JP3945607B2 - 線膨張係数測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は寸法の長い部材の線膨張係数測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図8は従来の線膨張係数測定装置を示したものである。1の測定部材全体を恒温槽2の中に入れて、適当な台座3の上に乗せ、恒温槽2の温度を上昇させることで加熱し、資料の温度を被測定部材1に取り付けられた熱電対4により検出し、被測定部材1の一端に取り付けられた干渉計5と反射鏡6とを用いて、恒温槽2の窓ガラス7を通過した入射ビーム8と反射ビーム9とを干渉させ、検出器(図示せず)で変位を検出するようになっている。温度と変位の測定結果により、例えば、温度T0[K]に於いて、長さL0[m]であったものが、温度変化ΔT[K] により長さがΔL[m]だけ変化したとすれば、温度T0に於ける熱膨張係数α(T0)は次式で与えられる。
α(T0)=ΔL/(L0・ΔT)[K-1]
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の線膨張係数測定装置を用いた方法では、被測定部材全体を恒温槽2に入れて加熱することにより温度変化を与えるため、被測定部材1の寸法が長く恒温槽2に入らない場合には測定することができなかった。従って、大きな部材の線膨張係数のは同質の材料でできた小さな試験片の測定結果より予想するしかなく、例えば大きな望遠鏡の支持構造体を構成する長いパイプなどは、製造された実物で線膨張係数を測定し、寸法安定性の確認を行いたいという要求があっても実現できなかった。
【0004】
また、従来の測定装置によれば、恒温槽2の窓ガラス7にレーザービームを通すしかなく、レーザービームの波長が空気中とガラス内部とで異なり、またそれが温度によって変化するため、波数の変化を数えて変位を検出しているこの方式にとって誤差の要因となっていた。また、恒温槽2のサイズが大きくなると恒温槽内部の温度分布も生じやすく、これが部材内部の温度むらを生じさせ誤差の要因となっていた。
【0005】
レーザーを使用せずに、歪みゲージを測定部材に貼り付けて歪みを測定する方法も試みたが、歪みを電気抵抗の変化として検出している歪みゲージにとって、電気抵抗の温度による変化が歪みによる変化と比較して無視できないくらい大きいため、誤差が大きく、事実上測定不可能であった。
【0006】
従って、この発明の課題は上述のような従来の線膨張係数測定装置の問題点を解消することであり、恒温槽を使用する必要がなく、大型部材の線膨張係数の測定を実現でき、誤差が小さい線膨張係数測定装置を得ることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、この発明によれば、基台と、この基台上に設けられ、測定すべき被測定部材を支持する支持装置と、被測定部材の少なくとも一端面に設けられ、レーザービームを反射し得る反射鏡と、反射鏡に向けてレーザービームを発振するレーザービーム発振装置と、反射鏡から離間してレーザービームの光路内に設けられて、レーザービームの一部を反射させ、残りの部分を透過させて反射鏡で反射させ、両反射ビームを同一光路内に戻して互いに干渉させる干渉計と、干渉計に於ける反射ビームの干渉を測定して反射鏡の位置の変位から、被測定部材の温度変化による伸びを求める計測演算装置とを備えた線膨張係数測定装置が得られる。
【0008】
また、基台上に設けられて、被測定部材の一端の軸方向移動を阻止する軸方向固定装置を備え、反射鏡が一端と反対側の他端に設けられていてもよい。
【0009】
被測定部材の両端に直接取り付けられたゼロ膨張ガラスプレートを備え、反射鏡あるいは軸方向固定装置がゼロ膨張ガラスプレートに取り付けられたものでもよい。
【0010】
反射鏡が被測定部材の両端に設けられ、反射鏡の各々に対向して干渉計が設けられ、支持装置は被測定部材をその軸方向中央部で支持するものでもよい。
【0011】
シートヒータは被測定部材の周表面全体を覆い、シートヒータの外表面は更にシート状の断熱材によって覆われていてもよい。
【0012】
シートヒータはシート状シリコンゴムと、このシリコンゴム内に均一に配置された発熱体とを備えたものとすることができる。
【0013】
シートヒータの内側には被測定部材の温度を測定する熱電対を取り付けることができる。
【0014】
シートヒータは被測定部材の軸方向に分割された複数枚のシートからなるものとすることができる。
【0015】
複数枚のシートヒータはそれぞれ別個の温度調整装置を備えたものにできる。
【0016】
軸方向に分割されたシートが、被測定部材の軸方向に見て比較的長い中央部と、中央部の両端の両端部とを備えたものとできる。
【0017】
シートヒータの内側に設けられた熱電対がシートヒータ内に埋設されて一体とされたものにできる。
【0018】
支持部材は被測定部材の中央部を支持するためのV字型支持表面を持つVブロックであってもよい。
【0019】
支持装置は被測定部材の長手方向を水平にして支持するものとすることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1には本発明の線膨張係数測定装置の一実施形態を示してある。この図に於いて、線膨張係数測定装置は基台20上に、線膨張係数を測定すべき長い被測定部材1を支持するためのV字型支持表面を持つ支持装置であるVブロック12と、被測定部材1を一端で軸方向移動を阻止する軸方向固定装置であるアングルプレート15と、被測定部材1の他端から離れて設けられた干渉計5とを固定して備えている。
【0021】
被測定部材1は周表面全体を図2に示す如きシート状のシートヒータ10によって完全に覆われており、シートヒータ10に通電することで被測定部材1を加熱し、温度上昇させることができる。シートヒータ10はシリコンゴム15中に例えばニクロム線のような通電すると発熱する発熱体16を均一に配置したものであり、変形しやすく、被測定部材1によくフィットするようになっている。リード線17を通じて電力を供給するようになっている。
【0022】
シートヒータ10の外表面は更にシート状の断熱材11によって覆われており、この断熱材11の外表面がVブロック12により支持されている。被測定部材1には熱電対4が取り付けられて、温度がモニタできるようになっている。断熱材11はシートヒータ10の外側に巻かれ、空気とシートヒータ10との間を熱的に遮断することにより、シートヒータ10で発生した熱を効率よく被測定部材1に伝え、さらに被測定部材1の温度を均一に保つ槽の役目も果たしている。この実施例では、断熱材としてグラスウールを用いている。
【0023】
被測定部材1の両端面はシートヒータ10あるいは断熱材11から露出しており、線膨張係数が1×10-7[K-1]程度の材質でできたゼロ膨張ガラスプレート13−1および13−2が接着等により取り付けられており、断熱材の役目をしているほか、反射鏡6を取り付けるベースにもなっている。ゼロ膨張ガラスプレート13−2は熱容量が大きなアングルプレート15に機械的に固定されており動かないようになっている。ゼロ膨張ガラスプレート13−1には反射鏡6が固着されている。
【0024】
反射鏡6から所定距離離間して干渉計5が設けられており、干渉計5から更に所定距離離間して貴台20上にレーザービーム発振装置21が設けられている。レーザービーム発振装置21は、反射鏡6に向けてレーザービームを発振するレーザービーム発生源であり、入射レーザービーム8を干渉計5のハーフミラーに入射させるようにしてある。ハーフミラーは入射レーザービーム8の一部を反射させて入射してきた光路に戻し、他の一部は通過させて反射鏡6に当てて反射鏡6で全反射させて再び入射レーザービーム8が入射してきた光路に戻す。このように、ハーフミラーで反射したビームと反射鏡6で反射したビームとは、互いに重ね合わせられ、2つの反射ビームは通ってきた光路の長さが異なるために互いに干渉し、この干渉を測定することにより反射鏡6の元の位置からの変位を計測できるのである。
【0025】
反射鏡6の前には干渉計5が置かれ、入射ビーム8と反射ビーム9を干渉させることでレーザ変位計(図示せず)で変位が検出できるようになっている。従って、被測定部材1の長さについて、温度T0[K]に於ける長さL0[m]を測定しておき、シートヒータ10により加熱して温度変化ΔT[m]だけ温度が変化したときの被測定部材1の長さ変化ΔLを測定すれば、温度T0に於ける熱膨張係数α(T0)を次式から得ることができる。
α(T0)=ΔL/(L0・ΔT)[K-1]
【0026】
このような計測と演算を行うために計測演算装置22が設けられており、干渉計5に於ける反射ビーム間の干渉を測定して反射鏡6の位置の変位を得、この変位から被測定部材1の温度変化による伸びを求め、上述の式により熱膨張係数を計算して求める。
【0027】
実施の形態2.
図3はこの発明の別の実施の形態を示す図であり、図1に示す実施形態と同じまたは同様の部品には同じ参照符号を付けてこれらの説明を省略する。被測定部材1はVブロック12によりその中央部を支持されていて、シートヒータ10により加熱されたときに両端面が変位するようにされている。被測定部材1の両端には線膨張係数が1×10-7[K-1]程度の材質でできたゼロ膨張ガラスプレート13−1および13−2が接着等により取り付けられており、断熱材の役目をしているほか、反射鏡6−1、6−2を取り付けるベースにもなっている。反射鏡6−1と6−2の前にはそれぞれ干渉計5−1と5−2が置かれ、それぞれ入射ビーム8−1と反射ビーム9−1、入射ビーム8−2と反射ビーム9−2を干渉させることでレーザ変位計(図示せず)で変位が検出できるようになっている。図示はしてないが、図1の実施形態と同様のレーザービーム発振装置21と計測演算装置22が装置の両端に設けられている。
【0028】
このようにすることで、図1に示す実施の形態で説明したアングルプレート15が必要なくなり、アングルプレート15にわずかに伝えられていた熱を無くすことができるようになり、従って、被測定部材1の温度の均一性が向上するので測定の精度が更によくなる。また、アングルプレート15を基台20強固に固着する必要がなくなり、線膨張係数測定装置を軽量化することができる。また、被測定部材1の長さの変化による端面位置の変位が両端面で等しくなくとも、あるいはいずれか一方の端面にだけしか現れなかった場合にも、両端面の変位を測定することにより、被測定部材1の長さの変化は正確に計測できる。
【0029】
なお、図4に示す如く、断熱材11が巻かれた被測定部材1を縦に即ち長手方向を鉛直方向に配置した場合には、シートヒータ10で発生した熱により周囲の空気が暖められて空気流18となり、この断熱材11の壁面に沿って上昇する。従って、被測定部材1の上方にいくに従って周囲の温度が高くなり、被測定部材1の温度を均一に保つ上で極めて都合が悪い。図1および図3に示す如く被測定部材1を水平置きにした場合には、このような効果は無視できるほど小さくなり、被測定部材1の温度は一様になる。
【0030】
実施の形態3.
図5はこの発明の線膨張係数測定装置に使用できるシートヒータの実施形態を示したもので、シートヒータ10−1と10−2を直列につなぎ合わせて通電することで一枚のシートヒータでは包みきれないようなより大きな部材を均一に加熱できるようにして測定する方法である。この例では2枚のシートヒータを直列接続したが、3枚以上であってもかまわない。
【0031】
実施の形態4.
図6はこの発明の線膨張係数測定装置に使用できるシートヒータの別の実施形態を示したもので、この実施形態ではシートヒータは3つの部分10−1、10−2、10−3より構成され、3枚のシートヒータはそれぞれ別個の温度調整装置を備えており、独立して電力が投入できるようになっている。このようにすることで、一枚のシートヒータのみでは包みきれないような、大きな被測定部材を加熱できるようにすると共に、被測定部材に取り付けた熱電対により検出された温度をもとに、各シートヒータに投ずる電力を制御することで、被測定部材の温度の均一性をよりいっそう向上させて測定できるようにしたものである。この例では3枚のシートヒータを用いたが、4枚以上であってもかまわない。
【0032】
実施の形態5.
図7はこの発明の線膨張係数測定装置に使用できるシートヒータの更に別の実施の形態を示したもので、図2で示したシートヒータ10に熱電対4をあらかじめシリコンゴム15で成形する際に発熱体(図が煩雑になるのでこの図では図示せず)といっしょに組み込んだもので、熱電対4の引き回しに苦慮することがなくなり、測定のセッティングが容易になる。
【0033】
【発明の効果】
以上のように本発明の線膨張係数測定装置によれば、基台と、この基台上に設けられ、測定すべき被測定部材を支持する支持装置と、被測定部材の少なくとも一端面に設けられ、レーザービームを反射し得る反射鏡と、反射鏡に向けてレーザービームを発振するレーザービーム発振装置と、反射鏡から離間してレーザービームの光路内に設けられて、レーザービームの一部を反射させ、残りの部分を透過させて反射鏡で反射させ、両反射ビームを同一光路内に戻して互いに干渉させる干渉計と、干渉計に於ける反射ビームの干渉を測定して反射鏡の位置の変位から、被測定部材の温度変化による伸びを求める計測演算装置とを備えた線膨張係数測定装置が得られる。従って、恒温槽を使用する必要なしに大型部材の線膨張係数の測定を実現でき、しかも誤差が小さい線膨張係数測定装置を得ることができる。
【0034】
また、基台上に設けられて、被測定部材の一端の軸方向移動を阻止する軸方向固定装置を備え、反射鏡が上述の一端と反対側の他端に設けられているので、被測定部材の一端の反射鏡だけが変位し、変位量が大きいので測定が容易である。
【0035】
被測定部材の両端に直接取り付けられたゼロ膨張ガラスプレートを備え、反射鏡あるいは軸方向固定装置がゼロ膨張ガラスプレートに取り付けられたものであるので、被測定部材の端面が断熱されて熱が逃げてしまうことがなく、装置を小型簡単軽量にできる。
【0036】
反射鏡が被測定部材の両端に設けられ、反射鏡の各々に対向して干渉計が設けられ、支持装置は被測定部材をその軸方向中央部で支持するものであるので、被測定部材を基台に固定する必要がなく、装置を小型簡単軽量にできる。
【0037】
シートヒータは被測定部材の周表面全体を覆い、シートヒータの外表面は更にシート状の断熱材によって覆われているので、被測定部材が一様に加熱され、正確な測定が実現できる。
【0038】
シートヒータはシート状シリコンゴムと、このシリコンゴム内に均一に配置された発熱体とを備えたものであるので、シートヒータを被測定部材に密着させて加熱することができ、またシートヒータの取り扱いが容易である。
【0039】
シートヒータの内側には被測定部材の温度を測定する熱電対を取り付けることができるので、被測定部材の温度を知って制御することができる。
【0040】
シートヒータは被測定部材の軸方向に分割された複数枚のシートからなるものとすることができるので、大型の被測定部材を一様に加熱して正確な測定ができる。
【0041】
複数枚のシートヒータはそれぞれ別個の温度調整装置を備えたものにできるので、温度分布をより一様にして測定をより正確にすることができる。
【0042】
軸方向に分割されたシートが、被測定部材の軸方向に見て比較的長い中央部と、中央部の両端の両端部とを備えたものとできるので、被測定部材の温度分布に合わせた加熱ができる。
【0043】
シートヒータの内側に設けられた熱電対がシートヒータ内に埋設されて一体とされたものにできるので、シートヒータの取り扱いが容易である。
【0044】
支持部材は被測定部材の中央部を支持するためのV字型支持表面を持つVブロックであってもよいので、製造が容易である。
【0045】
支持装置は被測定部材の長手方向を水平にして支持するものとすることができるので、被測定部材の加熱を一様に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の線膨張係数測定装置を示す概略図。
【図2】 本発明の線膨張係数測定装置に用いるシートヒータの概略平面図。
【図3】 本発明の線膨張係数測定装置の別の実施形態を示す概略図。
【図4】 本発明の線膨張係数測定装置に於ける被測定部材の水平配置の効果を示す概略図。
【図5】 本発明の線膨張係数測定装置に用いるシートヒータの変形例を示す概略平面図。
【図6】 本発明の線膨張係数測定装置に用いるシートヒータの別の変形例を示す概略平面図。
【図7】 本発明の線膨張係数測定装置に用いるシートヒータの更に別の変形例を示す概略平面図。
【図8】 従来の線膨張係数測定装置を示す概略図である。
【符号の説明】
1 被測定部材、2 支持装置、4 熱電対、5 干渉計、6 反射鏡、8 レーザービーム、10 シートヒータ、11 断熱材、12 支持装置(Vブロック)、13 ゼロ膨張ガラスプレート、15 軸方向固定装置(アングルプレート)、20 基台、21 レーザービーム発振装置、22 計測演算装置、23 温度調整装置。
Claims (11)
- 基台と、
この基台上に設けられ、測定すべき被測定部材を支持する支持装置と、
上記被測定部材を覆うシートヒータと、
上記被測定部材の少なくとも一端面に設けられ、レーザービームを反射し得る反射鏡と、
上記反射鏡に向けてレーザービームを発振するレーザービーム発振装置と、
上記反射鏡から離間して上記レーザービームの光路内に設けられて、上記レーザービームの一部を反射させ、残りの部分を透過させて上記反射鏡で反射させ、上記両反射ビームを同一光路内に戻して互いに干渉させる干渉計と、
上記干渉計に於ける反射ビームの干渉を測定して上記反射鏡の位置の変位から、被測定部材の温度変化による伸びを求める計測演算装置とを備え、
上記シートヒータはシート状シリコンゴムと、このシリコンゴム内に均一に配置された発熱体とを備え、被測定部材の周表面全体を覆い、シートヒータの外表面は更にシート状の断熱材によって覆われている線膨張係数測定装置。 - 上記基台上に設けられて、被測定部材の一端の軸方向移動を阻止する軸方向固定装置を備え、上記反射鏡が上記一端と反対側の他端に設けられた請求項1記載の線膨張係数測定装置。
- 被測定部材の両端に直接取り付けられたゼロ膨張ガラスプレートを備え、上記反射鏡あるいは軸方向固定装置が上記ゼロ膨張ガラスプレートに取り付けられた請求項1あるいは2記載の線膨張係数測定装置。
- 上記反射鏡が被測定部材の両端に設けられ、上記反射鏡の各々に対向して上記干渉計が設けられ、上記支持装置は被測定部材をその軸方向中央部で支持する請求項1あるいは2記載の線膨張係数測定装置。
- 上記シートヒータの内側には被測定部材の温度を測定する熱電対が取り付けられてなる請求項1乃至4のいずれか一項記載の線膨張係数測定装置。
- 上記シートヒータは被測定部材の軸方向に分割された複数枚のシートからなる請求項1乃至5のいずれか一項記載の線膨張係数測定装置。
- 上記複数枚のシートヒータはそれぞれ別個の温度調整装置を備えた請求項6記載の線膨張係数測定方法。
- 上記軸方向に分割されたシートが、被測定部材の軸方向に見て比較的長い中央部と、中央部の両端の両端部とを備えた請求項6あるいは7記載の線膨張係数測定装置。
- 上記シートヒータの内側に設けられた熱電対が上記シートヒータ内に埋設されて一体とされた請求項5記載の線膨張係数測定装置。
- 上記支持装置は上記被測定部材の中央部を支持するためのV字型支持表面を持つVブロックである請求項1乃至9のいずれか一項記載の線膨張係数測定装置。
- 上記支持装置は被測定部材の長手方向を水平にして支持する請求項1乃至10のいずれか一項記載の線膨張係数測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105510377A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-04-20 | 中国科学院测量与地球物理研究所 | 精密金属零长弹簧温度系数测量仪及其方法 |
CN108603829A (zh) * | 2016-01-20 | 2018-09-28 | 耶达研究及发展有限公司 | 测量小位移的装置和方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3897655B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2007-03-28 | 株式会社ミツトヨ | 線膨張係数測定装置 |
WO2007028345A1 (fr) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Accelergy Shanghai R & D Center Co., Ltd | Procede de detection a haut debit destine aux echantillons solides et systeme correspondant |
JP2010185786A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 配管の熱膨張率の算出方法 |
CN103645206B (zh) * | 2013-12-03 | 2017-02-15 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种光纤环及其骨架材料膨胀系数简易测量方法 |
CN105403589A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-03-16 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 非晶态材料收缩率的测定方法 |
CN106918619A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-07-04 | 哈尔滨工业大学 | 一种固体材料线膨胀系数测试装置 |
JP6931573B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-09-08 | 株式会社ミツトヨ | 熱膨張係数測定装置、及び熱膨張係数測定方法 |
CN109115826B (zh) * | 2018-08-24 | 2021-05-18 | 合肥工业大学 | 一种热膨胀测量仪及使用方法 |
CN109490307B (zh) * | 2019-01-24 | 2023-11-03 | 沈阳工程学院 | 基于小孔成像测量金属线胀系数的装置 |
JP7125906B2 (ja) * | 2019-03-13 | 2022-08-25 | 本田技研工業株式会社 | 抱付力評価方法及び収縮量評価方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6443748A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-16 | Yasuda Seiki Seisakusho Kk | Heat resistance testing device for plastic |
JPH01244350A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Matsushita Electric Works Ltd | 板材料の熱膨張・収縮計測装置 |
JPH03154856A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Shinku Riko Kk | 熱膨張測定装置 |
JP3173367B2 (ja) * | 1996-04-09 | 2001-06-04 | 日立プラント建設株式会社 | 被測定物の内面状態の検出方法 |
JPH1047581A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Makoto Morioka | 配管用加熱装置 |
JP3287299B2 (ja) * | 1998-01-29 | 2002-06-04 | 日立プラント建設株式会社 | 配管の加熱または冷却治具 |
-
1999
- 1999-11-16 JP JP32570399A patent/JP3945607B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105510377A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-04-20 | 中国科学院测量与地球物理研究所 | 精密金属零长弹簧温度系数测量仪及其方法 |
CN108603829A (zh) * | 2016-01-20 | 2018-09-28 | 耶达研究及发展有限公司 | 测量小位移的装置和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001141679A (ja) | 2001-05-25 |
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