JP3965696B2 - 粉末のプラズマ処理装置および粉末のプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、熱間静水圧成形法により製品を成形する場合、原料となる粉末の充填密度が低いと成形時の収縮率が大きくなり製品が変形、もしくは缶が破裂する危険性もある。
そのため、熱間静水圧成形法に使用される原料粉末に対しては高い充填密度とすることが要求される。
球状化された粉末は流動性が向上し均一に充填する事が可能となる。とくに凝集性の高い粉末であっても、所定粒径の球状化粉末に調整すると、充填密度が飛躍的に向上するため有効である。
また、原料となる粉末が高価なものであると、ニアネットシェイプ化の要求も高い事から充填密度が高くできる球状化粉末は有効である。
また、プラズマ溶射などの分野で粉末供給の流動性を向上させるために、球状粉末原料が必要である。さらに、触媒や化学工業用途でも、球状粉あるいは近球状の粉末が求められている。
特許文献1に開示される技術は、ArとH2の混合ガスによる高周波誘導熱プラズマを発生させて、粉末を3000℃〜10000℃にも達するプラズマ中へ通過させることによって粉末粒子が溶融、表面張力により球状化し、さらに還元性ガスを用いている事により、粉末中に含まれている酸素、または低融点の不純物物質は除去され、溶融した粉末はチャンバー内を冷却されながら落下し、そのまま凝固して高純度で球状化した粉末を得るというものである。
しかし、高周波電力の電磁誘導で発生した熱プラズマは原理的に表皮効果があり、プラズマフレーム中の温度分布が均等ではない。実際には、プラズマフレームの外周部に高温領域と中心部に低温領域が形成される。特許文献1に記載の技術は中心低温領域を生かして、粉末供給ノズルをプラズマフレームの中心部に差し込み、供給した粉末を漏れなくフレームに通過させて処理できる利点がある。しかし、一方で本発明者らが検討した結果、プラズマ中への粉末の供給量を増加すると、球状化が十分に進まないという問題に直面した。
これは、高周波コイルの径方向中心付近から粉末原料を供給すると、この領域は低温領域となっているため粉末供給ノズルへのダメージは少ないが、粉末供給ノズルから直線的に噴出した原料粉末がプラズマの高温領域を通過することなく落下してしまい、プラズマのエネルギーを有効に活用出来ないためである。
この問題に対する一つのアプローチとして、ノズルの出口でガスアトマイズの如く外部ガスを作用させ、ドーナツ状に形成されるプラズマの高温域へ、原料粉末を拡散する手法が非特許文献1(Thermal Spray. Practical Solutions for Engineering Problems,C.C.Berndt(Ed.),Published by ASM International,Materials Park,Ohio−USA,1996 P683−690)に提案されている。
また、本発明者らは、高周波コイルの中心、すなわちプラズマの低温域ではなく、ノズルから直接プラズマの高温域に供給する方法を検討した。しかし、粉末の供給量の増加で、粉末粒子同士が連結し、そのまま溶融してしまうため、粗大な粒子を含む粉末となってしまう傾向となり、これも工業生産に適用することは困難であった。
また、粉末供給ノズル端部出口の内径は、旋回流形成手段の配置部分より小径化すること、あるいは旋回流形成手段と粉末供給ノズル端部出口との間には、緩和空間が形成されていることが好ましい。
本発明の装置は、プラズマフレームに導入する粉末を低温域から高温域へ分散させる手段として、ノズルの内部の設計、具体的には、粉末供給ノズル内部で旋回流を形成させる手段を採用したことにより、第三のガスの供給を必須とすることなく、目的を達成することが出来たものである。
まず、本発明の粉末のプラズマ処理装置の基本構成としては、高周波コイルの内側に発生させたプラズマ炎中に粉末原料を供給する粉末供給ノズルを具備する粉末のプラズマ処理装置としている。
そして、本発明においては、高周波コイルの径方向の略中心に配置させた粉末供給ノズルを有する。これにより、粉末供給ノズルが、プラズマ炎の高温域に曝されるのを避けるものとしている。また、径方向の略中心とすることで、プラズマ炎に供給される粉末は、プラズマの低温域から高温域へ分散させることができ、直接高温域へ粉末を供給する場合で問題となる粗大粒の発生を抑えることができる。
つまり、単純に粉末を放出するのではなく、旋回流を放出するので、その遠心力の影響でノズル出口から高周波コイルの径方向側にあるプラズマの高温域に原料粉末が拡散され、粉末を効率良く処理できるものである。
また、図3に示すように、粉末供給ノズル端部出口の内径は、旋回流形成手段の配置部分より小径化されていること、つまり粉末供給ノズルの出口の先端に内径を絞ることにより、ノズル内部とプラズマ発生空間との圧力差を大きくでき、ノズル出口から噴出される粉末を高周波コイル方向により拡散させることができる。
また、図1に示すように、緩和空間3を設けることで、粉末とキャリアガスが形成した旋回流が広がりベクトルを持ちながら、より均一に噴出ができるようになる。
図5に使用したノズル先端部の形状を示す。まず、図5(a)は、内径4.5mmの通常のストレートノズルであり、旋回流形成手段が挿入されないものである。
そして、図5(b)は、先端に螺旋状板1を付加するものである。螺旋状板としては厚さ0.3mmのJIS SUS304平板を360度ねじったものを用いた。
図5(c)は、先端から15mmの緩和空間3を形成して、先端から離れた位置に螺旋状板1を設置するものである。図5(d)は、図3と同じ構造であって、先端から15mmの緩和空間3を有し、先端内径を3mmに小径化したものである。
評価する処理粉末は、市販の平均粒径15μm、純度3N5のMo粉末を用いた。なお、この粉末の平均粒径は15μmであるが数μmの一次粒子が凝集して粒子となる形態をしていた。
使用したプラズマ処理装置は、Φ100mmのプラズマ発生空間を有する装置であり、処理時のプラズマ動作条件は出力200kW、圧力70kPa、作動ガスとして、Arガス250L/min(nor)、H2ガス30L/min(nor)、キャリアガスとしてArガス10L/min(nor)の設定とした。
また、粉末供給ノズル15のノズル出口位置は、高周波コイルの径方向中央であって、かつ高周波コイルの長さ方向中央に設定した。
図6と図7を比較すると明らかなように、図7に示図5(d)ノズルを用いる本発明の装置によって得られた粉末が、処理量が多いにも係わらず、球状化が進んでいることがわかる。
なお、球状化の程度は、原料粒子の形態が凝集した形態であり、定量化しにくいものであったため、本発明者らはJIS K5101に基づいてタップ密度を測定し、プラズマ処理の効果を評価した。結果を図8に示す。これは粉末の球状化が進むことと、タップ密度の上昇が相関するという知見に基づくものである。
11.プラズマ発生空間、12.高周波コイル、13.作動ガス供給部、
14.プラズマ炎、15.粉末供給ノズル、16.チャンバー、17.排気装置
20.原料供給流路、21.冷却水流路
Claims (6)
- 高周波コイルの内側に発生させたプラズマ炎中に粉末原料を供給する粉末供給ノズルを具備する粉末のプラズマ処理装置であって、高周波コイルの径方向の略中心に配置させた前記粉末供給ノズルは、内部にキャリアガスと原料粉末とに前記高周波コイルの軸方向を軸とする旋回流を形成させる旋回流形成手段を具備し、ノズル端部出口より該旋回流を放出することを特徴とする粉末のプラズマ処理装置。
- 旋回流形成手段は、円筒状の粉末供給ノズル内に配置した螺旋状流路であることを特徴とする請求項1に記載の粉末のプラズマ処理装置。
- 粉末供給ノズル端部出口の内径は、旋回流形成手段の配置部分より小径化されていることを特徴とする請求項1または2に記載の粉末のプラズマ処理装置。
- 旋回流形成手段と粉末供給ノズル端部出口との間には、緩和空間が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の粉末のプラズマ処理装置。
- 冷却壁で仕切られたプラズマ発生空間の外側に設けた高周波コイルと、高周波コイルの軸方向の一方から作動ガスを供給する作動ガス供給部と、高周波コイルの内側に発生させたプラズマ炎中にキャリアガスとともに粉末原料を供給する粉末供給ノズルと、プラズマ炎の下流側に設けたチャンバーと、チャンバーからの排気を行う排気装置を具備する粉末のプラズマ処理装置であって、高周波コイルの径方向の略中心に配置させた前記粉末供給ノズルは、内部にキャリアガスと原料粉末とに前記高周波コイルの軸方向を軸とする旋回流を形成させる旋回流形成手段を具備し、該旋回流形成手段は、平板をねじった螺旋板を該螺旋板の軸が流路の長手方向となる位置に配置したものであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の粉末のプラズマ処理装置。
- 高周波コイルの径方向の略中心に配置させた前記粉末供給ノズル内部で、キャリアガスと原料粉末とに前記高周波コイルの軸方向を軸とする旋回流を形成させ、次いでノズル端部出口より該旋回流を放出して、原料粉末を高周波コイルの径方向に拡散させ、プラズマ高温域と接触させることを特徴とする粉末のプラズマ処理方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029747A JP3965696B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 粉末のプラズマ処理装置および粉末のプラズマ処理方法 |
CA002488137A CA2488137C (en) | 2004-02-05 | 2004-11-23 | Plasma processing apparatus for powder and plasma processing method for powder |
US10/998,133 US7381363B2 (en) | 2004-02-05 | 2004-11-29 | Plasma processing apparatus for powder and plasma processing method for powder |
DE102004058237A DE102004058237B4 (de) | 2004-02-05 | 2004-12-02 | Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung eines Pulvers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029747A JP3965696B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 粉末のプラズマ処理装置および粉末のプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005218966A JP2005218966A (ja) | 2005-08-18 |
JP3965696B2 true JP3965696B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=34805931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004029747A Expired - Fee Related JP3965696B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 粉末のプラズマ処理装置および粉末のプラズマ処理方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7381363B2 (ja) |
JP (1) | JP3965696B2 (ja) |
CA (1) | CA2488137C (ja) |
DE (1) | DE102004058237B4 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100853428B1 (ko) | 2005-11-30 | 2008-08-21 | 주식회사 엘지화학 | 회전식 플라즈마를 이용한 가스전환장치 |
DE102006029725B4 (de) | 2006-06-28 | 2008-08-28 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen von Stäuben in eine Metallschmelze einer pyrometallurgischen Anlage |
US20080148771A1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Chevron U.S.A. Inc. | Process and apparatus for reducing the heating value of liquefied natural gas |
US8748785B2 (en) * | 2007-01-18 | 2014-06-10 | Amastan Llc | Microwave plasma apparatus and method for materials processing |
CN101734993B (zh) * | 2008-11-05 | 2013-11-13 | 新疆天业(集团)有限公司 | 等离子体高温碳转化反应煤粉注入管 |
JP5549834B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2014-07-16 | 住友大阪セメント株式会社 | 溶射膜及びその製造方法 |
US10477665B2 (en) * | 2012-04-13 | 2019-11-12 | Amastan Technologies Inc. | Microwave plasma torch generating laminar flow for materials processing |
CN103157801B (zh) * | 2013-04-12 | 2015-06-10 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种直流等离子体温度场约束球化钼粉的设备及方法 |
CN103551078B (zh) * | 2013-11-08 | 2016-01-20 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 高温可熔粉体材料等离子体球化方法及等离子体球化装置 |
CN104084594A (zh) * | 2014-06-05 | 2014-10-08 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种制备微细球形铌粉的方法 |
CN104070175B (zh) * | 2014-06-30 | 2017-01-11 | 西安建筑科技大学 | 一种制备金属钼球形微粉或超微粉的方法 |
EP3181219B1 (en) | 2015-12-14 | 2024-04-17 | Clariant Produkte (Deutschland) GmbH | Steam saving device |
CN111014700A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-04-17 | 湖南天际智慧材料科技有限公司 | 一种真空无坩埚熔炼等离子体制备高纯纳米材料的装置 |
DE102021134542A1 (de) | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Tdk Electronics Ag | Aluminiumoxidpartikel, Verfahren zur Herstellung von hochreinen Aluminium- oder Aluminiumoxidpartikel und Verwendung einer Folie als Rohmaterial |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1765169B1 (de) * | 1967-04-17 | 1971-08-26 | Academia Republicii Socialiste | Plasmagenerator mit magnetischer fokussierung und mit einlass von zusaetzlichem gas |
US3676638A (en) * | 1971-01-25 | 1972-07-11 | Sealectro Corp | Plasma spray device and method |
FR2600000B1 (fr) * | 1986-06-13 | 1989-04-14 | Extramet Sa | Procede et dispositif de granulation d'un metal fondu |
US5073193A (en) * | 1990-06-26 | 1991-12-17 | The University Of British Columbia | Method of collecting plasma synthesize ceramic powders |
JP2001020065A (ja) | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
JP2002180112A (ja) | 2000-12-19 | 2002-06-26 | Hitachi Metals Ltd | 高融点金属粉末材料の製造方法 |
US6915964B2 (en) * | 2001-04-24 | 2005-07-12 | Innovative Technology, Inc. | System and process for solid-state deposition and consolidation of high velocity powder particles using thermal plastic deformation |
-
2004
- 2004-02-05 JP JP2004029747A patent/JP3965696B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-23 CA CA002488137A patent/CA2488137C/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-29 US US10/998,133 patent/US7381363B2/en active Active
- 2004-12-02 DE DE102004058237A patent/DE102004058237B4/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2488137C (en) | 2009-05-12 |
JP2005218966A (ja) | 2005-08-18 |
US20050183542A1 (en) | 2005-08-25 |
DE102004058237B4 (de) | 2007-07-05 |
CA2488137A1 (en) | 2005-08-05 |
DE102004058237A1 (de) | 2005-08-25 |
US7381363B2 (en) | 2008-06-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100608 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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