JP4061045B2 - Photomask data display device - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスクデータの表示装置に関し、第１の地点において、第１の地点から遠隔の地である第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
【０００４】
そして、この描画装置用のフォトマスクデータをディスプレイ装置上に表示し、拡大、縮小表示を行いながら、描画装置用に変換されたフォトマスクデータの確認、パターン配置の確認や、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なうことがある。
例えば、従来は、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、描画装置用フォトマスクデータの変換結果の確認、パターン配置の確認、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なう際には、フォトマスク製造拠点から、遠く離れているＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点まで、フォトマスクデータを通信により転送し、フォトマスクデータをビューイングしていた。
フォトマスクデータが大規模である場合には、通信には長時間かかる。
しかし、近年、ますますフォトマスクデータ、特に描画装置用のフォトマスクデータは大規模化が急で、これに伴ない、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化し、作業性の面から問題化してきた。
尚、従来は、任意の表示領域を、拡大、縮小表示する場合においても、描画装置用のフォトマスクデータの先頭から末尾まで全てのデータを検索した結果から、該当する図形情報を表示していたため、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が更に増大化していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、他方側拠点のフォトマスクデータを前記一方側拠点に通信により転送して、このフォトマスクデータの図形を表示するが、近年、描画装置用のフォトマスクデータの大規模化がますます進む中、転送されるフォトマスクデータのデータ量が大きい場合は、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化し、作業性の面から問題化してきた。
本発明は、これに対応するもので、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化しても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、第１の地点において、第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置であって、第１の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第１の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第１の図形データ取得手段と、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するための入力部と、第２の地点と通信するための第１の通信手段と、各部を制御するための制御部とを備えており、第２の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第２の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第２の図形データ取得手段と、第１の地点と通信するための第２の通信手段とを備えており、前記第１の地点、あるいは第２の地点における図形データ取得手段は、クリップ情報等の入力情報をもとに、キャッシュファイルから情報を取得し、フォトマスクデータの図形をそのまま取得し、これを表示させるか、フォトマスクデータの省略図形を発生させ、これを表示させるかを決定する、表示方法決定手段と、キャッシュファイルのファイルシーク情報をもとに、フォトマスクデータの図形を取得する図形取得手段と、キャッシュファイルの省略図形情報をもとに、フォトマスクデータの省略図形を発生させる省略図形発生手段とを有するものであり、前記表示方法決定手段は、フォトマスクデータの図形を取得し、これを表示させる場合には、ファイルシーク情報を図形取得手段に渡し、図形取得手段は、該当するフォトマスクデータの図形データを第１の記憶手段から取得し、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すもので、且つ、フォトマスクデータの省略図形を発生させる場合には、省略図形情報を省略図形発生手段に渡し、省略図形発生手段は、該当する省略図形を発生させ、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、第１の地点、第２の地点において、それぞれ、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段とを備えていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、フォトマスクデータが描画装置用のフォトマスクデータである場合、そのキャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、第１の地点と第２の地点とは、ここでは、ネットワーク（ＬＡＮ、ＷＡＮ）により接続されている地点を意味し、通常は、両地点間の距離が長距離であるが、両地点間の距離が短距離でも良い。
また、大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００８】
【作用】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、このような構成にすることにより、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化ても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置の提供を可能としている。
特に、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、フォトマスクデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能としている。
具体的には、第１の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第１の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第１の図形データ取得手段と、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するための入力部と、第２の地点と通信するための第１の通信手段と、各部を制御するための制御部とを備えており、第２の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第２の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第２の図形データ取得手段と、第１の地点と通信するための第２の通信手段とを備えていることにより、これを達成している。
詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表示装置では、目的とするフォトマスクデータを表示する際には、キャッシュファイルを用いるものであって、図形データを取得するためのシーク情報を持たせておくことにより、フォトマスクデータ全てを遠く離れた地点に通信により転送することはせず、表示に必要なフォトマスクデータの表示する領域のみの図形データを検索して遠く離れた地点に通信により転送することを可能としている。
また、描画装置用のフォトマスクデータに省略図形データを持たせておくことにより、必要に応じ、省略図形データを用いて表示することを可能としている。
これらにより、フォトマスクデータの指定領域のビューイングを、実用レベルの時間範囲内で表示することを可能としている。
【０００９】
描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルとしては、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、これを連ねてまとめたものが用いられる。
そして、その各図形群データとしては、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するものが挙げられる。
この場合、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報（地図情報とも言う）として、また、ビットマップを省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いることができる。
フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとすることができる。
勿論、この場合も、各集合毎にビットマップを省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いることができる。
【００１０】
本発明によれば、キャッシュファイルに図形群の地図情報を予め準備しておき、実際の表示の際、この地図情報を基に、描画装置用のフォトマスクデータ中の特定箇所から図形検索し、表示することができるし、場合によっては、キャッシュファイルの省略図形データを用いて、省略図形を表示することができる。
また、本発明によれば、基本的に、従来に見られるような、描画装置用のフォトマスクデータ全域の通信による転送や全域の検索を必要としないことから、データサイズに依存せず、表示時間を実用レベルの所定時間の範囲内に抑えることが可能となる。
また、特に、描画装置用のフォトマスクデータが大規模フォトマスクデータである場合には、有効である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２は、図１において、第１の地点における構成を更に詳しく示した図で、図３は表示状態を示した図で、図４（ａ）はキャッシュファイルの構造を示した図で、図４（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図４（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図で、図５はビットマップ表示を説明するための図で、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）は、それぞれ、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図で、図７（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図７（ｂ）は図７（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図で、図８（ａ）はストリームフォーマットデータのファイル構造と図形集合との関係を示した図で、図８（ｂ）はキャッシュファイル構造を示した図で、図９はストリームフォーマットデータの別のキャッシュファイル構造を示した図である。
尚、図１における点線四角部Ａ１は第２の地点における構成を示したもので、Ａ１以外は第１の地点における構成であり、図２における点線内が第１の図形データ取得手段１２を示したものである。
また、図５（ａ）は所定のメッシュで分割した状態を図示した図で、図５（ｂ）は各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）に対応するビット状態を、分割領域の配置に合せ配列したものである。
図１〜図５、図８において、１１は第１の記憶手段（磁気ディスク）、１２は第１の図形データ取得手段、１３は図形表示制御手段、１４は表示手段（ディッスプレイ）、１５は制御部、１６は入力手段、１７は通信手段、２１は第２の記憶手段（磁気ディスク）、２２は第２の図形データ取得手段、２７は通信手段、３１、３２、３２ａ、３２ｂは図形データあるいは省略図形データ、３３は表示図形データ、４１、４２はクリップ情報、４３、４３ａはクリップ情報等の通信情報、１２０はキャッシュファイル存在確認手段、１３０はキャッシュファイル作成手段、１４０は表示方法決定手段、１５０は省略図形発生手段、１６０は図形取得手段、２１０はフォトマスクデータ、２１１は図形情報、２２０はキャッシュファイル、２２１はキャッシュ情報、２３０は入力情報（表示位置、データ名、クリップ情報等）、２４０は省略情報（ビットマップ情報）、２５０はファイルシーク情報、、２７０はキャッシュファイルの有無情報、３１１は図形群１、３１２は図形群２、３２０は図形、３３０はゾーン、Ａ（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュ、８００は地図情報（キャッシュファイルとも言う）、８１０は集合情報、８２０は領域情報、８３０は位置情報、８４０は図形数情報、８５０は図形面積情報である。
【００１２】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例を、図１、図２に基づいて説明する。
本例は、第１の地点において、第１の地点から第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置である。
そして、図１に示すように、第１の地点には、第１の記憶手段１１と、図形データ取得手段１２と、図形表示制御手段１３と、表示手段１４と、入力部１６と、第２の地点と通信するための第１の通信手段１７と、各部を制御するための制御部１５とを備えており、第２の地点には、第２の記憶手段２１と、第２の図形データ取得手段２２と、第２の通信手段２７とを備えている。
第１の記憶手段１１は、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積するものである。
第１の図形データ取得手段１２は、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段１１中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得するものである。
フォトマスクデータのキャッシュファイルは、フォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、これを連ねてまとめたものであるが、その詳細については後述する。
図形表示制御手段１３は、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するためのものである。
表示手段１４は、図形表示制御手段１３から表示図形データを受け取り、対応する図形を表示するものである。
第１の通信手段１７は、第２の地点と通信するための手段である。
入力部１６は、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するものである。
制御部１５は、各部を制御するものである。
また、第２の記憶手段２１も、第１の記憶手段１１と同様、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積するものである。
第２の図形データ取得手段２２も、第１の図形データ取得手段１２と同様、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得するものである。
第２の通信手段２７は、第１の地点と通信するための手段である。
【００１３】
ここで、図１に基づき、本例のフォトマスクデータ表示装置の処理フローの１例を簡単に説明する。
尚、図１中、Ｓ１０１〜Ｓ１０６、Ｓ１１１〜Ｓ１１４は処理ステップを示す。
ここでは、説明を分かり易くするため、既に、第１の記憶装置１１、第２の記憶装置２１にはそれぞれ、フォトマスクデータとそれに対応したキャッシュファイルが蓄積されているとする。
先ず、入力手段１６により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。（Ｓ１０１）
制御部１５を介して（Ｓ１０２）、この入力情報は、第１の図形データ取得手段１２へ送られると、第１の図形データ取得手段１２は、第１の記憶手段１１（Ｓ１０４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３１を得て、これを図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
第１の図形データ取得手段１２は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
一方、制御部１５を介して（Ｓ１０２）、この入力情報は、通信手段１７（Ｓ１１１）、通信手段２７（Ｓ１１２）を介して、第２の図形データ取得手段２２（Ｓ１１３）へ送られると、第２の図形データ取得手段２２は、第２の記憶手段２１（Ｓ１１４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３２ｂを得て、これを通信手段２７（Ｓ１１２）、通信手段１７（Ｓ１１１）を介して、図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
第２の図形データ取得手段２２は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段１３は、図形データあるいは省略図形データ３１、３２ｂを受け取り、対応する表示図形データ３３を作成し、これを表示手段１４にて表示する。（Ｓ１０６）
【００１４】
次いで、図形表示された表示手段１４の表示画面をみながら、更に、マウス等の入力により新たな表示領域を指定すると、その表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報４１、４２は、それぞれ、直接、あるいは、通信手段１７（Ｓ１１１）、通信手段２７（Ｓ１１２）を介して、第１の図形データ取得手段１２、第２の図形データ取得手段２２に渡される。
そして、第１の図形データ取得手段１２は、第１の記憶手段１１（Ｓ１０４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３１を得て、これを図形表示制御手段１３に渡し（Ｓ１０５）、第２の図形データ取得手段２２は、第２の記憶手段２１（Ｓ１１４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３２を得て、これを通信手段２７（Ｓ１１２）、通信手段１７（Ｓ１１１）を介して、図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
ここでも、第１の図形データ取得手段１２、第２の図形データ取得手段２２は、それぞれ、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段１３は、図形データあるいは省略図形データ３１、３２ｂを受け取り、対応する表示図形データ３３を作成し、これを表示手段１４にて表示する。（Ｓ１０６）
この１連のフローを必要に応じて繰り返し、目的の表示を得る。
【００１５】
図１に示す本例のフォトマスクデータの表示装置においては、特に第１の地点において、その第１の記憶手段１１にストリームフォーマットデータであるフォトマスクデータがあり、第２の地点において、その第２の記憶手段２１に、対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、両データを比較する場合には特に有効である。
例えば、図３（ａ）に示すストリームフォーマットデータの図形６１が変換後、図３（ｂ）に示すような描画装置用データとなった場合、この部分に対応する表示は、図３（ｃ）のようになり、変換前後の比較が第１の地点で行なえる。
勿論、第２の地点において、その第２の記憶手段２１にストリームフォーマットデータであるフォトマスクデータがあり、第１の地点において、その第１の記憶手段１１に、対応する描画装置用のフォトマスクデータがある場合や、第２の地点において、その第２の記憶手段２１にストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、第１の地点にはフォトマスクデータがない場合、あるいは、第１の地点において、その第１の記憶手段１１にストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、第２の地点にはフォトマスクデータがない場合においても、本例のフォトマスクデータの表示装置では、ストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータとを表示し比較することができる。
【００１６】
次に、図２をもとに、図１に示す図形データ取得手段の詳細やその動作について、あるいはキャッシュファイルの使用について更に説明する。
尚、図２は、図１における第１の地点の装置構成とその動作を示すものである。
図２中、Ｓ１１〜Ｓ２９は処理ステップを示す。
図２において、キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１０に目的とするフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのものであり、キャッシュファイル作成手段１３０は、フォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのものである。
また、表示方法決定手段１４０は、キャッシュファイル２２０から情報を取得し、表示方法を決定するもので、省略図形で表示するか、フォトマスクデータの図形で表示するかを決定するものである。
また、図形取得手段１６０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得するものである。
また、省略図形発生手段１５０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０の省略情報２４０から、省略図形データを発生させるものである。
【００１７】
先ず、入力手段１６により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。（Ｓ１１）
制御部１５を介して（Ｓ１２）、キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１に、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルがあるか否かを確認し（Ｓ１３）、キャッシュファイルの有無情報２７０を制御部１５に送る。（Ｓ１４）
【００１８】
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが無いと確認され、キャッシュファイル無しの情報が制御部１５に送られた場合には、制御部１５はキャッシュファイル作成手段１３０に表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの作成を指示する。（Ｓ１２）
キャッシュファイル作成手段１３０（Ｓ１５）は、記憶手段１１中の表示するフォトマスクデータ２１０（Ｓ１６）から図形情報２１１を得て（Ｓ１７）、フォトマスクデータ２１０に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、各図形群データ毎に、それぞれ、キャッシュファイルの各情報となるキャッシュ情報２２１を抽出し（Ｓ１８）、これより、前記複数の図形群データを連ねてまとめたキャッシュファイル２２０を作成する。（Ｓ１９）
キャッシュ情報２２１は、図形数、図形面積、図形ゾーン、フォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、ビットマップ等の各情報である。
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが有ると確認され、キャッシュファイル有りの情報が制御部１５に送られた場合には、キャッシュファイル作成手段１３０にてキャッシュファイル作成処理は行なわない。
【００１９】
表示方法決定手段１４０は、制御部１５の指示のもとに、送られてきた入力情報に対応したキャッシュファイルの情報（Ｓ２１）を取得し、各図形群毎に、省略表示するか、省略表示しないでフォトマスクデータの図形群をそのまま表示するかを決定する。（Ｓ２２）
表示方法決定手段１４０では、先ず、表示位置に該当する図形群の情報をキャッシュファイル２２０から読み込み、ディスプレイ上のドットサイズとキャッシュファイル２２０のゾーン情報から決められる表示領域の大きさを比較することにより、キャッシュファイル２２０に格納されている図形群情報を基に省略表示を行なうか否かを決定する。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群のビットマップの１ビットがαμｍより小の場合、省略表示を行なうとする。
そして、更に、省略図形を発生させないと判断された場合、その対象となる図形群について、図形群の図形数、図形面積での判定を行ない、この判定により省略表示する図形群を選別する。
判定は、例えば、以下のように行なう。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群のビットマップの１ビットあたりの長さがαμｍの１以上のあらかじめ決められた一定倍以下であって、且つ、図形数が予め決められた一定数以上で、且つ、図形面積率（％）が予め決められた一定以上の場合、省略対象とする。
ここで、［図形面積／図形ゾーンの面積］×１００を面積率としている。
省略表示すると決定された図形群に対しては、そのビットマップからなる省略情報２４０（Ｓ２３）を省略図形発生手段１５０に送り、対応する省略図形を発生させる。（Ｓ２４）
そして、省略図形発生手段１５０にて発生させた省略図形データを、図形表示制御手段１３の制御のもとに渡す。（Ｓ２７）
一方、このようにして、省略表示の対象と決定された図形群以外の図形群については、フォトマスクデータの図形群をそのまま表示すると決定され、そのキャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０（Ｓ２５）が図形取得手段１６０に送られる。（Ｓ２６）
図形取得手段１６０は、送られてきたファイルシーク情報２５０をもとにシークし、記憶手段１１の中のフォトマスクデータの該当する図形群のデータを取得する。
そして、図形取得手段１６０にて取得された図形データを図形表示制御手段１３（Ｓ２７）の制御のもとに渡す。
このようにして得られた省略図形データ、図形データ３１を用い、図形表示制御手段１３は、表示図形データ３３（Ｓ２８）を作成しこれを表示手段１４に表示させる。（Ｓ２９）
このようにキャッシュファイルを使用して、目的とするフォトマスクデータの所定領域の表示が行われる。
【００２０】
ここでは、第１の地点における第１の図形データ取得手段１２の構成、処理構成、処理を説明しているが、第２の地点における第２の図形データ取得手段２２の構成、処理も基本的には、第１の地点における第１の図形データ取得手段１２の成、処理と同じである。
【００２１】
次いで、キャッシュファイルの１例を、図４〜図７をもとに説明する。
ここでは、描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルについて説明する。
キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータ（図２の２１０に相当）に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルは、図４（ａ）のように表される。
ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形との関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定されるものではない。
図形群１のデータ、図形群２のデータは、図４（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であるシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有する。
【００２２】
各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位置は、記憶手段１１のアドレスを示すもので、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として用いられる。
記憶手段１１上の描画装置用のフォトマスクデータについては、図４（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記憶手段１１のアドレス（００００〜０００４）に、その図形群２のデータは、記憶手段１１のアドレス（０００５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファイルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図形群のデータを簡単に得ることができる。
【００２３】
ビットマップは、省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるもので、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある領域については、ビット１を、図形がない領域についてはビット０を割りふってマップ化したものである。
例えば、図５（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、対応するビットマップは図５（ｂ）のようになる。
【００２４】
また、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、これらに対応して、それぞれ、例えば、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図７（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１０００倍で複数配列される場合、図７（ｂ）のように、表示倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良い。
【００２５】
描画装置用のフォトマスクデータに対応して、上記のようなキャッシュファイルが作成されるが、フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとする。
ストリームフォーマットデータの場合、図８（ａ）に示すように、データファイルには、図形情報の連続した並びがあり、且つ、ファイル内位置（シークポイント）が付与されており、図形情報にはファイル上の位置情報（これをファイルシーク情報と言う）がある。
ここで、例えば、図８（ａ）に示すように、図形情報１〜３を図形集合１、図形情報４〜６を図形集合２、・・・図形情報ｎ−２〜ｎを図形集合ｎとした場合、これより、図８（ｂ）に示すように、図形集合単位で、集合情報８１０、領域情報８２０、位置情報８３０を持たせたファイル構造の地図情報８００を作成することができる。
このような地図情報８００を、ストリームフォーマットデータのキャッシュファイルとして使用するのである。
図８（ｂ）に示す地図情報８００のキャッシュファイルは、ビットマップ情報をもたないが、勿論、図４（ａ）に示す描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルのようにビットマップ情報を持たせたものをキャッシュファイルとしても良い。
図８（ｂ）に示す地図情報８００をキャッシュファイルとして使用する場合には、図形集合単位に検索してストリームフォーマットデータの対応する図形データを得ることができるが、省略図形データを得ることはできない。
【００２６】
尚、ストリームフォーマットデータについても、例えば、図４（ａ）に示す描画装置用のフォーマットデータのキャッシュファイルの作成の場合と同様、図９に示すように、図形集合毎に、図形数情報８４０、図形面積情報８５０を持たせ、領域８２０のサイズがディスプレイの１ドットの定倍数以下である場合において、図４（ａ）に示す描画装置用のフォーマットデータのキャッシュファイルの場合と同様、その図形数と面積率から省略可能と判断する場合、領域全体の矩形を省略図形として表示することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化しても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】図２は、図１において、第１の地点における構成を更に詳しく示した図である。
【図３】表示状態を示した図である。
【図４】図４（ａ）は描画装置用フォトマスクデータのキャッシュファイルの構造を示した図で、図４（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図４（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図である。
【図５】ビットマップ表示を説明するための図である。
【図６】図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）は、それぞれ、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図である。
【図７】図７（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図７（ｂ）は図７（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図である。
【図８】図８（ａ）はファイル構造と図形集合との関係を示した図で、図８（ｂ）はキャッシュファイル構造を示した図である。
【図９】ストリームフォーマットデータの別のキャッシュファイル構造を示した図である。
【符号の説明】
１１ 第１の記憶手段（磁気ディスク）
１２ 第１の図形データ取得手段
１３ 図形表示制御手段
１４ 表示手段（ディッスプレイ）
１５ 制御部
１６ 入力手段
１７ 通信手段
２１ 第２の記憶手段（磁気ディスク）
２２ 第２の図形データ取得手段
２７ 通信手段
３１、３２、３２ａ、３２ｂ 図形データあるいは省略図形データ
３３ 表示図形データ
４１、４２ クリップ情報
４３、４３ａ クリップ情報等の通信情報
１２０ キャッシュファイル存在確認手段
１３０ キャッシュファイル作成手段
１４０ 表示方法決定手段
１５０ 省略図形発生手段
１６０ 図形取得手段
２１０ フォトマスクデータ
２１１ 図形情報
２２０ キャッシュファイル
２２１ キャッシュ情報
２３０ 入力情報（表示位置、データ名、クリップ情報等）
２４０ 省略情報（ビットマップ情報）
２５０ ファイルシーク情報
２７０ キャッシュファイルの有無情報
３１１ 図形群１
３１２ 図形群２
３２０ 図形
３３０ ゾーン
Ａ（ｍ、ｎ） 分割領域
Ｍｅ メッシュ
８００ 地図情報（キャッシュファイルとも言う）
８１０ 集合情報
８２０ 領域情報
８３０ 位置情報
８４０ 図形数情報
８５０ 図形面積情報[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a display device for photomask data, and displays a figure of photomask data at a second point that is remote from the first point at the first point, or the second displayed. The display device for displaying the photomask data display graphic at the point and the photomask data display graphic at the first point in an overlapping manner.
[0002]
[Prior art]
In recent years, various functions of LSl represented by ASIC have been required to have higher integration and higher functionality due to the trend toward higher functionality and lighter and smaller electronic devices.
LSIs such as the above ASICs, through function, logic design, circuit design, layout design, etc., produce graphic data for photomask pattern production, use this to produce a photomask, and then use the photomask pattern as a wafer It is manufactured through a number of processes in which it is transferred by reduction projection exposure or the like and a semiconductor element manufacturing process is performed.
[0003]
Under such circumstances, the LSI industry generally uses a stream format as a file format for LSI layout data in an LSI design process and a photomask manufacturing process. The LSI layout data is converted into a data format and is provided to each drawing apparatus as photomask data for the drawing apparatus.
Photomask data for a drawing apparatus includes, for example, a MEBES format (for a Perkin Elmer drawing apparatus) and an EBM format (for a Toshiba drawing apparatus) for a raster type electron beam drawing apparatus, and a vector type electron For line drawing devices, there are Jeol formats (for drawing devices manufactured by JEOL Ltd.), but there are various others.
[0004]
Then, the photomask data for the drawing device is displayed on the display device, and the photomask data converted for the drawing device is confirmed, the pattern arrangement is confirmed, and the dimension inspection location is specified while performing enlargement and reduction display. Sometimes, work such as data defect analysis when a defect occurs is performed.
For example, conventionally, when the LSI design site or LSI manufacturing site is far away from the photomask manufacturing site where the photomask data for the drawing apparatus exists, confirmation of the conversion result of the photomask data for the drawing apparatus, the pattern Photomask data from the photomask manufacturing base to the LSI design base or LSI manufacturing base far away from the photomask manufacturing base when performing operations such as confirming the placement, specifying the dimensional inspection location, and analyzing data defects when defects occur Was transferred by communication to view the photomask data.
If the photomask data is large, communication takes a long time.
However, in recent years, the photomask data, especially the photomask data for the drawing apparatus, has been rapidly increasing in scale, and as a result, the time spent for viewing the photomask data has increased, and there is a problem in terms of workability. It has become.
Conventionally, even when an arbitrary display area is enlarged or reduced, the corresponding graphic information is displayed from the result of searching all data from the beginning to the end of the photomask data for the drawing apparatus. The time spent viewing photomask data has further increased.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, when the LSI design base or the LSI manufacturing base is far away from the photomask manufacturing base where the photomask data for the drawing apparatus exists, the photomask data of the other base When displaying a figure, the photomask data of the other side base is transferred to the one side base by communication and the figure of this photomask data is displayed. In recent years, the scale of the photomask data for the drawing apparatus has increased. As the amount of photomask data to be transferred increases, the time spent viewing photomask data increases, which has become a problem in terms of workability.
The present invention corresponds to this, and when the LSI design base or the LSI manufacturing base is far away from the photomask manufacturing base where the photomask data for the drawing apparatus is present, When displaying the figure of the photomask data at the site, even if the amount of data increases, the time spent on viewing the photomask data does not increase, and viewing can be performed at a practical level from the viewpoint of workability. An object of the present invention is to provide a photomask data display device.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The photomask data display device of the present invention displays, at the first point, a photomask data figure at the second point, or a photomask data display figure at the displayed second point, , A display device for displaying the photomask data display graphic at the first point in an overlapping manner, and storing the photomask data or a cache file of the photomask data at the first point. Based on the first storage means and the clip information including the display area and display magnification information, the first storage means is searched based on the file seek information of the cache file, and the corresponding graphic data of the photomask data, or First graphic data acquisition means for acquiring abbreviated graphic data from the cache file, and graphic data obtained by the graphic data acquisition means Graphic display control means for controlling the display of abbreviated graphic data, display means for displaying these figures, an input unit for inputting a photomask data name to be displayed, a display area, etc. A first communication means for communicating with the second point and a control unit for controlling each part, and the second point stores photomask data or a cache file of the photomask data. Based on the second storage means to be stored and the clip information including the display area and display magnification information, the second storage means is searched by the file seek information of the cache file, and the corresponding graphic data of the photomask data Or a second graphic data acquisition means for acquiring omitted graphic data from the cache file, and a second communication means for communicating with the first point. Cage, The graphic data acquisition means at the first point or the second point acquires information from the cache file based on the input information such as clip information, acquires the graphic of the photomask data as it is, and displays this Display method determining means for determining whether to generate a photomask data abbreviated figure and displaying it, and figure acquisition means for acquiring a photomask data figure based on file seek information of a cache file And an abbreviated figure generating means for generating an abbreviated figure of the photomask data based on the abbreviated figure information of the cache file, and the display method determining means acquires a figure of the photomask data, Is displayed, the file seek information is passed to the graphic acquisition means, and the graphic acquisition means Data is obtained from the first storage means, passed directly or through communication means to the graphic display control means, and when the abbreviated figure of the photomask data is generated, the abbreviated figure information Is sent to the abbreviated figure generation means, which generates the corresponding abbreviated figure and passes it directly or through the communication means to the figure display control means. It is characterized by this.
In the above, at the first point and the second point, the cache file existence confirmation unit for confirming whether or not the cache file of the target photomask data for the drawing apparatus exists in the storage unit, respectively. And a cache file creating means for creating a cache file corresponding to the photomask data for the drawing apparatus.
In addition, in the above, when the photomask data is photomask data for a drawing apparatus, the cache file corresponds to the photomask data for the drawing apparatus and includes a plurality of figure group data including a predetermined number of figures. Divided into a plurality of figure group data, and each figure group data includes the number of figures, figure area, figure zone, file seek address start and end in photomask data for drawing apparatus, figure area Is divided by a predetermined mesh, and a bitmap that represents whether or not a figure exists at each divided place. Bitmap as file seek information when acquiring a figure, as abbreviation information when generating abbreviated figure data It is characterized in that is to use.
In the above, the photomask data is large-scale LSI photomask data.
[0007]
The first point and the second point here mean points connected by a network (LAN, WAN), and the distance between the two points is usually a long distance. The distance between them may be short.
Here, the photomask data for large-scale LSI is the photomask data of logic LSI, memory LSI, ASIC equipped with millions or more transistors, which are generally known, and the file size is also in gigabyte order. It means that.
[0008]
[Action]
The photomask data display device according to the present invention has such a configuration, so that the LSI design site or the LSI manufacturing site is far away from the photomask manufacturing site where the photomask data for the drawing apparatus exists. In this case, when displaying the figure of the photomask data of the other site at one site, even if the amount of data increases, the time spent for viewing the photomask data does not increase, and from the viewpoint of workability It is possible to provide a photomask data display device that can be viewed on a practical level.
In particular, even when the photomask data file size for the drawing apparatus is increased, it is not dependent on the size, and the graphic information display of the photomask data or the display area expansion / reduction display can be performed at a practical level. It is possible to provide a display device that can be performed within the network.
Specifically, the first point is based on the first storage means for storing and storing photomask data or a cache file of photomask data, and clip information including display area and display magnification information. First graphic data acquisition means for searching the first storage means based on the file seek information of the cache file and acquiring corresponding graphic data of the photomask data or omitted graphic data from the cache file, and graphic data acquisition means In order to input the graphic display control means for controlling the display of the graphic data and the omitted graphic data obtained by the above, the display means for displaying these figures, the photomask data name to be displayed, the display area, etc. Input section, a first communication means for communicating with the second point, and a control section for controlling each section. At the second point, the file seek of the cache file is based on the second storage means for storing and storing photomask data or a cache file of the photomask data, and clip information including the display area and display magnification information. To search the second storage means by information and communicate the graphic data corresponding to the photomask data or the second graphic data acquisition means for acquiring the omitted graphic data from the cache file with the first point. This is achieved by providing the second communication means.
Specifically, in the photomask data display device of the present invention, when displaying the desired photomask data, a cache file is used and seek information for obtaining graphic data is provided. Therefore, it is not possible to transfer all the photomask data to a distant point by communication, but to search for graphic data only for the display area of the photomask data necessary for display and transfer it to a distant point by communication. Is possible.
In addition, by providing the abbreviated graphic data in the photomask data for the drawing apparatus, it is possible to display using the abbreviated graphic data as necessary.
As a result, the viewing of the designated area of the photomask data can be displayed within a practical time range.
[0009]
As the photomask data cache file for the drawing apparatus, a data file divided into a plurality of graphic group data composed of a predetermined number of figures corresponding to the photomask data for the drawing apparatus is used.
Each figure group data is divided when the figure number, figure area, figure zone, file seek address start and end in the photomask data for the drawing apparatus, and the figure area are separated by a predetermined mesh. One having a bitmap that represents whether or not a figure exists at each location.
In this case, the file seek address head and tail of each figure group is used as file seek information (also referred to as map information) when acquiring the figure of the photomask data for the drawing apparatus, and the bitmap is omitted as figure data. It can be used as abbreviated information when it is generated.
Even when the photomask data is source data (also referred to as LSI layout data, which is usually stream format data), any number of figures that are consecutive in order in a continuous arrangement of individual figure information in the data file The information is regarded as one set, and the whole is divided into a plurality of sets. For each set, map information having graphic information, set area information, and file seek information in the set is created, and this is called a cache file. can do.
Of course, also in this case, a bitmap can be used as omission information when generating omission graphic data for each set.
[0010]
According to the present invention, map information of a group of figures is prepared in advance in a cache file, and in actual display, based on this map information, a figure is searched from a specific location in photomask data for a drawing apparatus, In some cases, the abbreviated figure can be displayed using the abbreviated figure data of the cache file.
In addition, according to the present invention, basically, there is no need to transfer the entire photomask data for the drawing apparatus by communication or search for the entire area as in the conventional case. It is possible to keep the time within a predetermined time range of a practical level.
This is particularly effective when the photomask data for the drawing apparatus is large-scale photomask data.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an example of an embodiment of a photomask data display device according to the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the configuration at a first point in FIG. 1 in more detail. 3 is a view showing the display state, FIG. 4A is a view showing the structure of the cache file, and FIG. 4B is a view for explaining the relationship between the figure arrangement on the photomask, the figure group, and the figure. FIG. 4C is a diagram for explaining the relationship between the seek tip position and seek end position of the cache file and the storage position of the corresponding photomask data, and FIG. 5 is for explaining the bitmap display. 6 (a), FIG. 6 (b), and FIG. 6 (c) are diagrams showing the state of the bitmap, and FIG. 6 (a1), FIG. 6 (b1), and FIG. , Abbreviated figures generated corresponding to FIGS. 6 (a), 6 (b) and 6 (c), respectively. 7A is a diagram illustrating the graphics of the graphic group, and FIG. 7B is a diagram illustrating a state where the graphic group of FIG. 7A is omitted and illustrated in FIG. ) Is a diagram showing the relationship between the file format of the stream format data and the figure set, FIG. 8B is a diagram showing the cache file structure, and FIG. 9 is another cache file structure of the stream format data. FIG.
The dotted square A1 in FIG. 1 shows the configuration at the second point, and the configuration other than A1 is the configuration at the first point. The dotted line in FIG. 2 shows the first graphic data acquisition means 12. It is a thing.
FIG. 5A is a diagram illustrating a state of being divided by a predetermined mesh, and FIG. 5B is an arrangement in which bit states corresponding to the divided regions A (m, n) are arranged in accordance with the arrangement of the divided regions. It is a thing.
1 to 5 and 8, 11 is a first storage means (magnetic disk), 12 is a first graphic data acquisition means, 13 is a graphic display control means, 14 is a display means (display), and 15 is a display means. Control unit, 16 is input means, 17 is communication means, 21 is second storage means (magnetic disk), 22 is second graphic data acquisition means, 27 is communication means, 31, 32, 32a and 32b are graphic data Alternatively, omitted graphic data, 33 is display graphic data, 41 and 42 are clip information, 43 and 43a are communication information such as clip information, 120 is a cache file existence confirmation unit, 130 is a cache file creation unit, and 140 is a display method determination unit. , 150 is an abbreviated figure generation means, 160 is a figure acquisition means, 210 is photomask data, 211 is figure information, 220 is a cache file, 221 Cache information, 230 is input information (display position, data name, clip information, etc.), 240 is omission information (bitmap information), 250 is file seek information, 270 is cache file existence information, 311 is a
[0012]
One example of the embodiment of the photomask data display device of the present invention will be described with reference to FIGS.
In this example, at the first point, the photomask data figure from the first point to the second point is displayed, or the photomask data display figure at the displayed second point, This is a display device for displaying the photomask data display figure at one point in a superimposed manner.
As shown in FIG. 1, the first point includes the first storage unit 11, the graphic data acquisition unit 12, the graphic display control unit 13, the
The first storage means 11 stores and accumulates photomask data or a cache file of photomask data.
The first graphic data acquisition unit 12 searches the first storage unit 11 based on the file seek information of the cache file based on the clip information including the display area and the display magnification information, and the corresponding graphic of the photomask data. The abbreviated graphic data is acquired from the data or the cache file.
The photomask data cache file is divided into a plurality of graphic group data consisting of a predetermined number of figures corresponding to the photomask data, and these are grouped together. Details thereof will be described later.
The graphic display control means 13 is for controlling the display of graphic data and abbreviated graphic data obtained by the graphic data acquisition means.
The
The first communication means 17 is means for communicating with the second point.
The
The
Similarly to the first storage unit 11, the second storage unit 21 stores and accumulates photomask data or a cache file of photomask data.
Similarly to the first graphic data acquisition unit 12, the second graphic data acquisition unit 22 also stores the second storage unit in the second storage unit based on the file seek information of the cache file based on the clip information including the display area and the display magnification information. And the abbreviated graphic data corresponding to the photomask data or the abbreviated graphic data is obtained from the cache file.
The second communication means 27 is means for communicating with the first point.
[0013]
Here, based on FIG. 1, an example of the processing flow of the photomask data display device of this example will be briefly described.
In FIG. 1, S101 to S106 and S111 to S114 indicate processing steps.
Here, in order to make the explanation easy to understand, it is assumed that the first storage device 11 and the second storage device 21 have already accumulated the photomask data and the corresponding cache file, respectively.
First, input information such as a photomask data name to be displayed, a display area, and display magnification information is input by the input means 16. (S101)
When this input information is sent to the first graphic data acquisition means 12 via the control unit 15 (S102), the first graphic data acquisition means 12 corresponds from the first storage means 11 (S104). The graphic data of the area or the abbreviated graphic data 31 is obtained and transferred to the graphic display control means 13. (S105)
The first graphic data acquisition means 12 performs this operation based on the information in the cache file corresponding to the target photomask data.
On the other hand, when the input information is sent to the second graphic data acquisition unit 22 (S113) via the communication unit 17 (S111) and the communication unit 27 (S112) via the control unit 15 (S102), The second graphic data acquisition means 22 obtains graphic data or abbreviated
The second graphic data acquisition means 22 performs this operation based on the information in the cache file corresponding to the target photomask data.
The graphic display control means 13 receives the graphic data or the abbreviated
[0014]
Next, when a new display area is designated by an input with a mouse or the like while viewing the display screen of the display means 14 displayed in graphic form, the clip information 41 and 42 including the display area and display magnification information are directly displayed. Alternatively, the data is transferred to the first graphic data acquisition unit 12 and the second graphic data acquisition unit 22 via the communication unit 17 (S111) and the communication unit 27 (S112).
Then, the first graphic data acquisition means 12 obtains graphic data or abbreviated graphic data 31 of the corresponding area from the first storage means 11 (S104), and passes this to the graphic display control means 13 (S105). The second graphic data acquisition unit 22 obtains the graphic data or the omitted graphic data 32 of the corresponding area from the second storage unit 21 (S114), and uses this data as the communication unit 27 (S112) and the communication unit 17 (S111). To the graphic display control means 13. (S105)
Again, the first graphic data acquisition unit 12 and the second graphic data acquisition unit 22 perform this operation based on the information of the cache file corresponding to the target photomask data.
The graphic display control means 13 receives the graphic data or the abbreviated
This series of flows is repeated as necessary to obtain a target display.
[0015]
In the photomask data display device of this example shown in FIG. 1, there is photomask data that is stream format data in the first storage means 11 at the first point, and the second point at the second point. The second storage means 21 has photomask data for the corresponding drawing apparatus, which is particularly effective when comparing both data.
For example, when the graphic 61 of the stream format data shown in FIG. 3A is converted into drawing device data as shown in FIG. 3B after conversion, the display corresponding to this portion is shown in FIG. The comparison before and after conversion can be performed at the first point.
Of course, at the second point, the second storage means 21 has photomask data as stream format data, and at the first point, the first storage means 11 has a corresponding photomask for the drawing apparatus. When there is data, when there is photomask data for the drawing apparatus corresponding to the stream format data in the second storage means 21 at the second point, and when there is no photomask data at the first point, or Even when the first storage means 11 has the photomask data for the drawing apparatus corresponding to the stream format data at the first point and there is no photomask data at the second point, the photo of this example is used. In the mask data display device, the photomask data for the drawing device corresponding to the stream format data and It can be displayed and compared.
[0016]
Next, the details and operation of the graphic data acquisition unit shown in FIG. 1 or the use of a cache file will be further described with reference to FIG.
FIG. 2 shows the apparatus configuration at the first point in FIG. 1 and its operation.
In FIG. 2, S11 to S29 indicate processing steps.
In FIG. 2, the cache file existence confirmation means 120 is for confirming whether or not the cache file of the target photomask data exists in the storage means 110, and the cache file creation means 130 This is for creating a cache file corresponding to.
The display method determination unit 140 acquires information from the cache file 220 and determines the display method. The display method determination unit 140 determines whether to display an abbreviated graphic or a photomask data graphic.
Further, the graphic acquisition unit 160 searches the file seek information 250 of the cache file 220 according to an instruction from the display method determination unit 140 and acquires corresponding graphic data of the photomask data for the drawing apparatus.
The abbreviated graphic generation unit 150 generates abbreviated graphic data from the abbreviated information 240 of the cache file 220 in accordance with an instruction from the display method determination unit 140.
[0017]
First, input information such as a photomask data name to be displayed, a display area, and display magnification information is input by the input means 16. (S11)
Via the control unit 15 (S12), the cache file existence confirmation unit 120 confirms whether or not there is a cache file corresponding to the photomask data to be displayed in the storage unit 11 (S13), and whether or not there is a cache file. 270 is sent to the
[0018]
When the cache file existence confirmation unit 120 confirms that there is no cache file corresponding to the photomask data to be displayed, and information indicating no cache file is sent to the
The cache file creation means 130 (S15) obtains graphic information 211 from the photomask data 210 (S16) to be displayed in the storage means 11 (S17), and consists of a predetermined number of figures corresponding to the photomask data 210. The cache information 221 is divided into a plurality of graphic group data, and for each graphic group data, cache information 221 that is each information of the cache file is extracted (S18). 220 is created. (S19)
The cache information 221 is information such as the number of figures, figure area, figure zone, file seek address head and tail in photomask data, and bitmap.
When the cache file existence confirmation unit 120 confirms that there is a cache file corresponding to the photomask data to be displayed, and the cache file existence information is sent to the
[0019]
The display method determination means 140 acquires the cache file information (S21) corresponding to the input information sent under the instruction of the
In the display method determining means 140, first, the information of the graphic group corresponding to the display position is read from the cache file 220, and the dot size on the display is compared with the size of the display area determined from the zone information of the cache file 220. Then, based on the graphic group information stored in the cache file 220, it is determined whether or not to omit the display.
When α μm is converted into photomask data displayed by one dot of the display, if one bit of the bitmap of the graphic group is smaller than α μm, the abbreviated display is performed.
Further, when it is determined that an omitted figure is not generated, the number of figures of the figure group and the figure area are determined for the target figure group, and the figure group to be omitted and displayed is selected by this determination.
The determination is performed as follows, for example.
In the case where α μm is converted into photomask data displayed by one dot of the display, the length per bit of the bitmap of the graphic group is equal to or less than a predetermined constant multiple of 1 μm or more, and When the number of figures is a predetermined number or more and the figure area ratio (%) is a predetermined value or more, the object is omitted.
Here, [graphic area / graphic zone area] × 100 is defined as the area ratio.
For the graphic group determined to be omitted, the omission information 240 (S23) including the bitmap is sent to the omission graphic generation means 150 to generate the corresponding omission graphic. (S24)
Then, the abbreviated graphic data generated by the abbreviated graphic generation unit 150 is passed under the control of the graphic display control unit 13. (S27)
On the other hand, for graphic groups other than the graphic group determined to be omitted, the graphic group of the photomask data is determined to be displayed as it is, and the file seek information 250 (S25) of the cache file 220 is stored. It is sent to the figure acquisition means 160. (S26)
The graphic acquisition means 160 seeks based on the received file seek information 250 and acquires the data of the graphic group corresponding to the photomask data in the storage means 11.
Then, the graphic data acquired by the graphic acquisition means 160 is passed under the control of the graphic display control means 13 (S27).
Using the abbreviated graphic data and graphic data 31 thus obtained, the graphic display control means 13 creates display graphic data 33 (S28) and displays it on the display means 14. (S29)
In this way, the predetermined area of the target photomask data is displayed using the cache file.
[0020]
Here, the configuration, processing configuration, and processing of the first graphic data acquisition unit 12 at the first point are described, but the configuration and processing of the second graphic data acquisition unit 22 at the second point are also basic. Is the same as the processing and processing of the first graphic data acquisition means 12 at the first point.
[0021]
Next, an example of a cache file will be described with reference to FIGS.
Here, a cache file of photomask data for the drawing apparatus will be described.
The cache file is divided into a plurality of figure group data composed of a predetermined number of figures corresponding to the photomask data for the drawing apparatus (corresponding to 210 in FIG. 2), and the plurality of divided figure group data are grouped together. For example, a cache file corresponding to FIG. 4B in which a graphic group is arranged on two photomasks is represented as shown in FIG.
Here, in order to make the explanation easy to understand, the relationship between the format, the graphic group, and the graphic is simply taken using the cache file corresponding to FIG. 4B in which the graphic group is arranged on two photomasks. As will be described, the number of graphic groups is not limited to two.
As shown in FIG. 4A, the data of the
[0022]
The seek start position and seek end position of each graphic group indicate the address of the storage means 11 and are used as file seek information when acquiring a graphic of photomask data for the drawing apparatus.
As for the photomask data for the drawing apparatus on the storage means 11, as shown in FIG. 4C, the data of the
[0023]
The bitmap is used as omission information when generating omission graphic data. For each divided area A (m, n) (m and n are integers) obtained by dividing the area of the graphic group with a predetermined mesh,
For example, when the graphic group is divided into divided areas A (i, j) to A (i + 8, j + 4) as shown in FIG. 5A, the corresponding bitmap is as shown in FIG. Become.
[0024]
Further, in the case of bitmaps mapped as shown in FIGS. 6A, 6B, and 6C, for example, FIG. 6A1 and FIG. b1) A figure is generated as shown in FIG. 6 (c1).
Further, when a plurality of the same figures as shown in FIG. 7A are arranged at a display magnification of 1000 times, only one figure may be displayed at a display magnification of 1 time as shown in FIG. 7B. good.
[0025]
A cache file as described above is created corresponding to the photomask data for the drawing apparatus. Even when the photomask data is source data (also referred to as LSI layout data, usually stream format data), In a continuous arrangement of individual graphic information in a data file of LSI layout data, an arbitrary number of continuous graphic information is regarded as one set in order, and the whole is divided into a plurality of sets. Map information having graphic information in the set, set region information, and file seek information is created and used as a cache file.
In the case of stream format data, as shown in FIG. 8A, the data file has a continuous arrangement of graphic information, and an in-file position (seek point) is given. There is upper position information (this is called file seek information).
Here, for example, as shown in FIG. 8A, the
Such map information 800 is used as a cache file of stream format data.
The cache file of the map information 800 shown in FIG. 8B does not have the bitmap information, but of course, the bitmap information is different from the cache file of the photomask data for the drawing apparatus shown in FIG. You can also use what you have as a cache file.
When the map information 800 shown in FIG. 8B is used as a cache file, the figure data corresponding to the stream format data can be obtained by searching for the figure set unit, but the omitted figure data cannot be obtained. .
[0026]
As for the stream format data, as shown in FIG. 9, for example, the number-of-
[0027]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when the LSI design base or the LSI manufacturing base is far away from the photomask manufacturing base where the photomask data for the drawing apparatus exists, When displaying a figure of photomask data, even if the amount of data increases, the photomask data viewing can be performed at a practical level from the viewpoint of workability without increasing the time spent viewing the photomask data. A data display device can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an example of an embodiment of a photomask data display device of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing the configuration at a first point in FIG. 1 in more detail.
FIG. 3 is a diagram showing a display state.
4A is a diagram showing the structure of a photomask data cache file for a drawing apparatus, and FIG. 4B is a diagram for explaining the relationship between the figure layout on the photomask, the figure group, and the figure. FIG. 4C is a diagram for explaining the relationship between the seek tip position and seek end position of the cache file and the storage position of the corresponding photomask data.
FIG. 5 is a diagram for explaining bitmap display;
6 (a), 6 (b), and 6 (c) are diagrams showing bitmap states, and FIGS. 6 (a1), 6 (b1), and 6 (c1) are FIG. FIGS. 7A and 7B are diagrams illustrating abbreviated figures generated corresponding to FIGS. 6A, 6B, and 6C, respectively.
7A is a diagram illustrating graphics of a graphic group, and FIG. 7B is a diagram illustrating a state in which the graphic group of FIG. 7A is omitted.
FIG. 8A is a diagram showing a relationship between a file structure and a graphic set, and FIG. 8B is a diagram showing a cache file structure.
FIG. 9 is a diagram showing another cache file structure of stream format data.
[Explanation of symbols]
11 First storage means (magnetic disk)
12 First graphic data acquisition means
13 Graphic display control means
14 Display means (display)
15 Control unit
16 Input means
17 Communication means
21 Second storage means (magnetic disk)
22 Second graphic data acquisition means
27 Communication means
31, 32, 32a, 32b Graphic data or abbreviated graphic data
33 Display graphic data
41, 42 Clip information
43, 43a Communication information such as clip information
120 Cache file existence confirmation means
130 Cache file creation means
140 Display method determining means
150 Abbreviated figure generation means
160 Figure acquisition means
210 Photomask data
211 Graphic information
220 Cache file
221 Cache information
230 Input information (display position, data name, clip information, etc.)
240 Omitted information (bitmap information)
250 File seek information
270 Cache file existence information
311
312
320 figures
330 zones
A (m, n) divided area
Me mesh
800 Map information (also called cache file)
810 Collective information
820 area information
830 location information
840 Number of figures information
850 Graphic area information
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