JP3981125B2 - Multilayer chip varistor and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は、積層型チップバリスタ及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a multilayer chip varistor and a method for manufacturing the same.

従来の積層型チップバリスタの一種として、例えば特許文献1に記載されているように、バリスタ層と当該バリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有する積層体と、当該積層体の表面に形成されると共に内部電極に接続される外部電極とを備えるものが知られている。特許文献1には、次のようなバリスタの製造方法が開示されている。まず、バリスタ層となるグリーンシートと内部電極となる電極層とを有すると共に、電極層がグリーンシートを挟むように配置されたグリーン積層体を形成する。続いて、このグリーン積層体を焼成し、焼成体を得る。そして、この焼成体を上述した積層体とし、表面に外部電極を形成する。
特開2002−246207号公報
As one type of conventional multilayer chip varistors, for example, as described in Patent Document 1, a laminate having a varistor layer and an internal electrode arranged so as to sandwich the varistor layer, and a surface of the laminate What is known is provided with an external electrode formed and connected to an internal electrode. Patent Document 1 discloses the following varistor manufacturing method. First, a green laminate having a green sheet to be a varistor layer and an electrode layer to be an internal electrode and an electrode layer disposed so as to sandwich the green sheet is formed. Subsequently, the green laminate is fired to obtain a fired body. Then, this fired body is used as the above-described laminate, and external electrodes are formed on the surface.
JP 2002-246207 A

本発明は、静電容量のばらつきが少ない積層型チップバリスタ及びその製造方法を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a multilayer chip varistor with little variation in capacitance and a method for manufacturing the same.

発明者らは鋭意検討した結果、静電容量のばらつきは以下の理由によるものであると推測するに至った。   As a result of intensive studies, the inventors have inferred that the variation in capacitance is due to the following reasons.

外部電極を形成する前に、静電容量を調整する目的で、焼成体の内部にアルカリ金属を拡散させることがある。従来、アルカリ金属を拡散する際には、複数個の焼成体とアルカリ金属化合物とを入れた密閉回転ポットを回転させて、焼成体同士を衝突及び接触させる。これにより、焼成体の表面にはアルカリ金属化合物がこすり付けられて付着することとなるが、焼成体の角部分には平面部分と比べてアルカリ金属化合物が付着しにくい。そのため、焼成体において、角部分のアルカリ金属化合物の付着具合にばらつきが生じてしまう可能性がある。このような焼成体では、静電容量にばらつきが生じてしまう。焼成体の静電容量にばらつきが生じると、この焼成体を積層体として用いた積層型チップバリスタもまた、静電容量がばらついたものとなる。   Before forming the external electrode, an alkali metal may be diffused into the fired body for the purpose of adjusting the capacitance. Conventionally, when diffusing an alkali metal, a sealed rotating pot containing a plurality of fired bodies and an alkali metal compound is rotated to cause the fired bodies to collide and contact each other. As a result, the alkali metal compound is rubbed and adhered to the surface of the fired body, but the alkali metal compound is less likely to adhere to the corner portion of the fired body than the flat portion. Therefore, in the fired body, there is a possibility that variation occurs in the degree of adhesion of the alkali metal compound at the corners. In such a fired body, variations in capacitance occur. When variation occurs in the capacitance of the fired body, the multilayer chip varistor using the fired body as a laminated body also varies in capacitance.

本発明者らはこれらの知見に基づいて更に研究を進め、以下の発明により上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have further studied based on these findings, found that the above-described problems can be solved by the following invention, and have completed the present invention.

すなわち、本発明に係る積層型チップバリスタの製造方法は、バリスタ層と当該バリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有する積層体と、当該積層体の表面に形成されると共に内部電極に接続される外部電極とを備える積層型チップバリスタの製造方法であって、バリスタ層となるグリーンシートと内部電極となる電極層とを有すると共に、電極層がグリーンシートを挟むように配置されたグリーン積層体を形成する第1の工程と、グリーン積層体の角部分が所定の曲率半径を有するよう当該角部分に面取り加工を施す第2の工程と、面取り加工が施されたグリーン積層体を焼成して、積層体を得る第3の工程と、積層体の表面から当該積層体の内部にアルカリ金属を拡散させる第4の工程と、アルカリ金属を拡散した後、積層体の表面に外部電極を形成する第5の工程と、を有しており、第2の工程では、グリーン積層体の角部分の曲率半径Rと、グリーン積層体においてその積層方向と垂直な側面の短辺の長さWとの関係が、
0.188<(R/W)<0.375
を満たすように面取り加工を施すことを特徴とする。
That is, the method for manufacturing a multilayer chip varistor according to the present invention includes a multilayer body having a varistor layer and an internal electrode disposed so as to sandwich the varistor layer, and is formed on the surface of the multilayer body and formed on the internal electrode. A method for manufacturing a multilayer chip varistor comprising external electrodes to be connected, comprising a green sheet as a varistor layer and an electrode layer as an internal electrode, wherein the electrode layer is disposed so as to sandwich the green sheet A first step of forming a laminate, a second step of chamfering the corner portion of the green laminate so that the corner portion has a predetermined radius of curvature, and firing the chamfered green laminate body Then, the third step of obtaining the laminate, the fourth step of diffusing the alkali metal from the surface of the laminate into the laminate, and after diffusing the alkali metal, A fifth step of forming an external electrode on the surface. In the second step, the curvature radius R of the corner portion of the green laminated body and the short side surface perpendicular to the lamination direction in the green laminated body are included. The relationship with the side length W is
0.188 <(R / W) <0.375
It is characterized by chamfering so as to satisfy.

本発明に係る積層型チップバリスタの製造方法では、グリーン積層体に対してR/Wが0.188よりも大きい値となるように面取り加工を行った後、焼成する。これにより、面取り加工が施された積層体を得ることができる。得られた積層体を、第4の工程で、例えば、アルカリ金属化合物を付着させるために密閉回転ポットに入れる。面取り加工が施された積層体は、密閉回転ポット内でスムーズに回転するため、積層体の表面にはアルカリ金属化合物が均一に付着することとなる。その結果、静電容量のばらつきが少ない積層体を得ることができる。このような積層体に外部電極を形成することによって、静電容量のばらつきが少ない積層型チップバリスタを得ることができる。   In the method for manufacturing a multilayer chip varistor according to the present invention, the green laminate is subjected to chamfering so that the R / W is larger than 0.188, and then fired. Thereby, the laminated body in which the chamfering process was performed can be obtained. The resulting laminate is placed in a closed rotating pot in the fourth step, for example, to deposit an alkali metal compound. Since the laminate subjected to the chamfering process rotates smoothly in the sealed rotating pot, the alkali metal compound uniformly adheres to the surface of the laminate. As a result, it is possible to obtain a stacked body with little variation in capacitance. By forming external electrodes on such a laminate, a multilayer chip varistor with little variation in capacitance can be obtained.

ところで、製造後の積層型チップバリスタは、キャリアテープの収容凹部に収容される。積層体の角部分に丸みをつけすぎると、振動等によって積層型チップバリスタが収容凹部内で傾くことがある。この場合、収容凹部内の積層型チップバリスタを吸着等によって高速に取り出し回路基板等へ実装するときに、吸着がうまくいかず、実装効率の低下を招くおそれがある。本発明に係る積層型チップバリスタの製造方法では、グリーン積層体のR/Wを0.375よりも小さい値としているので、積層体の角部分の丸みが適度なものとなる。その結果、位置の安定性が高い積層体を得ることができる。よって、収容凹部内で傾くことが少ない積層型チップバリスタを製造することが可能となる。   By the way, the manufactured multilayer chip varistor is accommodated in the accommodating recess of the carrier tape. If the corners of the laminated body are excessively rounded, the laminated chip varistor may be tilted in the accommodating recess due to vibration or the like. In this case, when the multilayer chip varistor in the housing recess is taken out at a high speed by suction or the like and mounted on a circuit board or the like, the suction is not successful and there is a possibility that the mounting efficiency is lowered. In the manufacturing method of the multilayer chip varistor according to the present invention, since the R / W of the green multilayer body is set to a value smaller than 0.375, the roundness of the corner portion of the multilayer body becomes appropriate. As a result, a laminate with high positional stability can be obtained. Therefore, it is possible to manufacture a multilayer chip varistor that hardly tilts in the housing recess.

また、本発明に係る積層型チップバリスタの製造方法では、第2の工程は、バレル研磨によって積層体の角部分に面取り加工を施すことが好ましい。バレル研磨を用いれば、複数の積層体に対して同時に面取り加工を施すことができる。よって、効率よく面取り加工を行うことが可能となる。   In the method for manufacturing a multilayer chip varistor according to the present invention, it is preferable that the second step be chamfered at the corners of the multilayer body by barrel polishing. If barrel polishing is used, it is possible to simultaneously chamfer a plurality of laminated bodies. Therefore, it becomes possible to perform chamfering efficiently.

本発明に係る積層型チップバリスタは、バリスタ層と当該バリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有する積層体と、積層体の表面に形成されると共に内部電極に接続される外部電極と、を備え、積層体の表面及び内部にはアルカリ金属が拡散されており、積層体の角部分の曲率半径Rと、積層体においてその積層方向と垂直な側面の短辺の長さWとの関係が、
0.188<(R/W)<0.375
を満たすことを特徴とする。
A multilayer chip varistor according to the present invention includes a multilayer body having a varistor layer and an internal electrode disposed so as to sandwich the varistor layer, and an external electrode formed on the surface of the multilayer body and connected to the internal electrode. The alkali metal is diffused on the surface and inside of the laminated body, and the curvature radius R of the corner portion of the laminated body and the length W of the short side of the side surface perpendicular to the laminating direction in the laminated body Relationship
0.188 <(R / W) <0.375
It is characterized by satisfying.

本発明の積層型チップバリスタは、バリスタ層と内部電極とを有する積層体を備えている。このような積層体は、例えば、バリスタ層となるグリーンシートと内部電極となる電極層とを有するグリーン積層体を焼成することで作られる。この場合、積層体は、焼成によってグリーン積層体が全体的に収縮したものであるから、角部分の曲率半径と側面の短辺の長さとの比が上述の式を満たすように面取り加工されたグリーン積層体を用いれば、所望の積層体を得ることができる。積層体は、R/Wを0.188よりも大きくすると、アルカリ金属を拡散する際、密閉回転ポット内でスムーズに回転するようになる。よって、アルカリ金属化合物が均一に付着するため、静電容量のばらつきが少ない積層体を得ることができる。その結果、静電容量のばらつきが少ない積層型チップバリスタを得ることができる。また、積層体は、R/Wを0.375よりも小さくすると、位置の安定性が高くなる。その結果、キャリアテープの収容凹部内で傾くことが少ない積層型チップバリスタを得ることができる。   The multilayer chip varistor of the present invention includes a multilayer body having a varistor layer and internal electrodes. Such a laminate is produced, for example, by firing a green laminate having a green sheet as a varistor layer and an electrode layer as an internal electrode. In this case, since the green laminate is entirely contracted by firing, the laminate was chamfered so that the ratio between the radius of curvature of the corner portion and the length of the short side of the side satisfies the above formula. If a green laminated body is used, a desired laminated body can be obtained. When the R / W is larger than 0.188, the laminate rotates smoothly in the sealed rotating pot when the alkali metal is diffused. Therefore, since an alkali metal compound adheres uniformly, a laminate with little variation in capacitance can be obtained. As a result, a multilayer chip varistor with little variation in capacitance can be obtained. In addition, when the R / W is smaller than 0.375, the laminated body has high positional stability. As a result, it is possible to obtain a multilayer chip varistor that hardly tilts in the receiving recess of the carrier tape.

本発明によれば、静電容量のばらつきが少ない積層型チップバリスタ及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a multilayer chip varistor with little variation in capacitance and a method for manufacturing the same.

以下、添付図面を参照して、本発明に係る積層型チップバリスタの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of a multilayer chip varistor according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.

まず、図1を参照して、本実施形態に係る積層型チップバリスタ1の構成を説明する。図1は、本実施形態に係る積層型チップバリスタの断面構成を説明する図である。図2は、本実施形態に係る積層型チップバリスタに含まれる積層体の斜視図である。   First, the configuration of the multilayer chip varistor 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the multilayer chip varistor according to the present embodiment. FIG. 2 is a perspective view of a multilayer body included in the multilayer chip varistor according to the present embodiment.

積層型チップバリスタ1は、図1に示されるように、積層体L3と、当該積層体L3において対向する端面にそれぞれ形成される一対の外部電極5とを備えている。   As shown in FIG. 1, the multilayer chip varistor 1 includes a multilayer body L3 and a pair of external electrodes 5 that are respectively formed on opposite end surfaces of the multilayer body L3.

積層体L3は、バリスタ特性を発現するバリスタ層11と、当該バリスタ層11を挟むように配置される一対の内部電極13とを有している。より具体的には、積層体L3は、バリスタ層11及び内部電極13を含むバリスタ部7と、当該バリスタ部7を挟むように配置される一対の外層部9とが積層されることにより構成されている。図2に示されるように、積層体L3の角部分4は円弧状となっており、所定の曲率半径を有している。積層体L3の角部分4の曲率半径Rと、積層体L3の積層方向と垂直な側面3aの短辺の長さWとは、以下の式(1)を満たしている。
0.188<(R/W)<0.375 …(1)
The multilayer body L3 includes a varistor layer 11 that exhibits varistor characteristics, and a pair of internal electrodes 13 that are disposed so as to sandwich the varistor layer 11 therebetween. More specifically, the multilayer body L3 is configured by laminating a varistor part 7 including the varistor layer 11 and the internal electrode 13 and a pair of outer layer parts 9 arranged so as to sandwich the varistor part 7. ing. As shown in FIG. 2, the corner portion 4 of the stacked body L3 has an arc shape and has a predetermined radius of curvature. The radius of curvature RL of the corner portion 4 of the multilayer body L3 and the length W L of the short side of the side surface 3a perpendicular to the stacking direction of the multilayer body L3 satisfy the following expression (1).
0.188 <(R L / W L ) <0.375 (1)

より具体的には、本実施形態に係る積層型チップバリスタ1はいわゆる1608タイプの積層型チップバリスタであって、積層体L3における側面3aの短辺の長さWが0.8mmに設定されているとすると、角部分4の曲率半径R(単位mm)は以下の式(2)で表されることとなる。
150<R<300 …(2)
More specifically, the multilayer chip varistor 1 according to the present embodiment is a so-called 1608 type multilayer chip varistor, and the length W L of the short side of the side surface 3a in the multilayer body L3 is set to 0.8 mm. If this is the case, the radius of curvature R L (unit: mm) of the corner portion 4 is expressed by the following formula (2).
150 <R L <300 (2)

図1に示されるように、バリスタ部7では、バリスタ層11と内部電極13とが交互に積層されている。バリスタ層11における一対の内部電極13に重なる領域11aがバリスタ特性を発現する領域として機能する。   As shown in FIG. 1, in the varistor part 7, the varistor layers 11 and the internal electrodes 13 are alternately stacked. A region 11 a overlapping the pair of internal electrodes 13 in the varistor layer 11 functions as a region that develops varistor characteristics.

バリスタ層11は、ZnO(酸化亜鉛)を主成分として含むと共に、副成分として希土類金属元素、Co、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)等の金属単体やこれらの酸化物を含む素体からなる。本実施形態において、バリスタ層11は、副成分としてPr、Co、Cr、Ca、Si、K、Al等を含んでいる。これにより、バリスタ層11における一対の内部電極13に重なる領域11aが、ZnOを主成分とすると共にPrを含む素体からなる領域を有することとなる。   The varistor layer 11 contains ZnO (zinc oxide) as a main component, and also includes rare earth metal elements, Co, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K) as subcomponents. , Rb, Cs) and alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and the like, and element bodies containing these oxides. In the present embodiment, the varistor layer 11 includes Pr, Co, Cr, Ca, Si, K, Al, and the like as subcomponents. As a result, the region 11a of the varistor layer 11 that overlaps the pair of internal electrodes 13 has a region that is composed of ZnO as a main component and that includes Pr.

Prは、バリスタ特性を発現させるための材料となる。Prを用いる理由は、電圧非直線性に優れ、また、量産時での特性ばらつきが小さいためである。バリスタ層11におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、バリスタ層11を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、通常、99.8〜69.0質量%である。バリスタ層11の厚みは、例えば5〜60μm程度である。   Pr is a material for expressing varistor characteristics. The reason for using Pr is that voltage non-linearity is excellent and characteristic variation during mass production is small. The content of ZnO in the varistor layer 11 is not particularly limited, but is usually 99.8 to 69.0% by mass when the total material constituting the varistor layer 11 is 100% by mass. The thickness of the varistor layer 11 is, for example, about 5 to 60 μm.

一対の内部電極13は、それぞれの一端部が積層体L3において対向する端面に交互に露出するように略平行に設けられている。各内部電極13は、上記各一端部において外部電極5と電気的に接続されている。この内部電極13は、導電材を含んでいる。内部電極13に含まれる導電材としては、特に限定されないが、PdまたはAg−Pd合金からなることが好ましい。内部電極13の厚みは、例えば0.5〜5μm程度である。積層型チップバリスタ1を低静電容量とする場合、内部電極13の重なり部分13aの面積は、積層体L3の積層方向から見て、通常0.001〜0.5mm、好ましくは0.002〜0.1mm程度である。 The pair of internal electrodes 13 are provided substantially in parallel so that the respective one end portions thereof are alternately exposed on the opposing end surfaces of the multilayer body L3. Each internal electrode 13 is electrically connected to the external electrode 5 at each one end. The internal electrode 13 includes a conductive material. The conductive material contained in the internal electrode 13 is not particularly limited, but is preferably made of Pd or an Ag—Pd alloy. The thickness of the internal electrode 13 is, for example, about 0.5 to 5 μm. When the multilayer chip varistor 1 has a low capacitance, the area of the overlapping portion 13a of the internal electrode 13 is usually 0.001 to 0.5 mm 2 , preferably 0.002 when viewed from the stacking direction of the stacked body L3. About 0.1 mm 2 .

外層部9は、バリスタ層11と同様に、ZnOを主成分として含むと共に、副成分として希土類金属元素、Co、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)等の金属単体やこれらの酸化物を含む素体からなる。本実施形態において、外層部9は、副成分としてPr、Co、Cr、Ca、Si、K、Al等を含んでいる。これにより、外層部9が、ZnOを主成分とすると共にPrを含む素体からなる領域を有することとなる。外層部9の厚みは、例えば0.30〜0.38mm程度である。   Similar to the varistor layer 11, the outer layer portion 9 contains ZnO as a main component and also includes rare earth metal elements, Co, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, and alkali metals as subcomponents. It consists of elemental bodies including simple metals such as elements (K, Rb, Cs) and alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and oxides thereof. In the present embodiment, the outer layer portion 9 includes Pr, Co, Cr, Ca, Si, K, Al, and the like as subcomponents. As a result, the outer layer portion 9 has a region composed of an element body containing Pr as a main component and containing Pr. The thickness of the outer layer portion 9 is, for example, about 0.30 to 0.38 mm.

外部電極5は、積層体L3の表面に形成されると共に内部電極13に接続されている。より具体的には、外部電極5は、積層体L3の両端面を覆うように設けられている。この外部電極5は、内部電極13を構成しているPd等の金属と電気的に良好に接続できる金属材料からなるものであると好ましい。例えば、Agは、Pdからなる内部電極13との電気的な接続性が良好であり、しかも積層体L3の端面に対する接着性が良好であることから、外部電極用の材料として好適である。このような外部電極5は、通常10〜50μm程度の厚さとされる。   The external electrode 5 is formed on the surface of the multilayer body L3 and is connected to the internal electrode 13. More specifically, the external electrode 5 is provided so as to cover both end faces of the multilayer body L3. The external electrode 5 is preferably made of a metal material that can be electrically connected to a metal such as Pd constituting the internal electrode 13 in an excellent manner. For example, Ag is suitable as a material for the external electrode because it has good electrical connectivity with the internal electrode 13 made of Pd and has good adhesion to the end face of the laminate L3. Such an external electrode 5 is normally about 10 to 50 μm thick.

外部電極5の表面には、当該外部電極5を覆うように、厚みが0.5〜2μm程度であるNiめっき層(図示省略)及び厚みが2〜6μm程度のSnめっき層(図示省略)等が順に形成されている。これらのめっき層は、主として積層型チップバリスタ1をはんだリフローにより基板等に搭載する際の、はんだ耐熱性やはんだ濡れ性を向上することを目的として形成されるものである。   On the surface of the external electrode 5, a Ni plating layer (not shown) having a thickness of about 0.5 to 2 μm and a Sn plating layer (not shown) having a thickness of about 2 to 6 μm so as to cover the external electrode 5. Are formed in order. These plating layers are formed mainly for the purpose of improving solder heat resistance and solder wettability when the multilayer chip varistor 1 is mounted on a substrate or the like by solder reflow.

外部電極5の表面に形成させるめっき層は、はんだ耐熱性やはんだ濡れ性を向上する目的が達成される限り、必ずしも上述した材料の組み合わせに限定されない。めっき層を構成し得るその他の材料としては、例えば、Sn−Pb合金等が挙げられ、上述のNiやSnと組み合わせて用いても好適である。また、めっき層は、必ずしも2層構造に限定されるものではなく、1層又は3層以上の構造を有するものであってもよい。   The plating layer formed on the surface of the external electrode 5 is not necessarily limited to the combination of materials described above as long as the purpose of improving solder heat resistance and solder wettability is achieved. Other materials that can form the plating layer include, for example, Sn—Pb alloy and the like, and may be used in combination with the above-described Ni or Sn. Further, the plating layer is not necessarily limited to the two-layer structure, and may have a structure of one layer or three or more layers.

続いて、図1〜図4を参照して、上述した構成を有する積層型チップバリスタ1の製造方法について説明する。図3は、本実施形態に係る積層型チップバリスタの製造方法を説明するためのフロー図である。図4は、本実施形態に係る積層型チップバリスタの製造方法を説明するための図である。   Then, with reference to FIGS. 1-4, the manufacturing method of the multilayer chip varistor 1 which has the structure mentioned above is demonstrated. FIG. 3 is a flowchart for explaining the manufacturing method of the multilayer chip varistor according to the present embodiment. FIG. 4 is a view for explaining the method of manufacturing the multilayer chip varistor according to this embodiment.

まず、グリーン積層体G3を形成する(ステップS100)。グリーン積層体G3を形成するにあたって、バリスタ層11及び外層部9の主成分であるZnO、及びPr、Co、Cr、Ca、Si、K及びAlの金属又は酸化物等の微量添加物を所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合してバリスタ材料を調整する(ステップS101)。その後、このバリスタ材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて20時間程度混合・粉砕を行ってスラリーを得る。   First, the green laminated body G3 is formed (step S100). In forming the green laminated body G3, ZnO which is a main component of the varistor layer 11 and the outer layer portion 9, and a trace amount additive such as Pr, Co, Cr, Ca, Si, K and Al metals or oxides are added in a predetermined manner. After weighing each so as to be a ratio, each component is mixed to adjust the varistor material (step S101). Then, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, etc. are added to this varistor material, and it mixes and grinds for about 20 hours using a ball mill etc., and obtains a slurry.

このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して厚さ30μm程度の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離してグリーンシートを得る(ステップS102)。   The slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a thickness of about 30 μm. The film thus obtained is peeled from the film to obtain a green sheet (step S102).

次に、このグリーンシート上に、内部電極13用の材料であるペースト状のPdをスクリーン印刷等の印刷法等により所定のパターンで塗布した後、この導電性ペーストを乾燥させて所定のパターンを有する電極層を作製する(ステップS103)。   Next, on the green sheet, paste-like Pd, which is a material for the internal electrode 13, is applied in a predetermined pattern by a printing method such as screen printing, and then the conductive paste is dried to form a predetermined pattern. An electrode layer is prepared (step S103).

次に、電極層が形成されたグリーンシートと、電極層が形成されていないグリーンシートとを所定の順序で重ねてシート積層体を形成する(ステップS104)。こうして得られたシート積層体を所望のサイズに切断して、グリーン積層体G3を得る(ステップS105)。得られたグリーン積層体3は、図4に示されるように、グリーンシートS1〜S3と電極層ELとを有し、電極層ELがグリーンシートS1,S3を挟むように配置されたものである。より具体的には、グリーン積層体G3では、電極層ELが形成されていない複数枚のグリーンシートS1、電極層ELが形成されたグリーンシートS2、電極層ELが形成されていない複数枚のグリーンシートS1、電極層ELが形成されたグリーンシートS3、電極層ELが形成されていない複数枚のグリーンシートS1の順に、これらのシートS1〜S3が積層されている。なお、グリーンシートS2とグリーンシートS3との間に、必ずしも電極層ELが形成されていないグリーンシートS1を積層する必要はない。   Next, the green sheet on which the electrode layer is formed and the green sheet on which the electrode layer is not formed are stacked in a predetermined order to form a sheet laminate (step S104). The sheet laminate thus obtained is cut into a desired size to obtain a green laminate G3 (step S105). As shown in FIG. 4, the obtained green laminate 3 includes green sheets S1 to S3 and an electrode layer EL, and the electrode layer EL is disposed so as to sandwich the green sheets S1 and S3. . More specifically, in the green laminate G3, a plurality of green sheets S1 on which no electrode layer EL is formed, a green sheet S2 on which an electrode layer EL is formed, and a plurality of green sheets on which no electrode layer EL is formed. These sheets S1 to S3 are laminated in the order of the sheet S1, the green sheet S3 on which the electrode layer EL is formed, and the plurality of green sheets S1 on which the electrode layer EL is not formed. Note that the green sheet S1 on which the electrode layer EL is not necessarily formed is not necessarily laminated between the green sheet S2 and the green sheet S3.

続いて、バレル研磨を用いてグリーン積層体G3に面取り加工を施す(ステップS106)。バレル研磨を用いることによって、複数の積層体に対して同時に効率よく面取り加工を施すことが可能となる。バレル研磨は、ポリエチレン等の材料からなる密閉回転ポットに水と複数のグリーン積層体G3とを入れ、この密閉回転ポットを回転させることにより行われる。密閉回転ポットを15分から1時間程度回転させることによって、角部分4の曲率半径Rとグリーン積層体G3の側面3aの短辺の長さWとの関係が、以下の式(2)を満たすグリーン積層体G3が得られる。
0.188<(R/W)<0.375 …(2)
Subsequently, the green laminate G3 is chamfered using barrel polishing (step S106). By using barrel polishing, it becomes possible to efficiently chamfer a plurality of laminated bodies simultaneously. Barrel polishing is performed by putting water and a plurality of green laminates G3 in a sealed rotating pot made of a material such as polyethylene and rotating the sealed rotating pot. By rotating about 15 minutes to 1 hour sealed rotary pot, the relationship between the length W G of the short side of the side surface 3a of the curvature of the corner portion 4 radius R G and the green laminate G3 is, the following equation (2) A green laminate G3 is obtained that fills.
0.188 <(R G / W G ) <0.375 (2)

次に、面取り加工を施したグリーン積層体G3に、180〜400℃、0.5〜24時間程度の加熱処理を実施して脱バインダを行う。脱バインダを行った後、さらに、1000〜1400℃、0.5〜8時間程度の焼成を行うことで(ステップS107)、積層体L3を得る。得られる積層体L3は、グリーン積層体G3が全体的に収縮したものであるため、積層体L3のR/Wはグリーン積層体G3のR/Wと同じ値となる。焼成により、グリーン積層体G3における電極層ELの間のグリーンシートS1,S3は、積層体L3のバリスタ層11となる。電極層ELは、内部電極13となる。積層体L3には、次の工程を実施する前に、研磨材等とともに研磨容器に入れるなどして素子表面の平滑処理を施してもよい。 Next, the green laminate G3 subjected to the chamfering process is subjected to heat treatment at 180 to 400 ° C. for about 0.5 to 24 hours to perform binder removal. After removing the binder, the laminate L3 is obtained by further firing at 1000 to 1400 ° C. for about 0.5 to 8 hours (step S107). Laminate L3 obtained is because green laminate G3 is obtained by overall contraction, R L / W L of the laminate L3 is the same value as R G / W G of the green laminate G3. By firing, the green sheets S1 and S3 between the electrode layers EL in the green laminate G3 become the varistor layers 11 of the laminate L3. The electrode layer EL becomes the internal electrode 13. The laminated body L3 may be smoothed on the surface of the element by, for example, placing it in a polishing container together with an abrasive or the like before performing the next step.

次に、積層体L3の表面から当該積層体L3の内部にアルカリ金属(例えば、Li、Na等)を拡散させる(ステップS108)。ここではまず、積層体L3の表面にアルカリ金属化合物を付着させる。アルカリ金属化合物の付着には、密閉回転ポットを用いることができる。アルカリ金属化合物としては、特に限定されないが、熱処理することにより、アルカリ金属が積層体L3の表面から内部電極13の近傍にまで拡散できる化合物であり、アルカリ金属の酸化物、水酸化物、塩化物、硝酸塩、硼酸塩、炭酸塩及び蓚酸塩等が用いられる。   Next, an alkali metal (for example, Li, Na, etc.) is diffused from the surface of the multilayer body L3 into the multilayer body L3 (step S108). Here, first, an alkali metal compound is attached to the surface of the laminate L3. A sealed rotating pot can be used for adhesion of the alkali metal compound. Although it does not specifically limit as an alkali metal compound, It is a compound which an alkali metal can diffuse from the surface of the laminated body L3 to the vicinity of the internal electrode 13 by heat processing, and an alkali metal oxide, hydroxide, chloride Nitrate, borate, carbonate, oxalate and the like are used.

続いて、このアルカリ金属化合物が付着している積層体L3を電気炉で、所定の温度及び時間で熱処理する。この結果、アルカリ金属化合物からアルカリ金属が積層体L3の表面から内部電極13の近傍にまで拡散する。好ましい熱処理温度は、700〜1000℃であり、熱処理雰囲気は大気である。また、熱処理時間(保持時間)は、好ましくは10分〜4時間である。   Subsequently, the laminate L3 to which the alkali metal compound is attached is heat-treated in an electric furnace at a predetermined temperature and time. As a result, the alkali metal diffuses from the surface of the multilayer body L3 to the vicinity of the internal electrode 13 from the alkali metal compound. A preferable heat treatment temperature is 700 to 1000 ° C., and the heat treatment atmosphere is air. The heat treatment time (holding time) is preferably 10 minutes to 4 hours.

次に、積層体L3の両端部に、一対の内部電極13のそれぞれに接するように、主としてAgを含む外部電極用ペーストを塗布した後、このペーストに対して550〜850℃程度の加熱(焼き付け)処理を行う。この結果、積層体L3の表面にはAgからなる一対の外部電極5が形成される(ステップS109)。この外部電極5の外側表面に、電解めっき等によりNiめっき層及びSnめっき層を順次積層する。こうして積層型チップバリスタ1が得られる。   Next, an external electrode paste mainly containing Ag is applied to both ends of the laminate L3 so as to be in contact with each of the pair of internal electrodes 13, and then the paste is heated (baked) at about 550 to 850 ° C. ) Process. As a result, a pair of external electrodes 5 made of Ag is formed on the surface of the multilayer body L3 (step S109). A Ni plating layer and a Sn plating layer are sequentially laminated on the outer surface of the external electrode 5 by electrolytic plating or the like. Thus, the multilayer chip varistor 1 is obtained.

以上のように、本実施形態の製造方法によれば、グリーン積層体G3の角部分4に面取り加工を施した後に、このグリーン積層体G3を焼成して積層体L3を得る。R/Wが0.188よりも大きい積層体L3は、密閉回転ポット内でスムーズに回転するので、表面にアルカリ金属化合物が均一に付着することとなる。よって、静電容量のばらつきが少ない積層体L3を得ることができる。このような積層体L3を用いることで、静電容量のばらつきが少ない積層型チップバリスタ1を製造することができる。 As described above, according to the manufacturing method of the present embodiment, after chamfering the corner portion 4 of the green laminate G3, the green laminate G3 is fired to obtain the laminate L3. Since the laminated body L3 having R L / W L larger than 0.188 rotates smoothly in the sealed rotating pot, the alkali metal compound adheres uniformly to the surface. Therefore, it is possible to obtain a stacked body L3 with little variation in capacitance. By using such a stacked body L3, it is possible to manufacture the stacked chip varistor 1 with less variation in capacitance.

なお、積層型チップバリスタ1は、キャリアテープの収容凹部に収容されて出荷される。積層体の角部分に丸みをつけすぎると、出荷時に生じる振動等によって、積層型チップバリスタが収容凹部内で傾くことがある。本発明では、積層体L3のR/Wを0.375よりも小さい値としているので、角部分4に適度な丸みを持った、位置の安定性が高い積層体L3を得ることができる。このような積層体L3を用いることで、収容凹部内で傾くことが少ない積層型チップバリスタ1を製造することが可能となる。 The multilayer chip varistor 1 is housed in a housing recess of the carrier tape and shipped. If the corners of the laminated body are excessively rounded, the laminated chip varistor may be tilted in the housing recess due to vibrations generated at the time of shipment. In the present invention, since R L / W L of the laminate L3 is set to a value smaller than 0.375, a laminate L3 having a moderate roundness in the corner portion 4 and having high positional stability can be obtained. . By using such a laminated body L3, it is possible to manufacture the laminated chip varistor 1 that hardly tilts in the housing recess.

以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしもこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した積層型チップバリスタ1は、一対の内部電極13がバリスタ層11を挟んだ構造を有していたが、本発明のバリスタは、このような構造が複数積層された積層型チップバリスタであってもよい。このような積層型のバリスタによれば、更なる静電気耐量の向上や更なる低電圧駆動等を図れるようになる。   The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not necessarily limited to these embodiments. For example, the above-described multilayer chip varistor 1 has a structure in which a pair of internal electrodes 13 sandwich a varistor layer 11, but the varistor of the present invention has a multilayer chip varistor in which a plurality of such structures are stacked. It may be. According to such a laminated varistor, it is possible to further improve electrostatic resistance, further drive at a low voltage, and the like.

ここで、本実施形態の積層型チップバリスタ1について、静電容量のばらつきが少なくなるという効果を確認するために、以下のような実験を行った。   Here, with respect to the multilayer chip varistor 1 of the present embodiment, the following experiment was conducted in order to confirm the effect that the variation in capacitance is reduced.

すなわち、積層体L3の角部分4の曲率半径Rと、積層体L3の側面3aの短辺の長さWとの比が異なる積層型チップバリスタ1を数種類用意し、静電容量のばらつきを調べた。実施例1〜5は、本実施形態の積層型チップバリスタ1と同じ構成を有する1608タイプの積層型チップバリスタであって、図3に示される製造過程に従い、且つ上述の条件にて製造されたものを示す。アルカリ金属拡散処理に関しては、積層体を、アルカリ金属化合物としてのLiCO粉末とともに、密閉回転ポットに入れて混合した。積層体L3の角部分の曲率半径Rと、積層体L3の側面3aの短辺の長さWについては、R/Wの値をそれぞれ0.219、0.250、0.281、0.313、0.344に設定した。 That is, several types of multilayer chip varistors 1 having different ratios of the radius of curvature R L of the corner portion 4 of the multilayer body L3 and the length W L of the short side of the side surface 3a of the multilayer body L3 are prepared, and the capacitance varies. I investigated. Examples 1 to 5 are 1608 type multilayer chip varistors having the same configuration as the multilayer chip varistor 1 of the present embodiment, and were manufactured according to the manufacturing process shown in FIG. Show things. Regarding the alkali metal diffusion treatment, the laminate was mixed with Li 2 CO 3 powder as an alkali metal compound in a sealed rotating pot. For the radius of curvature R L of the corner portion of the laminate L3 and the length W L of the short side of the side surface 3a of the laminate L3, the values of R L / W L are 0.219, 0.250, 0.281, respectively. , 0.313, and 0.344.

これに対して、比較例1〜3は、R/Wの値をそれぞれ0.125、0.156、0.188に設定した。R/Wの値を除いて、実施例1〜5と同様にして比較例1〜3の積層型チップバリスタを得た。   In contrast, in Comparative Examples 1 to 3, the R / W values were set to 0.125, 0.156, and 0.188, respectively. Except for the value of R / W, multilayer chip varistors of Comparative Examples 1 to 3 were obtained in the same manner as in Examples 1 to 5.

このようにして製造された積層型チップバリスタを用いて、静電容量Cのばらつきを各々測定した。なお、静電容量Cのばらつきは、σ/Xave×100(%)により求めた。ここで、σは標準偏差であり、Xaveは平均値である。測定の結果を図5に示す。 Using the multilayer chip varistor thus manufactured, the variation in the capacitance C was measured. In addition, the dispersion | variation in the electrostatic capacitance C was calculated | required by (sigma) / Xave * 100 (%). Here, σ is a standard deviation, and X ave is an average value. The measurement results are shown in FIG.

比較例1〜3の積層型チップバリスタでは、静電容量Cのばらつきが6.4〜35.0%であった。それに対して、実施例1〜5の積層型チップバリスタでは、静電容量Cのばらつきが5%未満と小さくなっている。   In the multilayer chip varistors of Comparative Examples 1 to 3, the variation in the capacitance C was 6.4 to 35.0%. On the other hand, in the multilayer chip varistors of Examples 1 to 5, the variation in the capacitance C is as small as less than 5%.

以上のことから、静電容量のばらつきが少なくなるという本発明の有効性が確認された。   From the above, the effectiveness of the present invention that the variation in capacitance is reduced was confirmed.

更に、本実施形態の積層型チップバリスタ1について、キャリアテープの収容凹部内で傾くことが少ないという効果を確認するために、以下のような実験を行った。   Furthermore, in order to confirm the effect that the stacked chip varistor 1 of the present embodiment is less likely to be tilted in the recessed portion of the carrier tape, the following experiment was conducted.

すなわち、(積層体L3の角部分4の曲率半径R)/(積層体L3の側面3aの短辺の長さW)の値が異なる積層型チップバリスタ1を数種類用意した。実施例6〜10は、本実施形態の積層型チップバリスタ1と同じ構成を有する1608タイプの積層型チップバリスタであって、それぞれは実施例1〜5と同じ条件にて製造されている。 That is, several types of multilayer chip varistors 1 having different values of (the radius of curvature R L of the corner portion 4 of the multilayer body L3) / (the length W L of the short side of the side surface 3a of the multilayer body L3) were prepared. Examples 6 to 10 are 1608 type multilayer chip varistors having the same configuration as the multilayer chip varistor 1 of the present embodiment, and each is manufactured under the same conditions as in Examples 1 to 5.

これに対して、比較例4は、(積層体の角部分の曲率半径)/(積層体の側面の短辺の長さ)の値を0.375に設定したものである。(積層体の角部分の曲率半径)/(積層体の側面の短辺の長さ)の値を除いて、実施例6〜10と同様にして比較例4の積層型チップバリスタを得た。   On the other hand, in Comparative Example 4, the value of (the radius of curvature of the corner portion of the laminate) / (the length of the short side of the side surface of the laminate) is set to 0.375. A laminated chip varistor of Comparative Example 4 was obtained in the same manner as in Examples 6 to 10 except for the value of (curvature radius of the corner portion of the laminated body) / (length of the short side of the laminated body).

このようにして製造された積層型チップバリスタのサンプルをそれぞれ10000個準備して、キャリアテープの収容凹部に収容した。収容後、キャリアテープに対して出荷時に生じるものと同等の振動を与え、収容凹部内で傾いている積層型チップバリスタの割合を調べた。その結果を図6に示す。   10000 samples of the multilayer chip varistor thus manufactured were prepared and stored in the receiving recesses of the carrier tape. After the accommodation, the carrier tape was subjected to vibration equivalent to that produced at the time of shipment, and the ratio of the laminated chip varistor tilted in the accommodation recess was examined. The result is shown in FIG.

比較例4では、約5%の積層型チップバリスタが収容凹部内で傾いていた。実施例6〜10では、収容凹部内で傾いている積層型チップバリスタは見られなかった。   In Comparative Example 4, about 5% of the multilayer chip varistor was inclined in the housing recess. In Examples 6-10, the laminated chip varistor which inclines in the accommodation recessed part was not seen.

以上のことから、キャリアテープの収容凹部内で傾くことが少ないという本発明の有効性が確認された。   From the above, the effectiveness of the present invention was confirmed to be less inclined in the receiving recess of the carrier tape.

本実施形態に係る積層型チップバリスタの断面構成を説明する図である。It is a figure explaining the section composition of the multilayer chip varistor concerning this embodiment. 本実施形態に係る積層型チップバリスタに含まれる積層体の斜視図である。It is a perspective view of the laminated body contained in the multilayer chip varistor concerning this embodiment. 本実施形態に係る積層型チップバリスタの製造方法を説明するためのフロー図である。It is a flowchart for demonstrating the manufacturing method of the multilayer chip varistor which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る積層型チップバリスタの製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the multilayer chip varistor concerning this embodiment. 積層型チップバリスタの静電容量のばらつきを調べる実験の結果を示す図表である。It is a graph which shows the result of the experiment which investigates the dispersion | variation in the electrostatic capacitance of a multilayer chip varistor. テープの収容凹部内で回転している積層型チップバリスタの割合を調べる実験の結果を示す図表である。It is a graph which shows the result of the experiment which investigates the ratio of the multilayer chip | tip varistor rotating within the accommodation recessed part of a tape.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層型チップバリスタ、3a…側面、4…角部分、5…外部電極、11…バリスタ層、13…内部電極、EL…電極層、G3…グリーン積層体、L3…積層体、S1,S2,S3…グリーンシート。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated chip varistor, 3a ... Side surface, 4 ... Corner part, 5 ... External electrode, 11 ... Varistor layer, 13 ... Internal electrode, EL ... Electrode layer, G3 ... Green laminated body, L3 ... Laminated body, S1, S2 , S3 ... Green sheet.

Claims (3)

バリスタ層と当該バリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有する積層体と、当該積層体の表面に形成されると共に前記内部電極に接続される外部電極とを備える積層型チップバリスタの製造方法であって、
前記バリスタ層となるグリーンシートと前記内部電極となる電極層とを有すると共に、前記電極層が前記グリーンシートを挟むように配置されたグリーン積層体を形成する第1の工程と、
前記グリーン積層体の角部分が所定の曲率半径を有するよう当該角部分に面取り加工を施す第2の工程と、
面取り加工が施された前記グリーン積層体を焼成して、前記積層体を得る第3の工程と、
前記積層体の表面から当該積層体の内部にアルカリ金属を拡散させる第4の工程と、
前記アルカリ金属を拡散した後、前記積層体の表面に前記外部電極を形成する第5の工程と、を有しており、
前記第2の工程では、前記グリーン積層体の角部分の曲率半径Rと、前記グリーン積層体においてその積層方向と垂直な側面の短辺の長さWとの関係が、
0.188<(R/W)<0.375
を満たすように面取り加工を施すことを特徴とする積層型チップバリスタの製造方法。
Production of a multilayer chip varistor comprising a laminate having a varistor layer and an internal electrode arranged so as to sandwich the varistor layer, and an external electrode formed on the surface of the laminate and connected to the internal electrode A method,
A first step of forming a green laminate having a green sheet to be the varistor layer and an electrode layer to be the internal electrode, and the electrode layer disposed so as to sandwich the green sheet;
A second step of chamfering the corner portion of the green laminate so that the corner portion has a predetermined radius of curvature;
Firing the green laminate that has been chamfered to obtain the laminate,
A fourth step of diffusing an alkali metal from the surface of the laminate into the laminate;
After diffusing the alkali metal, and forming the external electrode on the surface of the laminate, and
In the second step, the relationship between the radius of curvature R of the corner portion of the green laminate and the length W of the short side of the side surface perpendicular to the lamination direction in the green laminate,
0.188 <(R / W) <0.375
A method of manufacturing a multilayer chip varistor, wherein chamfering is performed to satisfy the above requirements.
前記第2の工程は、バレル研磨によって前記グリーン積層体の角部分に面取り加工を施すことを特徴とする請求項1記載の積層型チップバリスタの製造方法。   2. The method of manufacturing a multilayer chip varistor according to claim 1, wherein in the second step, chamfering is performed on a corner portion of the green multilayer body by barrel polishing. バリスタ層と当該バリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有する積層体と、
前記積層体の表面に形成されると共に前記内部電極に接続される外部電極と、
を備え、
前記積層体の表面及び内部にはアルカリ金属が拡散されており、
前記積層体の角部分の曲率半径Rと、前記積層体においてその積層方向と垂直な側面の短辺の長さWとの関係が、
0.188<(R/W)<0.375
を満たすことを特徴とする積層型チップバリスタ。
A laminate having a varistor layer and an internal electrode arranged so as to sandwich the varistor layer;
An external electrode formed on the surface of the laminate and connected to the internal electrode;
With
Alkali metal is diffused on the surface and inside of the laminate,
The relationship between the curvature radius R of the corner portion of the laminate and the length W of the short side of the side surface perpendicular to the lamination direction in the laminate,
0.188 <(R / W) <0.375
A multilayer chip varistor characterized by satisfying
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