JP3977396B2

JP3977396B2 - Droplet discharge device

Info

Publication number: JP3977396B2
Application number: JP2005355560A
Authority: JP
Inventors: 吉紀中島; 利之田中; 宏次的場
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2005-12-09
Filing date: 2005-12-09
Publication date: 2007-09-19
Anticipated expiration: 2025-12-09
Also published as: CN101326061A; CN101326061B; JP2007160509A

Description

この発明は、複数のノズルを介して液滴を吐出する液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge device that discharges droplets via a plurality of nozzles.

液滴吐出装置は、複数のノズルを介して液滴を吐出する液滴吐出ユニットを備える。液滴吐出ユニットは、共通液室および個別液室を有している。液滴吐出ユニットは、共通液室に供給された液体を各個別液室に導き、各個別液室からノズルを介して外部に吐出する。液滴の吐出の方式の代表例として、各個別液室に機械的変形を加えることによって各個別液室内に圧力を発生させて液滴を吐出する方式や、各個別液室に配置した発熱素子で液体を気化させることによって各個別液室に圧力を発生させて液滴を吐出する方式が挙げられる。 The droplet discharge device includes a droplet discharge unit that discharges droplets via a plurality of nozzles. The droplet discharge unit has a common liquid chamber and an individual liquid chamber. The droplet discharge unit guides the liquid supplied to the common liquid chamber to each individual liquid chamber, and discharges the liquid from the individual liquid chamber to the outside through the nozzle. As a representative example of a droplet discharge method, a method of generating a pressure in each individual liquid chamber by applying mechanical deformation to each individual liquid chamber and discharging a droplet, or a heating element disposed in each individual liquid chamber And a method of generating a pressure in each individual liquid chamber by vaporizing the liquid and discharging a droplet.

液滴吐出装置に組み込む際には、通常、流路構成部材およびベース部材が用いられることが多かった。流路構成部材は、液滴吐出ユニットに導入すべき液体が流れる流路を構築する役割を担う。ベース部材は、液滴吐出ユニットや流路構成部材を含むいくつかの部品を保持する役割を担う。従来、液滴吐出ユニット、流路構成部材、ベース部材の構成や、これらの組み立て方に創意工夫を施すことによって液滴吐出装置の信頼性の向上が図られてきた。 When incorporated into a droplet discharge device, a flow path component member and a base member are usually used in many cases. The flow path component plays a role of constructing a flow path through which a liquid to be introduced into the droplet discharge unit flows. The base member plays a role of holding several components including a droplet discharge unit and a flow path component. Conventionally, the reliability of the droplet discharge device has been improved by ingenuity in the configuration of the droplet discharge unit, the flow path constituting member, the base member, and how to assemble them.

液滴吐出装置は、さらに、液滴吐出ユニットを駆動するための駆動回路を備える。駆動回路は、接続部を介して液滴吐出ユニットに接続される。駆動回路および接続部は液体に弱く、液体がかかると破損することがあった。このため、従来の液滴吐出装置の中には、駆動回路および接続部を保護するための保護カバーを備えるものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００４−２６２２０３号公報 The droplet discharge device further includes a drive circuit for driving the droplet discharge unit. The drive circuit is connected to the droplet discharge unit via the connection portion. The drive circuit and the connection portion are weak to liquid, and may be damaged when the liquid is applied. For this reason, some conventional liquid droplet ejection apparatuses include a protective cover for protecting the drive circuit and the connection portion (see, for example, Patent Document 1).
JP 2004-262203 A

しかしながら、従来の液滴吐出装置では、保護カバーを別途用意しているため、保護カバーの分だけ部材数が増えていた。また、駆動回路および接続部を十分に覆うためには、保護カバーをある程度大きくする必要がある。このため、保護カバーを装着することによって液滴吐出装置のコンパクト化が妨げられることがあった。 However, in the conventional droplet discharge device, since the protective cover is separately prepared, the number of members is increased by the protective cover. Further, in order to sufficiently cover the drive circuit and the connection portion, it is necessary to enlarge the protective cover to some extent. For this reason, the mounting of the protective cover sometimes hinders the compactness of the droplet discharge device.

この発明の目的は、コンパクト化を担保しつつ、駆動回路および接続部を適切に保護することが可能な液滴吐出装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a droplet discharge device capable of appropriately protecting a drive circuit and a connection portion while ensuring compactness.

（１）第１の発明に係る液滴吐出装置は、液体収容部から供給された液体を吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ユニット、駆動回路、接続部、ベース部材、および流路構成ユニットを備える。液滴吐出ユニットは、複数のノズルを介して前記液体を吐出する。駆動回路は、液滴吐出ユニットを駆動する。接続部は、液滴吐出ユニットと駆動回路とを接続する。ベース部材は、液滴吐出ユニットおよび駆動回路を保持する。流路構成ユニットは、液体収容部および液滴吐出ユニットにそれぞれ接続されるべき液体流路が内部に形成されるとともに、液体収容部および液滴吐出ユニットにそれぞれ接続される。さらに、流路構成ユニットは、接続部および駆動回路を覆うように配置される。 (1) A droplet discharge device according to a first aspect of the present invention is a droplet discharge device that discharges a liquid supplied from a liquid container, and includes a droplet discharge unit, a drive circuit, a connection unit, a base member, and a flow A road construction unit is provided. The droplet discharge unit discharges the liquid through a plurality of nozzles. The drive circuit drives the droplet discharge unit. The connection unit connects the droplet discharge unit and the drive circuit. The base member holds the droplet discharge unit and the drive circuit. The flow path constituting unit has a liquid flow path to be connected to the liquid storage part and the droplet discharge unit, respectively, and is connected to the liquid storage part and the droplet discharge unit. Furthermore, the flow path constituting unit is arranged so as to cover the connection portion and the drive circuit.

流路構成ユニットは、液滴吐出装置に不可欠な部材であるため、すべての液滴吐出装置は流路構成ユニットを備える。この流路構成ユニットに接続部および駆動回路が覆われることによって、別途保護カバーを用意しなくても接続部および駆動回路が適切に液体から保護される。このように、流路構成ユニットが保護カバーを兼ねることによって、部材数の増加を抑え、液滴吐出装置のコンパクト化が図られる。この結果、複数の液滴吐出装置を配列して用いる場合に、各液滴吐出装置を狭いピッチで配列し易くなる。 Since the flow path constituting unit is an indispensable member for the liquid droplet ejecting apparatus, all the liquid droplet ejecting apparatuses include the flow path constituting unit. By covering the connection portion and the drive circuit with this flow path constituting unit, the connection portion and the drive circuit are appropriately protected from the liquid without separately providing a protective cover. As described above, the flow path constituting unit also serves as a protective cover, thereby suppressing an increase in the number of members and making the droplet discharge device compact. As a result, when a plurality of droplet discharge devices are used in an array, the droplet discharge devices are easily arranged at a narrow pitch.

（２）第２の発明に係る液滴吐出装置は、（１）に記載の液滴吐出装置であって、流路構成ユニットは、ベース部材に取り付けられることを特徴とする。 (2) A droplet discharge device according to a second aspect of the present invention is the droplet discharge device according to (1), wherein the flow path constituting unit is attached to a base member.

この構成においては、流路構成ユニットは、直接的には駆動回路に接続されない。このため、駆動回路のサイズにバラツキがある場合でも、流路構成ユニットの取り付けに支障を来しにくい。 In this configuration, the flow path configuring unit is not directly connected to the drive circuit. For this reason, even when there is a variation in the size of the drive circuit, it is difficult for the flow path constituting unit to be mounted.

（３）第３の発明に係る液滴吐出装置は、（１）または（２）に記載の液滴吐出装置であって、
液滴吐出ユニットは、直方体状を呈する本体と、本体の第１の側面に露出した液体導入口と、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に露出した液体排出口と、を備えており、
流路構成ユニットは、断面視コ字状を呈しており、第１の側面サイドおよび第２の側面サイドから液滴吐出ユニットを挟むように配置されることを特徴とする。 (3) A droplet discharge device according to a third invention is the droplet discharge device according to (1) or (2),
The droplet discharge unit includes a main body having a rectangular parallelepiped shape, a liquid introduction port exposed on the first side surface of the main body, and a liquid discharge port exposed on the second side surface located on the opposite side of the first side surface. Has
The flow path constituting unit has a U-shaped cross-sectional view, and is arranged to sandwich the droplet discharge unit from the first side surface side and the second side surface side.

液滴吐出ユニットの例として、本体、共通液室、複数の個別液室、および液体導入口、液体排出口を備えたものが挙げられる。共通液室は、本体の内部に設けられる。複数の個別液室は、本体の内部に設けられるとともに共通液室および複数のノズルのそれぞれを連通する。液体導入口は、本体の第１の側面に露出するとともに共通液室に連続する。液体排出口は、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に露出するとともに共通液室に連続する。液体導入口は、本体の外部から共通液室に液体を導入するための開口である。共通液室に導入された液体は、複数の個別液室のそれぞれに流れ込み、各個別液室からノズルを介して外部に吐出される。さらに、共通液室は液体排出口にも連続している。液体排出口は、共通液室における液体導入口の反対側に位置しており、共通液室から液体を排出するための開口である。液体導入口を介して共通液室に導入された液体は、反対側に位置する液体排出口を介して共通液室から排出される。 Examples of the droplet discharge unit include a main body, a common liquid chamber, a plurality of individual liquid chambers, a liquid inlet, and a liquid outlet. The common liquid chamber is provided inside the main body. The plurality of individual liquid chambers are provided inside the main body and communicate with each of the common liquid chamber and the plurality of nozzles. The liquid inlet is exposed to the first side surface of the main body and continues to the common liquid chamber. The liquid discharge port is exposed to the second side surface located on the opposite side of the first side surface and continues to the common liquid chamber. The liquid inlet is an opening for introducing a liquid into the common liquid chamber from the outside of the main body. The liquid introduced into the common liquid chamber flows into each of the plurality of individual liquid chambers, and is discharged to the outside from each individual liquid chamber through the nozzle. Furthermore, the common liquid chamber is continuous with the liquid discharge port. The liquid discharge port is located on the opposite side of the common liquid chamber from the liquid introduction port, and is an opening for discharging the liquid from the common liquid chamber. The liquid introduced into the common liquid chamber via the liquid inlet is discharged from the common liquid chamber via the liquid outlet located on the opposite side.

上述のような流路構成ユニットによって液滴吐出ユニットを挟みこむ構成であっても、流路構成ユニットが保護カバーを兼ねることによって、装置の大型化が抑えられる。 Even in the configuration in which the droplet discharge unit is sandwiched between the flow path constituting units as described above, the flow path constituting unit also serves as a protective cover, thereby suppressing an increase in size of the apparatus.

（４）第４の発明に係る液滴吐出装置は、（３）に記載の液滴吐出装置であって、
流路構成手段は、第１の側面に対向するように配置される第１の流路構成部材と、第２の側面に対向するように配置される第２の流路構成部材と、第１の流路構成部材および第２の流路構成部材を連結する第３の流路構成部材と、を備えることを特徴とする。 (4) A droplet discharge device according to a fourth invention is the droplet discharge device according to (3),
The flow path constituting means includes a first flow path constituting member arranged to face the first side face, a second flow passage constituting member arranged to face the second side face, and the first And a third flow path component that connects the second flow path component and the second flow path component.

この構成においては、液滴吐出ユニットに両側から別体の第１の流路構成部材、第２の流路構成部材を接続することで、流路の組立が容易になる。また、流路構成ユニットの構造が簡略化されるため、流路構成ユニットの作製コストが低減される。 In this configuration, the assembly of the flow path is facilitated by connecting separate first flow path component members and second flow path component members from both sides to the droplet discharge unit. Moreover, since the structure of the flow path component unit is simplified, the production cost of the flow path component unit is reduced.

（５）第５の発明に係る液滴吐出装置は、（４）に記載の液滴吐出装置であって、
第１の側面と第１の流路構成部材とが第１の弾性シール部材を介して圧接し、かつ、第２の側面と第２の流路構成部材とが第２の弾性シール部材を介して圧接するように、流路構成手段が配置されることを特徴とする。 (5) A droplet discharge device according to a fifth invention is the droplet discharge device according to (4),
The first side surface and the first flow path component member are pressed against each other via the first elastic seal member, and the second side surface and the second flow path component member are interposed via the second elastic seal member. The flow path constituting means is arranged so as to be in pressure contact with each other.

この構成においては、流路構成手段の第１の流路構成部材および第２の流路構成部材によって挟まれるように液滴吐出ユニットが配置される。液滴吐出ユニットと流路構成手段との接続部分には、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材が介在する。このため、線膨張係数の差によって、温度変化が生じた際の液滴吐出ユニットの変形量と流路構成手段の変形量とに差が生じる場合でも、その変形量の差が第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材によって吸収される。この結果、液滴吐出ユニットおよび流路構成手段が、熱応力の影響を受けにくくなる。 In this configuration, the droplet discharge unit is disposed so as to be sandwiched between the first flow path component and the second flow path component of the flow path configuration means. A first elastic seal member and a second elastic seal member are interposed at a connection portion between the droplet discharge unit and the flow path forming means. For this reason, even when there is a difference between the deformation amount of the droplet discharge unit and the deformation amount of the flow path forming means when a temperature change occurs due to the difference in linear expansion coefficient, the difference in deformation amount is the first elasticity. Absorbed by the seal member and the second elastic seal member. As a result, the droplet discharge unit and the flow path forming means are not easily affected by thermal stress.

また、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材は、互いに液滴吐出ユニットの反対側の面に配置されるため、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材からの力が、互いに打ち消しあうように液滴吐出ユニットに作用する。 In addition, since the first elastic seal member and the second elastic seal member are disposed on the opposite surfaces of the droplet discharge unit, the forces from the first elastic seal member and the second elastic seal member are , Acting on the droplet discharge unit so as to cancel each other.

（６）第６の発明に係る液滴吐出装置は、（４）または（５）に記載の液滴吐出装置であって、
第３の流路構成部材が、内部を通過する液体を濾過するフィルタユニットであることを特徴とする。 (6) A droplet discharge device according to a sixth invention is the droplet discharge device according to (4) or (5),
The third flow path component is a filter unit that filters liquid passing through the inside.

この構成においては、第３の流路構成部材にフィルタユニットの機能を持たせている。この結果、フィルタユニットが液滴吐出ユニットの近くに配置され、液滴吐出装置のコンパクト化が図られる。また、フィルタユニットの設置と駆動回路の保護とが同一工程で行なわれるため、液滴吐出装置の組立工程が簡略化する。 In this configuration, the third flow path component member has the function of the filter unit. As a result, the filter unit is arranged near the droplet discharge unit, and the droplet discharge device can be made compact. Further, since the installation of the filter unit and the protection of the drive circuit are performed in the same process, the assembly process of the droplet discharge device is simplified.

（７）第７の発明に係る液滴吐出装置は、（４）〜（６）のいずれかに記載の液滴吐出装置であって、
第１の流路構成部材、第２の流路構成部材、第３の流路構成部材が、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）で構成されるとともに、第１の流路構成部材および第２の流路構成部材と第３の流路構成部材との接着にエポキシ系接着剤が用いられることを特徴とする。 (7) A droplet discharge device according to a seventh invention is the droplet discharge device according to any one of (4) to (6),
The first flow path component, the second flow path component, and the third flow path component are made of PEEK (polyetheretherketone), and the first flow path component and the second flow path An epoxy adhesive is used for adhesion between the path constituent member and the third flow path constituent member.

この構成においては、第１の流路構成部材、第２の流路構成部材、第３の流路構成部材に、ＰＥＥＫを用いることによって、流路構成手段の耐液体性が向上する。また、駆動回路の保護部材としてＰＥＥＫを用いることで耐液体性の高いヘッドを得られるが、ＰＥＥＫ材料は高価な素材であり、また加工コストも高いため、別部材で製造するとヘッドのコストが増加する恐れがあった。この構成は、素材としてＰＥＥＫを用いた場合に、大きな効果を発揮する。 In this configuration, the liquid resistance of the flow path forming means is improved by using PEEK for the first flow path forming member, the second flow path forming member, and the third flow path forming member. In addition, by using PEEK as a protective member for the drive circuit, a highly liquid-resistant head can be obtained. However, since PEEK material is an expensive material and has high processing costs, the cost of the head increases when manufactured with a separate member. There was a fear. This configuration exhibits a great effect when PEEK is used as a material.

また、ＰＥＥＫを素材としてエポキシ系接着剤を使用して接着すると、接着強度を確保しつつ熱膨張係数の違いによる割れを防止することができる。 Further, when an epoxy adhesive is used as a raw material for PEEK, it is possible to prevent cracking due to a difference in thermal expansion coefficient while ensuring adhesive strength.

（１）第１の発明によれば、装置のコンパクト化を担保しつつ、駆動回路および接続部を適切に保護することができる。 (1) According to the first invention, it is possible to appropriately protect the drive circuit and the connecting portion while ensuring the compactness of the device.

（２）第２の発明によれば、駆動回路のサイズのバラツキに対応し易くなる。 (2) According to the second invention, it becomes easy to cope with variations in the size of the drive circuit.

（３）第３の発明によれば、共通液室に溜まったエアを効率良くかつ簡易な構成で除去することが可能になる。 (3) According to the third invention, it is possible to remove air accumulated in the common liquid chamber efficiently and with a simple configuration.

（４）第４の発明によれば、液滴吐出装置の組立が容易化する。 (4) According to the fourth invention, the assembly of the droplet discharge device is facilitated.

（５）第５の発明によれば、温度変化に強い液滴吐出装置を提供することができる。 (5) According to the fifth aspect of the invention, it is possible to provide a droplet discharge device that is resistant to temperature changes.

（６）第６の発明によれば、フィルタユニットを液滴吐出ユニットの近くに配置でき、液滴吐出装置のコンパクト化を図ることができる。 (6) According to the sixth invention, the filter unit can be disposed near the droplet discharge unit, and the droplet discharge device can be made compact.

（７）第７の発明によれば、液滴吐出装置の信頼性を向上させることができる。 (7) According to the seventh aspect, the reliability of the droplet discharge device can be improved.

図１（Ａ），（Ｂ）は、本発明の液滴吐出装置の実施形態であるインクジェットヘッド１を示す。インクジェットヘッド１は、カバー部材１８、ベースユニット２、およびフィルタユニット３を備える。カバー部材１８は、ベースユニット２およびフィルタユニット３のインク吐出側の面を覆うように配置される。なお、図１（Ａ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３にカバー部材１８が取り付けられた状態を示しており、図１（Ｂ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３からカバー部材１８が取り外された状態を示している。 1A and 1B show an inkjet head 1 which is an embodiment of a droplet discharge device of the present invention. The inkjet head 1 includes a cover member 18, a base unit 2, and a filter unit 3. The cover member 18 is disposed so as to cover the ink discharge side surfaces of the base unit 2 and the filter unit 3. 1A shows a state where the cover member 18 is attached to the base unit 2 and the filter unit 3, and FIG. 1B shows the cover member 18 being removed from the base unit 2 and the filter unit 3. Indicates the state.

続いて、図２〜図５を用いてベースユニット２の構成を説明する。図２に示すように、ベースユニット２の基本的構成は左右対称である。ベースユニット２は、ヘッドベース１３、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、フレキシブル基板２６、ドライバ基板４、マニホールド１４Ａ，１４Ｂを備える。 Then, the structure of the base unit 2 is demonstrated using FIGS. As shown in FIG. 2, the basic configuration of the base unit 2 is symmetrical. The base unit 2 includes a head base 13, a chip mount 12, a head chip 11, a flexible substrate 26, a driver substrate 4, and manifolds 14A and 14B.

ヘッドベース１３は、本発明のベース部材を構成する。ヘッドベース１３は、金属性素材によって構成される。本実施形態では、ヘッドベース１３の素材としてＳＵＳ（線膨張係数約１１×１０^-6ｍ／Ｋ）を用いている。図３に示すように、ヘッドベース１３は、その表面に凸状の台座部１３１が形成されているおり、その断面は逆Ｔ字型を呈している。台座部１３１は、ヘッドベース１３における短手方向（以下、幅方向という。）の中央部において、長手方向（以下、長さ方向）に沿って形成される。台座部１３１において、長さ方向に沿って第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、第３の台１３２Ｃが配置される。 The head base 13 constitutes a base member of the present invention. The head base 13 is made of a metallic material. In this embodiment, SUS (linear expansion coefficient of about 11 × 10 ⁻⁶ m / K) is used as the material of the head base 13. As shown in FIG. 3, the head base 13 has a convex pedestal 131 formed on the surface thereof, and the cross section has an inverted T-shape. The pedestal 131 is formed along the longitudinal direction (hereinafter referred to as the length direction) in the center of the short direction (hereinafter referred to as the width direction) of the head base 13. In the pedestal part 131, a first base 132A, a second base 132B, and a third base 132C are arranged along the length direction.

図４に示すように、第１の台１３２Ａには接着剤を介してチップマウント１２が接着される。チップマウント１２は、本発明の介在部材を構成する。チップマウント１２は、アルミナ（線膨張係数約４×１０^-6ｍ／Ｋ）によって構成される。また、チップマウント１２には接着剤を介してヘッドチップ１１が接着される。本実施形態では、接着剤としてエポキシ系接着剤が用いられる。ただし、接着剤の種類は、本実施形態のものに限定されるものではない。なお、本実施形態では、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅はすべて１２ｍｍであり、チップマウント１２の幅は１１．５ｍｍであり、かつ、ヘッドチップ１１の幅は１２ｍｍである。第１の台１３２Ａにチップマウント１２を固定する際には、チップマウント１２の幅方向の両端部が、第１の台１３２Ａの幅方向の両端部より約０．２５ｍｍずつ凹んだ状態になるようにチップマウント１２が配置される。このとき、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅方向の両端面とヘッドチップ１１の幅方向の両端面とが、それぞれ略同一平面上に配置される。 As shown in FIG. 4, the chip mount 12 is bonded to the first base 132A via an adhesive. The chip mount 12 constitutes an interposed member of the present invention. The chip mount 12 is made of alumina (linear expansion coefficient: about 4 × 10 ⁻⁶ m / K). Further, the head chip 11 is bonded to the chip mount 12 via an adhesive. In the present embodiment, an epoxy adhesive is used as the adhesive. However, the kind of adhesive is not limited to that of the present embodiment. In the present embodiment, the widths of the first base 132A, the second base 132B, and the third base 132C are all 12 mm, the width of the chip mount 12 is 11.5 mm, and the head chip 11 The width is 12 mm. When the chip mount 12 is fixed to the first base 132A, both ends in the width direction of the chip mount 12 are recessed by about 0.25 mm from both ends in the width direction of the first base 132A. The chip mount 12 is disposed on the surface. At this time, both end surfaces in the width direction of the first table 132A, the second table 132B, and the third table 132C and both end surfaces in the width direction of the head chip 11 are arranged on substantially the same plane.

第２の台１３２Ｂは、幅方向の両端面に、複数の雌ネジ部３１および複数の位置決め用穴３２を有している。また、第２の台１３２Ｂには、ドライバ基板４が取り付けられる。第２の台１３２Ｂにおけるドライバ基板４を取り付ける面には、ネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂが形成されている。このため、ドライバ基板４に形成された孔を通ったネジ１３４Ａ，１３４Ｂがネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂにそれぞれねじ込まれることによって、ドライバ基板４が第２の台１３２Ｂに固定される。ドライバ基板４は、フレキシブル基板２６を介して、ヘッドチップ１１に接続される。なお、本実施形態では、フレキシブル基板２６は本発明の接続部を構成する。 The second base 132B has a plurality of female screw portions 31 and a plurality of positioning holes 32 on both end surfaces in the width direction. The driver board 4 is attached to the second base 132B. Screw holes 133A and 133B are formed on the surface of the second base 132B where the driver board 4 is attached. Therefore, the screws 134A and 134B that pass through the holes formed in the driver board 4 are screwed into the screw holes 133A and 133B, respectively, so that the driver board 4 is fixed to the second base 132B. The driver substrate 4 is connected to the head chip 11 via the flexible substrate 26. In the present embodiment, the flexible substrate 26 constitutes the connection portion of the present invention.

図５は、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、およびフレキシブル基板２６の構成を示す図である。 FIG. 5 is a diagram illustrating the configuration of the chip mount 12, the head chip 11, and the flexible substrate 26.

ヘッドチップ１１は、本発明の液滴吐出ユニットを構成する。ヘッドチップ１１は、チタン酸ジルコン亜鉛［（ＰＺＴ）線膨張係数２〜７×１０^-6ｍ／Ｋ］で構成される２枚の圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が互いに重ねあわせられることによって構成される。 The head chip 11 constitutes a droplet discharge unit of the present invention. The head chip 11 is formed by stacking two piezoelectric substrates 111 and 112 made of zircon zinc titanate [(PZT) linear expansion coefficient 2 to 7 × 10 ⁻⁶ m / K]. Composed.

圧電体基板１１１は分極しており、圧電体基板１１２と対向すべき面に互いに平行な複数の溝が形成される。この複数の溝のそれぞれの側面には駆動電極が形成されている。これに対して、圧電体基板１１２は分極しておらず、圧電体基板１１１における溝形成面側に接着される。圧電体基板１１２には幅方向の全域に渡って溝２４が形成されており、断面が略逆Ｕ字状を呈している。圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が接着された際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝のそれぞれは個別液室を構成し、圧電体基板１１２に形成された溝２４は共通液室を構成する。なお、個別液室、共通液室、およびヘッドチップ１１の外側には、パリレン成膜による保護膜が形成される。 The piezoelectric substrate 111 is polarized, and a plurality of grooves parallel to each other are formed on the surface to be opposed to the piezoelectric substrate 112. A drive electrode is formed on each side surface of the plurality of grooves. In contrast, the piezoelectric substrate 112 is not polarized and is bonded to the groove forming surface side of the piezoelectric substrate 111. A groove 24 is formed in the piezoelectric substrate 112 over the entire region in the width direction, and the cross section has a substantially inverted U shape. When the piezoelectric substrate 111 and the piezoelectric substrate 112 are bonded, each of the plurality of grooves formed in the piezoelectric substrate 111 constitutes an individual liquid chamber, and the groove 24 formed in the piezoelectric substrate 112 is a common liquid. Configure the chamber. A protective film by parylene film formation is formed outside the individual liquid chamber, the common liquid chamber, and the head chip 11.

溝２４は、ヘッドチップ１１における幅方向の第１の側面に液体導入口２３Ａとなって表れる。また、溝２４は、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に、液体排出口２３Ｂとなって表れる。この結果、ヘッドチップ１１内の共通液室を介して液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂが連通する。 The groove 24 appears as a liquid inlet 23 A on the first side surface in the width direction of the head chip 11. Further, the groove 24 appears as a liquid discharge port 23B on the second side surface located on the opposite side of the first side surface. As a result, the liquid inlet 23 A and the liquid outlet 23 B communicate with each other through the common liquid chamber in the head chip 11.

圧電体基板１１１および圧電体基板１１２を重ね合わせた際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝がインク吐出面に露出する。インク吐出面には、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート１５が接着される。ノズルプレート１５は、圧電体基板１１１の複数の溝と同じ間隔で配列された複数のノズル孔１４を備える。 When the piezoelectric substrate 111 and the piezoelectric substrate 112 are overlaid, a plurality of grooves formed in the piezoelectric substrate 111 are exposed on the ink ejection surface. A nozzle plate 15 made of a polyimide film is bonded to the ink discharge surface. The nozzle plate 15 includes a plurality of nozzle holes 14 arranged at the same intervals as the plurality of grooves of the piezoelectric substrate 111.

ヘッドチップ１１は、インク吐出面と反対側に、複数の個別液室のそれぞれから引き出された接続電極を備える。接続電極は、ＡＣＦ（異方性導電膜）によってフレキシブル基板２６に電気的に接続される。 The head chip 11 is provided with connection electrodes drawn from each of the plurality of individual liquid chambers on the side opposite to the ink ejection surface. The connection electrode is electrically connected to the flexible substrate 26 by an ACF (anisotropic conductive film).

ここで、再び図３を用いて、マニホールド１４Ａ，１４Ｂについて説明する。マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、それぞれ本発明の第１の流路構成部材および第２の流路構成部材を構成する。説明の便宜上、マニホールド１４Ａにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ａの内側面といい、マニホールド１４Ｂにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ｂの内側面という。 Here, the manifolds 14A and 14B will be described with reference to FIG. 3 again. Manifolds 14A and 14B constitute the first flow path component and the second flow path component of the present invention, respectively. For convenience of explanation, the surface facing the base unit 2 in the manifold 14A is referred to as the inner surface of the manifold 14A, and the surface facing the base unit 2 in the manifold 14B is referred to as the inner surface of the manifold 14B.

マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）によって構成される。マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、互いに対称な形状を呈している。マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内部には共通液室に連続すべき液体流路が形成されている。マニホールド１４Ａ内の液体流路は、第１の開口５７Ａおよび第２の開口５７Ｂの間に形成される。一方、マニホールド１４Ｂ内の液体流路は、第１の開口５６Ａおよび第２の開口５６Ｂの間に形成される。マニホールド１４Ａの第２の開口５７Ｂは、液体導入口２３Ａに対応する位置に配置される。第２の開口５７Ｂの周囲に凹部５１Ａが形成される。同様に、マニホールド１４Ｂの第２の開口５６Ｂは、液体排出口２３Ｂに対応する位置に配置される。第２の開口５６Ｂの周囲に凹部５１Ｂが形成される。なお、本実施形態では、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さは０．８ｍｍである。 The manifolds 14A and 14B are made of PEEK (polyether ether ketone). The manifolds 14A and 14B have a symmetrical shape. Inside the manifolds 14A and 14B, a liquid flow path to be continuous with the common liquid chamber is formed. The liquid flow path in the manifold 14A is formed between the first opening 57A and the second opening 57B. On the other hand, the liquid flow path in the manifold 14B is formed between the first opening 56A and the second opening 56B. The second opening 57B of the manifold 14A is disposed at a position corresponding to the liquid inlet 23A. A recess 51A is formed around the second opening 57B. Similarly, the second opening 56B of the manifold 14B is disposed at a position corresponding to the liquid discharge port 23B. A recess 51B is formed around the second opening 56B. In the present embodiment, the depth of the recesses of the recesses 51A and 51B is 0.8 mm.

マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、それぞれの内側面に、複数の貫通孔５４および複数の位置決めピン５５がそれぞれ形成される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内側面には、それぞれＶ字溝５２が形成される。なお、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、Ｖ字溝５２にエポキシ系接着剤が塗布される。 The manifolds 14A and 14B are each formed with a plurality of through holes 54 and a plurality of positioning pins 55 on the inner side surfaces thereof. Further, V-shaped grooves 52 are formed on the inner surfaces of the manifolds 14A and 14B, respectively. Note that an epoxy-based adhesive is applied to the V-shaped groove 52 when the manifolds 14 A and 14 B are attached to the base unit 2.

マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、第２の開口５７Ｂと液体導入口２３Ａとの間に弾性シール部材１５Ａが配置され、第２の開口５６Ｂと液体排出口２３Ｂとの間に弾性シール部材１５Ｂが配置される。本実施形態では、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂとして、パーフロゴムからなる額縁状のパッキンが用いられる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの中空領域の大きさは、それぞれ液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂの開口と同一の大きさ（２．４×１．１ｍｍ）になるように設計されている。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、凹部５１Ａ，５１Ｂにそれぞれ嵌め込まれる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの厚みは、１．１ｍｍであり、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さより約０．３ｍｍだけ大きい。このため、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは圧縮されて弾性変形する。また、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂによって、マニホールド１４Ａ内の液体流路およびマニホールド１４Ｂ内の液体流路が、それぞれヘッドチップ１１内の共通液室に連通する。なお、ここでは弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、０．３ｍｍ圧縮した際に、約９．８Ｎの反発力を生じる。 When the manifolds 14A and 14B are attached to the base unit 2, the elastic seal member 15A is disposed between the second opening 57B and the liquid introduction port 23A, and between the second opening 56B and the liquid discharge port 23B. An elastic seal member 15B is disposed. In the present embodiment, a frame-shaped packing made of perfloated rubber is used as the elastic seal members 15A and 15B. The sizes of the hollow regions of the elastic seal members 15A and 15B are designed to be the same size (2.4 × 1.1 mm) as the openings of the liquid inlet 23A and the liquid outlet 23B, respectively. The elastic seal members 15A and 15B are fitted into the recesses 51A and 51B, respectively. The elastic seal members 15A and 15B have a thickness of 1.1 mm, which is larger by about 0.3 mm than the depth of the recesses 51A and 51B. For this reason, when the manifolds 14A and 14B are attached to the base unit 2, the elastic seal members 15A and 15B are compressed and elastically deformed. In addition, the elastic seal members 15A and 15B allow the liquid flow path in the manifold 14A and the liquid flow path in the manifold 14B to communicate with the common liquid chamber in the head chip 11, respectively. Here, the elastic seal members 15A and 15B generate a repulsive force of about 9.8 N when compressed by 0.3 mm.

また、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、複数の位置決めピン５５が複数の位置決め用穴３２にそれぞれ嵌め込まれる。さらに、複数の貫通孔５４を介して複数の雌ネジ部３１にネジを嵌め込むことにより、マニホールド１４Ａ，１４Ｂがベースユニット２に固定される。 Further, when the manifolds 14 A and 14 B are attached to the base unit 2, the plurality of positioning pins 55 are fitted into the plurality of positioning holes 32, respectively. Furthermore, the manifolds 14 A and 14 B are fixed to the base unit 2 by fitting screws into the plurality of female screw portions 31 through the plurality of through holes 54.

続いて、図６を用いて、フィルタユニット３の構成を説明する。フィルタユニット３は、本発明の第３の流路構成部材を構成する。フィルタユニット３は、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）からなる２つのハウジング１６１、１６２を備える。ハウジング１６１、１６２の内部に形成された液室を隔てるように、液体を濾過するフィルタプレートが配置される。ハウジング１６１の液室は、図示しない液体収容部から液体が導入される導入口が形成される。ハウジング１６２の液室内には、マニホールド１４Ａにおける第１の開口５７Ａに連通されるべき流路が形成される。さらに、ハウジング１６２には、マニホールド１４Ｂの第１の開口５６Ａに連通されるべき図示しないベント流路が形成されている。なお、このベント流路は、ハウジング１６１に形成されたベント流路を介して、液体収容部に接続される。 Then, the structure of the filter unit 3 is demonstrated using FIG. The filter unit 3 constitutes a third flow path constituting member of the present invention. The filter unit 3 includes two housings 161 and 162 made of PEEK (polyether ether ketone). A filter plate for filtering the liquid is disposed so as to separate the liquid chambers formed inside the housings 161 and 162. The liquid chamber of the housing 161 is formed with an introduction port through which liquid is introduced from a liquid storage unit (not shown). In the liquid chamber of the housing 162, a flow path to be communicated with the first opening 57A in the manifold 14A is formed. Further, a vent channel (not shown) to be communicated with the first opening 56A of the manifold 14B is formed in the housing 162. The vent channel is connected to the liquid storage unit via a vent channel formed in the housing 161.

図７に示すように、マニホールド１４Ａ，１４Ｂには溝１６Ａ，１６Ｂがそれぞれ形成されている。溝１６Ａ，１６Ｂには、マニホールド１４Ａ，１４Ｂとフィルタユニット６との取り付け時に接着剤が充填される。溝１６Ａ，１６Ｂには、フィルタユニット６やマニホールド１４Ａ，１４Ｂの素材と近い線膨張係数のものを用いるのが好ましい。本実施形態では、溝１６Ａ，１６Ｂにエポキシ系接着剤が充填される。なお、フィルタユニット６とマニホールド１４Ａ，１４Ｂとが接着剤によって接着された状態を図８に示す。 As shown in FIG. 7, grooves 16A and 16B are formed in the manifolds 14A and 14B, respectively. The grooves 16A and 16B are filled with an adhesive when the manifolds 14A and 14B and the filter unit 6 are attached. It is preferable to use a groove having a linear expansion coefficient close to that of the filter unit 6 and the manifolds 14A and 14B. In this embodiment, the grooves 16A and 16B are filled with an epoxy adhesive. FIG. 8 shows a state in which the filter unit 6 and the manifolds 14A and 14B are bonded with an adhesive.

図９は、インクジェットヘッド１の概略構成を示す図である。図９のハッチングを付した部分において、液体流路の１部分の断面を示している。上述したように、チップマウント１２は、ヘッドチップ１１およびヘッドベース１３の台座１３１より幅狭になっているため、チップマウント１２とマニホールド１４Ａの間、およびチップマウント１２とマニホールド１４Ｂの間にはそれぞれ空隙が形成される。このため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２を接着する接着剤、または、チップマウント１２とヘッドベース１３を接着する接着剤の量が過剰であった場合でも、余った分の接着剤は上述の空隙にて吸収される。この結果、接着剤がヘッドチップ１１とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだり、ヘッドベース１３とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだりすることがない。 FIG. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration of the inkjet head 1. In the hatched portion of FIG. 9, a cross section of a portion of the liquid flow path is shown. As described above, since the chip mount 12 is narrower than the base 131 of the head chip 11 and the head base 13, the chip mount 12 is disposed between the chip mount 12 and the manifold 14A, and between the chip mount 12 and the manifold 14B. A void is formed. For this reason, even when the amount of the adhesive for bonding the head chip 11 and the chip mount 12 or the amount of the adhesive for bonding the chip mount 12 and the head base 13 is excessive, the excess adhesive remains in the gap described above. Absorbed in As a result, the adhesive does not flow between the head chip 11 and the manifolds 14A and 14B, and does not flow between the head base 13 and the manifolds 14A and 14B.

本実施形態では、ヘッドチップ１１およびマニホールド１４Ａ，１４Ｂは、直接固着されていない。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの反発力がヘッドチップ１１に作用することによって、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に摩擦力が発生し得る。ただし、弾性シール部材１５Ａからヘッドチップ１１に作用する力、および弾性シール部材１５Ｂからヘッドチップ１１に作用する力は、それぞれ逆方向であり互いに打ち消しあうため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に発生する摩擦力が微小に抑えられる。 In the present embodiment, the head chip 11 and the manifolds 14A and 14B are not directly fixed. For this reason, a frictional force can be generated between the head chip 11 and the chip mount 12 by the repulsive force of the elastic seal members 15 A and 15 B acting on the head chip 11. However, the force acting on the head chip 11 from the elastic seal member 15A and the force acting on the head chip 11 from the elastic seal member 15B are in opposite directions and cancel each other, so that there is a gap between the head chip 11 and the chip mount 12. The frictional force generated in the is suppressed to a minute.

以上の構成において、液体の初期充填時には、液体収容部１００からチューブ管６１を介してハウジング１６１内に液体が供給される。ハウジング１６１内に供給された液体は、フィルタプレート通過してハウジング１６２内に導かれる際に濾過される。液体は、ハウジング１６２からマニホールド１４Ａを介してヘッドチップ１１の共通液室に案内される。さらに、共通液室を通過した液体は、マニホールド１４Ｂ内の流路、ハウジング１６１，１６２に形成されたベント流路、およびチューブ管６２を介して液体収容部１００に帰還する。そして、液体が循環する際に、共通液室に存在する残留エアが除去される。残留エアの除去が終わると、マニホールド１４Ｂと液体収容部１００との間の帰還流路が図示しない弁によって閉じられる。その後、制御部２００がドライバ基板４を制御し、ヘッドチップ１１の個別液室内の駆動電極を駆動することによって、ヘッドチップ１１から液体が吐出する。 In the above configuration, at the initial filling of the liquid, the liquid is supplied from the liquid storage unit 100 into the housing 161 via the tube 61. The liquid supplied into the housing 161 is filtered when being guided into the housing 162 through the filter plate. The liquid is guided from the housing 162 to the common liquid chamber of the head chip 11 through the manifold 14A. Further, the liquid that has passed through the common liquid chamber returns to the liquid storage unit 100 through the flow path in the manifold 14B, the vent flow paths formed in the housings 161 and 162, and the tube pipe 62. And when a liquid circulates, the residual air which exists in a common liquid chamber is removed. When the residual air is removed, the return flow path between the manifold 14B and the liquid storage unit 100 is closed by a valve (not shown). Thereafter, the control unit 200 controls the driver substrate 4 to drive the drive electrodes in the individual liquid chambers of the head chip 11, thereby discharging the liquid from the head chip 11.

以上のように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１によれば、液体収容部１００、フィルタユニット３、ヘッドチップ１１の間で液体を循環させることによって、共通液室に存在する残留エアが効率よく排出されるというメリットがある。また、ヘッドチップ１１に液体導入口２３Ａと液体排出口２３Ｂとが設けられているため、液体を循環させる流路を簡易に構築することができる。 As described above, according to the inkjet head 1 according to the present embodiment, by circulating the liquid among the liquid storage unit 100, the filter unit 3, and the head chip 11, the residual air existing in the common liquid chamber is efficiently obtained. There is merit that it is discharged. Further, since the liquid introduction port 23A and the liquid discharge port 23B are provided in the head chip 11, a flow path for circulating the liquid can be easily constructed.

なお、液体導入口２３Ａと液体排出口２３Ｂを液体が循環する構成でなくとも、液体をヘッドチップに充填する初期段階で、液体導入口２３Ａ側から液体を導入し、図示しない液体排出口２３Ｂと通じているドレインにより排出することで、排出液とともに残留エアーを効率よく排出することができ、残留エアーを除去後に液体排出口２３Ｂと通じているドレインを閉じる構成でも良い。この構成では、残留エアー除去性を確保しつつ、流路をさらに簡素化し、装置コストを低減することが可能となる。 Even if the liquid does not circulate through the liquid inlet 23A and the liquid outlet 23B, the liquid is introduced from the liquid inlet 23A side in the initial stage of filling the head chip with the liquid, and the liquid outlet 23B (not shown) By discharging through the drain that communicates, the remaining air can be efficiently discharged together with the discharged liquid, and the drain communicating with the liquid discharge port 23B may be closed after the residual air is removed. With this configuration, it is possible to further simplify the flow path and reduce the apparatus cost while ensuring the residual air removal performance.

続いて、再び図７を用いて、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の他のメリットを説明する。同図に示すように、ヘッドベース１３上のドライバ基板４およびフレキシブル基板２６は、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３によって覆われる。具体的には、ハウジング１６１，１６２から延び出すように設けられたプレート部１６３、マニホールド１４Ａにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４１、およびマニホールド１４Ｂにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４２によって、ドライバ基板４の略全域が覆われて保護される。このため、ドライバ基板４に液体がかかってドライバ基板４が破損することが防止される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３のように必要不可欠な部材によってドライバ基板４を保護するため、ドライバ基板４を保護するためにのみ用いる別部材を用意する必要がなく、構成要素を減らすことができる。 Subsequently, another merit of the inkjet head 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 7 again. As shown in the figure, the driver substrate 4 and the flexible substrate 26 on the head base 13 are covered with the manifolds 14A and 14B and the filter unit 3. Specifically, the plate portion 163 provided to extend from the housings 161 and 162, the plate portion 141 provided to extend from the flow path component in the manifold 14A, and the flow path component in the manifold 14B. By the plate part 142 provided so as to protrude, the substantially entire area of the driver substrate 4 is covered and protected. For this reason, it is prevented that the driver board 4 is damaged by the liquid being applied to the driver board 4. Furthermore, since the driver board 4 is protected by indispensable members such as the manifolds 14A and 14B and the filter unit 3, it is not necessary to prepare another member used only for protecting the driver board 4, and the number of components is reduced. Can do.

また、図７に示すように、ヘッドチップ１１の両側に位置するマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間をフィルタユニット３によって連結し、全体として門型の構成にすることによって、流路を構成する部分の剛性が増す。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂからの反発力や外部からの外力が作用した場合でも流路が壊れにくい。 Further, as shown in FIG. 7, the manifolds 14A and 14B located on both sides of the head chip 11 are connected by the filter unit 3 to form a gate-like configuration as a whole. Increase. For this reason, even when a repulsive force from the elastic seal members 15A and 15B or an external force from the outside acts, the flow path is hardly broken.

なお、本発明のドライバ基板４の略全域とは、ドライバー基板４の全体に限定されるものではない。本発明は、液体がかかってドライバ基板を破損する恐れが非常に高く、また流路部分と近い位置に設置せざる得ない部品、例えば、ドライバーＩＣ、コンデンサー、ダイオードなどの電子部品、の電機接続部分と、ヘッドチップとドライバー基板を接続する配線接続部分を保護することが主な目的である。よって、ドライバー基板と外部駆動回路を接続するためのコネクター等の流路から離れて設置できる部品を、本発明のみで保護する必要はなく、別途、封止材を充填するなどして保護しても良い。 The substantially whole area of the driver board 4 of the present invention is not limited to the whole driver board 4. The present invention has a high possibility of damaging the driver board due to liquid, and electrical connection of components that must be installed at a position close to the flow path portion, for example, electronic components such as driver ICs, capacitors, and diodes. The main purpose is to protect the portion and the wiring connection portion connecting the head chip and the driver substrate. Therefore, it is not necessary to protect the parts that can be installed away from the flow path such as the connector for connecting the driver board and the external drive circuit with the present invention alone, and protect the parts separately by filling with a sealing material. Also good.

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The above description of the embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。1 is a perspective view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. ベースユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a base unit. ベースユニットの概略構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows schematic structure of a base unit. ヘッドベース、チップマウント、およびヘッドチップの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a head base, a chip mount, and a head chip. ヘッドチップの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a head chip. フィルタユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a filter unit. ベースユニットとフィルタユニットとを分解した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which decomposed | disassembled the base unit and the filter unit. ベースユニットとフィルタユニットとを結合した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which couple | bonded the base unit and the filter unit. インクジェットヘッドの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of an inkjet head.

Explanation of symbols

１−インクジェットヘッド
２−ベースユニット
３−フィルタユニット
４−ドライバ基板
１１−ヘッドチップ
１２−チップマウント
１３−ヘッドベース
１４Ａ，１４Ｂ−マニホールド
２３Ａ−液体導入口
２３Ｂ−液体排出口 1-Inkjet head 2-Base unit 3-Filter unit 4-Driver board 11-Head chip 12-Chip mount 13-Head base 14A, 14B-Manifold 23A-Liquid inlet 23B-Liquid outlet

Claims

A droplet discharge device that includes a droplet discharge unit that discharges a supplied liquid through a plurality of nozzles, and that discharges a droplet using the droplet discharge unit,
The droplet discharge unit includes:
The body,
A common liquid chamber provided inside the main body;
A plurality of individual liquid chambers provided inside the main body and communicating with each of the common liquid chamber and the plurality of nozzles;
A liquid introduction port exposed to the first side surface of the main body and continuing to the common liquid chamber;
A liquid discharge port that is exposed to a second side surface located on the opposite side of the first side surface and that is continuous with the common liquid chamber;
With
The droplet discharge device includes:
A drive circuit for driving the droplet discharge unit;
A base member holding the droplet discharge unit and the drive circuit;
A first flow path component having a first liquid flow path to be continuous with the liquid introduction port, and a second flow path having a second liquid flow path to be continuous to the liquid discharge port. And a third flow path in which a liquid flow path to be connected to the first liquid flow path and a liquid flow path to be connected to the second liquid flow path are respectively provided. A flow path constituting unit having a constituting member,
The flow path component unit is disposed so as to cover the drive circuit with the first flow path component member, the second flow path component member, and the third flow path component member. Droplet discharge device.

The droplet discharge device according to claim 1, wherein the flow path constituting unit is attached to the base member.

The first side surface and the first flow path component member are in pressure contact with each other via a first elastic seal member, and the second side surface and the second flow path component member are second elastic. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the flow path constituting unit is disposed so as to be in pressure contact with a seal member.

3. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the third flow path component member is a filter unit that filters liquid passing through the inside. 4.

The first flow path component, the second flow path component, and the third flow path component are made of PEEK (polyetheretherketone), and the first flow path component and The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 3, wherein an epoxy-based adhesive is used for bonding the second flow path component and the third flow path component. .