JP3988284B2

JP3988284B2 - インクジェットヘッド及び記録装置

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Publication number: JP3988284B2
Application number: JP30768498A
Authority: JP
Inventors: 重男野島; 正寛藤井; 太郎竹腰; 博之石川
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-10-28
Filing date: 1998-10-28
Publication date: 2007-10-10
Anticipated expiration: 2018-10-28
Also published as: JPH11198374A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインク滴を吐出するための圧力発生手段として静電アクチュエータを用いたインクジェットヘッドに関し、特にそのアクチュエータの気密化に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットヘッドにはアクチュエータに静電気による吸引力を利用したものが採用されてきており、例えば特開平２−２８９３５１号公報にはその種のインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するインク流路と、流路の一部に形成された振動板と、振動板にエアギャップを介して対向して形成された電極とを有し、振動板と電極との間に電気パルスを印加し、振動板を静電気力により変形させて、ノズルからインク液滴を吐出するようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記公報の振動板及び電極から構成される振動室を含むアクチュエータは大気に開放されており、従って、駆動時に空気中の埃等を吸引してしまうおそれがあった。このため、アクチュエータを封止することが考えられるが、そのようにした場合には、振動室内に封入された空気が振動板の吸引時に抵抗となり充分な吸引力が得られなくなるおそれがある。振動室の吸引力が低下すると、インク吐出に足る十分な吐出力が得られなくなり、印刷の品位及び信頼性を著しく低下させてしまう。この問題を回避するためには、例えばアクチュエータに印加する電圧を大きくすればよいが、一般的にプリンタとして常用される電源電圧の範囲内で、十分な吸引力を得ることは困難であった。
【０００４】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、アクチュエータを封止しても充分な吸引力が得られるようにしたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のインクジェット記録装置は、ノズルからインク滴を吐出し、記録媒体上に印刷を行うインクジェット記録装置において、振動板が形成された第１の基板と、電極が形成され、前記第１の基板に接合される第２の基板と、当該第２の基板を前記第１の基板に接合した際に、前記電極は、前記振動板と所定のギャップをもって対向し、これにより形成されるキャパシタと、前記キャパシタに充電、放電を行い、前記振動板を静電気力により変形させ、それにより、前記ノズルからインク滴を吐出する駆動回路と、前記第２の基板に形成され、前記駆動回路を前記電極に接続するためのリードと、前記振動板によって形成される壁面と、前記電極が付設された壁面とを含む振動室と、リードが付設された壁面を含み、前記振動室と連通する第１のキャビティとを備え、前記振動室は、気密封止されており、更に、前記振動室もしくは、前記第１のキャビティに連通する第２のキャビティを備え、前記第２のキャビティは、前記第１の基板に形成されることにより、気密封止された部分の圧力上昇を少なくすることを特徴とする。
【０００６】
上記のインクジェット記録装置では、前記第１の基板はシリコンであってもよい。
【０００７】
上記のインクジェット記録装置では、前記第２のキャビティを構成する壁面は、シリコンの（１１１）面で構成されていてもよい。
【０００８】
上記のインクジェット記録装置では、前記第２のキャビティが、前記ノズルの下部付近に設けられていてもよい。
【０００９】
本発明のインクジェットヘッドは、ノズルと、該ノズルに連通し、インクが充填されるインク室と、該インク室の一壁をなす振動板と、該振動板を挟んで前記インク室とは反対側で前記振動板に、該振動板とはギャップを介して対向する電極と、を備え、前記電極と前記振動板との間に発生させた静電気力で前記振動板を変形させることにより、前記インク室内の前記インクに圧力を加えて、当該インクを前記ノズルからインク滴として吐出するインクジェットヘッドであって、前記インク室を構成するとともに前記振動板を底部とする第１の凹部を有する第１の基板と、前記電極が形成され、前記第１の基板に接合された第２の基板と、前記第１の基板及び前記第２の基板が接合された状態で前記振動板によって前記第１の凹部から隔てられるとともに、前記振動板及び前記電極間の前記ギャップを含む空間であって、気密封止された振動室と、を有し、前記第１の基板は、前記振動室に連通し、前記振動室の容積を拡張する第２の凹部と、前記第１の凹部及び前記第２の凹部間を隔てる隔壁と、を有することを特徴とする。
【００１０】
上記のインクジェットヘッドでは、前記ノズルは複数設けられ、前記インク室、前記振動板、前記電極、前記第１の凹部、前記第２の凹部、前記振動室及び前記隔壁は前記複数のノズルに対応して複数独立して設けられていてもよい。
【００１１】
上記のインクジェットヘッドでは、前記第２の基板は、前記振動室に連通する溝と、該溝内に形成され、前記電極に接続されたリードとを有していてもよい。
【００１２】
上記のインクジェットヘッドでは、前記第１の基板がシリコンであってもよい。
【００１３】
上記のインクジェットヘッドでは、前記第２の凹部を構成する壁面は、シリコンの（１１１）面で構成されていてもよい。
【００１４】
本発明のインクジェット記録装置は、上記のインクジェットヘッドと、前記振動板を駆動する駆動回路と、を有することを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を用いて本発明を詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図であり、一部断面図で示してある。図２は図１のＡ部の拡大図、図３は図１の実施例のインクジェットヘッドの組立て後の斜視図、図４は図１の実施例のインクジェットヘッドの断面側面図であり、図５は図４のＡ−Ａ断面図である。本実施例はインク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジイジェクトタイプの例を示すものであるが、基板の上面部に設けたノズル孔からインク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプのものでもよい。本実施例のインクジェットヘッド１０は次に詳述する構造を持つ３枚の基板１、２、３を重ねて接合した積層構造となっている。
【００１７】
中間の第１の基板１は、シリコン基板であり、複数のノズル孔４を構成するように、基板１の表面に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝１１と、各々のノズル溝１１に連通し、底壁を振動板５とする吐出室６を構成することになる凹部１２と、凹部１２の後部に設けられたインク流入口のための細溝１３と、各々の吐出室６にインクを供給するための共通のインクキャビティ８を構成することになる凹部１４とを有する。そして、凹部１４の後方にはインク流入口１３ａが設けられており、これはノズル孔４よりも小さい寸法から構成されており、インク内のごみがヘッド内に入るのを防止するフィルタとしての機能も発揮する。なお、細溝１３は、第１の基板１と第３の基板３とが接合されるとオリフィス７を構成することになる。さらに、基板１の下面には、基板２と接合することにより、後述する振動室９と連通する第２のキャビティ４０を構成することになる凹部４１がノズル溝１１と対向する位置に配置されている。
【００１８】
また、第１の基板１への共通電極１７の付与については、半導体及び電極である金属の材料による仕事関数の大小が重要であり、本実施例では共通電極材料にはチタンを下付けとし白金、又はクロムを下付けとし金を使用しているが、本実施例に限定されるものではなく、半導体及び電極材料の特性により別の組合わせでもよい。なお、振動板５は、第１の基板１にボロンドープしてエッチストップさせることにより形成されており、薄く均一な厚さのものが得られている。
【００１９】
また、図２に示すように、第１の基板１には共通電極１７を除く全面に厚さ１μｍ程度に酸化膜２４が形成され、これはインクジェットヘッドの駆動時に振動板５と後述する個別電極２１とが接触した場合に、絶縁破壊、ショート等を防止するための絶縁層として機能する。
【００２０】
第１の基板１の下面に接合される下側の第２の基板２にはホウ珪酸系ガラスを使用し、第２の基板２の上面には振動室９を構成することになる凹部１５が設けられている。本実施例においては、振動板５とこれに対向して配置される個別電極２１との対向距離、即ちギャップ部１６の長さＧ（図３参照、以下「ギャップ長」と記す。）が、凹部１５の深さと個別電極２１の厚さとの差になるように、間隔保持手段を第２の基板２の上面に形成した振動室用の凹部１５により構成されている。
【００２１】
また、別の例として凹部の形成は第１の基板１の下面でもよい。ここでは、凹部１５の深さをエッチングにより０．３μｍとしている。なお、ノズル溝１１のピッチは０．１４ｍｍであり、その幅は３０μｍである。
【００２２】
この第２の基板２を第１の基板１に接合することによって振動室９とそれに連通する第２のキャビティ４０を構成するとともに、第２の基板２上の振動板５に対応する各々の位置に、金を０．１μｍスパッタし、振動板５とほぼ同じ形状に金パターンを形成して個別電極２１としている。個別電極２１は、リード部２２及び端子部２３を備えている。リード部２２は、電極２１が形成されている凹部１５と同じ深さの溝の底面に形成されており、第１の基板と第２の基板を接合することにより、この溝の部分に第１のキャビティ２２ａが形成される。なお、これらの電極等２１、２２、２３の材料は金の代わりにＩＴＯ等の酸性導電膜でもよい。
【００２３】
第１の基板１の上面に接合される上側の第３の基板３は、第２の基板２と同じくホウ珪酸系ガラスを用いている。この第３の基板３の接合によって、ノズル孔４、吐出室６、オリフィス７及びインクキャビティ８が構成される。
【００２４】
次に、第１の基板１と第２の基板２を温度２７０〜４００℃、電圧５００〜８００Ｖの印可で陽極接合し、また同条件で第１の基板１と第３の基板３とを接合し、図３のようにインクジェットヘッドを組み立てる。陽極接合後に、振動板５と第２の基板２上の個別電極２１との間に形成されるギャップ長Ｇは、上述のように凹部１５の深さと個別電極２１の厚さとの差であり、本実施例では０．２μｍとしてある。
【００２５】
上記のようにインクジェットヘッドを組み立てた後は、図３又は図４に示されるように、共通電極１７と個別電極２１の端子部２３間にそれぞれ配線（ＦＰＣ：フレキシブル・プリント・サーキット）１０１により駆動回路１０２を接続する。配線１０１と電極１７，２３との接合手段として、本実施例においては異方性導電膜を使用している。振動室９には窒素ガスが挿入され、絶縁封止剤３０により気密封止されている。本実施例においては端子部２３の近傍、即ち第１のキャビティ２２ａの端にて封止されており、振動室９及び第２のキャビティ４０、第１のキャビティ２２ａの容積がアクチュエータの容積に含まれるように構成されている。本実施例では、インク１０３は、図示しないインクタンクよりインク供給管３３、インクジェットヘッド後部に外嵌されたインク供給容器３２を経て第１の基板１の内部に供給され、インクキャビティ８、吐出室６等を満たしている。そして、吐出室６のインクは、図４に示されるように、インクジェットヘッド１０の駆動時にノズル孔４よりインク液滴１０４となって吐出され、記録紙１０５に印字される。
【００２６】
本実施例では、前述のようにアクチュエータは気密構造となっているが、この場合以下に示す理由により、振動板５による排除体積ΔＶとアクチュエータの容積Ｖとの比ΔＶ／Ｖの値を十分に小さく抑えることが望ましい。以下にその理由を説明する。
【００２７】
図６は振動板５の動作説明図である。本実施例においては、共通電極１７と個別電極２１の間に電圧を印加することにより、共通電極１７と導通している振動板５と個別電極２１との間に静電気力を発生させ、振動板５を変形させることでインクの吐出力を得ている。アクチュエータの静電吸引圧力Ｐｅは次式で表される。ただし、ε０：真空中の誘電率（８．８５×１０−１２（Ｆ／ｍ））、Ｖｈ＝印加電圧（＝駆動電圧）、εｒ＝アクチュエータ内の比誘電率、である。本実施例においては、Ｖｈ＝３５（Ｖ）、εｒ＝約１、Ｇ＝０．２（μｍ）である。
【００２８】
【数１】

【００２９】
上式はアクチュエータの静電吸引圧力Ｐｅは、振動板５が個別電極２１に接近するにつれ増加することを示しており、逆に、振動板５が個別電極２１から離れている時には、印加電圧に対して効率のよい圧力を発生することはできないことを意味している。
【００３０】
次に、アクチュエータが気密構造になっている場合、振動板５の変形による排除体積ΔＶにより、アクチュエータ内圧力は増加する。この圧力増加量ΔＰは次式で表される。ただし、Ｐ０：大気圧、Ｐｉ：アクチュエータ内圧力、Ｖ：アクチュエータの容積である。
【００３１】
【数２】

【００３２】
上式は、ΔＶ／Ｖの値が大きくなるほど、アクチュエータ内圧力増加量ΔＰの値も増加することを示しており、このΔＰは振動板５が個別電極２１に接近するのを阻害する方向に働く。
【００３３】
図７は、本実施例におけるインクの吐出過程を示す図である。本実施例においては、振動板５を個別電極２１で吸引することで吐出室６を拡大する方向に変形させ、インクをいったんノズルの中へ引き込ませてから吸引圧力を解除し、弾性によって振動板を復元する方向で働く圧力によってインクを吐出するという過程を経る。
【００３４】
振動板５に対する吸引圧力が解除された後の、インクの先端部（メニスカス）の動きは、自由振動する振動板の変位量と比例するため、インクの吐出量は振動板の吸引過程で引き込まれたインク先端部の移動容積で決まることとなる。
【００３５】
インク吐出過程において、振動板の変形による排除体積ΔＶは、上述の引き込まれたインク先端部の移動容積とインクキャビティ８からオリフィス７を通り吐出室に流れ込むインクの容積の２方向から補充されるが、この両者の配分は以下の理由により、振動板の吸引時間により決定する。
【００３６】
インクの先端部をノズル内に引き込もうとする時、同先端部にはメニスカスの表面張力がインクを引き込むのを阻害する方向に働くこととなる。この作用のため、振動板が同じ排除体積だけ変形する場合、変形に要する時間が短かいほど、インク先端部の移動容量は大きくなり、吐出効率を増加させることができる。
【００３７】
印加電圧を上げることなく、所定の剛性を持つ振動板を、所定の排除体積ΔＶだけ変形させるのに要する時間を短縮する方法としては、振動板吸引圧力Ｐｅを阻害する方向に働く前述のΔＰを小さくすることが最も効果的である。従って、ヘッドを設計するにあたり、前述のΔＶ／Ｖの値をできるだけ小さくすることが望ましいこととなる。
【００３８】
ΔＶ／Ｖの値を小さな値にするために、本実施例では、振動室９や第１のキャビティ２２ａとは別個に第２のキャビティ４０を設け、気密化したアクチュエータの容積Ｖを拡大させている。本実施例においては、振動室９や第１のキャビティ２２ａを合わせた容積の１０倍の容積を持つ第２のキャビティ４０を設けることで、１０℃環境下で３０ｎｇのインク吐出重量を確保するのに必要な印加電圧を３８Ｖから３５Ｖに低減させている。
【００３９】
また、本実施例においては、上記第２のキャビティ４０は、第１の基板１の下面に、接合したとき第２の基板２の振動室９と連通するように設けている。アクチュエータの容積Ｖを増加させるためのキャビティを振動室９と同じ第２の基板２上に設けようとすると、効果的な容積を確保するためにヘッドサイズを大きくする必要が生じ、ヘッドのウエハからの取り数を減少させなければ実現できないが、このようなキャビティを第１の基板１の下面に設けた場合、第２の基板２に設ける時に比べ深い凹部を作成することができるため、ヘッドサイズを変えることなく容易に大きな容積を確保することが可能になる。
【００４０】
また、本実施例においては、上記の第１の基板１の下面に構成する第２のキャビティ４０をシリコンの異方性エッチングを用いて形成しており、同じくシリコンの異方性エッチングを用いて形成している同基板の上面のノズル孔４、吐出室６、オリフィス７、インクキャビティ８、インク流入口１３ａを構成する凹部や溝部と１度のエッチング工程で加工することが可能となる。このことにより、第２のキャビティ４０作成における製造工数や製造コストの増加を抑制することができる。
【００４１】
また、本実施例においては、上記の第２のキャビティ４０のシリコンの異方性エッチングにおいて、エッチング面としてシリコンの（１１１）エッチング面を使用している。シリコンの（１１１）エッチング面は、他のエッチング面と比較してエッチングレートが極めて小さいため、同面の使用によって非常に高精度なキャビティの加工が可能となり、さらに高密度なパターン形成が可能となる。
【００４２】
図８は、本発明のインクジェットヘッドの他の実施形態を示す断面図である。
【００４３】
インクジェットヘッド２１０は、フェースイジェクションタイプのインクジェットヘッドであり、ノズル２０４は、１列に６４個等間隔に配置されたノズルがノズルプレート２０３上に２列形成されている。上述した実施形態のインクジェットヘッド１０と同様に、３枚の基板２０１，２０２，２０３を接合することによりインクジェットヘッド２１０が構成される。
【００４４】
ノズルプレート２０３は、表面が１００面のシリコン基板であり、ノズル２０４はエッチングにより形成される。流路基板２０１は、振動板２０５側の面には高濃度のボロンがドープされた結晶方位１１０面のシリコン基板であり、上述した実施形態のインクジェットヘッド１０と同様に、異方性エッチングを用いて、吐出室２０６、振動板２０５等が区画形成されている。電極基板２０２は、ホウ珪酸ガラス製の基板であり、底面に個別電極２２１が形成された振動室２０９が設けられている。なお、基板２０１と２０２は陽極接合により、基板２０１と２０３は接着剤にて接合される。
【００４５】
流路基板２０６の吐出室２０６の底面（振動板２０５）は１１０面が露出しているが、側壁２０６ａはエッチング速度の遅い１１１面により構成される。このため、図示のように吐出室２０６の側壁は底壁に対して傾斜した斜面となり、流路基板２０１の２列に配置されたノズル２０４の下部付近には比較的肉厚の大きな部分ができる。本実施形態では、この比較的肉厚の大きな部分にキャビティ２４０を設けてある。キャビティ２４０は、流路基板２０１の裏側（吐出室の反対側）から異方性エッチングを行うことにより形成される。キャビティ２４０となる凹部の壁面２４０ａは全て１１１面からなるため、精度良く空気室を形成することが可能である。即ち、振動室２０９、キャビティ２４０等の和からなる各アクチュエータ容積Ｖがばらつくことをおさえることができる。
【００４６】
また、ノズル間ピッチが非常に小さく、電極パターン等も高密度に集積されたヘッドでは、電極基板２０２内に効果的かつ、アクチュエータ間に均等に容積を増加させるキャビティを設けることは難しいが、本実施形態のように、ノズル２０４の下付近において、流路基板２０１の裏面にキャビティを設けることにより、ヘッドサイズを大きくすることなく、効果的に、かつ各アクチュエータ間に均等にキャビティを付加することが可能である。
【００４７】
なお、フェースイジェクションタイプのインクジェットヘッドは、基本構造や動作原理において第１の実施例、即ち、エッジイジェクションタイプのインクジェットヘッドと等価であり、単にノズルの位置とその配列が相違するのみであるので、詳細な説明を省略する。即ち、エッジイジェクションタイプのインクジェットヘッドに関する説明は、ノズル位置及び配列に関するものを除いて、フェースイジェクションタイプにも該当するものである。
【００４８】
また、以上の実施形態では、第２のキャビティを振動室に連通するように構成したが、これに限らず、底壁に電極につながるリードが設けられた第１のキャビティに連通するように構成しても良い。
【００４９】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、まずアクチュエータが気密構造になるため、振動板の駆動時に空気中の塵埃がヘッド内に侵入するおそれがなくなっている。また、振動室に連通したキャビティを設けることによって、アクチュエータの容積を、駆動時に振動板によって排除される容積に対して十分大きくとることができるため、駆動時のアクチュエータ内の圧力上昇が少なく、インク吐出に必要な吐出力を十分に確保することが可能になるため、印字品質及び信頼性に優れたインクジェットヘッドを得ることができる。
【００５０】
また、本発明によれば、上記のキャビティをインク流路、振動板が形成されるのと同一の基板上に形成するようにしたため、小さな領域に大きな容積のキャビティを構成することができるようになり、ヘッドサイズを大きくすることなく、十分な大きさのキャビティを確保することができる。
【００５１】
また、本発明によれば、上記のインク流路、振動板が形成されるのと同一の基板上に形成するキャビティを、シリコンの異方性エッチングを用いて作成するようにしたため、キャビティとインク流路、振動板をエッチング工程１回で形成することが可能となり、製造工数やコストを抑制することができる。
【００５２】
また、本発明によれば、上記のシリコンの異方性エッチングの面にエッチングレートが極めて小さい（１１１）面を用いるようにしたため、更に精度の高いキャビティの加工ができるようになり、より高密度のパターン形成が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】図１の実施例のインクジェットヘッドの組立て後の斜視図である。
【図４】図１のインクジェットヘッドの断面側面図である。
【図５】図５は図４のＡ−Ａ断面図である。
【図６】図１の実施例における振動板の動作説明図である。
【図７】図１の実施例におけるインクの吐出過程説明図である。
【図８】本発明のインクジェットヘッドの他の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１第1の基板
２第2の基板
５振動板
６吐出室
９振動室
３０絶縁封止剤
４０空気室

Claims

ノズルからインク滴を吐出し、記録媒体上に印刷を行うインクジェット記録装置において、
振動板が形成された第１の基板と、
電極が形成され、前記第１の基板に接合される第２の基板と、
当該第２の基板を前記第１の基板に接合した際に、前記電極は、前記振動板と所定のギャップをもって対向し、これにより形成されるキャパシタと、
前記キャパシタに充電、放電を行い、前記振動板を静電気力により変形させ、それにより、前記ノズルからインク滴を吐出する駆動回路と、
前記第２の基板に形成され、前記駆動回路を前記電極に接続するためのリードと、
前記振動板によって形成される壁面と、前記電極が付設された壁面とを含む振動室と、
リードが付設された壁面を含み、前記振動室と連通する第１のキャビティとを備え、
前記振動室は、気密封止されており、更に、前記振動室もしくは、前記第１のキャビティに連通する第２のキャビティを備え、前記第２のキャビティは、前記第１の基板に形成されることにより、気密封止された部分の圧力上昇を少なくすることを特徴とするインクジェット記録装置。
請求項１に記載のインクジェット記録装置において、前記第１の基板はシリコンであることを特徴とするインクジェット記録装置。
請求項２に記載のインクジェット記録装置において、前記第２のキャビティを構成する壁面は、シリコンの（１１１）面で構成されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、前記第２のキャビティが、前記ノズルの下部付近に設けられていることを特徴とするインクジェット記録装置。
ノズルと、
該ノズルに連通し、インクが充填されるインク室と、
該インク室の一壁をなす振動板と、該振動板を挟んで前記インク室とは反対側で前記振動板に、該振動板とはギャップを介して対向する電極と、を備え、前記電極と前記振動板との間に発生させた静電気力で前記振動板を変形させることにより、前記インク室内の前記インクに圧力を加えて、当該インクを前記ノズルからインク滴として吐出するインクジェットヘッドであって、
前記インク室を構成するとともに前記振動板を底部とする第１の凹部を有する第１の基板と、
前記電極が形成され、前記第１の基板に接合された第２の基板と、
前記第１の基板及び前記第２の基板が接合された状態で前記振動板によって前記第１の凹部から隔てられるとともに、前記振動板及び前記電極間の前記ギャップを含む空間であって、気密封止された振動室と、を有し、
前記第１の基板は、前記振動室に連通し、前記振動室の容積を拡大する第２の凹部と、前記第１の凹部及び前記第２の凹部間を隔てる隔壁と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルは複数設けられ、前記インク室、前記振動板、前記電極、前記第１の凹部、前記第２の凹部、前記振動室及び前記隔壁は前記複数のノズルに対応して複数独立して設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項５又は６に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第２の基板は、前記振動室に連通する溝と、該溝内に形成され、前記電極に接続されたリードとを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項５乃至７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第１の基板がシリコンであることを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項８に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第２の凹部を構成する壁面は、シリコンの（１１１）面で構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項５乃至９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記振動板を駆動する駆動回路と、を有することを特徴とするインクジェット記録装置。