JP4002432B2

JP4002432B2 - 磁気研磨用砥粒

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Publication number: JP4002432B2
Application number: JP2001392771A
Authority: JP
Inventors: 英博竹之下
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Current assignee: Kyocera Corp
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Filing date: 2001-12-25
Publication date: 2007-10-31
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属部品、セラミックス部品等の研磨に用いる磁気研磨用砥粒に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、磁界中に磁気研磨用砥粒(磁化される性質と研磨する能力を兼ね備えた砥粒)を充填すると、磁場の影響により磁気研磨用砥粒は磁気ブラシを形成する。この磁気ブラシをひとつの研磨工具として利用し、工作物の円筒外周面、平面、曲面、多少の形状的複雑性のある面など、表面仕上げを行う砥粒加工法の一種が磁気研磨法である。
【０００３】
最近、この磁気研磨法が金型表面の仕上げ等の自動化、簡易化の手段として有用であるとされ、注目を集めている。
【０００４】
一般に磁気研磨法に用いる磁気研磨用砥粒は、前述のように磁化される性質と研磨する能力を備えた一種の複合砥粒で、その主要構成は強磁性体である鉄と高研磨材であるアルミナ質砥粒とから成っている。
【０００５】
このような磁気研磨用砥粒は、鉄等の強磁性金属と研磨材の微粉を加圧成形した後、雰囲気炉で焼結させることで得られる。
【０００６】
通常、研磨用砥粒の粒径と仕上面粗さとは密接な関係があるが、磁気研磨法を用いた場合、粒径数百μｍの比較的粗い砥粒を使用しても表面粗さは、最大高さＲ_maxで約２μｍのオーダーの仕上面粗さが得られる。これは、研磨時に磁力で結合された砥粒群が全体として柔軟な加工挙動をすることと、硬い研磨材成分の粒子が応力下で受けた加工歪を強磁性金属が分担し、緩和するからである。
【０００７】
磁気研磨における加工能率は、装置のファクターすなわち磁極の強さや回転周速度、被加工部品の送り速度、加工間隙等の諸条件のほか、砥粒が群を形成したときの粘弾性的な挙動にも左右される。従って、個々の砥粒の性状は、磁気研磨の研磨量や研磨精度を決定する重要な要素であり、その使用寿命をも決定する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の磁気研磨用砥粒は、研磨材の種類が限られるうえに、研磨特性も十分満足できるものではなく、使用寿命も長くなかった。これは、研磨材粒子を金属粉末の焼結により結合しているという構成に起因するものであって、研磨材粒子であるＡｌ₂Ｏ₃やＳｅＯ₂等のセラミックスと強磁性金属との密着性が低いことや、セラミックスの比重と金属の比重が大きく異なっているため、砥粒中に研磨材の粒子が均一に分散していないことによるものであった。
【０００９】
以上の点を改善する試みとして、ホットプレスによる圧密化や、焼結、粉砕後の球状化処理等が行われているが、この様な方法は製造コストを高くするという欠点を有していた。
【００１０】
一方、Ｆｅに代表される強磁性金属に、研磨材／強磁性金属＝（５〜４０）／（９５〜６０）(体積比)で研磨材粒子を分散させ、この強磁性金属に対してＡｌ、ＳｉまたはＢの少なくとも１種を脆化剤として添加することで粉砕を容易にし、砥粒製造の生産性を高めた磁気研磨用砥粒も提案されているが（特開平６−１１６５４９号公報参照)、研磨材粒子が均一に分散された磁気研磨用砥粒とするには、成形、金属溶融、粉砕といったいくつもの工程が必要で製造コストを十分低下させるものではなかった。
【００１１】
また、この強磁性金属及び研磨材から成る磁気研磨用砥粒を用いて研磨加工した場合、研磨量を増加させようとして砥粒の粒径を大きくすると、強磁性金属の磁力が強く研磨面の表面粗さが大きくなってしまうという欠点を有していた。
【００１２】
そこで、本発明は、研磨量が多く、研磨精度が高く、製造コストが安価である磁気研磨用砥粒を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記問題点に鑑みて本発明は、ＦｅまたはＦｅ−Ｎｉのいずれかの強磁性金属と、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯまたはＮｉＯのいずれかを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下のフェライトと、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_２のいずれかの研磨材とからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することを特徴とする。
さらに、上記金属が１５〜８０質量％、フェライトが１５〜８０質量％及び研磨材が５〜５０質量％の割合で含有されてなるとからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することを特徴とする。
さらに、平均粒径が１〜１０００μｍであることを特徴とする。
さらに、比表面積が０．１〜１０ｍ²／ｇであることを特徴とする。
さらに、上記フェライト粒子の密度が５ｇ／ｃｍ³以上であることを特徴とする。
さらに、圧縮強度が５０ＭＰa以上であることを特徴とする。
【００１８】
本発明の磁気研磨用砥粒によれば、ＦｅまたはＦｅ−Ｎｉのいずれかの強磁性金属と、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯまたはＮｉＯのいずれかを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下のフェライトと、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_２のいずれかの研磨材とからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することで磁気感応性を高くできる。
【００１９】
また、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、平均粒径を１〜１０００μｍとすることから、被研磨物の表面加工を行う上で、研磨量と研磨精度を向上させることができる。
【００２０】
さらに、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、密度が５ｇ／ｃｍ³以上であることから、被研磨物への加工応力が加わった際、研磨用砥粒自身の破壊を有効に防止して、被研磨物の研磨量を多くすることができる。
【００２１】
さらにまた、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、圧縮強度が５０ＭＰa以上であることから、被研磨物への加工応力が加わった際、研磨用砥粒自身の破壊を有効に防止して、被研磨物の研磨量をより多くすることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の磁気研磨用砥粒は、ＦｅまたはＦｅ−Ｎｉのいずれかの強磁性金属と、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯまたはＮｉＯのいずれかを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下のフェライトと、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_２のいずれかの研磨材とからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することで、従来の強磁性金属及び研磨材からなる磁気研磨用砥粒よりも、金属とフェライトの磁場中での相互作用によって加工圧力が増加し、研磨量を増加させることができる。
【００２３】
上記磁気研磨用砥粒は、強磁性金属に対する研磨材のマトリクス、または、フェライトに対する研磨材のマトリクスによって構成されており、フェライトと研磨材のマトリクスは、強磁性金属と研磨材のマトリクスよりも安価に作成できるため、磁気研磨用砥粒自体を安価にすることができる。
【００２４】
また、上記磁気研磨用砥粒は、強磁性金属が１５〜８０質量％、フェライトが１５〜８０質量％、研磨材が５〜５０質量％の割合で含有されていることが好ましく、上記含有量とすることによって、被研磨物の研磨量をさらに増加させることができる。
【００２５】
なお、上記強磁性金属とは自発磁化を有するものと定義され、磁場以外においても自発的に磁性を示すものであり、上記フェライトの軟磁性とは磁場が印加された際に磁化されやすいものと定義されるものである。
【００２６】
上記強磁性金属が１５質量％未満となると、磁性研磨用砥粒の回転磁心への付着力が低下し、８０質量％を超えると研磨効果の高いフェライト及び研磨材の含有量が低下するため研磨量が減少する。また、上記フェライト及び研磨剤が１５質量％未満となると研磨効果が低下し、研磨量が低下して長い加工時間を要し、一方８０質量％を超えると強磁性金属の含有量が低下するため、回転磁心への付着力が低下して研磨量が減少する。
【００２７】
なお、上記強磁性金属を３０〜６０質量％、フェライトを３０〜６０質量％、研磨材を１０〜３０質量％とすることがより好ましく、強磁性金属、フェライト及び研磨材の磁力による加工圧力と研磨材による研磨効果のバランスが良いため、研磨量をより増加させることができる。
【００２８】
ここで、上記磁気研磨用砥粒の強磁性金属としては、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｎｉ等が用いられ、回転磁芯に磁化される磁化支持体として作用する。
【００２９】
また、上記フェライトとしては、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ及びＮｉまたはＭｎの各酸化物であればよく、通常はＦｅを５０モル％以上含有するフェライトを用いれば、製造コスト及び磁気感応性の高さの点で有利である。組成範囲は、Ｍｎ系のフェライトの場合は、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下、Ｎｉ系のフェライトの場合は、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＮｉＯを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下であることが重要である。
【００３０】
さらに、上記研磨材としては、種々の酸化物セラミックス、非酸化物セラミックス又はダイヤモンドが用いられ、酸化物セラミックスの粒子を用いることが好ましく、具体的にはＡｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、ＳｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｅＯ₂等であり、これらの１種または２種以上を混合しても良く、この研磨材は、磁性研磨用砥粒において強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在する。
【００３１】
なお、上記強磁性金属、フェライト、研磨材の各成分の他に非磁性成分が若干含まれていてもよく、例えばＣａＯ、Ｋ₂Ｏ、ＭｇＯ、ＣｏＯ、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＷＯ₃、ＰｂＯ等を含んでもよい。いずれも磁気研磨用砥粒に対して、５０重量％以上のフェライト成分が存在し、集合体として磁気感応性を示すならば、磁気研磨用砥粒として用いることができる。
【００３２】
また、本発明の磁気研磨用砥粒は、平均粒径が１〜１０００μｍであることが好ましく、被研磨物の表面加工を行う上で研磨量と研磨精度を向上させることができる。上記平均粒径を１μｍ以上とすることによって、研磨量、加工速度を大きくすることができるとともに、平均粒径を１０００μｍ以下とすることによって表面粗さの優れた研磨面を得ることができる。また、研磨加工の種類によって粗仕上げの場合には平均粒径を大きく、仕上げ研磨用としては平均粒径を小さくすることで好適に用いることができる。
【００３３】
なお、本発明の平均粒径とは、磁気研磨用砥粒のＳＥＭ写真より任意に１０個の磁気研磨用砥粒球状体を取り出し、各磁気研磨用砥粒球状体に接する内接円と外接円の直径の平均値をさらに平均した値のことである。
【００３４】
さらに、本発明の磁気研磨用砥粒は、比表面積が０．１〜１０ｍ²／ｇとすることが好ましく、比表面積を０．１ｍ²／ｇ以上とすることによって表面粗さの小さな研磨面を得ることができ、比表面積を大きくすることで仕上げ研磨用として好適に用いることができる。一方、比表面積が１０ｍ²／ｇを超えると、粒径が小さくなり、単位面積に対する加工圧力が低下するため、研磨量が低下しやすい。
【００３５】
なお、各粒子の比表面積は、ＪＩＳＲ１６２６（１９９６）に準拠した流動式ＢＥＴ法で測定することができる。
【００３６】
ここで、上記磁気研磨用砥粒を形成する各粒子の比表面積を０．１〜１０ｍ²／ｇとするには、フェライトと研磨材のマトリクスの密度と圧縮強度をコントロールする事が重要になる。そこで、詳細を後述する製造方法において、フェライトと研磨材のマトリクス顆粒作成の際、混合造粒、噴霧乾燥造粒、噴射造粒又は転動造粒のいずれかにより造粒することが必要であり、原料顆粒の投入量を少なくするとともに、ディスク回転速度を高速とする等の方法によって比表面積を大きなものとできる。
【００３７】
またさらに、本発明の磁気研磨用砥粒は、密度が５ｇ／ｃｍ³以上とすることが好ましく、被研磨物に加工応力が加わった際、研磨用砥粒自身の破壊を有効に防止し、被研磨物の研磨量を多くすることができる。
【００３８】
なお、上記密度は、ＪＩＳＲ１６２０（１９９５）に準拠した粒子密度測定方法で測定することができる。
【００３９】
さらにまた、本発明の磁気研磨用砥粒は、圧縮強度が５０ＭＰa以上とすることが好ましく、被研磨物に加工応力が加わった際、研磨砥粒自身の粉砕や破壊を有効に防止し、被研磨物の研磨量を多くすることができる。
【００４０】
なお、上記圧縮強度は、微少圧縮試験機(島津製)を用いて測定することができる。
【００４１】
上述のように磁気研磨用砥粒の密度を５ｇ／ｃｍ³以上、圧縮強度を５０ＭＰａ以上とするには、フェライトと研磨材のマトリクスの密度と圧縮強度をコントロールすることが重要であり、フェライトと研磨材のマトリクスの製造方法において、仮焼温度、焼成温度、焼成時間を制御することによって得ることができる。
【００４２】
次いで、本発明の磁気研磨用砥粒の製造方法について説明する。
【００４３】
本発明の強磁性金属、フェライト、研磨材とからなる磁気研磨用砥粒の製造方法は、例えば強磁性金属としてＦｅを５０質量％と、この強磁性金属に研磨材を５０質量％分散させ、成形、金属溶融、粉砕を行い、強磁性金属と研磨材のマトリクスを形成する。なお、所望の平均粒径、比表面積の強磁性金属と研磨材のマトリクスは得るには、粉砕し分級する事で得られる。
【００４４】
次いで、得られた強磁性金属と研磨材のマトリクスに、フェライトとして、例えば、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ及びＮｉまたはＭｎの酸化物あるいは焼成によりこれらの酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を添加し、振動ミル等で粉砕混合して仮焼した後、バインダーを加えて造粒して原料顆粒を得、その後、焼成するものである。
【００４５】
また、フェライトを研磨材とのマトリクスとして添加する場合には、フェライトとして、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ及びＮｉまたはＭｎの酸化物あるいは焼成により、これら酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を用い、これらを上述の範囲となるようにフェライト材の主成分の各原料を調合し、振動ミル等で粉砕混合した後、仮焼して得られた仮焼粉体に、研磨材として例えば、Ａｌ、Ｚｒ等の酸化物あるいは焼成により酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を添加し、ボールミル等で粉砕した後、バインダーを加えて造粒して原料顆粒を得、その後焼成する。
【００４６】
なお、研磨材は仮焼後に加えることを拘束するものではなく、仮焼前にフェライト成分に加えても特性に何ら影響するものではない。
【００４７】
このような製造方法によって得られた磁気研磨用砥粒は、個々の粒子が強固に焼結したものとなり、研磨量が多く、被加工物の表面粗さが小さい研磨精度の高いものとなる。
【００４８】
また、磁気研磨用砥粒を所定の平均粒径、比表面積とするには顆粒作成の際、混合造粒、噴霧乾燥造粒、噴射造粒又は転動造粒のいずれかにより造粒することが必要である。特に、平均粒径を１〜１０００μｍ、比表面積を０．１〜１０ｍ²／ｇの磁気研磨用砥粒を噴霧乾燥造粒機の一種であるディスク回転型のスプレードライヤーで得ようとする場合、上記原料顆粒の投入量を２０００ｍｌ／分以上８０００ｍｌ／分未満、投入時の温度を２００℃〜３５０℃、ディスク回転速度を４０００〜１００００ｒｐｍにすればよい。また、円筒器と円筒器の中に備えられた回転刃とからなり、該回転刃を回転させることにより円筒器内の粒子に遠心力、剪断力を加え、粒子を円筒器の内周に沿って円運動させることによって造粒する転動造粒機の一種であるハイスピードミキサーで得ようとする場合、ＰＶＡ、ＰＥＧ等のバインダーに水またはアルコールを混合したものと、フェライト材とをバインダー量がフェライト材に対して１〜２０重量％となるように投入し、バインダーの添加速度を５０ｍｌ／分未満で投入し、回転刃の回転数を５００〜５０００ｒｐｍにすればよい。
【００４９】
さらに、得られた磁気研磨用砥粒の密度を５ｇ／ｃｍ³以上、圧縮強度を５０ＭＰａ以上とするには、焼結を促進しなければならないため、大気雰囲気中８００〜１０００℃の範囲で１〜１０時間仮焼し、大気雰囲気中１０００〜１３００℃の範囲で１〜２０時間焼成することが必要である。焼成温度が１０００℃未満となると、焼結が十分促進しないため十分な圧縮強度が得られず、１３００℃を超えるとフェライトが蒸発してしまい、密度、圧縮強度とも減少するためである。
【００５０】
最終的に得られた、研磨材成分を含有した強磁性体金属とフェライト又は、研磨材を含有したフェライトを所定の質量％で混合することで、本発明の磁気研磨用砥粒を得ることができる。
【００５１】
また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。
【００５２】
【実施例】
（実施例１）
先ず、強磁性金属としてＦｅ中に、研磨材であるＡｌ₂Ｏ₃を表１に示す如く分散させ、成形、金属溶融、粉砕し、任意の平均粒子径、比表面積を有する磁気研磨用砥粒を得、表１中の試料Ｎｏ．２〜４とした。
【００５３】
また、比較例として、強磁性金属であるＦｅと研磨材であるＡｌ₂Ｏ₃のみからなる試料をそれぞれＮｏ．１と５に用意した。
【００５４】
フェライトとして、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＺｎＯ、ＣｕＯ及びＮｉＯまたはＭｎＯを振動ミルで混合した後、６００〜１０００℃で仮焼することにより仮焼体を得、この仮焼体の一部を取り出し、バインダーを加えた後、スプレードライヤーを用いて造粒処理することで任意の平均粒子径、比表面積を有する造粒体を得た。
【００５５】
そして、この造粒体を大気雰囲気中９００〜１４００℃で焼成することによりフェライトからなる試料Ｎｏ．６を得た。
【００５６】
また、残った上記仮焼体に研磨材としてＡｌ₂Ｏ₃を添加し、ボールミルにて粉砕した後、バインダーを加え、スプレードライヤーを用いて任意の形状、大きさを有する造粒体を得、この造粒体を大気雰囲気中９００〜１４００℃で焼成することにより試料Ｎｏ．７〜９を得た。
【００５７】
さらに、上記得られた強磁性金属及び研磨材からなる粒子にフェライトまたは、研磨材を含有したフェライト粒子を所定の比率で添加、混合することにより試料Ｎｏ．１０〜２９を得た。
【００５８】
以上のような試料をそれぞれフライス盤に磁極を取り付けて回転させた装置で使用して、次の条件で磁気研磨を行った。
【００５９】
回転磁極：直径２０ｍｍ回転磁極の先端部曲率半径：１０ｍｍ
回転磁極の回転数：２０００ｒｐｍ被研磨物：Ｓ５５Ｃ鋼砥粒：２．５ｇ
磁束密度Ｔ：１．０テスラ磁極と被研磨物のギャップＧ：１．４ｍｍ
研磨時間：１５分間研磨前表面粗さＲｙ：２μｍ
各試料に関して得られた研磨量を測定した。
【００６０】
その結果を表１に示す。
【００６１】
【表１】

【００６２】
表１に示す結果より、強磁性金属、フェライト及び研磨材の何れかを含まない試料（Ｎｏ．１〜１０、１２、２０）は、研磨量が７０ｍｇ以下と少なかった。
【００６３】
これに対し、強磁性金属、フェライト及び研磨材の全てを含む試料（Ｎｏ．１１．１３〜１９、２１〜２９）は研磨量が８５ｍｇ以上と多かった。
【００６４】
さらに、強磁性金属が１５〜８０質量％、フェライトが１５〜８０質量％、研磨材が５〜５０質量％の試料（Ｎｏ．１１、１３、１４、１６〜１８、２１、２２、２５〜２９）は、研磨量が１１０ｍｇ以上とさらに増加していることが判った。
【００６５】
特に、強磁性金属が３０〜６０質量％、フェライトが３０〜６０質量％、研磨材が１０〜４０質量％の試料（Ｎｏ．２６〜２９）は、研磨量が１６０ｍｇ以上とより増加していることが判った。
【００６６】
（実施例２）
次に、実施例１と同様な方法で、顆粒作成の際、混合造粒によって造粒することで種々の平均粒径、比表面積を有し、強磁性金属であるＦｅを１５質量％、フェライトを５０質量％、研磨材を３５質量％からなる磁気研磨砥粒試料を作製した。
【００６７】
各試料を用いて実施例１と同様の条件にて研磨加工試験を行った。
【００６８】
そして、各試料の研磨量を測定するとともに、被研磨物の表面粗さをＪＩＳＢ０６０１に基づき算術平均粗さ（Ｒａ）を触針式表面粗さ計にて測定した。
【００６９】
【表２】

【００７０】
表２に示す結果より、平均粒径が１μｍ未満、比表面積が１０ｍ²／ｇより大きい試料（Ｎｏ．３０）は、研磨量が１１５ｍｇと少なく、また、平均粒径が１０００μｍを超え、比表面積が０．１ｍ²／ｇ未満の試料（Ｎｏ．３８、３９）は、研磨量が大きいものの表面粗さＲａが０．３μｍ以上と大きく、研磨精度が低下することが判った。
【００７１】
これに対し、平均粒径が１〜１０００μｍ、比表面積が０．１〜１０ｍ²／ｇとした試料（Ｎｏ.３１〜３７）は、研磨量が１３５〜１８５ｍｇ、表面粗さＲａが０．２μｍ以下と優れた研磨精度であることが判った。
【００７２】
（実施例３）
次に、実施例１と同様な方法で、仮焼時間、焼成時間、温度を種々変更して表３に示す如く密度、強度を有し、強磁性金属であるＦｅを１５質量％、フェライトを５０質量％、研磨材を３５質量％からなる磁気研磨砥粒試料を作製した。
【００７３】
各試料を用いて実施例１と同様の条件にて研磨加工試験を行った。
【００７４】
なお、各試料の平均粒径は１００μｍ、比表面積は１ｍ²／ｇとし、密度はＪＩＳＲ１６２０（１９９５）に準拠した粒子密度測定方法で、圧縮強度は微少圧縮試験機(島津製)を用いて求めた。
【００７５】
そして、各試料を用いて実施例1と同様な条件で研磨したＳ５５Ｃ鋼の研磨量の測定した。
【００７６】
その結果を表３に示す。
【００７７】
【表３】

【００７８】
表３から明らかなように、密度が５ｇ／ｃｍ³未満、圧縮強度が５０ＭＰａ未満の試料（Ｎｏ．４０、４１）は、研磨量が１２５ｍｇ以下と少ないことが判った。
【００７９】
これに対し、密度が５ｇ／ｃｍ³以上、圧縮強度が５０ＭＰａ以上の試料（Ｎｏ.４２〜４５）は、研磨量が１４５〜２０５ｍｇとより増加していることが判った。
【００８０】
【発明の効果】
本発明の磁気研磨用砥粒によれば、ＦｅまたはＦｅ−Ｎｉのいずれかの強磁性金属と、Ｆｅ₂Ｏ₃を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯまたはＮｉＯのいずれかを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下のフェライトと、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_２のいずれかの研磨材とからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することから、研磨効果を高くするとともに、砥粒の寿命を向上させ、安価に製造することができる。
【００８１】
また、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、平均粒径を１〜１０００μｍとすることから、被研磨物の表面加工を行う上で、研磨量と研磨精度を更に向上できる。
【００８２】
さらに、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、密度が５ｇ／ｃｍ³以上であることから、被研磨物への加工応力が加わった際、研磨用砥粒自身の破壊を有効に防止して、被研磨物の研磨量を更に多くすることができる。
【００８３】
さらにまた、本発明の磁気研磨用砥粒によれば、圧縮強度が５０ＭＰa以上であることから、被研磨物への加工応力が加わった際、研磨用砥粒自身の破壊を有効に防止して、被研磨物の研磨量をより更に多くすることができる。

Claims

ＦｅまたはＦｅ−Ｎｉのいずれかの強磁性金属と、Ｆｅ ₂ Ｏ ₃ を４０〜９５モル％、ＺｎＯを１〜３０モル％、ＭｎＯまたはＮｉＯのいずれかを１〜３０モル％、ＣｕＯを１０モル％以下のフェライトと、Ａｌ _２Ｏ _３、ＺｒＯ _２、ＳｉＯ _２、Ｃｒ _２Ｏ _３、ＣｅＯ _２のいずれかの研磨材とからなり、該研磨材は上記強磁性金属またはフェライトのマトリクスとして存在することを特徴とする磁気研磨用砥粒。
上記強磁性金属が１５〜８０質量％、フェライトが１５〜８０質量％及び研磨材が５〜５０質量％の割合で含有されてなることを特徴とする請求項１に記載の磁気研磨用砥粒。
平均粒径が１〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気研磨用砥粒。
比表面積が０．１〜１０ｍ²／ｇであることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の磁気研磨用砥粒。
上記フェライト粒子の密度が５ｇ／ｃｍ³以上である請求項１乃至４の何れかに記載の磁気研磨用砥粒。
圧縮強度が５０ＭＰa以上である請求項１乃至５の何れかに記載の磁気研磨用砥粒。