JP4036023B2 - インクジェット装置、有機ｅｌディスプレイパネル製造方法、パラメータ決定方法およびパラメータ決定プログラム - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドの有するノズルからインクを吐出させることにより対象物の着色を行うインクジェット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、インクジェット装置を利用して、有機EL(Electro Luminescence）ディスプレイパネルや液晶ディスプレイのカラーフィルタなどのパネルを製造する様々な方法が提案されている。
【０００３】
例えば、特開２００１−２２８３２０号公報には、複数種類のカラーフィルタ毎に、フィルタエレメントに対して付与するインク総量、ノズルから吐出するインク滴一滴当たりの容量（液滴量）、走査回数および副走査量などの製造条件を示すデータをあらかじめ用意しておき、このデータに基づく製造条件でカラーフィルタを製造するといった製造方法が記載されている。この方法によれば、製造すべきカラーフィルタの種類を変更する際には製造条件を示すデータを変更するだけでよいため、製造すべきカラーフィルタの種類を変更する際の段取りに要する時間を大幅に短縮することができた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、有機ELディスプレイパネルや液晶ディスプレイのカラーフィルタなどのパネルをインクジェット装置により製造する際、最も重要なパラメータはインクにより形成（製膜）される塗膜の厚さであり、これに加えて塗膜の形成位置である。そのため、従来から同一種類のパネルを製造する場合であっても、塗膜の厚さを任意に調節したいという要望もあった。
【０００５】
インクにより形成される塗膜の厚さは、通常、単位面積当たりに吐出されるインク滴の数とインク滴一滴当たりの容量とにより一意に決まるため、塗膜の厚さを調節するためには、インクジェットヘッドのノズルから吐出されるインク滴一滴当たりの容量を調節すればよいことになる。インクジェット装置では、インクジェットヘッドに印加される駆動信号のパラメータ（例えば、駆動電圧、駆動周波数、波形など）を調節すれば、ノズルから吐出されるインク滴一滴当たりの容量が変更できるため、塗膜の厚さを調節するためには、駆動信号のパラメータを調節すればよいことになる。
【０００６】
しかし、上述した製造方法では、カラーフィルタの種類毎に製造条件が決められており、同一のカラーフィルタを製造する場合であれば製造条件、つまり、駆動信号のパラメータも同一であるため、インク滴の容量を容易に変更することはできなかった。例えば、インク滴の容量が異なるように決められた複数の製造条件を同一のカラーフィルタ毎に用意すれば、同一のカラーフィルタを製造する場合でもインク滴一滴当たりの容量を変更することはできるが、このように製造条件毎に複数のデータを用意することはデータを作成する手間が膨大になるため現実的ではない。このように複数の製造条件を用意しない場合には、使用者が各パラメータを設定しなければならず、使用者に対する負荷が大きく、作業自体も煩雑なものになる。
【０００７】
本発明は、所望するインク滴の容量に合わせて、製造条件毎に複数のデータを用意しなくても、インクジェットヘッドに印加する駆動信号のパラメータを容易に変更することのできるインクジェット装置、パラメータ決定方法および有機ELディスプレイパネル製造方法を提供すること、また、これらにおいて利用可能なパラメータ決定プログラムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記問題を解決するため第１の発明であるインクジェット装置は、
インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置であって、
単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量を入力する容量入力手段と、
該容量入力手段により入力された前記単位容量に基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定するパラメータ決定手段と、
基準となるパラメータである基準パラメータに対応する基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手段とを備え、
前記パラメータ決定手段は、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
ことを特徴とする。
【０００９】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段によって、容量入力手段により入力された単位容量に基づき基準パラメータが修正され、この修正された基準パラメータがインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定される。そのため、容量入力手段により所望するインク滴の単位容量を入力すれば、この単位容量に合わせて、インクジェットヘッドに印加される駆動信号のパラメータを容易に変更することができる。
【００１０】
なお、このインクジェット装置において、パラメータ決定手段は、まず、基準パラメータを修正して、修正した基準パラメータに基づいて基準容量算出手段が算出した基準容量と、容量入力手段により入力された単位容量とを比較する。そして、両者の差が所定のしきい値以下となるまで、基準パラメータの修正、基準容量算出手段による基準容量の算出、および、基準容量と単位容量との比較を繰り返す。こうして、容量入力手段により所望のインク滴の単位容量を入力すれば、両者の差が所定のしきい値以下となった際の基準パラメータが容易に求められ、インクジェットヘッドに印加すべき所望の塗膜の厚さを与える駆動信号のパラメータを、インクジェット装置の操作に習熟しなくても容易に決定することができる。
【００１１】
また、第２の発明であるインクジェット装置は、
インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力する間隔入力手段を備え、
前記パラメータ決定手段は、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定する
ことを特徴とする。
【００１２】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段によって、容量入力手段により入力された単位容量だけでなく、間隔入力手段により入力された単位間隔にも基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定することができる。
【００１３】
なお、上述の単位間隔とは、インクジェットヘッドがインク滴を吐出しながら対象物の上面に沿って走査する際に、この走査方向における単位領域の間隔を示すものである。パラメータ決定手段は、単位容量のインク滴を所望の単位間隔で吐出するようなパラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するので、任意の画素間隔に対しても所望の厚みの膜を容易に得ることが可能になる。
【００１４】
また、パラメータ決定手段によって基準パラメータを修正するための構成は特に限定されないが、例えば、下記第３の発明のように、
前記パラメータ決定手段は、前記基準パラメータに対して設定された上限および下限の範囲で当該基準パラメータを増減させることによって該基準パラメータを修正するように構成すればよい。
【００１５】
このように構成されたインクジェット装置によれば、基準パラメータに対してインクジェットヘッドが良好に動作可能な範囲として設定された上限および下限の範囲内で基準パラメータを増減させることによって基準パラメータを修正することができる。
【００１６】
また、第４の発明であるインクジェット装置は、
前記基準駆動信号はｎ種類の前記基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）を有しており、
前記パラメータ決定手段は、ｎ種類の前記基準パラメータ毎に設定された上限および下限の範囲でｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを増減させることを特徴とする。
【００１７】
このように構成されたインクジェット装置によれば、ｎ種類の基準パラメータを有する基準駆動信号に基づいて、ｎ種類の基準パラメータのうち１以上の基準パラメータを増減させて修正し、この修正した基準パラメータを含むｎ種類の基準パラメータを、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。
【００１８】
なお、このインクジェット装置において、パラメータ決定手段は、まず、１種類以上の基準パラメータを増減させることにより基準パラメータを修正し、修正した基準パラメータを含むｎ種類の基準パラメータに基づいて基準容量算出手段が算出した基準容量と、容量入力手段により入力された単位容量とを比較する。そして、両者の差が所定のしきい値以下となるまで、基準パラメータの修正、基準容量算出手段による基準容量の算出、および、基準容量と単位容量との比較を繰り返す。こうして、容量入力手段により所望のインク滴の単位容量を入力すれば、両者の差が所定のしきい値以下となった際の各基準パラメータが的確に求められ、インクジェットヘッドに印加すべき所望の塗膜の厚さを与える駆動信号のパラメータを条件的に無理のない形で決定することができる。
【００１９】
また、上述したパラメータ決定手段は、１種類以上の基準パラメータを増減させる際に、同時に複数種類の基準パラメータを増減させるように構成してもよいが、１種類毎に基準パラメータを増減させるように構成してもよい。１種類毎に基準パラメータを増減させる場合の構成は特に限定されないが、例えば、下記第５の発明であるインクジェット装置のように、
前記パラメータ決定手段は、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させるとよい。
【００２０】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段が、第ｉ基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、基準容量と単位容量との差がしきい値よりも大きい場合には、第ｉ基準パラメータを除くいずれかの基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、基準容量と単位容量との差がしきい値以下となるように第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる。そのため、基準容量と単位容量との差をしきい値以下とするのに効果的に寄与する基準パラメータを、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとしてインクジェットが良好に動作可能な範囲内で無理なく決定することができる。
【００２１】
また、第６の発明であるインクジェット装置は、
前記パラメータ決定手段は、少なくとも前記第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を変更させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させることを特徴とする。
【００２２】
このように構成されたインクジェット装置によれば、第ｉ基準パラメータを除くいずれかの基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた際に、この増加または減少量に応じて、第ｉ基準パラメータの上限または下限を変更することができる。そのため、第ｉ基準パラメータを除くいずれかの基準パラメータを増加または減少させた前後で、第ｉ基準パラメータを、異なる上限および下限の範囲で増減させることができる。
【００２３】
また、１種類毎に基準パラメータを増減させる場合の別の構成として、下記第７の発明のように、
前記パラメータ決定手段は、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させるように構成してもよい。
【００２４】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段が、第ｉ基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、基準容量と単位容量との差がしきい値よりも大きい場合には、第ｉ＋１基準パラメータを増加または減少させる。そのため、第ｉ基準パラメータのみを増減させて基準容量と単位容量との差がしきい値以下とならない場合でも、第ｉ＋１基準パラメータを順次増減させることによって、両者の差がしきい値以下となるような基準パラメータを、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。この場合、基準パラメータの調整手順が単純な分、所望のパラメータを迅速に決めることができる。
【００２５】
ところで、本インクジェット装置においては、基準容量と単位容量との差がしきい値以下となる前に、全ての基準パラメータが上限まで増加または下限まで減少してしまった場合には、基準容量と単位容量との差をしきい値以下とすることができなくなり、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定できなくなる恐れがある。
【００２６】
そこで、第８の発明であるインクジェット装置のように、
前記パラメータ決定手段は、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するように構成するとよい。
【００２７】
このように構成されたインクジェット装置によれば、基準容量と単位容量との差がしきい値以下となる前に、全ての基準パラメータが上限まで増加または下限まで減少してしまった場合でも、基準容量と単位容量との差が最も小さくなるように修正した基準パラメータを、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。
【００２８】
また、第９の発明であるインクジェット装置は、
前記パラメータ決定手段は、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定する
ことを特徴とする。
【００２９】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段によって、駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定することができる。
また、第１０の発明であるインクジェット装置は、
前記パラメータ決定手段は、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定する
ことを特徴とする。
【００３０】
このように構成されたインクジェット装置によれば、パラメータ決定手段によって、駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定することができる。
また、第１１の発明であるインクジェット装置は、
容量入力手段は、前記単位容量として、有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記単位容量が入力され、
基準容量算出手段は、前記基準容量として、有機EL材料のインク滴における前記基準容量を算出することを特徴とする。
【００３１】
このように構成されたインクジェット装置によれば、基準容量算出手段によって、有機EL材料のインク滴における基準容量を算出することができる。
また、第１２の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドによって、有機EL(Electro Luminescence）ディスプレイパネルを製造する方法であって、
単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量として、有機EL材料のインク滴における前記単位容量を入力する容量入力工程と、
基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量として、有機EL材料のインク滴における前記基準容量を算出する基準容量算出工程と、
前記単位容量と前記基準容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定工程と、
該パラメータ決定工程により決定されたパラメータに対応する駆動信号でインクジェットヘッドを駆動する駆動工程とを行うことによって、有機ELディスプレイパネルを製造することを特徴とする。
【００３２】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第１の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１３の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力する間隔入力工程を行い、
前記パラメータ決定工程において、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定する
ことを特徴とする。
【００３３】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第２の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１４の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程において、前記基準パラメータに対して設定された上限および下限の範囲で当該基準パラメータを増減させることによって該基準パラメータを修正することを特徴とする。
【００３４】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第３の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１５の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記基準駆動信号はｎ種類の前記基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）を有しており、
前記パラメータ決定工程において、ｎ種類の前記基準パラメータ毎に設定された上限および下限の範囲でｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを増減させることを特徴とする。
【００３５】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第４の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１６の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程において、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
ことを特徴とする。
【００３６】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第５の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１７の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程において、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
ことを特徴とする。
【００３７】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第６の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１８の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程において、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させることを特徴とする。
【００３８】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第７の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第１９の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程において、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
ことを特徴とする。
【００３９】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第８の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第２０の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程においては、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定することを特徴とする。
【００４０】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第９の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第２１の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法は、
前記パラメータ決定工程においては、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定することを特徴とする。
【００４１】
このような有機ELディスプレイパネル製造方法によれば、上記第１０の発明であるインクジェット装置を利用して有機ELディスプレイパネルを製造するのに好適である。
また、第２２の発明であるパラメータ決定方法は、
インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置において、インクジェットヘッドに印加する駆動信号のパラメータを決定する方法であって、
基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を、前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出して、
該算出した前記基準容量と、単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定することを特徴とする。
【００４２】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第１の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力して、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定するようにしてもよい。
【００４３】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第２の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記基準パラメータに対して設定された上限および下限の範囲で当該基準パラメータを増減させることによって該基準パラメータを修正するようにしてもよい。
【００４４】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第３の 発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記基準駆動信号がｎ種類の前記基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）を有している場合に、ｎ種類の前記基準パラメータ毎に設定された上限および下限の範囲でｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを増減させるようにしてもよい。
【００４５】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第４の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させるようにしてもよい。
【００４６】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第５の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、少なくとも前記第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させるようにしてもよい。
【００４７】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第６の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させるようにしてもよい。
【００４８】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第７の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するようにしてもよい。
【００４９】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第８の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定するようにしてもよい。
【００５０】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第９の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、このパラメータ決定方法を、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定するようにしてもよい。
【００５１】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第１０の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、第２３の発明であるパラメータ決定方法は、
有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記基準容量を算出して、
該算出した前記基準容量と単位領域内に吐出させるべき有機EL材料のインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定することを特徴とする。
【００５２】
このような方法で駆動信号のパラメータを決定するインクジェット装置は、上記第１１の発明であるインクジェット装置と同様の構成であるため、同インクジェット装置と同様の作用・効果を得ることができる。
また、第２４の発明であるパラメータ決定プログラムは、
インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置を制御するためのプログラムであって、
コンピュータシステムに、
基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手順と、
該基準容量算出手順において算出された前記基準容量と単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定手順とを実行させるためのパラメータ決定プログラムである。
【００５３】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第１の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第１の発明であるインクジェット装置によって、上記第１２の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００５４】
また、このパラメータ決定プログラムを、コンピュータシステムに、インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力する間隔入力手順を実行させるためのプログラムであって、前記パラメータ決定手順において、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定するプログラムとしてもよい。
【００５５】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第２の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第２の発明であるインクジェット装置によって、上記第１３の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００５６】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、前記基準パラメータに対して設定された上限および下限の範囲で当該基準パラメータを増減させることによって該基準パラメータを修正するプログラムとしてもよい。
【００５７】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第３の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第３の発明であるインクジェット装置によって、上記第１４の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００５８】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記基準駆動信号はｎ種類の前記基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）を有している場合に、前記パラメータ決定手順において、ｎ種類の前記基準パラメータ毎に設定された上限および下限の範囲でｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを増減させるプログラムとしてもよい。
【００５９】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第４の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第４の発明であるインクジェット装置によって、上記第１５の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６０】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させるプログラムとしてもよい。
【００６１】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第５の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第５の発明であるインクジェット装置によって、上記第１６の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６２】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、少なくとも前記第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させるプログラムとしてもよい。
【００６３】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第６の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第６の発明であるインクジェット装置によって、上記第１７の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６４】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させるプログラムとしてもよい。
【００６５】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第７の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第７の発明であるインクジェット装置によって、上記第１８の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６６】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するプログラムとしてもよい。
【００６７】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第８の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第８の発明であるインクジェット装置によって、上記第１９の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６８】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定するプログラムとすれば、上記第９の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第９の発明であるインクジェット装置によって、上記第２０の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００６９】
また、このパラメータ決定プログラムを、前記パラメータ決定手順において、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定するプログラムとすれば、上記第１０の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。また、このパラメータ決定プログラムは、コンピュータシステムまたは上記第１０の発明であるインクジェット装置によって、上記第２１の発明である有機ELディスプレイパネル製造方法を行うのに好適である。
【００７０】
また、上記第２５の発明であるパラメータ決定プログラムは、
前記基準容量算出手順において、有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記基準容量を算出して、
前記パラメータ決定手順において、前記基準容量算出手順において算出された前記基準容量と、単位領域内に吐出させるべき有機EL材料のインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するプログラムである。
【００７１】
このようなパラメータ決定プログラムによって、駆動信号のパラメータを決定するコンピュータシステムは、上記第１１の発明であるインクジェット装置の一部を構成することができる。
なお、上述したパラメータ決定プログラムは、例えば、ＦＤ、ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体、無線・有線からなる通信回線網を介して、コンピュータシステム、インクジェット装置、または、これらを利用する利用者に提供されるものである。
【００７２】
また、パラメータ決定プログラムを実行するコンピュータシステムとしては、例えば、上述のインクジェット装置の備えるＣＰＵなどからなるコンピュータシステムを利用してもよいし、有線・無線を介してインクジェット装置に接続される別のコンピュータシステムを利用してもよい。
【００７３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について例を挙げて説明する。
［全体構成］
インクジェット装置１は、図１に示すように、インクジェットヘッド（以降、単にヘッドとする）１０、ヘッド１０に駆動信号を入力するヘッド駆動回路２０、ヘッド１０をｘ軸方向（図１における左右方向：矢印ａ参照）に移動させるｘ軸モータ３０、ｘ軸モータ３０を駆動するｘ駆動回路４０、着色する対象物を取り付けるステージ５０、ステージ５０をｙ軸方向（図１における上下方向：矢印ｂ参照）に移動させるｙ軸モータ６０、ｙ軸モータ６０を駆動するｙ駆動回路７０、インクジェット装置１を制御する制御装置８０などで構成されている。このインクジェット装置１は、ｘ軸モータ３０およびｙ軸モータ６０によりヘッド１０とステージ５０との位置関係を相対的に変更しながら、ヘッド１０からインク滴を吐出することによって、ステージ５０に取り付けられた対象物への製膜を行う。
【００７４】
ヘッド１０は、複数色（本実施形態においては、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色）のインクそれぞれに対応する色別のヘッドユニット１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂを備えている。
ヘッド１０の備えるヘッドユニット１００は、図２に示すように、インク滴を吐出するノズル１０２、図示されないインクタンクから供給されるインクをノズル１０２まで導くインク流路１０４および圧力室１０５、ダイアフラム１０６を介して圧力室１０５を狭めたり拡げたりする圧電素子１０８などが設けられている。
【００７５】
この圧電素子１０８は、ヘッド駆動回路２０から入力した駆動信号の電圧（以降、駆動電圧とする）がHIGHレベルとなった際に、圧力室１０５を拡げるように収縮する。これにより、圧力室１０５が拡げられてインクがインクタンクからインク流路１０４を介して圧力室１０５内に引き込まれる。そして、駆動電圧がHIGHレベルからLOWレベルとなった後、圧電素子１０８が蓄えられた電荷が放電すると共に圧力室１０５を拡げるように伸張する（図２（ｂ）、（ｃ）における矢印参照）。これにより、圧力室１０５が狭められることに伴いインク滴が圧力室１０５を通ってノズル１０２から吐出される。なお、図２（ｂ）には図２（ａ）のＸ−Ｘ断面を示し、図２（ｃ）には図２（ａ）のＹ−Ｙ断面を示す。また、上述した圧電素子１０８、圧力室１０５およびノズル１０２は、ヘッドユニット１００に複数（本実施形態においては、１２８）組設けられており、それぞれの圧電素子１０８に対して個別にヘッド駆動回路２０から駆動信号が入力されるように構成されている。
【００７６】
また、ヘッドユニット１００は、ヘッド駆動回路２０から入力された駆動信号のパラメータによって、ノズル１０２から吐出するインク滴一滴当たりの容量が変化する。駆動信号のパラメータには、駆動電圧、駆動信号の周波数（以降、駆動周波数とする）および波形パラメータなどがあり、駆動電圧および駆動周波数は、共に大きな値になるほどノズル１０２から吐出されるインク滴一滴当たりの容量が多くなる。この増加傾向は、一定の範囲内において正比例の関係を示すことが実験的に求められている。また、波形パラメータは、図３に示したように、駆動電圧をHIGHレベルからLOWレベルとするまでの放電時間ｔ１、駆動電圧をLOWレベルで保持する保持時間ｔ２、および、駆動電圧をLOWレベルからHIGHレベルとするまでの充電時間ｔ３などで決まる波形の形状を示すパラメータであって、放電時間ｔ１および保持時間ｔ２の合計が長くなるほど、駆動電圧および駆動周波数の増加に伴いノズル１０２から吐出されるインク滴一滴当たりの容量が緩やかな増加傾向を示すことが実験的に求められている。
【００７７】
ヘッド駆動回路２０は、ヘッド１０の備える色別のヘッドユニット１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂそれぞれに対応する駆動回路２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂを備えている。このヘッド駆動回路２０は、制御装置８０から制御信号が入力された際に、この制御信号で指令された駆動電圧、駆動周波数、波形パラメータとなっている駆動信号を生成し、この駆動信号をヘッドユニット１００の各圧電素子１０８に出力する。
【００７８】
制御装置８０は、インクジェット装置１全体の動作を制御するＣＰＵ８１、ＣＰＵ８１による処理手順などを記憶しているＲＯＭ８２、ＣＰＵ８１による処理結果などを記憶するＲＡＭ８３、ハードディスク（以降、ＨＤとする）８４、キーボード８５、ディスプレイ８６、ディスクドライブ８７などを備えている。
【００７９】
制御装置８０の備えるＣＰＵ８１は、ＲＯＭ８２に記憶されている制御プログラムに基づく処理手順で、ｘ駆動回路４０とｘ軸モータ３０、および、ｙ駆動回路７０とｙ軸モータ６０を介してヘッド１０およびステージ５０の動作を制御する。このとき、ヘッド１０は、ＨＤ８４に記憶されている軌跡データにより指定されている軌跡に沿ってステージ５０に対して相対移動するように制御される。また、ＣＰＵ８１は、ヘッド１０がステージ５０に対して相対移動する際、後述するパラメータ決定処理（図５）により生成された制御信号をヘッド駆動回路２０に出力する。
【００８０】
また、ＨＤ８４には、ヘッド１０に入力する駆動信号の基準となるパラメータ（以降、基準パラメータとする）の登録されたパラメータテーブルが記憶されている。パラメータテーブルは、図４に示すように、複数種類の波形パラメータ（本実施形態においては、第１から第３波形）毎に、基準となる駆動電圧esおよび駆動周波数fs（以降、基準電圧、基準周波数とする）、基準電圧esおよび基準周波数fsの駆動信号（本発明における基準駆動信号）を入力したヘッド１０から吐出されるインク滴一滴当たりの容量を示す基準容量cs、基準電圧esおよび基準周波数fsを増減可能な範囲（上限値eup、fupおよび下限値elow、flow）、電圧係数Δeおよび周波数係数Δfなどが登録されている。これらのうち、増減可能な範囲とは、基準容量csが駆動電圧および駆動周波数に比例して増減する範囲（上限値および下限値の範囲）である。また、電圧・周波数係数Δe、Δfとは、後述するパラメータ決定処理（図５）で、基準容量csを修正する際に利用される係数であって、基準電圧esおよび基準周波数fsの変化に伴って変化する基準容量csの変化量を示す値である。
【００８１】
なお、パラメータテーブルに登録されている基準パラメータは、対象物への着色を行う際に使用するインクの種類毎にあらかじめ求められたものであって、本実施形態においては、ディスプレイパネルへの着色を行う際に使用する有機EL(Electro Luminescence）材料のインクにおける基準パラメータが登録されている。この有機EL材料のインクを使用してディスプレイパネルへの着色を行うことによって、有機ELディスプレイパネルを製造することができる。
【００８２】
［ＣＰＵ８１のパラメータ決定処理］
以下に、制御装置８０の備えるＣＰＵ８１により実行されるパラメータ決定処理を図５に基づいて説明する。このパラメータ決定処理は、パラメータ決定処理を開始するための所定の操作がキーボード８５によって行われた際に開始される。
【００８３】
まず、ＣＰＵ８１は、単位容量ciおよび単位間隔piの入力処理を行う（ｓ１１）。この処理において、ＣＰＵ８１は、単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量ci（pL）と、単位領域の間隔である単位間隔pi（μm）との入力を促すための画像をディスプレイ８６に表示させる。そして、キーボード８５によって、単位容量ciと単位間隔piとが入力されるまで待機し、単位容量ciと単位間隔piとが入力されたら次の処理に移る。なお、上述した単位領域とは、例えば、対象物をディスプレイパネルとした場合にディスプレイパネルにおける各画素（ドット）を構成する領域のことである。また、単位間隔とは、ヘッド１０がインク滴を吐出しながら対象物の上面に沿って相対移動する際に、この移動方向における単位領域の間隔を示すものであって、対象物をディスプレイパネルとした場合に各画素の間隔（または幅）を示すものである。以降の処理では、ヘッド１０が対象物の上面に沿って相対移動する際に、単位容量ciのインク滴を単位間隔piで吐出できるようなパラメータが駆動信号のパラメータとして決定されることになる。
【００８４】
次に、ＣＰＵ８１は、変数Ｎを初期化する（ｓ１２）。この処理においては、変数Ｎに「１」がセット（１→Ｎ）される。この変数Ｎは、以降の処理で波形パラメータを識別する際に利用されるものである。なお、以降に記載の「ｎ」は変数Ｎにセットされている値を示すものとする。
【００８５】
次に、ＣＰＵ８１は、第ｎ波形の基準パラメータを読み出す（ｓ１３）。この処理においては、パラメータテーブルに登録されている第ｎ波形の基準パラメータのうち、基準電圧es（Ｖ）、基準周波数fs(kHz)、基準容量cs（pL）、電圧係数Δe、周波数係数Δfおよび増減可能な範囲（上限値eup、fupおよび下限値elow、flow）が読み出される。そして、読み出された基準パラメータのうち、基準電圧esが変数Ｅにセットされる。なお、変数Ｅは、基準電圧esまたは基準電圧esを修正した値「ｅ」がセットされる変数である。
【００８６】
次に、ＣＰＵ８１は、変数Ｍ、変数Ｄを初期化する（ｓ１４）。この処理においては、変数Ｍに「１」がセット（１→Ｍ）され、変数Ｄにはｓ１１の処理で入力された単位容量ciとｓ１３の処理で読み出された基準容量csとの差を示す値がセット（|ci-cs|→Ｄ）される。なお、変数Ｍは、単位領域内に吐出させるべきインク滴の液滴数を示す値「ｍ」がセットされる変数であって、変数Ｄは、単位容量ciと基準容量csとの差（|ci-cs|）を示す値がセットされる変数である。
【００８７】
次に、ＣＰＵ８１は、基準周波数fsを修正する（ｓ１５）。この処理においては、ｓ１１の処理で入力された単位間隔pi（μm）、変数Ｍの値「ｍ」およびヘッド１０が移動する速度として設定されている走査速度vh（μm/s）に基づいて算出された周波数ｆ（＝ｍ＊vh／pi（kHz））が新たな基準周波数fsとして変数Ｆにセットされる。なお、変数Ｆは、基準周波数fsまたは基準周波数fsを修正した値「ｆ」がセットされる変数である。
【００８８】
次に、ＣＰＵ８１は、基準容量csを修正する（ｓ１６）。この処理において、ＣＰＵ８１は、まず、ｓ１３の処理で読み出された基準電圧esおよび電圧係数Δeと、変数Ｅの値「ｅ」とに基づいて、基準電圧esの修正に伴う基準容量csの変化量を算出する。ここでは、ｓ１３の処理で読み出された基準電圧esと変数Ｅの値「ｅ」との差が基準電圧esの修正に伴う変化量（＝es−ｅ）として算出され、この変化量と電圧係数Δeとの積算値が、基準電圧esの修正に伴う基準容量csの変化量（＝（es−ｅ）＊Δe）として算出される。続いて、ｓ１３の処理で読み出された基準周波数fsおよび周波数係数Δfと、変数Ｆにセットされている値「ｆ」とに基づいて、基準周波数fsの修正に伴う基準容量csの変化量を算出する。ここでは、ｓ１３の処理で読み出された基準周波数fsと変数Ｆの値「ｆ」との差が基準周波数fsの修正に伴う変化量（＝fs−ｆ）として算出され、この変化量と周波数係数Δfとの積算値が、基準周波数fsの修正に伴う基準容量csの変化量（＝（fs−f）＊Δf）として算出される。そして、これらの各変化量と基準容量csとの加算値（＝cs＋（（es−ｅ）＊Δe）＋（（fs−f）＊Δf））を新たな基準容量csとする。
【００８９】
次に、ＣＰＵ８１は、ｓ１１の処理で入力された単位容量ciと、ｓ１６の処理で修正された基準容量csとの差が所定のしきい値th以下（|ci-cs|≦th）となっているかどうかをチェックする（ｓ１７）。しきい値thは、あらかじめ定められた値（本実施形態においては、0.5（pL））であるが、任意に変更できる値としてもよい。
【００９０】
このｓ１７の処理で、単位容量ciと基準容量csとの差がしきい値thよりも大きい場合（ｓ１７：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は、単位容量ciと基準容量csとの差を示す値（|ci-cs|）が変数Ｄにセットされている値「ｄ」よりも小さい（|ci-cs|＜ｄ）かどうかをチェックする（ｓ１８）。
【００９１】
このｓ１８の処理で、単位容量ciと基準容量csとの差を示す値が、変数Ｄにセットされている値「ｄ」よりも小さい（|ci-cs|＜ｄ）場合（ｓ１８：ＹＥＳ）、この差を示す値を変数Ｄにセット（|ci-cs|→Ｄ）し直す（ｓ１９）。以降、このｓ１９の処理が繰り返し行われることによって、変数Ｄには、単位容量ciと基準容量csとの差を示す値の最小値がセットされていくことになる。
【００９２】
次に、ＣＰＵ８１は、変数Ｅにセットされている値「ｅ」を変数Min［0］にセット（Ｅ→Min［0］）し、変数Ｆにセットされている値「ｆ」を変数Min［1］にセット（Ｆ→Min［1］）して、さらに、変数Ｎにセットされている値「ｎ」を変数Min［2］にセット（Ｎ→Min［2］）する（ｓ２０）。以降、このｓ２０の処理が繰り返し行われることによって、変数Min[0]から[2]には、単位容量ciと基準容量csとの差を示す値が最小値となっているときの基準電圧es、基準周波数fsおよび変数Ｎの値「ｎ」がセットされることになる。
【００９３】
こうして、ｓ２０の処理を終えた後、または、ｓ１８の処理で単位容量ciと基準容量csとの差を示す値が、変数Ｄにセットされている値「ｄ」以上（ｄ≦|ci-cs|）である場合（ｓ１８：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は、基準電圧esを修正可能であるかどうかをチェックする（ｓ２１）。この処理においては、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合と小さい場合とで異なる条件に基づいて、基準電圧esを修正可能であるかどうかがチェックされる。
【００９４】
まず、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合（ci＜cs）、基準パラメータを減少させることによって、基準容量csを小さくする必要がある。ここで、基準パラメータのうちの基準電圧esを減少させるためには、基準電圧esがｓ１３の処理で読み出された下限値elowよりも大きくなければならない。そのため、変数Ｅにセットされている基準電圧esを示す値「ｅ」が下限値elowより大きければ（elow＜ｅ）、さらに基準電圧esを減少させることができるため、基準電圧esが修正可能であると判定される。また、変数Ｅにセットされている基準電圧esを示す値「ｅ」が下限値elow以下であれば（ｅ≦elow）、さらに基準電圧esを減少させることができないため、基準電圧esが修正可能でないと判定される。
【００９５】
一方、単位容量ciよりも基準容量csが小さい場合（ci＞cs）、基準パラメータを増加させることによって、基準容量csを大きくする必要がある。ここで、基準パラメータのうちの基準電圧esを増加させるためには、基準電圧esがｓ１３の処理で読み出された上限値eupよりも小さくなければならない。そのため、変数Ｅにセットされている基準電圧esを示す値「ｅ」が上限値eupより小さければ（ｅ＜eup）、さらに基準電圧esを増加させることができるため、基準電圧esが修正可能であると判定される。また、変数Ｅにセットされている基準電圧esを示す値「ｅ」が上限値eup以上であれば（eup≦ｅ）、さらに基準電圧esを増加させることができないため、基準電圧esが修正可能でないと判定される。
【００９６】
このｓ２１の処理で、基準電圧esを修正可能であれば（ｓ２１：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は、基準電圧esを修正する（ｓ２２）。この処理において、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合は（ci＜cs）、変数Ｅから「１（Ｖ）」を減算した値が新たな基準電圧esとして変数Ｅにセットされる（Ｅ−１→Ｅ）。一方、単位容量ciよりも基準容量csが小さい場合には（ci＞cs）、変数Ｅに「１（Ｖ）」を加算した値が新たな基準電圧esとして変数Ｅにセットされる（Ｅ＋１→Ｅ）。
【００９７】
また、ｓ２１の処理で、基準電圧esを修正可能でなければ（ｓ２１：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は、基準周波数fsを修正可能であるかどうかをチェックする（ｓ２３）。この処理においては、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合と小さい場合とで異なる条件に基づいて、基準周波数fsを修正可能であるかどうかがチェックされる。
【００９８】
まず、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合（ci＜cs）、基準パラメータを減少させることによって、基準容量csを小さくする必要がある。ここで、基準パラメータのうちの基準周波数fsを減少させるためには、基準周波数fsがｓ１３の処理で読み出された下限値flowよりも大きくなければならない。そのため、変数Ｆにセットされている基準周波数fsを示す値「ｆ」が下限値flowより大きければ（flow＜ｆ）、さらに基準周波数fsを減少させることができるため、基準周波数fsが修正可能であると判定される。また、変数Ｆにセットされている基準周波数fsを示す値「ｆ」が下限値flow以下であれば（ｆ≦flow）、さらに基準周波数fsを減少させることができないため、基準周波数fsが修正可能でないと判定される。
【００９９】
一方、単位容量ciよりも基準容量csが小さい場合、基準パラメータを増加させることによって、基準容量csを大きくする必要がある。ここで、基準パラメータのうちの基準周波数fsを増加させるためには、基準周波数fsがｓ１３の処理で読み出された上限値fupよりも小さくなければならない。そのため、変数Ｆにセットされている基準周波数fsを示す値「ｆ」が上限値fupより小さければ（ｆ＜fup）、さらに基準周波数fsを増加させることができるため、基準周波数fsが修正可能であると判定される。変数Ｆにセットされている基準周波数fsを示す値「ｆ」が上限値fup以上であれば（fup≦ｆ）、さらに基準周波数fsを増加させることができないため、基準周波数fsが修正可能でないと判定される。
【０１００】
このｓ２３の処理で、基準周波数fsを修正可能であれば（ｓ２３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は、基準周波数fsを修正する（ｓ２４）。この処理において、ＣＰＵ８１は、まず、単位容量ciよりも基準容量csが大きい場合（ci＜cs）、走査速度vhを所定の速度v0だけ遅くした速度（＝vh−v0）を新たな走査速度vhとする。一方、単位容量ciよりも基準容量csが小さい場合（ci＞cs）、走査速度vhが上限の速度である最高走査速度でなければ、走査速度vhを所定の速度v0だけ速くした速度（＝vh＋v0）を新たに走査速度vhとし、走査速度vhが最高走査速度であれば、変数Ｍに「１」を加算（Ｍ＋１→Ｍ）する。ここで、変数Ｍに「１」を加算することは、単位領域内に吐出させるインク滴の液滴数を増やすことを示す。そして、ｓ１１の処理で入力された単位間隔pi（μm）、変数Ｍにセットされている値「ｍ」および走査速度vh（μm/s）に基づいて算出した周波数ｆ（＝ｍ＊vh／pi（kHz））を新たな基準周波数fsとして変数Ｆにセットする。
【０１０１】
こうして、ｓ２４の処理を終えた後、または、ｓ２２の処理を終えた後、ｓ１６の処理に戻る。
また、ｓ２３の処理で、基準周波数fsが修正可能でなければ（ｓ２３：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は、変数Ｎの値をチェックする（ｓ２５）。
【０１０２】
このｓ２５の処理において、変数Ｎの値「ｎ」が「３」より小さい（Ｎ＜３）場合（ｓ２５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は、変数Ｎに「１」を加算（Ｎ＋１→Ｎ）して（ｓ２６）、ｓ１３の処理に戻る。これによって、ｓ１３以降の処理が第ｎ＋１波形に対して行われるようになる。なお、第ｎ波形と第ｎ＋１波形は、波形パラメータである放電時間ｔ１、保持時間ｔ２、充電時間ｔ３が異なっているため、ｓ１３以降の処理が第ｎ＋１波形に対して行われるようになることは、波形パラメータが所定量だけ増減するように修正されたことを示している。
【０１０３】
こうして、ｓ１３の処理からｓ２６の処理を繰り返し、各基準パラメータを修正した後、ｓ１７の処理で単位容量ciと基準容量csとの差がしきい値th以下である場合（ｓ１７：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は、変数Ｎ、Ｅ、Ｆに基づいて駆動信号のパラメータを決定する（ｓ２７）。この処理において、ＣＰＵ８１は、まず、変数Ｎの値が、「１」であれば駆動信号の波形パラメータを第１波形で示されるパラメータに決定し、「２」であれば駆動信号の波形パラメータを第２波形で示されるパラメータに決定し、「３」であれば駆動信号の波形パラメータを第３波形で示されるパラメータに決定する。続いて、変数Ｅの値「ｅ」を駆動信号の駆動電圧として決定する。そして、変数Ｆにセットされている値「ｆ」を駆動信号の駆動周波数として決定する。このように、本パラメータ決定処理においては、基準パラメータのうちの基準電圧es、基準周波数fsおよび波形パラメータが修正され（ｓ２２、ｓ２４、ｓ２６およびｓ１３の処理）、この修正された各基準パラメータに基づいて修正した基準容量csと（ｓ１６の処理）、ｓ１１の処理で入力された単位容量ciとが比較される（ｓ１７の処理）。そして、両者の差が所定のしきい値th以下となるまで、基準パラメータの修正、基準容量csの修正、および、基準容量csと単位容量ciとの比較が繰り返される。こうして、両者の差が所定のしきい値th以下となった際の各基準パラメータが、ヘッド１０に印加すべき駆動信号のパラメータとして決定される。
【０１０４】
また、ｓ２５の処理で変数Ｎの値「ｎ」が「３」以上（３≦Ｎ）である場合（ｓ２５：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は、変数Min［1］から［3］に基づいて駆動信号のパラメータを決定する（ｓ２８）。この処理において、ＣＰＵ８１は、まず、変数Min［2］の値が、「１」であれば駆動信号の波形パラメータを第１波形で示されるパラメータに決定し、「２」であれば駆動信号の波形パラメータを第２波形で示されるパラメータに決定し、「３」であれば駆動信号の波形パラメータを第３波形で示されるパラメータに決定する。続いて、変数Min［0］の値を駆動信号の駆動電圧として決定する。そして、変数Min［1］の値を駆動信号の駆動周波数として決定する。このように、本パラメータ決定処理においては、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値th以下となるように基準パラメータを修正できない場合には、基準容量csと単位容量ciとの差が最も小さくなるように修正した基準パラメータがヘッド１０に印加すべき駆動信号のパラメータとして決定される。
【０１０５】
そして、ＣＰＵ８１は、制御信号を生成する（ｓ２９）。この処理においては、ｓ２７またはｓ２８の処理で決定されたパラメータとなっている駆動信号を生成させる指令を含む制御信号が生成される。
この後、ＣＰＵ８１は、制御プログラムに基づく処理手順でヘッド１０とステージ５０との動作を制御する際、このｓ２９の処理で生成した制御信号をヘッド駆動回路２０に出力する。この制御信号を入力したヘッド駆動回路２０は、ｓ２７またはｓ２８の処理で決定されたパラメータとなっている駆動信号を生成し、この駆動信号をヘッド１０に出力する。こうして、駆動信号を入力したヘッド１０は、軌跡データにより指定されている軌跡に沿ってステージ５０に対して走査速度vhで相対移動しながら各ヘッドユニット１００からインク滴を吐出することによって、ステージ５０上に取り付けられた対象物への製膜を行う。
［本発明との対応関係］
なお、以上説明した実施形態において、図５のパラメータ決定処理は、本発明におけるパラメータ決定手段およびパラメータ決定工程である。
【０１０６】
また、図５におけるｓ１１の処理は、本発明における容量入力手段、間隔入力手段および容量入力工程である。
また、ｓ１６の処理は、本発明における基準容量算出手段および基準容量算出工程である。
【０１０７】
また、基準パラメータである基準電圧cs、基準周波数fsおよび波形パラメータは、本発明における第１、第２および第３基準パラメータである。
また、制御信号を入力したヘッド駆動回路２０が、ｓ２７またはｓ２８の処理で決定されたパラメータの駆動信号を生成し、この駆動信号をヘッド１０に出力し、駆動信号を入力したヘッド１０が、制御データにより指定されている軌跡に沿ってステージ５０に対して相対移動しながら各ヘッドユニット１００からインク滴を吐出する工程は、本発明における駆動工程である。
【０１０８】
［効果］
このように構成されたインクジェット装置１によれば、図５におけるｓ１１の処理で入力された単位容量ciおよび単位間隔piに基づいて、ｓ１２以降の処理において基準パラメータが修正され、この修正された基準パラメータがヘッド１０に印加（出力）すべき駆動信号のパラメータとして決定される。そのため、ｓ１１の処理で所望する単位容量ciおよび単位間隔piを入力すれば、この単位容量ciおよび単位間隔piに合わせて、ヘッド１０に印加（出力）される駆動信号のパラメータを容易に変更することができる。
【０１０９】
また、ｓ１１の処理では、単位容量ciおよび単位間隔piの入力処理が行われる。そのため、単位容量ciだけでなく単位間隔piに基づいて、ヘッド１０に印加（出力）すべき駆動信号のパラメータを決定することができる。
また、パラメータ決定処理（図５）においては、基準電圧esに対して設定された上限および下限の範囲で基準電圧esを増減させることによって基準電圧esを修正することができる。また、基準周波数fsに対して設定された上限および下限の範囲で基準周波数fsを増減させることによって基準周波数fsを修正することができる。
【０１１０】
また、パラメータ決定処理（図５）においては、基準電圧es、基準周波数fsおよび波形パラメータなどの基準パラメータのうち、少なくとも１種類以上の基準パラメータを増減させて修正し、この修正した基準パラメータを含む全ての基準パラメータを、ヘッド１０に印加（出力）すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。
【０１１１】
また、ｓ２１の処理で基準電圧esを修正可能でない場合は、ｓ２３の処理で基準周波数fsが修正可能であれば、ｓ２４の処理で基準周波数fsを修正することができる。また、ｓ２３の処理で基準周波数fsが修正可能でない場合には、変数Ｎの値「ｎ」が「３」より小さければ、ｓ１３以降の処理が第ｎ＋１波形に対して行われるようになり、こうして、波形パラメータを修正することができる。これによって、ｓ２１の処理で、変数Ｅにセットされている基準電圧esを示す値「ｅ」が下限値以下（または上限値以上）であるとき、つまり、基準電圧esを下限値まで減少（または上限値まで増加）させたのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合には、ｓ２４の処理で基準周波数fsを修正することができる。また、ｓ２３の処理で、変数Ｆにセットされている基準周波数fsを示す値「ｆ」が下限値以下（または上限値以上）であるとき、つまり、基準周波数fsを下限値まで減少（または上限値まで増加）させたのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合には、ｓ２６の処理で変数Ｎに「１」を加算することによって、ｓ１３の処理で波形パラメータを修正することができる。
【０１１２】
また、ｓ２２の処理で基準電圧esを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合には、ｓ２４の処理で基準周波数fsを増加または減少させる。そのため、基準電圧esを上限まで増加または下限まで減少させて基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値th以下とならない場合に、基準周波数fsを増加または減少させることによって、両者の差がしきい値th以下となるような基準パラメータを、ヘッド１０に印加（入力）すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。
【０１１３】
また、ｓ２２およびｓ２４の処理で基準電圧esおよび基準周波数fsを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合には、ｓ２６およびｓ１３の処理で波形パラメータを修正した後、再度、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値th以下となるように基準電圧esおよび基準周波数fsを上限および下限の範囲で増減させる。そのため、基準電圧esおよび基準周波数fsを増減させて基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値th以下とならない場合には、波形パラメータを修正することによって、両者の差がしきい値th以下となるような基準電圧es、基準周波数fsおよび波形パラメータを決定することができる。
【０１１４】
また、ｓ２６およびｓ１３の処理で波形パラメータを修正した後、基準電圧esに対して設定された上限および下限を変更することができる。そのため、波形パラメータを修正した前後で、基準電圧esを、異なる上限および下限の範囲で増減させることができる。
【０１１５】
また、ｓ２２、ｓ２４、ｓ２６およびｓ１３の処理で、基準電圧es、基準周波数fsおよび波形パラメータを全て修正したのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合には、ｓ２８の処理で、変数Min［1］から［3］に基づいて駆動信号のパラメータを決定する。この変数Min［1］から［3］には、基準容量csと単位容量ciとの差が最も小さくなるときの基準パラメータがセットされている。そのため、基準電圧es、基準周波数fsおよび波形パラメータを全て修正したのにも拘わらず、基準容量csと単位容量ciとの差がしきい値thよりも大きい場合であっても、基準容量csと単位容量ciとの差が最も小さくなるように修正した基準パラメータをヘッド１０に印加（入力）すべき駆動信号のパラメータとして決定することができる。
【０１１６】
また、パラメータ決定処理（図５）においては、駆動信号のパラメータである駆動電圧、駆動周波数および波形パラメータを決定することができる。
また、パラメータテーブルには、有機EL材料のインクにおけるパラメータが登録されているため、パラメータ決定処理（図５）において、有機EL材料のインクにおける基準容量csを算出することができる。
【０１１７】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の具体的な実施形態に限定されず、このほかにも様々な形態で実施することができる。
例えば、上記実施形態においては、ヘッド１０の備えるヘッドユニット１００が、圧電素子１０８の伸縮に伴ってノズル１０２からインク滴を吐出するピエゾ方式となっているものを例示した。しかし、ヘッドユニット１００として、発熱体によって気泡を発生させた状態で圧力を加えることによりインク滴を吐出するサーマルインクジェット方式のものを利用することもできる。
【０１１８】
また、上記実施形態においては、図５におけるｓ２２、ｓ２４、ｓ２６およびｓ１３の処理で、基準電圧es、基準周波数fs、波形パラメータの順に各基準パラメータを修正するように構成されたものを例示したが、各基準パラメータを増加または減少させる順番については特に限定されない。
【０１１９】
また、上記実施形態においては、ＨＤ８４に記憶されているパラメータテーブルに、ディスプレイパネルへの製膜を行う際に使用する有機EL材料のインクにおける基準パラメータが登録されているものを例示した。しかし、パラメータテーブルには、有機EL材料以外のインクにおける基準パラメータとして、例えば、電子基板（プリント基板）やデバイス（素子）上への回路形成を行う際に使用する導電性のインクにおける基準パラメータが登録されていてもよい。この場合、この導電性のインクを使用して電子基板やデバイス上への回路形成を行うことによって、微少で電気的特性が良好な回路が形成された電子基板やデバイスを製造することができる。
【０１２０】
また、上記実施形態においては、インクジェット装置１自身がパラメータ決定処理（図５）を実行するように構成されたものを例示した。しかし、インクジェット装置１が、パラメータ決定処理（図５）を実行可能な端末装置（例えば、コンピュータシステムや他のインクジェット装置など）と、有線・無線を介してデータ通信可能であれば、この端末装置によって制御信号を生成するように構成してもよい。この場合、インクジェット装置１は、端末装置から入力した制御信号を、ヘッド駆動回路２０に出力することになる。
【０１２１】
また、上記実施形態においては、インクジェット装置１自身がパラメータ決定処理（図５）を実行するように構成されたものを例示した。しかし、インクジェット装置１以外の端末装置がパラメータ決定処理（図５）を実行するように構成してもよい。この場合、例えば、端末装置により生成された制御信号を有線・無線を介してインクジェット装置１に入力するように構成すればよい。また、端末装置により駆動信号のパラメータが決定された際に、このパラメータを示すデータを、有線・無線または記録媒体（ディスクドライブ８７）を介して、インクジェット装置１に入力した後、制御装置８０が制御信号を生成するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット装置の全体構成を示すブロック図
【図２】ヘッドユニットの構成を示す上面図（ａ）、上面図におけるＸ−Ｘ断面図（ｂ）、上面図におけるＹ−Ｙ断面図（ｃ）
【図３】駆動信号の波形を示す図
【図４】パラメータテーブルを示す図
【図５】パラメータ決定処理の処理手順を示すフローチャート
【符号の説明】
１・・・インクジェット装置、１０・・・ヘッド、２０・・・ヘッド駆動回路、３０・・・ｘ軸モータ、４０・・・ｘ駆動回路、５０・・・ステージ、６０・・・ｙ軸モータ、７０・・・ｙ駆動回路、８０・・・制御装置、８１・・・ＣＰＵ、８２・・・ＲＯＭ、８３・・・ＲＡＭ、８４・・・ハードディスク、８５・・・キーボード、８６・・・ディスプレイ、８７・・・ディスクドライブ、１００・・・ヘッドユニット、１０２・・・ノズル、１０４・・・インク流路、１０５・・・圧力室、１０６・・・ダイアフラム、１０８・・・圧電素子。

Claims (23)

1. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置であって、
   単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量を入力する容量入力手段と、
   該容量入力手段により入力された前記単位容量に基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定するパラメータ決定手段と、
   基準となるパラメータである基準パラメータに対応する基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手段とを備え、
   前記パラメータ決定手段は、前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定して、
   さらに、前記パラメータ決定手段は、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
   ことを特徴とするインクジェット装置。
2. 前記パラメータ決定手段は、少なくとも前記第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を変更させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
   ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置。
3. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置であって、
   単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量を入力する容量入力手段と、
   該容量入力手段により入力された前記単位容量に基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定するパラメータ決定手段と、
   基準となるパラメータである基準パラメータに対応する基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手段とを備え、
   前記パラメータ決定手段は、前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定して、
   さらに、前記パラメータ決定手段は、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記 単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させる
   ことを特徴とするインクジェット装置。
4. インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力する間隔入力手段を備え、
   前記パラメータ決定手段は、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定する
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット装置。
5. 前記パラメータ決定手段は、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
   ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のインクジェット装置。
6. 前記パラメータ決定手段は、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定する
   ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のインクジェット装置。
7. 前記パラメータ決定手段は、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定する
   ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のインクジェット装置。
8. 前記パラメータ決定手段は、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである波形の形状を示す波形パラメータを決定する
   ことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のインクジェット装置。
9. 前記容量入力手段は、前記単位容量として、有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記単位容量が入力され、
   基準容量算出手段は、前記基準容量として、有機EL材料のインク滴における前記基準容量を算出する
   ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載のインクジェット装置。
10. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドによって、有機EL(Electro Luminescence）ディスプレイパネルを製造する方法であって、
    単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量として、有機EL材料のインク滴における前記単位容量を入力する容量入力工程と、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量として、有機EL材料のインク滴における前記基準容量を算出する基準容量算出工程と、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定工程と、
    該パラメータ決定工程により決定されたパラメータに対応する駆動信号でインクジェットヘッドを駆動する駆動工程と、からなり、
    前記パラメータ決定工程では、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下 限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
    ことを特徴とする有機ELディスプレイパネル製造方法。
11. 前記パラメータ決定工程において、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させると共に、該増加または減少量に応じて、当該第ｉ基準パラメータの上限および下限のいずれか一方または両方を増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
    ことを特徴とする請求項１０に記載の有機ELディスプレイパネル製造方法。
12. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドによって、有機 EL(Electro Luminescence ）ディスプレイパネルを製造する方法であって、
    単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量として、有機 EL 材料のインク滴における前記単位容量を入力する容量入力工程と、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量として、有機 EL 材料のインク滴における前記基準容量を算出する基準容量算出工程と、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正し、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定工程と、
    該パラメータ決定工程により決定されたパラメータに対応する駆動信号でインクジェットヘッドを駆動する駆動工程と、からなり、
    前記パラメータ決定工程では、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させる
    ことを特徴とする有機ELディスプレイパネル製造方法。
13. インク滴を吐出させるべき単位領域の間隔である単位間隔を入力する間隔入力工程を行い、
    前記パラメータ決定工程において、前記単位容量と前記単位間隔とに基づいて、インクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータを決定する
    ことを特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネル製造方法。
14. 前記パラメータ決定工程において、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正できない場合、前記基準容量と前記単位容量との差が最も小さくなるように修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
    ことを特徴とする請求項１０から請求項１３のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネル製造方法。
15. 前記パラメータ決定工程においては、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動電圧を決定する
    ことを特徴とする請求項１０から請求項１４のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネル製造方法。
16. 前記パラメータ決定工程においては、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである駆動周波数を決定する
    ことを特徴とする請求項１０から請求項１５のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネル製造方法。
17. 前記パラメータ決定工程においては、前記単位容量に基づいて、少なくともインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータである波形の形状を示す波形パラメータを決定する
    ことを特徴とする請求項１０から請求項１６のいずれかに記載の有機 EL ディスプレイパネル製造方法。
18. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置において、インクジェットヘッドに印加する駆動信号のパラメータを決定する方法であって、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を、前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出して、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記算出した基準容量と、単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定して、
    該駆動信号のパラメータを決定する過程において、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
    ことを特徴とするパラメータ決定方法。
19. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置において、インクジェットヘッドに印加する駆動信号のパラメータを決定する方法であって、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を、前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出して、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記算出した基準容量と、単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定して、
    該駆動信号のパラメータを決定する過程において、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させる
    ことを特徴とするパラメータ決定方法。
20. 有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記基準容量を算出して、
    該算出した前記基準容量と単位領域内に吐出させるべき有機EL材料のインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
    ことを特徴とする請求項１８または請求項１９に記載のパラメータ決定方法。
21. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置を制御するためのプログラムであって、
    コンピュータシステムに、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手順と、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量算出手順において算出された前記基準容量と単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定手順と、
    を実行させ、
    前記パラメータ決定手順においては、第ｉ（ｉ≦ｎ）基準パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、少なくとも当該第ｉ基準パラメータを除くいずれかの前記基準パラメータを所定量だけ増加または減少させた後、再度、当該第ｉ基準パラメータを上限および下限の範囲で増減させる
    ことを特徴とするパラメータ決定プログラム。
22. インク滴を吐出するノズルを有し、印加する駆動信号に対応したパラメータに基づいて当該ノズルから吐出するインク滴の容量を増減可能なインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置を制御するためのプログラムであって、
    コンピュータシステムに、
    基準となるパラメータである基準パラメータに対応した基準駆動信号を前記インクジェットヘッドに印加した場合に、単位領域内に吐出されるインク滴の全容量を示す基準容量を算出する基準容量算出手順と、
    前記基準駆動信号の有するｎ種類の基準パラメータ（第１から第ｎ基準パラメータ）毎に設定された上限および下限の範囲で、ｎ種類の前記基準パラメータのうち１種類以上の前記基準パラメータを、前記基準容量算出手順において算出された前記基準容量と単位領域内に吐出させるべきインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように増減させることによって修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定するパラメータ決定手順と、
    を実行させ、
    前記パラメータ決定手順においては、前記基準パラメータを構成する第ｉ（ｉ≦ｎ）パラメータを上限まで増加または下限まで減少させたのにも拘わらず、前記基準容量と前記単位容量との差が所定のしきい値よりも大きい場合、前記第ｉ＋１パラメータを増加または減少させる
    ことを特徴とするパラメータ決定プログラム。
23. 前記基準容量算出手順においては、有機EL(Electro Luminescence）材料のインク滴における前記基準容量を算出して、
    前記パラメータ決定手順においては、前記基準容量算出手順において算出された前記基準容量と、単位領域内に吐出させるべき有機EL材料のインク滴の全容量である単位容量との差が所定のしきい値以下となるように前記基準パラメータを修正して、該修正した前記基準パラメータをインクジェットヘッドに印加すべき駆動信号のパラメータとして決定する
    ことを特徴とする請求項２１または請求項２２に記載のパラメータ決定プログラム。

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