JP4026676B2 - 電子回路用部材およびその製造方法 - Google Patents
電子回路用部材およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4026676B2 JP4026676B2 JP2000082883A JP2000082883A JP4026676B2 JP 4026676 B2 JP4026676 B2 JP 4026676B2 JP 2000082883 A JP2000082883 A JP 2000082883A JP 2000082883 A JP2000082883 A JP 2000082883A JP 4026676 B2 JP4026676 B2 JP 4026676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composite material
- metal
- electronic circuit
- circuit member
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子回路用部材およびその製造方法に関し、例えば、ヒートシンク材上に表面処理が施された電子回路用部材およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、集積回路チップ(ICチップ)のヒートシンク材としては、高い熱伝導率が要請されることから、CuあるいはAl等が使用されている。しかし、これらの材料においては、熱膨張率が、ICチップの基板であるSiあるいはGaAs等の熱膨張率と差があるため、ICチップの使用に伴ってICチップが高温となった場合に、基板とヒートシンク材とが剥離するおそれがある。
【0003】
従って、前記剥離を生じないためには、熱伝導率が高く、かつ、熱膨張率がSiやGaAs等とほぼ同じものをヒートシンク材として使用することが本来望ましいが、セラミック単体あるいは金属単体でそのような条件を満足する材料は知られていない。
【0004】
そこで、カーボン又はその同素体における多孔質焼結体の気孔にCuを含浸してなるC/Cu複合材料をヒートシンク材として使用することが試みられている。C/Cu複合材料は、高熱伝導率を有し、かつ、熱膨張率がSiあるいはGaAs等とほぼ同じである。従って、ICチップが高温となった場合においても、ヒートシンク材が基板から剥離するということがない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、C/Cu複合材料をヒートシンク材として用いる場合には、C/Cu複合材料を半田付けあるいはろう付け等によってICチップに固着することが考えられるが、C/Cu複合材料は、半田やろう材に対する濡れ性(半田付け性、ろう付け性)が良好でないという不具合がある。
【0006】
前記濡れ性を向上させるためには、C/Cu複合材料の表面に例えば金属のめっき層を形成することが有効であると考えられる。
【0007】
しかしながら、複合材料としてグラファイトに金属を含浸させたものを使用した場合は、グラファイトの方向によって金属性の性質をもったり、半導体の性質をもつことから、めっき層が均一に形成されないというおそれがある。特に、半導体の性質をもった方向にめっき層を形成する場合は、一旦、無電解めっき処理を施す必要がある。これは、複合材料としてダイアモンドに金属を含浸させたものを使用した場合でも同様である。
【0008】
無電解めっき処理においては、C/Cu複合材料は、還元剤を含有する溶液やめっき液等に浸漬されるが、この浸漬の際に、これらの溶液が、カーボン又はその同素体とCuとの界面に生じている微小な間隙や、カーボン又はその同素体の多孔質焼結体の気孔に含浸されてしまう。
【0009】
従って、例えば還元剤を含有する溶液が含浸された場合には、この溶液は、後工程である還元剤と触媒金属とを置換する工程や無電解めっき処理を行う工程において徐々に滲み出る。このように、前記溶液が滲み出た状態で形成されためっき層は、厚さや密着性が均一でないという問題がある。
【0010】
また、めっき層が形成されるまで、前記溶液あるいはめっき液がC/Cu複合材料の内部に残留した場合には、めっき層形成後に、これらの溶液が滲み出る場合がある。その結果、形成されためっき層が変色すると共に、半田付けあるいはろう付けを行う場合には、該めっき層の半田付け性、ろう付け性が良好でなくなるという問題が引き起こされる。また、めっき層形成後に、残留液の一部が気化することにより、めっき層の一部が膨張する(ふくれる)ことがある。
【0011】
更に、無電解めっき処理によって形成されためっき層は、C/Cu複合材料に対する密着性があまり良好でないという問題もある。
【0012】
このように、C/Cu複合材料に対して表面処理を目的とし、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜を形成することは困難であり、その方法は未だに確立されていない。
【0013】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料の表面に、半田付け性、ろう付け性が良好で、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜が形成された新規な電子回路用部材及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電子回路用部材は、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料と、前記複合材料の表面に形成された溶射皮膜とを有し、前記溶射皮膜は、Niを構成材料とし、前記溶射皮膜に、Be、Mn、Nb、Zr、Ti、Ta、Vから選択された1種以上の添加元素が添加され、前記複合材料がヒートシンク材であり、前記複合材料と前記溶射皮膜との間にカーバイド層が形成されていることを特徴とする。
【0015】
即ち、溶射法を用いて皮膜を形成するようにしたため、複合材料にめっき層を形成する場合の問題点を解消することができる。即ち、導電性についての異方性に伴うめっき層の厚みのばらつきや密着性の不均一、並びにめっき液等がカーボン又はその同素体とCuとの界面に生じている微小な間隙や、カーボン又はその同素体の多孔質焼結体の気孔に含浸されるという問題がなくなる。
【0016】
このように、本発明においては、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料の表面に、半田付け性、ろう付け性が良好で、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜が形成された新規な電子回路用部材を提供することができる。
【0019】
特に、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料は、熱膨張率が3.0×10-6〜1.0×10-5/Kであって、熱伝導率が100W/mK以上であるため、ICチップから発する熱を放熱するヒートシンク材に用いて好適となる。
【0020】
上述したように、複合材料の表面に形成された溶射皮膜によって、半田付け性、ろう付け性が良好となっているため、ヒートシンク材として使用される複合材料にICチップを強固に固着することができ、ICチップが高温となった場合においても、ヒートシンク材がICチップの基板から剥離するということがない。
【0021】
次に、本発明に係る電子回路用部材の製造方法は、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料の表面に、少なくとも表面処理を目的とする皮膜を溶射によって形成する皮膜形成工程と、前記皮膜が形成された前記複合材料に対して加熱処理を行う熱処理工程とを有し、前記皮膜形成工程は、溶射材料がNiであり、前記溶射材料に、前記複合材料と前記皮膜との間にカーバイド層を形成するための添加元素が添加され、前記添加元素がBe、Mn、Nb、Zr、Ti、Ta、Vから選択された1種以上であり、前記熱処理工程は、加熱温度が、300℃〜1000℃であって、かつ、前記複合材料の融点よりも30℃低い温度あるいはそれ以下の温度であることを特徴とする。
【0022】
これにより、前記複合材料の表面に、半田付け性、ろう付け性が良好で、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜を形成することができ、ヒートシンク材として用いて好適な複合材料を簡単に作製することができ、しかも、製造コストの低廉化にも有利となる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電子回路用部材およびその製造方法の実施の形態例について図1〜図3を参照しながら説明する。
【0026】
本実施の形態に係る電子回路用部材10は、図1に示すように、複合材料12の表面に皮膜14が形成されて構成されている。
【0027】
複合材料12は、図2に示すように、カーボン又はその同素体を予備焼成してネットワーク化することによって得られる多孔質焼結体20の開気孔22内に金属24が含浸されて構成されている。この場合、前記カーボン又はその同素体として、熱伝導率が100W/mK以上、望ましくは150W/mK以上(気孔がない状態での推定値)、更に望ましくは200W/mK以上(気孔がない状態での推定値)のものを使用することが好ましい。
【0028】
本例では、熱伝導率が100W/mK以上のグラファイトで構成された多孔質焼結体20の開気孔22内にCu又はCu合金からなる金属24を含浸させた電子回路用部材10を示す。含浸する金属22としては、Cu又はCu合金のほかに、Al、Al合金、Ag、Ag合金を使用することができる。
【0029】
また、多孔質焼結体20と金属24との体積率は、多孔質焼結体20が50vol%〜80vol%、金属24が50vol%〜20vol%の範囲としている。これにより、熱伝導率が180〜220W/mK以上であって、かつ、熱膨張率が3.0×10-6〜1.0×10-5/Kである電子回路用部材10を得ることができ、ヒートシンク材として用いて好適となる。
【0030】
多孔質焼結体20の気孔率としては、10vol%〜50vol%であることが望ましい。気孔率が10vol%以下では、180W/mK(室温)の熱伝導率を得ることができず、50vol%を超えると多孔質焼結体20の強度が低下し、熱膨張率を1.0×10-5/K以下に抑えることができないからである。
【0031】
前記多孔質焼結体20の平均開気孔径(気孔径)の値としては、0.1〜200μmが望ましい。前記気孔径が0.1μm未満であると、開気孔22内に金属24を含浸することが困難になり、熱伝導率が低下する。一方、前記気孔径が200μmを超えると、多孔質焼結体20の強度が低下し、熱膨張率を低く抑えることができない。
【0032】
前記多孔質焼結体20の平均開気孔に関する分布(気孔分布)としては、0.5〜50μmに90vol%以上分布することが好ましい。0.5〜50μmの気孔が90vol%以上分布していない場合は、金属24が含浸していない開気孔が増え、熱伝導率が低下する可能性がある。
【0033】
また、多孔質焼結体20に金属24を含浸して得た電子回路用部材10の閉気孔率としては、5vol%以下であることが好ましい。5vol%を超えると、熱伝導率が低下する可能性があるからである。
【0034】
なお、前記気孔率、気孔径及び気孔分布の測定には、株式会社島津製作所製の自動ポロシメータ(商品名「オートポア9200」)を使用した。
【0035】
この実施の形態に係る電子回路用部材10において、前記グラファイトに、該グラファイトを予備焼成した際の閉気孔率を低減させる添加物を添加させることが好ましい。この添加物としては、SiC及び/又はSiを挙げることができる。これにより、焼成時の閉気孔(クローズドポア)を減少させることができ、多孔質焼結体20に対する金属24の含浸率を向上させることができる。
【0036】
また、グラファイト中に、該グラファイトと反応する元素を添加するようにしてもよい。この添加元素としては、Ti、W、Moから選択された1種以上を挙げることができる。これにより、グラファイトの焼成時に、該グラファイトの表面(開気孔の表面を含む)に反応層(カーバイド層)が形成され、グラファイトの開気孔22に含浸される金属24との濡れ性が改善し、低圧での含浸が可能になり、しかも、微細開気孔への含浸も可能になる。
【0037】
一方、多孔質焼結体20に含浸される金属24に、Te、Bi、Pb、Sn、Se、Li、Sb、Tl、Ca、Cdから選択された1種以上を添加することが好ましい。これにより、多孔質焼結体20と金属24との界面の濡れ性が改善され、多孔質焼結体20の開気孔22内に金属24が入り易くなる。
【0038】
また、多孔質焼結体20に含浸される金属24に、Nb、Cr、Zr、Be、Ti、Ta、V、B、Mnから選択された1種以上を添加することが好ましい。これにより、グラファイトと金属24との反応性が向上し、開気孔22内においてグラファイトと金属24とが密着し易くなり、閉気孔22の発生を抑制することができる。
【0039】
そして、本実施の形態に係る電子回路用部材10は、複合材料12の表面に存在する皮膜14が溶射によって形成されている点で特徴を有する。溶射は、溶射材料を高温で溶解し、これを微粒として、あたかも霧吹きのように複合材料12の表面に吹き付ける方法である。この場合の温度は1500℃以上であると推定される。
【0040】
複合材料12の表面に吹き付けられた溶射材料の溶滴は、複合材料12に達すると急冷され、複合材料12の温度は300℃以下に保たれる。溶射による効果は、▲1▼:処理速度が速く、▲2▼:ドライプロセスで、かつ低温処理が可能であり、▲3▼:複合材料12の形状や大きさを問わない、などである。
【0041】
本実施の形態では、溶射材料を、Ni、Ni合金(NiB等)、Cu、Cu合金、Al、Al合金からなる群から選択された少なくとも1つとしている。図2の例では、複合材料12の表面にNiBの皮膜14(厚み50μm)を溶射によって形成した場合を示す。なお、皮膜14の厚みを薄くすると、厚みが均一化せず、未着部が発生する。
【0042】
また、前記溶射材料に、前記複合材料12との反応性を向上させるための添加元素が添加することが好ましい。この場合、添加元素として、Be、B、Mn、Nb、Cr、Zr、Ti、Ta、Vから選択された1種以上を採用することができる。
【0043】
一般に、溶射は、複合材料12に対する皮膜14の付着が機械的であるため、剥離するおそれがある。そこで、溶射材料に前記添加元素を添加して溶射することによって、溶射時に、複合材料12と皮膜14との間に反応層(カーバイド層)が形成され、複合材料12と皮膜14との密着性が大幅に向上し、前記剥離の問題は解消される。
【0044】
次に、本実施の形態に係る電子回路用部材10の製造方法について図3を参照しながら説明する。
【0045】
本実施の形態に係る製造方法は、カーボン又はその同素体と金属24とを有する複合材料12を作製する複合材料作製工程S1と、得られた複合材料12の表面に、少なくとも表面処理を目的とする皮膜14を溶射によって形成する皮膜形成工程S2と、複合材料12と皮膜14との密着性を向上させるための熱処理を行う熱処理工程S3とを有する。
【0046】
複合材料作製工程S1は、予備焼成工程S11と、含浸工程S12とを有し、該含浸工程S12は、溶湯導入工程S121、加圧工程S122、排気工程S123及び冷却固化工程S124を有する。
【0047】
まず、複合材料作製工程S1における予備焼成工程S11において、グラファイトを予備焼成してネットワーク化することによって多孔質焼結体20を作製する。その後、含浸工程S12に入る。この含浸工程S12では、最初の溶湯導入工程S121において、予熱された多孔質焼結体20を高圧容器内に設置し、該高圧容器内に、Cu又はCu合金からなる金属24の溶湯を導入する。この溶湯に導入によって、多孔質焼結体20の全体が溶湯中に浸漬される。
【0048】
次に、加圧工程S122において、高圧容器内に含浸用ガスを導入して溶湯を加圧する。この加圧によって、溶湯がより多量に多孔質焼結体20の開気孔22内に含浸されることになる。
【0049】
次に、排気工程S123において、前記含浸用ガスの導入を停止し、未含浸の溶湯の排出及び含浸用ガスの排気を行う。その後、冷却固化工程S124において、前記高圧容器内に冷却用ガスを導入して、多孔質焼結体20の開気孔22内に含浸された溶湯を冷却する。この冷却により、溶湯が固化して金属24となり、カーボン又はその同素体と金属24とを含む複合材料12が完成する。
【0050】
複合材料12が得られた段階で、次に、皮膜形成工程S2において、複合材料12の表面に、少なくとも表面処理を目的とする皮膜14を上述した溶射法によって形成する。このとき、溶射材料に、上述した前記複合材料12との反応性を向上させるための添加元素を添加しておくことにより、溶射によって形成された皮膜14と複合材料12との密着性が向上する。
【0051】
そして、次の熱処理工程S3において、前記皮膜14が形成された複合材料12に対して熱処理を行う。このときの加熱温度は、300℃〜1000℃であって、かつ、前記複合材料12の融点よりも30℃低い温度あるいはそれ以下の温度であることが好ましい。この熱処理によって、皮膜14と複合材料12との密着性が更に向上することとなる。この段階で、本実施の形態に係る電子回路用部材10が完成する。
【0052】
このように、本実施の形態に係る電子回路用部材10においては、カーボン又はその同素体と金属24とを含む複合材料12と、該複合材料12の表面に形成された皮膜14とを有し、特に、前記皮膜14を溶射法を用いて形成するようにしたため、複合材料12にめっき層を形成する場合の問題点を解消することができる。
【0053】
即ち、導電性についての異方性に伴うめっき層の厚みのばらつきや密着性の不均一、並びにめっき液等がカーボン又はその同素体と金属24との界面に生じている微小な間隙や、カーボン又はその同素体の多孔質焼結体20の気孔に含浸されるという問題がなくなる。
【0054】
このように、本実施の形態においては、カーボン又はその同素体と金属24とを含む複合材料12の表面に、半田付け性、ろう付け性が良好で、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜14が形成された新規な電子回路用部材10を提供することができる。
【0055】
更に、カーボン又はその同素体と金属24とを含む複合材料12は、熱膨張率が3.0×10-6〜1.0×10-5/Kであって、熱伝導率が100W/mK以上であるため、ICチップから発する熱を放熱するヒートシンク材に用いて好適となる。
【0056】
上述したように、複合材料12の表面に溶射によって形成された皮膜14によって、半田付け性、ろう付け性が良好となっているため、ヒートシンク材として使用される複合材料12にICチップを強固に固着することができ、ICチップが高温となった場合においても、ヒートシンク材がICチップの基板から剥離するということがない。
【0057】
なお、この発明に係る電子回路用部材及びその製造方法は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る電子回路用部材及びその製造方法によれば、カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料の表面に、半田付け性、ろう付け性が良好で、かつ、厚さや密着性が均一な皮膜が形成された新規な電子回路用部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る電子回路用部材の構成を示す断面図である。
【図2】本実施の形態に係る電子回路用部材の構成を示す拡大断面図である。
【図3】本実施の形態に係る電子回路用部材の製造方法を示す工程ブロック図である。
【符号の説明】
10…電子回路用部材 12…複合材料
14…皮膜 20…多孔質焼結体
22…開気孔 24…金属
Claims (2)
- カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料と、
前記複合材料の表面に形成された溶射皮膜とを有し、
前記溶射皮膜は、Niを構成材料とし、
前記溶射皮膜に、Be、Mn、Nb、Zr、Ti、Ta、Vから選択された1種以上の添加元素が添加され、
前記複合材料がヒートシンク材であり、
前記複合材料と前記溶射皮膜との間にカーバイド層が形成されていることを特徴とする電子回路用部材。 - カーボン又はその同素体と金属とを含む複合材料の表面に、少なくとも表面処理を目的とする皮膜を溶射によって形成する皮膜形成工程と、
前記皮膜が形成された前記複合材料に対して加熱処理を行う熱処理工程とを有し、
前記皮膜形成工程は、溶射材料がNiであり、前記溶射材料に、前記複合材料と前記皮膜との間にカーバイド層を形成するための添加元素が添加され、前記添加元素がBe、Mn、Nb、Zr、Ti、Ta、Vから選択された1種以上であり、
前記熱処理工程は、加熱温度が、300℃〜1000℃であって、かつ、前記複合材料の融点よりも30℃低い温度あるいはそれ以下の温度であることを特徴とする電子回路用部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000082883A JP4026676B2 (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 電子回路用部材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000082883A JP4026676B2 (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 電子回路用部材およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001262311A JP2001262311A (ja) | 2001-09-26 |
JP4026676B2 true JP4026676B2 (ja) | 2007-12-26 |
Family
ID=18599626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000082883A Expired - Fee Related JP4026676B2 (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 電子回路用部材およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4026676B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011035308A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Mitsubishi Materials Corp | 放熱板、半導体装置及び放熱板の製造方法 |
KR102257877B1 (ko) * | 2019-01-15 | 2021-05-28 | 주식회사 더굿시스템 | 방열판재 |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082883A patent/JP4026676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001262311A (ja) | 2001-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0272197B1 (en) | Silicon carbide abrasive particles having multilayered coating | |
JP2007522346A (ja) | 多孔性コーティング部材及び低温噴射法を利用したその製造方法 | |
JPS606910B2 (ja) | 金属セラミツクス接合体 | |
US4559277A (en) | Ceramic and aluminum alloy composite | |
JP5138879B2 (ja) | 材料複合体 | |
JP2008311273A (ja) | 接合体および電子モジュールならびに接合方法 | |
FI91724C (fi) | Menetelmä metallimatriisikomposiitin valmistamiseksi negatiivista seosmuottia käyttäen | |
US20030096059A1 (en) | Composite material and method of producing the same | |
US5108026A (en) | Eutectic bonding of metal to ceramic | |
JP4349906B2 (ja) | シリコン合金に濡れない酸化物系セラミックからなる部品の該合金によるメタライズおよび/またはろう付方法 | |
GB2263430A (en) | Bonded metal/ceramics | |
JP4026676B2 (ja) | 電子回路用部材およびその製造方法 | |
JP3530792B2 (ja) | 金属基複合材料およびその製造方法 | |
CN112479733B (zh) | 一种适用于陶瓷/金属连接的陶瓷结合区表面改性方法 | |
JPS59141395A (ja) | ろう材 | |
JPS61210137A (ja) | 窒化ケイ素繊維強化金属の製造方法 | |
JPS59137379A (ja) | 複合焼結セラミクスと金属との接着方法 | |
JPS59141393A (ja) | ろう材 | |
JP4090602B2 (ja) | メッキされたセラミックス/金属複合材料およびその製造方法 | |
JPS5940404A (ja) | 熱伝導性基板 | |
JPH0354182A (ja) | グラファイトのメタライズ方法及びこの方法を利用した部材 | |
JPS6247964A (ja) | アルカリ蓄電池用多孔体基板の製造法 | |
JP4246972B2 (ja) | 複合材料及びその製造方法 | |
JP2002206170A (ja) | メッキされた複合材料及びその製造方法 | |
JP2721258B2 (ja) | セラミック基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071002 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111019 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131019 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |