JP4020549B2 - プリント基板及びその製造方法 - Google Patents

プリント基板及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4020549B2
JP4020549B2 JP32673699A JP32673699A JP4020549B2 JP 4020549 B2 JP4020549 B2 JP 4020549B2 JP 32673699 A JP32673699 A JP 32673699A JP 32673699 A JP32673699 A JP 32673699A JP 4020549 B2 JP4020549 B2 JP 4020549B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silver
printed circuit
circuit board
ultrafine
particle solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP32673699A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001144417A (ja
Inventor
直明 小榑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP32673699A priority Critical patent/JP4020549B2/ja
Priority to US09/712,199 priority patent/US6486413B1/en
Priority to EP00125011A priority patent/EP1102522A3/en
Publication of JP2001144417A publication Critical patent/JP2001144417A/ja
Priority to US10/298,291 priority patent/US6651871B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4020549B2 publication Critical patent/JP4020549B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板及びその製造方法に係り、特に薄くて可撓性に富む多目的のフレキシブルプリント基板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近時、電子機器の小型・計量・薄肉化への要求がますます増大する傾向にあるので、薄くて可撓性に富んだ多目的のフレキシブルプリント基板に対する必要度が高くなっている。従来、この種のフレキシブルプリント基板は、一般に基材としてポリエステルフィルム又はポリイミドフィルムを用い、この表面に銅箔を接着剤で貼付けて製造されていた。
【0003】
一方、半導体装置自体の高集積化に伴って、半導体装置を組み込んだ電子機器の配線に関しても更に高密度で低価格のプリント基板開発の要求が強く、従来の接着剤を用いる手法に替わる信頼性のあるプリント基板の製造法が研究されてきた。
【0004】
その一つが、イオンプレーティング又はスパッタリングによって、プラスチックフィルム等の基材の表面に直接銅膜を蒸着する手法である。これによって、接着剤が不要で強固な密着性を有するフレキシブルプリント基板が製造できる。例えば、ポリイミドフィルムの表面にクラスタイオンビーム法で銅の蒸着を行って製造したプリント基板の場合、十分な密着力と可撓性を備え、加工パターン精度がよく、耐久性も大きいので、従来の接着剤を用いて製造したプリント基板に比べて、はるかに勝る性能を持つことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えばイオンビーム法を用いて基材の表面に銅を蒸着してプリント基板を製造する場合、量産用としてはかなり大規模な真空装置が必要となり、多額の初期費用を要すると考えられる。
【0006】
本発明は上記事情に鑑みて為されたもので、信頼度の低い接着剤や高価な大規模真空装置を用いることなく製造でき、信頼性が高く高密度の配線が可能なプリント基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、平均粒径が1〜20nmで周囲をアルキル鎖殻またはイオン性有機物で被覆した銀超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子溶液を基材に接触後、乾燥し、前記アルキル鎖殻または前記イオン性有機物が分解して消滅し同時に前記銀超微粒子同士が互いに溶融結合する温度で熱処理して形成した銀皮膜で基材の表面を被覆したことを特徴とするプリント基板である。これにより、基材に接触し付着した超微粒子溶液を、例えば300℃程度の温度で乾燥し熱処理することによって、基材との間に十分な接合強さを有し、微細な回路を形成することが可能な皮膜を堆積できる。
【0008】
請求項2に記載の発明は、前記超微粒子は、銀を含む有機錯体または金属塩を熱分解して製造したものであることを特徴とする請求項1記載のプリント基板である。この銀超微粒子は、例えばステアリン酸銀を250℃程度の窒素雰囲気で4時間加熱したり、非水系溶媒中でかつイオン性有機物の存在の下で、硝酸銀を240℃程度で3時間加熱することによって製造される。
【0009】
請求項3に記載の発明は、基材を用意する工程と、平均粒径が1〜20nmで周囲をアルキル鎖殻またはイオン性有機物で被覆した銀超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子溶液を用意する工程と、前記超微粒子溶液を前記基材の表面に接触する工程と、前記基材の表面に付着した超微粒子溶液を乾燥し、前記アルキル鎖殻または前記イオン性有機物が分解して消滅し同時に前記銀超微粒子同士が互いに溶融結合する温度で熱処理して銀皮膜を形成する工程とを有することを特徴とするプリント基板の製造方法である。
【0010】
請求項4に記載の発明は、前記超微粒子は、銀を含む有機錯体または金属塩を熱分解して製造したものであることを特徴とする請求項3記載のプリント基板の製造方法である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は、平均粒径が、例えば1〜20nm、好ましくは1〜10nm程度の銀超微粒子(金属超微粒子)の一製造例を示すもので、例えばミリスチン酸またはステアリン酸を水酸化ナトリウムによって鹸化し、しかる後、硝酸銀と反応させることにより、直鎖型脂肪酸銀塩(アルキル基の炭素数=14,18,18ω)を作製する。そして、この直鎖型脂肪酸塩を250℃程度の窒素雰囲気で4時間加熱して変性させ、精製することによって、周囲をアルキル鎖殻で被覆した銀超微粒子を製造する。
【0012】
なお、図示していないが、例えばナフテン系高沸点溶媒(非水系溶媒)中で且つオレイン酸(イオン性有機物)の存在下で硝酸銀(金属塩)をその分解還元温度以上で且つイオン性有機物の分解温度以下の240℃程度で3時間加熱することによって、イオン性有機物で周囲を被覆した銀超微粒子を製造するようにしても良い。
【0013】
このようにして製造した銀超微粒子は、その周囲をアルキル鎖殻またはイオン性有機物で被覆しているため、例えばシクロヘキサン等の有機溶媒に溶解させると、互いに凝集することなく、安定した状態で溶媒中に均一に混ざり合い、透明な状態、即ち可溶化状態となる。
【0014】
ここで、金属粒子の融点は、粒径が小さくなると低下することが知られているが、その効果が現れはじめる粒径は20nm以下であり、10nm以下になるとその効果が顕著となる。従って、銀超微粒子の平均粒径は、1〜20nmであるのが好ましく、1〜10nmであるのが特に好ましい。例えば、平均粒径が5nm程度のクラスターレベルの極小の銀超微粒子を使用することにより、200℃程度の加熱で銀超微粒子同士を互いに溶融結合することができる。
【0015】
図2は、前述のようにして製造した銀超微粒子を用いてプリント基板を製造し、更にこのプリント基板の表面に回路を作製する例を示すもので、先ず図2(a)に示すように、例えば薄くて可撓性に富んだポリエステルフィルムやポリイミドフィルム等からなるフィルム状の基材10を用意する。次に、この基材10の表面を、膜厚tが、例えば5μm以下の銀皮膜12で被覆して、プリント基板14を製造する。
【0016】
この例は、一般に用いられているセミアディティブ法でプリント基板14に回路を作製するようにしたもので、図2(c)に示すように、銀皮膜12の表面にめっきレジスト16を印刷し、しかる後、図2(d)に示すように、例えば電解めっきにより、めっきレジスト16で区画された凹所内に銅または銀等からなる配線材料18を埋込む。そして、図2(e)に示すように、めっきレジスト16を除去した後、図2(f)に示すように、プリント基板14にエッチングを施し不要な銀皮膜12を除去して、銀皮膜12上に堆積した配線材料18からなる配線20を作製する。
【0017】
図3は、図2(b)に示すプリント基板14を連続的に製造するのに適した装置の一例を示すもので、この装置には、図2(a)に示すロール状に巻付けたフィルム状の基材10を順次引出す巻出し機22と、基材10の表面を銀皮膜12で被覆したプリント基板14をロール状に順次巻取る巻取り機24とが備えられ、前記巻出し機22と巻取り機24との間に、銀超微粒子溶液26を貯蔵する貯蔵槽28と、基材10の表面に付着した銀超微粒子溶液26を乾燥し熱処理する乾燥室30とが配置されている。そして、巻出し機22から引出した基材10は、複数の案内ロール32を介して、貯蔵槽28から乾燥室30内に案内され、その間にプリント基板14を製造して巻取り機24で巻取るようになっている。
【0018】
前記銀超微粒子溶液26は、例えば粒径が5nm程度の前記銀超微粒子を、例えばシクロヘキサン等の適当な有機溶媒に分散したものであり、この濃度を調整することによって、自由な粘度の溶液とすることができる。
【0019】
次に、この装置によるプリント基板14の製造例を説明する。
先ず、巻出し機22から引出した基材10を貯蔵槽28の内部に導き、この内部に貯蔵した銀超微粒子溶液26に浸漬して、基材10の表面に銀超微粒子溶液26を付着させ、しかる後、この銀超微粒子溶液26が付着した基材10を乾燥室30の内部に導入する。
【0020】
この乾燥室30は、例えば高温ガスを介して、基材10の温度を、前記銀超微粒子の周囲を被覆するアルキル鎖殻やイオン性有機物の分解温度以上の、例えば200℃まで昇温して、基材10が乾燥室30の内部を通過する間、この温度に保持するようになっており、このように、基材10の表面に付着した銀超微粒子溶液26を乾燥室30で乾燥し熱処理することによって、溶媒は蒸発し、金属銀の薄層からなる皮膜12が基材10の表面に堆積・残留する。つまり、銀超微粒子の周囲を被覆するアルキル鎖殻やイオン性有機物を分解して消滅させ、同時に銀超微粒子同士を互いに溶融結合することによって、基材10の表面に銀超微粒子だけからなる均一な厚さの皮膜12を形成する。そして、基材10の表面を銀皮膜12で被覆したプリント基板14を巻取り機24で連続的に巻取る。
【0021】
ここで、基材10の送り速度は、基材10の表面に付着した銀超微粒子溶液26が、乾燥室30内を通過する間に乾燥及び金属銀への還元・皮膜化を行うのに要する時間を計算して、これを満足するように選定する。
【0022】
また、得られる銀皮膜12は、1回の銀超微粒子溶液26の付着及び乾燥当たり0.1〜0.2μmを限界厚さとして形成されるので、更に厚膜の銀皮膜12を必要とする場合には、銀超微粒子溶液26の付着及び乾燥のサイクルを複数回繰返す。この場合、厚膜化のためには、乾燥炉を挟んでその両側に銀超微粒子溶液の貯蔵槽を設け、それぞれのローラの正逆回転を繰り返してもよく、或いは、設備は図3のまのままにしておいて、一旦巻取ったプリント基板をロールごと巻出し機に装着して、繰返し同一工程を運転してもよい。
【0023】
こうして得た薄層状の銀皮膜12の基材10への接合強さは、通常の粘着テープによる剥離試験に耐えることを確認している。また、図2に示す方法で配線を作製した場合、線幅の最小値としては、0.5μmまで可能なことを確認しているので、現状のプリント基板に要求される水準を、十分満足する。
【0024】
これにより、300℃程度の乾燥室30を使用する以外の全工程を常温常圧の大気中で行うことによって、プリント基板14を製造でき、微細な回路が形成できる。それにも拘わらず、設備費用は非常に低廉なものですみ、費用対効果の観点から競争力の強いプリント基板を供給することが可能となる。
【0025】
なお、基材と反応性の高い高分子成分を前述の有機溶媒に予め混合した銀超微粒子溶液を使用することにより、銀皮膜の基材への密着性を更に高めることができる。また、この例では、基材を銀超微粒子溶液に浸漬するようにした例を示しているが、基材の表面に超微粒子溶液を塗布したり、注液・滴下・噴霧等の方法で基材に銀超微粒子溶液を接触するようにしても良い。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、信頼性が高く高密度の配線が可能なプリント基板を、300℃程度の乾燥室を使用する以外は常温常圧の大気中で製造でき、これにより、設備費用が非常に低廉なものとなって、費用対効果の観点から競争力の強いプリント基板を供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の銀超微粒子を製造する手順例を示す図である。
【図2】本発明の実施の形態のプリント基板、及びその後の配線の作製の手順例を示す図である。
【図3】本発明の実施の形態のプリント基板の製造に使用する装置の概要を示す図である。
【符号の説明】
10 基材
12 銀皮膜(金属皮膜)
14 プリント基板
18 配線材料
20 配線
26 銀超微粒子溶液
28 貯蔵槽
30 乾燥室

Claims (4)

  1. 平均粒径が1〜20nmで周囲をアルキル鎖殻またはイオン性有機物で被覆した銀超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子溶液を基材に接触後、乾燥し、前記アルキル鎖殻または前記イオン性有機物が分解して消滅し同時に前記銀超微粒子同士が互いに溶融結合する温度で熱処理して形成した銀皮膜で基材の表面を被覆したことを特徴とするプリント基板。
  2. 前記超微粒子は、銀を含む有機錯体または金属塩を熱分解して製造したものであることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
  3. 基材を用意する工程と、
    平均粒径が1〜20nmで周囲をアルキル鎖殻またはイオン性有機物で被覆した銀超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子溶液を用意する工程と、
    前記超微粒子溶液を前記基材の表面に接触する工程と、
    前記基材の表面に付着した超微粒子溶液を乾燥し、前記アルキル鎖殻または前記イオン性有機物が分解して消滅し同時に前記銀超微粒子同士が互いに溶融結合する温度で熱処理して銀皮膜を形成する工程とを有することを特徴とするプリント基板の製造方法。
  4. 前記超微粒子は、銀を含む有機錯体または金属塩を熱分解して製造したものであることを特徴とする請求項3記載のプリント基板の製造方法。
JP32673699A 1999-11-17 1999-11-17 プリント基板及びその製造方法 Expired - Lifetime JP4020549B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32673699A JP4020549B2 (ja) 1999-11-17 1999-11-17 プリント基板及びその製造方法
US09/712,199 US6486413B1 (en) 1999-11-17 2000-11-15 Substrate coated with a conductive layer and manufacturing method thereof
EP00125011A EP1102522A3 (en) 1999-11-17 2000-11-16 Substrate coated with a conductive layer and manufacturing method thereof
US10/298,291 US6651871B2 (en) 1999-11-17 2002-11-18 Substrate coated with a conductive layer and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32673699A JP4020549B2 (ja) 1999-11-17 1999-11-17 プリント基板及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001144417A JP2001144417A (ja) 2001-05-25
JP4020549B2 true JP4020549B2 (ja) 2007-12-12

Family

ID=18191115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32673699A Expired - Lifetime JP4020549B2 (ja) 1999-11-17 1999-11-17 プリント基板及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4020549B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004107728A (ja) * 2002-09-18 2004-04-08 Ebara Corp 接合材料及び接合方法
JP2004130371A (ja) * 2002-10-11 2004-04-30 Ebara Corp 接合体
TWI265762B (en) 2003-01-14 2006-11-01 Sharp Kk Wiring material, wiring substrate and manufacturing method thereof, display panel, fine particle thin film material, substrate including thin film layer and manufacturing method thereof
JP2005236006A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Morimura Chemicals Ltd 導電性回路装置およびその作製方法
JP4532321B2 (ja) * 2005-03-30 2010-08-25 株式会社日立製作所 導電パターン形成装置
JP5010554B2 (ja) * 2008-08-13 2012-08-29 三菱製紙株式会社 導電性パタンの形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001144417A (ja) 2001-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9221979B2 (en) Copper particles, copper paste, process for producing conductive coating film, and conductive coating film
KR100755192B1 (ko) 폴리이미드 수지의 무기 박막 패턴 형성방법
US6899781B2 (en) Method for forming resin composite material
US20060024428A1 (en) Method and apparatus for manufacturing laminate for flexible printed circuit board having metal plated layer using vacuum deposition
JP3570802B2 (ja) 銅薄膜基板及びプリント配線板
US20090050600A1 (en) Method for manufacturing printed circuit boards
US20060159854A1 (en) Method for forming inorganic thin film on polyimide resin and method for producing polyimide resin having reformed surface for forming inorganic thin film
JP4020549B2 (ja) プリント基板及びその製造方法
TWI448582B (zh) 金屬被覆聚醯亞胺膜及其製法
KR101203308B1 (ko) 2층 필름, 2층 필름의 제조 방법 및 인쇄 기판의 제조 방법
JP2006128599A (ja) 金属膜を備えた基板および金属膜の形成方法
JP2006128599A5 (ja)
JP2006054357A (ja) フレキシブルプリント配線板用積層体及びその製造方法
JP2006188757A (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜形成方法及び表面改質した無機薄膜形成用ポリイミド樹脂の製造方法
US6703186B1 (en) Method of forming a conductive pattern on a circuit board
JP2005045236A (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜パターン形成方法
JP3930732B2 (ja) 銅および銅合金用のマイクロエッチング剤並びにこれを用いる銅または銅合金の微細粗化方法
TW200920203A (en) Process for producing printed wiring board and printed wiring board produced by the production process
US7297757B2 (en) Resin surface treating agent and resin surface treatment
JP2004319781A (ja) フレキシブルプリント基板およびその製造方法
JPH07216553A (ja) 銅被覆ポリイミド基板の製造方法
JP2542428B2 (ja) 両面フレキシブルプリント回路基板の製造方法
JP2002222836A (ja) Tab用積層帯の製造方法及びtab用積層帯及びそれを用いてなる印刷配線板並びに半導体装置
JP3932193B2 (ja) 銅および銅合金用のマイクロエッチング剤並びにこれを用いる銅または銅合金の微細粗化方法
JP2008091456A (ja) ポリイミド樹脂表面の無機薄膜形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070123

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070323

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070925

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070925

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121005

Year of fee payment: 5