JP3971104B2 - Development method of semiconductor integrated circuit device - Google Patents

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Description

技術分野
本発明は、半導体集積回路デバイスの設計及びテスト設計技術に係り、半導体集積回路デバイスの設計工程の上流側からテスト設計を開始可能にする技術に関するものである。
背景技術
半導体集積回路デバイスを開発する場合、目標仕様(目標仕様とは、本発明を用いて製造された製品によってはその製品の最終仕様を意味することもある。)を決定し、論理設計、回路設計及びレイアウト設計などを順次進めていく。このとき、過去の設計資産がある場合にはそれを流用する。設計工程では、論理シミュレーションや回路シミュレーションを行なって、設計目標仕様を満足するかの検証が適宜行なわれる。半導体集積回路デバイスの回路設計を一応完了すると、次に半導体集積回路デバイスの試作を行ない、試作された半導体集積回路デバイスはテスタを用いて実際に機能検証が行なわれる。半導体集積回路デバイスの端子配列や端子数に応じて当該デバイスとテスタとはテストボードを介して接続される。デバイステストにおいて設計目標仕様が達成されていない場合には半導体集積回路デバイスの回路設計を修正し、目標仕様を達成させる。その後、当該半導体集積回路デバイスの量産が開始される。
半導体集積回路デバイスを開発する場合、デバイスそれ自体の設計だけでなく、デバイステストのためのテスト設計も行なわれなければならない。テスト設計では、前記テストボードの設計、そして、テスタを動作させるためのテストプログラムの設計などが必要である。
一般に、テスト設計のためのテスト工程は、デバイス設計者がテスト仕様を作成してから開始されている。従来は、半導体集積回路デバイスの設計工程に並行してテスト工程を進めることは行なわれていなかった。通常、デバイスの回路設計を完了してから、テスト仕様が作成され、それに基づいてテストボードやテストプログラムの設計が開始されていた。このように、回路設計を済ませてからテスト設計に着手するという、直列的な設計作業の進め方が主流であるから、テスト設計工程では、設計者が量産テスタ用に決定したテスト仕様に対し、テスト技術者がテストプログラムの作成とそのソフトウェアデバッグを行うと共にテストボードを作成し、試作デバイスとテストボード(フィクチャーボードとも称する)を含めてテストプログラムのデバッグをテスター上で行うというのが一般的な手法であった。すなわち、試作デバイスの評価と共に、テストプログラム、及びテストボードの評価も、テスタを用いて併せて行なわれていた。
しかしながら、試作デバイス、テストプログラム、及びテストボードをテスタを用いて一緒に評価していたのでは、不具合いがあった場合、その不具合いが、試作デバイス、テストプログラム、又はテストボードの何れに起因するかを特定するのが困難な場合も生じ、テスト設計を含めて、半導体集積回路デバイスの開発期間を短縮できないという問題点の有ることが本発明者によって明らかにされた。
半導体集積回路デバイスの開発期間の短縮をテスト設計の観点から試みる場合、テスト工程のみに注目して期間短縮と効率向上を図ろうとすれば、部分改良に偏り大きな効果を期待できない。
本発明者は、テスト設計とデバイス設計との並列化によって半導体集積回路デバイスの開発期間を全体的に短縮すると共に開発効率を向上させるという、新規な着想を見出した。
本発明の目的は、テスト設計とデバイス設計との並列化によって半導体集積回路デバイスの開発期間を全体的に短縮すると共に開発効率を向上させることができる半導体集積回路デバイスの開発方法を提供することにある。
本発明の別の目的は、テスト設計工程の観点より半導体集積回路デバイスの開発期間を全体的に短縮する事ができる半導体集積回路デバイスの開発システムを提供することにある。
本発明の上記並びにその他の目的と新規な特徴は本明細書の以下の記述と添付図面から明らかにされるであろう。
発明の開示
本発明に係る半導体集積回路デバイスの開発方法は、目標仕様を満足させるように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成する第1処理と、前記デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なう第2処理と、前記第2処理と並列的に、前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルと共にデバイスモデルをシミュレーションしてテスト設計を行なう第3処理とを含む。機能記述されたデバイスモデルは開発すべき半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足しており、このデバイスモデルをテスタモデルと共にシミュレーションし、シミュレーション結果からデバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを判定することにより、例えば、テスタモデルの妥当性、すなわち、テストプログラム、或いはテスタと半導体デバイスを接続するためのテストボードの設計が妥当であるかを検証でき、回路設計が完了する前に、テスト設計を進めることが可能になる。
前記第1処理は、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義する第1ステップと、半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割すると共に個々の機能モジュールの内部端子を定義して各機能モジュールが目標仕様を満足するように夫々の内部端子の入出力状態を定義する第2ステップと、前記第1ステップで定義された外部端子の入出力状態を与えたとき半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように前記夫々の機能モジュール相互間の内部端子の結合状態を定義して前記デバイスモデルを生成する第3ステップとを含むことができる。
このようなデバイスモデルの定義は、前記外部端子及び内部端子に関する入出力状態という点で半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足し、これは、取りも直さず、半導体集積回路デバイスに対するテスト仕様若しくはテスト項目を与えることになる。したがって、前述のように、このデバイスモデルをテスタモデルと共にシミュレーションし、シミュレーション結果からデバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを判定することにより、前述の通り例えば、テストプログラムやテストボードの設計が妥当であるかを機能設計段階から検証できる。
前記機能モジュールの分割の大きさは、分割された機能モジュールが目標仕様を満足するかを検証するときのシミュレーション時間に関係し、大きいほど検証に要する時間は短く、小さいほど詳細に機能を定義できる。何れを採用するかは、半導体集積回路デバイスがディジタル回路か、アナログ回路か、ディジタル・アナログ混在回路か等に応じて決定し、或いは着目度合いの多少に応じて決定することができる。
更に詳しい態様の前記第1処理は、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義する第1ステップと、半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割して定義すると共に個々の機能モジュールの内部端子の入出力状態を定義する第2ステップと、第2ステップで定義された入出力状態を用いて機能モジュールの機能シミュレーションを行なって機能モジュールが目標仕様を満足するかを検証する第3ステップと、第3ステップで目標仕様を満足しない機能モジュールに対してその目標仕様の調整と前記第3ステップとを目標仕様を満足するまで繰り返す第4ステップと、目標仕様が満足された機能モジュール相互間の内部端子の結合を定義し前記ステップ1で定義された外部端子の入出力状態を与えてシミュレーションを行ない半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するか否かを検証する第5ステップと、第5ステップで目標仕様を満足しない場合に所望の機能モジュールに対する目標仕様の調整と前記第5ステップとを半導体集積回路デバイス全体の目標仕様を満足するまで繰り返す第6ステップとを含むことができ、前記第5ステップにおいて目標仕様が満足されたとき又は第6ステップを経たとき、機能モジュールの定義、外部端子及び内部端子の入出力状態に対する定義、及び内部端子相互間の結合定義に基づいて前記デバイスモデルを生成することができる。
前記デバイスモデルは、半導体集積回路デバイスのチップに実現すべき機能に関するチップ機能記述データと、前記チップを収容して該チップと電気的な接続が形成されるパッケージの電気的特性に関するパッケージ機能記述データとの双方又は前者によって形成することができる。例えば、パッケージのボンディングワイヤなどに寄生するインダクタンス成分や容量成分等を予め問題視する場合には、前記チップ機能記述データとパッケージ機能記述データとの双方によってデバイスモデルを形成する。
前記テスタモデルは、テスタのハードウェアを機能記述によって特定したテスタ機能記述データと、前記テスト項目毎にテスタの動作を決定するためのテストプログラムと、テスタと半導体集積回路デバイスとの接続を実現するためのテストボードの回路構成を特定するテストボード設計データとに基づいて形成することができる。このとき、前述のように、前記テスト設計では、前記シミュレーション結果を前記テスタモデルに反映して前記テストプログラム及びテストボードを設計することになる。
半導体集積回路デバイスの開発方法は更に、前記回路記述データに基づいて半導体集積回路デバイスのレイアウトを特定するためのレイアウトデータを生成する第4処理と、前記レイアウトデータに基づいて製造された半導体集積回路デバイスを前記テストボードを介して前記テスタに装着し、該テスタを前記テストプログラムを利用して動作させて、実テストを行なう第5処理とを含むことができる。
本発明による半導体集積回路デバイスの開発システムは、目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成すると共に、デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なうデバイス設計手段と、前記半導体集積回路デバイスをテストするためのテスト設計を行なうテスト設計手段とを有する。前記テスト設計手段は、前記デバイスモデルを入力し、テスタと半導体集積回路デバイスとを接続するためのテストボードの回路設計を支援する第1データ処理手段と、テスタ固有のハードウェアを機能記述によって特定するテスタ機能記述データ及び前記デバイスモデルに基づいて、必要なテスト項目を検証するためのテストプログラムの設計を支援する第2データ処理手段と、前記テスタ機能記述データ、前記テストプログラム及び前記テストボードの設計データに基づいて目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルを構成し、当該テスタモデルと前記デバイスモデルとを統合してシミュレーションを行う第3データ処理手段とを含み、前記テスト設計手段による回路設計の完了前に、前記シミュレーション結果に基づいて前記デバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを検証することにより前記テストボードの設計データ及びテストプログラムを検証可能にするものである。
発明を実施するための最良の形態
先ず、第1図に基づいて本発明に係る半導体集積回路デバイスの開発方法を概略的に説明する。
半導体集積回路デバイスの開発には例えばワークステーションなどのコンピュータシステムを用いる。このコンピュータシステムは、その動作プログラムによってデバイス設計手段1とテスト設計手段2を構成する。デバイス設計手段1とテスト設計手段2とを別々のコンピュータシステムで構成することは当然可能である。
デバイス設計手段1は、目標仕様に基づいて半導体集積回路デバイスのシステム設計、機能設計、回路設計、及びレイアウト設計を行なう。システム設計では半導体集積回路デバイスを適当な大きさで機能モジュールに分割する。機能設計では、機能モジュールの集合として半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語(例えばHDL(Hardware Description Language):ハードウェア記述言語)でモデル化したデバイスモデルを生成する。レイアウト設計後、ウェーハプロセスによってウェーハが試作され、それに対するプローブ検査(P検)の後、組立工程を経て試作デバイスの組み立て(パッケージ)が行なわれる。この試作デバイスには製品デバッグ(終検)が施され、デバッグの結果がデバイス設計にフィードバックされ、最後に半導体集積回路デバイスの量産に移行される。量産された半導体集積回路デバイスは量産テスタ3にてテストされ、出荷される。
テスト設計手段2は、半導体集積回路デバイスをテストするためのテスト設計を行なう。例えば、P検、終検のためのデバッグ用のテストプログラムや、量産テスタに対する量産テスト用のテストプログラムの設計を支援し、また、テスタと半導体集積回路デバイスとの接続を行なうテストボードの設計に利用される。
第1図から明らかなように、テスト設計手段2には半導体集積回路デバイスの機能設計の結果が与えられている。すなわち、前記デバイスモデルで代表される半導体集積回路デバイスの機能記述データが与えられている。これを元に、テスト設計手段2は、前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルを生成し、該テスタモデルと共にデバイスモデルをシミュレーションしてテスト設計を行なう。機能記述されたデバイスモデルは開発すべき半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足しており、このデバイスモデルをテスタモデルと共にシミュレーションし、シミュレーション結果からデバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを判定することにより、テスタモデルの妥当性、例えば、テストプログラム、或いはテストボードの設計が妥当であるかを検証でき、機能設計の段階からテスト設計を進めることができる。図1に示されるように、P検段階までにテスト設計を一応完了できる。したがって、半導体集積回路デバイスの開発期間を全体的に短縮できると共に開発効率を向上させることができる。
更に、機能設計の結果である前記デバイスモデルに代表される半導体集積回路デバイスの機能記述データは、当該半導体集積回路デバイスのユーザにも提供することができる。前述のようにデバイスモデルは、前記機能モジュールの集合として半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したものであり、目標仕様を満足している。ユーザは、当該デバイスモデルを用いて、その半導体集積回路デバイスを用いるシステムボード若しくは回路ボード(ユーザボードと称する)の設計を、デバイス完成前に、先行して進めることができる。例えば、前述のテスト設計の場合と同様に、所要のユーザボードをモデル化したものと一緒に、目標仕様を満足したデバイスモデルをシミュレーションし、デバイスモデルが目標仕様を満足するかを検証する。目標仕様を満足していなければ、ユーザボードのモデルに不都合が有り、このようにしてユーザボードの評価を進めながらユーザボードの設計を、早い段階から進めることが可能になる。更に、ユーザは、第13図に基づいて後述するように、ユーザボードに最適化できるように半導体デバイスに対する設計変更の要求も早い段階で可能になる。
第2図には半導体集回路デバイスの開発方法の一例がフローチャートで示される。第2図において、ステップS1〜S5は、目標仕様を満足させるように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成する第1処理である。ステップS6〜S8は、前記デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なう第2処理である。ステップS20〜S23は、前記第2処理と並列的に、前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルと共にデバイスモデルをシミュレーションしてテスト設計を行なう第3処理である。ステップS30〜S37は、ユーザによるボード設計処理である。
ステップS1,S2は、特に制限されないが、システム設計の範疇に属し、ステップS1では、半導体集積回路デバイス(以下単にICとも記す)の目標仕様を決定する。特に制限されないが、ここでは、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義する。ステップS2では半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割する。機能モジュールの分割の大きさは、分割された機能モジュールが目標仕様を満足するかを検証するときのシミュレーション時間に関係し、大きいほど検証に要する時間は短く、小さいほど詳細に機能を定義できる。何れを採用するかは、半導体集積回路デバイスがディジタル回路か、アナログ回路か、ディジタル・アナログ混在回路か等に応じて決定し、或いは着目度合いの多少に応じて決定することができる。
ステップS3、S4では、個々の機能モジュールの内部端子を定義して各機能モジュールが目標仕様を満足するように夫々の内部端子の入出力状態を定義すると共に、前記ステップS2で定義された外部端子の入出力状態を与えたとき半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように前記夫々の機能モジュール相互間の内部端子の結合状態を定義して、前記デバイスモデルを生成する。
デバイスモデル生成工程を更に詳述すれば、ステップS2で、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義すると共に、半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割して定義する。次いで、個々の機能モジュールの内部端子の入出力状態を定義し、定義された入出力状態を用いて機能モジュールの機能シミュレーションを行なって機能モジュールが目標仕様を満足するかを検証する(S4)。ステップS4で目標仕様を満足しない機能モジュールに対して、個々の機能モジュールが目標仕様を満足するまで、機能モジュールの目標仕様を調整し(S3)、更にシミュレーションを行なう(S4)。個々の機能モジュールの目標仕様が満足さた後、機能モジュール相互間の内部端子の結合を定義し前記ステップS2で定義された外部端子の入出力状態を与えてシミュレーションを行ない、今度は半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するか否かを検証する(S4)。半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足しない場合に、半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するまで、所望の機能モジュールの目標仕様を調整してシミュレーションを繰り返す(S4)。半導体集積回路デバイスの目標仕様が満足されたとき、機能モジュールの定義、外部端子及び内部端子の入出力状態に対する定義、及び内部端子相互間の結合定義に基づいてデバイスモデルが生成される。
前記デバイスモデルは、半導体集積回路デバイスのチップに実現すべき機能に関するチップ機能記述データと、前記チップを収容して該チップと電気的な接続が形成されるパッケージの電気的特性に関するパッケージ機能記述データとの双方又は前者によって形成することができる。例えば、パッケージのボンディングワイヤなどに寄生するインダクタンス成分や容量成分等を予め問題視する場合には、前記チップ機能記述データとパッケージ機能記述データとの双方によってデバイスモデルを形成する。
このようなデバイスモデルの定義は、前記外部端子及び内部端子に関する入出力状態という点では半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足し、これは、取りも直さず、半導体集積回路デバイスに対するテスト仕様若しくはテスト項目を与えることになる。斯かるデバイスモデルはテスト設計手段2に与えられ、デバイスモデルの記述を元に、テストボードやテストプログラムの設計が開始される(S21)。尚、半導体集積回路デバイスの目標仕様からその端子数及び端子機能が特定され、それらは、ステップS4のシミュレーション結果には依存しない場合が多いから、ここでの説明では、それら基本的な目標仕様は予めテスト設計手段2に与えられ、与えられた目標仕様からテストボードの素子定数、すなわち、使用端子数やそれらの端子機能が抽出され(S20)、抽出されたデータはテストボード設計基本データとしてステップS21の処理に与えられる。
テスト設計手段2では、ステップS5以降の回路設計に並行してテスト設計を進めることができる。テスト設計では、前述のように、上記デバイスモデルをテスタモデルと共にシミュレーションし、シミュレーション結果からデバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを判定することにより、テスタモデルの妥当性、例えば、テストプログラムやテストボードの設計が妥当であるかを、機能設計段階から検証できる。
前記テスタモデルは、テスタのハードウェアを機能記述によって特定したテスタ機能記述データと、前記テスト項目毎にテスタの動作を決定するためのテストプログラムと、テストボードの回路構成を特定するテストボード設計データとに基づいて形成することができる。このとき、前述のように、前記テスト設計手段2では、前記シミュレーション結果を前記テスタモデルに反映して前記テストプログラム及びテストボードの設計を進めていくことになる。
回路設計では、回路設計・修正(S6)と回路シミュレーション(S7)とを繰り返すことにより、回路レベルで設計目標仕様を満足させる。
回路設計が完了すると(S8)、その結果はテスト設計に反映される(S22)。例えば、半導体集積回路デバイスの外部出力バッファ回路の駆動能力が当初よりも小さく変更された場合、テストボード上の比較的長い配線を駆動するための中継アンプの駆動能力を変更したりすることが必要になるからである。また、電圧反射などの動的な特性変化を排除することが必要な場合も有る。
テストボードやテストプログラムの設計が完了されると(S22)、テストボードの試作が行なわれる(S23)。この間、半導体集積回路デバイスのレイアウト設計が行なわれ、半導体集積回路デバイスが試作される(S9)。試作された半導体集積回路デバイスは、前記作成されたテストボードを介してテスタに接続され、前記テスト設計で生成されたテストプログラムを用いてテスタを動作させ、実際に、試作された半導体集積回路デバイスを動作させて検証が行なわれる(S10)。この段階において、テストボード及びテストプログラムに関しては、ステップS21による仮想的なテストやステップS22による修正が施されているから、完成度の高い状態にされている。したがって、ステップS10のデバイステストの段階では、テスト結果に不都合がある場合、その原因としてデバイスの不良を真っ先に指摘でき、テストの信頼性向上が達成される。尚、テストボードに関しては電圧反射等の動的特性に関し、ステップS10で検証することが最も効果的であり、テスト設計に対する最終的な検証となる。
前記デバイスモデルはユーザにも提供される。ユーザは、デバイスモデルの記述を元に、ユーザの実システムのボード設計をすることができる(S31)。尚、半導体集積回路デバイスの目標仕様からその端子数及び端子機能が特定され、それらは、ステップS4のシミュレーション結果には依存しない場合が多いから、ここでの説明では、それら基本的な目標仕様もユーザに与えられ、与えられた目標仕様から、半導体集積回路デバイスをユーザボードに搭載するための使用端子数やそれらの端子機能が抽出され(S30)、抽出されたデータはユーザボード設計基本データとしてステップS31の処理に与えられる。
第2図より明らかなように、ユーザは、半導体メーカによる回路設計に並行してユーザボードの設計を進めることができる。ユーザボード設計では、前述のように、前記デバイスモデルをユーザボードのモデルと共にシミュレーションし、シミュレーション結果からデバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを判定することにより、ユーザボードモデルの妥当性を機能設計段階から検証できる。したがって、ユーザは、メーカによる半導体集積回路デバイスの機能設計段階から、その検証結果を反映してユーザボードの設計を進めることができる。
回路設計が完了されると(S8)、その結果はユーザにも提供される。ユーザは、回路設計結果をユーザボードの設計に反映することができる(S32)。例えば、半導体集積回路デバイスの外部出力バッファ回路の駆動能力が当初よりも小さく変更された場合、ユーザボード上の信号配線途中に中継アンプなどを挿入する修正を行なうことも可能である。また、電圧反射などの動的な特性変化を排除することが必要な場合も有る。
このように、ユーザは、半導体集積回路デバイスの試作品の提供に先立って、ユーザボードの設計を開始できる。ユーザボードの設計完了後、ユーザボードの試作が行なわれる。第2図より明らかなように、ユーザボードの試作は、半導体集積回路デバイスの試作品の入手とほぼ同時期に完了させることも可能になる。したがって、ユーザは、ユーザボードの試作品を製作して直ぐに、半導体集積回路デバイスの試作品を入手でき、これをユーザボードに組み込み、半導体集積回路デバイスがユーザシステムの目標仕様を達成するかを検証することができる(S35)。検証結果を参照し、必要な場合にはユーザボードの回路素子の調整などのチューニングを行なうことができる(S36)。この段階において、ユーザボードは、ステップS31による仮想的なテストやステップS32による修正が施されているから、完成度の高い状態にされている。したがって、ステップS35の検証を能率的に行なうことができ、また、ユーザボードの量産(S37)までの期間を短縮することができる。
第3図の比較例に示されるように半導体集積回路デバイスの回路設計完了後にテストボード及びテストプログラム等のテスト設計を開始する手法では、回路設計の上流側からテスト設計を行なうことはできない。したがって、試作された半導体集積回路デバイスを用いて目標仕様の達成を検証するとき、テストボードやテストプログラムの設計を完了させるには十分な時間がなく、これによって試作デバイスを用いて、テストプログラム及びテストボードを検証する事ができない。そのまま、量産を開始し、前記テストボードやテストプログラムを量産デバイスのテストに用いれば、不都合が生じたとき、その原因がデバイスに有るのかテストボードやテストプログラムに有るのかを一義的に判断できなくなり、量産に支障を生ずることになる。また、試作デバイスを用いてテストボード及びテストプログラムの検証を行なおうとすれば、量産に移行する時期が遅れてしまう。同様に、第3図の手法では、ユーザボードの設計も回路設計の完了後でなければ開始する事ができない。
第4図には前記ステップS2で分割された機能モジュールの一例と、その機能モジュールに対するHDLによるハードウェアの機能記述の一例が示される。同図に代表的に示された機能モジュールは分周回路4である。
第5図にはテストボードに半導体集積回路デバイスを搭載した状態の概念図画示される。第5図において5はテストボード、6は半導体集積回路デバイスである。テストボード5の周縁部分にはテスタとの接続端子が配置され、半導体集積回路デバイス6の端子はその入出力機能に応じて、テスタの対応端子に配線や回路素子を介して結合される。回路素子は、テストボードの配線負荷を駆動するための中継アンプ、発振防止用の容量素子、電圧反射防止用の抵抗素子などとされる。
第6図には前記テスト設計手段2の一例である仮想テスタ(仮想テスタ2と記す)が示される。仮想テスタ2は、例えばワークステーションのようなコンピュータシステム上に構成され、シミュレータ14、設計環境ツール13、仮想テスト環境ツール11、テストボード設計環境ツール10、及びテストパターン加工・変換ツール15を有する。この例に従えば、各ツールは、コンピュータシステムのハードウェアとアプリケーションプログラムとによってデータ処理手段を構成する。仮想テスタ2は、システム設計で選られたテスト仕様及びデバイス設計手段1で得られたデバイスの機能記述データ等を入力する。
前記テストボード設計環境ツール10は、前記デバイスモデル等に基づいて、テスタと半導体集積回路デバイスとを接続するためのテストボードの回路設計を支援する。
前記仮想テスト環境ツール11には、デバイス電源、DC計測系、ピンエレクトロニクス、任意波形発生、周波数測定等のテスタ固有のハードウェアの機能記述コードを発生する複数のモジュール12が挿入される。仮想テスト環境ツール11は前記モジュール12で生成される情報、前記デバイスモデル及びテスト仕様等に基づいてテストプログラムの設計を支援する。すなわち、テスタ固有のハードウェアを機能記述によって特定するテスタ機能記述データ及び前記デバイスモデルに基づいて、必要なテスト項目を検証するためのテストプログラムの設計を支援する。
設計環境ツール13は、テスタをソフトウェア的に実現するためのツールであり、デバイスモデルによって特定されるデバイスと、テストボード設計環境ツール10で得られたテストボードの回路設計データから特定されるテストボードと、テスタとを機能記述で統合し、換言すればソフトウェア的に統合し、テスト環境を構築する。すなわち、前記テスタ機能記述データ、前記テストプログラム及び前記テストボードの設計データに基づいて目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルを構成し、当該テスタモデルと前記デバイスモデルとを統合する。
シミュレータ14は、構築されたテスト環境でテスト項目のシミュレーションを行う。これによって、テストプログラムの妥当性、テストボードによるデバイスとテスタとの物理的な接続関係の妥当性やテストボードの配線負荷などについて評価を行なう。評価結果に不都合があれば、テストプログラムやテストボードに関する修正を行なう。
テストパターン加工・変換ツール15は、シミュレーション上のイベント形式のテストパターンデータを、テスタで利用できる時間軸上のパターンに変換したり修正を行なうツールである。
この仮想テスタ2によって、テストプログラム、テストボードの回路設計データ、及びテストパターンが生成される。
このようにして、仮想テスタ2は、回路設計に並行して、換言すれば、デバイスの試作が完了する前に、テストボードの設計データ、テストプログラム及びテストパターンをある程度完成させることができる。
第7図にはシステム設計及び機能設計におけるデータフローの一例が示される。第7図において20は、ワークステーションのようなコンピュータシステム上で動作される機能設計及び回路設計用ツールであり、シンボルを組合わせた図を画面上に描くことによって半導体集積回路デバイスの機能設計や回路設計などを可能にする。シンボルライブラリ21には多数のシンボルが記憶され、シンボルを用いて予め定義された図形は図形ライブラリ22に格納されている。ネットリスト23は各図形の接続情報を格納する。機能設計及び回路設計用ツール20には、半導体集積回路デバイスのパッケージの外部端子数等のパッケージの素子定数、半導体集積回路デバイスの目標仕様などが与えられる。それらを利用して、機能モジュールの分割、端子の割り当てなどが行なわれ、前記ステップS3,S4で説明した機能シミュレーションが繰り返し行なわれる。これにより、機能モジュールの集合として半導体集積回路デバイス全体の機能モデル(デバイスモデル)24を生成することができる。
第8図には回路設計におけるデータフローの一例が示される。機能設計及び回路設計ツール20はデバイスモデル24及び目標仕様を受け取り、これに基づいて回路設計とシミュレーションを行い、目標仕様を満足するまでその動作を繰り返す。これによって回路設計データ25を得る。
第9図には前記仮想テスタ2を用いて仮想テストを行ないながらテストプログラムとテストボードを設計するときのデータフローの一例が示される。仮想テスタ2のテストボード設計環境ツール及び仮想テスト環境ツールなどはシンボルを組合わせた図を画面上に描くことによってテスト設計などを可能にする。シンボルライブラリ21には多数のシンボルが記憶され、シンボルを用いて予め定義された図形は図形ライブラリ22に格納されている。ネットリスト23は各図形の接続情報を格納する。仮想テスタ2は、テストボードの素子定数、デバイスモデル24、目標仕様などを入力し、これに基づいてテストボードの基本設計データが生成される。そして、テストボードの基本設計データ、デバイスモデル、テスタ機能記述データに基づいて、目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデル27を構成し、当該テスタモデルと前記デバイスモデルとを統合したテスト環境を構築する。このテスト環境を用いたシミュレーションによってテストプログラムやテストボードの評価を行なう。評価の結果がテストプログラムやテストボードの設計データに反映され、バグなどが修正されたテストプログラムやテストボードの設計データ28が得られる。
第10図にはユーザボードの設計に伴うデータフローの一例が示される。30はユーザボードの設計に用いられる設計ツールである。設計ツール30はシンボルを組合わせた図を画面上に描くことによって機能設計や回路設計などを可能にする。シンボルライブラリ31には多数のシンボルが記憶され、シンボルを用いて予め定義された図形は図形ライブラリ32に格納されている。ネットリスト33は各図形の接続情報を格納する。設計ツール30は、ユーザボードの素子定数、デバイスモデル、ユーザボードの目標仕様などを入力し、ユーザボードのモデルとデバイスモデルを統合したテスト環境を構築し、シミュレーションによってデバイスやテストボードの評価を行なう。
第11図には仮想テスタ2を用いたテストボードの設計手法の一例が示される。実際のデバイステストを模擬するには、DUT(Device Under Test)としての半導体集積回路デバイスだけでなく、テスタと半導体集積回路デバイスとの間のテストボードの入出力インタフェース回路の回路素子定数(インダクタンス、容量など)を考慮しなければならない。仮想テスタを用いたテストにおいても、前記素子定数を仮定する。そのような仮定を行なって、DUTとしての半導体集積回路デバイスの入力に結合されるテストボードの入力インタフェース回路とDUTとしての半導体集積回路デバイスの出力に結合されるテストボードの出力インタフェース回路に対しては回路シミュレーションを行い、DUTとしての半導体集積回路デバイスに対しては機能シミュレーションを行なう。このとき、テスタモデルで観測される入力波形や出力波形が理想波形から大幅にずれている場合には、前記素子定数を修正し、テストボードにおける入出力インタフェース回路の設計変更を行なう。
第12図にはデバイスモデルを利用したユーザボードの設計手法の一例が示される。ユーザボードの設計では、デバイスモデルで特定される半導体集積回路デバイスに接続される周辺回路の回路素子定数(インダクタンス、容量など)を考慮しなければならない。ユーザボードの設計において、前記回路素子定数を仮定する。そのような仮定を行なって、半導体集積回路デバイスの入力に結合される入力周辺回路と半導体集積回路デバイスの出力に結合される出力周辺回路には回路シミュレーションを行い、半導体集積回路デバイスに対しては機能シミュレーションを行なう。このとき、シミュレーションで観測される入力波形や出力波形が理想波形から大幅にずれている場合には、前記素子定数を修正し、ユーザボードにおける当該入力周辺回路及び出力周辺回路の設計変更を行なう。
第13図にはユーザボード上での半導体集積回路デバイスの一部を回路シミュレーションの対象とした半導体集積回路デバイスの検証方法の一例が示される。第12図に対し、半導体集積回路デバイスに対し、その入力回路と出力回路を回路シミュレーション対象とし、半導体集積回路デバイスのその他の部分を機能シミュレーション対象とする。半導体集積回路デバイスの入力回路と出力回路のシミュレーション波形が理想波形と大幅にずれている場合、半導体集積回路デバイス内部の入力回路を構成するトランジスタの素子定数を変更することが必要になる。このようなシミュレーションは、デバイスメーカによる回路設計段階で明らかにすることができるから、ユーザシステムへの良好な適合性を得るために半導体集積回路デバイス内部の設計変更も容易になる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づいて具体的に説明したが本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
例えば、仮想テスタを構成するツールは上記の説明に限定されず適宜変更可能である。また、半導体集積回路デバイスの回路規模が小さい場合、或いは回路構成が単純な場合等には、複数個の機能モジュールへの分割を行なわずにデバイスモデルを生成することも可能である。また、本発明の半導体集積回路デバイスの開発方法は新規デバイスの開発に適用されるだけでなく、既存デバイスの改良若しくは機能拡張に際しても適用することができる。この場合には、過去に蓄積された設計資産を流用して本発明方法を適用できることは言うまでもない。
産業上の利用可能性
本発明は、ASIC(Application Specific Integrated Circuits)方式、スタンダードセル方式、カスタム方式など半導体集積回路デバイスの設計手法に拘わらず、また、メモリ、マイクロコンピュータ等の論理LSI、アナログLSI、アナログ・ディジタル混在LSIなどの機能にも制限されず、半導体集積回路デバイスの開発期間を全体的に短縮すると共に開発効率を向上させて有効な種々の半導体集積回路デバイスの開発に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る半導体集積回路デバイスの開発方法を概略的に示す説明である。
第2図は半導体集回路デバイスの開発方法の一例を示すフローチャートである。
第3図は半導体集積回路デバイスの回路設計完了後にテストボード及びテストプログラムの設計を開始する比較例を示すフローチャートである。
第4図は分割された機能モジュールの一例と当該機能モジュールに対するHDLによるハードウェア記述の一例を示す説明図である。
第5図はテストボードに半導体集積回路デバイスを搭載した状態の概念図である。
第6図はテスト設計手段の一例である仮想テスタを示す説明図である。
第7図はシステム設計及び機能設計におけるデータフローの一例説明図である。
第8図は回路設計におけるデータフローの一例説明図である。
第9図は仮想テスタを用いて仮想テストを行ないながらテストプログラムとテストボードを設計するときのデータフローの一例説明図である。
第10図はユーザボードの設計に伴うデータフローの一例説明図である。
第11図は仮想テスタを用いたテストボードの設計手法の一例説明図である。
第12図はデバイスモデルを利用したユーザボードの設計手法の一例説明図である。
第13図はユーザボード上での半導体集積回路デバイスの一部を回路シミュレーションの対象とした半導体集積回路デバイスの検証方法の一例説明図である。
Technical field
The present invention relates to a design of a semiconductor integrated circuit device and a test design technique, and more particularly to a technique that allows test design to be started from the upstream side of a design process of a semiconductor integrated circuit device.
Background art
When developing a semiconductor integrated circuit device, the target specification (the target specification may mean the final specification of the product depending on the product manufactured using the present invention) is determined, and the logic design and circuit design are determined. We will proceed with the layout design. At this time, if there is a past design asset, it is used. In the design process, logic simulation or circuit simulation is performed to verify whether or not the design target specification is satisfied. Once the circuit design of the semiconductor integrated circuit device is completed, the semiconductor integrated circuit device is prototyped, and the prototyped semiconductor integrated circuit device is actually verified using a tester. The device and the tester are connected via a test board according to the terminal arrangement and the number of terminals of the semiconductor integrated circuit device. If the design target specification is not achieved in the device test, the circuit design of the semiconductor integrated circuit device is modified to achieve the target specification. Thereafter, mass production of the semiconductor integrated circuit device is started.
When developing a semiconductor integrated circuit device, not only a design of the device itself but also a test design for a device test must be performed. In the test design, it is necessary to design the test board and design a test program for operating the tester.
In general, a test process for test design is started after a device designer creates a test specification. Conventionally, the test process has not been performed in parallel with the design process of the semiconductor integrated circuit device. Usually, after completing the circuit design of the device, a test specification is created, and based on this, the design of a test board and a test program is started. In this way, the mainstream method is to proceed with serial design work, in which test design is started after circuit design is completed, so in the test design process, the test specifications determined by the designer for the mass production tester are tested. It is common for an engineer to create a test program and software debug it, create a test board, and debug the test program on the tester, including the prototype device and test board (also referred to as a fixture board). It was a technique. That is, along with the evaluation of the prototype device, the test program and the evaluation of the test board are also performed using the tester.
However, if the prototype device, test program, and test board were evaluated together using a tester, if there was a malfunction, the malfunction was caused by either the prototype device, the test program, or the test board. In some cases, it is difficult to specify whether or not the development period of the semiconductor integrated circuit device including the test design cannot be shortened.
When trying to shorten the development period of a semiconductor integrated circuit device from the viewpoint of test design, if you try to shorten the period and increase the efficiency by focusing only on the test process, you cannot expect a big effect on partial improvement.
The present inventor has found a novel idea that the development period of the semiconductor integrated circuit device is shortened as a whole and the development efficiency is improved by parallelizing the test design and the device design.
An object of the present invention is to provide a method for developing a semiconductor integrated circuit device that can shorten the development period of the semiconductor integrated circuit device as a whole and improve the development efficiency by parallelizing test design and device design. is there.
Another object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit device development system capable of shortening the development period of a semiconductor integrated circuit device as a whole from the viewpoint of a test design process.
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the following description of the present specification and the accompanying drawings.
Disclosure of the invention
A semiconductor integrated circuit device development method according to the present invention is based on a first process for generating a device model in which functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled in a function description language so as to satisfy a target specification, and based on the device model. A second process for designing a circuit of a semiconductor integrated circuit device, and a test design by simulating a device model together with a tester model in which test items corresponding to the target specifications are modeled in parallel with the second process. Processing. The functionally described device model satisfies the target specification of the semiconductor integrated circuit device to be developed. This device model is simulated together with the tester model, and it is determined from the simulation result whether the device model satisfies the target specification. Thus, for example, the validity of the tester model, that is, the design of the test program or the test board for connecting the tester and the semiconductor device can be verified, and the test design can be performed before the circuit design is completed. It becomes possible to proceed.
The first processing includes a first step of defining an input / output state of each external terminal corresponding to each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy a target specification of the semiconductor integrated circuit device, and a semiconductor integrated circuit A second step of dividing the device into a plurality of functional modules, defining internal terminals of the individual functional modules, and defining input / output states of the respective internal terminals so that each functional module satisfies a target specification; When the input / output state of the external terminal defined in the first step is given, the coupling state of the internal terminals between the respective functional modules is defined so as to satisfy the target specification of the semiconductor integrated circuit device, and the device model is defined. Generating a third step.
The definition of such a device model satisfies the target specification of the semiconductor integrated circuit device in terms of the input / output states related to the external terminal and the internal terminal. Will give the item. Therefore, as described above, by simulating this device model together with the tester model and determining whether the device model satisfies the target specification from the simulation result, for example, the design of the test program and the test board can be performed as described above. Validity can be verified from the functional design stage.
The size of the division of the functional module is related to the simulation time when verifying whether the divided functional module satisfies the target specification. The larger the functional module is, the shorter the time required for the verification is. The smaller the functional module is, the more detailed the function can be defined. . Which one is adopted can be determined according to whether the semiconductor integrated circuit device is a digital circuit, an analog circuit, a digital / analog mixed circuit, or the like, or can be determined according to the degree of attention.
The first process of a more detailed aspect includes a first step of defining an input / output state of each external terminal corresponding to each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy a target specification of the semiconductor integrated circuit device. The semiconductor integrated circuit device is defined by dividing it into a plurality of functional modules, and the input / output state defined in the second step is used to define the input / output state of the internal terminal of each functional module. A third step of performing functional simulation of the functional module to verify whether the functional module satisfies the target specification, adjustment of the target specification for the functional module that does not satisfy the target specification in the third step, and the third step Step 4 is repeated until the target specification is satisfied, and the internal terminals are connected between the functional modules that satisfy the target specification. And the simulation is performed by giving the input / output state of the external terminal defined in step 1 to verify whether or not the target specification of the semiconductor integrated circuit device is satisfied, and the target specification is determined in the fifth step. If not satisfied, the target specification for the desired functional module may be adjusted and the fifth step may be repeated until the target specification of the entire semiconductor integrated circuit device is satisfied. In the fifth step, the target specification may be included. Is satisfied or when the sixth step is passed, the device model can be generated based on the definition of the functional module, the definition of the input / output state of the external terminal and the internal terminal, and the definition of the coupling between the internal terminals. .
The device model includes chip function description data relating to functions to be realized on a chip of a semiconductor integrated circuit device, and package function description data relating to electrical characteristics of a package that accommodates the chip and forms an electrical connection with the chip. And both or the former. For example, when an inductance component or a capacitance component parasitic on a bonding wire of a package is considered as a problem in advance, a device model is formed by both the chip function description data and the package function description data.
The tester model realizes connection between tester function description data in which tester hardware is specified by function description, a test program for determining tester operation for each test item, and the tester and the semiconductor integrated circuit device. And the test board design data for specifying the circuit configuration of the test board. At this time, as described above, in the test design, the test program and the test board are designed by reflecting the simulation result in the tester model.
The method for developing a semiconductor integrated circuit device further includes a fourth process for generating layout data for specifying a layout of the semiconductor integrated circuit device based on the circuit description data, and a semiconductor integrated circuit manufactured based on the layout data A fifth process in which a device is mounted on the tester via the test board, and the tester is operated using the test program to perform an actual test.
A semiconductor integrated circuit device development system according to the present invention generates a device model in which functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled in a function description language so as to satisfy a target specification, and the semiconductor integrated circuit device based on the device model. Device design means for performing circuit design, and test design means for performing test design for testing the semiconductor integrated circuit device. The test design means inputs the device model, and specifies the first data processing means for supporting the circuit design of the test board for connecting the tester and the semiconductor integrated circuit device, and the hardware specific to the tester by the function description. Second data processing means for supporting design of a test program for verifying necessary test items based on the tester function description data and the device model, the tester function description data, the test program, and the test board And a third data processing unit that configures a tester model in which test items corresponding to the target specifications are modeled based on the design data, and integrates the tester model and the device model to perform a simulation. Based on the simulation results before circuit design by It is one which allows verifying the design data and test program of the test board by the device model to verify whether satisfies the target specification Te.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
First, a method for developing a semiconductor integrated circuit device according to the present invention will be schematically described with reference to FIG.
A computer system such as a workstation is used for development of a semiconductor integrated circuit device. This computer system constitutes device design means 1 and test design means 2 by the operation program. Of course, the device design means 1 and the test design means 2 can be configured by separate computer systems.
The device design means 1 performs system design, function design, circuit design, and layout design of a semiconductor integrated circuit device based on the target specification. In system design, a semiconductor integrated circuit device is divided into functional modules with an appropriate size. In functional design, a device model is generated in which the functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled in a function description language (for example, HDL (Hardware Description Language): hardware description language) as a set of functional modules. After the layout design, a wafer is prototyped by a wafer process. After a probe inspection (P inspection) for the wafer, an assembly process (package) of the prototype device is performed through an assembly process. This prototype device is subjected to product debugging (final inspection), the result of debugging is fed back to the device design, and finally, the production is shifted to mass production of semiconductor integrated circuit devices. The mass-produced semiconductor integrated circuit device is tested by a mass production tester 3 and shipped.
The test design means 2 performs test design for testing the semiconductor integrated circuit device. For example, it supports the design of test programs for debugging for P-test and final test, and test programs for mass-production test for mass-production testers, and also for the design of test boards that connect testers and semiconductor integrated circuit devices. Used.
As is apparent from FIG. 1, the test design means 2 is given the result of the functional design of the semiconductor integrated circuit device. That is, function description data of a semiconductor integrated circuit device represented by the device model is given. Based on this, the test design means 2 generates a tester model in which test items corresponding to the target specifications are modeled, and performs a test design by simulating a device model together with the tester model. The functionally described device model satisfies the target specification of the semiconductor integrated circuit device to be developed. This device model is simulated together with the tester model, and it is determined from the simulation result whether the device model satisfies the target specification. Thus, it is possible to verify the validity of the tester model, for example, whether the design of the test program or the test board is valid, and the test design can proceed from the functional design stage. As shown in FIG. 1, the test design can be completed once by the P detection stage. Therefore, the development period of the semiconductor integrated circuit device can be shortened as a whole and the development efficiency can be improved.
Furthermore, the function description data of the semiconductor integrated circuit device represented by the device model as a result of the function design can be provided to the user of the semiconductor integrated circuit device. As described above, the device model is obtained by modeling the function of the semiconductor integrated circuit device as a set of the function modules in the function description language, and satisfies the target specification. The user can advance the design of a system board or a circuit board (referred to as a user board) using the semiconductor integrated circuit device using the device model before the device is completed. For example, as in the case of the test design described above, a device model that satisfies the target specification is simulated together with a model of a required user board, and it is verified whether the device model satisfies the target specification. If the target specification is not satisfied, the user board model is inconvenient, and the user board can be designed from an early stage while evaluating the user board in this way. Further, as will be described later with reference to FIG. 13, the user can request a design change for the semiconductor device at an early stage so that the user board can be optimized.
FIG. 2 is a flowchart showing an example of a semiconductor integrated circuit device development method. In FIG. 2, steps S1 to S5 are first processing for generating a device model in which the function of the semiconductor integrated circuit device is modeled with a function description language so as to satisfy the target specification. Steps S6 to S8 are a second process for designing a circuit of the semiconductor integrated circuit device based on the device model. Steps S20 to S23 are third processes for performing test design by simulating a device model together with a tester model in which test items corresponding to the target specifications are modeled in parallel with the second process. Steps S30 to S37 are board design processing by the user.
Steps S1 and S2 are not particularly limited, but belong to the category of system design. In step S1, a target specification of a semiconductor integrated circuit device (hereinafter simply referred to as IC) is determined. Although not particularly limited, the input / output state of each external terminal is defined in correspondence with each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy the target specification of the semiconductor integrated circuit device. In step S2, the semiconductor integrated circuit device is divided into a plurality of functional modules. The size of the division of the functional module is related to the simulation time when verifying whether the divided functional module satisfies the target specification. The larger the functional module is, the shorter the time required for the verification is. The smaller the functional module is, the more detailed the function can be defined. Which one is adopted can be determined according to whether the semiconductor integrated circuit device is a digital circuit, an analog circuit, a digital / analog mixed circuit, or the like, or can be determined according to the degree of attention.
In steps S3 and S4, the internal terminals of the individual functional modules are defined, the input / output states of the respective internal terminals are defined so that each functional module satisfies the target specification, and the external terminals defined in step S2 are defined. When the input / output state is given, the connection state of the internal terminals between the respective functional modules is defined so as to satisfy the target specification of the semiconductor integrated circuit device, and the device model is generated.
The device model generation process will be described in more detail. In step S2, the input / output state of each external terminal is defined in correspondence with each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy the target specification of the semiconductor integrated circuit device. At the same time, the semiconductor integrated circuit device is defined by being divided into a plurality of functional modules. Next, the input / output state of the internal terminal of each functional module is defined, and a functional simulation of the functional module is performed using the defined input / output state to verify whether the functional module satisfies the target specification (S4). For the functional module that does not satisfy the target specification in step S4, the target specification of the functional module is adjusted until each functional module satisfies the target specification (S3), and further simulation is performed (S4). After the target specifications of the individual functional modules are satisfied, a simulation is performed by defining the coupling of the internal terminals between the functional modules and giving the input / output states of the external terminals defined in step S2, and this time the semiconductor integrated circuit It is verified whether or not the target specification of the device is satisfied (S4). If the target specification of the semiconductor integrated circuit device is not satisfied, the simulation is repeated by adjusting the target specification of the desired functional module until the target specification of the semiconductor integrated circuit device is satisfied (S4). When the target specification of the semiconductor integrated circuit device is satisfied, a device model is generated based on the definition of the functional module, the definition for the input / output state of the external terminal and the internal terminal, and the definition of the coupling between the internal terminals.
The device model includes chip function description data relating to functions to be realized on a chip of a semiconductor integrated circuit device, and package function description data relating to electrical characteristics of a package that accommodates the chip and forms an electrical connection with the chip. And both or the former. For example, when an inductance component or a capacitance component parasitic on a bonding wire of a package is considered as a problem in advance, a device model is formed by both the chip function description data and the package function description data.
The definition of such a device model satisfies the target specification of the semiconductor integrated circuit device in terms of the input / output states related to the external terminal and the internal terminal, and this does not recapture the test specification or test for the semiconductor integrated circuit device. Will give the item. Such a device model is given to the test design means 2, and design of a test board and a test program is started based on the description of the device model (S21). Note that the number of terminals and the terminal function are specified from the target specifications of the semiconductor integrated circuit device, and they often do not depend on the simulation result of step S4. Therefore, in this description, these basic target specifications are Preliminarily given to the test design means 2, the element constants of the test board, that is, the number of used terminals and their terminal functions are extracted from the given target specifications (S20), and the extracted data is used as test board design basic data. It is given to the processing of S21.
The test design means 2 can proceed with the test design in parallel with the circuit design after step S5. In the test design, as described above, the device model is simulated together with the tester model, and the validity of the tester model, for example, a test program or Whether the test board design is valid can be verified from the functional design stage.
The tester model includes tester function description data for specifying tester hardware by function description, a test program for determining tester operation for each test item, and test board design data for specifying a circuit configuration of the test board. And can be formed based on. At this time, as described above, the test design means 2 advances the design of the test program and the test board by reflecting the simulation result in the tester model.
In circuit design, circuit design / correction (S6) and circuit simulation (S7) are repeated to satisfy the design target specifications at the circuit level.
When the circuit design is completed (S8), the result is reflected in the test design (S22). For example, if the driving capability of the external output buffer circuit of the semiconductor integrated circuit device is changed to be smaller than the original, it is necessary to change the driving capability of the relay amplifier for driving a relatively long wiring on the test board. Because it becomes. In some cases, it is necessary to eliminate dynamic characteristic changes such as voltage reflection.
When the design of the test board and the test program is completed (S22), the test board is prototyped (S23). During this time, the layout design of the semiconductor integrated circuit device is performed, and the semiconductor integrated circuit device is prototyped (S9). The prototyped semiconductor integrated circuit device is connected to the tester via the created test board, the tester is operated using the test program generated by the test design, and the prototyped semiconductor integrated circuit device is actually manufactured. Verification is performed by operating (S10). At this stage, the test board and the test program are in a highly complete state because the virtual test in step S21 and the correction in step S22 are performed. Therefore, in the device test stage of step S10, if the test result is inconvenient, the failure of the device can be pointed out as the cause first, and the reliability of the test is improved. For the test board, it is most effective to verify the dynamic characteristics such as voltage reflection in step S10, which is the final verification for the test design.
The device model is also provided to the user. The user can design the board of the user's actual system based on the description of the device model (S31). Note that the number of terminals and the terminal function are specified from the target specification of the semiconductor integrated circuit device, and they often do not depend on the simulation result of step S4. Therefore, in this description, these basic target specifications are also included. The number of terminals used for mounting the semiconductor integrated circuit device on the user board and their terminal functions are extracted from the given target specifications given to the user (S30), and the extracted data is used as user board design basic data. It is given to the process of step S31.
As is apparent from FIG. 2, the user can proceed with the design of the user board in parallel with the circuit design by the semiconductor manufacturer. In user board design, as described above, the device model is simulated together with the user board model, and the validity of the user board model is functioned by determining whether the device model satisfies the target specification from the simulation result. It can be verified from the design stage. Therefore, the user can proceed with the design of the user board reflecting the verification result from the functional design stage of the semiconductor integrated circuit device by the manufacturer.
When the circuit design is completed (S8), the result is also provided to the user. The user can reflect the circuit design result in the design of the user board (S32). For example, when the driving capability of the external output buffer circuit of the semiconductor integrated circuit device is changed to be smaller than the initial level, it is possible to make corrections by inserting a relay amplifier or the like in the middle of signal wiring on the user board. In some cases, it is necessary to eliminate dynamic characteristic changes such as voltage reflection.
Thus, the user can start designing the user board prior to providing a prototype of the semiconductor integrated circuit device. After the user board design is completed, the user board is prototyped. As is apparent from FIG. 2, the trial production of the user board can be completed almost simultaneously with the acquisition of the prototype of the semiconductor integrated circuit device. Therefore, the user can obtain a prototype of the semiconductor integrated circuit device immediately after producing the prototype of the user board, and incorporate it into the user board to verify whether the semiconductor integrated circuit device achieves the target specification of the user system. (S35). With reference to the verification result, if necessary, tuning such as adjustment of circuit elements of the user board can be performed (S36). At this stage, since the user board has been subjected to the virtual test in step S31 and the correction in step S32, the user board is in a highly complete state. Therefore, the verification of step S35 can be performed efficiently, and the period until mass production of user boards (S37) can be shortened.
As shown in the comparative example of FIG. 3, the test design cannot be performed from the upstream side of the circuit design by the method of starting the test design such as the test board and the test program after the circuit design of the semiconductor integrated circuit device is completed. Therefore, when verifying the achievement of the target specifications using a prototype semiconductor integrated circuit device, there is not enough time to complete the design of the test board and test program, and thus using the prototype device, the test program and The test board cannot be verified. If mass production is started and the test board or test program is used for testing a mass production device, it will not be possible to determine unambiguously whether the cause is in the device or the test board or test program when a problem occurs. This will interfere with mass production. Moreover, if the test board and the test program are verified using the prototype device, the time for shifting to mass production will be delayed. Similarly, in the method of FIG. 3, user board design can be started only after circuit design is completed.
FIG. 4 shows an example of the functional module divided in step S2 and an example of hardware functional description by HDL for the functional module. A functional module typically shown in FIG.
FIG. 5 is a conceptual diagram showing a state in which a semiconductor integrated circuit device is mounted on a test board. In FIG. 5, 5 is a test board, and 6 is a semiconductor integrated circuit device. A connection terminal with a tester is disposed at the peripheral portion of the test board 5, and the terminal of the semiconductor integrated circuit device 6 is coupled to a corresponding terminal of the tester via a wiring or a circuit element according to its input / output function. The circuit elements are a relay amplifier for driving the wiring load of the test board, a capacitor element for preventing oscillation, a resistor element for preventing voltage reflection, and the like.
FIG. 6 shows a virtual tester (referred to as a virtual tester 2) which is an example of the test design means 2. The virtual tester 2 is configured on a computer system such as a workstation, and includes a simulator 14, a design environment tool 13, a virtual test environment tool 11, a test board design environment tool 10, and a test pattern processing / conversion tool 15. If this example is followed, each tool will comprise a data processing means with the hardware of a computer system, and an application program. The virtual tester 2 inputs the test specifications selected in system design, the device function description data obtained by the device design means 1, and the like.
The test board design environment tool 10 supports circuit design of a test board for connecting a tester and a semiconductor integrated circuit device based on the device model and the like.
The virtual test environment tool 11 is inserted with a plurality of modules 12 for generating tester-specific hardware function description codes such as device power supply, DC measurement system, pin electronics, arbitrary waveform generation, frequency measurement and the like. The virtual test environment tool 11 supports the design of a test program based on the information generated by the module 12, the device model, test specifications, and the like. That is, it supports the design of a test program for verifying necessary test items based on tester function description data for specifying tester-specific hardware by function description and the device model.
The design environment tool 13 is a tool for realizing the tester in software, and is a test board specified from the device specified by the device model and the circuit design data of the test board obtained by the test board design environment tool 10. And the tester are integrated by function description, in other words, by software integration, and a test environment is constructed. That is, a tester model in which test items corresponding to target specifications are modeled based on the tester function description data, the test program, and the design data of the test board, and the tester model and the device model are integrated.
The simulator 14 simulates test items in the built test environment. As a result, the validity of the test program, the validity of the physical connection between the device and the tester by the test board, the wiring load of the test board, etc. are evaluated. If the evaluation result is inconvenient, the test program and test board are corrected.
The test pattern processing / conversion tool 15 is a tool for converting or correcting the test pattern data in the event format on the simulation into a pattern on the time axis that can be used by the tester.
The virtual tester 2 generates a test program, test board circuit design data, and a test pattern.
In this way, the virtual tester 2 can complete the test board design data, the test program, and the test pattern to some extent in parallel with the circuit design, in other words, before the trial manufacture of the device is completed.
FIG. 7 shows an example of data flow in system design and function design. In FIG. 7, reference numeral 20 denotes a functional design and circuit design tool that is operated on a computer system such as a workstation. By drawing a combination of symbols on the screen, the functional design of the semiconductor integrated circuit device Enable circuit design. A large number of symbols are stored in the symbol library 21, and a graphic predefined using the symbols is stored in the graphic library 22. The net list 23 stores connection information of each figure. The function design and circuit design tool 20 is given a package element constant such as the number of external terminals of the package of the semiconductor integrated circuit device, a target specification of the semiconductor integrated circuit device, and the like. Utilizing them, division of function modules, assignment of terminals, and the like are performed, and the function simulation described in steps S3 and S4 is repeated. As a result, the function model (device model) 24 of the entire semiconductor integrated circuit device can be generated as a set of function modules.
FIG. 8 shows an example of a data flow in circuit design. The functional design and circuit design tool 20 receives the device model 24 and the target specification, performs circuit design and simulation based on the device model 24 and the target specification, and repeats the operation until the target specification is satisfied. As a result, circuit design data 25 is obtained.
FIG. 9 shows an example of a data flow when designing a test program and a test board while performing a virtual test using the virtual tester 2. The test board design environment tool, the virtual test environment tool, and the like of the virtual tester 2 enable test design by drawing a diagram in which symbols are combined on the screen. A large number of symbols are stored in the symbol library 21, and a graphic predefined using the symbols is stored in the graphic library 22. The net list 23 stores connection information of each figure. The virtual tester 2 inputs element constants of the test board, device model 24, target specifications, and the like, and basic design data of the test board is generated based on the input. Based on the basic design data of the test board, the device model, and the tester function description data, a tester model 27 in which test items corresponding to the target specifications are modeled is formed, and the tester model and the device model are integrated. Build the environment. Test programs and test boards are evaluated by simulation using this test environment. The evaluation result is reflected in the design data of the test program and test board, and the test program and test board design data 28 in which bugs are corrected are obtained.
FIG. 10 shows an example of the data flow accompanying the design of the user board. A design tool 30 is used for designing the user board. The design tool 30 enables functional design, circuit design, and the like by drawing on the screen a combination of symbols. A large number of symbols are stored in the symbol library 31, and a graphic predefined using the symbols is stored in the graphic library 32. The net list 33 stores connection information of each figure. The design tool 30 inputs element constants of the user board, device model, target specification of the user board, etc., constructs a test environment in which the user board model and the device model are integrated, and evaluates the device and the test board by simulation. .
FIG. 11 shows an example of a test board design method using the virtual tester 2. In order to simulate an actual device test, not only a semiconductor integrated circuit device as a device under test (DUT), but also circuit element constants (inductance, circuit) of an input / output interface circuit of a test board between the tester and the semiconductor integrated circuit device. Capacity etc.) must be taken into account. The element constant is also assumed in a test using a virtual tester. With such an assumption, for the test board input interface circuit coupled to the input of the semiconductor integrated circuit device as the DUT and the output interface circuit of the test board coupled to the output of the semiconductor integrated circuit device as the DUT Performs a circuit simulation and performs a function simulation for a semiconductor integrated circuit device as a DUT. At this time, if the input waveform or output waveform observed in the tester model is greatly deviated from the ideal waveform, the element constant is corrected, and the design of the input / output interface circuit on the test board is changed.
FIG. 12 shows an example of a user board design method using a device model. In designing the user board, circuit element constants (inductance, capacitance, etc.) of peripheral circuits connected to the semiconductor integrated circuit device specified by the device model must be taken into consideration. In designing the user board, the circuit element constant is assumed. With this assumption, circuit simulation is performed on the input peripheral circuit coupled to the input of the semiconductor integrated circuit device and the output peripheral circuit coupled to the output of the semiconductor integrated circuit device. Perform functional simulation. At this time, if the input waveform or output waveform observed in the simulation is greatly deviated from the ideal waveform, the element constant is corrected, and the design of the input peripheral circuit and the output peripheral circuit on the user board is changed.
FIG. 13 shows an example of a semiconductor integrated circuit device verification method in which a part of the semiconductor integrated circuit device on the user board is subjected to circuit simulation. Referring to FIG. 12, the input and output circuits of a semiconductor integrated circuit device are subject to circuit simulation, and the other parts of the semiconductor integrated circuit device are subject to functional simulation. When the simulation waveforms of the input circuit and the output circuit of the semiconductor integrated circuit device are greatly deviated from the ideal waveform, it is necessary to change the element constants of the transistors constituting the input circuit in the semiconductor integrated circuit device. Since such a simulation can be clarified at the circuit design stage by the device manufacturer, the design change inside the semiconductor integrated circuit device is facilitated in order to obtain good compatibility with the user system.
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
For example, the tools constituting the virtual tester are not limited to the above description and can be changed as appropriate. In addition, when the circuit scale of the semiconductor integrated circuit device is small or the circuit configuration is simple, it is possible to generate a device model without dividing into a plurality of functional modules. In addition, the semiconductor integrated circuit device development method of the present invention can be applied not only to the development of new devices, but also to the improvement or expansion of functions of existing devices. In this case, it goes without saying that the method of the present invention can be applied by diverting design assets accumulated in the past.
Industrial applicability
The present invention is not limited to a semiconductor integrated circuit device design method such as an ASIC (Application Specific Integrated Circuits) method, a standard cell method, or a custom method, and also includes a logic LSI such as a memory and a microcomputer, an analog LSI, and an analog / digital mixed LSI. The invention can be widely applied to the development of various effective semiconductor integrated circuit devices by reducing the development period of the semiconductor integrated circuit device as a whole and improving the development efficiency.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a method for developing a semiconductor integrated circuit device according to the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing an example of a method for developing a semiconductor integrated circuit device.
FIG. 3 is a flowchart showing a comparative example in which design of a test board and a test program is started after circuit design of a semiconductor integrated circuit device is completed.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of divided functional modules and an example of hardware description by HDL for the functional modules.
FIG. 5 is a conceptual diagram showing a state in which a semiconductor integrated circuit device is mounted on a test board.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a virtual tester which is an example of test design means.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of a data flow in system design and function design.
FIG. 8 is an explanatory diagram of an example of a data flow in circuit design.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of a data flow when designing a test program and a test board while performing a virtual test using a virtual tester.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a data flow associated with user board design.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a test board design method using a virtual tester.
FIG. 12 is an explanatory diagram showing an example of a user board design method using a device model.
FIG. 13 is a diagram for explaining an example of a method for verifying a semiconductor integrated circuit device in which a part of the semiconductor integrated circuit device on the user board is subjected to circuit simulation.

Claims (7)

目標仕様を満足させるように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成する第 1 処理と、前記デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なう第2処理と、前記第2処理と並列的に、前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルと共にデバイスモデルをシミュレーションしてテスト設計を行なう第3処理と、をコンピュータで実行し、
前記第1処理において、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義する第1ステップと、半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割すると共に個々の機能モジュールの内部端子を定義して各機能モジュールが目標仕様を満足するように夫々の内部端子の入出力状態を定義する第2ステップと、前記第1ステップで定義された外部端子の入出力状態を与えたとき半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように前記夫々の機能モジュール相互間の内部端子の結合状態を定義して前記デバイスモデルを生成する第3ステップと、をコンピュータで実行することを特徴とする半導体集積回路デバイスの開発方法。
A first process for generating a device model in which functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled in a function description language so as to satisfy a target specification; a second process for designing a circuit of the semiconductor integrated circuit device based on the device model; In parallel with the second process, a third process for performing test design by simulating a device model together with a tester model that models a test item corresponding to the target specification is executed by a computer,
A first step of defining an input / output state of each external terminal corresponding to each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy a target specification of the semiconductor integrated circuit device in the first processing; A second step of dividing the device into a plurality of functional modules, defining internal terminals of the individual functional modules, and defining input / output states of the respective internal terminals so that each functional module satisfies a target specification; When the input / output state of the external terminal defined in the first step is given, the coupling state of the internal terminals between the respective functional modules is defined so as to satisfy the target specification of the semiconductor integrated circuit device, and the device model is defined. the third semi-conductor integrated circuit device the method of development you and executes the steps, with the computer to generate.
目標仕様を満足させるように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成する第 1 処理と、前記デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なう第2処理と、前記第2処理と並列的に、前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルと共にデバイスモデルをシミュレーションしてテスト設計を行なう第3処理と、をコンピュータで実行し、
前記第1処理において、前記半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの各外部端子に対応させて夫々の外部端子の入出力状態を定義する第1ステップと、半導体集積回路デバイスを複数個の機能モジュールに分割して定義すると共に個々の機能モジュールの内部端子の入出力状態を定義する第2ステップと、第2ステップで定義された入出力状態を用いて機能モジュールの機能シミュレーションを行なって機能モジュールが目標仕様を満足するかを検証する第3ステップと、第3ステップで目標仕様を満足しない機能モジュールに対して目標仕様の調整と前記第3ステップとを目標仕様を満足するまで繰り返す第4ステップと、目標仕様が満足された機能モジュール相互間の内部端子の結合を定義し前記ステップ1で定義された外部端子の入出力状態を与えてシミュレーションを行ない半導体集積回路デバイスの目標仕様を満足するか否かを検証する第5ステップと、第5ステップで目標仕様を満足しない場合に所望の機能モジュールに対する目標仕様の調整と前記第5ステップとを半導体集積回路デバイス全体の目標仕様を満足するまで繰り返す第6ステップと、をコンピュータで実行し
前記第5ステップにおいて目標仕様が満足されたとき又は第6ステップを経たとき、機能モジュールの定義、外部端子及び内部端子の入出力状態に対する定義、及び内部端子相互間の結合定義に基づいて前記デバイスモデルをコンピュータで生成することを特徴とする半導体集積回路デバイスの開発方法。
A first process for generating a device model in which functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled in a function description language so as to satisfy a target specification; a second process for designing a circuit of the semiconductor integrated circuit device based on the device model; In parallel with the second process, a third process for performing test design by simulating a device model together with a tester model that models a test item corresponding to the target specification is executed by a computer,
A first step of defining an input / output state of each external terminal corresponding to each external terminal of the semiconductor integrated circuit device so as to satisfy a target specification of the semiconductor integrated circuit device in the first processing; The second step of defining the device by dividing it into a plurality of functional modules and defining the input / output state of the internal terminal of each functional module, and the function of the functional module using the input / output state defined in the second step A third step is performed to verify whether the functional module satisfies the target specification by performing simulation, and the target specification is adjusted and the third step is satisfied for the functional module that does not satisfy the target specification in the third step. The fourth step is repeated until it is done, and the internal terminal coupling between the functional modules satisfying the target specification is defined and When the input / output state of the external terminal defined in Step 1 is given and simulation is performed to verify whether or not the target specification of the semiconductor integrated circuit device is satisfied, and when the target specification is not satisfied in the fifth step A sixth step of adjusting the target specification for the desired functional module and repeating the fifth step until the target specification of the entire semiconductor integrated circuit device is satisfied is executed by a computer ;
When the target specification is satisfied in the fifth step or when the sixth step is passed, the device is defined based on the definition of the functional module, the definition for the input / output state of the external terminal and the internal terminal, and the definition of the coupling between the internal terminals. semiconductors integrated circuit device the method of development you and generates a model in computer.
前記デバイスモデルは、半導体集積回路デバイスのチップに実現すべき機能に関するチップ機能記述データと、前記チップを収容して該チップと電気的な接続が形成されるパッケージの電気的特性に関するパッケージ機能記述データとの双方又は前者によって形成されるものであることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路デバイスの開発方法。The device model includes chip function description data relating to functions to be realized on a chip of a semiconductor integrated circuit device, and package function description data relating to electrical characteristics of a package that accommodates the chip and forms an electrical connection with the chip. 3. The method of developing a semiconductor integrated circuit device according to claim 1 , wherein the semiconductor integrated circuit device is formed by both or the former. 前記テスタモデルは、テスタのハードウェアを機能記述によって特定したテスタ機能記述データと、前記テスト項目毎にテスタの動作を決定するためのテストプログラムと、テスタと半導体集積回路デバイスとの接続を実現するためのテストボードの回路構成を特定するテストボード設計データとに基づいて形成されるものであることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路デバイスの開発方法。The tester model realizes connection between tester function description data in which tester hardware is specified by function description, a test program for determining tester operation for each test item, and the tester and the semiconductor integrated circuit device. 3. The method of developing a semiconductor integrated circuit device according to claim 1 , wherein the development method is formed based on test board design data for specifying a circuit configuration of the test board for testing. 前記テスト設計は、前記シミュレーション結果を前記テスタモデルに反映して前記テストプログラム及びテストボードを設計する処理であることを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路デバイスの開発方法。5. The method of developing a semiconductor integrated circuit device according to claim 4 , wherein the test design is a process of designing the test program and a test board by reflecting the simulation result in the tester model. 前記回路記述データに基づいて半導体集積回路デバイスのレイアウトを特定するためのレイアウトデータを生成する第4処理と、前記レイアウトデータに基づいて製造された半導体集積回路デバイスを前記テストボードを介して前記テスタに装着し、該テスタを前記テストプログラムを利用して動作させて、実テストを行なう第5処理とを更にコンピュータで実行することを特徴とする請求項5記載の半導体集積回路デバイスの開発方法。A fourth process for generating layout data for specifying a layout of the semiconductor integrated circuit device based on the circuit description data; and a semiconductor integrated circuit device manufactured based on the layout data via the test board. 6. The method of developing a semiconductor integrated circuit device according to claim 5 , wherein the fifth process of performing an actual test is further executed by a computer by operating the tester using the test program. 目標仕様を満足するように半導体集積回路デバイスの機能を機能記述言語でモデル化したデバイスモデルを生成すると共に、デバイスモデルに基づいて半導体集積回路デバイスの回路設計を行なうデバイス設計手段と、前記半導体集積回路デバイスをテストするためのテスト設計を行なうテスト設計手段とを有し、
前記テスト設計手段は、前記デバイスモデルを入力し、テスタと半導体集積回路デバイスとを接続するためのテストボードの回路設計を支援する第1データ処理手段と、
テスタ固有のハードウェアを機能記述によって特定するテスタ機能記述データ及び前記デバイスモデルに基づいて、必要なテスト項目を検証するためのテストプログラムの設計を支援する第2データ処理手段と、
前記テスタ機能記述データ、前記テストプログラム及び前記テストボードの設計データに基づいて前記目標仕様に対応したテスト項目をモデル化したテスタモデルを構成し、当該テスタモデルと前記デバイスモデルとを統合してシミュレーションを行う第3データ処理手段とを含み、
前記テスト設計手段による回路設計の完了前に、前記シミュレーション結果に基づいて前記デバイスモデルが目標仕様を満足するか否かを検証することにより前記テストボードの設計データ及びテストプログラムを検証可能にするものであることを特徴とする半導体集積回路デバイスの開発システム。
Device design means for generating a device model in which functions of a semiconductor integrated circuit device are modeled by a function description language so as to satisfy a target specification, and for designing a semiconductor integrated circuit device based on the device model, and the semiconductor integrated circuit A test design means for performing a test design for testing a circuit device;
The test design means inputs the device model, and first data processing means for supporting circuit design of a test board for connecting a tester and a semiconductor integrated circuit device;
Second data processing means for supporting design of a test program for verifying necessary test items based on tester function description data for specifying tester-specific hardware by function description and the device model;
A tester model in which test items corresponding to the target specifications are modeled based on the tester function description data, the test program, and the design data of the test board is configured, and the tester model and the device model are integrated and simulated Third data processing means for performing
Before the circuit design by the test design means is completed, the design data and test program of the test board can be verified by verifying whether the device model satisfies a target specification based on the simulation result A development system for a semiconductor integrated circuit device, characterized in that
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