわちペリクル枠２の下端面の内周側と外周側に全周にわたって設けられている。よって、この例では、下端面凹部８の高さが最も低い部分がペリクル枠下端面の全周にわたって設けられていることになる。
【００３１】
図２は、下端面凸部７がペリクル枠２の下端面全周にわたって設けられていない点で図１のペリクル枠とは異なるものである。このように下端面凸部７は必ずしも全周にわたって設けられる必要はなく、露光原版に載置した場合に露光原版とペリクル膜とが平行に保持することができるのであれば、このように複数の下端面凸部７とすることもできる。この他の例としては、例えば四辺形のペリクル枠の場合は、その四隅に同じ高さの下端面凸部を設ける等の例を挙げることができる。この例でも、下端面凹部８の高さが最も低い部分がペリクル枠２下端面全周にわたって設けられている。
【００３２】
図３は、下端面凸部７がペリクル枠２の下端面の最外周に形成されており、下端面凹部８がその内側に設けられた例である。この例では、下端面凹部８の高さがペリクル枠２の外周側から内周側にかけて低くなっており、最も高さの低い部分が最内周側となっている。
図４は、ペリクル枠２の下端面幅方向略中央に下端面凹部８が全周にわたって形成された例を示すものであり、下端面凸部７はこの下端面凹部の両側、すなわちペリクル枠２の内周側と外周側とに全周にわたって設けられている。
【００３３】
次に、このようなペリクル枠を具備する本発明のペリクルについて説明する。
本発明のペリクルは、上述した図５に示す従来のペリクルと同様に、ペリクル枠２に接着剤層４を介してペリクル膜３が張設されてなるもので、このペリクル枠２の下端面には粘着層５およびこの粘着層５を保護するためのセパレーター６が設けられている。
【００３４】
本発明のペリクルが従来のペリクルと異なるのは、ペリクル枠が上述したように下端面凸部と下端面凹部とを有する点にある。
本発明のペリクルは、この下端面凸部と下端面凹部を有するペリクル枠の下端面に粘着層が形成されたものである。この場合、一番高い位置にある下端面凸部に粘着層を設けずにそれ以外の場所、すなわち下端面凹部のみに粘着層を設けてペリクル枠と露光原版とを接着させることも可能である。しかしながら、下端面凹部のみならず下端面凸部にも粘着層を設けることにより、下端面全面に粘着層が形成されることになり、またペリクルを露光原版に密着させる場合に、下端面凸部上の粘着層も下端面凹部上の粘着層と同様に圧力を受けて露光原版に接触する。これにより、露光原版と粘着層とが下端面全面にわたって圧力を受けて接触することから、これらをより完全に密着させることができ、露光原版と粘着層と間におけるエアーパスやエアー溜りの発生をより効果的に防止することができる。したがって、この点を考慮した場合、下端面凸部上にも粘着層が形成されていることが好ましい。
【００３５】
この場合、上記下端面凸部上の粘着層が、０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍであることが好ましい。
下端面凸部上の粘着層を０．０５ｍｍ以上とすることにより、上述した粘着層を下端面凸部に形成する効果をより有効に奏することができるからであり、０．３ｍｍ以下とすることにより、ペリクルを露光原版に密着させた場合に露光原版とペリクル膜との平行度をより正確に保つことができるからである。
【００３６】
さらに、前記下端面凹部の内、ペリクル枠上端面からの距離が最も短い部分、すなわち最も低い部分上の粘着層の厚みが０．２ｍｍ以上であることが好ましい。
粘着層の厚みを０．２ｍｍ以上とすることにより、露光原版と粘着層との間のエアーパスやエアー溜りの発生をより効果的に防止することができるからである。
【００３７】
このように本発明のペリクルは、粘着層を設けるに際して、下端面凸部上の粘着層の薄い部分と下端面凹部上の粘着層の厚い部分との異なる厚みの粘着層を設けることができる。これによって、粘着層の薄い部分は、ペリクル膜と露光原版との平行度を比較的正確に保った状態で両者を貼り付けることを可能とし、粘着層の厚い部分は粘着層と露光原版との間のエアーパス等の発生を防止するという効果を有する。
【００３８】
また、ペリクル枠が上述したような下端面構造を有するので、粘着層に比較的柔らかい粘着剤を用いて貼付性を向上させていったとしても、従来のペリクルのように貼付時につぶれてしまい有効な粘着層の厚みが維持できなかったり、ペリクル膜の露光原版に対する平行度が失われたりすることがない。これは、ペリクル枠の下端面凸部上の粘着層の薄い部分がペリクル枠と露光原版との距離を一定に保つ働きがあるからである。
【００３９】
このような粘着層を形成する材料としては、本発明は特に限定されるものではないが、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、ニトリルゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤、クロロプレン系粘着剤等を挙げることができ、特に好ましくはシリコーン樹脂粘着剤、およびアクリル系粘着剤である。
【００４０】
この粘着層の表面には、この粘着層を保護するためのセパレーターが貼着されている。このようなセパレーターに用いられる材料としては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ＰＴＦＥ、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、塩化ビニル、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げることができる。
【００４１】
本発明のペリクルに用いられるペリクル膜を形成する材料としては、光をよく通過させる材料であれば特に限定されるものではないが、例えばニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどが好ましく、特に好ましくはフッ素系ポリマー、中でもテトラフルオロエチレンとフッ化ビニリデンとの共重合体、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとフッ化ビニリデンとの三元共重合体、テトラフルオロエチレンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モノマーとの共重合体、パーフルオロブテニルビニルエーテルの重合体等の非晶質フッ素系ポリマーが好ましい。
【００４２】
このような非晶質フッ素系ポリマーは、高い光線透過率を有しており、短波長から長波長領域まで広く使用することができ、耐光性も優れているからである。
市販されている非晶質フッ素系ポリマーとしては、サイトップ（旭硝子（株）製、商品名）、テフロンＡＦ（デュポン（株）製、商品名）等を挙げることができる。
これらのポリマーは、ペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系の溶媒などで適宜溶解した後、膜が形成される。
【００４３】
本発明においては、上記ペリクル膜をペリクル枠に接着するために、通常ペリクル枠の上端面に接着剤層が設けられる。
この接着剤層に用いられる接着剤の種類については、特に制限はなく、接着を加熱して行う場合は熱可塑性の樹脂や熱硬化性の樹脂が接着剤として用いられ、光硬化を利用して接着を行う場合は、光硬化型樹脂が接着剤として用いられる。
このような接着剤の例としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマー等を挙げることができ、中でもフッ素系ポリマーが好ましい。具体的には、フッ素系ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製、商品名）等を挙げることができる。
【００４４】
このような本発明のペリクルは、従来より行われている通常のペリクルの製造方法により製造することができる。
本発明のペリクルは、ペリクル枠下端面の形状を工夫することにより、ペリクルを露光原版に貼り付ける際の水平精度、貼付精度を容易に向上させ、製品間のばらつきを低減することができる。したがって、幅広い条件下でペリクルを露光原版に貼り付けても、従来のペリクルと比較してばらつきの少ない貼り付け結果を得ることができる。このため、工程管理上非常に有利な製品を作ることができる。
【００４５】
【実施例】
以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
（実施例１）
表面をアルマイト処理した、高さが６．１ｍｍ、幅２ｍｍ、端面の外周が１２０ｍｍ角で、下端面に図４に示すように幅方向の略中央に溝状の下端面凹部８が形成されたジュラルミン製のペリクル枠を用意した。この下端面凹部８（溝）の幅は１ｍｍ、深さは１．５ｍｍとした。
【００４６】
このペリクル枠下端面に粘着剤としてシリコーン粘着剤 Ｘ−４０−３０６８（信越化学工業（株）製、商品名）を用いて粘着層を形成した。この粘着層は、下端面凹部８の内周側および外周側に設けられた下端面凸部７からの厚みが０．２ｍｍ、下端面凹部８からの厚みが１．７ｍｍとなるように形成された。この粘着層の表面が平滑になるようにディスペンサーを用いて平滑になるようにした後、１２０℃、３０分間加熱により粘着剤をキュアして粘着層を形成した。
【００４７】
さらに、ペリクル枠上端面には、フッ素系の樹脂であるサイトップＣＴＸ−Ａタイプ（旭硝子社製、商品名）を厚みが０．１ｍｍとなるように塗布して接着剤層を形成した。
他方、フッ素樹脂であるサイトップＣＴＸ−Ｓタイプ（旭硝子社製、商品名）を用いて１．６２μｍの薄膜であるペリクル膜を形成した。このペリクル膜を、上記ペリクル枠の接着剤層上に１０８℃の温度で熱融着して接着させて張設してペリクルを形成した。
【００４８】
このペリクルをその粘着層がレチクルに接するように載置した後、ペリクル枠上端面に２０ｋｇの荷重を加え、ペリクルをレチクルに密着させた。
ペリクルの粘着層とレチクルとの界面を観察した結果、エアーパス等の隙間は存在しなかった。
接着後のレチクルからペリクル枠上端面までの高さを、４個のコーナーおよび各辺の中央の計８カ所で測定した。貼付時のばらつきをみるために、上記ペリクルを５個作成して、計５回観察・測定を行った。
結果を表１に示す。
【００４９】
【表１】

Figure 0004100816
【００５０】
表１の結果から明らかなように、高さのばらつきが非常に少ないという結果が得られ、ペリクル膜とレチクルの平行度が高いことが分かった。
【００５１】
（実施例２）
表面にアルマイト処理を施した、高さが５．８ｍｍ、幅２ｍｍ、端面の外周が１２０ｍｍ角で、下端面の４個のコーナー部分中央にそれぞれ１ｍｍφ、高さ０．３ｍｍの円柱状の突起（下端面凸部）が設けられているペリクル枠を用意した。なお、ここで突起（下端面凸部）以外のペリクル枠下端面が下端面凹部となる。
このペリクル枠を用いて、実施例１と同様の方法により５個のペリクルを作成した。粘着層の厚みは突起（下端面凸部）の部分で０．２ｍｍ、それ以外の部分（下端面凹部）で０．５ｍｍであった。
このようにして得たペリクルをレチクル上に載置して、実施例１と同様にして２０ｋｇの荷重をペリクル枠上端面に加え、ペリクルをレチクルに密着させた。
【００５２】
ペリクルの粘着層とレチクルとの界面を観察した結果、エアーパス等の隙間は存在しなかった。
レチクルに接着後のレチクルからペリクル枠上端面までの高さを、４個のコーナーおよび各辺の中央の計８カ所で測定した。
貼付時のばらつきをみるために、上記ペリクルを５個作成して、計５回観察・測定を行った。結果を表１にまとめる。
表１の結果から明らかなように、高さのばらつきが非常に少ないという結果が得られ、ペリクル膜とレチクルの平行度が高いことが分かった。
【００５３】
（実施例３）
実施例２と同様のペリクルを５個作成し、レチクルへの貼付条件を３０ｋｇ荷重にして同様の実験を行った。結果を表１にまとめる。
結果は表１に示すように、ペリクル枠上端面の高さに関しては、実施例２の結果と非常に近い値が得られた。
また、ペリクルの粘着層とレチクルとの界面を観察した結果、エアーパス等の隙間は存在しなかった。
【００５４】
（比較例１）
表面にアルマイト処理を施した、高さが５．８ｍｍ、幅２ｍｍ、端面の外周が１２０ｍｍ角のペリクル枠を用意した。実施例１と同様にしてペリクルを５個作成した。ただし、このペリクルのペリクル枠下端面に形成された粘着層の厚みは、０．５ｍｍで表面が平滑となるように仕上げた。
【００５５】
このペリクルをレチクル上に載置して、ペリクル枠上端面に２０ｋｇの荷重を加えて貼り付けた後、実施例１と同様にして高さを測定した。
表１に示すように、いくつかのサンプルでは高さのばらつきが大きいものが存在した。また、高さが全体的に実施例１と比較して低くなっており、粘着剤の沈み込み量も増加していた。
上記条件で貼り付けたペリクルは全て、レチクルと粘着層との間にエアーパス等の隙間は見られなかった。
【００５６】
（比較例２）
比較例１で作成したものと同じペリクルを５個作成した。このペリクルをレチクルに１０ｋｇの荷重で貼り付けた後、実施例１と同様にして高さを測定したところ、表１に示すようにいくつかのサンプルで高さのばらつきが存在した。
また、上記の条件で貼り付けたペリクルはすべて、粘着層とレチクルとの貼り付き幅が非常に細く、いくつかのサンプルではレチクルと粘着層との間にエアーパス等の隙間が見られた。
【００５７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００５８】
【発明の効果】
本発明は、ペリクル枠の下端面に突出して形成され、かつペリクル枠の下端面側を下にしてペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜と前記露光原版とを平行に保つことができるように設けられた下端面凸部と、この下端面凸部よりペリクル枠の上端面からの距離が短く、かつペリクル枠下端面の全周にわたって設けられた下端面凹部とを有するペリクル枠である。
【００５９】
このように、ペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜をこの露光原版と平行に保つことができる下端面凸部を有するので、ペリクル枠下端面に粘着層を形成して露光原版と密着させる際に、ペリクル膜を露光原版と平行な状態で密着させることができる。したがって、平行でない場合の種々の問題点、例えばペリクル膜上の異物の検出が困難になる等の問題点が生じることはない。
また、下端面全周にわたって下端面凹部が形成されているので、ペリクル枠下端面に粘着層を形成する際、下端面凸部の部分よりも厚い粘着層がペリク枠全周にわたって形成される。これにより、エアーパスやエアー溜りの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のペリクル枠の一例を示すもので、（ａ）はその概略底面図を、（ｂ）はその概略断面図を示す。
【図２】本発明のペリクル枠の他の例を示すもので、（ａ）はその概略底面図を、（ｂ）はその概略断面図を示す。
【図３】本発明のペリクル枠の他の例を示すもので、（ａ）はその概略底面図を、（ｂ）はその概略断面図を示す。
【図４】本発明のペリクル枠の他の例を示すもので、（ａ）はその概略底面図を、（ｂ）はその概略断面図を示す。
【図５】一般的なペリクルを示す断面図である。
【符号の説明】
１ … ペリクル、 ２ … ペリクル枠、 ３ … ペリクル膜、
４ … 接着剤層、 ５ … 粘着層、 ６ … セパレーター、
７ … 下端面凸部、 ８ … 下端面凹部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a pellicle used for a pellicle for lithography used as a dust prevention for an exposure original plate on which a pattern is drawn when performing lithography in manufacturing a semiconductor device such as LSI or VLSI or a liquid crystal display device. The present invention relates to a frame and a pellicle provided with the pellicle frame.
[0002]
[Prior art]
In the manufacture of semiconductor devices such as LSI and VLSI, or liquid crystal display devices, an exposure master (in this specification, photomask, reticle, etc. are used as a generic term) on a semiconductor wafer such as a silicon wafer or a liquid crystal master. ), And the exposure original plate is irradiated with light, and the pattern is transferred by the light transmitted therethrough, that is, lithography is performed.
[0003]
However, if foreign matter (dust) adheres to the exposure master in such a process, the foreign matter absorbs light or bends the light, so the pattern transferred onto the semiconductor wafer or liquid crystal master is deformed. In addition to having a rough edge, the white background is stained black and the dimensions, quality, appearance, etc. are impaired, resulting in a decrease in the performance and manufacturing yield of semiconductor devices and liquid crystal display devices. Problems arise.
[0004]
In order to avoid such problems, lithography is usually performed in a clean room. However, it is difficult to keep the exposure original completely clean even in a clean room. In view of this, a method of mounting a pellicle that transmits light for exposure well is employed so that foreign matter or the like does not adhere to the surface of the exposure original plate.
When the pellicle is thus mounted, the foreign matter (dust) does not directly adhere to the surface of the exposure original plate but adheres to the pellicle film. Therefore, if the focus is set on the pattern of the exposure original plate at the time of lithography, the presence of such foreign matter (dust) is irrelevant to the transfer, and the above-described problem does not occur.
[0005]
Such a pellicle will be briefly described with reference to FIG.
The pellicle 1 is generally composed of a pellicle frame 2 and a pellicle film 3 bonded to the upper end surface of the pellicle frame 2. This pellicle film 3 is usually bonded to the upper end surface of the pellicle frame 2 via an adhesive layer 4. An adhesive layer 5 is provided on the lower end surface of the pellicle frame 2 so that the pellicle 1 is in close contact with the exposure original plate, and a separator 6 for protecting the adhesive layer 5 is attached to the surface.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
The pellicle 1 is provided to prevent foreign matter (dust) from adhering to the exposure original plate. Therefore, when the pellicle 1 is attached to the exposure original plate by the adhesive layer 5, foreign matter (external to the pellicle ( Normally, the pellicle needs to be in close contact with the exposure original plate so that dust does not enter the pellicle.
However, depending on conditions such as when the pressure applied to the pellicle 1 is weak or non-uniform when the pellicle 1 is bonded to the exposure original plate, or when the formation state of the adhesive layer 5 is poor, the exposure original plate and the adhesive layer 5 There may be a gap (hereinafter sometimes referred to as an air pass) or air accumulation between the two.
[0007]
If such an air path exists between the pressure-sensitive adhesive layer and the exposure original plate, air outside the pellicle flows from there, and there is a possibility that an external foreign substance may enter the pellicle and adhere to the exposure original plate. The problem arises.
Further, if there is an air pool, the air pool increases with time, and eventually becomes an air path, causing the same problems as described above.
[0008]
On the other hand, such an air path or air pool can be prevented by forming the adhesive layer thick. For this reason, the adhesive layer is usually formed with a certain thickness, generally about 0.2 mm to 0.5 mm.
However, when the pressure-sensitive adhesive layer is formed to have a certain thickness as described above, when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate, the pressure-sensitive adhesive layer is compressed by the pressure applied to the pressure-sensitive adhesive layer to change the thickness. For this reason, for example, when a force is not uniformly applied to the pellicle frame when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate, the pellicle is attached to the exposure original plate and the pellicle film surface is inclined with respect to the exposure original plate. As a result, problems such as difficulty in detecting foreign matter on the pellicle film arise.
[0009]
The present invention has been made in view of the above problems, and when a pellicle is attached to an exposure original plate, no air path or air accumulation occurs between the adhesive layer and the exposure original plate, and the pellicle is attached to the exposure original plate. At this time, the main object is to provide a pellicle frame that can be attached in a state where the parallelism between the pellicle film of the pellicle and the exposure original plate is high, and a pellicle including the pellicle frame.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The present invention Bae A pellicle film formed to project from the lower end surface of the pellicle frame and stretched on the upper end surface of the pellicle frame when the pellicle frame is placed on the exposure original plate with the lower end surface side of the pellicle frame facing down; The lower end surface convex portion provided so that can be kept parallel, An adhesive layer that covers the entire top surface and side surfaces of the convex portion on the bottom surface and covers the entire bottom surface of the pellicle frame The above object is achieved by a pellicle frame having
[0011]
As described above, the pellicle frame of the present invention has the lower end surface convex portion that can keep the pellicle film stretched on the upper end surface of the pellicle frame parallel to the exposure original plate when the pellicle frame is placed on the exposure original plate. Therefore, when the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame and brought into close contact with the exposure original plate, the pellicle film can be brought into close contact with the exposure original plate.
By sticking the pellicle film in parallel with the exposure original plate in this way, various problems in the case where the pellicle film is not parallel, such as a problem that foreign matter on the pellicle film cannot be detected, do not occur.
Moreover, since the lower end surface recess is formed over the entire lower end surface, when the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame, an adhesive layer thicker than the lower end surface protrusion is formed over the entire periphery of the pellicle frame. Thereby, generation | occurrence | production of an air pass or an air pool can be prevented.
[0012]
in this case, under It is preferable that the end surface convex portion is provided over the entire circumference of the lower end surface of the pellicle frame, and the distance from the upper end surface of the pellicle frame is constant at any position of the lower end surface convex portion.
In this way, by providing the lower end surface convex portion having a constant distance from the upper end surface over the entire periphery of the lower surface of the pellicle frame, the pellicle film is stably parallel to the exposure original plate when closely adhered to the exposure original plate by the adhesive layer. Can be brought into close contact with each other.
[0013]
further, Said Pellicle frame under From the end surface to the lower end surface convex portion Top of Distance to But , Preferably in the range of 0.1 mm to 2.0 mm.
Lower end surface convexity and lower end surface When Lower end face that prevents the occurrence of air pass and air accumulation by making the difference of 0.1mm or more of This is because the function can be effectively exhibited, and by setting the thickness to 2.0 mm or less, formation of the adhesive layer can be facilitated, and waste of the adhesive layer material can be prevented.
[0014]
Also, under Of the end surface recesses, it is preferable that a portion having the shortest distance from the upper surface of the pellicle frame is formed over the entire periphery of the lower surface of the pellicle frame.
As described above, since the lower end surface recess having the shortest distance from the upper end surface of the pellicle frame, that is, the lowest height is formed on the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame, the adhesive layer is formed when an adhesive layer is formed on this portion. The thickest part of the layer is formed all around the lower end surface of the pellicle frame. Since the thick part of the adhesive layer has a function of preventing the occurrence of an air path, the air path can be more effectively prevented over the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame.
[0015]
And the present invention In The described invention is a pellicle provided with the pellicle frame.
The pellicle having the pellicle frame as described above has the effect of the pellicle frame, that is, when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate, the pellicle film is kept horizontal to the exposure original plate, and between the adhesive layer and the exposure original plate. The effect of preventing the occurrence of an air pass or air accumulation is achieved.
[0016]
In such a pellicle, Up It is preferable that an adhesive layer is formed on the lower end surface convex portion.
When the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame, the adhesive layer is formed on the entire lower end surface by providing the adhesive layer on the lower end surface convex portion as well as the lower end surface concave portion. Further, when the pellicle is brought into intimate contact with the exposure original plate, the adhesive layer on the lower end surface convex portion also comes into contact with the exposure original plate in a state where pressure is applied in the same manner as the adhesive layer on the lower end surface concave portion. This is because the exposure original plate and the pressure-sensitive adhesive layer can be more completely brought into close contact with each other, and the generation of an air path or air accumulation between the exposure original plate and the pressure-sensitive adhesive layer can be more effectively prevented.
[0017]
in this case, Up It is preferable that the pressure-sensitive adhesive layer on the lower end surface convex portion is 0.05 mm to 0.3 mm.
By making the adhesive layer on the lower end surface convex part 0.05 mm or more, the effect obtained by providing the above-mentioned adhesive layer on the lower end surface convex part can be more effectively exhibited, and 0.3 mm or less. This is because the parallelism between the exposure original plate and the pellicle film can be maintained with higher accuracy when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate.
[0018]
further, in front It is preferable that the thickness of the adhesive layer on the portion having the shortest distance from the upper end surface of the pellicle frame in the lower end surface recess is 0.2 mm or more.
This is because by setting the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to 0.2 mm or more, it is possible to more effectively prevent the occurrence of an air path or air accumulation between the exposure original plate and the pressure-sensitive adhesive layer.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.
The pellicle frame of the present invention is characterized in that a lower end surface convex portion and a lower end surface concave portion are formed on the lower end surface of the pellicle frame.
[0020]
The lower end surface convex portion provided on the pellicle frame of the present invention is formed to protrude toward the lower end surface side of the pellicle frame, and the pellicle frame is mounted on the exposure original plate with the lower end surface side of the pellicle frame facing down. The pellicle film stretched on the upper end surface of the pellicle frame and the exposure original plate are provided so as to be kept parallel when placed. That is, the lower end surface convex portion is a convex portion formed to protrude at a position and height on the lower surface of the pellicle frame such that the pellicle film and the exposure original plate are parallel to each other.
[0021]
By providing such a bottom surface protrusion on the bottom surface of the pellicle frame, an adhesive layer is formed on the bottom surface of the pellicle frame, and when the pellicle frame is brought into close contact with the exposure original plate by this adhesive layer, the top surface of the pellicle frame is exposed. It can be kept parallel to the original. That is, the pellicle film bonded to the upper end surface of the pellicle frame can be kept horizontal with respect to the exposure original plate. As a result, it is possible to prevent various problems that occur when the pellicle film is not horizontal with respect to the exposure original plate, such as difficulty in finding foreign matter on the pellicle film.
[0022]
Here, the height indicates a distance from the upper end surface of the pellicle frame. In the present invention, the upper end surface of the pellicle frame is an end surface of the pellicle frame on the side to which the pellicle film is bonded, and the lower end surface of the pellicle frame is an end surface of the pellicle frame on the side that is in close contact with the exposure original plate. Is. Further, the exposure original plate is used as a general term for a photomask, a reticle, and the like as described above.
[0023]
There are various examples of the lower end surface convex portion provided on the pellicle frame of the present invention. For example, a convex portion formed at the same height on the entire periphery of the lower end surface or a plurality of convex portions having the same height are provided below. The case where it provides in an end surface can be mentioned.
Even when a plurality of convex portions having the same height are formed on the lower end surface, for example, when the pellicle frame is a quadrilateral and all the convex portions are formed on one side, the exposure original plate When placed on the pellicle frame, the pellicle film on the upper end surface of the pellicle frame cannot be kept parallel to the exposure original plate. Even if the protrusion is formed over the entire periphery of the lower end surface, the exposure original plate and the pellicle film may not be parallel if the height of the protrusion is different. The pellicle frame of the present invention excludes those in which the exposure original plate and the pellicle film cannot be kept parallel when placed on such an exposure original plate.
[0024]
In particular, the lower end surface convex portion in the present invention is preferably provided over the entire periphery of the lower end surface and has a constant height at any location. When the pellicle frame is brought into close contact with the exposure original plate by providing a convex lower end surface convex portion having a constant height on the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame, the pellicle film bonded to the upper end surface of the pellicle frame is parallel to the exposure original plate. This is because the degree can be kept stable.
[0025]
Next, the lower end surface recess provided in the lower end surface of the pellicle frame of the present invention will be described.
This lower end surface concave portion is shorter than the lower end surface convex portion from the upper end surface of the pellicle frame, that is, has a low height, and is formed on the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame.
By providing such a bottom surface recess, it is possible to give the adhesive layer a thickness when forming the adhesive layer on the bottom surface of the pellicle frame, and thereby when the adhesive layer is brought into close contact with the exposure original plate, It is possible to prevent the occurrence of an air path or air accumulation between the layers.
[0026]
The lower end surface recess is required to have a shorter distance from the upper end surface of the pellicle frame than the lower end surface protrusion, that is, to have a low height. This is because when the pressure-sensitive adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame, the pressure-sensitive adhesive layer at the concave portion on the lower surface has a thickness.
In the present invention, the difference between the distance from the pellicle frame upper end surface to the lower end surface convex portion and the distance from the pellicle frame upper end surface to the lower end surface concave portion, that is, the difference in height is within the range of 0.1 mm to 2.0 mm. It is preferable that
When the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame by making the difference in height between the lower end surface convex portion and the lower end surface concave portion 0.1 mm or more, the lower end surface concave portion is 0.1 mm or more in the adhesive layer. Can be formed thick. Therefore, it is possible to more effectively exhibit the function of the concave portion on the lower end surface that prevents the occurrence of an air pass or air accumulation. Moreover, it is because formation of an adhesion layer can be made easy by setting it as 2.0 mm or less, and uselessness of an adhesion layer material, ie, an adhesive, can be prevented.
[0027]
Furthermore, this lower end surface recess needs to be provided on the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame.
This is because if the air pass occurs anywhere in the adhesive layer, the pellicle will be defective, so the air path and air accumulation will be prevented over the entire periphery of the bottom surface of the pellicle frame where the adhesive layer is formed. is required. For this reason, it is necessary to provide a lower end surface concave portion for preventing the occurrence of an air path and an air pool on the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame.
[0028]
Here, it is preferable that a portion of the lower end surface recess having the shortest distance from the upper end surface of the pellicle frame, that is, a portion having the lowest height is formed over the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame.
The lowest part is the part where the adhesive layer is thickest when the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame. The thickest part of the adhesive layer is the most effective in preventing the occurrence of an air path or the like. Therefore, by providing the thickest part of the pressure-sensitive adhesive layer having the most effective prevention of air path and the like over the entire circumference, it is possible to more effectively prevent the occurrence of an air path and the like over the entire circumference of the lower end surface of the pellicle frame.
[0029]
The shape of the pellicle frame of the present invention in which the lower end surface convex portion and the lower end surface concave portion as described above are formed is not particularly limited, and may be circular or rectangular.
The material is not particularly limited, for example, anodized aluminum, metal such as stainless steel, polyacetal, polycarbonate, polymethyl methacrylate (PMMA), acrylic resin, polyethylene resin, blue Materials such as plate glass can be mentioned.
The surface of the pellicle frame is generally roughened by sandblasting or chemical polishing, but in the present invention, the method for roughening the surface of the pellicle frame is not particularly limited. For example, when an aluminum material is used, a method of roughening the surface by blasting the surface with carborundum, glass beads or the like and further performing chemical polishing with NaOH or the like is known.
[0030]
Hereinafter, a pellicle frame having such a lower end surface convex portion and a lower end surface concave portion will be described with reference to specific examples shown in FIGS.
FIG. 1 shows an example in which a lower end surface convex portion 7 is provided on the lower end surface of the pellicle frame 2 over the entire lower end surface. The lower end surface convex portion 7 is formed slightly inside the width direction substantially center of the lower end surface of the pellicle frame 2. On the other hand, the lower end surface concave portion 8 is provided on the inner and outer sides of the lower end surface convex portion 7, that is, on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the lower end surface of the pellicle frame 2. Therefore, in this example, the part with the lowest height of the bottom surface recess 8 is provided over the entire periphery of the bottom surface of the pellicle frame.
[0031]
2 is different from the pellicle frame of FIG. 1 in that the lower end surface convex portion 7 is not provided over the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame 2. Thus, the lower end surface convex portion 7 does not necessarily have to be provided over the entire circumference. If the exposure original plate and the pellicle film can be held in parallel when placed on the exposure original plate, a plurality of the lower end surface convex portions 7 are thus formed. The lower end surface convex part 7 can also be used. As another example, for example, in the case of a quadrilateral pellicle frame, an example of providing lower end surface convex portions having the same height at the four corners can be given. Also in this example, a portion having the lowest height of the lower end surface recess 8 is provided over the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame 2.
[0032]
FIG. 3 is an example in which the lower end surface convex portion 7 is formed on the outermost periphery of the lower end surface of the pellicle frame 2 and the lower end surface concave portion 8 is provided on the inner side thereof. In this example, the height of the recess 8 on the lower end surface is reduced from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the pellicle frame 2, and the lowest part is the innermost peripheral side.
FIG. 4 shows an example in which the lower end surface concave portion 8 is formed over the entire circumference at the substantially center of the lower end surface width direction of the pellicle frame 2, and the lower end surface convex portion 7 is on both sides of the lower end surface concave portion, that is, the pellicle frame 2. Are provided over the entire circumference on the inner circumference side and the outer circumference side.
[0033]
Next, the pellicle of the present invention having such a pellicle frame will be described.
Like the conventional pellicle shown in FIG. 5 described above, the pellicle of the present invention has a pellicle film 3 stretched over an adhesive layer 4 on a pellicle frame 2. Is provided with an adhesive layer 5 and a separator 6 for protecting the adhesive layer 5.
[0034]
The pellicle of the present invention is different from the conventional pellicle in that the pellicle frame has a lower end surface convex portion and a lower end surface concave portion as described above.
In the pellicle of the present invention, an adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame having the lower end surface convex portion and the lower end surface concave portion. In this case, it is also possible to bond the pellicle frame and the exposure original plate by providing an adhesive layer only at the lower end surface concave portion without providing the adhesive layer at the lowermost surface convex portion at the highest position, that is, at the lower end surface concave portion. . However, by providing an adhesive layer not only on the bottom surface recess but also on the bottom surface projection, an adhesive layer is formed on the entire bottom surface, and when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate, the bottom surface projection The upper adhesive layer is also subjected to pressure in the same manner as the adhesive layer on the lower end surface recess and comes into contact with the exposure original plate. As a result, since the exposure original plate and the adhesive layer are in contact with each other under pressure across the entire lower end surface, they can be more completely adhered to each other, and the occurrence of an air path and air accumulation between the exposure original plate and the adhesive layer can be further increased. It can be effectively prevented. Therefore, in consideration of this point, it is preferable that an adhesive layer is also formed on the lower end surface convex portion.
[0035]
In this case, it is preferable that the adhesive layer on the convex part on the lower end surface is 0.05 mm to 0.3 mm.
It is because the effect which forms the adhesive layer mentioned above in a lower end surface convex part can be show | played more effectively by making the adhesive layer on a lower end surface convex part into 0.05 mm or more, and it shall be 0.3 mm or less. This is because, when the pellicle is brought into close contact with the exposure original plate, the parallelism between the exposure original plate and the pellicle film can be maintained more accurately.
[0036]
Furthermore, it is preferable that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer on the portion having the shortest distance from the upper end surface of the pellicle frame, that is, the lowest portion, of the lower end surface concave portion is 0.2 mm or more.
This is because by setting the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to 0.2 mm or more, it is possible to more effectively prevent the occurrence of an air path or air accumulation between the exposure original plate and the pressure-sensitive adhesive layer.
[0037]
Thus, when the pellicle of the present invention is provided with an adhesive layer, it is possible to provide an adhesive layer having a different thickness between a thin portion of the adhesive layer on the lower end surface convex portion and a thick portion of the adhesive layer on the lower end surface concave portion. As a result, the thin part of the adhesive layer can be attached with the parallelism between the pellicle film and the exposure original plate being relatively accurately maintained, and the thick part of the adhesive layer is formed between the adhesive layer and the exposure original plate. It has the effect of preventing the occurrence of an air path or the like.
[0038]
In addition, since the pellicle frame has the lower end surface structure as described above, even if the adhesive layer is improved by using a relatively soft adhesive, the pellicle frame is effectively crushed at the time of application like a conventional pellicle. The thickness of the adhesive layer cannot be maintained, and the parallelism of the pellicle film with respect to the exposure original plate is not lost. This is because the thin part of the adhesive layer on the bottom surface convex portion of the pellicle frame has a function of keeping the distance between the pellicle frame and the exposure original plate constant.
[0039]
As a material for forming such an adhesive layer, the present invention is not particularly limited, double-sided adhesive tape, silicone resin adhesive, acrylic adhesive, nitrile rubber adhesive, natural rubber adhesive, A chloroprene pressure-sensitive adhesive can be used, and a silicone resin pressure-sensitive adhesive and an acrylic pressure-sensitive adhesive are particularly preferable.
[0040]
A separator for protecting the adhesive layer is attached to the surface of the adhesive layer. Examples of the material used for such a separator include polyethylene terephthalate (PET), PTFE, phenol-formaldehyde resin (PFA), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), vinyl chloride, and polypropylene (PP). it can.
[0041]
The material for forming the pellicle film used in the pellicle of the present invention is not particularly limited as long as it is a material that allows light to pass well. For example, nitrocellulose, cellulose acetate, cellulose propionate, modified polyvinyl alcohol, fluorine Polymers etc. are preferred, particularly preferred are fluoropolymers, especially copolymers of tetrafluoroethylene and vinylidene fluoride, terpolymers of tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene and vinylidene fluoride, tetrafluoroethylene and Amorphous fluorine-based polymers such as a copolymer with a fluorine-containing monomer having a cyclic perfluoroether group and a polymer of perfluorobutenyl vinyl ether are preferred.
[0042]
This is because such an amorphous fluorine-based polymer has a high light transmittance, can be widely used from a short wavelength to a long wavelength region, and has excellent light resistance.
Examples of commercially available amorphous fluoropolymers include Cytop (Asahi Glass Co., Ltd., trade name), Teflon AF (DuPont Co., Ltd., trade name) and the like.
These polymers may be used after being dissolved in a solvent as required when preparing the pellicle film. For example, the film is formed after appropriately dissolving with a fluorine-based solvent or the like.
[0043]
In the present invention, in order to bond the pellicle film to the pellicle frame, an adhesive layer is usually provided on the upper end surface of the pellicle frame.
There are no particular restrictions on the type of adhesive used for this adhesive layer, and when bonding is performed by heating, a thermoplastic resin or a thermosetting resin is used as the adhesive, and light curing is used. In the case of bonding, a photocurable resin is used as an adhesive.
Examples of such adhesives include fluorine polymers such as acrylic resin adhesives, epoxy resin adhesives, silicone resin adhesives, and fluorine-containing silicone adhesives, among which fluorine polymers are preferred. Specific examples include fluorine polymer CT69 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name).
[0044]
Such a pellicle of the present invention can be produced by a conventional method for producing a pellicle.
In the pellicle of the present invention, by devising the shape of the lower end surface of the pellicle frame, the horizontal accuracy and the pasting accuracy when the pellicle is pasted to the exposure original plate can be easily improved, and variations between products can be reduced. Therefore, even if the pellicle is affixed to the exposure original plate under a wide range of conditions, it is possible to obtain an affixing result with less variation compared to the conventional pellicle. For this reason, a product which is very advantageous in terms of process management can be produced.
[0045]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples and comparative examples.
Example 1
The surface is alumite-treated, the height is 6.1 mm, the width is 2 mm, the outer periphery of the end surface is 120 mm square, and a groove-shaped lower end surface recess 8 is formed in the lower end surface at the approximate center in the width direction as shown in FIG. A duralumin pellicle frame was prepared. The width of the lower end surface recess 8 (groove) was 1 mm and the depth was 1.5 mm.
[0046]
An adhesive layer was formed on the lower end surface of the pellicle frame using a silicone adhesive X-40-3068 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as an adhesive. This adhesive layer is formed so that the thickness from the lower end surface convex portion 7 provided on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the lower end surface concave portion 8 is 0.2 mm, and the thickness from the lower end surface concave portion 8 is 1.7 mm. It was. After smoothing the surface of this adhesive layer using a dispenser, the adhesive was cured by heating at 120 ° C. for 30 minutes to form an adhesive layer.
[0047]
Further, Cytop CTX-A type (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), which is a fluorine-based resin, was applied to the upper end surface of the pellicle frame so as to have a thickness of 0.1 mm to form an adhesive layer.
On the other hand, a pellicle film which is a 1.62 μm thin film was formed using Cytop CTX-S type (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) which is a fluororesin. This pellicle film was heat-sealed and bonded at a temperature of 108 ° C. on the adhesive layer of the pellicle frame to form a pellicle.
[0048]
After the pellicle was placed so that the adhesive layer was in contact with the reticle, a load of 20 kg was applied to the upper end surface of the pellicle frame to bring the pellicle into close contact with the reticle.
As a result of observing the interface between the pellicle adhesive layer and the reticle, there was no gap such as an air path.
The height from the reticle after bonding to the upper end surface of the pellicle frame was measured at a total of eight locations, four corners and the center of each side. In order to see the variation at the time of pasting, five said pellicles were created and observed and measured 5 times in total.
The results are shown in Table 1.
[0049]
[Table 1]
Figure 0004100816
[0050]
As is clear from the results in Table 1, the results show that there is very little variation in height, indicating that the parallelism between the pellicle film and the reticle is high.
[0051]
(Example 2)
Columnar projections with alumite treatment on the surface, height 5.8mm, width 2mm, outer periphery of the end face 120mm square, 1mmφ and 0.3mm height each at the center of the four corners of the lower end face ( A pellicle frame provided with a lower end surface convex portion was prepared. Here, the lower end surface of the pellicle frame other than the protrusion (lower end surface convex portion) becomes the lower end surface concave portion.
Using this pellicle frame, five pellicles were produced in the same manner as in Example 1. The thickness of the adhesive layer was 0.2 mm at the protrusion (lower end surface convex portion), and 0.5 mm at the other portion (lower end surface concave portion).
The pellicle thus obtained was placed on the reticle, a 20 kg load was applied to the upper end surface of the pellicle frame in the same manner as in Example 1, and the pellicle was brought into close contact with the reticle.
[0052]
As a result of observing the interface between the pellicle adhesive layer and the reticle, there was no gap such as an air path.
The height from the reticle after bonding to the reticle to the upper end surface of the pellicle frame was measured at four corners and a total of eight locations at the center of each side.
In order to see the variation at the time of pasting, five said pellicles were created and observed and measured 5 times in total. The results are summarized in Table 1.
As is clear from the results in Table 1, the results show that there is very little variation in height, indicating that the parallelism between the pellicle film and the reticle is high.
[0053]
(Example 3)
Five pellicles similar to those in Example 2 were prepared, and the same experiment was performed under the condition of 30 kg load on the reticle. The results are summarized in Table 1.
The results are as shown in Table 1. As for the height of the pellicle frame upper end surface, a value very close to the result of Example 2 was obtained.
Further, as a result of observing the interface between the adhesive layer of the pellicle and the reticle, there was no gap such as an air path.
[0054]
(Comparative Example 1)
A pellicle frame having a height of 5.8 mm, a width of 2 mm, and an outer periphery of the end face of 120 mm square was prepared by anodizing the surface. Five pellicles were produced in the same manner as in Example 1. However, the thickness of the adhesive layer formed on the lower end surface of the pellicle frame of this pellicle was 0.5 mm, and the surface was finished to be smooth.
[0055]
The pellicle was placed on the reticle and a 20 kg load was applied to the upper end surface of the pellicle frame, and the height was measured in the same manner as in Example 1.
As shown in Table 1, some samples had large variations in height. Moreover, the height was lower as compared with Example 1 as a whole, and the amount of adhesive subsidence also increased.
In all of the pellicles attached under the above conditions, there was no gap such as an air path between the reticle and the adhesive layer.
[0056]
(Comparative Example 2)
Five pellicles the same as those prepared in Comparative Example 1 were prepared. After the pellicle was affixed to the reticle with a load of 10 kg, the height was measured in the same manner as in Example 1. As shown in Table 1, there were variations in height among several samples.
Further, all the pellicles attached under the above conditions had a very narrow attachment width between the adhesive layer and the reticle, and in some samples, a gap such as an air path was observed between the reticle and the adhesive layer.
[0057]
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0058]
【The invention's effect】
The present invention relates to a pellicle film formed to protrude from the lower end surface of the pellicle frame and stretched on the upper end surface of the pellicle frame when the pellicle frame is placed on the exposure original plate with the lower end surface side of the pellicle frame facing down. The lower end surface convex portion provided so as to be able to keep the exposure original plate in parallel, the distance from the upper end surface of the pellicle frame is shorter than the lower end surface convex portion, and is provided over the entire circumference of the pellicle frame lower end surface. And a pellicle frame having a lower end surface recess.
[0059]
Thus, when the pellicle frame is placed on the exposure original plate, the pellicle film stretched on the upper end surface of the pellicle frame has a lower end surface convex portion that can be kept parallel to the exposure original plate. When the adhesive layer is formed on and adhered to the exposure original plate, the pellicle film can be adhered in a state parallel to the exposure original plate. Therefore, various problems that are not parallel, for example, problems such as difficulty in detecting foreign matter on the pellicle film do not occur.
Moreover, since the lower end surface recess is formed over the entire lower end surface, when the adhesive layer is formed on the lower end surface of the pellicle frame, an adhesive layer thicker than the lower end surface protrusion is formed over the entire periphery of the pellicle frame. Thereby, generation | occurrence | production of an air pass or an air pool can be prevented.
[Brief description of the drawings]
1A and 1B show an example of a pellicle frame of the present invention, in which FIG. 1A is a schematic bottom view thereof, and FIG. 1B is a schematic cross-sectional view thereof.
2A and 2B show another example of the pellicle frame of the present invention. FIG. 2A is a schematic bottom view thereof, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view thereof.
3A and 3B show another example of the pellicle frame of the present invention. FIG. 3A is a schematic bottom view thereof, and FIG. 3B is a schematic cross-sectional view thereof.
4A and 4B show another example of the pellicle frame of the present invention, in which FIG. 4A is a schematic bottom view thereof, and FIG. 4B is a schematic cross-sectional view thereof.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a general pellicle.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Pellicle, 2 ... Pellicle frame, 3 ... Pellicle membrane,
4 ... Adhesive layer, 5 ... Adhesive layer, 6 ... Separator,
7 ... Lower end surface convex portion, 8 ... Lower end surface concave portion.

Claims (5)

ペリクル枠の下端面に突出して形成され、かつペリクル枠の下端面側を下にしてペリクル枠を露光原版上に載置した際にペリクル枠上端面に張設されるペリクル膜と前記露光原版とを平行に保つことができるように設けられた下端面凸部と、前記下端面凸部の頂面および側面の全部を覆い且つ前記ペリクル枠の下端面全面を覆う粘着層とを有することを特徴とするペリクル枠。A pellicle film formed to protrude from the lower end surface of the pellicle frame and stretched on the upper end surface of the pellicle frame when the pellicle frame is placed on the exposure original plate with the lower end surface side of the pellicle frame facing down; And a pressure-sensitive adhesive layer that covers the entire top surface and side surfaces of the bottom surface convex portion and covers the entire bottom surface of the pellicle frame. Pellicle frame. 前記下端面凸部がペリクル枠下端面全周にわたって設けられており、かつペリクル枠上端面からの距離が下端面凸部のいずれの場所でも一定であることを特徴とする請求項１記載のペリクル枠。  2. The pellicle according to claim 1, wherein the lower end surface convex portion is provided over the entire periphery of the lower end surface of the pellicle frame, and the distance from the upper end surface of the pellicle frame is constant at any position of the lower end surface convex portion. frame. 前記ペリクル枠下端面から前記下端面凸部の頂面までの距離が、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル枠。 The distance from the pellicle frame lower end face to the top surface of the lower end surface protrusions, the pellicle frame according to claim 1 or claim 2, characterized in that in the range of 0.1Mm～2.0Mm. 請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のペリクル枠を具備することを特徴とするペリクル。A pellicle comprising the pellicle frame according to any one of claims 1 to 3 . 前記下端面凸部上の粘着層が、０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項４記載のペリクル。The pellicle according to claim 4, wherein the pressure-sensitive adhesive layer on the lower end surface convex part is 0.05 mm to 0.3 mm.
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