JP3960874B2 - コーナーキューブアレイおよびその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置などにおいて好適に用いられるコーナーキューブアレイおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、マイクロレンズ、マイクロミラー、マイクロプリズムなどの、非常にサイズが小さい光学素子（マイクロ光学素子）の開発が進められており、光通信や表示装置の分野での利用が図られている。このようなマイクロ光学素子の実現によって、光学技術及びディスプレイ技術の分野が一段と発展・充実することが期待されている。
【０００３】
このようなマイクロ光学素子を利用した表示装置として、再帰性反射板を備える反射型液晶表示装置が、例えば米国特許第５，１８２，６６３号、特開平１１−７００８号公報、特開２０００−１９４９０号公報などに記載されている。再帰性反射板を用いれば、光の入射方向と同じ方向に光を反射（すなわち再帰反射）させることができる。このため、上記反射型液晶表示装置では、使用者の目には、使用者の近傍から発せられた光の反射光が選択的に届き、外部のライトや太陽などの光源から発せられる光の反射光が届くことが防止される。これにより、外光の映り込みを抑えることができ、視認性を向上させることができる。また、この反射型液晶表示装置では、再帰性反射板によって外光の映り込みを低減しているので、反射板の反射率を低下させて反射光の強度を低下させる必要がない。これにより、明るくコントラストの高い表示を実現することが可能である。
【０００４】
このような再帰性反射板は、例えば、コーナーキューブアレイを用いて形成される。コーナーキューブは立方体の一隅を形成する形状を有し、典型的には、互いに直交する３つの面を有する。このようなコーナーキューブアレイから形成された反射板は、入射された光を複数の反射面で反射することによって、入射方向にかかわらず光を元の方向に反射させることができる。以下、図５を参照しながら、コーナーキューブアレイを用いて形成された再帰性反射板を備える従来の反射型液晶表示装置８０の構成を説明する。
【０００５】
反射型液晶表示装置８０は、コーナーキューブアレイ８３が設けられた基板８２と、観察者側に位置する透明基板８１と、これらの基板８１，８２の間に挟持された高分子分散型液晶層８４とを備える。コーナーキューブアレイ８３上には金属反射膜８５が形成されており、黒表示時において、透明基板８１および光透過状態に制御された高分子分散型型液晶層８４を透過してきた光を、その入射方向と同じ方向に反射することができる。コーナーキューブアレイ８３の凹部は、透明平坦化部材８６によって埋められており、この平坦化部材８６の上に透明電極８７が形成されている。また、透明基板８１の液晶層側には、カラーフィルタ層８８および透明電極８９が設けられている。反射型液晶表示装置８０では、透明電極８７，８９によって高分子分散型液晶層８４に印加する電圧を制御することによって、高分子分散型液晶層８４の光透過性（または散乱状態）を制御し、これにより、画像の表示を行なう。
【０００６】
表示装置８０において用いられるコーナーキューブのサイズＬ１は、画素サイズＬ２以下であることが好ましい。コーナーキューブのサイズＬ１が画素サイズＬ２よりも大きい場合、所定のコーナーキューブに入射する光が通過する画素と、そのコーナーキューブによって反射された光が通過する画素とが異なることがあり、その場合には混色等の問題が生じるからである。従って、例えば画素サイズＬ２が１００μｍ程度の場合、コーナーキューブのサイズＬ１は、好適には、数十μｍ以下に設定される。
【０００７】
このような従来の反射型液晶表示装置において利用されるコーナーキューブとして、三角錐状の凹部または凸部のみから構成される形状を有するものが知られている。三角錐状の凹部または凸部でコーナーキューブであれば、上述のような数十μｍ以下というようなサイズで且つ形状精度高く作製することが比較的容易である。
【０００８】
一方、道路標識などにおいて用いられる比較的サイズの大きい再帰性反射板としては、より複雑な形状を有するコーナーキューブを用いるもの（コーナーキューブリフレクタ）が知られている。以下、図６（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、より複雑な形状を有するコーナーキューブリフレクタの構成を説明する。
【０００９】
図６（ａ）および（ｂ）に示すように、コーナーキューブリフレクタ９０は、実質的に互いに直交する３つの略正方形の反射面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えた構造を有する。コーナーキューブリフレクタ９０に入射された光は、図６（ｃ）に示すように、例えば３面Ｓ２，Ｓ３，Ｓ１で反射され、入射方向と同一の方向に戻る。なお、コーナーキューブリフレクタ９０において、略正方形である各反射面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、立方体の６面における共通する頂点を有する３面に対応している。図６（ａ）に示すように、コーナーキューブリフレクタ９０は、○で示す最頂点を有する凸部９２（×で示す中位点によって規定されるレベルよりも上側にある部分）と、●で示す最底点を有する凹部９４（×で示す中位点によって規定されるレベルよりも下側にある部分）とによって構成されている。以下、このようなコーナーキューブを立方体型コーナーキューブと称する。
【００１０】
立方体型コーナーキューブを用いて形成される反射板は、三角錐状の凹部または凸部のみから形成されるコーナーキューブ（以下、三角錐型コーナーキューブと称する）を用いる場合に比べ、入射光をより効率良く再帰反射させることができる。以下、図７（ａ）〜（ｄ）を参照しながら、三角錐型コーナーキューブおよび立方体型コーナーキューブのそれぞれを用いた場合における光の反射の様子について説明する。
【００１１】
図７（ａ）および（ｂ）は、三角錐型コーナーキューブ９６を示し、図７（ｃ）および（ｄ）は、立方体型コーナーキューブ９８を示す。図７（ｂ）に示すように、三角錐型コーナーキューブ９６では、コーナーキューブの中央部に入射した光Ａは図において点線で示すように再帰反射されるが、その角部に入射した光Ｂは再帰反射されない。すなわち、三角錐型コーナーキューブ９６では、図７（ａ）に示すように、その角部において非再帰反射領域９６ａが形成される。これに対し、図７（ｄ）に示すように、立方体型コーナーキューブ９８では、角部に入射した光であっても、再帰反射される。従って、立方体型コーナーキューブ９８では、非再帰反射領域が形成されず、反射面における再帰反射可能領域が広くなるため、入射光のより多くを再帰反射させることが可能である。
【００１２】
反射型表示装置において三角錐型コーナーキューブの再帰性反射板を用いた場合、黒表示時において液晶層を透過した光の一部は再帰反射されず、入射方向と異なる方向に反射されることになる。この場合、使用者から離れたところから発せられる光の反射光の一部が使用者の目に届くことになり、これによってコントラスト比の低下が生じる。これに対し、立方体型コーナーキューブから形成される再帰性反射板を用いれば、より高い効率で入射光を再帰反射させることができるので、コントラスト比を向上させることができる。
【００１３】
しかし、反射型表示装置において好適に用いられるような、例えば１００μｍ以下の微細なサイズで立方体型コーナーキューブを作製することは容易ではない。以下、従来の立方体型コーナーキューブアレイの作製方法を説明する。
【００１４】
（ピン結束法）
ピン結束法では、六角柱形状を有する金属のピンの先端に、互いに直交する正方形の３面を有するプリズムを設け、それらを何本も束ねてプリズム集合体を作製する。近接する３つのピンのそれぞれに設けられたプリズムの各１面ずつを用いて立方体型コーナーキューブが形成される。
【００１５】
ただし、この方法では、別々のピンに形成されたプリズムを集めてコーナーキューブアレイを形成するため、サイズの小さいコーナーキューブを作製することは実際には困難である。この方法を用いて作製できるコーナーキューブの寸法（図６（ｂ）に示すＬ３に相当する寸法）は１ｍｍ程度が限界であり、数十μｍサイズの立方体型コーナーキューブを形成することは困難である。
【００１６】
（プレート法）
プレート法では、互いに平行な二平面を持つ平板を複数枚重ねあわせ、この重ね合わせた平板の端面において、平面に対して直角な方向に等しいピッチでＶ溝を切削して頂角が約９０°の連続する屋根型の突起群を形成する。次に、各々の平板上に形成された屋根型突起群の屋根の頂部を、隣接する平板上に形成されたＶ溝の底部に一致させるように移動させることによって立方体型コーナーキューブアレイ用の金型を作製する。
【００１７】
ただし、この方法では、屋根型の突起が形成された平板を隣接する平板に対して適切な位置関係を有するように精度良く並べ換えて固定する必要がある。従って、１００μｍ以下のサイズを有する微細な立方体型コーナーキューブを形成することは困難である。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
ただし、近年では、立方体型コーナーキューブアレイを微細なサイズで作製する技術も開発されてきている。このような技術は、例えば、Applied Optics Vol.35, No19 pp3466-3470における"Precision crystal corner cube arrays for optical gratings formed by (100) silicon planes with selective epitaxial growth"と題された論文に記載されている。この論文によれば、シリコン基板から結晶をエピタキシャル成長させることによって、微細なコーナーキューブアレイを作製している。
【００１９】
このようにして得られる微細な立方体型コーナーキューブから再帰性反射板を作製すれば高い再帰反射率を実現することができる。これを表示装置に用いれば、混色を防止できるとともにコントラスト比を向上させることができる。しかし上記の方法では結晶成長を適切に制御する必要などが生じ、これ以外の方法によって、微細な立方体型コーナーキューブを作製するという課題があった。
【００２０】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、表示装置の再帰性反射板として好適に利用される、微細な単位構造を持つコーナーキューブアレイおよびその製造方法を提供することをその目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明のコーナーキューブアレイの製造方法は、凹部を表面に有する母材を用意する工程と、前記凹部に対応した凸形状を有する第１の部分、および、少なくとも１つの面を有する第２の部分を備える粒子を用意する工程と、前記母材上で前記第２の部分が露出されるように前記第１の部分を前記凹部内に配置させることによって、前記少なくとも１つの面を含むコーナーキューブを形成する工程とを包含する。
【００２２】
ある好ましい実施形態において、前記少なくとも１つの面は、互いに直交する３つの平面を含む。
【００２３】
ある好ましい実施形態において、前記凹部は三角錐形状を有し、前記粒子は立方体形状を有する。
【００２４】
ある好ましい実施形態において、前記粒子は結晶であり、前記少なくとも１つの面は前記結晶の所定の結晶面によって規定される。
【００２５】
ある好ましい実施形態において、前記粒子は、塩化ナトリウムからなることを特徴とする。
【００２６】
ある好ましい実施形態において、前記粒子のサイズは、１μｍ以上１０００μｍ以下である。
【００２７】
ある好ましい実施形態において、前記母材上に形成された前記コーナーキューブの形状を、他の材料に転写する工程をさらに包含する。
【００２８】
本発明のコーナーキューブアレイは、複数の凹部を表面に有する母材と、それぞれが、前記複数の凹部のそれぞれに対応した形状を持つ凸部を有し前記複数の凹部のそれぞれにおいて配置された複数の粒子とを備える。
【００２９】
ある好ましい実施形態において、前記複数の粒子のそれぞれは、前記母材上で露出される少なくとも１つの面を有し、隣接する粒子の前記少なくとも１つの面によってコーナーキューブが形成されている。
【００３０】
ある好ましい実施形態において、前記少なくとも１つの面は、互いに直交する３つの平面を含む。
【００３１】
ある好ましい実施形態において、前記凹部は三角錐形状を有し、前記粒子は立方体形状を有する。
【００３２】
ある好ましい実施形態において、前記粒子は結晶であり、前記少なくとも１つの面は前記結晶の所定の結晶面によって規定される。
【００３３】
ある好ましい実施形態において、前記粒子が塩化ナトリウムからなることを特徴とする。
【００３４】
本発明のコーナーキューブアレイの型は、複数の凹部を表面に有する母材と、それぞれが、前記複数の凹部のそれぞれに対応した形状を持つ凸部を有し前記複数の凹部のそれぞれにおいて配置された複数の粒子と、前記複数の粒子が配置された前記母材上に設けられた被覆膜とを備える。
【００３５】
本発明のコーナーキューブアレイの製造方法は、母材を用意する工程と、少なくとも１つの面を有する部分を含む粒子を用意する工程と、前記母材上で前記部分が突出し、前記少なくとも１つの面が露出されるように、前記粒子を前記母材上に配置することによって、前記少なくとも１つの面を含むコーナーキューブを形成する工程とを包含する。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態として作製される微細な立方体型コーナーキューブアレイを用いて構成される再帰性反射板について説明する。
【００３７】
図１（ａ）および（ｂ）は、本実施形態にかかる再帰性反射板を作製するために用いられる母材１０を示す。母材としては、ニッケルなどの金属板を用いることができる。この母材１０の表面には、複数の微細な三角錐状凹部１１（三角錐の底面の一辺が例えば５０μｍ程度）が、互いに６０°異なる３つの方向のそれぞれにおいて、平坦部１２と交互に配置するように形成されている。三角錐状凹部のそれぞれは、互いに直交する直角二等辺三角形の３面によって規定される形状を有し、立方体の角部に対応する形状をなす。このような凹部は、所定の形状の三角錐の凸部を有する高硬度のピンを切削加工によって作製し、このピンを母材となる金属板の表面に対して所定のピッチで多数回型押し形成することによって形成することができる。このようにして、所定の位置において複数の凹部が形成された母材が得られる。
【００３８】
なお、母材に設けられる凹部は、互いに完全に離間するように形成されていても良いし、部分的に重畳するように形成されていてもよい。ただし好適には、凹部のそれぞれの中心部は、ハニカム格子点（合同な正六角形を隙間なく敷き詰めた場合における、各正六角形の頂点と各正六角形の重心点とに対応する点、あるいは、第１の方向に延びる等間隔（所定間隔）の複数の平行線と、上記第１の方向とは６０°異なる第２の方向に延びる、等間隔かつ上記所定間隔と同一の間隔の複数の平行線との交点）に対応する位置に設けられる。
【００３９】
次に、上述のような複数の凹部が形成された母材上に配置される粒子を用意する。ここで用意する粒子は、母材の凹部形状に対応した凸形状を有する第１の部分と、それ以外の第２の部分とを備えており、第２の部分は、コーナーキューブを構成する面となる少なくとも１つの面（ファセット）を有している。本実施形態では、このような粒子として、立方体状の塩化ナトリウム結晶を用いる。以下、この立方体状の塩化ナトリウム結晶の粒子を得る方法についてより詳細に説明する。
【００４０】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態において用いられる、サイズ（例えば１辺が３５μｍ）のそろった複数の微小な立方体状塩化ナトリウム粒子２０を得る方法を示す。
【００４１】
まず、図２（ａ）に示すように、へき開した塩化ナトリウムの粒子（結晶体）２１を、塩化ナトリウムが溶けない無極性液体２２（例えばテトラヒドロフラン）中に分散させる。なお、へき開した塩化ナトリウム粒子２１は、例えば、飽和塩水を煮詰めたり、機械的な粉砕を行ったりすることによって得ることができる。このようして得られた塩化ナトリウムの粒子２１のそれぞれは立方体形状を有する。なお、粒子２１は、塩化ナトリウムから構成される必要は無く、岩塩型結晶構造を有する材料（例えばＭｇＯやＫＣｌなど）から形成してもよい。
【００４２】
次に、図２（ｂ）に示すように、塩化ナトリウム粒子２１が分散された上述の液体（分散液）２２を遠心分離機２３に供し、分散液中の塩化ナトリウム粒子２１を遠心分離する。これにより、液体中の各領域においてサイズがそろった立方体状塩化ナトリウム粒子２０が得られる。図２（ｃ）に示すように、所定の領域に存在する立方体状塩化ナトリウム粒子２０をパスツールピペット等で抽出することで、所望のサイズの塩化ナトリウム粒子２０を得ることができる。このようにして得られた略同サイズの塩化ナトリウムの粒子のそれぞれは、上述のように立方体形状を有し、それぞれが正方形の６つの面（ファセット）を備える。粒子の６つのファセットには、互いに直交する３つの平面が含まれる。
【００４３】
次に、図３に示すように、サイズが揃った塩化ナトリウム粒子２０を塩化ナトリウムが溶けない無極性液体（分散媒）に分散させることによって分散液を作製し、これを母材１０上に流すことにより、母材１０上に塩化ナトリウム粒子２０を配置させる。より具体的には、母材１０の凹部１１に粒子２０の角部が嵌ることによって、粒子２０は母材１０の凹部１１に配置させられる。なお、粒子２０は、母材１０の凹部１１の形状（三角錐形状）に対応する角部を有しているため、母材１０上に分散液を流すだけで、粒子２０は母材１０の凹部１１内において所定の向きに自動的に配置される。
【００４４】
なお、このように液体中に分散させた粒子を母材の凹部内に配置させる方法としては、例えば、米国特許第5，５４５，２９１号、5，７８３，８５６号、5，８２４，１８６号、5，９０４，５４５号などに記載されている方法を利用してもよい。すなわち、凹部が形成された母材を、所定の角度で傾けた状態でベッセル内に収容し、このベッセル内において、上述の塩化ナトリウム粒子２０を含む分散液を所定の流速で母材上に流すが、ベッセル内において母材は分散液中に浸漬されるとともに母材の近傍に設けられた流出口から分散液のフローが母材上に供給される。このとき、分散液の流速等を適切に設定すれば、母材上に設けられた三角錐状の凹部内に、塩化ナトリウムの粒子の角部が適切に嵌合させることができる。これにより、各凹部内に粒子を配置させることが可能である。
【００４５】
図４に示すように、母材１０の凹部内に粒子２０が配置された状態において、立方体状の粒子２０の一部２０ｂ（凹部内に位置する第１の部分２０ａとは異なる第２の部分）は、母材１０上で突出しており、また、この部分２０ｂに形成されているファセット２５は母材上で露出されている。すなわち、母材１０の凹部内には粒子２０が部分的に配置されている。
【００４６】
このようにして立方体型コーナーキューブアレイ４０を形成することができる。立方体型コーナーキューブアレイ４０の単位要素であるコーナーキューブは、上述の粒子２０の露出した部分２０ｂのファセット２５によって構成される。より具体的にいうと、隣接する３つの立方体型粒子のファセット２５によってコーナーキューブが形成される。コーナーキューブを構成する３つの粒子のファセットは互いに略直交するように配置されている。
【００４７】
なお、塩化ナトリウムの粒子は結晶であり、コーナーキューブを構成する粒子のファセットは、結晶の所定の結晶面によって規定することができる。例えば、上記のファセットは、塩化ナトリウム結晶の｛１００｝面に対応する。
【００４８】
このように形成されたコーナーキューブは、微細であり、また、コーナーキューブの各面は、塩化ナトリウムの平坦な結晶面から構成されるため、形状制度も高い。従って、表示装置に用いられる再帰性反射板を作製するためのコーナーキューブアレイとして好適である。
【００４９】
なお、コーナーキューブのサイズは粒子（および凹部）のサイズによって規定され得るが、反射型表示装置に好適に用いられる再帰性反射板を得るためには、コーナーキューブのサイズは画素サイズよりも小さいことが望ましい。ただし、粒子のサイズが小さすぎる場合、すなわち粒子のサイズが光（可視光）の波長以下である場合、干渉などの影響により、コーナーキューブアレイが再帰性反射板として機能しなくなるという問題が生じる。このため、粒子のサイズは、１μｍ〜１０００μｍであることが望ましい。
【００５０】
本実施形態で作製されたコーナーキューブアレイ上に銀などの金属薄膜を蒸着することによって保護膜として機能する被覆膜を設けた後、電鋳法によって上記コーナーキューブアレイの型をとることにより、マイクロコーナーキューブアレイ金型を作製することができる。このようにして形成された金型を用いて、ローラによる転写などによって樹脂材料などにコーナーキューブアレイを転写するようにすれば、表示装置において用いられるコーナーキューブアレイを量産することが可能である。
【００５１】
以上のようにして作製されたコーナーキューブアレイの表面に、アルミニウムなどの金属の薄膜を設け、反射領域を形成することによって、再帰性反射板が得られる。このようにして得られた再帰性反射板は、例えば、反射型液晶表示装置（例えば図５に示す高分子分散型液晶表示装置）や、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイなどにおいて好適に用いられ得る。
【００５２】
以上、本発明の実施形態を説明したが、凹部が形成された母材を得る方法としては、種々の方法を採用することができ、例えば、特開平７−２０５３２２号公報に記載されるような光化学的な手法を利用することもできる。すなわち、複数の正三角形の透過領域（または遮光領域）を有するマスクであって、各透過領域（または遮光領域）の透過率もしくは遮光率は、透過領域（または遮光領域）の中心部から周辺部に向かって次第に減少しているマスクを用いて露光および現像を行なう。これにより、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐状の複数の突起を基板上の所定の位置に形成することができる。この基板を型として用いて凹凸を反転させたもの作製し、これを本実施形態の母材として利用することができる。
【００５３】
また、本実施形態では直角二等辺三角形３面で規定される三角錐状の凹部内に立方体の粒子の一部を配置させる形態を説明したが、粒子が凹部の形状に対応する部分を含むものである限り、凹部形状および粒子形状は他の形状であってもよい。ただし、粒子は、凹部の形状に対応する部分以外の部分において、コーナーキューブを構成するための少なくとも１つのファセットを有している必要がある。なお、この粒子の少なくとも１つのファセットには、互いに直交する３面が含まれることが望ましい。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、母材上に粒子を配置することによって、粒子の所定の面を含むコーナーキューブを形成することができ、このようにすれば、互いに直交する正方形３面からなる微細なコーナーキューブ（立方体型コーナーキューブ）のアレイ、もしくはその金型を作製することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかるコーナーキューブアレイの製造工程を説明するための図であり、（ａ）は母材の断面図、（ｂ）は母材の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態にかかるコーナーキューブアレイの製造工程を説明するための別の図であり、（ａ）〜（ｃ）は好適な粒子を得るための工程をそれぞれ示す。
【図３】本発明の実施形態にかかるコーナーキューブアレイの製造工程を説明するためのさらに別の図であり、粒子を母材上に配置させる工程を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態にかかるコーナーキューブアレイの製造工程を説明するためのさらに別の図であり、完成されたコーナーキューブアレイの斜視図である。
【図５】従来の反射型液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図６】立方体型コーナーキューブアレイを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は中位点よりも高い部分を示す側面図、（ｃ）は斜視図である。
【図７】三角錐型コーナーキューブと立方体型コーナーキューブとを比較して示す図であり、（ａ）は三角錐型コーナーキューブの平面図、（ｂ）は三角錐型コーナーキューブの斜視図、（ｃ）は立方体型コーナーキューブの平面図、（ｄ）は立方体型コーナーキューブの斜視図を示す。
【符号の説明】
１０ 母材
１１ 三角錐状凹部
１２ 平坦部
２０ サイズのそろった微小な立方体状塩化ナトリウム粒子（結晶）
２１ へき開した塩化ナトリウム
２２ 無極性溶媒
２３ 遠心分離器
４０ 立方体型コーナーキューブアレイ

Claims (11)

1. 複数の凹部を表面に有する母材であって、前記複数の凹部の中心部が正六角形の各頂点と前記正六角形の重心点とに対応する位置に設けられている母材を用意する工程と、
   それぞれが、前記複数の凹部のそれぞれに対応した凸形状を有する第１の部分、および、互いに直交する３つの面を有する第２の部分を備える複数の粒子を用意する工程と、
   前記複数の粒子のそれぞれにおいて前記母材上で前記第２の部分が露出されるように前記第１の部分を前記凹部内に配置させることによって、前記複数の粒子のうちの隣接する３つの粒子の面から構成されたコーナーキューブを形成する工程と
   を包含するコーナーキューブアレイの製造方法。
2. 前記凹部は三角錐形状を有し、前記粒子は立方体形状を有する請求項１に記載のコーナーキューブアレイの製造方法。
3. 前記粒子は結晶であり、前記少なくとも１つの面は前記結晶の所定の結晶面によって規定される請求項１または２に記載のコーナーキューブアレイの製造方法。
4. 前記粒子は、塩化ナトリウムからなることを特徴とする請求項３に記載のコーナーキューブアレイの製造方法。
5. 前記粒子のサイズは、１μｍ以上１０００μｍ以下である請求項１から４のいずれかに記載のコーナーキューブアレイの製造方法。
6. 前記母材上に形成された前記コーナーキューブの形状を、他の材料に転写する工程をさらに包含する請求項１から５のいずれかに記載のコーナーキューブアレイの製造方法。
7. 複数の凹部を表面に有する母材であって、前記複数の凹部の中心部が正六角形の各頂点と前記正六角形の重心点とに対応する位置に設けられている母材と、
   それぞれが、前記複数の凹部のそれぞれに対応した凸形状を有する第１の部分と、前記母材上で露出される互いに直交する３つの面を有する第２の部分とを含む複数の粒子であって、前記複数の凹部のそれぞれにおいて配置されて、前記複数の粒子のうちの隣接する３つの粒子の面によってコーナーキューブが形成されている複数の粒子と
   を備えるコーナーキューブアレイ。
8. 前記凹部は三角錐形状を有し、前記粒子は立方体形状を有する請求項７に記載のコーナーキューブアレイ。
9. 前記粒子は結晶であり、前記少なくとも１つの面は前記結晶の所定の結晶面によって規定される請求項７または８に記載のコーナーキューブアレイ。
10. 前記粒子が塩化ナトリウムからなることを特徴とする請求項９に記載のコーナーキューブアレイ。
11. 複数の凹部を表面に有する母材であって、前記複数の凹部の中心部が正六角形の各頂点と前記正六角形の重心点とに対応する位置に設けられている母材と、
    それぞれが、前記複数の凹部のそれぞれに対応した凸形状を有する第１の部分と、互いに直交する３つの面を有する第２の部分とを含む複数の粒子であって、前記第２の部分が前記母材上で突出するように前記第１の部分が前記複数の凹部のそれぞれにおいて配置されて、前記複数の粒子のうちの隣接する３つの粒子の面によってコーナーキューブが形成されている複数の粒子と、
    前記複数の粒子が配置された前記母材上に設けられた被覆膜と
    を備えるコーナーキューブアレイの型。

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