JP4034130B2 - 光制御装置の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ディスク等の光学記録媒体に対して情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップ装置などに用いられる光制御装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ディスク等の光学記録媒体による情報記録の高密度化および大容量化が強く望まれている。そこで、光ディスクとしてＣＤ（Compact Disc）に比較して高記録密度化が図られたＤＶＤ（Digital Versatile Disc）が多用されるようになってきた。そのＤＶＤによる情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップ装置は、対物レンズとして開口数ＮＡが０．６程度の単玉両面非球面レンズを用い、レーザビームの波長を６５０ｎｍにして、高密度記録再生を実現している
。
【０００３】
しかしながら、記録密度を高めるために対物レンズの開口数ＮＡを大きくするに従って、収差の影響が問題になってくる。すなわち、光ディスクの記録面に対する対物レンズの光軸の傾斜（ディスクスキュー）によって生じるコマ収差は、対物レンズの開口数ＮＡの３乗に比例して増加する。
このような収差を抑制するためには、光ディスクの記録領域にレーザビームが照射されたときに、情報記録層に達するまでにレーザビームが透過する距離、すなわち入射面と情報記録層との間の厚さとなるディスク基板厚さを薄くするとよい。
【０００４】
しかし、光ディスクのディスク基板の厚さ誤差は、光ディスクの製造方法に依存するため、ディスク基板の厚さの寸法精度を高めるのは非常に困難であるし、コスト高になるという問題がある。
そこで、このような光ディスクの記録情報を再生する際に生じるコマ収差や球面収差を補正するために、光ピックアップ装置の光学系に収差補正部材を配置することが、例えば特開２０００―３５３３３３号公報などに提案されている。
【０００５】
図１９はその光ピックアップ装置の光学系の一例を示す構成図である。この光学系において、レーザ光源１１から出射されたレーザビームをグレーティング１２によって回折し、ビームスプリッタ１３を通過したレーザビームをコリメータレンズ１４によって平行ビームにし、１／４波長板１６を通して直線偏光を円偏光に変換する。その円偏光になったレーザビームを反射ミラー１７によって反射させ、第１、第２の対物レンズ１８ａ，１８ｂからなる２群対物レンズ１８によって、光ディスク２０の透明基板を通して記録層に合焦させる。
【０００６】
その光ディスク２０の記録層からの反射光は戻り光となり、２群対物レンズ１８、反射ミラー１７、１／４波長板１６、コリメータレンズ１４を逆の経路で通過してビームスプリッタ１３に入射する。そして、その戻り光はビームスプリッタ１３のハーフミラー面１３ａで反射されて９０°向きを変え、フーコープリズム（Foucault prism）２１によって集光されてフォトディテクタ２２によって受光される。
第２の対物レンズ１８ｂは、２軸アクチュエータ１９によって光軸方向および光軸に直交する方向に変位されて、フォーカッシングとトラッキングの調整を行う。
【０００７】
この光学系のコリメータレンズ１４と１／４波長板１６との間に、収差補正部材１５を介挿して、通過するレーザビームの位相差を変化させることによって、光ディスク２０の記録層までの透明基板の厚さによる光路差を補正する。それによって球面収差が補正される。
このように、この光学系によれば、２群対物レンズ１８として開口数が０．７以上の大開口数のものを使用しても、比較的簡単な光学素子（光制御装置）である収差補正部材１５によって球面収差を補正することができ、それによって光ピックアップ装置を小型化し、情報読取及び／又は書込装置全体を小型化、薄型化することが可能になる。
【０００８】
このような収差補正部材として使用する光制御装置としては、例えば特開２００１−１０１７００号公報に見られるように、収差補正用液晶パネルの一方の面に位相差板を一体に接着したものが知られている。
一般に液晶表示装置等の液晶パネルを製造する場合には、大判のガラス基板を使用して多数の液晶パネルを一度に作製する多数個取りが行われている。
その場合、それぞれ各液晶セル用の透明電極を形成した２枚の大判のガラス基板をシール材で貼り合わせて各液晶セルのセルギャップを形成した後、そのガラス基板の表面にダイアモンド、超硬ホイール、レーザ等を用いたカッタでひずみを入れて、そのひずみに沿って折り曲げることによって破断するスクライブ・ブレーク法によって、複数の液晶セルを長手方向に列設した短冊状液晶セルを作成し、その各セルにそれぞれ液晶を注入して封止し、短冊状液晶パネルとした後、再びスクライブ・ブレーク法によって単個の液晶パネルに切断していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した収差補正部材として使用する光制御装置を作製する場合には、その光制御装置が収差補正用液晶パネルと位相差板が一体に構成され、その位相差板としてフイルムを用いた場合、上述のように各液晶セル用の透明電極を形成した２枚の大判のガラス基板をシール材で貼り合わせて各液晶セルを形成し、その一方のガラス基板に位相差板を貼り付けた後、スクライブ・ブレーク法によって切断して位相差板付きの短冊状液晶セルを作成することはできない。
【００１０】
そこで、切断加工を全てフイルムの切断も可能なダイシング加工によって行うことが考えられるが、製作コストが大幅に上昇する。しかも、ダイシング加工を行う際には、加工部に冷却用の純水を注水するため、それがセルギャップ内に入り込む恐れがあり、好ましくない。
この発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、レーザビームの光軸上に配置してコマ収差や球面収差等の収差を補償する収差補正用液晶パネルと位相差板とを一体にした光制御装置を、品質を損ねることなく安価に製造できるようにすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記のような収差補正用液晶パネルと位相差板とを一体にした光制御装置の製造方法であって、上記の目的を達成するため、短冊状セルガラスの長手方向に沿ってシールされたセルギャップを有する液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成し、その短冊状液晶セルの前記各液晶セルのセルギャップにそれぞれ液晶を注入し封止して前記各収差補正用液晶パネルを完成させた短冊状液晶パネルを作成し、その短冊状液晶パネルの一方の表面に短冊状位相差板を固着した短冊状光制御装置を作成する工程と、
その短冊状光制御装置をダイシング加工により単個の光制御装置に切断するダイシング工程とを有する。
そして、上短冊状光制御装置を作成する工程では、その一方の長辺側に各収差補正用液晶パネルの液晶注入口を有するように短冊状光制御装置作成し、
上記ダイシング工程では、上記短冊状光制御装置の他方の長辺側に基準辺を加工する第１の加工と、その短冊状光制御装置をその短辺方向にダイシング加工して上記各収差補正用液晶パネルを個々に分離する第２の加工とを行うことを特徴とする。
【００１３】
あるいは、上記短冊状光制御装置を作成する工程で、上記短冊状セルガラスの長手方向に沿ってシールされたセルギャップを有する液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成し、その短冊状液晶セルの一方の表面に短冊状位相差板を固着した後、上記短冊状液晶セルの各液晶セルのセルギャップにそれぞれ液晶を注入し封止して上記各収差補正用液晶パネルを完成させることにより、上記短冊状光制御装置を作成するようにしてもよい。
【００１４】
これらの光制御装置の製造方法において、上記短冊状光制御装置を作成する工程で、上記短冊状セルガラスとして、それぞれ長手方向に沿って複数の収差補正用液晶パネル用の透明電極を形成したセル領域を設けた短冊状の第１、第２のガラス基板を使用し、その第１のガラス基板の各セル領域に隣接する配線領域に上記各収差補正用液晶パネル用の端子電極を形成し、その第１、第２のガラス基板を所定の間隔を設けてシール材で貼り合わせて各セルギャップを形成し、上記液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成することができる。
【００１５】
あるいは、上記短冊状光制御装置を作成する工程で、上記短冊状セルガラスとして、それぞれ大判のガラス基板にそれぞれ複数の収差補正用液晶パネル用の透明電極を形成したセル領域を複数列設けた第１、第２のガラス基板を使用し、その第１のガラス基板の各セル領域に隣接する配線領域に上記各収差補正用液晶パネル用の端子電極を形成し、その第１、第２のガラス基板を所定の間隔を設けてシール材で貼り合わせて各セルギャップを形成した後、各列に切り分けて上記液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成するようにしてもよい。
その場合、上記各列の切り分けをスクライブ・ブレーク法によって行うことができる。
【００１６】
上記短冊状光制御装置を作成する工程で使用する上記第１のガラス基板は、上記配線領域が各セル領域の配列方向に隣接して設けられているとよいが、各セル領域の配列方向と直交する方向に隣接して設けられていてもよい。
これらの光制御装置の製造方法において、上記ダイシング工程では、上記短冊状セルガラスの上記セル領域と配線領域との境界部分を第２のガラス基板側から第１のガラス基板上の端子電極の手前まで切断するハーフダイシングを行った後、上記短冊状光制御装置を単個の光制御装置に切断するダイシング加工を行うようにするとよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好ましい実施の形態を図面を参照して説明する。
〔基本的な工程の説明：図１〜３〕
図１乃至図３はこの発明による光制御装置の製造方法の基本的な工程を説明するための図であり、図１は短冊状光制御装置の平面図、図２はその正面図、図３は単個の光制御装置の正面図である。
この発明により製造する光制御装置は、図３に示すように収差補正用液晶パネル２と位相差板５とを一体にして構成したものであり、前述したように、レーザビームの光軸上に配置してコマ収差や球面収差等の収差を補償する機能を持つ。
【００１９】
そして、その光制御装置の製造方法は、図１及び図２に示すように、２枚の細長い短冊状セルガラス３１ａ，３１ｂに、その長手方向に沿って収差補正用液晶パネル２を複数個（この例では１２固）直列に配置して短冊状液晶パネル２５とし、その一方（この例では厚さが厚い方）の短冊状セルガラス３１ｂの表面に、短冊状位相差板５１を接着により固着して短冊状光制御装置１０を作成する。
その後、この短冊状光制御装置１０をダイシングブレードを用いたダイシング加工により、図１及び図２に矢印付き１点鎖線で示すように幅方向に切断して、図３に拡大して示すような単個の光制御装置１を得る。
【００２０】
この光制御装置１の収差補正用液晶パネル２は、２枚のセルガラス３ａ，３ｂが接着剤を兼ねたシール材４によって所定の間隔を保って貼り合わされて、シールされたセルギャップを形成し、そのセルギャップに液晶が封入されてその液晶注入口が封止材６によって封止されている。その２枚のセルガラス３ａ，３ｂには所要パターンの透明電極や端子電極が形成されているが、それらは後述する実施形態で製造される光制御装置と同様なので、ここでは説明を省略する。
【００２１】
短冊状光制御装置１０の状態では、収差補正用液晶パネル２の２枚のセルガラス３ａ，３ｂは、シール材４によって貼り合わされた２枚の短冊状セルガラス３１ａ，３１ｂになっており、その長手方向に沿って配列された複数のセルギャップにそれぞれ液晶を封入して封止材６によって封止し、各収差補正用液晶パネル２を形成し、それが長手方向に配列された短冊状液晶パネル２５を構成している。
この短冊状液晶パネル２５の一方の表面に短冊状位相差板５１を接着するまでの製造工程は任意であるが、短冊状セルガラス３１ａ，３１ｂは、大判のガラス基板をスクライブ・ブレーク法によって破断して容易に得ることができる。
【００２２】
そして、短冊状位相差板５１を接着した短冊状光制御装置１０を各収差補正用液晶パネル２の境界位置で幅方向に切断する工程は、短冊状位相差板５１も切断できるようにダイシング加工により行う。そのダイシング加工は、加工部位に冷却用の純水（冷却水）を注水しながら行うが、このとき各収差補正用液晶パネル２のセルギャップは液晶を封入して封止材６によって封止されているので、その内部に冷却水が入り込むことはない。
したがって、この製造方法によれば、光制御装置をその品質を損ねることなく比較的安価に製造することができる。
【００２３】
〔具体的な実施形態：図４〜１６〕
次に、この発明による光制御装置の製造方法の具体的な実施形態について、図４から図１６によって説明する。これらの図において、図１から図３と対応する部分には同一の符号を付している。
この実施形態では、まず図４に示すように、それぞれ大判のガラス基板である第１のガラス基板３０ａと第２のガラス基板３０ｂを重ねて、その平面図を示しているので１枚のように見えるが、この図４では下側に第１のガラス基板３０ａが、上側に第２のガラス基板３０ｂが配置されている。
【００２４】
そして、このガラス基板３０ａ，３０ｂの対向する内面にそれぞれ、複数（この例では１２個）の収差補正用液晶パネル用の透明電極を形成したセル領域７を複数列（この例では１３列）設け、その第１のガラス基板３０ａの各セル領域７に隣接する配線領域８（図５参照）に、各収差補正用液晶パネル用の端子電極９を形成しておく。
図５は、図４の円で囲んだＡの部分（１個の収差補正用液晶パネルに相当する部分）を拡大して示す図である。そして、第１のガラス基板３０ａのセル領域７の内面には、２点鎖線で示すパターン形状の透明電極２７ａ〜２７ｅを形成し、第２のガラス基板３０ｂのセル領域７の内面にはその全面に透明な対向電極２７ｆを形成している。
【００２５】
さらに、第１のガラス基板３０ａの配線領域８の内面には、端子電極９として、４本の端子電極９ａ〜９ｅが平行に形成されている。この各端子電極９ａ〜９ｅは、透明電極２７ａ〜２７ｅと同じＩＴＯ等の透明電極材料によって形成する。さらに、その上層または下層にアルミニウムや銅などの配線抵抗を下げるための金属被膜を形成するとよい。
そして、透明電極２７ａと２７ｄは図示していない配線電極によって互いに導通してして端子電極９ａに接続しており、透明電極２７ｂと２７ｃも図示していない配線電極によって互いに導通して端子電極９ｂに接続し、透明電極２７ｅは端子電極９ｃに接続している。
【００２６】
この第１、第２のガラス基板３０ａ，３０ｂを所定の間隔を設けて接着剤を兼ねたシール材４によって貼り合わせて、各セル領域７ごとにセルギャップを有する液晶セル２８を形成する。このとき、例えばシール材４の少なくとも一部に異方性導電接着剤を用いて、第２のガラス基板３０ｂの内面に形成された対向電極２７ｆを第１のガラス基板３０ａの内面の配線電極に導通させて端子電極９ｅに接続させる。
各液晶セル２８には、シール材４が側方に幾分突出して開口した液晶注入口４ａが形成される。
【００２７】
このようにして多数の液晶セル２８を列設した第１，第２のガラス基板３０ａ，３０ｂを、スクライブ・ブレーク法によって、図６に破線矢印で示す方向に傷を付けてから破断し、各列に切り分けて図７に示す短冊状液晶セル２６を作成する。この短冊状液晶セル２６は、切り分けられた短冊状セルガラス３１ａ，３１ｂの長手方向に沿って、複数（この例では１２個）の液晶セル２８を直列に配置している。
図８は、この図７の楕円で囲んだＢ部の詳細を示す拡大図である。この図に示すように、各液晶セル２８の液晶注入口４ａが短冊状液晶セル２６の一方の長辺側に並んで露出するように切断している。そして、各液晶セル２８の端子電極９を形成した配線領域８は、セル領域７の配列方向に隣接して設けられている。
【００２８】
これは、短冊状セルガラス３１ａを作る大判のガラス基板３０ａに、セル領域７の透明電極２７と配線領域８の端子電極９をこのような配置関係で設けていることによる。この図では、各セル領域７に形成された透明電極２７ａ〜２７ｅと対向電極２７ｆを、まとめてとうろ透明電極２７として示している。
この短冊状液晶セル２６の各液晶セル２８のセルギャップに、図９に示すようにそれぞれ液晶注入口４ａから液晶２９を注入し、封止材６によってその各液晶注入口４ａを封止して、各収差補正用液晶パネル２を完成させた短冊状液晶パネル２５を作成する。
ここまでの工程は、通常の液晶表示パネルを多数個取りで製造する場合の工程と殆ど同じである。
【００２９】
このようにして作成した短冊状液晶パネル２５の一方の表面である短冊状セルガラス３１ｂの上面に、図１０及び図１１に示すように、短冊状位相差板５１を接着固着して短冊状光制御装置を１０を作成する。
短冊状位相差板５１は図１２に拡大して示すように、複数枚の位相差フィルム５１ａを接着材５１ｂによって貼り合わせ、その一方の面に保護ガラス５１ｃを接着剤で接着して構成されている。一般の位相差板の場合には、図１２に仮想線線で示すように、もう一方の面にも保護ガラス５１ｄを接着剤５１ｂによって接着しているが、本例の場合は、この短冊状位相差板５１を、短冊状液晶パネル２５の短冊状セルガラス３１ｂの表面に接着するので、保護ガラス５１ｄは不要になり、位相差フィルム５１ａを接着剤５１ｂによって直接短冊状セルガラス３１ｂの表面に接着する。
なお、この図１２に示すように、短冊状位相差板５１の保護ガラスの外表面と、
短冊状液晶パネル２５の短冊状セルガラス３１ａの外表面に、それぞれ反射防止膜３５をコーティングしておくのが望ましい。
【００３０】
次に、このようにして作成した短冊状光制御装置を１０を切断して単個の光制御装置を作成するダイシング工程について説明する。
このダイシング工程に入る前に、短冊状光制御装置１０の短冊状液晶パネル２５の下面に固定用のロウ材４０を層状に被着し、ダイシング加工による切断時にすぐにバラバラにならないようにして、作業性をよくする。
ダイシング工程は、短冊状光制御装置を１０の封止材６によって封止された液晶注入口４ａが形成されていない方の長辺側に、図１０及び図１４に矢印〔１〕で示す方向に基準辺を加工する第１の加工と、短冊状光制御装置１０を図１０，１３，１４に矢印〔２〕で示すように短辺方向にダイシング加工して各収差補正用液晶パネル２を個々に分離する第２の加工とを行う。この第１の加工と第２の加工では、いずれも短冊状光制御装置１０を図１３，１４に示すように短冊状位相差板５１側から固定用ロウ材４０に達するまで全部切断する。
【００３１】
しかし、この実施形態においては、基準辺を加工する第１の加工を行った後、第２の加工を行う前に、短冊状セルガラス３１ａ，３１ｂの図９等によって前述したセル領域７と配線領域８との境界部分を、図１０，１３，１４に矢印〔３〕で示す方向に短冊状セルガラス３１ｂ（第２のガラス基板３０ｂ）上の短冊状位相差板５１側から短冊状セルガラス３１ｂ（第１のガラス基板３０ａ）上の端子電極９の手前まで切断するようにハーフダイシングを行う。その際、短冊状セルガラス３１ｂを１０μｍ程度残す位置まで切断加工する。
なお、図１０，１３，１４中における上記ダイシング加工の方向を示す各矢印の符号は丸付数字で示している。
【００３２】
そして、第２の加工を行った後、固定用ロウ材４０を溶解させると、各収差補正用液晶パネル２に位相差板５を固着した複数の単個の光制御装置になる。その後、配線領域８上の短冊状セルガラス３１ｂと短冊状位相差板５１の破片４５を簡単に取り除いて、短冊状セルガラス３１ａが切断されたセルガラス３ａ上に端子電極９を露出させることができ、図１５に示する光制御装置１が完成する。
図１５において、図３の各部と対応する部分には同一の符号を付している。
この光制御装置１の幅すなわち短冊状セルガラスの幅は５ｍｍ程度、セルガラス３ａの長さすなわちダイシングによる第２の加工の溝間隔は７ｍｍ程度、セル領域７の長さは５ｍｍ、配線領域８の長さは２ｍｍ程度である。また、ダイシング加工による切断溝の幅は０．１〜０．５ｍｍである。１個の短冊状光制御装置１０に配置する収差補正用液晶パネルの個数は任意であるが、９〜２５個程度がよい。
【００３３】
この実施形態によれば、一度に多数個の光制御装置を効率よく、安価に製造でき、その品質出力を損なうこともない。
この光制御装置１を、図１６に示すようにフレーム６０に搭載して位置決め保持させる。そのフレーム６０は、互いに直角をなす第１の基準面６０ａと第２の基準面６０ｂを形成する周壁部と、その下部が内側に直角に折曲した支持部６０ｃとを有し、その支持部６０ｃ上に光制御装置１を載置して支持する。そして、光制御装置１の長辺の基準辺１ａを第１の基準面６０ａに、短辺の基準辺１ｂを第２の基準面６０ｂに密着させ、接着固定する。
【００３４】
なお、この実施形態では、図８及び図９によって説明したように、短冊状液晶セル２６の各液晶セル２８のセルギャップに液晶２９を封入して短冊状液晶パネル２５を作成した後、その短冊状液晶パネル２５の一方の表面に短冊状位相差板５１を接着して固着して、短冊状光制御装置１０を作成した。
しかし、この短冊状光制御装置１０を作成する工程における液晶封入工程と位相差板を接着する工程は順序を逆にしてもよい。すなわち、短冊状液晶セル２６の一方の表面に短冊状位相差板５１を接着して固着した後、その短冊状液晶セル２６の各セルギャップに液晶を封入して、短冊状光制御装置１０を作成してもよい。
【００３５】
この液晶封入工程と位相差板（波長板）を接着する工程の順序の違いにより、次のような得失がある。
液晶封入工程を先に行うと次のような利点がある。
（１）光制御装置に要求される平面平度（液晶セル２８のセルギャップの均一性）を制御しやすい。
（２）位相差板を接着する前に各液晶セル２８の液晶注入口４ａが封止されているので、洗浄が可能である。（短冊状液晶セル２６に切り分ける際のスクライブ工程で、短冊状位相差板を接着する面が汚れている恐れがあるため。）
しかし、短冊状位相差板５１を短冊状液晶パネル２５の表面に接着する際に、各液晶セル２８に封入されている液晶が劣化しない程度に紫外線硬化型の接着剤などは使用する必要がある。
【００３６】
逆に、位相差板を接着する工程を先に行うと、液晶が劣化することを考慮する必要がないので、接着剤の選定の自由度は高くなる。
しかし、短冊状位相差板を接着する際に、短冊状液晶セル２６はセルギャッブに液晶を封入して固定していないため、ギャップコントロールに不安がある。また、短冊状液晶セル２６の各液晶注入口４ａが開放されているので、洗浄はもとより、接着する面を拭くこともセルギャップへのしみ込みを考えると避けた方がよい。
【００３７】
〔他の実施形態：図１７，１８〕
次に、この発明による光制御装置の製造方法の上述の実施形態を一部変更した他の実施形態について、上述の実施形態と異なる点だけを図１７および図１８によって説明する。これらの図において、図１〜図１４と対応する部分には同一の符号を付している。なお、図１７および図１８中におけるダイシング加工の方向を示す各矢印の符号も丸付数字で示している。
【００３８】
この実施形態で作成する短冊状液晶セル２６１は、各液晶セル２８の配線領域８をセル領域７の配列方向と直交する方向に隣接して設けている。これは、この短冊状液晶セル２６１の短冊状セルガラス３１ａを作成する大判のガラス基板３０ａに、セル領域７の透明電極２７と配線領域８の端子電極９をこのような配置関係で設けていることによる。
【００３９】
その他の点は前述の第２の実施形態と同様であり、短冊状液晶セル２６１の各液晶セル２８のセルギャップに液晶を注入し封止材６で封止して、短冊状液晶パネル２５１を作成した後、その短冊状セルガラス３１ａの表面に短冊状位相差板５１を接着固定して、短冊状光制御装置１０１を作成する。
あるいは、短冊状液晶セル２６１の状態で、その短冊状セルガラス３１ａの表面に短冊状位相差板５１を接着固定した後、各液晶セル２８のセルギャップに液晶を注入し封止材６で封止して、短冊状光制御装置１０１を作成するようにしてもよい。
【００４０】
この実施形態では、短冊状光制御装置１０１を構成する各液晶セル２８の液晶注入口４ａと端子電極９とが、短冊状液晶パネル２５１の幅方向の反対側に形成されている。したがって、この短冊状光制御装置１０１をダイシング加工して単個の光制御装置に分離する際、１点鎖線矢印〔１〕で示す位置と方向に基準辺を形成する第１の加工の次に、各収差補正用液晶パネルの端子電極９を露出させ易くするためのハーフカットは、１点鎖線矢印〔３〕で示す位置と方向に一度行うだけですむ。したがって、前述の実施形態に比べてダイシング加工の回数が大幅に減少し、作業効率が向上する。その後、１点鎖線矢印〔２〕で示す位置と方向に各液晶セル２８間を切断する第２の加工を行えば、単個の光制御装置が得られる。
【００４１】
図１８はこの発明のさらに他の実施形態を説明するための図であり、（Ａ）は短冊状液晶セルの平面図、（Ｂ）はそれを用いて短冊状光制御装置を作成したときの（Ａ）の楕円で囲んだ部分に相当する拡大平面図である。
この実施形態で作成する短冊状液晶セル２６２は、前述の第２の実施形態の場合と同様に、各液晶セル２８の配線領域８をセル領域７の配列方向に隣接して設けている。しかし、多数列設して配置する収差補正用液晶パネルの液晶セル２８を２列に設け、その各列の液晶セル２８は、液晶注入口４ａを互いに反対側の長辺（側面）に露出させるように設け、各列の液晶セル２８間にはスペースを設けずに隣接させている。
【００４２】
これは、この短冊状液晶セル２６２の短冊状セルガラス３１ａを作成する大判のガラス基板３０ａに、セル領域７の透明電極２７と配線領域８の端子電極９をこのような配置関係で２列ずつ設けていることによる。
その他の点は前述の第２の実施形態と同様であり、短冊状液晶セル２６２の各液晶セル２８のセルギャップに液晶を注入し封止材６で封止して、短冊状液晶パネル２５２を作成した後、その短冊状セルガラス３１ａの表面に短冊状位相差板５１を接着固定して、収差補正用液晶パネルを２列に配列した短冊状光制御装置１０２を作成する。
【００４３】
あるいは、短冊状液晶セル２６２の状態で、その短冊状セルガラス３１ａの表面に短冊状位相差板５１を接着固定した後、各液晶セル２８のセルギャップに液晶を注入し封止材６で封止して、収差補正用液晶パネルを２列に配列した短冊状光制御装置１０２を作成するようにしてもよい。
いずれの場合も、液晶封入工程では、短冊状液晶セル２６２の一方の辺側の各液晶注入口４ａからその辺側の列の各液晶セル２８のセルギャッブに液晶を注入して封止材６で封止した後、他方の辺側の各液晶注入口４ａからその辺側の列の各液晶セル２８のセルギャッブに液晶を注入して封止材６で封止する。
【００４４】
この実施形態では、この短冊状光制御装置１０２をダイシング加工して単個の光制御装置に分離する際、１点鎖線矢印〔１〕で示す位置と方向に第１の加工を一度行うだけで、両方の列の各光制御装置の基準辺を形成することができる。
その後の一点鎖線矢印〔３〕で示す位置と方向のハーフダイシングと、一点鎖線矢印〔２〕で示す位置と方向の第２の加工のいずれも、一度に２個の光制御装置に対する加工を行うことができるので作業効率がよい。
そして、１本の短冊状光制御装置１０２から前述の第１，第２の実施形態の場合の２倍の個数の光制御装置を得ることができ、量産に適する。
これらの各製造方法によって製造した光制御装置がこの発明による光制御装置である。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明してきたように、この発明によれば、レーザビームの光軸上に配置してコマ収差や球面収差等の収差を補償する収差補正用液晶パネルと位相差板とを一体にした光制御装置を、品質を損ねることなく安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明による光制御装置の製造方法の基本的な工程を説明するための短冊状光制御装置の平面図である。
【図２】同じくその正面図である。
【図３】図１及び図２に示した短冊状光制御装置を切断して得た単個の光制御装置の正面図である。
【図４】 この発明による光制御装置の製造方法の具体的な実施形態を説明するための図で、第１，第２のガラス基板を貼り合わせた状態の平面図である。
【図５】図４の円で囲んだＡ部の詳細を示す拡大図である。
【図６】図４に示した第１，第２のガラス基板をスクライブ・ブレイク法によって短冊状に切り分ける際のスクライブ線を示す図である。
【図７】切断後の短冊状液晶セルの平面図である。
【図８】図７の楕円で囲んだＢ部の詳細を示す拡大図である。
【図９】図８に示した短冊状液晶セルの各セルギャップに液晶を注入し封止して作成した短冊状液晶パネルの図８と同様な図である。
【図１０】その短冊状液晶パネルの一方の表面に短冊状位相差板を固着した短冊状光制御装置の平面図である。
【図１１】同じくその正面図である。
【図１２】同じくその短冊状液晶パネルと短冊状位相差板の一部を拡大して示す模式図である。
【図１３】図１１の楕円で囲んだＣ部のダイシング加工後の状態を示す拡大図である。
【図１４】同じくその斜視図である。
【図１５】完成した光制御装置の拡大斜視図である。
【図１６】その光制御装置をフレームに固着した状態を示す斜視図である。
【図１７】この発明の他の実施形態における短冊状液晶セルとそれを用いて短冊状光制御装置を作成したときの一部を拡大して示す平面図である。
【図１８】この発明のさらに他の実施形態における短冊状液晶セルとそれを用いて短冊状光制御装置を作成したときの一部を拡大して示す平面図である。
【図１９】従来の光ピックアップ装置の光学系の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
１：光制御装置 ２：収差補正用液晶パネル
３ａ，３ｂ：セルガラス ４：シール材
４ａ：液晶注入口 ５：位相差板
６：封止材 ７：セル領域 ８：配線領域
９，９ａ〜９ｅ：端子電極
１０：短冊状光制御装置 １５：収差補正部材
２５：短冊状液晶パネル ２６：短冊状液晶セル
２７：透明電極 ２７ａ〜２７ｅ：透明電極
２７ｆ：対向電極 ２８：液晶セル
２９：液晶 ３０ａ：大判の第１のガラス基板
３０ｂ：大判の第２のガラス基板
３１ａ，３１ｂ：短冊状セルガラス
３５：反射防止膜 ４０：固定用ロウ材
４５：短冊状セルガラスと短冊状位相差板の破片
５１：短冊状位相差板 ５１ａ：位相差フィルム
５１ｂ：接着剤 ５１ｃ，５１ｄ：保護ガラス
１０１，１０２：他の実施形態の短冊状光制御装置
２５１，２５２：他の実施形態の短冊状液晶パネル
２６１，２６２：他の実施形態の短冊状液晶セル

Claims (8)

1. レーザビームの光軸上に配置してコマ収差や球面収差等の収差を補償する収差補正用液晶パネルと位相差板とを一体にした光制御装置の製造方法であって、
   短冊状セルガラスの長手方向に沿ってシールされたセルギャップを有する液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成し、
   その短冊状液晶セルの前記各液晶セルのセルギャップにそれぞれ液晶を注入し封止して前記各収差補正用液晶パネルを完成させた短冊状液晶パネルを作成し、
   その短冊状液晶パネルの一方の表面に短冊状位相差板を固着して短冊状光制御装置を作成する工程と、
   その短冊状光制御装置をダイシング加工により単個の光制御装置に切断するダイシング工程とを有し、
   前記短冊状光制御装置を作成する工程では、その一方の長辺側に前記各収差補正用液晶パネルの液晶注入口を有するように前記短冊状光制御装置作成し、
   前記ダイシング工程では、前記短冊状光制御装置の他方の長辺側に基準辺を加工する第１の加工と、該短冊状光制御装置をその短辺方向にダイシング加工して前記各収差補正用液晶パネルを個々に分離する第２の加工とを行う
   ことを特徴とする光制御装置の製造方法。
2. レーザビームの光軸上に配置してコマ収差や球面収差等の収差を補償する収差補正用液晶パネルと位相差板とを一体にした光制御装置の製造方法であって、
   短冊状セルガラスの長手方向に沿ってシールされたセルギャップを有する液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成し、
   その短冊状液晶セルの一方の表面に短冊状位相差板を固着した後、
   前記短冊状液晶セルの前記各液晶セルのセルギャップにそれぞれ液晶を注入し封止して前記各収差補正用液晶パネルを完成させることにより、短冊状光制御装置を作成する工程と、
   その短冊状光制御装置をダイシング加工により単個の光制御装置に切断するダイシング工程とを有し、
   前記短冊状光制御装置を作成する工程では、その一方の長辺側に前記各収差補正用液晶パネルの液晶注入口を有するように前記短冊状光制御装置作成し、
   前記ダイシング工程では、前記短冊状光制御装置の他方の長辺側に基準辺を加工する第１の加工と、該短冊状光制御装置をその短辺方向にダイシング加工して前記各収差補正用液晶パネルを個々に分離する第２の加工とを行う
   ことを特徴とする光制御装置の製造方法。
3. 前記短冊状光制御装置を作成する工程で、
   前記短冊状セルガラスとして、それぞれ長手方向に沿って複数の前記収差補正用液晶パネル用の透明電極を形成したセル領域を設けた短冊状の第１、第２のガラス基板を使用し、その第１のガラス基板の前記各セル領域に隣接する配線領域に前記各収差補正用液晶パネル用の端子電極を形成し、その第１、第２のガラス基板を所定の間隔を設けてシール材で貼り合わせて前記各セルギャップを形成し、前記液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成することを特徴とする請求項１又は２に記載の光制御装置の製造方法。
4. 前記短冊状光制御装置を作成する工程で、
   前記短冊状セルガラスとして、それぞれ大判のガラス基板にそれぞれ複数の前記収差補正用液晶パネル用の透明電極を形成したセル領域を複数列設けた第１、第２のガラス基板を使用し、その第１のガラス基板の前記各セル領域に隣接する配線領域に前記各収差補正用液晶パネル用の端子電極を形成し、その第１、第２のガラス基板を所定の間隔を設けてシール材で貼り合わせて前記各セルギャップを形成した後、各列に切り分けて前記液晶セルを複数個直列に配置した短冊状液晶セルを作成することを特徴とする請求項１又は２に記載の光制御装置の製造方法。
5. 前記各列の切り分けをスクライブ・ブレーク法によって行うことを特徴とする請求項４記載の光制御装置の製造方法。
6. 前記短冊状光制御装置を作成する工程で使用する前記第１のガラス基板は、前記配線領域が前記各セル領域の配列方向に隣接して設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の光制御装置の製造方法。
7. 前記短冊状光制御装置を作成する工程で使用する前記第１のガラス基板は、前記配線領域が前記各セル領域の配列方向と直交する方向に隣接して設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の光制御装置の製造方法。
8. 前記ダイシング工程では、前記短冊状セルガラスの前記セル領域と前記配線領域との境界部分を前記第２のガラス基板側から前記第１のガラス基板上の前記端子電極の手前まで切断するハーフダイシングを行った後、前記短冊状光制御装置を単個の光制御装置に切断するダイシング加工を行うことを特徴とする請求項３乃至７のいずれか一項に記載の光制御装置の製造方法。

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