JP4073271B2

JP4073271B2 - Sample holder support device

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Publication number: JP4073271B2
Application number: JP2002237025A
Authority: JP
Inventors: 俊二出口
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2002-08-15
Filing date: 2002-08-15
Publication date: 2008-04-09
Anticipated expiration: 2022-08-15
Also published as: JP2004079313A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷電粒子線装置の試料ホルダ支持装置に関し、特に、試料傾斜時の試料の観察部分の移動量（像逃げ）を少なくした試料ホルダ支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
次の図面により透過型電子顕微鏡の従来例について説明する。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【０００３】
（従来例１）
図５は荷電粒子線装置で使用されている試料ホルダ支持装置の従来例１の説明図で、比較的小型の試料ホルダ支持装置の要部平断面図である。
図５において、透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）０１は、内部を真空に保持される鏡筒０２を有し、鏡筒０２の前側部分（Ｘ側部分）にはブロック貫通孔０２ａが形成され、後側部分（−Ｘ側部分）にはゴニオメータ装着孔０２ｂが形成されている。鏡筒０２上端部（Ｚ軸方向上端部）に配置した電子銃（図示せず）から下方（−Ｚ方向）に出射される電子ビームの中心線に沿ってＺ軸が設定される。電子ビームは収束レンズ（図示せず）により収束位置Ｆ１に配置された試料を透過してから結像レンズ（図示せず）により鏡筒０２下端部の撮像位置（図示せず）に結像する。撮像位置には撮像装置が配置されており、撮像した顕微鏡画像は図示しないディスプレイで観察することができる。
【０００４】
鏡筒０２により位置調節可能に支持されたステージＧＳは、水平面内（ＸＹ平面内）で移動可能なステージ本体０３を有しており、ステージ本体０３には上下方向に延びるＺ軸（上下軸）に沿った荷電粒子ビームの通路が形成されている。ステージ本体０３の前部（Ｘ側部分）にはピボット軸受０４を収容するＸ軸方向に延びるピボット軸受収容孔０３ａが形成されている。ピボット軸受０４は複数のバネを介して、ピボット軸受収容孔０３ａ内に移動可能に支持されている。ステージ本体０３の後部（−Ｘ側部分）には円筒部０３ｂが形成されており、円筒部０３ｂは前記ゴニオメータ装着孔０２ｂを貫通して鏡筒０２の後側に突出している。円筒部０３ｂの内端部（Ｘ端部）には軸受用球面０３ｃが形成されており、前記軸受用球面０３ｃの球面中心Ｏは円筒部０３ｂの軸線上に配置されている。
前記ステージ本体０３の前端部（Ｘ側端部）にはブロック０６が連結されている。ブロック０６は前記ブロック貫通孔０２ａを貫通して鏡筒０２の外部に突出している。前記ブロック０６は前後方向（Ｘ軸方向）に位置調節可能なホルダ位置決め部材０７を支持しており、前記ホルダ位置決め部材０７は、前記ピボット軸受０４の前端の位置決めを行うために前記ピボット軸受０４の前端（Ｘ端）に当接している。
【０００５】
前記符号０３〜０７で示された要素によりステージＧＳが構成されており、前記ステージＧＳは前記鏡筒０２にＸＹ面内で移動可能に支持されている。
前記鏡筒０２には４本の位置調節用スクリュー０８が貫通して支持されており、前記位置調節用スクリュー０８の先端部には球０８ａが装着されている。前記位置調節用スクリュー０８を鏡筒０２外部から回転させて進退移動させることにより、前記ステージＧＳのＸＹ面内の位置を調節することができる。
【０００６】
前記ステージＧＳの円筒部０３ｂの後部（−Ｘ側部分）には軸受部材０１０が装着されており、軸受部材０１０は前後方向（Ｘ軸方向）に延びる軸受孔０１０ａを有する。前記軸受孔０１０ａには回転部材０１１が回転可能に支持されている。
前記回転部材０１１にはＸ軸方向に延びる貫通孔０１１ａが形成されている。貫通孔０１１ａを貫通する筒状のホルダ装着部材０１２の内端部の外側面には球面０１２ａが形成されている。前記ホルダ装着部材０１２の球面０１２ａは前記軸受用球面０３ｃにより、球面中心Ｏ回りに回動可能に支持されている。また、ホルダ装着部材０１２には円筒状のホルダ装着孔０１２ｂが形成されている。
【０００７】
前記ホルダ装着部材０１２のホルダ装着孔０１２ｂには円筒状外周面を有する試料ホルダＨが嵌合状態でスライド可能に装着されており、前記ホルダ装着孔０１２ｂの軸と試料ホルダＨの軸とは一致している。したがって、ホルダ装着部材０１２の軸を傾斜させることにより、試料ホルダＨの軸を傾斜させることができるようになっている。試料ホルダＨはその外端部に作用する大気圧により常時内方（Ｘ方向）に押圧されている。この試料ホルダＨの内端に当接する前記ピボット軸受０４のＸ軸方向の位置を調節することにより、試料ホルダＨのＸ軸方向の位置決めが行われる。
前記回転部材０１１の外周面にはギヤ０１１ｃが形成されている。前記ギヤ０１１ｃに噛み合う図示しないウォームギヤを回転させることにより、回転部材０１１はＸ軸回りに回転する。前記ホルダ装着部材０１２および試料ホルダＨも、前記回転部材０１１と一体的に回転して、Ｘ軸回りの回転位置が調節される。試料ホルダＨの回転により、試料ホルダＨの内端部に保持された試料はＸ軸回りに傾斜（回転）する。
【０００８】
前記回転部材０１１には、Ｙ軸方向押圧部材０１３およびＹ軸方向位置調節用スクリュー０１４が互いに対向する位置に支持されており、それらの先端は、ホルダ装着部材０１２の筒状の外側面に当接している。前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー０１４の先端の位置を調節することにより、前記ホルダ装着部材０１２を前記球面中心Ｏ回りに左右方向（Ｙ軸方向）に旋回させることができる。このとき、試料ホルダＨの内端部のＹ軸方向の位置を調節することができる。
なお詳細は省略するが、前記ホルダ装着部材０１２を前記球面中心Ｏ回りにＺ軸方向（上下方向）に回動させることにより、試料ホルダＨの内端部のＺ軸方向の位置を調節することができるように構成されている。試料ホルダＨの内端部のＺ軸方向の位置を調節する機構は従来公知（特開２０００−２６８７５８号公報参照）である。
【０００９】
前記試料ホルダＨの内端部のＸ軸方向の位置は前記ホルダ位置決め部材（Ｘ軸方向位置決め部材）０７をＸ軸方向に位置調節することにより位置決めされ、Ｙ軸方向の位置はＹ軸方向位置調節用スクリュー０１４により位置決めされる。したがって、前記試料ホルダＨの内端部に保持された試料は、前記ホルダ位置決め部材０７および前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー０１４により、電子ビームの通路上（Ｚ軸上）の位置（試料観察位置）に配置することができる。なお、電子ビームのＺ軸上の収束位置Ｆ１は図示しない電子レンズに印加する電流を調節することにより調節される。
前記試料観察位置に配置した試料を傾斜させる場合には、回転部材０１１を回転させることにより、回転部材０１１、ホルダ装着部材０１２および円筒状外周面を有する試料ホルダＨを同時に回転させる。このとき、円筒状の試料ホルダＨの内端部に保持された試料は傾斜する。
前記符号０１０〜０１４等で示す要素により前記試料ホルダＨのＸ軸回りの傾斜および前記球面中心Ｏ回りのＹ軸方向およびＺ軸方向の傾斜を行うゴニオメータＧＭが構成されている。
【００１０】
回転部材０１１の中心線と試料ホルダＨの中心線（ホルダ軸）とが一致している場合には、前記試料の傾斜時に、試料の観察位置（電子ビームが照射されている位置）は傾斜するだけで移動しない。しかしながら、前記試料の傾斜時に、回転部材０１１の中心線と試料ホルダＨの中心線とが一致していない場合には、試料の観察位置は移動して視野から外れる。
したがって、試料を傾斜させる場合には、次の条件（ａ），（ｂ）を満たすことが必要となる。
（ａ）回転部材０１１の中心線と試料ホルダＨの中心線とが一致しなければならない。
（ｂ）前記回転部材０１１および試料ホルダＨの中心線が光軸（電子ビームの通路、すなわち、Ｚ軸）と垂直に交差しなければならない。
【００１１】
前記図５に示す試料ホルダ支持装置の従来例１では、前記ステージ本体０３に円筒部０３ｂおよび軸受用球面０３ｃを同時に加工することにより、前記ステージ本体０３の円筒部０３ｂの軸線上に軸受用球面０３ｃの球面中心Ｏを配置している。前記円筒部０３ｂに装着する軸受部材０１０の軸受孔０１０ａの中心線は前記円筒部０３ｂの中心線と一致するので、軸受部材０１０の軸受孔０１０ａの中心線上に前記球面中心Ｏが配置される。さらに、前記軸受部材０１０に支持された回転部材０１１の中心線は前記球面中心Ｏを通るように配置され、且つ、前記試料ホルダＨの軸は前記球面中心Ｏを通るように配置される。
したがって、前記球面中心Ｏ回りに、前記ホルダ装着部材０１２をＹ軸方向およびＺ軸方向に回動させることにより、ホルダ装着部材０１２に装着された試料ホルダＨの軸を前記回転部材０１１の軸と一致させることができる。すなわち、前記条件（ａ）を満たすことができる。
また、前記試料ホルダＨおよび前記回転部材０１１の軸が一致した状態で、前記４個の位置調節用スクリュー０８を調節して、ステージＧＳを移動させることにより前記条件（ｂ）を満たすことができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前記図５に示すゴニオメータＧＭを使用した試料ホルダ支持装置の従来例１では、ステージＧＳおよび前記ステージに装着されたゴニオメータＧＭを一体的に移動させる必要がある。このため前記図５の試料ホルダ支持装置は、荷電粒子線装置が小型の装置である場合には、使用可能である。しかしながら、荷電粒子線装置が大型の透過型電子顕微鏡装置の場合等には、移動させる部材の重量が大きいので、使用することが困難である。
図６は荷電粒子線装置で使用されている試料ホルダ支持装置の従来例２の説明図で、比較的大型の試料ホルダ支持装置の要部平断面図である。
図７は前記図６のＶII−ＶII線断面図である。
図６、図７に示した従来の試料ホルダ支持装置の説明において、前記図５に示した要素に対応する要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００１３】
この図６、図７に示す試料ホルダ支持装置の従来例２は、下記の点で前記図５に示す従来例１と相違しているが、他の点では前記従来例１と同様に構成されている。
図６、図７において、鏡筒０２の前部にはブロック貫通孔０２ａが形成され、後部にはゴニオメータ装着孔０２ｂが形成されている。
ステージ本体０３は前記鏡筒０２内部に固定支持されている。ステージ本体０３の前部（Ｘ側部分）にはブロック０６が固定されており、ブロック０６は前記鏡筒０２のブロック貫通孔０２ａを貫通している。ステージ本体０３の後部（−Ｘ側部分）には球面軸受収容孔０３ｄが形成されている。球面軸受収容孔０３ｄに収容された球面軸受０５は、下方（−Ｚ方向）に突出する旋回軸０５ａ（図７参照）により旋回中心Ｏ２（図６参照）回りに旋回可能に支持されている。前記球面軸受０５の後端部（−Ｘ端部）は前記円筒状の球面軸受支持部材０９の内周面に装着されたＯリングにより、前記旋回軸０５ａ回りに旋回可能に保持されている。
【００１４】
前記図６、図７に示す試料ホルダ支持装置の従来例２は、球面軸受０５を旋回中心Ｏ２（旋回軸０５ａの平面図（図６）での位置）回りに旋回させることにより球面軸受０５の球面中心Ｏ１の位置を変更できる。しかしながら、回転部材０１１の軸の位置をＹ軸方向に調節することができないので、平面図（図６参照）において、Ｚ軸、Ｏ１，Ｏ２を一直線上に配置することができない。また、側面図（図７参照）において、前記回転部材０１１の軸線上から前記球面軸受０５の球面中心Ｏ１がずれて構成された場合、前記回転部材０１１および前記球面軸受０５の位置を調節できないので、前記回転部材０１１の軸線上に前記球面軸受０５の球面中心Ｏ１を配置するように調節することもできない。
したがって、図６、図７に示す従来例２では、平面図および側面図の両方において、前記回転部材０１１の軸線上に前記球面軸受０５の球面中心Ｏ１を配置することができず、また、平面図において、前記Ｚ軸および球面中心Ｏ１を結ぶ直線と前記回転部材０１１の軸線とを一致させることも不可能である。このため、前記回転部材０１１を回転させて試料ホルダＨをその軸回りに回転させたときに、Ｚ軸上の試料観察部分が視野から大きく逃げる。
【００１５】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。
（Ｏ01）前記試料ホルダＨをその軸回りに回転させたときのＺ軸上の試料観察部分が視野から逃げる量を少なくすることが可能な、構成が簡単なホルダ支持装置を提供すること。
（Ｏ02）Ｚ軸に沿う荷電粒子線に垂直な平面図において、前記試料ホルダの回動中心である球面軸受の球面中心Ｏ１とＺ軸とを結ぶ直線と、前記回転部材０１１の軸線とを一致させることが可能な試料ホルダ支持装置を提供すること。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１７】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明の試料ホルダ支持装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ06）を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）直交するＸ軸およびＹ軸に垂直なＺ軸に沿う荷電粒子ビームの通路を囲む鏡筒（２）に固定されたゴニオ装着用ステージ（ＧＳ）であって、Ｘ軸方向に延び且つ前記鏡筒（２）の内外を連通させるゴニオメータ装着孔（２ｂ）と、前記ゴニオ装着用ステージ（ＧＳ）とは別体に構成され且つ前記ゴニオメータ装着孔（２ｂ）の内端部に支持された球面軸受（８）とを有するゴニオ装着用ステージ（ＧＳ）、
（Ａ02）ＸＹ平面に垂直な旋回軸（８ａ）回りに旋回可能に支持され且つ旋回時に球面中心（Ｏ１）がＸＹ平面内で移動可能に支持された前記球面軸受（８）、
（Ａ03）前記ゴニオメータ装着孔（２ｂ）の外端部に支持され且つ前記Ｘ軸方向に延びる軸受孔（１６ａ）を有する軸受部材（１６）と、前記軸受孔（１６ａ）により回転可能に支持され且つホルダ装着部材貫通孔（２１ｂ）を有する回転部材（２１）と、前記ホルダ装着部材貫通孔（２１ｂ）を貫通して配置され且つ内端部が前記球面軸受（８）に回動可能に支持されるとともに試料ホルダ（Ｈ）が着脱可能に装着されるホルダ装着孔（２２ａ）を有するホルダ装着部材（２２）と、前記ホルダ装着部材（２２）の外端部を前記Ｙ軸方向に位置調節するＹ軸方向位置調節部材（３４）と、前記Ｚ軸方向に位置調節するＺ軸方向位置調節部材（２８）とを備えたゴニオメータ（ＧＭ）、
（Ａ04）前記Ｙ軸方向に位置調節可能に支持された前記軸受部材（１６）、
（Ａ05）前記旋回軸（８ａ）回りに前記球面軸受（８）の旋回位置を調節する球面軸受位置調節部材（１４）、
（Ａ06）前記軸受部材（１６）を前記Ｙ軸方向に位置調節する軸受位置調節部材（４１，４２）。
【００１８】
（本発明の作用）
前述の特徴を備えた本発明の荷電粒子線装置では、直交するＸ軸およびＹ軸に垂直なＺ軸に沿う荷電粒子ビームの通路を囲む鏡筒（２）にはゴニオ装着用ステージ（ＧＳ）が固定される。ゴニオメータ装着孔（２ｂ）は、Ｘ軸方向に延び且つ前記鏡筒（２）の内外を連通させる。前記ゴニオメータ装着孔（２ｂ）の内端部に支持された球面軸受（８）は、前記ゴニオ装着用ステージ（ＧＳ）とは別体に構成され、ＸＹ平面に垂直な旋回軸（８ａ）回りに回転可能であり、回転時に球面中心（Ｏ１）がＸＹ平面内で移動する。
前記ゴニオメータ装着孔（２ｂ）の外端部には軸受部材（１６）が前記Ｙ軸方向に位置調節可能に支持される。前記軸受部材（１６）のＸ軸方向に延びる軸受孔（１６ａ）は、回転部材（２１）を回転可能に支持する。
回転部材（２１）のホルダ装着部材貫通孔（２１ｂ）を貫通するホルダ装着部材（２２）は、内端部が前記球面軸受（８）に回動可能に支持される。ホルダ装着部材（２２）のホルダ装着孔（２２ａ）には試料ホルダ（Ｈ）が着脱可能に装着される。
【００１９】
軸受位置調節部材（４１，４２）は、前記軸受部材（１６）を前記Ｙ軸方向に位置調節するので、軸受部材（１６）および前記軸受部材（１６）に支持された回転部材（２１）の軸をＹ軸方向に調節することができる。したがって、前記軸受位置調節部材（４１，４２）により、Ｚ軸に垂直な平面内において、軸受部材（１６）および回転部材（２１）の回転軸を前記Ｚ軸に交差させることができる。
球面軸受位置調節部材（１４）は、前記旋回軸（８ａ）回りに前記球面軸受（８）の旋回位置を調節するので、球面軸受位置調節部材（１４）により、球面軸受（８）の球面中心（Ｏ１）の位置をＹ軸方向に調節することができる。したがって前記Ｚ軸に垂直な平面図において、前記球面軸受位置調節部材（１４）は、前記Ｚ軸に交差する前記回転部材（２１）の回転軸上に、球面中心（Ｏ１）を配置することができる。すなわち、前記Ｚ軸に垂直な平面図において、前記球面中心（Ｏ１）を通る回転部材（２１）の軸を前記Ｚ軸と交差させることができる。
【００２０】
Ｙ軸方向位置調節部材（３４）は前記ホルダ装着部材（２２）の外端部を前記Ｙ軸方向に位置調節する。このとき、前記球面中心（Ｏ１）を通るホルダ装着部材（２２）のホルダ装着孔（２２ａ）の軸およびホルダ装着孔（２２ａ）に装着された試料ホルダ（Ｈ）のホルダ軸は球面中心（Ｏ１）回りに旋回し、且つ試料ホルダ（Ｈ）内端部に保持された試料はＹ軸方向に位置調節される。
したがって、前記Ｚ軸に垂直な平面図において、前記球面中心（Ｏ１）を通り且つ前記Ｚ軸に交差する前記回転部材（２１）の軸と、ホルダ装着部材（２２）および試料ホルダ（Ｈ）の軸を一致させることができる。このため、前記回転部材（２１）および試料ホルダ（Ｈ）をそれらの軸回りに回転させたときのＺ軸上の試料観察部分が視野から逃げる量を少なくすることが可能となる。
また、前記試料ホルダの回動中心である球面軸受の球面中心Ｏ１とＺ軸とを結ぶ直線と、前記回転部材０１１の軸線とを、Ｚ軸に垂直なＸＹ平面内においてのみ位置調節可能としてそれらを一致させているが、ＸＺ面内では一致させていないので、比較的簡単な構成とすることができる。
【００２１】
Ｚ軸方向位置調節部材（２８）は前記ホルダ装着部材（２２）の外端部を前記Ｚ軸方向に位置調節する。このとき、前記球面中心（Ｏ１）を通るホルダ装着部材（２２）のホルダ装着孔（２２ａ）の軸およびホルダ装着孔（２２ａ）に装着された試料ホルダ（Ｈ）のホルダ軸は球面中心（Ｏ１）回りにＺ軸方向に回動し、試料ホルダ（Ｈ）内端部に保持された試料はＺ軸方向に位置調節される。したがって、前記Ｚ軸方向位置調節部材（２８）により、球面中心（Ｏ１）回りの試料ホルダ（Ｈ）の軸のＺ軸方向の回動位置および前記試料のＺ軸方向の位置を調節することができる。
【００２２】
【実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の試料ホルダ支持装置の実施の形態１を備えた電子顕微鏡（荷電粒子線装置）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（実施の形態１）
図１は本発明のホルダ支持装置の実施の形態１の説明図で、ホルダ支持装置を備えた透過型電子顕微鏡の要部の平断面図である。
図２は同実施の形態１の要部縦断面図で、前記図１のII−II線断面図である。
図３は前記図２のIII−III線断面図である。
図４は前記図２のIＶ−IＶ線断面図である。
図１〜３において、透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）１は、内部を真空に保持される鏡筒２を有し、鏡筒２の前側（Ｘ側）部分にはブロック貫通孔２ａが形成され、後側（−Ｘ側）部分にはゴニオメータ装着孔２ｂが形成されている。鏡筒２上端部（Ｚ軸方向上端部）に配置した電子銃（図示せず）から下方に出射される電子ビームの中心線に沿ってＺ軸が設定される。電子ビームは収束レンズ（図示せず）により収束位置Ｆ１に配置された試料を透過してから結像レンズ（図示せず）により鏡筒２下端部の撮像位置（図示せず）に結像する。撮像位置には撮像装置が配置されており、撮像した顕微鏡画像は図示しないディスプレイで観察することができる。
【００２３】
鏡筒２により支持されたゴニオ装着用のステージＧＳは、ステージ本体３を有しており、ステージ本体３の中央部には上磁極５ａ、下磁極５ｂを有する対物レンズ５が支持されている。対物レンズ５には上下方向に延びるＺ軸（上下軸）に沿った荷電粒子ビームの通路が形成されている。
ステージ本体３の前部（Ｘ側部分）にはピボット軸受４を収容するＸ軸方向に延びるピボット軸受収容孔３ａが形成されている。ステージ本体３の前部（Ｘ側部分）にはブロック６が固定されており、ブロック６は前記鏡筒２のブロック貫通孔２ａを貫通している。前記ブロック６は前後方向（Ｘ軸方向）に位置調節可能なホルダ位置決め部材７を支持しており、前記ホルダ位置決め部材７は、前記ピボット軸受４の前端の位置決めを行うために前記ピボット軸受４の前端（Ｘ端）に当接している。
【００２４】
ステージ本体３の後部（−Ｘ側部分）には球面軸受収容孔３ｄが形成されている。球面軸受収容孔３ｄに収容された球面軸受８は球面中心Ｏ１を中心とする球面を有している。前記球面軸受８は、後端部（−Ｘ側端部）は円筒状であり、その前側部分（Ｘ側部分）は円筒状部材の上部および下部の外側面を平面状に削った形状をしている。前記球面軸受８は、その下面から下方（−Ｚ方向）に突出する旋回軸８ａ（図２参照）により旋回中心Ｏ２（旋回軸８ａの平面図（図１）における位置）回りに旋回可能に支持されている。なお、球面軸受８の姿勢を安定させ且つ旋回時の摩擦抵抗を小さくするため、球面軸受８の下面の平面状部分には低摩擦剤により形成された３個のブシュ９（２個のみ図２に図示）が３角形の頂点に固着されている。球面軸受８の上面は押圧部材１１により押圧されている。
【００２５】
前記ゴニオメータ装着孔２ｂには筒状の球面軸受支持部材１２が支持されている。球面軸受支持部材１２の内径は前記球面軸受８の円筒状後端部の外径よりもやや大きい形状に形成されている。球面軸受８の後端部の外周面は前記筒状の球面軸受支持部材１２の内周面に装着されたＯリングにより、前記旋回軸８ａ回りに旋回可能に保持されている。
図１において、前記球面軸受８の前端部（Ｘ側部分）の右側面（Ｙ側面）は押圧部材（スプリング）１３により押圧されている。前記球面軸受８の前端部（Ｘ側部分）の左側面（−Ｙ側面）にはスクリューにより構成された球面軸受位置調節部材１４の先端部が当接している。前記球面軸受位置調節部材１４を回転させてその軸方向（Ｙ軸方向）に進退移動させることにより前記球面軸受８を前記旋回軸８ａ回り（旋回中心Ｏ２回り）に旋回させることが可能である。
前記符号３〜１４で示された要素によりゴニオ装着用ステージＧＳが構成されている。
【００２６】
前記ゴニオメータ装着孔２ｂの後部（−Ｘ側部分）には、軸受孔１６ａを有する軸受部材１６が図示しないガイド部材沿ってＹ軸方向に移動可能に連結されている。前記軸受部材１６をＹ軸方向に移動させると、前記軸受部材１６の軸受孔１６ａの軸がＺ軸に交差する状態とすることができる。前記状態の時の、軸受孔１６ａの軸に沿ってＸ軸が設定される。
図２において、前記軸受部材１６にはギヤホルダ１７（図２、図４参照）が支持されており、ギヤホルダ１７内のウォームギヤ１８はＸ軸周り駆動用モータ１９（図４参照）の回転により回転する。
【００２７】
前記軸受部材１６により、回転部材２１が回転可能に支持されている。前記軸受部材１６および前記回転部材２１の軸は同軸である。前記回転部材２１は、その外周部に前記ウォームギヤ１８と噛み合うギヤ２１ａ（図２、図４参照）を有しており、前記Ｘ軸周り駆動用モータ１９によりギヤ２１ａを回転させて軸受部材１６および回転部材２１の軸回りの回転位置を調節することができる。
【００２８】
図２において、前記回転部材２１のホルダ装着部材貫通孔２１ｂを貫通するホルダ装着部材２２はホルダ装着孔２２ａを有する円筒状部材でその内端部に球面２２ｂを有している。前記球面２２ｂは前記球面軸受８により球面中心Ｏ１回りに回動可能に支持されている。前記ホルダ装着孔２２ａは円筒状外側面を有する試料ホルダＨが装着される孔である。ホルダ装着孔２２ａの軸はホルダ軸（試料ホルダＨの軸）と同一であり、前記球面軸受８の球面中心Ｏ１を通る。
【００２９】
前記ホルダ装着部材２２の軸をその軸回りまたは前記球面中心回りにＹ軸方向またはＺ軸方向に旋回させることにより、試料ホルダＨの軸をＹ軸方向またはＺ軸方向に旋回させることができるようになっている。このとき、試料ホルダＨの内端部に保持された試料はＹ軸方向（左右方向）またはＺ軸方向（上下方向）に移動する。
また、試料ホルダＨはその外端部に作用する大気圧により常時内方（Ｘ方向）に押圧されている。この試料ホルダＨの内端に当接する前記ピボット軸受４のＸ軸方向の位置を調節することにより、試料ホルダＨのＸ軸方向の位置決めが行われる。
【００３０】
なお、前記回転部材２１を回転させたとき、前記ホルダ装着部材２２および試料ホルダＨは前記回転部材２１および軸受部材１６の軸回りに回転する。前記試料ホルダＨが回転部材２１の軸回りに回転するとき、回転部材２１の軸と試料ホルダの軸とが一致している場合には、試料ホルダＨの内端部に支持された試料は前記回転部材２１の軸と一致するホルダ軸回りに傾斜するだけである。前記試料ホルダＨが回転部材２１の軸回りに回転するとき、回転部材２１の軸と試料ホルダの軸とが一致していない場合には、試料ホルダＨの内端部に支持された試料は傾斜しながら前記回転部材２１の軸回りに移動する。
以後、前記回転部材２１の軸を試料傾斜軸（試料ホルダＨに保持された試料を傾斜させるときの回転軸）ともいう。
【００３１】
図１、図３において、ホルダ装着部材２２の外端部にはＹ軸（左右軸）方向に延びる突出部材２２ｃが設けられており、突出部材２２ｃの上面中央部はＺ軸方向押圧部材２４（図１、図３参照）により下方に押圧されている。図３において、前記突出部材２２ｃの両端部下面には、前記回転部材２１（図２参照）により軸２５（図２参照）回りに揺動可能に支持された揺動部材２６の左右一対のアーム２６ａ，２６ａ（図２、図４参照）の上端に設けた球２７，２７が当接している。
【００３２】
図２において、前記揺動部材２６には、前記回転部材２１に支持されたＺ軸方向位置調節用スクリュー２８の先端が当接しており、Ｚ軸方向位置調節用スクリュー（Ｚ軸方向位置調節部材）２８を回転させてその軸方向に進退移動させと、前記揺動部材２６は軸２５回りに揺動する。前記Ｚ軸方向位置調節用スクリュー２８はギヤ２８ａと一体に構成されており、前記ギヤ２８ａに噛み合うギヤ２９は、前記回転部材２１に支持された上下動用モータ（Ｚ軸方向位置調節モータ）３１の出力軸に固着されている。したがって、上下動用モータ３１が回転するとギヤ２９およびこのギヤ２９と噛み合う前記ギヤ２８ａおよび前記Ｚ軸方向位置調節用スクリュー２８が回転する。このとき、前記Ｚ軸方向位置調節用スクリュー２８が進退移動し、前記揺動部材２６が軸２５回りに揺動して前記球２７，２７が突出部材２２ｃを上下に移動させる。このとき、ホルダ軸（ホルダ装着部材２２および試料ホルダＨの軸）が前記球面中心Ｏ１の回りに上下に回動する。
前記符号２４〜３１で示された要素により前記ホルダ装着部材２２の外端部のＺ軸方向の位置調節を行うホルダ装着部材Ｚ軸方向位置調節装置（２４〜３１）が構成されている。
【００３３】
図１において、ホルダ装着部材２２の外端部は前記Ｙ軸（左右軸）方向の一側面（右側面）が、前記回転部材２１に支持されたＹ軸方向押圧部材３３により左方（−Ｙ方向）に押圧されており、他側面（左側面）には前記回転部材２１に支持されたＹ軸方向位置調節用スクリュー３４（Ｙ軸方向位置調節部材）の先端が当接している。前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー３４にはギヤ３４ａが一体に形成されており、前記ギヤ３４ａにはギヤ３５が噛み合っている。ギヤ３５は、前記回転部材２１に支持された左右動用モータ（Ｙ軸方向位置調節モータ）３６の出力軸に固着されている。したがって、左右動用モータ３６が回転するとギヤ３５およびこのギヤ３５と噛み合う前記ギヤ３４ａと一体成形された前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー３４が回転する。このとき、前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー３４が進退移動し、前記ホルダ軸（ホルダ装着部材２２および試料ホルダＨの軸）が左右（Ｙ軸方向）に旋回する。このとき、試料ホルダＨの内端部のＹ軸方向の位置を調節することができる。
【００３４】
前記符号３３〜３６で示された要素により前記ホルダ装着部材２２の外端部のＹ軸方向の位置調節を行うホルダ装着部材Ｙ軸方向位置調節装置（３３〜３６）が構成されている。
前記符号１６〜３６等で示された要素により前記試料ホルダＨのＸ軸回りの傾斜および前記球面中心Ｏ回りのＹ軸方向およびＺ軸方向の傾斜を行うゴニオメータＧＭが構成されている。
【００３５】
図１において、前記鏡筒２に左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能に支持された前記軸受部材１６の左右には、スクリュー支持部材３８，３９が配置されている。スクリュー支持部材３８，３９は前記鏡筒２に支持されている。スクリュー支持部材３８，３９には、スクリュー（軸受位置置調節部材）４１，４２が螺合して貫通するネジ孔が形成されている。スクリュー４１，４２の先端部は、軸受部材１６の左右の側面に当接している。したがって、スクリュー４１，４２を回転させて軸方向に進退移動させることにより、前記軸受部材１６を左右方向（Ｙ軸方向）に移動させて位置調節することができる。
前記軸受部材１６に支持された前記回転部材２１は、軸受部材１６と一体的にＹ軸方向に移動するので、前記スクリュー４１，４２により左右方向の位置が調節される。すなわち、スクリュー４１，４２は軸受部材１６および回転部材２１の軸をＹ軸方向に位置調節する軸受位置置調節部材として構成されている。
【００３６】
（実施の形態１の作用）
前記構成を備えた試料ホルダ支持装置において、試料ホルダＨをそのホルダ軸回りに回転させて試料を傾斜させた時に、回転部材２１の中心線と試料ホルダＨの中心線とが一致している場合には、試料は傾斜するだけで移動しない。しかしながら、前記試料の傾斜時に、回転部材２１の中心線と試料ホルダＨの中心線とが一致していない場合には、試料が傾斜すると同時に移動する。このときには、試料の観察部分が視野から逃げてしまう。
【００３７】
この実施の形態１は、図２の側断面図では、前記軸受部材１６および回転部材２１の軸（ホルダ傾斜軸）上に球面軸受８の中心Ｏ１が配置されるように、機械加工されている。その場合、前記回転部材２１によりホルダ装着部材２２を介して支持された試料ホルダＨの内端部に支持された試料位置に電子ビームが収束ずくように収束レンズ（図示せず）への印加電流が調節される。
しかし、図１の平面図では機械加工のみによって、前記軸受部材１６および回転部材２１の軸（ホルダ傾斜軸）上に球面軸受８の中心Ｏ１を配置し且つ試料ホルダＨの内端部に支持された試料位置を電子ビームの通路上（光軸上）に配置することは困難である。したがって、この実施の形態１では、前記スクリュー（軸受け位置調節部材）４１，４２および球面軸受位置調節部材１４が設けられている。
【００３８】
図１の平面図において、前記スクリュー（軸受位置調節部材）４１，４２により前記軸受部材１６を左右方向に位置調節することができる。したがって、前記スクリュー４１，４２により、前記軸受部材１６および回転部材２１の軸をＹ軸方向に移動させてＺ軸と交差させることができる。
また図１の平面図において、前記球面軸受位置調節部材１４を回転させてその軸方向（Ｙ軸方向）に進退移動させることにより前記球面軸受８を前記旋回軸８ａ回りに旋回させて、球面中心Ｏ１を前記軸受部材１６および回転部材２１の軸上に配置することができる。
また、前記Ｙ軸方向位置調節用スクリュー（Ｙ軸方向位置調節部材）３４によりホルダ装着部材２２および試料ホルダＨを前記球面中心Ｏ１回りに、Ｙ軸方向に回動させることができる。
【００３９】
したがって図１の平面図において、前記スクリュー４１，４２および球面軸受位置調節部材１４により、軸受部材１６および回転部材２１の軸（試料傾斜軸）をＺ軸と交差させるとともに、その軸上に球面中心Ｏ１を配置することができる。また、図１の平面図において、Ｙ軸方向位置調節用スクリュー（Ｙ軸方向位置調節部材）３４により、ホルダ装着部材２２および試料ホルダＨの軸を前記軸受部材１６および回転部材２１の軸（ホルダ傾斜軸）に一致させることができる。したがって、図１の平面図では、軸受部材１６および回転部材２１の軸（ホルダ傾斜軸）を試料ホルダＨの軸と一致させるとともに、その軸上にＺ軸との交点および前記球面中心Ｏ１を配置することができる。
【００４０】
すなわち、この実施の形態１では、前記図２の側断面図および図１の平面図において、軸受部材１６および回転部材２１の軸上に球面中心Ｏ１を配置することができる。このため、前記回転部材２１を回転させたときの試料の逃げを少なくすることができる。
【００４１】
前記実施の形態１では平面図（図１）において、軸受部材１６および回転部材２１の軸（ホルダ回転軸）を試料ホルダＨの軸と一致させるとともに、その軸上にＺ軸との交点および前記球面中心Ｏ１を配置するためには、次の作業を行う。
（１）前記回転部材２１をその軸（試料傾斜軸）回りに±θ°回転させたときに、ＣＲＴ等の画像表示面に表示された撮像画像が、画像表示面の中心点（光軸）に対してどのように変位するかを確認する。例えば、片側のみに変位する場合は、平面図（図１）において、回転部材２１の軸（試料傾斜軸）がＺ軸と交差していないことを意味する。
（２）次に、前記撮像画像が、画像表示面の中心点（光軸）に対して対称に変位するように、軸受部材１６および回転部材２１の軸（試料傾斜軸）の位置および球面中心Ｏ１の位置を調節する。前記調節は、前記スクリュー（軸受位置置調節部材）４１，４２および球面軸受位置調節部材１４により行う。
（３）前記（２）の作業を行って、ユーセントリックを合わせ込む（最終的には回転部材２１を回転させた時に像の変位が０に近づくように調節する）。そして、試料位置で焦点が合うように対物レンズの電流を調節する。
【００４２】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記スクリューにより構成された球面軸受位置調節部材１４、Ｚ軸方向位置調節用スクリュー２８、Ｙ軸方向位置調節用スクリュー（Ｙ軸方向位置調節部材）３４、スクリュー（軸受位置置調節部材）４１，４２等の軸の先端部をピエゾ素子により構成することが可能である。その場合、前記ピエゾ素子をスクリューの軸方向に伸縮させることにより、位置調節を高精度に行うことができる。
【００４３】
【発明の効果】
前述の本発明の荷電粒子線装置は、下記の効果（Ｅ01），（Ｅ02）を奏することができる。
（Ｅ01）前記試料ホルダＨをその軸回りに回転させたときのＺ軸上の試料観察部分が視野から逃げる量を少なくすることが可能な、構成が簡単なホルダ支持装置を提供することができる。
（Ｅ02）Ｚ軸に沿う荷電粒子線に垂直な平面図において、前記試料ホルダの回動中心である球面軸受の球面中心Ｏ１とＺ軸とを結ぶ直線と、前記回転部材０１１の軸線とを一致させることが可能な試料ホルダ支持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のホルダ支持装置の実施の形態１の説明図で、ホルダ支持装置を備えた透過型電子顕微鏡の要部の平断面図である。
【図２】図２は同実施の形態１の要部縦断面図で、前記図１のII−II線断面図である。
【図３】図３は前記図２のIII−III線断面図である。
【図４】図４は前記図２のIＶ−IＶ線断面図である。
【図５】図５は荷電粒子線装置で使用されている試料ホルダ支持装置の従来例１の説明図で、比較的小型の試料ホルダ支持装置の要部平断面図である。
【図６】図６は荷電粒子線装置で使用されている試料ホルダ支持装置の従来例２の説明図で、比較的大型の試料ホルダ支持装置の要部平断面図である。
【図７】図７は前記図６のＶII−ＶII線断面図である。
【符号の説明】
ＧＭ…ゴニオメータ、
ＧＳ…ゴニオ装着用ステージ、
Ｈ…試料ホルダ、
Ｏ１…球面中心、
２…鏡筒、
２ｂ…ゴニオメータ装着孔、
８…球面軸受、
８ａ…旋回軸、
１４…球面軸受位置調節部材、
１６…軸受部材、
１６ａ…軸受孔、
２１…回転部材、
２１ｂ…ホルダ装着部材貫通孔、
２２ａ…ホルダ装着孔、
２２…ホルダ装着部材、
２８…Ｚ軸方向位置調節部材、
３４…Ｙ軸方向位置調節部材、
４１，４２…軸受位置調節部材。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sample holder support device for a charged particle beam apparatus, and more particularly to a sample holder support device that reduces the amount of movement (image escape) of an observation portion of a sample when the sample is tilted.
[0002]
[Prior art]
A conventional example of a transmission electron microscope will be described with reference to the following drawings.
In order to facilitate understanding of the following description, in the drawings, the front-rear direction is the X-axis direction, the left-right direction is the Y-axis direction, the up-down direction is the Z-axis direction, and arrows X, -X, Y, -Y, The direction indicated by Z and -Z or the indicated side is defined as front, rear, right, left, upper, lower, or front, rear, right, left, upper, and lower, respectively.
In the figure, “•” in “○” means an arrow heading from the back of the page to the front, and “×” in “○” is the front of the page. It means an arrow pointing from the back to the back.
[0003]
(Conventional example 1)
FIG. 5 is an explanatory view of the conventional example 1 of the sample holder support device used in the charged particle beam apparatus, and is a plan sectional view of the main part of a relatively small sample holder support device.
In FIG. 5, a transmission electron microscope (charged particle beam apparatus) 01 has a lens barrel 02 whose inside is kept in a vacuum, and a block through hole 02a is formed in a front portion (X side portion) of the lens barrel 02. A goniometer mounting hole 02b is formed in the rear portion (−X side portion). The Z-axis is set along the center line of the electron beam emitted downward (−Z direction) from an electron gun (not shown) disposed at the upper end of the lens barrel 02 (upper end in the Z-axis direction). The electron beam passes through the sample placed at the convergence position F1 by a focusing lens (not shown) and then forms an image at an imaging position (not shown) at the lower end of the lens barrel 02 by an imaging lens (not shown). . An imaging device is disposed at the imaging position, and the captured microscope image can be observed on a display (not shown).
[0004]
The stage GS supported by the lens barrel 02 so that its position can be adjusted has a stage main body 03 that can move in a horizontal plane (in the XY plane). The stage main body 03 has a Z-axis (vertical axis) extending in the vertical direction. A path of a charged particle beam along the line is formed. A pivot bearing accommodation hole 03a extending in the X-axis direction for accommodating the pivot bearing 04 is formed in the front portion (X side portion) of the stage main body 03. The pivot bearing 04 is movably supported in the pivot bearing accommodation hole 03a via a plurality of springs. A cylindrical portion 03b is formed at the rear portion (−X side portion) of the stage main body 03, and the cylindrical portion 03b projects through the goniometer mounting hole 02b and protrudes toward the rear side of the lens barrel 02. A spherical surface for bearing 03c is formed at the inner end (X end) of the cylindrical portion 03b, and the spherical center O of the spherical surface for bearing 03c is disposed on the axis of the cylindrical portion 03b.
A block 06 is connected to the front end (X side end) of the stage main body 03. The block 06 passes through the block through hole 02a and protrudes outside the lens barrel 02. The block 06 supports a holder positioning member 07 whose position can be adjusted in the front-rear direction (X-axis direction), and the holder positioning member 07 is arranged so as to position the front end of the pivot bearing 04. It is in contact with the front end (X end).
[0005]
A stage GS is constituted by the elements indicated by the reference numerals 03 to 07, and the stage GS is supported by the lens barrel 02 so as to be movable in the XY plane.
Four position adjusting screws 08 are penetrated and supported by the lens barrel 02, and a ball 08a is attached to the tip of the position adjusting screw 08. The position of the stage GS in the XY plane can be adjusted by rotating the position adjusting screw 08 from the outside of the lens barrel 02 and moving it forward and backward.
[0006]
A bearing member 010 is attached to the rear portion (−X side portion) of the cylindrical portion 03b of the stage GS, and the bearing member 010 has a bearing hole 010a extending in the front-rear direction (X-axis direction). A rotating member 011 is rotatably supported in the bearing hole 010a.
The rotating member 011 is formed with a through hole 011a extending in the X-axis direction. A spherical surface 012a is formed on the outer surface of the inner end portion of the cylindrical holder mounting member 012 that passes through the through hole 011a. The spherical surface 012a of the holder mounting member 012 is supported by the bearing spherical surface 03c so as to be rotatable around the spherical center O. The holder mounting member 012 has a cylindrical holder mounting hole 012b.
[0007]
A sample holder H having a cylindrical outer peripheral surface is slidably mounted in the holder mounting hole 012b of the holder mounting member 012 so that the shaft of the holder mounting hole 012b and the shaft of the sample holder H are the same. I'm doing it. Therefore, the axis of the sample holder H can be inclined by inclining the axis of the holder mounting member 012. The sample holder H is always pressed inward (X direction) by the atmospheric pressure acting on the outer end thereof. By adjusting the position of the pivot bearing 04 in contact with the inner end of the sample holder H in the X-axis direction, the sample holder H is positioned in the X-axis direction.
A gear 011 c is formed on the outer peripheral surface of the rotating member 011. By rotating a worm gear (not shown) that meshes with the gear 011c, the rotating member 011 rotates about the X axis. The holder mounting member 012 and the sample holder H also rotate integrally with the rotating member 011 and the rotational position around the X axis is adjusted. By the rotation of the sample holder H, the sample held at the inner end of the sample holder H is inclined (rotated) around the X axis.
[0008]
On the rotating member 011, a Y-axis direction pressing member 013 and a Y-axis direction position adjusting screw 014 are supported at positions facing each other, and their tips abut against the cylindrical outer surface of the holder mounting member 012. Touching. By adjusting the position of the tip of the Y-axis direction position adjusting screw 014, the holder mounting member 012 can be turned in the left-right direction (Y-axis direction) around the spherical center O. At this time, the position of the inner end portion of the sample holder H in the Y-axis direction can be adjusted.
Although not described in detail, the position of the inner end portion of the sample holder H in the Z-axis direction is adjusted by rotating the holder mounting member 012 around the spherical center O in the Z-axis direction (vertical direction). It is configured to be able to. A mechanism for adjusting the position of the inner end portion of the sample holder H in the Z-axis direction is conventionally known (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-268758).
[0009]
The position of the inner end portion of the sample holder H is positioned by adjusting the position of the holder positioning member (X-axis direction positioning member) 07 in the X-axis direction, and the position in the Y-axis direction is the position in the Y-axis direction. Positioned by adjusting screw 014. Accordingly, the sample held at the inner end of the sample holder H is positioned on the electron beam path (on the Z axis) (sample observation position) by the holder positioning member 07 and the Y-axis direction position adjusting screw 014. ) Can be arranged. The convergence position F1 on the Z axis of the electron beam is adjusted by adjusting a current applied to an electron lens (not shown).
When tilting the sample placed at the sample observation position, the rotating member 011, the holder mounting member 012, and the sample holder H having a cylindrical outer peripheral surface are simultaneously rotated by rotating the rotating member 011. At this time, the sample held at the inner end of the cylindrical sample holder H is inclined.
The goniometer GM that performs the inclination of the sample holder H around the X axis and the inclination of the sample holder H around the spherical center O in the Y axis direction and the Z axis direction is configured by the elements indicated by reference numerals 010 to 014 and the like.
[0010]
When the center line of the rotating member 011 and the center line (holder axis) of the sample holder H coincide with each other, the sample observation position (position where the electron beam is irradiated) is tilted when the sample is tilted. Just don't move. However, if the center line of the rotating member 011 does not coincide with the center line of the sample holder H when the sample is tilted, the observation position of the sample moves and deviates from the field of view.
Therefore, when the sample is tilted, it is necessary to satisfy the following conditions (a) and (b).
(A) The center line of the rotating member 011 and the center line of the sample holder H must match.
(B) The center line of the rotating member 011 and the sample holder H must intersect the optical axis (electron beam path, that is, the Z axis) perpendicularly.
[0011]
In the conventional example 1 of the sample holder support device shown in FIG. 5, the cylindrical surface 03b and the bearing spherical surface 03c are simultaneously processed in the stage main body 03, so that the bearing spherical surface is formed on the axis of the cylindrical portion 03b of the stage main body 03. A spherical center O of 03c is arranged. Since the center line of the bearing hole 010a of the bearing member 010 attached to the cylindrical portion 03b coincides with the center line of the cylindrical portion 03b, the spherical center O is disposed on the center line of the bearing hole 010a of the bearing member 010. Further, the center line of the rotating member 011 supported by the bearing member 010 is disposed so as to pass through the spherical center O, and the axis of the sample holder H is disposed so as to pass through the spherical center O.
Therefore, by rotating the holder mounting member 012 in the Y-axis direction and the Z-axis direction around the spherical surface center O, the axis of the sample holder H mounted on the holder mounting member 012 becomes the axis of the rotating member 011. Can be matched. That is, the condition (a) can be satisfied.
In addition, the condition (b) can be satisfied by adjusting the four position adjusting screws 08 and moving the stage GS in a state where the axes of the sample holder H and the rotating member 011 coincide. .
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional example 1 of the sample holder support device using the goniometer GM shown in FIG. 5, it is necessary to move the stage GS and the goniometer GM mounted on the stage integrally. Therefore, the sample holder support device of FIG. 5 can be used when the charged particle beam device is a small device. However, when the charged particle beam apparatus is a large transmission electron microscope apparatus or the like, it is difficult to use because the weight of the moved member is large.
FIG. 6 is an explanatory view of a conventional example 2 of the sample holder support device used in the charged particle beam apparatus, and is a plan sectional view of a main part of a relatively large sample holder support device.
FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII in FIG.
In the description of the conventional sample holder support apparatus shown in FIGS. 6 and 7, the same reference numerals are given to the elements corresponding to the elements shown in FIG. 5, and the detailed description is omitted.
[0013]
6 and FIG. 7 is different from Conventional Example 1 shown in FIG. 5 in the following points, but is configured in the same manner as Conventional Example 1 in other points. ing.
6 and 7, a block through hole 02a is formed in the front portion of the lens barrel 02, and a goniometer mounting hole 02b is formed in the rear portion.
The stage main body 03 is fixedly supported inside the lens barrel 02. A block 06 is fixed to the front portion (X side portion) of the stage main body 03, and the block 06 passes through the block through hole 02a of the lens barrel 02. A spherical bearing receiving hole 03d is formed in the rear portion (−X side portion) of the stage main body 03. The spherical bearing 05 accommodated in the spherical bearing accommodating hole 03d is supported so as to be pivotable about the pivot center O2 (see FIG. 6) by a pivot shaft 05a (see FIG. 7) protruding downward (−Z direction). The rear end portion (−X end portion) of the spherical bearing 05 is held so as to be rotatable around the turning shaft 05a by an O-ring mounted on the inner peripheral surface of the cylindrical spherical bearing support member 09.
[0014]
6 and FIG. 7, the conventional example 2 of the sample holder support device is configured such that the spherical bearing 05 is swung around the swivel center O2 (position in the plan view (FIG. 6) of the swivel shaft 05a). The position of the spherical center O1 can be changed. However, since the position of the axis of the rotating member 011 cannot be adjusted in the Y-axis direction, the Z-axis, O1, and O2 cannot be arranged on a straight line in the plan view (see FIG. 6). Further, in the side view (see FIG. 7), when the spherical center O1 of the spherical bearing 05 is deviated from the axis of the rotating member 011, the positions of the rotating member 011 and the spherical bearing 05 cannot be adjusted. It is also impossible to adjust the spherical center O1 of the spherical bearing 05 to be disposed on the axis of the rotating member 011.
Therefore, in the conventional example 2 shown in FIGS. 6 and 7, the spherical center O1 of the spherical bearing 05 cannot be arranged on the axis of the rotating member 011 in both the plan view and the side view. In the figure, it is impossible to make the straight line connecting the Z axis and the spherical center O1 coincide with the axis of the rotating member 011. For this reason, when the rotating member 011 is rotated and the sample holder H is rotated about its axis, the sample observation portion on the Z axis largely escapes from the visual field.
[0015]
In view of the above circumstances, the present invention has the following description contents (O01) and (O02).
(O01) To provide a holder support device with a simple configuration capable of reducing the amount of the sample observation part on the Z axis that escapes from the field of view when the sample holder H is rotated about its axis.
(O02) In a plan view perpendicular to the charged particle beam along the Z axis, the straight line connecting the spherical center O1 of the spherical bearing, which is the rotation center of the sample holder, and the Z axis coincides with the axis of the rotating member 011 To provide a sample holder support device that can be made to operate.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
Next, the present invention devised to solve the above problems will be described. Elements of the present invention are parenthesized with reference numerals of elements of the embodiments in order to facilitate correspondence with elements of the embodiments described later. Append what is enclosed in brackets.
The reason why the present invention is described in correspondence with the reference numerals of the embodiments described later is to facilitate understanding of the present invention, and not to limit the scope of the present invention to the embodiments.
[0017]
(Invention)
In order to solve the above-mentioned problem, the sample holder support device of the present invention comprises the following structural requirements (A01) to (A06):
(A01) A gonio mounting stage (GS) fixed to a lens barrel (2) surrounding a path of a charged particle beam along a Z axis perpendicular to the X axis and the Y axis perpendicular to each other, and extending in the X axis direction A goniometer mounting hole (2b) for communicating the inside and outside of the lens barrel (2); It is configured separately from the gonio mounting stage (GS) and Inner end of the goniometer mounting hole (2b) Supported by A gonio-mounted stage (GS) having a spherical bearing (8),
(A02) the spherical bearing (8) supported so as to be capable of turning about a turning axis (8a) perpendicular to the XY plane and having a spherical center (O1) supported so as to be movable in the XY plane at the time of turning;
(A03) A bearing member (16) having a bearing hole (16a) supported on an outer end portion of the goniometer mounting hole (2b) and extending in the X-axis direction, and rotatably supported by the bearing hole (16a). A rotating member (21) having a holder mounting member through hole (21b) and a holder mounting member through hole (21b) are disposed so that the inner end portion is rotatably supported by the spherical bearing (8). The holder mounting member (22) having a holder mounting hole (22a) to which the sample holder (H) is detachably mounted, and the position of the outer end of the holder mounting member (22) are adjusted in the Y-axis direction. A goniometer (GM) comprising a Y-axis direction position adjusting member (34) for adjusting and a Z-axis direction position adjusting member (28) for adjusting the position in the Z-axis direction,
(A04) The bearing member (16) supported so that its position can be adjusted in the Y-axis direction,
(A05) a spherical bearing position adjusting member (14) for adjusting the turning position of the spherical bearing (8) around the turning shaft (8a);
(A06) Bearing position adjusting members (41, 42) for adjusting the position of the bearing member (16) in the Y-axis direction.
[0018]
(Operation of the present invention)
In the charged particle beam apparatus of the present invention having the above-described features, a gonio mounting stage (GS) is mounted on the lens barrel (2) surrounding the path of the charged particle beam along the Z axis perpendicular to the X axis and the Y axis perpendicular to each other. Is fixed. The goniometer mounting hole (2b) extends in the X-axis direction and communicates the inside and outside of the lens barrel (2). At the inner end of the goniometer mounting hole (2b) Supported The spherical bearing (8) It is configured separately from the gonio mounting stage (GS), It can rotate around a turning axis (8a) perpendicular to the XY plane, and the spherical center (O1) moves in the XY plane during rotation.
A bearing member (16) is supported on the outer end of the goniometer mounting hole (2b) so that the position of the bearing member (16) can be adjusted in the Y-axis direction. A bearing hole (16a) extending in the X-axis direction of the bearing member (16) supports the rotating member (21) in a rotatable manner.
The holder mounting member (22) that passes through the holder mounting member through hole (21b) of the rotating member (21) is rotatably supported by the spherical bearing (8) at the inner end. The sample holder (H) is detachably mounted in the holder mounting hole (22a) of the holder mounting member (22).
[0019]
Since the bearing position adjusting members (41, 42) adjust the position of the bearing member (16) in the Y-axis direction, the bearing member (16) and the rotating member (21) supported by the bearing member (16) are arranged. The axis can be adjusted in the Y-axis direction. Therefore, the bearing position adjusting members (41, 42) allow the rotation axes of the bearing member (16) and the rotation member (21) to intersect the Z axis in a plane perpendicular to the Z axis.
Since the spherical bearing position adjusting member (14) adjusts the turning position of the spherical bearing (8) around the turning shaft (8a), the spherical center of the spherical bearing (8) is adjusted by the spherical bearing position adjusting member (14). The position of (O1) can be adjusted in the Y-axis direction. Therefore, in the plan view perpendicular to the Z-axis, the spherical bearing position adjusting member (14) may have the spherical center (O1) disposed on the rotation axis of the rotation member (21) intersecting the Z-axis. it can. That is, in the plan view perpendicular to the Z axis, the axis of the rotating member (21) passing through the spherical center (O1) can intersect the Z axis.
[0020]
The Y-axis direction position adjusting member (34) adjusts the position of the outer end portion of the holder mounting member (22) in the Y-axis direction. At this time, the axis of the holder mounting hole (22a) of the holder mounting member (22) passing through the spherical center (O1) and the holder axis of the sample holder (H) mounted in the holder mounting hole (22a) are the spherical center (O1). ) The sample pivoted around and held at the inner end of the sample holder (H) is adjusted in the Y-axis direction.
Therefore, in the plan view perpendicular to the Z axis, the axis of the rotating member (21) passing through the spherical center (O1) and intersecting the Z axis, the holder mounting member (22), and the sample holder (H) The axes can be matched. For this reason, it is possible to reduce the amount that the sample observation part on the Z axis escapes from the field of view when the rotating member (21) and the sample holder (H) are rotated around their axes.
The straight line connecting the spherical center O1 of the spherical bearing that is the rotation center of the sample holder and the Z axis and the axis of the rotating member 011 can be adjusted only in the XY plane perpendicular to the Z axis. However, since they are not matched in the XZ plane, a relatively simple configuration can be achieved.
[0021]
The Z-axis direction position adjusting member (28) adjusts the position of the outer end portion of the holder mounting member (22) in the Z-axis direction. At this time, the axis of the holder mounting hole (22a) of the holder mounting member (22) passing through the spherical center (O1) and the holder axis of the sample holder (H) mounted in the holder mounting hole (22a) are the spherical center (O1). ) The sample rotated around the Z-axis direction and held at the inner end of the sample holder (H) is adjusted in the Z-axis direction. Therefore, the Z-axis direction position adjustment member (28) can adjust the rotation position of the sample holder (H) around the spherical center (O1) in the Z-axis direction and the position of the sample in the Z-axis direction. it can.
[0022]
Embodiment
Next, an electron microscope (charged particle beam apparatus) provided with the first embodiment of the sample holder support apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following examples. .
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an explanatory view of Embodiment 1 of the holder support device of the present invention, and is a plan sectional view of the main part of a transmission electron microscope provided with the holder support device.
2 is a longitudinal sectional view of an essential part of the first embodiment, and is a sectional view taken along the line II-II in FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.
1 to 3, a transmission electron microscope (charged particle beam apparatus) 1 has a lens barrel 2 whose inside is kept in a vacuum, and a block through-hole 2 a is provided in a front side (X side) portion of the lens barrel 2. A goniometer mounting hole 2b is formed in the rear (−X side) portion. The Z axis is set along the center line of the electron beam emitted downward from an electron gun (not shown) arranged at the upper end (upper end in the Z-axis direction) of the lens barrel 2. The electron beam passes through the sample placed at the convergence position F1 by a focusing lens (not shown) and then forms an image at an imaging position (not shown) at the lower end of the lens barrel 2 by an imaging lens (not shown). . An imaging device is disposed at the imaging position, and the captured microscope image can be observed on a display (not shown).
[0023]
The gonio mounting stage GS supported by the lens barrel 2 has a stage main body 3, and an objective lens 5 having an upper magnetic pole 5a and a lower magnetic pole 5b is supported at the center of the stage main body 3. The objective lens 5 is formed with a passage for a charged particle beam along the Z axis (vertical axis) extending in the vertical direction.
A pivot bearing housing hole 3 a extending in the X-axis direction for housing the pivot bearing 4 is formed in the front portion (X side portion) of the stage main body 3. A block 6 is fixed to the front portion (X side portion) of the stage body 3, and the block 6 passes through the block through hole 2 a of the lens barrel 2. The block 6 supports a holder positioning member 7 whose position can be adjusted in the front-rear direction (X-axis direction). The holder positioning member 7 is configured to position the front end of the pivot bearing 4 in order to position the pivot bearing 4. It is in contact with the front end (X end).
[0024]
A spherical bearing receiving hole 3d is formed in the rear portion (−X side portion) of the stage main body 3. The spherical bearing 8 accommodated in the spherical bearing accommodating hole 3d has a spherical surface centered on the spherical center O1. The spherical bearing 8 has a cylindrical rear end portion (−X side end portion), and a front portion (X side portion) having a shape obtained by cutting the upper and lower outer surfaces of the cylindrical member into a flat shape. ing. The spherical bearing 8 is supported by a turning shaft 8a (see FIG. 2) protruding downward (−Z direction) from the lower surface thereof so as to be turnable about a turning center O2 (position in the plan view (FIG. 1) of the turning shaft 8a). Has been. In order to stabilize the posture of the spherical bearing 8 and reduce the frictional resistance during turning, three bushes 9 (only two are shown in FIG. 2) formed of a low friction agent on the planar portion of the lower surface of the spherical bearing 8. Is fixed to the apex of the triangle. The upper surface of the spherical bearing 8 is pressed by the pressing member 11.
[0025]
A cylindrical spherical bearing support member 12 is supported in the goniometer mounting hole 2b. The inner diameter of the spherical bearing support member 12 is formed to be slightly larger than the outer diameter of the cylindrical rear end portion of the spherical bearing 8. The outer peripheral surface of the rear end portion of the spherical bearing 8 is held by an O-ring mounted on the inner peripheral surface of the cylindrical spherical bearing support member 12 so as to be pivotable about the pivot shaft 8a.
In FIG. 1, the right side surface (Y side surface) of the front end portion (X side portion) of the spherical bearing 8 is pressed by a pressing member (spring) 13. The front end portion of the spherical bearing position adjusting member 14 formed of a screw is in contact with the left side surface (−Y side surface) of the front end portion (X side portion) of the spherical bearing 8. By rotating the spherical bearing position adjusting member 14 and moving it back and forth in the axial direction (Y-axis direction), the spherical bearing 8 can be turned around the turning shaft 8a (around the turning center O2).
A gonio mounting stage GS is constituted by the elements indicated by the reference numerals 3-14.
[0026]
A bearing member 16 having a bearing hole 16a is coupled to the rear portion (−X side portion) of the goniometer mounting hole 2b so as to be movable in the Y-axis direction along a guide member (not shown). When the bearing member 16 is moved in the Y-axis direction, the shaft of the bearing hole 16a of the bearing member 16 can be in a state of intersecting the Z-axis. In this state, the X axis is set along the axis of the bearing hole 16a.
In FIG. 2, a gear holder 17 (see FIGS. 2 and 4) is supported on the bearing member 16, and a worm gear 18 in the gear holder 17 is rotated by rotation of a driving motor 19 (see FIG. 4) around the X axis. .
[0027]
A rotating member 21 is rotatably supported by the bearing member 16. The shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 are coaxial. The rotating member 21 has a gear 21a (see FIGS. 2 and 4) that meshes with the worm gear 18 on the outer peripheral portion thereof, and the gear 21a is rotated by the driving motor 19 around the X axis so that the bearing member 16 and The rotational position of the rotary member 21 around the axis can be adjusted.
[0028]
In FIG. 2, the holder mounting member 22 penetrating the holder mounting member through hole 21b of the rotating member 21 is a cylindrical member having a holder mounting hole 22a and has a spherical surface 22b at the inner end thereof. The spherical surface 22b is supported by the spherical bearing 8 so as to be rotatable around the spherical center O1. The holder mounting hole 22a is a hole in which a sample holder H having a cylindrical outer surface is mounted. The axis of the holder mounting hole 22a is the same as the holder axis (the axis of the sample holder H) and passes through the spherical center O1 of the spherical bearing 8.
[0029]
The axis of the sample holder H can be turned in the Y-axis direction or the Z-axis direction by turning the axis of the holder mounting member 22 around the axis or around the center of the spherical surface in the Y-axis direction or the Z-axis direction. It has become. At this time, the sample held at the inner end of the sample holder H moves in the Y-axis direction (left-right direction) or the Z-axis direction (up-down direction).
The sample holder H is always pressed inward (X direction) by the atmospheric pressure acting on the outer end portion thereof. By adjusting the position of the pivot bearing 4 in contact with the inner end of the sample holder H in the X-axis direction, the sample holder H is positioned in the X-axis direction.
[0030]
When the rotating member 21 is rotated, the holder mounting member 22 and the sample holder H rotate around the axes of the rotating member 21 and the bearing member 16. When the sample holder H rotates around the axis of the rotating member 21, if the axis of the rotating member 21 coincides with the axis of the sample holder, the sample supported on the inner end of the sample holder H is It only tilts around the holder axis that coincides with the axis of the rotating member 21. When the sample holder H rotates about the axis of the rotating member 21, if the axis of the rotating member 21 does not coincide with the axis of the sample holder, the sample supported on the inner end of the sample holder H is inclined. While moving around the axis of the rotating member 21.
Hereinafter, the axis of the rotating member 21 is also referred to as a sample tilt axis (rotation axis when tilting the sample held by the sample holder H).
[0031]
1 and 3, a protrusion member 22c extending in the Y-axis (left-right axis) direction is provided at the outer end portion of the holder mounting member 22, and the center portion of the upper surface of the protrusion member 22c is the Z-axis direction pressing member 24 ( 1 and 3)). In FIG. 3, a pair of left and right arms of a swinging member 26 supported on the lower surfaces of both ends of the protruding member 22c so as to be swingable about a shaft 25 (see FIG. 2) by the rotating member 21 (see FIG. 2). Balls 27 and 27 provided at the upper ends of 26a and 26a (see FIGS. 2 and 4) are in contact with each other.
[0032]
In FIG. 2, the tip of a Z-axis direction position adjusting screw 28 supported by the rotating member 21 is in contact with the swing member 26, and a Z-axis direction position adjusting screw (Z-axis direction position adjusting member) ) 28 is rotated to advance and retreat in its axial direction, the rocking member 26 rocks about the shaft 25. The Z-axis direction position adjusting screw 28 is formed integrally with a gear 28 a, and a gear 29 meshing with the gear 28 a is a vertical movement motor (Z-axis direction position adjusting motor) 31 supported by the rotating member 21. It is fixed to the output shaft. Accordingly, when the vertical movement motor 31 rotates, the gear 29, the gear 28a meshing with the gear 29, and the Z-axis direction position adjusting screw 28 rotate. At this time, the Z-axis direction position adjusting screw 28 moves back and forth, the swinging member 26 swings around the shaft 25, and the balls 27 and 27 move the protruding member 22c up and down. At this time, the holder shaft (the shaft of the holder mounting member 22 and the sample holder H) rotates up and down around the spherical center O1.
A holder mounting member Z-axis direction adjusting device (24-31) for adjusting the position of the outer end portion of the holder mounting member 22 in the Z-axis direction is configured by the elements indicated by the reference numerals 24-31.
[0033]
In FIG. 1, the outer end portion of the holder mounting member 22 has one side surface (right side surface) in the Y-axis (left-right axis) direction leftward (−Y by the Y-axis direction pressing member 33 supported by the rotating member 21. The tip of the Y-axis direction position adjusting screw 34 (Y-axis direction position adjusting member) supported by the rotating member 21 is in contact with the other side surface (left side surface). A gear 34a is formed integrally with the Y-axis direction position adjusting screw 34, and a gear 35 is engaged with the gear 34a. The gear 35 is fixed to the output shaft of a left / right movement motor (Y-axis direction position adjustment motor) 36 supported by the rotating member 21. Therefore, when the left / right movement motor 36 rotates, the Y-axis direction position adjusting screw 34 integrally formed with the gear 35 and the gear 34a meshing with the gear 35 rotates. At this time, the Y-axis direction position adjusting screw 34 moves forward and backward, and the holder shaft (the shaft of the holder mounting member 22 and the sample holder H) turns left and right (Y-axis direction). At this time, the position of the inner end portion of the sample holder H in the Y-axis direction can be adjusted.
[0034]
The elements indicated by the reference numerals 33 to 36 constitute a holder mounting member Y axis direction position adjusting device (33 to 36) that adjusts the position of the outer end portion of the holder mounting member 22 in the Y axis direction.
A goniometer GM for tilting the sample holder H around the X-axis and tilting around the spherical center O in the Y-axis direction and the Z-axis direction is constituted by the elements indicated by reference numerals 16 to 36 and the like.
[0035]
In FIG. 1, screw support members 38 and 39 are arranged on the left and right of the bearing member 16 supported by the lens barrel 2 so as to be movable in the left-right direction (Y-axis direction). The screw support members 38 and 39 are supported by the lens barrel 2. The screw support members 38 and 39 are formed with screw holes through which screws (bearing position adjusting members) 41 and 42 are screwed. The distal ends of the screws 41 and 42 are in contact with the left and right side surfaces of the bearing member 16. Therefore, by rotating the screws 41 and 42 to advance and retract in the axial direction, the bearing member 16 can be moved in the left-right direction (Y-axis direction) to adjust the position.
Since the rotating member 21 supported by the bearing member 16 moves in the Y-axis direction integrally with the bearing member 16, the position in the left-right direction is adjusted by the screws 41 and 42. That is, the screws 41 and 42 are configured as bearing position adjusting members that adjust the positions of the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 in the Y-axis direction.
[0036]
(Operation of Embodiment 1)
In the sample holder support device having the above-described configuration, when the sample holder H is rotated about the holder axis and the sample is inclined, the center line of the rotating member 21 and the center line of the sample holder H coincide with each other. In this case, the sample only tilts and does not move. However, if the center line of the rotating member 21 does not coincide with the center line of the sample holder H when the sample is tilted, the sample moves simultaneously with the tilt. At this time, the observation portion of the sample escapes from the field of view.
[0037]
In the side cross-sectional view of FIG. 2, the first embodiment is machined so that the center O1 of the spherical bearing 8 is disposed on the shafts (holder tilt axes) of the bearing member 16 and the rotating member 21. . In that case, the current applied to the converging lens (not shown) so that the electron beam does not converge at the sample position supported by the inner end of the sample holder H supported by the rotating member 21 via the holder mounting member 22. Is adjusted.
However, in the plan view of FIG. 1, the center O <b> 1 of the spherical bearing 8 is disposed on the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 (holder inclination shaft) and supported by the inner end of the sample holder H only by machining. It is difficult to arrange the sample position on the electron beam path (on the optical axis). Therefore, in the first embodiment, the screws (bearing position adjusting members) 41 and 42 and the spherical bearing position adjusting member 14 are provided.
[0038]
In the plan view of FIG. 1, the position of the bearing member 16 can be adjusted in the left-right direction by the screws (bearing position adjusting members) 41 and 42. Therefore, the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 can be moved in the Y-axis direction by the screws 41 and 42 to intersect the Z-axis.
In the plan view of FIG. 1, the spherical bearing position adjusting member 14 is rotated and moved forward and backward in the axial direction (Y-axis direction), thereby turning the spherical bearing 8 about the turning shaft 8a, O1 can be disposed on the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21.
Further, the holder mounting member 22 and the sample holder H can be rotated around the spherical center O1 in the Y axis direction by the Y axis direction position adjusting screw (Y axis direction position adjusting member).
[0039]
Accordingly, in the plan view of FIG. 1, the shafts (sample tilt axes) of the bearing member 16 and the rotating member 21 intersect with the Z axis by the screws 41 and 42 and the spherical bearing position adjusting member 14, and the spherical center is on the axis. O1 can be arranged. Further, in the plan view of FIG. 1, the holder mounting member 22 and the sample holder H are connected to the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 by the Y-axis direction position adjusting screw (Y-axis direction position adjusting member) 34. The tilt axis). Therefore, in the plan view of FIG. 1, the axes of the bearing member 16 and the rotating member 21 (holder inclination axis) coincide with the axis of the sample holder H, and the intersection with the Z axis and the spherical center O1 are arranged on the axis. can do.
[0040]
That is, in the first embodiment, the spherical center O1 can be arranged on the shafts of the bearing member 16 and the rotating member 21 in the side sectional view of FIG. 2 and the plan view of FIG. For this reason, the escape of the sample when the rotating member 21 is rotated can be reduced.
[0041]
In the first embodiment, in the plan view (FIG. 1), the shaft of the bearing member 16 and the rotating member 21 (holder rotating shaft) is made to coincide with the axis of the sample holder H, and the intersection with the Z-axis on the shaft and the axis In order to arrange the spherical center O1, the following operation is performed.
(1) When the rotating member 21 is rotated ± θ ° about its axis (sample tilt axis), the captured image displayed on the image display surface such as a CRT is the center point (optical axis) of the image display surface To see how it displaces. For example, in the case of displacement only on one side, it means that the axis (sample tilt axis) of the rotating member 21 does not intersect the Z axis in the plan view (FIG. 1).
(2) Next, the position of the axis of the bearing member 16 and the rotating member 21 (sample tilt axis) and the spherical center so that the captured image is displaced symmetrically with respect to the center point (optical axis) of the image display surface. Adjust the position of O1. The adjustment is performed by the screws (bearing position adjustment members) 41 and 42 and the spherical bearing position adjustment member 14.
(3) Perform the above-mentioned operation (2) and adjust the eucentric (finally, adjust so that the displacement of the image approaches 0 when the rotating member 21 is rotated). Then, the current of the objective lens is adjusted so that the focus is achieved at the sample position.
[0042]
(Example of change)
As mentioned above, although the Example of this invention was explained in full detail, this invention is not limited to the said Example, A various change is performed within the range of the summary of this invention described in the claim. It is possible. Modified embodiments of the present invention are illustrated below.
(H01) Spherical bearing position adjusting member 14 composed of the screw, Z-axis direction position adjusting screw 28, Y-axis direction position adjusting screw (Y-axis direction position adjusting member) 34, screw (bearing position adjusting member) The tip portions of the shafts 41, 42, etc. can be constituted by piezo elements. In that case, the position can be adjusted with high accuracy by expanding and contracting the piezo element in the axial direction of the screw.
[0043]
【The invention's effect】
The charged particle beam apparatus of the present invention described above can achieve the following effects (E01) and (E02).
(E01) It is possible to provide a holder support device with a simple configuration that can reduce the amount of the sample observation part on the Z axis that escapes from the field of view when the sample holder H is rotated about its axis. .
(E02) In a plan view perpendicular to the charged particle beam along the Z axis, the straight line connecting the spherical center O1 of the spherical bearing, which is the rotation center of the sample holder, and the Z axis coincides with the axis of the rotating member 011 It is possible to provide a sample holder support device that can be made to operate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of Embodiment 1 of a holder support device of the present invention, and is a plan sectional view of a main part of a transmission electron microscope provided with a holder support device.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the main part of the first embodiment, and is a sectional view taken along the line II-II in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 2. FIG.
FIG. 5 is an explanatory view of a conventional example 1 of a sample holder support device used in a charged particle beam device, and is a plan sectional view of an essential part of a relatively small sample holder support device.
FIG. 6 is an explanatory view of a conventional example 2 of the sample holder support device used in the charged particle beam apparatus, and is a plan sectional view of the main part of a relatively large sample holder support device.
7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG.
[Explanation of symbols]
GM ... Goniometer,
GS ... Stage for wearing gonio,
H: Sample holder,
O1 ... spherical center,
2 ... Tube,
2b ... goniometer mounting hole,
8 ... Spherical bearing,
8a ... swivel axis,
14 ... Spherical bearing position adjustment member,
16 ... bearing member,
16a ... bearing hole,
21 ... Rotating member,
21b ... Holder mounting member through hole,
22a ... Holder mounting hole,
22 ... Holder mounting member,
28 ... Z-axis direction position adjusting member,
34 ... Y-axis direction position adjusting member,
41, 42 ... Bearing position adjusting members.

Claims

A sample holder support device comprising the following constituent elements (A01) to (A06):
(A01) A gonio mounting stage fixed to a lens barrel surrounding a path of a charged particle beam along a Z-axis perpendicular to the X-axis and the Y-axis perpendicular to each other and extending in the X-axis direction and extending inside and outside the lens-barrel A goniometer mounting hole to be communicated, and a goniometer mounting stage having a spherical bearing that is configured separately from the goniometer mounting stage and supported by the inner end of the goniometer mounting hole;
(A02) The spherical bearing that is supported so as to be able to turn around a turning axis perpendicular to the XY plane, and whose spherical center is supported to be movable in the XY plane during turning,
(A03) a bearing member having a bearing hole supported by an outer end portion of the goniometer mounting hole and extending in the X-axis direction, a rotating member rotatably supported by the bearing hole and having a holder mounting member through hole; A holder mounting member disposed through the holder mounting member through hole and having a holder mounting hole in which an inner end portion is rotatably supported by the spherical bearing and a sample holder is detachably mounted; and the holder A goniometer comprising a Y-axis direction position adjusting member for adjusting the position of the outer end of the mounting member in the Y-axis direction, and a Z-axis direction position adjusting member for adjusting the position in the Z-axis direction;
(A04) The bearing member supported so that its position can be adjusted in the Y-axis direction;
(A05) a spherical bearing position adjusting member for adjusting a turning position of the spherical bearing around the turning axis;
(A06) A bearing position adjusting member that adjusts the position of the bearing member in the Y-axis direction.