JP3998642B2 - Printed solder inspection service method and printed solder inspection apparatus - Google Patents

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本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、検査を行うときの印刷はんだ検査サービス方法及びそれに用いられる印刷はんだ検査装置に関する。   The present invention relates to a printed solder inspection service method for measuring and inspecting a printed solder formation state when a cream-like solder is printed on a printed circuit board for surface mounting an electronic component or the like by a solder printer or the like. And a printed solder inspection apparatus used therefor.

特に、基板(以下、プリント基板を単に「基板」と言う。)に、光を照射して測定した結果として得られた、基板上の印刷はんだ箇所の変位(高さを含む)や輝度(基板から反射した光の量、受光量(光の強さ)を含む。)の測定データから、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ(高さ、面積、或いは体積等のデータ:以下、これらの一部又は全部を「画像データ」という。)に変換して、その画像データを判定の基準となる参照データ(以下、これを「レファレンス」と言う。)と比較して判定する検査装置及び方法においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記画像データの正確な生成は難関であり、この画像データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する(以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。)場合がある。しかし、判定手段が誤った判定しているかどうかの解析、及び誤った判定をしたときに、上記画像パラメータはどのような値にすべきかの解析は、困難なものがある。本発明は、そのような解析を外部の解析装置で印刷はんだ検査装置の操作者と異なる他の専門家(以下、「サービスマン」という。)が容易に行えるようにし、操作者はサービスマンより得られた画像パラメータ値を用いて検査することにより、虚報の発生を軽減するための技術に係る。   In particular, the displacement (including height) and brightness (substrate) of the printed solder on the substrate obtained as a result of irradiating the substrate (hereinafter referred to simply as “substrate”) with light. Image data (height, area, volume, etc.) representing the amount of printed solder when solder printing is performed from the measurement data of the amount of light reflected from the light and the amount of light received (including the intensity of light). Data: Hereinafter, a part or all of these are converted into “image data”), and the image data is compared with reference data (hereinafter referred to as “reference”) as a criterion for determination. In the inspection apparatus and method for determining, the image data is accurately generated from the pattern shape of the printed solder portion of the substrate, the printed solder state, the measurement conditions, the noise, the conditions for converting the above data, and the combination thereof. In difficulty Ri, a determination means for determining the image data, and outputs the result of judgment incorrectly printed solder forming state of good and defective (hereinafter, an erroneous determination result referred to as "false alarm".) Is sometimes. However, it is difficult to analyze whether the determination means makes an incorrect determination, and to analyze what value the image parameter should have when an incorrect determination is made. The present invention makes it possible for another expert (hereinafter referred to as a “serviceman”), who is different from the operator of the printed solder inspection apparatus, to easily perform such analysis using an external analysis device. The present invention relates to a technique for reducing the occurrence of false alarms by inspecting using the obtained image parameter values.

従来、上記のような印刷はんだ検査装置においては、測定手段からのアナログ量である測定データを、所定のしきい値やフィルタ条件等を含む画像パラメータ値で加工処理していた。例えば、フィルタ条件等でフィルタリングして雑音を除去し、しきい値で2値データに変換するなどの処理をした上で、面積や体積等の印刷はんだ量を表す画像データを作るという加工処理をしていた(特許文献1、2、及び3を参照。画像データの生成方法については、特許文献3に詳細に説明されている。)。この加工処理は、基板単位で生成されていた。つまり、画像データ生成にあたっては、同一基板上の複数のはんだ箇所があれば、それらは基板のはんだ箇所共通のしきい値等の画像パラメータ値で処理されていた。したがって、基板のいずれか1つの印刷はんだ箇所で虚報が発生した場合に、これを修正するため画像パラメータ値を変更して、その虚報を修正したとしても、他の印刷はんだ箇所で虚報を発生する可能性が高かった。   Conventionally, in the printed solder inspection apparatus as described above, measurement data, which is an analog amount from the measurement means, is processed with image parameter values including predetermined threshold values, filter conditions, and the like. For example, processing such as filtering by filter conditions to remove noise, converting to binary data with a threshold value, and creating image data representing the amount of printed solder such as area and volume (See Patent Documents 1, 2, and 3. The method for generating image data is described in detail in Patent Document 3.) This processing is generated on a substrate basis. That is, when generating image data, if there are a plurality of solder locations on the same substrate, they are processed with image parameter values such as a threshold value common to the solder locations on the substrate. Therefore, when a false alarm is generated at any one printed solder location on the board, the false alarm is generated at another printed solder location even if the image parameter value is changed to correct the false error. The possibility was high.

一方で、印刷はんだの良否判定は、はんだ箇所単位で行われ、検査結果を管理することが行われていた(特許文献4を参照)が、判定に至る過程においては、はんだ箇所単位で管理されていなかった。   On the other hand, the quality of printed solder is judged in units of solder locations, and the inspection results are managed (see Patent Document 4), but in the process leading to the judgment, it is managed in units of solder locations. It wasn't.

ここまで、印刷はんだ検査装置で、判定誤りが起きるということで説明したが、この判定に誤りがあるか、或いは基板におけるはんだ印刷が不良かを解析していずれかを判断し、判定に誤りある場合に適切な画像パラメータ値を設定するのもかなり高度の専門的経験及び知識必要であった。一般に、このような解析及び画像パラメータ値の設定の問題が起きると、専門的なサービスマンが出張して対策する事をしていた。   Up to this point, it has been explained that a judgment error occurs in the printed solder inspection apparatus, but it is judged whether there is an error in this judgment or whether the solder printing on the board is defective. Setting appropriate image parameter values in some cases also required a fairly high degree of professional experience and knowledge. In general, when such a problem of analysis and setting of image parameter values occurs, a professional service person takes a business trip to take measures.

特開2002−22412号公報(段落〔0030〕−〔0034〕、図4)JP 2002-22412 A (paragraphs [0030]-[0034], FIG. 4) 特開2002−176254号公報(段落〔0028〕−〔0031〕、図4、図4)JP 2002-176254 A (paragraphs [0028]-[0031], FIG. 4, FIG. 4) 特開2002−228597号公報(段落〔0040〕−〔0050〕、図2、図5)JP 2002-228597 A (paragraphs [0040]-[0050], FIG. 2, FIG. 5) 特開2000−65552号公報(〔請求項1〕、〔請求項2〕)JP 2000-65552 A ([Claim 1], [Claim 2])

上記従来技術のように、基板単位で、つまり、印刷はんだ箇所共通に、同一パラメータ値により画像データを生成する技術にあっては、一部の印刷はんだ箇所の虚報を防止するには、他のはんだ箇所についての影響を考慮する必要があり、試行錯誤がなされたうえで実施しなければならないという困難さがあった。このような虚報の発生に対する対策の一つとしては、画像データを生成するときの上記画像パラメータ値を印刷はんだ箇所単位で備え、はんだ箇所個別に対応することも考えられる。しかしながら、検査開始においては、どこで虚報が発生するか確認できないので、同じ画像パラメータ値を数多くの印刷はんだ箇所毎にもたざるをえない。メモリも大きくなる。また、数多くの印刷はんだ箇所毎に画像パラメータ値を読み出して処理する時間が遅くなる。さらに、画像パラメータ値の入力設定にも時間がかかる。   In the technology for generating image data by the same parameter value in the unit of substrate, that is, common to the printed solder locations as in the above prior art, in order to prevent false reports of some printed solder locations, It is necessary to consider the influence on the soldered part, and there is a difficulty that it must be carried out after trial and error. As one countermeasure against the occurrence of such false information, it is conceivable to provide the image parameter value for generating image data in units of printed solder locations and deal with each solder location individually. However, at the start of the inspection, it is impossible to confirm where the false information is generated, so the same image parameter value must be applied to each of many printed solder locations. Memory is also increased. In addition, the time for reading and processing image parameter values for each of many printed solder locations is delayed. Furthermore, it takes time to set the input of image parameter values.

また、印刷はんだ箇所の解析にあたっては、サービスマンが出張する代わりに、印刷はんだ装置側からサービスマン宛に解析に必要なデータを送り、サービスマンが解析し、その結果を印刷はんだ装置に反映させることも考えられたが、測定が映像的に行われ、そのデータから画像データに変換して処理するため基板全体のデータは膨大になり容量的にFD等に入りきれないことが多い、もちろん電子メールで送るのも困難であった。つまり、解析データをサービスマンに送って解析してもらうことも困難であった。対策として、操作者が、問題箇所のデータだけ送ることも考えられるが、基板全体で処理していたので、操作者側で問題箇所のデータを抽出するのが困難であった。   Also, when analyzing the printed solder location, instead of a serviceman traveling on a business trip, the data required for the analysis is sent from the print soldering device to the serviceman, the serviceman analyzes it, and the result is reflected in the printed soldering device. However, since the measurement is performed image-wise and the data is converted into image data and processed, the data on the entire board becomes enormous and often cannot fit into the FD, etc. It was also difficult to send by e-mail. In other words, it was difficult to send analysis data to a service person for analysis. As a countermeasure, the operator may send only the data of the problem part, but since the processing is performed on the entire board, it is difficult for the operator to extract the data of the problem part.

本発明は、上記従来技術の欠点を改良するものであって、通常は検査初期に設定された基板共通の画像パラメータ値を用いて画像データを生成して検査し、特定の印刷はんだ箇所についてだけ個別の画像パラメータ値を使用して画像データを生成して検査できるようにし、さらに、問題の印刷はんだ箇所の解析にあたっては、サービスマンがその箇所だけの解析データを受けて解析し、その箇所だけの適切な個別の画像パラメータ値を提供できる検査サービス方法及びそれに用いられる検査装置の提供を目的とする。   The present invention improves the above-mentioned drawbacks of the prior art. In general, image data is generated and inspected using image parameter values common to the board set at the initial stage of inspection, and only for specific printed solder portions. Image data can be generated using individual image parameter values so that they can be inspected. Furthermore, when analyzing the printed solder spot in question, a service person receives and analyzes the analysis data for that spot only. It is an object of the present invention to provide an inspection service method capable of providing appropriate individual image parameter values and an inspection apparatus used therefor.

上記課題を解決するための、本発明においては、各印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ(以下、「画像パラメータ」には、項目と値とが含まれ、特に値を強調するときは、「画像パラメータ値」という。)、並びに特定の印刷はんだ箇所の位置及びその位置における個別の画像パラメータを設定可能にし、位置情報を基に、各位置の印刷はんだ箇所の画像データは共通の画像パラメータ値を用いて、特定の位置における画像データはその個別の画像パラメータ値を用いて生成するようにしたことと、誤り判定等の解析に必要な解析データについても問題の印刷はんだ箇所のデータだけを抽出してサービスマンに送り、その印刷はんだ箇所だけの修正された新たな個別の画像パラメータ値受ける構成にしたことを特徴としている。つまりは、問題となる箇所の必要なデータだけ処理することで容易に解決できる構成とした。   In the present invention for solving the above-described problems, image parameters common to each printed solder location (hereinafter referred to as “image parameters” include items and values. Parameter value ”), and the position of a specific printed solder location and individual image parameters at that location, and based on the location information, the image data of the printed solder location at each location has a common image parameter value. The image data at a specific position is generated using the individual image parameter values, and only the data of the problem soldering part is extracted from the analysis data necessary for analysis such as error judgment. It is characterized in that it is configured to receive a new individual image parameter value that has been corrected only for the printed solder portion. In other words, the configuration is such that it can be easily solved by processing only the necessary data at the problematic location.

具体的には、請求項1に記載の発明は、予め印刷はんだ基板に設けられた印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階と、前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記位置情報を基に前記特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを出力する段階と を備え、
前記解析データを受けて、前記画像情報を視覚的に解析可能に表示し、前記判定結果に誤りがあった場合に前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を生成して出力する段階を備え、更に
前記特定の印刷はんだ箇所における前記新たな個別の画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する段階とを備えた。
Specifically, the invention described in claim 1 is a step of storing a predetermined image parameter value common to a printed solder location previously provided on the printed solder substrate in a parameter storage means; Irradiating, measuring the amount of reflected light and / or displacement at the position with a measuring means and outputting it as measurement data; receiving the measurement data, and processing the image processing means with the image parameter value; The step of generating image data serving as an element representing the amount of solder in the solder location, the step of determining pass / fail by comparing the image data with reference data stored in advance, and the pass / fail determination are performed. After receiving the position information specifying the position of a specific printed solder location, as information that can analyze the determination result by the determination means, Based on the measurement data at the position of the specific printed solder location based on the position information, generates image information that can be viewed in a map when displayed, and the image information and the image parameter value at the specific printed solder location Outputting analysis data including
Upon receipt of the analysis data, the image information is displayed so that it can be visually analyzed, and when there is an error in the determination result, a new individual image parameter value at the specific printed solder location is generated and output. A step of receiving the new individual image parameter value at the specific printed solder location and storing it in the individual parameter storage means corresponding to the position information of the specific printed solder location; In the inspection, the image processing means, based on the position information of the printed solder location, the printed solder location of the measurement data to be processed is a printed solder location other than the specific printed solder location. In this case, the common image parameter value stored in the parameter storage unit is used. Using the image parameter value stored in the meter storage means.

請求項2に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記解析データを生成して出力する段階は、前記位置情報を受けて、前記測定手段に対して、少なくともその位置情報における特定の印刷はんだ箇所を測定して測定データを取得させ、その測定データを基に、前記画像情報及び前記画像パラメータ値を含む解析データを生成して出力する構成とした。   According to a second aspect of the present invention, in the second aspect of the invention, the step of generating and outputting the analysis data receives the position information and specifies at least the position information for the measuring means. The printed solder location is measured to obtain measurement data, and based on the measurement data, analysis data including the image information and the image parameter value is generated and output.

請求項3に記載の発明は、表示手段と、操作手段と、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを外部へ出力する解析データ出力手段と、
別の新たな画像パラメータ値を受けて、該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段と、
前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段により前記表示手段に表示された画像上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、前記測定手段に対して、少なくとも前記特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを前記解析データ出力手段に送らせて解析データを生成させるとともに、外部から前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に記憶させるパラメータ制御手段とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された新たな画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段を備えた。
According to the third aspect of the present invention, the display means, the operation means, and the printed solder board having a plurality of printed solder locations are irradiated with light, and the amount of reflected light and / or the amount of displacement at that position is measured as measurement data. A measurement means for outputting; a parameter storage means for storing image parameter values including a threshold value for the measurement data, which is set in common to the printed solder locations; and receiving the measurement data from the measurement means and receiving the image parameters A pass / fail judgment is performed by comparing image processing means for generating image data that is an element representing the amount of solder in the printed solder location, and processing the image with a value, and the reference data stored in advance. A printed solder inspection apparatus comprising a determination means,
As information that can analyze the determination result by the determination means, based on the measurement data at the position of a specific printed solder location on the printed solder substrate, image information that can be viewed in a map form when displayed is generated, and the image information And analysis data output means for outputting analysis data including image parameter values at the specific printed solder location to the outside,
Another receiving new image parameter values pieces, and the individual parameter storage means for storing together with the position information of the printed solder point,
When the layout of the printed solder location on the printed solder substrate is received and displayed on the display means, and the specific printed solder location is designated on the image displayed on the display means by the operation means, the measurement means On the other hand, at least the measurement at the specific printed solder location is executed, the measurement data is sent to the analysis data output means to generate the analysis data, and a new individual at the specific print solder location is externally generated. Parameter control means for storing the image parameter value in the individual parameter storage means when received ,
The image processing means, based on the position information, when the print solder location of the measurement data to be processed is a print solder location other than the specific print solder location, the parameter storage means Parameter reading means for using a new image parameter value stored in the individual parameter storage means when the specific printed solder location is used.

請求項1及び3に記載の発明は、問題となる特定の印刷はんだ箇所だけ特定して、解析データを生成してサービスマンに送って解析できる構成とされ、さらにサービスマンから特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を受けて、画像処理手段が特定の印刷はんだ箇所についてはその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で画像データを生成処理する構成にしたので、判定が誤った箇所の画像パラメータ値だけ対処すればよい効果があり、また、メモリ容量の負担等も膨大になることなく対処できる効果がある。また、その判定に疑問のある印刷はんだ箇所だけの解析データ及び個別パラメータ値を出力できる構成なので、解析を容易に委託できて、専門家の知識を利用できる効果がある。また、解析の結果、判定を解析した結果が虚報であったときは、その原因となった印刷はんだ箇所だけ(その周辺の箇所も含めることができる。)抽出して、個別に虚報が発生しないように個別のパラメータ値をサービスマンから受けて設定することができるので、パラメータ値の設定も容易である。   The inventions according to claims 1 and 3 are configured such that only a specific printed solder location in question can be specified, analysis data can be generated and sent to a serviceman for analysis, and the specific printed solder location from the serviceman. Therefore, the image processing means is configured to generate image data with specific image parameter values for specific printed solder locations and other image parameter values for the other printed solder locations. There is an effect that only the image parameter value at the wrong place needs to be dealt with, and there is an effect that it can be dealt with without enormous memory load. In addition, since the analysis data and the individual parameter values of only the printed solder portion whose question is questionable can be output, the analysis can be easily commissioned and the expert's knowledge can be used. In addition, if the result of analyzing the determination is false information as a result of the analysis, only the printed solder location that caused the error is extracted (the surrounding area can also be included) and no false information is generated individually. In this way, individual parameter values can be received and set from a service person, so that parameter values can be easily set.

請求項2に記載の発明は、特定の印刷はんだ箇所だけ測定して解析データの出力ができる構成で、かつ個別の画像パラメータ値で画像データを生成して判定できる構成としたから、装置として、解析データの量を必要な部分だけ取り出せ、かつ外部のサービスマンによるサービスを受けやすい構成となった。   Since the invention according to claim 2 is configured to measure only a specific printed solder spot and output analysis data, and to generate and determine image data with individual image parameter values, as an apparatus, The analysis data volume can be extracted only as much as necessary, and it is easy to receive services from external service personnel.

さらに、請求項に記載の発明は、操作者に対して表示手段を通して、印刷はんだ箇所の配置図、画像パラメータ項目を提供し、その表示された画面上で、操作手段で操作することで、判定手段が問題となった印刷はんだ箇所の位置だけについての解析データを出力しやすくなり、かつ外部のサービスマンによるサービスを受けやすい構成となった。 Furthermore, the invention according to claim 3 provides an arrangement diagram of printed solder locations and image parameter items to the operator through the display means, and operates on the displayed screen by the operation means. It becomes easy to output the analysis data only about the position of the printed solder spot where the judging means becomes a problem, and it is easy to receive service by an external service person.

本発明の形態を図1〜図5を用いて説明する。図1(A)は、本発明の印刷はんだ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。図1(B)は、印刷はんだ検査装置から解析データを受けて解析するための解析装置の機能ブロックを示す図である。図2は、印刷はんだ検査方法の全体の概略フローを示す図である。図3(A)、(B)、(C)は、詳細フローを示す図である。図3は、本発明における動作フローを示す図である。図4は、基板の印刷はんだ箇所の例を示す配置図である。図5は、解析データ及び解析後の測定条件の修正情報或いは新たな画像パラメータの例を示す図である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1A is a functional block diagram showing the configuration of the printed solder inspection apparatus of the present invention. FIG. 1B is a diagram showing functional blocks of an analysis apparatus for receiving and analyzing analysis data from a printed solder inspection apparatus. FIG. 2 is a diagram showing an overall schematic flow of the printed solder inspection method. 3A, 3B, and 3C are diagrams showing a detailed flow. FIG. 3 is a diagram showing an operation flow in the present invention. FIG. 4 is an arrangement view showing an example of a printed solder location on the board. FIG. 5 is a diagram showing an example of analysis data and correction information of analysis conditions after analysis or new image parameters.

図1において、測定手段2は、例えばレーザ変位計であって、センサ部2a及び測定処理部2bからなる。センサ部2aは、基板1に対して走査してX軸、Y軸の各方向に、レーザを照射可能なレーザ光源及び基板1からの反射光を受光する受光手段からなり、特に印刷はんだされた印刷はんだ箇所の変位、つまり高さ(Z軸方向)を位置と対応づけて測定する。そのときはんだ面からは、位置に対応した受光量(輝度)も得られる。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平3−291512号公報のものがあり、その第4図及び第7図とそれらの説明のものと同様である。   In FIG. 1, the measuring means 2 is a laser displacement meter, for example, and comprises a sensor unit 2a and a measurement processing unit 2b. The sensor unit 2a includes a laser light source capable of irradiating a laser in each direction of the X axis and the Y axis by scanning the substrate 1, and a light receiving unit that receives reflected light from the substrate 1, and is particularly printed soldered. The displacement of the printed solder portion, that is, the height (Z-axis direction) is measured in correspondence with the position. At that time, the received light amount (luminance) corresponding to the position is also obtained from the solder surface. Although detailed explanation of the operation as a laser displacement meter is omitted, as a principle, there is one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-291512 filed by the same applicant, and FIGS. 4 and 7 and their explanations. It is the same as that.

測定処理部2bは、検査対象である基板1を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等の配置図を含むレイアウト情報が後記する基板情報記憶手段3に記憶されているので、それを受けてレイアウト情報にしたがってセンサ部2aに対して走査測定を行わせ、前記センサ部2aが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び/又は受光量を測定データとして出力している。   In the measurement processing unit 2b, layout information including a layout diagram of printed solder locations or resist locations when the substrate 1 to be inspected is designed is stored in the substrate information storage means 3 to be described later. The sensor unit 2a performs scanning measurement according to the layout information, and the sensor unit 2a outputs the detected displacement amount and / or received light amount as measurement data corresponding to the position of the printed solder location. .

基板情報記憶手段3は、検査対象の基板情報としては少なくともレイアウト情報とレファレンスを記憶している。レイアウト情報は、検査対象とする基板1の設計されたときの配置図であって、例えば図4に示すように、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク(不図示)等の基板上の配置情報を記憶している。このレイアウト情報そのものを画像として(レイアウト画面として)、表示手段8に表示することができる。また、基板1を検査して良否判定を行うレファレンスをデータとして、検査対象とする基板1に対応して記憶している。これらのレファレンスは、例えば印刷はんだ箇所の高さ、面積、体積、及びはんだの欠損等の各項目をはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらのレファレンスは、はんだ箇所の印刷はんだを量的(画像的)に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。   The board information storage unit 3 stores at least layout information and a reference as board information to be inspected. The layout information is a layout diagram when the board 1 to be inspected is designed. For example, as shown in FIG. 4, a printed solder spot, a resist spot without printed solder, and a recognition mark serving as a reference for the position Arrangement information on the substrate such as (not shown) is stored. This layout information itself can be displayed on the display means 8 as an image (as a layout screen). In addition, a reference for inspecting the substrate 1 and determining pass / fail is stored as data corresponding to the substrate 1 to be inspected. These references are prepared for each solder location such as the height, area, volume, and solder defect of the printed solder location. In other words, these references are information that makes it easy to quantitatively (image-wise) recognize the printed solder at the solder location, and are data that serve as a criterion for pass / fail judgment.

なお、検査対象の基板1の種類が多い場合は、それらの基板情報を基板情報記憶手段3に識別情報を付して記憶しておき、識別情報のリスト及び/又はレイアウト画面を表示手段8に表示して操作手段4で画面上でマーカ等により指定することによって選択できるようにしている。   When there are many types of substrates 1 to be inspected, the substrate information is stored in the substrate information storage means 3 with identification information, and a list of identification information and / or a layout screen is displayed on the display means 8. The information can be selected by being displayed and designated by a marker or the like on the screen by the operation means 4.

画像処理手段5は、測定手段2が測定した基板1のはんだ箇所の位置とその位置における変位データ(変位量)及び輝度データ(受光量)等を受けて、後記するパラメータ記憶手段9からの画像パラメータ値を読み出してその画像パラメータ値を基に、測定データを各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す画像データに加工処理する。画像データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記レファレンスと同様に、それぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、及び欠損(存在すべきはんだ量が無い状態の検出)等がある。これら高さ、面積、体積等のデータは3次元画像情報或いはその要素ともなりうる情報である。なお、基板1を判定するには上記の画像の全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積の内、少なくともいずれか1つは不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板1の画像データとして何を判定するか、或いはどの画像データの組み合わせで判定するかは、基板1の種類、内容によって異なることがある。   The image processing means 5 receives the position of the solder portion of the substrate 1 measured by the measuring means 2 and the displacement data (displacement amount), luminance data (light reception amount), etc. at the position, and receives an image from the parameter storage means 9 described later. The parameter value is read out, and based on the image parameter value, the measurement data is processed into image data representing the amount of printed solder at each solder location. The image data is data that represents the amount of solder at the printed solder location, and, similar to the above reference, the height, area, volume, and defect of each solder location (there is no amount of solder to be present) Detection). These data such as height, area, and volume are three-dimensional image information or information that can be elements thereof. Note that not all of the above images are required to determine the substrate 1, but at least one of height, area, and volume is indispensable. In the determination, what is determined as the image data of the substrate 1 to be inspected or which combination of image data is determined may differ depending on the type and content of the substrate 1.

画像処理手段5は主に、測定データに対して所定のフィルタ条件で雑音を除去するためにフィルタリングする手段、はんだブリッジやはんだパターンエッジ等の繊細パターンを識別する感度を所定のパラメータ値で調整するための手段、所定のしきい値で2値化してデジタルデータに変換して2値化する手段、及び2値化されたデータを用いて印刷はんだ箇所における高さ、面積及び/又は体積等の演算を行う演算する手段等を有している。これらの演算処理等の詳細は、同一出願人による特許文献3等に記載されている。なお、上記の所定のフィルタ条件、感度を調整するための所定のパラメータ値及び所定のしきい値は、画像パラメータ値としてパラメータ記憶手段9(詳細は後記)に記憶されているものを使用する。   The image processing means 5 mainly adjusts the sensitivity for identifying fine patterns such as solder bridges and solder pattern edges with a predetermined parameter value for filtering measurement data to remove noise under a predetermined filter condition. Means for binarizing at a predetermined threshold value, converting to digital data and binarizing, and using the binarized data, such as height, area and / or volume at the printed solder Means for performing calculations and the like are included. Details of these arithmetic processes and the like are described in Patent Document 3 by the same applicant. The predetermined filter condition, the predetermined parameter value for adjusting the sensitivity, and the predetermined threshold value are those stored in the parameter storage unit 9 (details will be described later) as the image parameter value.

上記データの加工処理に用いられる画像パラメータ値は、検査の初期時点においては同一の基板1における各印刷はんだ箇所に対して共通に適用されて、画像データの生成に用いられる。   The image parameter values used for the data processing are commonly applied to each printed solder location on the same substrate 1 at the initial stage of inspection, and are used to generate image data.

判定手段7は、上記画像処理手段5が出力する画像データを受けて、これと上記基板情報記憶手段3からのレファレンスとを比較して各はんだ箇所の良否を判定する。   The determination means 7 receives the image data output from the image processing means 5 and compares it with the reference from the board information storage means 3 to determine the quality of each solder location.

パラメータ記憶手段9は、上記したように画像処理手段5が測定データを画像データに加工処理するために用いる画像パラメータ値を記憶している。画像パラメータ値は、それを用いて変換して生成された画像データが判定手段7で比較されて良否判定されることから、検査にあたってはレファレンス同様に、重要なファクタである。 The parameter storage unit 9 stores image parameter values used by the image processing unit 5 to process measurement data into image data as described above. The image parameter value is an important factor in the inspection as in the reference because the image data generated by conversion using the image parameter value is compared by the determination means 7 to be judged pass / fail.

画像パラメータ値は、測定データが、例えば印刷はんだ部分であるか否か、或いはレジスト部分であるか否か等の区別(認識)をするためのしきい値、雑音から区別するためのフィルタ条件、或いは感度調整のパラメータ値を含み、例えば、次のようなものがある。いずれも表示手段8の画面(画像パラメータ設定画面モード)で、各画像パラメータの項目を表示させて、操作者が視認しながら操作手段4で画像パラメータ値を設定できる。
(1)はんだ輝度:測定データがはんだであるか否かを識別すためのしきい値。
(2)レジスト面輝度:測定データがレジスト面であるか否かを識別するためのしきい値
(3)パッド面輝度:測定データがパッド面であるか否かを識別するためのしきい値
(4)フィルタ条件(強度):測定データに対してフィルタをかけるときの画像パラメータであって、この例では、値が小さいほど測定データに含まれる雑音成分を除去できるが、反対に微細な形状にかかるデータが失われやすい。判定手段7が本来、正常である印刷はんだ箇所をブリッジ(2カ所のはんだ付け箇所が誤って繋がってしまうこと)しているとして虚報の判定結果をだしたときは、主にこの画像パラメータ値を小さくすることが好ましい。
(5)ブリッジ感度:例えば、2つのはんだ箇所が正常につながっているものを、誤って不良のブリッジとして判定するようなことがあるので、そのブリッジの幅を調整・設定するためのパラメータ
(6)パタンエッジ感度:配線パターンをはんだ箇所と認識してしまうことがあるので、調整・設定するためのパラメータ
(7)認識マークに関するパラメータ:認識マークは、位置合わせに用いられるマークで基板1に設けられている。これは各種データの基準位置となるもので、この位置の認識がずれないように調整・設定するためのパラメータ
The image parameter value is, for example, a threshold value for distinguishing (recognizing) whether the measurement data is a printed solder portion or a resist portion, a filter condition for distinguishing from noise, Alternatively, including parameter values for sensitivity adjustment, for example, there are the following. In either case, each image parameter item can be displayed on the screen of the display means 8 (image parameter setting screen mode), and the image parameter value can be set by the operation means 4 while being visually recognized by the operator.
(1) Solder luminance: a threshold value for identifying whether or not the measurement data is solder.
(2) Resist surface brightness: threshold value for identifying whether measurement data is a resist surface (3) Pad surface brightness: threshold value for identifying whether measurement data is a pad surface (4) Filter condition (intensity): This is an image parameter for filtering the measurement data. In this example, the smaller the value, the more noise components included in the measurement data can be removed. Data is easily lost. When the judgment means 7 gives a false judgment result on the assumption that the printing solder spot which is normally normal is bridged (two soldering spots are mistakenly connected), this image parameter value is mainly used. It is preferable to make it small.
(5) Bridge sensitivity: For example, when two solder locations are normally connected, it may be erroneously determined as a defective bridge, so parameters (6 for adjusting and setting the width of the bridge) ) Pattern edge sensitivity: Since the wiring pattern may be recognized as a solder location, parameters for adjusting and setting (7) Parameters related to the recognition mark: The recognition mark is a mark used for alignment provided on the substrate 1 ing. This is the reference position for various data, and is a parameter for adjusting and setting this position so that it does not deviate.

上記いずれの画像パラメータ値も、測定が光を照射してアナログ的に行われることから、この測定データを基に印刷はんだを量的に(画像データとして)明瞭に評価できるように加工処理するためのものである。 Since any of the above image parameter values are measured in an analog manner by irradiating light, the printed solder is processed based on this measurement data so that it can be clearly evaluated quantitatively (as image data). belongs to.

上記した画像パラメータ値は、基板1の検査の初期時点で基板1の全ての印刷はんだ箇所に(それ以外のレジスト面等も同じく全部に)共通に、画像データ生成に適用されるパラメータ値である。   The image parameter value described above is a parameter value that is applied to image data generation in common at all printed solder locations on the substrate 1 (the other resist surfaces and the like are all the same) at the initial point of inspection of the substrate 1. .

しかし、本発明、基板1の印刷はんだ箇所単位で生成した(或いは共通の画像パラメータ値を修正)した個別の画像パラメータ値を印刷はんだ箇所を識別する位置情報に対応させて保有できる個別パラメータ記憶領域(手段)9aを設けた。この個別パラメータ記憶領域(手段)9aに記憶される印刷はんだ箇所毎の個別画像パラメータ値は、一部は、上記共通の画像パラメータ値と同様の項目、値の範囲で表示手段8の画面(個別パラメータ設定画面)で設定可能である。つまり、項目は、上記(1)〜(3)、(5)、(6)と同様に設定できる。ただし、個別画像パラメータは対象となる印刷はんだ箇所を特定するための位置情報に対応して記憶される必要がある。なお、個別画像パラメータは、共通の画像パラメータとは、異なった別の項目であってもよい。例えば、共通の画像パラメータには無いが個別画像パラメータとして加えると便利な項目に、次の(8)〜(9)ようなものもある。また、これらに限られることはない。
(8)基準高さ位置オフセット:画像処理手段5が面積を計算するときに基板から所定の高さ位置(これを「基準面」という。)にあるはんだ量の面積を計算するが、基準面高さオフセットは、その基準面を4μm単位で調節するパラメータである。
(9)見掛け光量調整パラメータ:例えば、はんだ面を暗い面として認識して処理する場合、はんだの中には明るい箇所を部分的に含むものがあり、そのまま測定を行うとその箇所をはんだ箇所として認識しない場合がでてくる。そこで、測定したデータをあたかも光量を下げて測定したかのように処理するパラメータである。
However, according to the present invention, an individual parameter storage area that can hold individual image parameter values generated in units of printed solder locations on the board 1 (or modify common image parameter values) in correspondence with position information for identifying printed solder locations. (Means) 9a is provided. The individual image parameter values for each printed solder location stored in the individual parameter storage area (means) 9a are partly the same as the common image parameter values in the items and value ranges described above. It can be set on the parameter setting screen. That is, the items can be set in the same manner as the above (1) to (3), (5), and (6). However, the individual image parameter needs to be stored corresponding to the position information for specifying the target printed solder location. Note that the individual image parameters may be different items from the common image parameters. For example, the following items (8) to (9) are useful items that are not included in the common image parameters but are added as individual image parameters. Moreover, it is not restricted to these.
(8) Reference height position offset: When the image processing means 5 calculates the area, the area of the solder amount at a predetermined height position (referred to as “reference plane”) from the substrate is calculated. The height offset is a parameter for adjusting the reference plane in units of 4 μm.
(9) Apparent light quantity adjustment parameter: For example, when processing by recognizing a solder surface as a dark surface, some of the solder includes a bright part, and if the measurement is performed as it is, that part is used as the solder part. There are cases where it does not recognize. Therefore, it is a parameter for processing the measured data as if it were measured with the light amount reduced.

画像処理手段5は、パラメータ読出手段5aを有し、上記のように個別画像パラメータ値が設定された後に、基板1の検査(再検査)するときに、そのパラメータ読出手段5aにより、基板1の印刷はんだ箇所を位置順に測定データに係る画像パラメータ値を読み出して画像データを生成する。その際に、その印刷はんだ箇所位置を前記個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている位置情報と照会し、一致しなければ、パラメータ記憶手段9に記憶されている共通の画像パラメータ値を読み出して使用し、一致した場合は、個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている画像パラメータ値を読み出して使用する。個別パラメータ記憶領域9aをパラメータ記憶手段9内に共通の画像パラメータ値の記憶領域と区別される領域にもたせたが、別な記憶手段にしてもよい。   The image processing means 5 has a parameter reading means 5a. When the substrate 1 is inspected (re-inspected) after the individual image parameter values are set as described above, the parameter reading means 5a causes the parameter reading means 5a to Image data values related to the measurement data are read out in order of the positions of the printed solder, and image data is generated. In that case, the position of the printed solder is inquired with the position information stored in the individual parameter storage area 9a, and if it does not match, the common image parameter value stored in the parameter storage means 9 is read out and used. If they match, the image parameter values stored in the individual parameter storage area 9a are read out and used. Although the individual parameter storage area 9a is provided as an area in the parameter storage means 9 that is distinguished from the common image parameter value storage area, it may be a separate storage means.

このように全印刷はんだ箇所共通の画像パラメータ値と特定のはんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値を持たせ、画像処理手段5が特定の印刷はんだ箇所はその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で処理する構成にしたので、判定手段7が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となったはんだ箇所だけに、判定手段7が虚報を出力しないように調整・設定された個別の画像パラメータ値を保有し、使用できる効果がある。   In this way, the image parameter value common to all the printed solder locations and the individual image parameter values for only the specific solder locations are given, and the image processing means 5 uses the individual image parameter values for the specific printed solder locations, and other locations. Is configured to process with a common image parameter value, so that when the determination means 7 outputs false information erroneously determined, the determination means 7 does not output the false information only to the solder location that caused the false information. It has the effect that it can use individual image parameter values that have been adjusted and set.

言い換えると、共通の画像パラメータ値の設定を最初からしても良いが、はんだ箇所が非常に多いので、たいへんな作業量であり、またメモリ容量も大きいのが必要になるが、共通に画像パラメータ値を設定すれば、それらの問題は解決する。しかし、一部のはんだ箇所に対して共通の画像パラメータ値を変更すると他の虚報の原因になりかねない。本発明は、上記のようにこれらの問題を解決するものである。   In other words, common image parameter values may be set from the beginning, but since there are so many solder locations, a large amount of work is required and a large memory capacity is required. Setting a value solves those problems. However, changing common image parameter values for some solder locations can cause other false alarms. The present invention solves these problems as described above.

解析データ出力手段6は、測定手段2が出力する基板1における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量及び受光量等の測定データを受けて、上記レイアウト情報における特定の印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときにはんだの高さが等高線状に観測して解析できる解析データに変換する。上記で等高線状で観測できるようにと記載したが、等高線に限らず解析データを画像として表示手段8に表示されたときに、はんだ面の高さや輝度に応じてはんだ面が識別認識しやすい表現であれば、変位量や輝度に応じて、色の変化、濃淡、模様等のいずれで表現してもよい(以上の表現を、ここでは「マップ状」と言う。)。   The analysis data output means 6 receives the measurement data such as the amount of displacement and the amount of received light corresponding to the position of the printed solder location on the substrate 1 output from the measuring means 2 and displays the layout of the specific printed solder location in the layout information. In addition, when displayed as an image, the height of the solder is converted into analysis data that can be observed and analyzed in contour lines. In the above description, it is described that it can be observed in the form of contour lines. However, not only the contour lines but also the analysis data is displayed on the display means 8 as an image, so that the solder surface can be easily identified and recognized according to the height and brightness of the solder surface If so, it may be expressed by any of color change, shading, pattern, and the like according to the displacement amount and luminance (the above expression is referred to as “map shape” here).

解析データ出力手段6が、特定の個別の印刷はんだ箇所の解析データを得る方法として、後記するパラメータ制御手段10aの説明の中でも記載するが、次のいずれの方法であってもよい。
(a)レイアウト情報、既に測定した測定データ、画像処理した画像データ等から、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定してその位置におけるデータだけ抽出する方法、又は、
(b)測定手段2及び解析データ出力手段6(及び画像処理手段5,判定手段7を含めてもよい。)に対して、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定して、その位置で再測定(再検査)を行って、解析データを得る方法。
ただ、後者のように個別箇所だけで再測定できる構成にしておけば、前者のようにデータを抽出処理する新たな手段を用意しなくとも、基板1の全体を測定・検査するのと同じ資源を利用できるので、処理が簡単で、確実である。
The analysis data output means 6 will be described in the description of the parameter control means 10a to be described later as a method for obtaining analysis data of a specific individual printed solder location, but any of the following methods may be used.
(A) A method for specifying a position of a specific printed solder location from layout information, already measured measurement data, image processed image data, etc., and extracting only the data at that position, or
(B) For the measurement means 2 and the analysis data output means 6 (and the image processing means 5 and the determination means 7 may be included), the position of a specific printed solder location is designated and remeasured at that position. (Re-inspection) to obtain analysis data.
However, if the configuration is such that the re-measurement can be performed only at individual points as in the latter, the same resources as those for measuring and inspecting the entire substrate 1 can be obtained without preparing a new means for extracting data as in the former. Can be used, so the process is simple and reliable.

解析データの例を図5に示す。図5(A)及び(B)は、いずれも特定の印刷はんだ箇所及びその周囲の画像情報であって、図5(A)が変位量をマップ状に画像として表された画像情報であり、図5(B)は、受光量をマップ状に画像として表された画像情報である。図5(B)の小さい四角は、特定箇所を示すマーカであり、大きな四角い枠は、その周辺を示すマーカである。図5(C)は、図5(B)の小さな四角枠の拡大図である。白抜きの○印は、はんだ範囲を示す規格値である。これは、印刷はんだが規格範囲にあるかどうか判定しやすい。   An example of analysis data is shown in FIG. FIGS. 5 (A) and 5 (B) are both image information of a specific printed solder location and its surroundings, and FIG. 5 (A) is image information in which the amount of displacement is represented as a map image. FIG. 5B shows image information in which the amount of received light is represented as a map image. A small square in FIG. 5B is a marker indicating a specific location, and a large square frame is a marker indicating the periphery thereof. FIG. 5C is an enlarged view of the small square frame of FIG. Open circles are standard values indicating the solder range. This is easy to determine whether the printed solder is within the standard range.

解析データ出力手段6が、上記のように判定手段が判定した結果が疑問と思われる特定の印刷はんだ箇所の解析データを生成して出力するとともに、併せて、その特定の印刷はんだ箇所についての、設計時の位置情報、測定条件、測定結果(画像処理手段5の処理結果を含み、位置、印刷はんだの高さ、印刷はんだの面積等の各データ)、測定結果に対する許容値(判定手段7における判定に用いるレファレンスを含む)、画像パラメータ値の設定値を解析データの一部として出力する。これら設定値等の情報の例として、図5(D)をし示す。図5(D)における、Design、Mesasure Condition、Measure、Setting Paramに示されるデータが該当する。なお、図5(D)におけるSetting Paramには、上記した画像パラメータ(1)〜(3)、(5)、(6)、(8)、(9)のものが含まれている。 The analysis data output means 6 generates and outputs the analysis data of the specific printed solder location where the result determined by the determination means 7 is doubtful as described above. , Position information at the time of design, measurement conditions, measurement result (each data including position, height of printed solder, area of printed solder, etc., including processing result of image processing means 5), tolerance value for measurement result (determination means 7 And the setting value of the image parameter value is output as a part of the analysis data. FIG. 5D shows an example of information such as setting values. The data shown in Design, Measurement Condition, Measurement, and Setting Param in FIG. Note that the Setting Param in FIG. 5D includes the above-described image parameters (1) to (3), (5), (6), (8), and (9).

上記のように測定データに基づく画像情報及び位置情報や測定結果等を含む解析データは、出力インタフェース11を介して、サービスマンによって解析されるために外部へ出力される。出力インタフェース11は、通信手段を有し外部のサービスマン用のコンピュータ(後述する解析装置。)に直接又はネットワークを介して出力しても、書き込み手段を有してFD等の媒体に記憶させて出力してもよい。後者の場合は、操作者が媒体をサービスマンに送ることになる。   As described above, the analysis data including the image information based on the measurement data, the position information, the measurement result, and the like is output to the outside through the output interface 11 to be analyzed by the service person. The output interface 11 has communication means and outputs it to an external serviceman computer (analysis apparatus to be described later) directly or via a network, but has writing means to be stored in a medium such as an FD. It may be output. In the latter case, the operator sends the medium to the service person.

パラメータ制御手段10aは、全体の操作・表示に係る表示制御手段10にあって、操作者と印刷はんだ検査装置の間を操作手段4及び表示手段8の操作を介して、検査対象基板の選択、共通画像パラメータ値の設定、判定手段7の判定結果の確認、虚報の解析、個別パラメータ値の設定及びその他それらに付随した操作・表示を含むインタフェースを司る。つまり、図3(A)及び図3(C)に示す動作フローにおける操作者と印刷はんだ検査装置の間における制御を行う。   The parameter control means 10a is in the display control means 10 related to the entire operation / display, and selects the inspection target board between the operator and the printed solder inspection apparatus through the operation of the operation means 4 and the display means 8. It administers an interface including setting of common image parameter values, confirmation of determination results of the determination means 7, analysis of false reports, setting of individual parameter values, and other operations / displays associated therewith. That is, control is performed between the operator and the printed solder inspection apparatus in the operation flow shown in FIGS. 3 (A) and 3 (C).

図3の動作フローの詳細は後記するので、ここでは、パラメータ制御手段10aが行う主な制御構成について説明する。   Since the details of the operation flow of FIG. 3 will be described later, the main control configuration performed by the parameter control means 10a will be described here.

パラメータ制御手段10aは、基板1の検査の初期において、操作者に基板1に共通の画像パラメータ値を設定させるために、画像パラメータ項目(上記(1)〜(7)を参照。)を表示手段8に表示させて入力を案内する。次に操作者が、操作手段4により各項目について画像パラメータ値を設定して確定キーを設定したときは、その設定された値をパラメータ記憶手段9に記憶させる。パラメータ制御手段10a及び表示制御手段10は、表示に必要なフォーマット、例えば、画像パラメータの項目、入力された画像パラメータ値、及び操作案内情報等の表示フォーマットを有する。また、パラメータ記憶手段9を含む他のブロック等に対するアクセス手段を有している。   The parameter control means 10a displays image parameter items (see (1) to (7) above) in order to allow the operator to set common image parameter values for the substrate 1 at the initial stage of inspection of the substrate 1. 8 to guide the input. Next, when the operator sets the image parameter value for each item by the operation means 4 and sets the confirmation key, the set value is stored in the parameter storage means 9. The parameter control unit 10a and the display control unit 10 have a format required for display, for example, a display format such as an image parameter item, an input image parameter value, and operation guide information. Further, it has access means for other blocks including the parameter storage means 9.

パラメータ制御手段10aは、次に測定(検査)が実行されたときは、測定操作・観測に必要な情報を測定画面に表示するとともに、測定データと、上記パラメータ記憶手段9或いは個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている画像パラメータ値とを基に画像処理手段5で生成された画像データ、並びに判定手段7で判定された項目及び結果を表示する。そして操作者が判定の結果が正しいかどうかを確認するために、基板情報記憶手段3からのレイアウト(配置図)及び解析データ出力手段6からの解析データを受けて、それらを表示することもできる。   When the measurement (inspection) is performed next time, the parameter control means 10a displays information necessary for the measurement operation / observation on the measurement screen, and the measurement data and the parameter storage means 9 or the individual parameter storage area 9a. The image data generated by the image processing means 5 based on the image parameter values stored in the image data, and the items and results determined by the determination means 7 are displayed. Then, in order to confirm whether or not the determination result is correct, the operator can receive the layout (placement diagram) from the board information storage means 3 and the analysis data from the analysis data output means 6 and display them. .

パラメータ制御手段10aは、さらに操作者が、判定結果を虚報と判定したときは、操作者からの要請により、基板情報記憶手段3から基板1における印刷はんだ箇所のレイアウト情報(配置図)を受けて表示手段8に表示させ(これは上記したものと同じ)、操作者がその表示手段8の画面の配置図を視認しながら(観測しながら)、操作手段4を操作して、例えばマーカを動かしながら画像上で特定の印刷はんだ箇所の上に置いて(特定の印刷はんだ箇所の指定に該当する。そのときの操作手段4からの情報が特定の印刷はんだ箇所の位置を示す位置情報となる。)確定の操作をする。そのときの操作手段4からの位置情報における印刷はんだ箇所に対して、個別の画像パラメータ値を操作者に設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段8に表示させる。その後に操作者が操作手段4でその個別の画像パラメータ値を入力したときは、その個別の画像パラメータ値を受けて個別パラメータ記憶領域(手段)9aに記憶させる。上記のように虚報の発生箇所を画面上で特定できる構成としたので、操作者にとって、作業がしやすい。   Further, when the operator determines that the determination result is false information, the parameter control unit 10a receives layout information (placement diagram) of the printed solder location on the substrate 1 from the substrate information storage unit 3 according to a request from the operator. It is displayed on the display means 8 (this is the same as described above), and the operator operates the operation means 4 while visually observing (observing) the layout of the screen of the display means 8 to move, for example, a marker. However, it is placed on a specific printed solder location on the image (corresponds to designation of a specific printed solder location. Information from the operation means 4 at that time becomes position information indicating the position of the specific printed solder location. ) Perform the confirmation operation. In order for the operator to set individual image parameter values for the printed solder locations in the position information from the operation means 4 at that time, image parameter items are displayed on the display means 8. Thereafter, when the operator inputs the individual image parameter value with the operation means 4, the individual image parameter value is received and stored in the individual parameter storage area (means) 9a. As described above, since the location where the false alarm is generated can be specified on the screen, it is easy for the operator to work.

上記では、操作者が、特定の印刷はんだ箇所における判定結果が虚報と判断したときに操作者自信が個別の画像パラメータ値を設定する場合について説明したが、虚報の判断が困難な場合、また判断したとしても、その虚報を防止するために、新しい画像パラメータ値を設定するのが困難な場合は、上記したように解析データをサービスマンに送って、解析してもらい、虚報の有無、及び虚報があった場合にそれを防止するための新たな画像パラメータ値の設定を依頼することができる。   The above describes the case where the operator sets individual image parameter values when the operator determines that the determination result at a specific printed solder location is false information. Even if it is difficult to set a new image parameter value in order to prevent the false alarm, send the analysis data to the service person as described above to have it analyzed, and the presence or absence of the false alarm and the false alarm If there is, it is possible to request setting of a new image parameter value for preventing it.

サービスマンに解析データを送る場合、パラメータ制御手段10aは、上記虚報が発生したときと同様に、基板情報記憶手段3から印刷はんだ箇所のレイアウト情報(配置図)を受けて表示手段8に表示させる。そして操作手段4により表示手段に表示されたレイアウト画面上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、測定手段2に対して、少なくともその特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを解析データ出力手段6に送らせて画像情報を生成させるとともに、画像処理手段5に画像データを生成させ、判定手段7に判定させる。これらの再測定・検査の結果を含めて解析データとして出力インタフェース11を介して出力させ、サービスマンの解析装置へ送らせる。したがって、操作者は、画面上で指定することにより、解析したい箇所に関する解析データを容易に取得して出力させることができる。この場合、出力インタフェース11と解析装置をネットワークで結んで解析データを送ってもよいし、電子メールでもよい。またFD等の媒体に記憶させその媒体を介して送ってもよい。というのは、上記の解析データは、虚報のおそれのある特定の印刷はんだ箇所だけのデータであるから、従来に比べデータ量が少ないので、電子メールや媒体でも送りやすい。   When sending analysis data to a service person, the parameter control means 10a receives the layout information (placement diagram) of the printed solder location from the board information storage means 3 and displays it on the display means 8 in the same manner as when the false information is generated. . When a specific printed solder location is designated on the layout screen displayed on the display means by the operation means 4, the measurement means 2 is caused to execute measurement at least at the specific printed solder location, and the measurement data Is sent to the analysis data output unit 6 to generate image information, and the image processing unit 5 generates image data and the determination unit 7 determines. The re-measurement / inspection results including these results are output as analysis data via the output interface 11 and sent to the serviceman's analysis device. Therefore, the operator can easily acquire and output analysis data relating to a portion to be analyzed by designating on the screen. In this case, the analysis data may be sent by connecting the output interface 11 and the analysis device via a network, or may be e-mail. Further, it may be stored in a medium such as an FD and sent via the medium. This is because the analysis data described above is only data for a specific printed solder portion that is likely to be falsely reported, so the amount of data is smaller than before, and it is easy to send it by e-mail or medium.

パラメータ制御手段10aは、入力インタフェース12を介して、サービスマンが解析した後に、サービスマンが設定した新たな画像パラメータ値を送ってきたときは、これを受けて個別パラメータ記憶領域9aに記憶させる。パラメータ制御手段10aは、個別パラメータ記憶領域9aに該当する印刷はんだ箇所について既に過去のデータがあれば、それを更新してもよいし、別な領域に記憶させて、次の検査には、この新たな領域の画像パラメータ値を使わせるようにする。また、入力インタフェース12は、サービスマンの解析装置(コンピュータ)から、直接或いはネットワークや電子メールを介して新たな画像パラメータ値を受け取ってもよいし、媒体からの読みとり手段を有し、FD等の媒体を介して受け取ってもよい。   When a new image parameter value set by the serviceman is sent after analysis by the serviceman via the input interface 12, the parameter control means 10a receives this and stores it in the individual parameter storage area 9a. The parameter control means 10a may update the past data for the printed solder corresponding to the individual parameter storage area 9a if it already exists, or it may be stored in another area for the next inspection. The image parameter value of the new area is used. Further, the input interface 12 may receive a new image parameter value from a serviceman analysis device (computer) directly or via a network or e-mail, or has a means for reading from a medium, such as an FD. You may receive via a medium.

なお、上記個別パラメータの説明に記載した上記(9)に示すようなパラメータは、画像処理手段5で実施しないで、測定手段2で実施するようにしてもよい。この場合は、画像処理手段5が扱う画像パラメータを共通の画像パラメータと個別画像パラメータとに分けたように、測定手段2が扱う条件、例えばレーザ変位計を扱う条件(例えばレーザの光量(強さ)、受光手段の受光感度、位置等)を測定パラメータとし、それを測定個所に共通の条件で測定するための共通測定パラメータと虚報がおきる特定箇所の個別測定パラメータとに分けて記憶する手段を設け(不図示)、測定処理部2bがこの記憶手段から特定箇所だけ個別測定パラメータを読み出して測定し、他の箇所については共通測定パラメータを読み出して測定するようにしてもよい(不図示)。 It should be noted that the parameters as shown in (9) above described in the description of the individual parameters may be implemented by the measuring unit 2 without being implemented by the image processing unit 5. In this case, as the image parameters handled by the image processing means 5 are divided into common image parameters and individual image parameters, the conditions handled by the measuring means 2, for example, the conditions for handling a laser displacement meter (for example, the laser light quantity (intensity) ), The light receiving sensitivity of the light receiving means, the position, etc.) as measurement parameters, and means for storing them separately into common measurement parameters for measuring under common conditions at measurement locations and individual measurement parameters for specific locations where false alarms occur It may be provided (not shown), and the measurement processing unit 2b may read and measure individual measurement parameters only at specific locations from the storage means, and read and measure common measurement parameters at other locations (not shown).

さらには、画像処理手段5による個別画像パラメータと測定手段2による個別測定パラメータの併用であってもよい。   Furthermore, the combination of the individual image parameter by the image processing means 5 and the individual measurement parameter by the measurement means 2 may be used.

上記構成における、測定処理部2b、画像処理手段5,解析データ出力手段6,判定手段7、及び表示制御手段10(パラメータ制御手段10aを含む)は、CPU、メモリ(ROM、RAM)及び上記した動作(或いは、後記する図3(A)、(C)、(D)の印刷はんだ検査装置の動作)をCPUに実行させるためにメモリに記憶されたプログラム等からなる。   In the above configuration, the measurement processing unit 2b, the image processing unit 5, the analysis data output unit 6, the determination unit 7, and the display control unit 10 (including the parameter control unit 10a) include a CPU, a memory (ROM, RAM), and the above-described configuration. The program consists of a program or the like stored in a memory for causing the CPU to execute the operation (or the operation of the printed solder inspection apparatus shown in FIGS. 3A, 3C, and 3D described later).

図1(B)を用いて、サービスマンが用いる解析装置の例について、説明する。概して言えば、印刷はんだ検査装置から解析データを受けて、分析、シュミレーションして虚報があった箇所についての新たな個別の画像パラメータ値を生成して、印刷はんだ検査装置へ送信するものである。   An example of an analysis device used by a service person will be described with reference to FIG. Generally speaking, the analysis data is received from the printed solder inspection apparatus, analyzed and simulated to generate new individual image parameter values for the location where there was a false report, and send it to the printed solder inspection apparatus.

図1(B)において、図1(A)と同一符号のものは、同一機能を示す。ただし、各部の動作は、特定の印刷はんだ箇所(その周辺を含む複数箇所であってもよい。)だけで動作すればよく、基板1の全体について動作する必要はない。新たな符号のブロックについて説明する。   1B, the same reference numerals as those in FIG. 1A indicate the same functions. However, the operation of each part only needs to operate at a specific printed solder location (may be a plurality of locations including the periphery thereof), and does not need to operate for the entire substrate 1. A new code block will be described.

入出力インタフェース14は、図1(A)の入力インタフェース12及び出力インタフェース11を合わせもったものであって、入力インタフェース12及び出力インタフェース11と通信で、或いはFDで、解析データのやりとり、画像パラメータのやりとりを行うものである。   The input / output interface 14 is a combination of the input interface 12 and the output interface 11 shown in FIG. 1A. The input / output interface 14 communicates with the input interface 12 and the output interface 11 or exchanges analysis data by FD. Exchange.

試験データ記憶手段13は、入出力インタフェース14が受けた解析データを記憶するものであって、例えば、先に説明した図5(A)〜(D)に示されている各データを記憶する。その他のブロックは、図1(A)と同じである。   The test data storage means 13 stores analysis data received by the input / output interface 14, and stores, for example, each data shown in FIGS. 5A to 5D described above. Other blocks are the same as those in FIG.

このような解析装置において、サービスマンが分析するために操作し、その操作を受けた表示制御手段10が、試験データ記憶手段13から図5(A)のマップ状に変位量を表す画像情報、図5(B)のマップ状の輝度を表す画像情報を読み出して表示する。また、図5(D)における解析データを、解析装置における画像処理手段5、パラメータ記憶手段9、判定手段7に適用して、画像パラメータ値等を可変しながら、模擬的に検査、分析できる。また測定条件等も適切かどうか模擬的に試験する。   In such an analyzing apparatus, the display control means 10 operated for analysis by the service person, and the display control means 10 receiving the operation, displays image information representing the displacement amount from the test data storage means 13 in the map form of FIG. Image information representing the map-like luminance in FIG. 5B is read and displayed. Further, the analysis data in FIG. 5D can be applied to the image processing means 5, the parameter storage means 9, and the determination means 7 in the analysis apparatus, and the simulation and inspection can be performed while changing the image parameter values and the like. Also, test whether the measurement conditions are appropriate.

このようにして、サービスマンは、解析装置を操作して、印刷はんだ検査装置における良否判定で問題になった印刷はんだ箇所である、特定の印刷はんだ箇所についての新たな個別の画像パラメータ値を出力する。図5(F)はその新たな個別の画像パラメータ値の出力例であって、解析データとして送信されてきた図5(D)のSetting Paramを更新するデータである。図5(F)の上から順に配列された画像パラメータ値は、図5(D)のSetting Paramの項の上から順に配列された画像パラメータ値に対応するものである。また、図5(E)に示すような、測定条件等に対する修正情報を出すこともしている。解析装置が出力する図5(F)の新たな個別の画像パラメータ値は、図5(E)の修正情報と共に印刷はんだ検査装置に送られて、その個別パラメータ記憶領域9aに記憶される。その特定の印刷はんだ箇所については、画像処理手段5によって個別パラメータ記憶領域9aに記憶された新たな画像パラメータ値を用いて画像処理されて、画像データが生成され、さらに判定手段7で判定されることになる。この結果、先の判定の問題がここで解決されることになる。


In this way, the service man operates the analysis device and outputs a new individual image parameter value for a specific printed solder location, which is a printed solder location that is a problem in the pass / fail judgment in the printed solder inspection device. To do. FIG. 5F is an output example of the new individual image parameter value, and is data for updating the Setting Param of FIG. 5D transmitted as analysis data. The image parameter values arranged in order from the top in FIG. 5F correspond to the image parameter values arranged in order from the top of the Setting Param item in FIG. In addition, correction information for measurement conditions and the like as shown in FIG. The new individual image parameter value of FIG. 5 (F) output from the analysis apparatus is sent to the printed solder inspection apparatus together with the correction information of FIG. 5 (E) and stored in the individual parameter storage area 9a. The specific printed solder location is subjected to image processing by using the new image parameter value stored in the individual parameter storage area 9 a by the image processing means 5, image data is generated, and further determined by the determination means 7. It will be. As a result, the problem of the previous determination is solved here.


次に、図2及び図3を基に、本発明に係る部分の動作フローを説明する。図2は概要であり、図3は詳細説明用である。図3は、実行しようとする主体が操作者(或いはサービスマン)か、印刷はんだ検査装置(或いはサービスマンの解析装置)かを区別できるように2つの系列で説明している。矢印がその時系列的流れ(或いは情報の方向)を示している。また、図中のS番号は印刷はんだ検査装置の動作ステップの番号を示している。以下、ステップ番号(印刷はんだ検査装置、解析装置。)を中心に順に説明する。   Next, based on FIG.2 and FIG.3, the operation | movement flow of the part which concerns on this invention is demonstrated. FIG. 2 is an outline and FIG. 3 is for detailed explanation. FIG. 3 is described in two series so that the subject to be executed can be distinguished from an operator (or serviceman) or a printed solder inspection apparatus (or serviceman analysis apparatus). Arrows indicate the time-series flow (or information direction). Further, the S number in the figure indicates the number of the operation step of the printed solder inspection apparatus. Hereinafter, step numbers (printed solder inspection apparatus, analysis apparatus) will be described in order.

本発明による検査方法は、図2に示すように大きく分けて、印刷はんだ検査装置側で行う虚報発生段階(ステップS10)の処理、サービスマン側で行う虚報解析段階(ステップS20)の処理、及び印刷はんだ検査装置側で行う虚報修正段階(ステップS30)の処理の3段階からなる。以下、概略を説明する。   As shown in FIG. 2, the inspection method according to the present invention is roughly divided into a false alarm generation stage (step S10) performed on the printed solder inspection apparatus side, a false alarm analysis stage (step S20) process performed on the serviceman side, and It consists of three stages of processing of the false alarm correction stage (step S30) performed on the printed solder inspection apparatus side. The outline will be described below.

ステップS10:印刷はんだ検査装置を用いて、印刷はんだされた基板1を測定し、画像処理し、画像処理された画像データを判定手段7で判定を行い、その判定結果が虚報かどうか、疑わしい場合に、或いは虚報であるが画像パラメータ値の設定が困難な場合、該当する印刷はんだ箇所における解析データ出力手段6が、解析データファイルを生成してサービス側へ送信する。 Step S10: Using the printed solder inspection apparatus, measure the printed solder 1 and perform image processing, and determine the image data subjected to the image processing by the determining means 7, and whether the determination result is false or not. Alternatively, if it is a false report but it is difficult to set the image parameter value, the analysis data output means 6 at the corresponding printed solder location generates an analysis data file and transmits it to the service side.

ステップS20:サービスマンが、解析データファイルを解析装置(コンピュータ)を用いて虚報の有無、適切な画像パラメータ値を解析し、虚報があった場合は、虚報を防止するのに必要な、該当個所における画像パラメータ値を生成し、電子データ(或いはファイル)として印刷はんだ検査装置へ送信する。 Step S20: The service person uses the analysis device (computer) to analyze the presence / absence of false information and an appropriate image parameter value using the analysis device (computer). Image parameter values are generated and transmitted as electronic data (or files) to the printed solder inspection apparatus.

ステップ30:印刷はんだ検査装置のパラメータ制御手段10aが、サービスマンからの虚報があった箇所の新たな個別の画像パラメータ値を受けて、個別パラメータ記憶領域9aにおける該当個所における個別の画像パラメータ値を更新(或いは、別に所有)する。その後の、基板の検査において、画像処理手段5は、上記該当個所における画像データの生成にあたっては、個別パラメータ記憶領域9aにおける更新された(別所有の)画像パラメータ値を使用する。 Step 30: The parameter control means 10a of the printed solder inspection apparatus receives a new individual image parameter value at the location where there was a false report from the service person, and obtains the individual image parameter value at the corresponding location in the individual parameter storage area 9a. Update (or own separately). In the subsequent board inspection, the image processing means 5 uses the updated (separately owned) image parameter values in the individual parameter storage area 9a when generating the image data at the corresponding location.

次にこれらの詳細を図3を用いて説明する。図3(A)、図3(B)、図3(C)及び(D)は、それぞれ図2のステップS10、ステップS20、ステップS30の詳細フローを示す図である。   Next, these details will be described with reference to FIG. FIGS. 3A, 3B, 3C, and 3D are detailed diagrams of steps S10, S20, and S30 of FIG. 2, respectively.

図3(A)において、
ステップS11:スタート時に、操作者が表示手段8に表示されているメニュー画面から基板リストがあるライブラリー画面を選択する。表示制御手段10は、基板リスト及びそれに関する画像パラメータファイル(既に過去のものが入っている場合)のリストを表示する。
In FIG. 3 (A),
Step S11: At the start, the operator selects a library screen with a substrate list from the menu screen displayed on the display means 8. The display control means 10 displays a board list and a list of image parameter files related to the board list (when a past file is already included).

ステップS12:表示をみながら検査対象の基板1の名称、画像パラメータのファイルの名称を、操作手段4で操作してマーカで指定してクリック(確定)して選択する。それに対して表示制御手段10は、該当する画像パラメータ項目及び値(既に過去に使用したものがあれば、その共通の画像パラメータ値)を表示する。 Step S12: While observing the display, the name of the substrate 1 to be inspected and the name of the image parameter file are selected by operating the operating means 4 with the marker and clicking (determining). On the other hand, the display control means 10 displays the corresponding image parameter items and values (or common image parameter values if already used in the past).

ステップS13:共通の画像パラメータ値を調整(値が表示されていなければ入力設定)し確定すると、調整された画像パラメータ値をパラメータ記憶手段9に記憶する。   Step S13: When the common image parameter value is adjusted (input setting if no value is displayed) and confirmed, the adjusted image parameter value is stored in the parameter storage means 9.

ステップS14:測定手段2は、測定を実行する。画像処理手段5は、測定データを共通の画像パラメータ値を基に画像データに加工処理する。判定手段7は、その画像データをレファレンスを基に判定する。この間、表示制御手段10は、測定に必要な画面及び判定結果を表示する。   Step S14: The measuring means 2 performs measurement. The image processing means 5 processes the measurement data into image data based on a common image parameter value. The determination means 7 determines the image data based on the reference. During this time, the display control means 10 displays a screen and determination results necessary for measurement.

ステップS15及びS16:操作者はその判定結果を基に虚報の可能性があるかどうかを判断し、虚報の可能性がある場合は、レイアウト(配置図)を表示させる指示をださせる。操作者は、図4のように表示されたレイアウト画面(S15)で、操作手段4によりマーカを設定することにより、該当する印刷はんだ箇所を指定する。表示制御手段10は、解析データ出力手段6に対して当該指定された印刷はんだ箇所を指定して先に測定した測定データに基づく解析データを抽出して出力させ、それを受けて表示手段8に表示する。この場合、先に測定したデータに基づく解析データから抽出するのではなく、指定された印刷はんだ箇所だけについて、再測定して、その測定データを基に解析データを生成して出力してもよい。(S16)。   Steps S15 and S16: The operator determines whether there is a possibility of false information based on the determination result, and if there is a possibility of false information, issues an instruction to display a layout (arrangement drawing). The operator designates a corresponding printed solder location by setting a marker by the operation means 4 on the layout screen (S15) displayed as shown in FIG. The display control means 10 extracts the analysis data based on the measurement data previously measured by designating the designated printed solder location to the analysis data output means 6 and outputs it to the display means 8 in response thereto. indicate. In this case, instead of extracting from the analysis data based on the previously measured data, only the designated printed solder location may be measured again, and the analysis data may be generated and output based on the measurement data. . (S16).

ステップS17:出力インタフェース11は、解析データ出力手段6からの解析データを送信する。   Step S17: The output interface 11 transmits the analysis data from the analysis data output means 6.

図3(B)において、
ステップS21及びS22:解析データファイルを受けて、サービスマンは解析装置(コンピュータ)で立ち上げて解析データ等を表示させる。
In FIG. 3B,
Steps S21 and S22: Upon receiving the analysis data file, the service person starts up with an analysis device (computer) and displays the analysis data and the like.

ステップS23:サービスマンは、解析データを基に解析し、虚報を確認し、虚報であれば、当該印刷はんだ箇所の画像パラメータ項目を表示させる。   Step S23: The service person analyzes based on the analysis data, confirms the false information, and if it is the false information, displays the image parameter item of the printed solder location.

ステップS24及び25:サービスマンは、操作手段により表示画面を見ながら新たな個別の画像パラメータ値を設定し、画像パラメータファイルを生成して(S24)、印刷はんだ検査装置へ送信する(S25)。   Steps S24 and 25: The service person sets a new individual image parameter value while viewing the display screen by the operation means, generates an image parameter file (S24), and transmits it to the printed solder inspection apparatus (S25).

図3(C)において、
ステップS31、S32、S33:入力インタフェース12でパラメータファイルを受信し(S31)、表示制御手段10は、パラメータファイルに記憶されている画像パラメータ値をその位置情報とともに対応して個別パラメータ記憶領域9aへ記憶する(S32)。さらに操作者が次ぎの基板1(前の検査と同じ基板1、或いは、同種の基板)について、検査を指示したときは、検査を実行するが、そのときの画像処理手段5は、個別パラメータ記憶領域9aを参照し、個別パラメータ記憶領域9a記憶されている印刷はんだ箇所については、個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている画像パラメータ値を使用して画像データを生成する。その詳細を、図3(D)に示す(S33)。
In FIG. 3C,
Steps S31, S32, S33: The parameter file is received by the input interface 12 (S31), and the display control means 10 corresponding to the image parameter value stored in the parameter file together with the position information to the individual parameter storage area 9a. Store (S32). Further, when the operator instructs the inspection of the next substrate 1 (the same substrate 1 as the previous inspection or the same type of substrate), the inspection is executed. The image processing means 5 at that time stores the individual parameter storage. With reference to the area 9a, for the printed solder location stored in the individual parameter storage area 9a, image data is generated using the image parameter value stored in the individual parameter storage area 9a. The details are shown in FIG. 3D (S33).

図3(D)において、
ステップS33−1〜4:操作者は、次の基板1を検査を開始する。印刷はんだ検査装置は、検査を実行する。画像処理手段5及びパラメータ読出手段5aは、個別パラメータ記憶領域9aにアクセスして、これから生成しようとする画像データの印刷はんだ箇所の位置情報を照会し(S33−1)、個別パラメータ記憶領域9aに記憶された位置以外の位置の印刷はんだ箇所であると判断したとき(S33−2、NO)は、パラメータ記憶手段9の共通の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理し(S33−3)、個別パラメータ記憶領域9aに記憶された位置における印刷はんだ箇所であると判断したとき(S33−2、YES)は、個別パラメータ記憶領域9aの個別の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理する(S33−4)。判定手段7は、これらの画像データをレファレンスと比較して判定する。
In FIG. 3D,
Steps S33-1 to S4-4: The operator starts inspecting the next substrate 1. The printed solder inspection apparatus performs inspection. The image processing means 5 and the parameter reading means 5a access the individual parameter storage area 9a, inquire the position information of the printed solder portion of the image data to be generated (S33-1), and in the individual parameter storage area 9a. When it is determined that it is a printed solder location at a position other than the stored position (S33-2, NO), image data is generated based on the common image parameter value in the parameter storage means 9 (S33-3). When it is determined that it is a printed solder location at the position stored in the individual parameter storage area 9a (S33-2, YES), image data is generated based on the individual image parameter values in the individual parameter storage area 9a. (S33-4). The determination means 7 determines these image data by comparing with the reference.

したがって、次回の検査からは、同一種類の基板1については、専門家であるサービスマンを効果的に利用して、容易に虚報の発生を防止できる。   Therefore, from the next inspection, it is possible to easily prevent the occurrence of false information for the same type of substrate 1 by effectively using a professional service person.

本発明の機能ブロックを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the functional block of this invention. 本発明に係り、サービスマンが用いる解析装置の機能ブロックを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the functional block of the analyzer which concerns on this invention and a serviceman uses. 本発明の概略の動作フローを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the outline operation | movement flow of this invention. 本発明に係る虚報発生段階の動作フローを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation | movement flow of the false alarm generation | occurrence | production stage based on this invention. 本発明に係る虚報解析段階の動作フローを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation | movement flow of the false alarm analysis stage which concerns on this invention. 本発明に係る虚報修正段階の動作フローを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation | movement flow of the false information correction stage which concerns on this invention. 図3(C)におけるステップS33の詳細ステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detailed step of step S33 in FIG.3 (C). 本発明に係る表示手段8に表示される基板の配置図(レイアウト)を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the layout (layout) of the board | substrate displayed on the display means 8 which concerns on this invention. 解析データとしての、変位量を示すマップ状の画像情報の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the map-form image information which shows the displacement amount as analysis data. 解析データとしての、輝度を示すマップ状の画像情報の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the map-like image information which shows a brightness | luminance as analysis data. 解析データとしての、特定箇所の拡大した輝度に係る画像情報の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the image information which concerns on the expansion brightness | luminance of the specific location as analysis data. 解析データとしての、設計値、測定条件、測定結果、許容値、画像パラメータ等の例を示す図である。It is a figure which shows examples, such as a design value, measurement conditions, a measurement result, an allowable value, an image parameter, as analysis data. 解析後の、測定条件等の修正情報の例を示す図である。It is a figure which shows the example of correction information, such as measurement conditions after an analysis. 解析後に、新たに生成された特定の印刷はんだ箇所の新たな画像パラメータ値の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the new image parameter value of the specific printed solder location newly produced | generated after the analysis.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 測定手段
2a センサ部
2b 測定処理部
3 基板情報記憶手段
4 操作手段
5 画像処理手段
5a パラメータ読出手段
6 解析データ出力手段
7 判定手段
8 表示手段
9 パラメータ記憶手段
9a 個別パラメータ記憶領域
10 表示制御手段
10a パラメータ制御手段
11 出力インタフェース
12 入力インタフェース
13 入出力インタフェース
14 試験データ記憶手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 Measurement means 2a Sensor part 2b Measurement processing part 3 Board | substrate information storage means 4 Operation means 5 Image processing means 5a Parameter reading means 6 Analysis data output means 7 Judgment means 8 Display means 9 Parameter storage means 9a Individual parameter storage area 10 Display Control means 10a Parameter control means 11 Output interface 12 Input interface 13 Input / output interface 14 Test data storage means

Claims (3)

予め印刷はんだ基板に設けられた印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、
前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、
前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階と、
前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記位置情報を基に前記特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを出力する段階と を備え、
前記解析データを受けて、前記画像情報を視覚的に解析可能に表示し、前記判定結果に誤りがあった場合に前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を生成して出力する段階を備え、更に、
前記特定の印刷はんだ箇所における前記新たな個別の画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する段階とを備えたことを特徴とする印刷はんだ検査サービス方法。
Storing in a parameter storage means a predetermined image parameter value common to a printed solder location previously provided on the printed solder substrate;
Irradiating the printed solder substrate with light, measuring the amount of reflected light and / or displacement at the position with a measuring means, and outputting as measurement data;
Receiving the measurement data, and processing the image parameter means with the image parameter value to generate image data serving as an element representing the amount of solder in the printed solder location;
A step of determining pass / fail by a determination means comparing the image data with reference data stored in advance;
Receiving the position information specifying the position of a specific printed solder location after the pass / fail determination is performed;
As information that can analyze the determination result by the determination means, based on the measurement data at the position of the specific printed solder location based on the position information, and generating image information that can be viewed as a map when displayed, Outputting analysis data including image information and image parameter values at the specific printed solder location,
Upon receipt of the analysis data, the image information is displayed so that it can be visually analyzed, and when there is an error in the determination result, a new individual image parameter value at the specific printed solder location is generated and output. A stage, and
Receiving the new individual image parameter value at the specific printed solder location and storing it in the individual parameter storage means corresponding to the position information of the specific printed solder location;
In the next and subsequent inspections, the image processing means, based on the position information of the printed solder location, the printed solder location of the measurement data to be processed is another printed solder other than the specific printed solder location. A common image parameter value stored in the parameter storage means if it is a location, and a step of using the image parameter value stored in the individual parameter storage means if it is the specific printed solder location And a printed solder inspection service method.
前記解析データを生成して出力する段階は、前記位置情報を受けて、前記測定手段に対して、少なくともその位置情報における特定の印刷はんだ箇所を測定して測定データを取得させ、その測定データを基に、前記画像情報及び前記画像パラメータ値を含む解析データを生成して出力することを特徴とする請求項1記載の印刷はんだ検査サービス方法。   The step of generating and outputting the analysis data receives the position information, causes the measurement means to measure at least a specific printed solder location in the position information, obtain measurement data, and obtain the measurement data. The printed solder inspection service method according to claim 1, wherein analysis data including the image information and the image parameter value is generated and output based on the generated data. 表示手段(8)と、 操作手段(4)と、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段(2)と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段(9)と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段(5)と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段(7)とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを外部へ出力する解析データ出力手段(6)と、
別の新たな画像パラメータ値を受けて、該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段(9a)と、
前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段により前記表示手段に表示された画像上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、前記測定手段に対して、少なくとも前記特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを前記解析データ出力手段に送らせて解析データを生成させるとともに、外部から前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に記憶させるパラメータ制御手段(10a)とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された新たな画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段(5a)を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。
Measurement that irradiates light onto a display solder (8), operation means (4), and a printed solder board having a plurality of printed solder locations, measures the amount of reflected light and / or displacement at that position, and outputs the measurement data Receiving the measurement data from the means (2), the parameter storage means (9) for storing the image parameter value including the threshold value for the measurement data, which is set in common to the printed solder location; The image processing means (5) for processing the image parameter value to generate image data that is an element representing the amount of solder at the printed solder location, and comparing the image data with prestored reference data A printed solder inspection apparatus comprising a determination means (7) for determining pass / fail by
As information that can analyze the determination result by the determination means, based on the measurement data at the position of a specific printed solder location on the printed solder substrate, image information that can be viewed in a map form when displayed is generated, and the image information And analysis data output means (6) for outputting analysis data including image parameter values at the specific printed solder location to the outside,
Another receiving new image parameter values pieces, individual parameter storage means for storing together with the position information of the printed solder portion and (9a),
When the layout of the printed solder location on the printed solder substrate is received and displayed on the display means, and the specific printed solder location is designated on the image displayed on the display means by the operation means, the measurement means On the other hand, at least the measurement at the specific printed solder location is executed, the measurement data is sent to the analysis data output means to generate the analysis data, and a new individual at the specific print solder location is externally generated. Parameter control means (10a) for storing the image parameter values in the individual parameter storage means when received ,
The image processing means, based on the position information, when the print solder location of the measurement data to be processed is a print solder location other than the specific print solder location, the parameter storage means Parameter reading means (5a) that uses a new image parameter value stored in the individual parameter storage means in the case where the specific printed solder location is used. A printed solder inspection apparatus characterized by that.
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