JP3943759B2 - 非放射性誘電体ガイド及びその製造方法 - Google Patents

非放射性誘電体ガイド及びその製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は非放射性誘電体ガイド、特にミリ波レーダなどに用いられ、伝送線路の最適化、或いは線路に接続される回路との良好な整合を図ることができる高周波伝送ガイドの構成及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、60GHz、76GHz等のミリ波帯の高周波伝送線路では、低損失特性、広帯域特性、小型軽量化、低コスト化、量産性などが求められているが、従来のマイクロストリップ線路や方形導波管ではこれらの要求を十分に満たすことができない。即ち、上記マイクロストリップ線路では小型軽量化が可能であるが、十分な低損失特性を得ることができないし、上記方形導波管では、低損失特性が得られるが、発振器とアンテナとの間に変換器(例えば同軸導波管変換器)を介在させる必要があり、小型軽量化、低コスト化を実現することが困難である。
【0003】
このようなことから、従来では、図5に示すような非放射性誘電体ガイド(NRDガイド−Non Radiative Dielectric Wave Guide)がミリ波帯の伝送線路として注目されている。図5において、NRDガイドは2枚の金属板(平行平板)1Aと1Bとの間に、高周波を伝送する誘電体(線路)2が接触配置されており、発振器等の能動回路4から供給された高周波は上記誘電体2を介してアンテナ等の受動回路5へ伝送される。
【0004】
しかし、従来のNRDガイドでは、主要伝送波に図6(A)に示すLSM01モードを使用し、上記誘電体2としてテフロンやポリスチレン等の低誘電率材料を用いていたことから、上記の方形導波管と比較すると、低損失特性で劣り、不要伝送モードが発生したり、モード結合を起こしたりするなど、定在波分布が乱れるという問題があった。なお、図6(A)に示されるように、上記LSM01モードは誘電体2において電界が実線のように水平方向、磁界が点線のように垂直方向に形成されるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、最近では、主要伝送波に図6(B)に示すLSE01モードを使用し、上記誘電体2にリチウムナイオベート(LiNbO3 :比誘電率εr=35)、セラミックス(比誘電率εr=24)等の高誘電率材料を適用したNRDガイドが注目されている。これによれば、良好な伝送特性を呈し、上記誘電体2の比誘電率が高くなる程、広帯域な伝送線路になり得るということが明らかになり、更には能動回路4をチップ化してNRDガイドにフリップチップ実装することにより小型軽量化が容易に実現できるという利点がある。なお、上記LSE01モードでは、図6(B)に示されるように電界が実線のように誘電体2の中心から上下方向、磁界が点線のように円を描くように形成されるものである。
【0006】
しかしながら、上記のNRDガイドでは、金属やプラスチック等の製造プロセスと比較すると、高誘電率の誘電体における素地の微細構造的要因、例えばセラミック等を構成している結晶、ガラスの種類、気孔等の量比又は分布状態等が線路の特性にどのように影響するか等について不明な点が多い。そのため、伝送線路としての最適化、或いは線路に接続される回路との良好な整合をとれない場合があり、量産時には部品レベルでの誘電率測定検査や選別が必要となり、また部品の歩留まりの悪化、コスト高を招いていた。
【0007】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、部品レベルでのバラツキをなくした安定した品質の下に高い伝送性能を得ることができ、ひいては低コスト化が可能となる非放射性誘電体ガイド及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、二枚の金属板間に高誘電率の誘電体が配置され、LSE 01 モードで信号の伝送する非放射性誘電体ガイドにおいて、上記金属板の上記誘電体が接触する部分に、貫通孔であってその直径が上記誘電体の横幅よりも小さい寸法となる調整孔を多数形成し、高周波の伝送特性が最適となるように、上記多数の調整孔を選択的に導電性部材で塞いだことを特徴とする。
請求項2に係る発明は、上記誘電体にも上記調整孔に連通する調整凹部を形成し、この調整凹部を上記導電性部材で塞いだことを特徴とする。
請求項3に係る発明は、二枚の金属板間に高誘電率の誘電体が配置され、LSE 01 モードの信号を伝送する非放射性誘電体ガイドの製造方法において、上記金属板の上記誘電体が接触する部分に、貫通孔であってその直径が上記誘電体の横幅よりも小さい寸法となる調整孔を多数形成し、又はこれに加えて上記調整孔に連通する調整凹部を上記誘電体に形成する加工ステップと、この加工ステップで得られた加工部品の特性を解析し、高周波の所定の伝送特性を得るために、導電性部材で塞ぐべき調整孔又は調整凹部を判別する解析・演算ステップと、この解析・演算ステップの指令により、選択された上記調整孔又は調整凹部を導電性部材で塞ぐための導電性部材付与ステップと、を設けたことを特徴とする。
【0009】
上記の構成によれば、LSE01モードで高周波が伝送されるとき、等価回路で表すと、金属板の調整孔の存在によりインダクタンスLが形成されると共に、4分の1波長離れた所から見ると容量Cが形成される。一方、この調整孔を導電性部材で塞げば、上記インダクタンスL及び容量Cが与えられない(調整孔がない)ことになる。従って、例えば4分の1波長(又はこれの整数倍)の長さ毎に多数の調整孔を設け、この調整孔の何れかを選択的に導電性部材で塞ぎ、部分的にインダクタンスL及び容量Cを調整することにより、線路自体、或いは接続される回路との間のインピーダンスマッチングが図られ、挿入損失、リターンロス(電圧定在波比VSWR)等を最適化することができる。
【0010】
上記請求項の構成によれば、誘電体に調整凹部を設けた場合には、この凹部を導電性部材で塞げばその深さに応じた容量Cが部分的に形成される。従って、この調整凹部を上記調整孔と組み合わせれば、伝送特性調整のためのバリエーションが増え、インピーダンスマッチング等の最適化が更に促進できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1及び図2には、実施形態例に係る第1例の非放射性誘電体ガイドの構造が示されており、図1に示されるように、このNRDガイドは平行平板である2枚の金属板(銅板、黄銅板、アルミニウム板等)10Aと10Bとの間に、高誘電率の誘電体(線路)12を挟んで接合され、この誘電体12に、発振器、増幅器等の能動回路4及びアンテナ、共振器等の受動回路5が接続される。また、このNRDガイドの伝送では、図6(B)に示したLSE01モードの励振高周波信号が用いられる。
【0013】
更に、このNRDガイドを、例えば60GHzのミリ波帯の高周波信号の伝送に使用する場合、厚さ約0.3mmの金属板10A,10Bを間隔a(例えば約1.6mm)だけ離して配置し、また上記誘電体12として、比誘電率εr=24の高誘電率で誘電正接tanδ=2.5×10-4となる横幅b(例えば約0.3mm)のセラミックを用いる。そして、この誘電体12の上側にある金属板10A(もちろん下側金属板10Bでもよい)に、ピッチn・λg/4(λg:伝送波の波長、n:整数)の間隔(当該例では、約0.45mm)で直径約0.2mm(これは上記横幅bよりも小さく設定される)の調整孔13をドリル等で多数穿設する。
【0014】
この調整孔13は、図2(A)に示されるように、貫通孔であり、誘電体12の横幅方向の中央位置上側に設けられる。更に、図2(B)に示されるように、この調整孔13内には例えば導電性シリコンゴム又は導電性エポキシ系接着剤からなる導電性ペースト14が塗布により埋め込まれる。なお、当該例では、この導電性ペースト14としては、これに混入される例えばカーボンや金属粉等の導電フィラーと金属板との電位差が0.5ボルト以下になるようなものを選択しており、これによって電食を防止するようになっている。
【0015】
図3には、上記導電性ペースト14の塗布、埋め込みのための自動微調整装置の構成が示されており、この装置は、NRDガイドの試料16に対しSパラメータ(散乱パラメータ)等のデータを収集するネットワークアナライザー17、このアナライザー17からのデータを入力し、試料16において導電性ぺースト14で塞ぐ調整孔13と各種の特性との関係を予め演算すると共に、この演算データに基づいて塗布すべき調整孔13を判定し指令する演算処理コンピュータ18、このコンピュータ18の指令に基づき、導電性ペースト14を必要な調整孔13に自動塗布するための自動塗布機19からなる。
【0016】
上記演算処理コンピュータ18では、NRDガイド試料16のどの調整孔13に導電性ぺースト14を注入すれば、例えばS11,S21,S12,S22の項を持つ2×2の行列からなるSパラメータのどの項が変化するかを予め判定し、そのデータをテンプレートファイル化する。即ち、このSパラメータのS11は入射端からみた反射係数、S22は出力端からみた反射係数、S21,S12は挿入損失に対応した係数を表しており、これらの項の変化と塗布すべき調整孔13の関係がテンプレートファイルで把握されることになる。
【0017】
当該第1例は以上の構成からなり、このNRDガイドは、まず図1に示されるように調整孔13がλg/4の間隔で多数形成されて組み立てられる。そして、このNRDガイドが伝送線路自体の部品として、或いは能動回路4、受動回路5が接続されたフリップチップ実装品として、図3の自動微調整装置による導電性ペーストの塗布が実行される。ここでは、上述したように、ネットワークアナライザー17の特性解析によりSパラメータが求められ、このSパラメータに基づき所定の規格を具備するように、演算処理コンピュータ18で選択された調整孔13に導電性ペースト14が塗布され、図2(B)の状態となる。
【0018】
このようなNRDガイドによれば、LSE01モードにおいて、図6(B)に示されるように金属板10A,10Bに対し高周波電界が垂直、高周波磁界が平行に接しているので、上記調整孔13がカットオフとなり、この調整孔13から電磁波が殆ど逃げない大きさであっても、その高周波磁界は調整孔13に多少入り込み、この高周波磁界及び電界が通常の伝送モードから乱されることになる。そのため、等価回路で考えると、調整孔13によりインダクタンスLが形成され、また4分の1波長離れたところから見ると容量Cが形成される。このインダクタンスLと容量Cは、導電性ペースト14で塞がれない調整孔13によって生じ、導電ペースト14で埋められた調整孔13では形成されないことになる。
【0019】
このような部分的な調整によって、NRDガイドはその部品レベルでの製造誤差をなくすことができ、高周波の挿入損失、リターンロス(電圧定在波比)の最適化、即ち伝送線路としての最適化が図られる。また、図1のように、能動回路4と受動回路5を接続したフリップチップ実装した製品において、他の回路の接続に伴うインピーダンス不整合をキャンセルすることが可能となる。
【0020】
なお、上記調整孔13は上述のようにn・λg/4のピッチで配置することにより、またその孔径を誘電体12の横幅bよりも小さくすることにより、上記の等価的なインダクタンスLと容量Cを良好に付与できることになる。
また、当該例では、上記導電性ペースト14がその内部の導電フィラーと金属板10Aとの電位差が0.5ボルト以下になるような材料となっているので、電食が良好に防止される。
【0021】
図4には、第2例の構成が示されており、この第2例は第1例と同様の構成のNRDガイドにおいて誘電体にも調整凹部を精密電動研削工具等で設けたものである。図4(A)の調整孔13は、上側金属板10Aにピッチn・λg/4の間隔で多数穿設されると共に、その調整孔13の下側で、誘電体21の上面に調整凹部22が設けられる。そして、図4(B)に示されるように、この調整凹部22に導電性ペースト14が選択的に埋め込まれることにより、この導電性ペースト14は上記調整孔13にも接触させた状態とする方法、一方調整凹部22を深くする等により接触させずこの凹部22のみに入れる方法の両方が可能である。
【0022】
このようにして調整凹部22に導電ペースト14を入れた場合は、そこに容量Cが形成され、この容量Cは凹部が深くなる程大きくなる。そして、この導電ペースト14を調整孔13にも接触させる場合は調整凹部22による容量Cが与えられ、導電ペースト14を調整孔13に接触させずに調整凹部22にのみ注入する場合は、調整孔13によるインダクタンスLと容量C(13)と調整凹部22による容量C(22)が与えられることになる。従って、この第2例の場合も、図3の自動微調整装置を利用して、上記の調整孔13と調整凹部22を選択的に導電ペースト14で塞ぐことにより、NRDガイドの挿入損失、リターンロス等の特性を最適化することが可能となり、更に詳細な調整が可能となる。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、二枚の金属板間に高誘電率の誘電体が配置され、LSE 01 モードの信号を伝送する非放射性誘電体ガイドにおいて、上記誘電体が接触する上記金属板部分に、貫通孔であってその直径が上記誘電体の横幅よりも小さい寸法となる調整孔を多数形成し、この多数の調整孔の何れかを選択的に導電性部材で塞ぐようにしたので、高周波の挿入損失、リターンロス等の伝送特性を最適化し、部品レベルでのバラツキをなくした安定した品質の下に高い伝送性能を得ることができ、ひいては低コスト化を図ることが可能となる。
【0024】
請求項の発明によれば、誘電体にも上記調整孔に連通する調整凹部を形成したので、容量付与のバリエーションが増え、伝送特性の調整が更に促進される
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の第1例に係る非放射性誘電体ガイドの構成を示す斜視図である。
【図2】図1の非放射性誘電体ガイドの調整孔[図(A)]及びこの調整孔に導電性ペーストを入れた状態[図(B)]を示す図である。
【図3】実施形態のNRDガイドに対し導電性ペーストを塗布する自動微調整装置の構成を示すブロック図である。
【図4】実施形態の第2例に係る非放射性誘電体ガイドの調整孔及び調整凹部[図(A)]とこの調整孔及び調整凹部に導電性ペーストを入れた状態[図(B)]を示す図である。
【図5】従来の非放射性誘電体ガイドの構成を示す斜視図である。
【図6】従来又は実施形態例の非放射性誘電体ガイドで用いられる伝送モードを示し、図(A)はLSM01モードの説明図、LSE01モードの説明図である。
【符号の説明】
1A,1B,10A,10B … 金属板、
2,12,21 … 誘電体、
4 … 能動回路、 5 … 受動回路、
13 … 調整孔、 14 … 導電性ペースト、
22 … 調整凹部。

Claims (3)

  1. 二枚の金属板間に高誘電率の誘電体が配置され、LSE 01 モードの信号を伝送する非放射性誘電体ガイドにおいて、
    上記金属板の上記誘電体が接触する部分に、貫通孔であってその直径が上記誘電体の横幅よりも小さい寸法となる調整孔を多数形成し、
    高周波の伝送特性が最適となるように、上記多数の調整孔を選択的に導電性部材で塞いだことを特徴とする非放射性誘電体ガイド。
  2. 上記誘電体にも上記調整孔に連通する調整凹部を形成し、この調整凹部を上記導電性部材で塞いだことを特徴とする請求項1記載の非放射性誘電体ガイド。
  3. 二枚の金属板間に高誘電率の誘電体が配置され、LSE 01 モードの信号を伝送する非放射性誘電体ガイドの製造方法において、
    上記金属板の上記誘電体が接触する部分に、貫通孔であってその直径が上記誘電体の横幅よりも小さい寸法となる調整孔を多数形成し、又はこれに加えて上記調整孔に連通する調整凹部を上記誘電体に形成する加工ステップと、
    この加工ステップで得られた加工部品の特性を解析し、高周波の所定の伝送特性を得るために、導電性部材で塞ぐべき調整孔又は調整凹部を判別する解析・演算ステップと、
    この解析・演算ステップの指令により、選択された上記調整孔又は調整凹部を導電性部材で塞ぐための導電性部材付与ステップと、を設けたことを特徴とする非放射性誘電体ガイドの製造方法。
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