JP3998641B2 - Printed solder inspection apparatus and printed solder inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、検査するはんだ検査装置及び検査方法に関する。   The present invention relates to a solder inspection apparatus and an inspection method for measuring and inspecting a printed solder formation state when a cream-like solder is printed on a printed circuit board for surface mounting an electronic component or the like by a solder printing apparatus or the like.

特に、基板(以下、プリント基板を単に「基板」と言う。)に、光を照射して測定した結果として得られた、基板上の印刷はんだ箇所の変位(高さを含む)や輝度(基板から反射した光の量、受光量(光の強さ)を含む。)の測定データから、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ(高さ、面積、或いは体積等のデータ:以下、これらの一部又は全部を「画像データ」という。)に変換して、その画像データを判定の基準となる参照データ(以下、これを「レファレンス」と言う。)と比較して判定する検査装置(方法)においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記画像データの正確な生成は難関であり、この画像データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する(以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。)場合がある。本発明は、そのような虚報の発生を軽減するための技術に係る。   In particular, the displacement (including height) and brightness (substrate) of the printed solder on the substrate obtained as a result of irradiating the substrate (hereinafter referred to simply as “substrate”) with light. Image data (height, area, volume, etc.) representing the amount of printed solder when solder printing is performed from the measurement data of the amount of light reflected from the light and the amount of light received (including the intensity of light). Data: Hereinafter, a part or all of these are converted into “image data”), and the image data is compared with reference data (hereinafter referred to as “reference”) as a criterion for determination. In the inspection apparatus (method) for judging, the above image data is accurately generated from the pattern shape of the printed solder portion of the substrate, the printed solder state, the measurement condition, the noise, the condition for converting the above data, and the combination thereof. Is difficult Ri, a determination means for determining the image data, and outputs the result of judgment incorrectly printed solder forming state of good and defective (hereinafter, an erroneous determination result referred to as "false alarm".) Is sometimes. The present invention relates to a technique for reducing the occurrence of such false information.

従来、上記のような印刷はんだ検査装置においては、測定手段からのアナログ量である測定データを、所定のしきい値やフィルタ条件等を含む画像パラメータ値で加工処理していた。例えば、フィルタ条件等でフィルタリングして雑音を除去し、しきい値で2値データに変換するなどの処理をした上で、面積や体積等の印刷はんだ量を表す画像データを作るという加工処理をしていた(特許文献1、2、及び3を参照。画像データの生成方法については、特許文献3に詳細に説明されている。)。この加工処理は、基板単位で生成されていた。つまり、画像データ生成にあたっては、同一基板上の複数のはんだ箇所があれば、それらは基板のはんだ箇所共通のしきい値等の画像パラメータ値で処理されていた。したがって、基板のいずれか1つの印刷はんだ箇所で虚報が発生した場合に、これを修正するため画像パラメータ値を変更して、その虚報を修正したとしても、他の印刷はんだ箇所で虚報を発生する可能性が高かった。   Conventionally, in the printed solder inspection apparatus as described above, measurement data, which is an analog amount from the measurement means, is processed with image parameter values including predetermined threshold values, filter conditions, and the like. For example, processing such as filtering by filter conditions to remove noise, converting to binary data with a threshold value, and creating image data representing the amount of printed solder such as area and volume (See Patent Documents 1, 2, and 3. The method for generating image data is described in detail in Patent Document 3.) This processing is generated on a substrate basis. That is, when generating image data, if there are a plurality of solder locations on the same substrate, they are processed with image parameter values such as a threshold value common to the solder locations on the substrate. Therefore, when a false alarm is generated at any one printed solder location on the board, the false alarm is generated at another printed solder location even if the image parameter value is changed to correct the false error. The possibility was high.

一方で、印刷はんだの良否判定は、はんだ箇所単位で行われ、検査結果を管理することが行われていた(特許文献4を参照)が、判定に至る過程においては、はんだ箇所単位で管理されていなかった。   On the other hand, the quality of printed solder is judged in units of solder locations, and the inspection results are managed (see Patent Document 4), but in the process leading to the judgment, it is managed in units of solder locations. It wasn't.

特開2002−22412号公報(段落〔0030〕−〔0034〕、図4)JP 2002-22412 A (paragraphs [0030]-[0034], FIG. 4) 特開2002−176254号公報(段落〔0028〕−〔0031〕、図4、図4)JP 2002-176254 A (paragraphs [0028]-[0031], FIG. 4, FIG. 4) 特開2002−228597号公報(段落〔0040〕−〔0050〕、図2、図5)JP 2002-228597 A (paragraphs [0040]-[0050], FIG. 2, FIG. 5) 特開2000−65552号公報(〔請求項1〕、〔請求項2〕)JP 2000-65552 A ([Claim 1], [Claim 2])

上記従来技術のように、基板単位で、つまり、印刷はんだ箇所共通に、同一パラメータ値により画像データを生成する技術にあっては、一部の印刷はんだ箇所の虚報を防止するには、他のはんだ箇所についての影響を考慮する必要があり、試行錯誤がなされたうえで実施しなければならないという困難さがあった。このような虚報の発生に対する対策の一つとしては、画像データを生成するときの上記画像パラメータ値を印刷はんだ箇所単位で備え、はんだ箇所個別に対応することも考えられる。しかしながら、検査開始においては、どこで虚報が発生するか確認できないので、同じ画像パラメータ値を数多くの印刷はんだ箇所毎にもたざるをえない。メモリも大きくなる。また、数多くの印刷はんだ箇所毎に画像パラメータ値を読み出して処理する時間が遅くなる。さらに、画像パラメータ値の入力設定にも時間がかかる。   In the technology for generating image data by the same parameter value in the unit of substrate, that is, common to the printed solder locations as in the above prior art, in order to prevent false reports of some printed solder locations, It is necessary to consider the influence on the soldered part, and there is a difficulty that it must be carried out after trial and error. As one countermeasure against the occurrence of such false information, it is conceivable to provide the image parameter value for generating image data in units of printed solder locations and deal with each solder location individually. However, at the start of the inspection, it is impossible to confirm where the false information is generated, so the same image parameter value must be applied to each of many printed solder locations. Memory is also increased. In addition, the time for reading and processing image parameter values for each of many printed solder locations is delayed. Furthermore, it takes time to set the input of image parameter values.

本発明の目的は、上記従来技術の欠点を改良するものであって、通常は検査初期に設定された基板共通の画像パラメータ値を用いて画像データを生成して検査し、特定の印刷はんだ箇所についてだけ個別の画像パラメータ値を使用して画像データを生成して検査できる技術の提供を目的とする。   An object of the present invention is to improve the above-mentioned drawbacks of the prior art. In general, image data is generated and inspected using image parameter values common to the board set at the initial stage of inspection, and a specific printed solder location is obtained. It is an object to provide a technique capable of generating and inspecting image data using individual image parameter values only for.

併せて、特定の印刷はんだ箇所専用の画像パラメータの設定を容易にできるようにすること、虚報かどうか判定できる解析用の解析データを出力できるようにする事を目的とする。   At the same time, it is intended to make it easy to set image parameters dedicated to a specific printed solder location and to output analysis data for analysis that can determine whether it is false information.

上記課題を解決するための、本発明においては、各印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ(以下、「画像パラメータ」には、項目と値とが含まれ、特に値を強調するときは、「画像パラメータ値」という。)、並びに特定の印刷はんだ箇所の位置及びその位置における個別の画像パラメータを設定可能にし、位置情報を基に、各位置の印刷はんだ箇所の画像データは共通の画像パラメータを用いて、特定の位置における画像データはその個別の画像パラメータを用いて生成するようにしたことを特徴としている。   In the present invention for solving the above-described problems, image parameters common to each printed solder location (hereinafter referred to as “image parameters” include items and values. Parameter value ”), and the position of a specific printed solder location and individual image parameters at that location, and based on the location information, the image data of the printed solder location at each location uses a common image parameter. Thus, image data at a specific position is generated using the individual image parameters.

具体的には、請求項1記載の発明は、表示手段と、操作手段と、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段とを備えた印刷はんだ検査装置であって、前記複数の印刷はんだ箇所の内、特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段と、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段からの指定情報を受けたときは前記表示手段に表示された画像上で指定された特定の印刷はんだ箇所を識別可能に表示するとともに、前記特定の印刷はんだ箇所に該当する画像パラメータ項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段から画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に該画像パラメータ値を記憶するパラメータ制御手段とを備え、前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段を備えた。 Specifically, the invention described in claim 1 irradiates light onto a display solder , an operation tool, and a printed solder board having a plurality of printed solder locations, and measures the amount of reflected light and / or displacement at that position. Receiving the measurement data from the measurement means, the parameter storage means for storing the image parameter value including the threshold value for the measurement data, which is set in common to the printed solder locations. By comparing the image data with reference data stored in advance, image processing means for processing the image parameter value to generate image data that is an element representing the amount of solder in the printed solder location A printed solder inspection apparatus comprising: a determination unit configured to perform pass / fail determination; and an image pattern of a specific printed solder location among the plurality of printed solder locations. And the individual parameter storage means for storing a meter value together with the position information of the printed solder portion, the is displayed on the display unit receives layout of printed solder locations in the printed solder substrate, receiving the designation information from the operation means When displaying the specific printed solder location designated on the image displayed on the display means in an identifiable manner, the image parameter item corresponding to the specific printed solder location is displayed on the display means, and then A parameter control unit that stores the image parameter value in the individual parameter storage unit when the image parameter value is received from the operation unit; and the image processing unit performs the processing based on the position information When the printed solder location of the measurement data is a printed solder location other than the specific printed solder location The use a common image parameter values stored in the parameter storage unit, when the a particular print solder portion is provided with a parameter reading means for using an image parameter values stored in the individual parameter storage means.

請求項記載の発明は、請求項記載の発明において前記判定手段による判定結果を操作者が解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の位置における前記測定データを、表示したときにマップ状に視認できる画像情報として生成する解析データ出力手段を備え、前記印刷箇所の配置図は、前記解析データ出力手段が出力する画像情報である構成とした。 According to a second aspect of the invention, as information that can be analyzed by the operator of the determination result by the determining means in the invention according to the first aspect, the measurement data at the position of the printed solder locations in the printed solder substrate, when viewing Analysis data output means for generating image information that can be viewed in a map form is provided, and the layout of the print locations is image information output by the analysis data output means.

請求項記載の発明は、予め同一印刷はんだ基板に設けられた複数の印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階とを備えた印刷はんだ検査方法であって、前記良否判定が行われた後に、表示手段に表示された前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図上で、操作手段によって印刷はんだ箇所を特定されたときに、その操作手段からの情報を前記位置情報として受ける段階と、前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータの項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段からの画像パラメータ値を受けたときに前記位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する構成とした。 According to a third aspect of the present invention, a step of storing a predetermined image parameter value common to a plurality of printed solder locations previously provided on the same printed solder substrate in a parameter storage means, and irradiating the printed solder substrate with light The step of measuring the amount of reflected light and / or the amount of displacement at the position with the measuring means and outputting it as measurement data, and receiving the measurement data and processing the image parameter means with the image parameter value, A printed solder inspection method comprising a step of generating image data serving as an element representing the amount of solder and a step of determining pass / fail by a determination means comparing the image data with reference data stored in advance. Te, after the quality determination is performed, on the diagram the arrangement of the printed solder locations in the printed solder substrate that is displayed on the display means, the operating means Receiving the information from the operation means as the position information when the printed solder location is specified, and displaying the image parameter item at the specific printed solder location on the display means, and then the operation When receiving the image parameter value from the means, the step of storing the parameter information in the individual parameter storage means corresponding to the position information, and the next and subsequent inspection, the image processing means is based on the position information of the printed solder location When the print solder location of the measurement data to be processed is a print solder location other than the specific print solder location, the common image parameter value stored in the parameter storage means is used. In the case of the specific printed solder location, the image parameter value stored in the individual parameter storage means is used. And the.

請求項1及び記載の発明は、基板全体の印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ値と特定の印刷はんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値とを記憶させ、画像処理手段が特定の印刷はんだ箇所についてはその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で画像データを生成処理する構成にしたので、判定手段が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となった印刷はんだ箇所だけについて個別に虚報が発生しないように個別のパラメータ値を設定することで対策ができる。さらに、虚報の発生する印刷はんだ箇所についてだけ別に画像パラメータ値をもつようにしたので、パラメータの設定も複雑になることなく、かつメモリ容量の負担等も膨大になることなく対処できる効果がある。 According to the first and third aspects of the present invention, the image parameter values common to the printed solder locations of the entire substrate and the individual image parameter values only for the specific printed solder locations are stored, and the image processing means is configured to store the specific printed solder locations. Is the individual image parameter value, and the other part is configured to generate image data with the common image parameter value. Measures can be taken by setting individual parameter values so that false alarms do not occur individually only for printed solder locations. Further, since the image parameter value is provided separately only for the printed solder portion where the false information is generated, there is an effect that the setting of the parameter is not complicated and the burden of the memory capacity is not increased.

また、操作者に対して表示手段を通して、印刷はんだ箇所の配置図、画像パラメータ項目を提供し、その表示された画面上で、操作手段で操作しながら、判定手段が虚報を出力したその虚報の原因となった印刷はんだ箇所の位置について個別のパラメータ値を、容易に設定できる効果がある。 Also, through the display means for the operator, the layout of the printed solder location and the image parameter items are provided, and the judgment means outputs the false information while operating with the operation means on the displayed screen. There is an effect that an individual parameter value can be easily set with respect to the position of the printed solder location that caused the cause.

請求項記載の発明は、印刷はんだ箇所の配置上に、測定データを基に印刷はんだの高さを示す変位量及び/又は印刷はんだ箇所からの光の反射量(受光量)を含む解析データを表示手段で表示させるようにしたので、判定手段の判定結果或いは虚報発生箇所の状態を視覚的に解析しやすい効果がある。 The invention according to claim 2 includes analysis data including a displacement amount indicating the height of the printed solder and / or a reflection amount (light reception amount) of light from the printed solder location on the arrangement of the printed solder location. Is displayed on the display means, so that there is an effect that it is easy to visually analyze the determination result of the determination means or the state of the false alarm occurrence location.

本発明の形態を図1〜図4を用いて説明する。図1は、本発明の構成を示す機能ブロック図である。図2は、図1の構成による本発明の動作フローを説明するための図である。図3は、本発明における動作フローを示す図である。図4は、基板の印刷箇所を示す配置図である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a functional block diagram showing the configuration of the present invention. FIG. 2 is a diagram for explaining an operation flow of the present invention according to the configuration of FIG. FIG. 3 is a diagram showing an operation flow in the present invention. FIG. 4 is a layout view showing the printed part of the substrate.

図1において、測定手段2は、例えばレーザ変位計であって、センサ部2a及び測定処理部2bからなる。センサ部2aは、基板1に対して走査してX軸、Y軸の各方向にレーザを照射可能なレーザ光源と、基板1からの反射光を受光する受光手段からなり、特に印刷はんだされたはんだ箇所の変位、つまり高さ(Z軸方向)を位置と対応づけて測定する。そのときはんだ面からは、位置に対応した受光量(輝度)も得られる。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平3−291512号公報のものがあり、その第4図及び第7図とそれらの説明のものと同様である。   In FIG. 1, the measuring means 2 is a laser displacement meter, for example, and comprises a sensor unit 2a and a measurement processing unit 2b. The sensor unit 2a includes a laser light source capable of scanning the substrate 1 and irradiating a laser in each of the X axis and Y axis directions, and a light receiving unit that receives reflected light from the substrate 1, and is particularly printed soldered. The displacement of the solder location, that is, the height (Z-axis direction) is measured in correspondence with the position. At that time, the received light amount (luminance) corresponding to the position is also obtained from the solder surface. Although detailed explanation of the operation as a laser displacement meter is omitted, as a principle, there is one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-291512 filed by the same applicant, and FIGS. 4 and 7 and their explanations. It is the same as that.

測定処理部2bは、検査対象である基板1を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等のレイアウト情報が後記する基板情報記憶手段3に記憶されているので、それを受けてレイアウト情報にしたがってセンサ部2aに対して走査測定を行わせ、前記センサ部2aが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び/又は受光量を測定データとして出力している。   In the measurement processing unit 2b, layout information such as a printed solder location or a resist location when the substrate 1 to be inspected is designed is stored in the substrate information storage means 3 to be described later. The sensor unit 2a performs scanning measurement, and the sensor unit 2a outputs the detected displacement amount and / or received light amount as measurement data corresponding to the position of the printed solder.

基板情報記憶手段3は、検査対象の基板情報としては少なくともレイアウト情報とレファレンスを記憶している。レイアウト情報は、検査対象とする基板1の設計されたときの配置図であって、例えば図4に示すように、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク(不図示)等の基板上の配置情報を記憶している。このレイアウト情報そのものを画像として(レイアウト画面として)、表示手段8に表示することができる。また、基板1を検査して良否判定を行うレファレンスをデータとして、検査対象とする基板1に対応して記憶している。これらのレファレンスは、例えば印刷はんだ箇所の高さ、面積、体積、及びはんだの欠損等の各項目をはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらのレファレンスは、はんだ箇所の印刷はんだを量的(画像的)に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。   The board information storage unit 3 stores at least layout information and a reference as board information to be inspected. The layout information is a layout diagram when the board 1 to be inspected is designed. For example, as shown in FIG. 4, a printed solder spot, a resist spot without printed solder, and a recognition mark serving as a reference for the position Arrangement information on the substrate such as (not shown) is stored. This layout information itself can be displayed on the display means 8 as an image (as a layout screen). In addition, a reference for inspecting the substrate 1 and determining pass / fail is stored as data corresponding to the substrate 1 to be inspected. These references are prepared for each solder location such as the height, area, volume, and solder defect of the printed solder location. In other words, these references are information that makes it easy to quantitatively (image-wise) recognize the printed solder at the solder location, and are data that serve as a criterion for pass / fail judgment.

なお、検査対象の基板1の種類が多い場合は、それらの基板情報を基板情報記憶手段3に識別情報を付して記憶しておき、識別情報のリスト及び/又はレイアウト画面を表示手段8に表示して操作手段4で画面上でマーカ等により指定することによって選択できるようにしている。   When there are many types of substrates 1 to be inspected, the substrate information is stored in the substrate information storage means 3 with identification information, and a list of identification information and / or a layout screen is displayed on the display means 8. The information can be selected by being displayed and designated by a marker or the like on the screen by the operation means 4.

画像処理手段5は、測定手段2が測定した基板1のはんだ箇所の位置とその位置における変位データ(変位量)及び輝度データ(受光量)等を受けて、後記するパラメータ記憶手段9からの画像パラメータ値を読み出してその画像パラメータ値を基に、測定データを各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す画像データに加工処理する。画像データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記レファレンスと同様に、それぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、及び欠損(存在すべきはんだ量が無い状態の検出)等がある。これら高さ、面積、体積等のデータは3次元画像情報或いはその要素ともなりうる情報である。なお、基板1を判定するには上記の画像の全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積の内、少なくともいずれか1つは不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板1の画像データとして何を判定するか、或いはどの画像データの組み合わせで判定するかは、基板1の種類、内容によって異なることがある。   The image processing means 5 receives the position of the solder portion of the substrate 1 measured by the measuring means 2 and the displacement data (displacement amount), luminance data (light reception amount), etc. at the position, and receives an image from the parameter storage means 9 described later. The parameter value is read out, and based on the image parameter value, the measurement data is processed into image data representing the amount of printed solder at each solder location. The image data is data that represents the amount of solder at the printed solder location, and, similar to the above reference, the height, area, volume, and defect of each solder location (there is no amount of solder to be present) Detection). These data such as height, area, and volume are three-dimensional image information or information that can be elements thereof. Note that not all of the above images are required to determine the substrate 1, but at least one of height, area, and volume is indispensable. In the determination, what is determined as the image data of the substrate 1 to be inspected or which combination of image data is determined may differ depending on the type and content of the substrate 1.

画像処理手段5は主に、測定データに対して所定のフィルタ条件で雑音を除去するためにフィルタリングする手段、はんだブリッジやはんだパターンエッジ等の繊細パターンを識別する感度を所定のパラメータ値で調整するための手段、所定のしきい値で2値化してデジタルデータに変換して2値化する手段、及び2値化されたデータを用いて印刷はんだ箇所における高さ、面積及び/又は体積等の演算を行う演算する手段等を有している。これらの演算処理等の詳細は、同一出願人による特許文献3等に記載されている。なお、上記の所定のフィルタ条件、感度を調整するための所定のパラメータ及び所定のしきい値は、画像パラメータ値としてパラメータ記憶手段9(詳細は後記)に記憶されているものを使用する。   The image processing means 5 mainly adjusts the sensitivity for identifying fine patterns such as solder bridges and solder pattern edges with a predetermined parameter value for filtering measurement data to remove noise under a predetermined filter condition. Means for binarizing at a predetermined threshold value, converting to digital data and binarizing, and using the binarized data, such as height, area and / or volume at the printed solder Means for performing calculations and the like are included. Details of these arithmetic processes and the like are described in Patent Document 3 by the same applicant. The predetermined filter condition, the predetermined parameter for adjusting the sensitivity, and the predetermined threshold value are those stored in the parameter storage unit 9 (details will be described later) as image parameter values.

上記データの加工処理に用いられる画像パラメータ値は、検査の初期時点においては同一の基板1における各印刷はんだ箇所に対して共通に適用されて、画像データの生成に用いられる。   The image parameter values used for the data processing are commonly applied to each printed solder location on the same substrate 1 at the initial stage of inspection, and are used to generate image data.

判定手段7は、上記画像処理手段5が出力する画像データを受けて、これと上記基板情報記憶手段3からのレファレンスとを比較して各はんだ箇所の良否を判定する。   The determination means 7 receives the image data output from the image processing means 5 and compares it with the reference from the board information storage means 3 to determine the quality of each solder location.

パラメータ記憶手段9は、上記したように画像処理手段5が測定データを画像データに加工処理するため用いる画像パラメータ値を記憶している。画像パラメータ値は、それを用いて変換して生成された画像データが判定手段7で比較されて良否判定されることから、検査にあたってはレファレンス同様に、重要なファクタである。 The parameter storage means 9 stores image parameter values used by the image processing means 5 to process the measurement data into image data as described above. The image parameter value is an important factor in the inspection as in the reference because the image data generated by conversion using the image parameter value is compared by the determination means 7 to be judged pass / fail.

画像パラメータ値は、測定データが、例えば印刷はんだ部分であるか否か、或いはレジスト部分であるか否か等の区別(認識)をするためのしきい値、雑音から区別するためのフィルタ条件、或いは感度調整のパラメータ値を含み、例えば、次のようなものがある。いずれも表示手段8の画面(画像パラメータ設定画面モード)で、各画像パラメータの項目を表示させて、操作者が視認しながら操作手段4で画像パラメータ値を設定できる。
(1)はんだ輝度:測定データがはんだであるか否かを識別すためのしきい値。
(2)レジスト面輝度:測定データがレジスト面であるか否かを識別するためのしきい値
(3)パッド面輝度:測定データがパッド面であるか否かを識別するためのしきい値
(4)フィルタ条件(強度):測定データに対してフィルタをかけるときの画像パラメータであって、この例では、値が小さいほど測定データに含まれる雑音成分を除去できるが、反対に微細な形状にかかるデータが失われやすい。判定手段7が本来、正常であるはんだ箇所をブリッジ(2カ所のはんだ付け箇所が誤って繋がってしまうこと)しているとして虚報の判定結果をだしたときは、主にこの画像パラメータ値を小さくすることが好ましい。
(5)ブリッジ感度:例えば、2つのはんだ箇所が正常につながっているものを、誤って不良のブリッジとして判定するようなことがあるので、そのブリッジの幅を調整・設定するためのパラメータ
(6)パタンエッジ感度:配線パターンをはんだ箇所と認識してしまうことがあるので、調整・設定するためのパラメータ
(7)認識マークに関するパラメータ:認識マークは、位置合わせに用いられるマークで基板1に設けられている。これは各種データの基準位置となるもので、この位置の認識がずれないように調整・設定するためのパラメータ
The image parameter value is, for example, a threshold value for distinguishing (recognizing) whether the measurement data is a printed solder portion or a resist portion, a filter condition for distinguishing from noise, Alternatively, including parameter values for sensitivity adjustment, for example, there are the following. In either case, each image parameter item can be displayed on the screen of the display means 8 (image parameter setting screen mode), and the image parameter value can be set by the operation means 4 while being visually recognized by the operator.
(1) Solder luminance: a threshold value for identifying whether or not the measurement data is solder.
(2) Resist surface brightness: threshold value for identifying whether measurement data is a resist surface (3) Pad surface brightness: threshold value for identifying whether measurement data is a pad surface (4) Filter condition (intensity): This is an image parameter for filtering the measurement data. In this example, the smaller the value, the more noise components included in the measurement data can be removed. Data is easily lost. When the judgment means 7 gives a false alarm judgment result that the normal solder location is bridged (two solder locations are mistakenly connected), this image parameter value is mainly reduced. It is preferable to do.
(5) Bridge sensitivity: For example, when two solder locations are normally connected, it may be erroneously determined as a defective bridge, so parameters (6 for adjusting and setting the width of the bridge) ) Pattern edge sensitivity: Since the wiring pattern may be recognized as a solder location, parameters for adjusting and setting (7) Parameters related to the recognition mark: The recognition mark is a mark used for alignment provided on the substrate 1 ing. This is the reference position for various data, and is a parameter for adjusting and setting this position so that it does not deviate.

上記いずれの画像パラメータ値も、測定が光を照射してアナログ的に行われることから、この測定データを基に印刷はんだを量的に(画像データとして)明瞭に評価できるように加工処理するためのものである。 Since any of the above image parameter values are measured in an analog manner by irradiating light, the printed solder is processed based on this measurement data so that it can be clearly evaluated quantitatively (as image data). belongs to.

上記した画像パラメータ値は、基板1の検査の初期時点で基板1の全ての印刷はんだ箇所に(それ以外のレジスト面等も同じく全部に)共通に、画像データ生成に適用されるパラメータである。   The image parameter values described above are parameters that are applied to image data generation in common at all printed solder locations on the substrate 1 (all other resist surfaces and the like are the same as well) at the initial point of inspection of the substrate 1.

しかし、本発明では、基板1の印刷はんだ箇所単位で生成した(或いは共通の画像パラメータを修正)個別画像パラメータ値を印刷はんだ箇所を識別する位置情報に対応させて保有できる個別パラメータ記憶領域(手段)9aを設けた。この個別パラメータ記憶領域(手段)9aに記憶される印刷はんだ箇所毎の個別画像パラメータ値は、一部は、上記共通の画像パラメータ値と同様の項目、値の範囲で表示手段8の画面(個別パラメータ設定画面)で設定可能である。つまり、項目は、上記(1)〜(3)、(5)、(6)と同様に設定できる。ただし、個別画像パラメータは対象となる印刷はんだ箇所を特定するための位置情報に対応して記憶される必要がある。なお、個別画像パラメータは、共通の画像パラメータとは、異なった別の項目であってもよい。例えば、共通の画像パラメータには無いが個別画像パラメータとして加えると便利な項目に、次の(8)〜(9)ようなものもある。また、これらに限られることはない。
(8)基準高さ位置オフセット:画像処理手段5が面積を計算するときに基板から所定の高さ位置(これを「基準面」という。)にあるはんだ量の面積を計算するが、基準面高さオフセットは、その基準面を4μm単位で調節するパラメータである。
(9)見掛け光量調整パラメータ:例えば、はんだ面を暗い面として認識して処理する場合、はんだの中には明るい箇所を部分的に含むものがあり、そのまま測定を行うとその箇所をはんだ箇所として認識しない場合がでてくる。そこで、測定したデータをあたかも光量を下げて測定したかのように処理するパラメータである。
However, according to the present invention, an individual parameter storage area (means) that can hold individual image parameter values generated in units of printed solder locations on the substrate 1 (or modify common image parameters) in correspondence with position information for identifying printed solder locations. ) 9a was provided. The individual image parameter values for each printed solder location stored in the individual parameter storage area (means) 9a are partly the same as the common image parameter values in the items and value ranges described above. It can be set on the parameter setting screen. That is, the items can be set in the same manner as the above (1) to (3), (5), and (6). However, the individual image parameter needs to be stored corresponding to the position information for specifying the target printed solder location. Note that the individual image parameters may be different items from the common image parameters. For example, the following items (8) to (9) are useful items that are not included in the common image parameters but are added as individual image parameters. Moreover, it is not restricted to these.
(8) Reference height position offset: When the image processing means 5 calculates the area, the area of the solder amount at a predetermined height position (referred to as “reference plane”) from the substrate is calculated. The height offset is a parameter for adjusting the reference plane in units of 4 μm.
(9) Apparent light quantity adjustment parameter: For example, when processing by recognizing a solder surface as a dark surface, some of the solder includes a bright part, and if the measurement is performed as it is, that part is used as the solder part. There are cases where it does not recognize. Therefore, it is a parameter for processing the measured data as if it were measured with the light amount reduced.

画像処理手段5は、パラメータ読出手段5aを有し、上記のように個別画像パラメータが設定された後に、基板1の検査(再検査)するときに、そのパラメータ読出手段5aにより、基板1の印刷はんだ箇所を位置順に測定データに係る画像パラメータ値を読み出して画像データを生成する。その際に、その印刷はんだ箇所位置を前記個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている位置情報を照会し、一致しなければ、パラメータ記憶手段9に記憶されている共通の画像パラメータ値を読み出して使用し、一致した場合は、個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている画像パラメータ値を読み出して使用する。個別パラメータ記憶領域9aをパラメータ記憶手段9内に共通の画像パラメータ値の記憶領域と区別される領域にもたせたが、別な記憶手段にしてもよい。   The image processing means 5 has a parameter reading means 5a, and when the substrate 1 is inspected (re-inspected) after the individual image parameters are set as described above, the parameter reading means 5a prints the substrate 1 by the parameter reading means 5a. Image data is generated by reading out image parameter values related to the measurement data in the order of the solder locations. At that time, the position information stored in the individual parameter storage area 9a is inquired for the position of the printed solder, and if it does not match, the common image parameter value stored in the parameter storage means 9 is read and used. If they match, the image parameter values stored in the individual parameter storage area 9a are read out and used. Although the individual parameter storage area 9a is provided as an area in the parameter storage means 9 that is distinguished from the common image parameter value storage area, it may be a separate storage means.

このように全はんだ箇所共通の画像パラメータ値と特定のはんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値を持たせ、画像処理手段5が特定のはんだ箇所はその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で処理する構成にしたので、判定手段7が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となったはんだ箇所だけに、判定手段7が虚報を出力しないように調整・設定された個別の画像パラメータ値を保有し、使用できる効果がある。   In this way, the image parameter value common to all the solder locations and the individual image parameter values for only the specific solder locations are provided, and the image processing means 5 uses the individual image parameter values for the specific solder locations and the other locations are common. Therefore, when the determination means 7 outputs false information that is erroneously determined, adjustment is made so that the determination means 7 does not output the false information only to the solder location that caused the false information. The set individual image parameter values are retained and can be used.

言い換えると、共通の画像パラメータ値の設定を最初からしても良いが、はんだ箇所が非常に多いので、たいへんな作業量であり、またメモリ容量も大きいのが必要になるが、共通に画像パラメータ値を設定すれば、それらの問題は解決する。しかし、一部のはんだ箇所に対して共通の画像パラメータ値を変更すると他の虚報の原因になりかねない。本発明は、上記のようにこれらの問題を解決するものである。   In other words, common image parameter values may be set from the beginning, but since there are so many solder locations, a large amount of work is required and a large memory capacity is required. Setting a value solves those problems. However, changing common image parameter values for some solder locations can cause other false alarms. The present invention solves these problems as described above.

解析データ出力手段6は、測定手段2が出力する基板1における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量等の測定データを受けて、上記レイアウト情報における印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときにはんだの高さが等高線状に観測して解析できる解析データに変換する。解析データ出力手段6は、印刷はんだ箇所の位置に対応した受光量の測定データを受けて、上記レイアウト情報における印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときに、はんだ面の輝度を等高線状に観測して解析できるデータに変換する。上記で等高線状で観測できるようにと記載したが、等高線に限らず解析データを画像として表示手段8に表示されたときに、はんだ面の高さや輝度に応じてはんだ面が識別認識しやすい表現であれば、色の変化、濃淡、模様等のいずれで表現してもよい(以上の表現を、ここでは「マップ状」と言う。)。   The analysis data output means 6 receives the measurement data such as the displacement corresponding to the position of the printed solder location on the substrate 1 output from the measuring means 2, and displays it as an image on the layout diagram of the printed solder location in the layout information. When displayed, the height of the solder is converted into analysis data that can be observed and analyzed in contour lines. The analysis data output means 6 receives the measurement data of the received light amount corresponding to the position of the printed solder location, and displays the brightness of the solder surface when displayed as an image on the layout diagram of the printed solder location in the layout information. Convert to data that can be observed and analyzed in contour lines. In the above description, it is described that the contour line can be observed. However, not only the contour line but also the analysis data is displayed on the display unit 8 as an image. If so, it may be expressed by any of color change, shading, pattern, etc. (the above expression is referred to herein as “map shape”).

解析データ出力手段6が、出力する解析データは、主として、判定手段7の判定結果が正常かどうかの確認、或いは、判定手段7が判定を誤って虚報を出力したときの原因を解析するのに便利な情報である。判定手段7は、画像処理手段5が、測定データを加工処理して得た画像データを判定しているので、解析データとしては、いずれもできるだけ測定データそのものに近い形であって、かつ画面上で分析しやすいものが好ましい。この例では、上記(1)のフィルタを測定データにかけたうえで解析データを生成することもできるようにしている。雑音を落とす等の必要性からである。   The analysis data output by the analysis data output means 6 is mainly used to confirm whether the determination result of the determination means 7 is normal or to analyze the cause when the determination means 7 erroneously outputs a false alarm. Useful information. Since the determination means 7 determines the image data obtained by processing the measurement data by the image processing means 5, the analysis data is as close as possible to the measurement data itself and is on the screen. Those that are easy to analyze are preferred. In this example, analysis data can be generated after the filter of (1) is applied to the measurement data. This is because it is necessary to reduce noise.

解析データは、上記した基板情報記憶手段3が記憶している配置図としてのレイアウト情報の代わりに、測定データ(解析データ)を含む配置図として利用することもできる。   The analysis data can be used as a layout including measurement data (analysis data) instead of the layout information as the layout stored in the board information storage unit 3 described above.

パラメータ制御手段10aは、全体の操作・表示に係る表示制御手段10にあって、操作者と印刷はんだ検査装置の間を操作手段4及び表示手段8の操作を介して、検査対象基板の選択、共通画像パラメータ値の設定、判定手段7の判定結果の確認、虚報の解析、個別パラメータ値の設定及びその他それらに付随した操作・表示を含むインタフェースを司る。つまり、図2に示す動作フローにおける操作者と印刷はんだ検査装置の間における制御を行う。   The parameter control means 10a is in the display control means 10 related to the entire operation / display, and selects the inspection target board between the operator and the printed solder inspection apparatus through the operation of the operation means 4 and the display means 8. It administers an interface including setting of common image parameter values, confirmation of determination results of the determination means 7, analysis of false reports, setting of individual parameter values, and other operations / displays associated therewith. That is, control is performed between the operator and the printed solder inspection apparatus in the operation flow shown in FIG.

図2の動作フローの詳細は後記するので、ここでは、パラメータ制御手段10aが行う主な制御構成について説明する。   Since the details of the operation flow of FIG. 2 will be described later, the main control configuration performed by the parameter control means 10a will be described here.

パラメータ制御手段10aは、基板1の検査の初期において、操作者に基板1に共通の画像パラメータ値を設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段8に表示させて入力を案内する。次に操作者が、操作手段4により各項目について画像パラメータ値を設定して確定キーを設定したときは、その設定された値をパラメータ記憶手段9に記憶させる。パラメータ制御手段10a及び表示制御手段10は、表示に必要なフォーマット、例えば、画像パラメータの項目、入力された画像パラメータ値、及び操作案内情報等の表示フォーマットを有する。また、パラメータ記憶手段9を含む他のブロック等に対するアクセス手段を有している。   The parameter control means 10a displays an image parameter item on the display means 8 and guides input in order to allow the operator to set a common image parameter value for the board 1 at the initial stage of the inspection of the board 1. Next, when the operator sets the image parameter value for each item by the operation means 4 and sets the confirmation key, the set value is stored in the parameter storage means 9. The parameter control unit 10a and the display control unit 10 have a format required for display, for example, a display format such as an image parameter item, an input image parameter value, and operation guide information. Further, it has access means for other blocks including the parameter storage means 9.

パラメータ制御手段10aは、次に測定(検査)実行されときは、測定操作・観測に必要な情報を測定画面に表示するとともに、測定データと上記パラメータ記憶手段9或いは個別パラメータ記憶領域9aに記憶されている画像パラメータ値を基に画像処理手段5で画像データが生成され、判定手段7で判定された項目及び結果を表示する。そし操作者が判定の結果が正しいかどうかを確認するために、基板情報記憶手段3からのレイアウト(配置図)及び解析データ出力手段6からの解析データを受けて、それらを表示する。   The next time the measurement (inspection) is performed, the parameter control means 10a displays information necessary for the measurement operation / observation on the measurement screen and is stored in the measurement data and the parameter storage means 9 or the individual parameter storage area 9a. Image data is generated by the image processing means 5 based on the image parameter values being displayed, and the items and results determined by the determination means 7 are displayed. Then, in order to confirm whether the determination result is correct, the operator receives the layout (placement diagram) from the board information storage means 3 and the analysis data from the analysis data output means 6 and displays them.

パラメータ制御手段10aは、さらに操作者が、判定結果を虚報と判定したときは、操作者からの要請により、基板情報記憶手段3から基板1における印刷はんだ箇所の配置図を受けて表示手段8に表示させ(これは上記したものと同じ)、操作者がその表示手段8の画面の配置図を視認しながら(観測しながら)、操作手段4を操作して、例えばマーカを動かしながら画像上で特定の印刷はんだ箇所の上に置いて(特定の印刷はんだ箇所の指定に該当する。そのときの操作手段4からの情報が特定のはんだ箇所の位置を示す位置情報となる。)確定操作する。そのときの操作手段4からの位置情報における印刷はんだ箇所に対して、個別の画像パラメータ値を操作者に設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段8に表示させる。その後に操作者が操作手段4でその個別の画像パラメータ値を入力したときは、その個別の画像パラメータ値を受けて個別パラメータ記憶領域(手段)9aに記憶させる。   Further, when the operator determines that the determination result is false information, the parameter control unit 10a receives the layout of the printed solder locations on the substrate 1 from the substrate information storage unit 3 and displays it on the display unit 8 according to a request from the operator. Display (this is the same as described above), and the operator operates the operation unit 4 while visually observing (observing) the layout of the screen of the display unit 8, for example, on the image while moving the marker It is placed on a specific printed solder location (corresponding to the designation of a specific printed solder location. Information from the operation means 4 at that time becomes position information indicating the location of the specific solder location) and a confirmation operation is performed. In order for the operator to set individual image parameter values for the printed solder locations in the position information from the operation means 4 at that time, image parameter items are displayed on the display means 8. Thereafter, when the operator inputs the individual image parameter value with the operation means 4, the individual image parameter value is received and stored in the individual parameter storage area (means) 9a.

上記構成における、測定処理部2b、画像処理手段5,解析データ出力手段6,判定手段7、及び表示制御手段10(パラメータ制御手段10aを含む)は、CPU、メモリ(ROM、RAM)及び上記した動作をCPUに実行させるためにメモリに記憶されたプログラム等からなる。 In the above configuration, the measurement processing unit 2b, the image processing unit 5, the analysis data output unit 6, the determination unit 7, and the display control unit 10 (including the parameter control unit 10a) include a CPU, a memory (ROM, RAM), and the above-described configuration. The program is stored in a memory for causing the CPU to execute the operation.

次に、図2を基に、本発明に係る部分の動作フローを説明する。図2は、実行しようとする主体が操作者か、印刷はんだ検査装置かを区別できるように2つの系列で説明している。矢印がその時系列的流れ(或いは情報の方向)を示している。また、図中のS番号は印刷はんだ検査装置の動作ステップの番号を示している。以下、ステップ番号(印刷はんだ検査装置)を中心に順に説明する。   Next, based on FIG. 2, the operation | movement flow of the part which concerns on this invention is demonstrated. FIG. 2 is described in two series so as to distinguish whether the subject to be executed is an operator or a printed solder inspection apparatus. Arrows indicate the time-series flow (or information direction). Further, the S number in the figure indicates the number of the operation step of the printed solder inspection apparatus. Hereinafter, step numbers (printed solder inspection apparatus) will be mainly described.

ステップS1:スタート時に、操作者が表示手段8に表示されているメニュー画面から基板リストがあるライブラリー画面を選択する。表示制御手段10は、基板リスト及びそれに関する画像パラメータファイル(既に過去のものが入っている場合)のリストを表示する。   Step S1: At the start, the operator selects a library screen with a substrate list from the menu screen displayed on the display means 8. The display control means 10 displays a board list and a list of image parameter files related to the board list (when a past file is already included).

ステップS2:表示をみながら検査対象の基板1の名称、画像パラメータのファイルの名称を、操作手段4で操作してマーカで指定してクリック(確定)して選択する。それに対して表示制御手段10は、該当する画像パラメータ項目及び値(既に過去に使用したものがあれば、その共通の画像パラメータ値)を表示する。 Step S2: While observing the display, the name of the substrate 1 to be inspected and the name of the image parameter file are selected by operating the operation means 4 with a marker and clicking (determining). On the other hand, the display control means 10 displays the corresponding image parameter items and values (or common image parameter values if already used in the past).

ステップS3:共通の画像パラメータ値を調整(値が表示されていなければ入力設定)し確定すると、調整された画像パラメータ値をパラメータ記憶手段9に記憶する。   Step S3: When the common image parameter value is adjusted (input setting if no value is displayed) and confirmed, the adjusted image parameter value is stored in the parameter storage means 9.

ステップS4:測定手段2は、測定を実行する。画像処理手段5は、測定データを共通の画像パラメータ値を基に画像データに加工処理する。判定手段7は、その画像データとレファレンスで判定する。この間、表示制御手段10は、測定に必要な画面及び判定結果を表示する。   Step S4: The measuring means 2 performs measurement. The image processing means 5 processes the measurement data into image data based on a common image parameter value. The determination unit 7 determines based on the image data and the reference. During this time, the display control means 10 displays a screen and determination results necessary for measurement.

ステップS5及びS6:操作者はその判定結果を基に虚報の可能性があるかどうかを判断し、虚報の可能性がある場合は、レイアウト(配置図)を表示させる指示をださせる。操作者は、図4のように表示されたレイアウト画面(ステップS5)で、操作手段4によりマーカを設定することにより、該当する印刷はんだ箇所を指定する。表示制御手段10は、解析データ出力手段6に対して当該印刷はんだ箇所を指定して解析データを出力させ、それを受けて表示手段8に表示する(ステップS6)。   Steps S5 and S6: The operator determines whether there is a possibility of false information based on the determination result. If there is a possibility of false information, the operator gives an instruction to display a layout (arrangement drawing). The operator designates a corresponding printed solder location by setting a marker by the operation means 4 on the layout screen (step S5) displayed as shown in FIG. The display control unit 10 causes the analysis data output unit 6 to specify the print solder location, output the analysis data, and display it on the display unit 8 (step S6).

ステップS7:操作者は、解析データを基に虚報を確認し、虚報であれば、表示上のレイアウトで当該印刷はんだ箇所を選択する(先に選択したものと同一であれば、確定処理だけ行う。)。表示制御手段10は、個別の画像パラメータ設定項目を表示する。   Step S7: The operator confirms the false information based on the analysis data, and if it is the false information, selects the printed solder location on the display layout (if it is the same as the previously selected one, only the confirmation process is performed. .) The display control means 10 displays individual image parameter setting items.

ステップS8:操作者は、操作手段4により表示画面を見ながら個別の画像パラメータ値を設定する(個別の画像パラメータ値として、共通の画像パラメータ値が表示されていた場合は、調整設定する。)。表示制御手段10は、操作手段4で設定された画像パラメータ値をその位置情報とともに対応して個別パラメータ記憶領域9aへ記憶する。   Step S8: The operator sets individual image parameter values while viewing the display screen by the operation means 4 (if a common image parameter value is displayed as an individual image parameter value, adjustment is set) . The display control means 10 stores the image parameter value set by the operation means 4 in the individual parameter storage area 9a in association with the position information.

ステップS9:操作者は、次の基板1を検査(先の基板と同じであれば再検査)を開始する。印刷はんだ検査装置は、検査を実行するが、ステップS9における画像処理手段5及びパラメータ読出手段5aが行う詳細処理を図3に示す。画像処理手段5及びパラメータ読出手段5aは、個別パラメータ記憶領域9aにアクセスして、これから生成しようとする画像データの印刷はんだ箇所の位置情報を照会し(S9−1)、個別パラメータ記憶領域9aに記憶された位置以外の位置の印刷はんだ箇所であると判断したとき(S9−2、NO)は、パラメータ記憶手段9の共通の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理し(S9−3)、個別パラメータ記憶領域9aに記憶された位置における印刷はんだ箇所であると判断したとき(S9−2、YES)は、個別パラメータ記憶領域9aの個別の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理する(S9−4)。判定手段7は、これらの画像データをレファレンスと比較して判定する。 Step S9: The operator starts inspection of the next substrate 1 (re-inspection if it is the same as the previous substrate). The printed solder inspection apparatus executes the inspection, and FIG. 3 shows detailed processing performed by the image processing means 5 and the parameter reading means 5a in step S9. The image processing means 5 and the parameter reading means 5a access the individual parameter storage area 9a, inquire about the position information of the printed solder portion of the image data to be generated (S9-1), and in the individual parameter storage area 9a. When it is determined that it is a printed solder location at a position other than the stored position (S9-2, NO), image data is generated based on the common image parameter value in the parameter storage means 9 (S9-3). When it is determined that it is a printed solder location at the position stored in the individual parameter storage area 9a (S9-2, YES), image data is generated based on the individual image parameter values in the individual parameter storage area 9a. (S9-4). The determination means 7 determines these image data by comparing with the reference.

したがって、次回の検査からは、同一種類の基板1については虚報の発生を防止できる。   Therefore, from the next inspection, it is possible to prevent the occurrence of false information for the same type of substrate 1.

なお、上記個別パラメータの説明に記載した上記(9)に示すようなパラメータは、画像処理手段5で実施しないで、測定手段2で実施するようにしてもよい。この場合は、画像処理手段5が扱う画像パラメータを共通の画像パラメータと個別画像パラメータとに分けたように、測定手段2が扱う条件、例えばレーザ変位計を扱う条件(例えばレーザの光量(強さ)、受光手段の受光感度、位置等)を測定パラメータとし、それを測定個所に共通の条件で測定するための共通測定パラメータと虚報がおきる特定箇所の個別測定パラメータとに分けて記憶する手段を設け(不図示)、測定処理部2bがこの記憶手段から特定箇所だけ個別測定パラメータを読み出して測定し、他の箇所については共通測定パラメータを読み出して測定するようにしてもよい(不図示)。

It should be noted that the parameters as shown in (9) above described in the description of the individual parameters may be implemented by the measuring unit 2 without being implemented by the image processing unit 5. In this case, as the image parameters handled by the image processing means 5 are divided into common image parameters and individual image parameters, the conditions handled by the measuring means 2, for example, the conditions for handling a laser displacement meter (for example, the laser light quantity (intensity) ), The light receiving sensitivity of the light receiving means, the position, etc.) as measurement parameters, and means for storing them separately into common measurement parameters for measuring under common conditions at measurement locations and individual measurement parameters for specific locations where false alarms occur It may be provided (not shown), and the measurement processing unit 2b may read and measure individual measurement parameters only at specific locations from the storage means, and read and measure common measurement parameters at other locations (not shown).

さらには、画像処理手段5による個別画像パラメータと測定手段2による個別測定パラメータの併用であってもよい。   Furthermore, the combination of the individual image parameter by the image processing means 5 and the individual measurement parameter by the measurement means 2 may be used.

本発明の機能ブロックを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the functional block of this invention. 本発明の動作フローを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation | movement flow of this invention. 図2におけるステップS9の詳細ステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detailed step of step S9 in FIG. 本発明に係る表示手段8に表示される基板の配置図(レイアウト)を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the layout (layout) of the board | substrate displayed on the display means 8 which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 測定手段
2a センサ部
2b 測定処理部
3 基板情報記憶手段
4 操作手段
5 画像処理手段
5a パラメータ読出手段
6 解析データ出力手段
7 判定手段
8 表示手段
9 パラメータ記憶手段
9a 個別パラメータ記憶領域
10 表示制御手段
10a パラメータ制御手段

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 Measurement means 2a Sensor part 2b Measurement processing part 3 Board | substrate information storage means 4 Operation means 5 Image processing means 5a Parameter reading means 6 Analysis data output means 7 Judgment means 8 Display means 9 Parameter storage means 9a Individual parameter storage area 10 Display Control means 10a Parameter control means

Claims (3)

表示手段(8)と、操作手段(4)と、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段(2)と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段(9)と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段(5)と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段(7)とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記複数の印刷はんだ箇所の内、特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段(9a)と、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段からの指定情報を受けたときは前記表示手段に表示された画像上で指定された特定の印刷はんだ箇所を識別可能に表示するとともに、前記特定の印刷はんだ箇所に該当する画像パラメータ項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段から画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に該画像パラメータ値を記憶するパラメータ制御手段(10a)とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段(5a)を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。
Measurement that irradiates light onto a display solder (8), operation means (4), and a printed solder board having a plurality of printed solder locations, measures the amount of reflected light and / or displacement at that position, and outputs the measurement data Receiving the measurement data from the means (2), the parameter storage means (9) for storing the image parameter value including the threshold value for the measurement data, which is set in common to the printed solder location; The image processing means (5) for processing the image parameter value to generate image data that is an element representing the amount of solder at the printed solder location, and comparing the image data with prestored reference data A printed solder inspection apparatus comprising a determination means (7) for determining pass / fail by
An individual parameter storage means (9a) for storing an image parameter value of a specific printed solder location of the plurality of printed solder locations together with position information of the printed solder location, and an arrangement diagram of the printed solder locations on the printed solder substrate When the specified information is received from the operation means, the specific printed solder location specified on the image displayed on the display means is displayed in an identifiable manner, and the specific information is displayed. Parameter control means (10a) for displaying image parameter items corresponding to printed solder locations on the display means and then storing the image parameter values in the individual parameter storage means when receiving image parameter values from the operation means And
The image processing means, based on the position information, when the print solder location of the measurement data to be processed is a print solder location other than the specific print solder location, the parameter storage means And a parameter reading means (5a) that uses the image parameter value stored in the individual parameter storage means when the specific printed solder location is used. Printed solder inspection equipment.
前記判定手段による判定結果を操作者が解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の位置における前記測定データを、表示したときにマップ状に視認できる画像情報として生成する解析データ出力手段(6)を備え、
前記印刷箇所の配置図は、前記解析データ出力手段が出力する画像情報であることを特徴とする請求項1に記載の印刷はんだ検査装置。
Analysis data output means for generating, as information that allows the operator to analyze the determination result by the determination means, as image information that can be viewed as a map when the measurement data at the position of the printed solder location on the printed solder board is displayed ( 6)
The layout of the print position is printed solder inspection apparatus according to claim 1, wherein the analysis data output means is image information to be output.
予め同一印刷はんだ基板に設けられた複数の印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び/又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、
前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、
前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階とを備えた印刷はんだ検査方法であって、
前記良否判定が行われた後に、表示手段に表示された前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図上で、操作手段によって印刷はんだ箇所を特定されたときに、その操作手段からの情報を前記位置情報として受ける段階と、前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータの項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段からの画像パラメータ値を受けたときに前記位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用することを特徴とする印刷はんだ検査方法。
Storing a predetermined image parameter value common to a plurality of printed solder locations provided in advance on the same printed solder substrate in the parameter storage means;
Irradiating the printed solder substrate with light, measuring the amount of reflected light and / or displacement at the position with a measuring means, and outputting as measurement data;
Receiving the measurement data, and processing the image parameter means with the image parameter value to generate image data serving as an element representing the amount of solder in the printed solder location;
A printed solder inspection method comprising a step of determining pass / fail by a determination unit comparing the image data with reference data stored in advance,
After the pass / fail judgment is made , when the printed solder location is specified by the operating means on the layout diagram of the printed solder location on the printed solder substrate displayed on the display means, the information from the operating means is Receiving as position information, and displaying the image parameter item at the specific printed solder location on the display means, and then receiving the image parameter value from the operation means, the individual parameter corresponding to the position information Storing in the storage means;
In the next and subsequent inspections, the image processing means, based on the position information of the printed solder location, the printed solder location of the measurement data to be processed is another printed solder other than the specific printed solder location. If it is a location, use the common image parameter value stored in the parameter storage means, and if it is the specific printed solder location, use the image parameter value stored in the individual parameter storage means Printed solder inspection method characterized by.
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